專利名稱：全光纖納米精度微位移與微振動(dòng)干涉測(cè)量?jī)x的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及到全光纖納米精度微位移與微振動(dòng)干涉測(cè)量?jī)x，特別涉及到使用正弦相位調(diào)制干涉測(cè)量的微位移(小于mm量級(jí))與微振動(dòng)(小于mm量級(jí))干涉測(cè)量?jī)x
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體激光干涉儀中，用來(lái)提高測(cè)量精度的光外差技術(shù)可以簡(jiǎn)單地通過(guò)直接調(diào)制半導(dǎo)體激光器(以下簡(jiǎn)稱LD)的注入電流來(lái)實(shí)現(xiàn)。通過(guò)調(diào)制注入電流，很容易實(shí)現(xiàn)干涉信號(hào)的相位調(diào)制，從而實(shí)現(xiàn)位移、距離、面形等參數(shù)較高精度的測(cè)量。但是在調(diào)制LD的注入電流時(shí)其輸出光強(qiáng)同時(shí)被調(diào)制，這造成一定的測(cè)量誤差。為降低作為光源的LD的輸出光強(qiáng)被調(diào)制引起的測(cè)量誤差，發(fā)明人王向朝等提供了一種光頻光熱調(diào)制半導(dǎo)體激光干涉儀(參見在先技術(shù)[1]王向朝，王學(xué)鋒，錢鋒，“用半導(dǎo)體激光器的微小位移干涉測(cè)量?jī)x，”中國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)?9113908.9)。在此干涉儀中，采用了光熱技術(shù)調(diào)制光源波長(zhǎng)，使得輸出光強(qiáng)被調(diào)制的幅度很小，大大提高了測(cè)量精度。遺憾的是此干涉儀使用體光學(xué)系統(tǒng)，體積較大、抗干擾能力相對(duì)較差；測(cè)量光束直徑較大而不能用來(lái)測(cè)量尺寸微小的物體的位移；同時(shí)，兩個(gè)光源的使用導(dǎo)致成本增加，調(diào)整困難且不實(shí)用；并且沒(méi)有考慮激光器的溫度控制措施，溫度變化引起的激光器波長(zhǎng)漂移將造成測(cè)量誤差。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為克服上述在先技術(shù)的不足，提供一種全光纖納米精度微位移與微振動(dòng)干涉測(cè)量?jī)x。本發(fā)明引入可見光的準(zhǔn)直光源，兩個(gè)光電轉(zhuǎn)換元件和相位控制器。將克服上述在先技術(shù)中調(diào)整困難，波長(zhǎng)漂移，抗干擾能力較差的問(wèn)題。
本發(fā)明的全光纖納米精度微位移與微振動(dòng)干涉測(cè)量?jī)x，包括帶有第一驅(qū)動(dòng)電源2和溫度控制器4的光源3，由光源3發(fā)射的光束通過(guò)第一段光纖301、隔離器16和第二段光纖302，由第一合波元件7的第二端口b射入，從第一合波元件7的第三端口c射出后，再通過(guò)第三段光纖303，由耦合器8的第一端口P1，同樣從耦合器8的第三端口P3射出后，經(jīng)過(guò)第四段光纖304由第二合波元件15的第一端口d射入，從第二合波元件15的第三端口f射出后，再經(jīng)過(guò)第五段光纖305和準(zhǔn)直器17后，透過(guò)部分反射元件18射到被測(cè)物體19上；由帶有第二驅(qū)動(dòng)電源5的準(zhǔn)直光源6發(fā)射的可見光通過(guò)第六段光纖601，從第一合波元件7的第一端口a入射，從第一合波元件7的第三端口c出射后，再經(jīng)過(guò)第三段光纖303由耦合器8的第一端口P1射入，同樣從耦合器8的第三端口P3射出后，經(jīng)過(guò)第四段光纖304由第二合波元件15的第一端口d射入，從第二合波元件15的第三端口f射出后，再經(jīng)過(guò)第五段光纖305和準(zhǔn)直器17后，透過(guò)部分反射元件18射到被測(cè)物體19上；帶有第三驅(qū)動(dòng)電源13的激振光源14發(fā)射的光束通過(guò)第七段光纖1401，由第二合波元件15的第二端口e入射，從第二合波元件15的第三端口f射出后，再經(jīng)過(guò)第五段光纖305和準(zhǔn)直器17后，透過(guò)部分反射元件18射到被測(cè)物體19上；由耦合器8的第二端口P2出射的光束通過(guò)第八段光纖801射到第一光電轉(zhuǎn)換元件9上；由耦合器8的第四端口P4出射的光束通過(guò)第九段光纖802射到第二光電轉(zhuǎn)換元件12上；第一光電轉(zhuǎn)換元件9和第二光電轉(zhuǎn)換元件12的輸出同時(shí)通過(guò)模數(shù)轉(zhuǎn)換器10連接到計(jì)算機(jī)11上；在第一驅(qū)動(dòng)電源2與模數(shù)轉(zhuǎn)換器10之間連接有相位控制器1。如圖1所示。
本發(fā)明的全光纖納米精度微位移與微振動(dòng)干涉測(cè)量?jī)x。如上述的結(jié)構(gòu)圖1所示。帶有第一驅(qū)動(dòng)電源2和溫度控制器4的光源3發(fā)射光束通過(guò)第一段光纖301和隔離器16相連。隔離器16的輸出端與第一合波元件7的第二端口b相連。第一合波元件7的第一端口a通過(guò)第六段光纖601連接到帶有第二驅(qū)動(dòng)電源5的準(zhǔn)直光源6。第一合波元件7的第三端口c通過(guò)第三段光纖303和耦合器8的第一端口P1相連。耦合器8的第三端口P3通過(guò)第四段光纖304連接到第二合波元件15的第一端口d。第二合波元件15的第二端口e通過(guò)第七段光纖1401連接到帶有第三驅(qū)動(dòng)電源13的激振光源14。第二合波元件15的第三端口f通過(guò)第五段光纖305連接到準(zhǔn)直器17。部分反射元件18、被測(cè)物體19與準(zhǔn)直器17同光軸放置。耦合器8的第二端口P2、第四端口P4分別通過(guò)第八段光纖801和第九段光纖802連接到第一光電轉(zhuǎn)換元件9和第二光電轉(zhuǎn)換元件12。第一光電轉(zhuǎn)換元件9和第二光電轉(zhuǎn)換元件12均與連接有計(jì)算機(jī)11的模數(shù)轉(zhuǎn)換器10相連。相位控制器1與第一驅(qū)動(dòng)電源2和模數(shù)轉(zhuǎn)換器10相連。
上面所說(shuō)的光源3、準(zhǔn)直光源6、激振光源14均是半導(dǎo)體激光器(也稱激光二極管，簡(jiǎn)稱為L(zhǎng)D)，其中準(zhǔn)直光源6發(fā)射的光是可見光。光源3與準(zhǔn)直光源6和激振光源14發(fā)射激光束的波長(zhǎng)不相等。
所說(shuō)的第一驅(qū)動(dòng)電源2提供直流、正弦交流信號(hào)給光源3。
所說(shuō)的第二驅(qū)動(dòng)電源5提供直流信號(hào)給準(zhǔn)直光源6。
所說(shuō)的第三驅(qū)動(dòng)電源13提供直流和交流信號(hào)給激振光源14。
所說(shuō)的第一合波元件7、第二合波元件15是用來(lái)實(shí)現(xiàn)光束合路的光纖元件，可以是光纖耦合器、或是光纖合波器(復(fù)用器)。耦合器8為光纖耦合器。
所說(shuō)的準(zhǔn)直器17是指其出射光為平行光的光學(xué)元件。
所說(shuō)的部分反射元件18是指可以使一部分光透射，一部分光反射回去的元件。其中一面不反射，或反射率很低(反射率R＜0.005)，或反射光不會(huì)返射到光纖中，同時(shí)另一面的反射光可以反射回到光纖中，其反射率滿足(0.05＜R＜0.45)。
所說(shuō)的第一、第二光電轉(zhuǎn)換元件9和12的響應(yīng)波長(zhǎng)在光源3發(fā)射激光的波段，是光電二極管，或是光電池等。
所說(shuō)的相位控制器1控制干涉信號(hào)的初始相位。
所說(shuō)的溫度控制器4控制光源3的溫度，使光源3的溫度僅在較小的范圍內(nèi)變化。
如上述圖1所示的結(jié)構(gòu)，光源3發(fā)出的光通過(guò)第一段光纖301入射到隔離器16內(nèi)。隔離器16的出射光通過(guò)第二段光纖302入射到第一合波元件7的第二端口b，并從第一合波元件7的第三端口c出射。光路中返回的光束不能通過(guò)隔離器16。從第一合波元件7的第三端口c出射的光通過(guò)第三段光纖303入射到耦合器8的第一端口P1。其中由耦合器8的第四端口P4出射的光通過(guò)第九段光纖802入射到第二光電轉(zhuǎn)換元件12。由耦合器8的第三端口P3出射的光通過(guò)第四段光纖304入射到第二合波元件15的第一端口d，從第二合波元件15的第三端口f出射，再通過(guò)第五段光纖305入射到準(zhǔn)直器17上。經(jīng)準(zhǔn)直器17的準(zhǔn)直后出射光束入射到部分反射元件18上，透過(guò)部分反射元件18的光束入射到被測(cè)物體19上。帶有第三驅(qū)動(dòng)電源13的激振光源14發(fā)出的光通過(guò)第七段光纖1401入射到第二合波元件15的第二端口e，從第二合波元件15的第三端口f出射后，再通過(guò)第五段光纖305入射到準(zhǔn)直器17上，經(jīng)過(guò)準(zhǔn)直器17準(zhǔn)直后的出射光透過(guò)部分反射元件18照射到被測(cè)物體19上，激勵(lì)被測(cè)物體19產(chǎn)生振動(dòng)。由被測(cè)物體19和部分反射元件18反射返回來(lái)的光產(chǎn)生干涉后，再通過(guò)準(zhǔn)直器17和第二合波元件15從耦合器8的第三端口P3進(jìn)入耦合器8后，從耦合器8的第二端口P2出射，通過(guò)第八段光纖801由第一光電轉(zhuǎn)換元件9轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，輸入到模數(shù)轉(zhuǎn)換器10內(nèi)。第一光電轉(zhuǎn)換元件9和第二光電轉(zhuǎn)換元件12輸出的電信號(hào)同時(shí)經(jīng)過(guò)模數(shù)轉(zhuǎn)換器10輸入到計(jì)算機(jī)11內(nèi)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理后顯示其測(cè)量結(jié)果。上述帶有第二驅(qū)動(dòng)電源5的準(zhǔn)直光源6發(fā)出的光為可見光，通過(guò)第六段光纖601由第一合波元件7的第一端口a入射，從第一合波元件7的第三端口c出射后，再通過(guò)第三段光纖303由耦合器8的第一端口P1入射，從耦合器8的第三端口P3出射后，同樣再通過(guò)第四段光纖304由第二合波元件15的第一端口d入射，從第二合波元件15的第三端口f出射，在通過(guò)第五段光纖305入射到準(zhǔn)直器17上。經(jīng)準(zhǔn)直器17準(zhǔn)直后入射到部分反射元件18，部分反射元件18的透射光入射到被測(cè)物體19上。由部分反射元件18和被測(cè)物體19反射返回的光束在耦合器8的第二和第四端口P2、P4觀察其光路的準(zhǔn)直狀態(tài)。準(zhǔn)直光源6發(fā)射的可見光是為了調(diào)整光路的準(zhǔn)直。相位控制器1控制計(jì)算機(jī)11采集到的干涉信號(hào)的初始相位為0或π。溫度控制器4用于穩(wěn)定帶有第一驅(qū)動(dòng)電源2的光源3的溫度。第一光電轉(zhuǎn)換元件9和第二光電轉(zhuǎn)換元件12的光譜特性滿足僅能夠?qū)⒐庠?的光轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，而不會(huì)將激振光源14和準(zhǔn)直光源6的光轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。
具體的描述是向光源3注入電流后，其波長(zhǎng)為λ(t)＝λ0+β1Δi(t)， (1)Δi(t)為驅(qū)動(dòng)電流的交流分量，β1為比例常數(shù)，λ0為對(duì)應(yīng)于直流分量的中心波長(zhǎng)。交流分量Δi(t)＝αcos(ωct+θ)。
(2)ωc為光源3的正弦相位調(diào)制的角頻率，t為時(shí)間，θ為光源3正弦相位調(diào)制的初始相位，α為交流分量的幅度。
第一光電轉(zhuǎn)換元件9檢測(cè)到的干涉信號(hào)是S′(t)＝IB(t)+IM(t)cos[zcos(ωct+θ)+α0+α(t)]， (3)其中IB(t)、IM(t)分別為干涉信號(hào)的背景強(qiáng)度和調(diào)制強(qiáng)度。z為干涉信號(hào)的相位調(diào)制深度，α0＝2πr0/λ0，α(t)＝4πr(t)/λ0，r0為被測(cè)物體19靜止時(shí)的光程差，r(t)為待測(cè)的微小位移或微小振動(dòng)。
第二光電轉(zhuǎn)換元件12探測(cè)到的光源3光強(qiáng)度變化為I(t)＝β2{i0+αcos[ωc(t-τ)+θ]}，(4)其中β2為比例常數(shù)，i0為光源3驅(qū)動(dòng)電流的直流分量，τ為從光源3到第二光電轉(zhuǎn)換元件12的光時(shí)延。在式(3)的兩邊同除以(4)，可以得到去除光源3光強(qiáng)波動(dòng)影響的干涉信號(hào)S(t)＝C+Ccos[zcos(ωct+θ)+α0+α(t)].(5)其中C為常數(shù)。對(duì)上式進(jìn)行傅立葉變換(在先技術(shù)[2]Osami Sasaki and HirokazuOkazaki，“Sinusoidal phase modulating interferometer using optical fibers fordisplacement measurement，”Appl.Opt.1988，27(19)，4139-4142.)求得α(t)，r(t)＝λ0α(t)/4π。(6)α(t)的測(cè)量精度達(dá)到0.01rad是較容易實(shí)現(xiàn)的。若光源3采用波長(zhǎng)λ0為1310nm的LD，位移的分辨率為1.04nm。若α的測(cè)量精度提高到0.001rad，則分辨率提高到0.1nm。
本發(fā)明與在先技術(shù)相比，具有顯著的特點(diǎn)<1>與在先技術(shù)[1]相比，本發(fā)明的全光纖納米精度微位移與微振動(dòng)干涉測(cè)量?jī)x采用兩個(gè)光電轉(zhuǎn)換元件9和12進(jìn)行光強(qiáng)補(bǔ)償，消除了干涉信號(hào)中的光強(qiáng)調(diào)制，省卻了調(diào)制光源，降低了調(diào)整難度。
<2>與在先技術(shù)[1]相比，本發(fā)明的全光纖納米精度微位移與微振動(dòng)干涉測(cè)量?jī)x的光束傳送通道全部是在光纖、光纖耦合器等光纖器件內(nèi)部，替代了在先技術(shù)中的透鏡、偏振分束器、分束器等體光學(xué)器件，并有兩個(gè)光電轉(zhuǎn)換元件，不僅使得本發(fā)明的測(cè)量?jī)x體積小、重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊，而且抗干擾能力增強(qiáng)。
<3>與在先技術(shù)[1]相比，本發(fā)明的全光纖納米精度微位移與微振動(dòng)干涉測(cè)量?jī)x，測(cè)量光斑的直徑降低了一個(gè)數(shù)量級(jí)，可以用于測(cè)量微小物體的位移和振動(dòng)。
<4>與在先技術(shù)[1]相比，本發(fā)明的全光纖納米精度微位移與微振動(dòng)干涉測(cè)量?jī)x，光源3帶有溫度控制器4，對(duì)光源3進(jìn)行了溫度控制，使溫度對(duì)波長(zhǎng)的影響可以忽略，消除了由波長(zhǎng)漂移帶來(lái)的測(cè)量誤差。
<5>與在先技術(shù)[1]相比，本發(fā)明的全光纖納米精度微位移與微振動(dòng)干涉測(cè)量?jī)x，有激振光源14，不僅具有測(cè)量位移的功能，而且具有激振測(cè)振功能，可以激勵(lì)類似于微型懸臂梁的物體，使其振動(dòng)，并同時(shí)利用測(cè)振功能納米精度地測(cè)量其振動(dòng)。
<6>與在先技術(shù)[1]相比，本發(fā)明的全光纖納米精度微位移與微振動(dòng)干涉測(cè)量?jī)x，有發(fā)射可見光的準(zhǔn)直光源6，具有使被測(cè)物體反射光與參考反射鏡的反射光干涉后進(jìn)入光纖中的功能，可以利用準(zhǔn)直光源6發(fā)射的可見光照射被測(cè)物體，使調(diào)整干涉儀變得容易而直觀。
<7>與在先技術(shù)[1]相比，本發(fā)明的全光纖納米精度微位移與微振動(dòng)干涉測(cè)量?jī)x，在第一驅(qū)動(dòng)電源2與模數(shù)轉(zhuǎn)換器10之間連接有相位控制器1，因此在采集干涉信號(hào)時(shí)帶有相位控制功能，通過(guò)相位控制器1可以使采集到的干涉信號(hào)的初始相位θ為0或π，而此時(shí)的測(cè)量精度最高。
<8>與在先技術(shù)[1]相比，本發(fā)明的全光纖納米精度微位移與微振動(dòng)干涉測(cè)量?jī)x所采用的兩個(gè)光電轉(zhuǎn)換元件9和12的光譜特性滿足能夠?qū)⒐庠?的光轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，而不會(huì)將激振光源14和準(zhǔn)直光源6的光轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。因此，測(cè)量結(jié)果中消除了來(lái)自其激振光源14和準(zhǔn)直光源6的波長(zhǎng)干擾。


圖1為本發(fā)明的全光纖納米精度微位移與微振動(dòng)干涉測(cè)量?jī)x的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式如圖1所示的結(jié)構(gòu)。其中準(zhǔn)直光源6采用波長(zhǎng)660nm，最大輸出功率30mW的半導(dǎo)體激光器。激振光源14采用波長(zhǎng)785nm，最大輸出功率50mW的半導(dǎo)體激光器。光源3采用波長(zhǎng)為1305nm的分布反饋半導(dǎo)體激光器(DFB-LD)。第一光電轉(zhuǎn)換元件9和第二光電轉(zhuǎn)換元件12為光電二極管，其波長(zhǎng)響應(yīng)在1.3μm波段。第一合波元件7、第二合波元件15和耦合器8均為光纖耦合器。耦合器8的分束比為1∶1。準(zhǔn)直器17的出射光束的直徑為0.2毫米。部分反射元件18的反射率為27％。開始測(cè)量時(shí)，首先打開光源3，并用溫度控制器4使光源3的溫度穩(wěn)定。先用準(zhǔn)直光源6的出射光照射到被測(cè)物體19，觀察光路準(zhǔn)直，再打開光源3，通過(guò)調(diào)節(jié)被測(cè)物體19使它的反射光和部分反射元件18的反射光干涉。通過(guò)調(diào)節(jié)第三驅(qū)動(dòng)電源13改變激振光源14的輸出，照射到被測(cè)物體19，激勵(lì)被測(cè)物體19，使之振動(dòng)。通過(guò)調(diào)節(jié)相位控制器1使得干涉信號(hào)的θ＝0，通過(guò)調(diào)節(jié)第一驅(qū)動(dòng)電源2的正弦交流信號(hào)的幅度使得干涉信號(hào)的相位調(diào)制深度z＝2.34rad。求得被測(cè)物體19的位移r(t)。根據(jù)式(6)，r(t)＝103.85α(t)nm(α的單位為弧度)。
權(quán)利要求
1.一種全光纖納米精度微位移與微振動(dòng)干涉測(cè)量?jī)x，包括帶有第一驅(qū)動(dòng)電源(2)的光源(3)和連接到計(jì)算機(jī)(11)上的模數(shù)轉(zhuǎn)換器(10)，其特征在于由光源(3)帶有溫度控制器(4)發(fā)射的光束通過(guò)第一段光纖(301)、隔離器(16)和第二段光纖(302)，由第一合波元件(7)的第二端口(b)射入，從第一合波元件(7)的第三端口(c)射出后，同樣再通過(guò)第三段光纖(303)，由耦合器(8)的第一端口(P1)射入，從耦合器(8)的第三端口(P3)射出后，經(jīng)過(guò)第四段光纖(304)由第二合波元件(15)的第一端口(d)射入，從第二合波元件(15)的第三端口(f)射出后，再經(jīng)過(guò)第五段光纖(305)和準(zhǔn)直器(17)后，透過(guò)部分反射元件(18)射到被測(cè)物體(19)上；由帶有第二驅(qū)動(dòng)電源(5)的準(zhǔn)直光源(6)發(fā)射的可見光通過(guò)第六段光纖(601)，從第一合波元件(7)的第一端口(a)入射，從第一合波元件(7)的第三端口(c)出射后，再經(jīng)過(guò)第三段光纖(303)由耦合器(8)的第一端口(P1)射入，從耦合器(8)的第三端口(P3)射出后，經(jīng)過(guò)第四段光纖(304)由第二合波元件(15)的第一端口(d)射入，從第二合波元件(15)的第三端口(f)射出后，再經(jīng)過(guò)第五段光纖(305)和準(zhǔn)直器(17)后，透過(guò)部分反射元件(18)射到被測(cè)物體(19)上；帶有第三驅(qū)動(dòng)電源(13)的激振光源(14)發(fā)射的光束通過(guò)第七段光纖(1401)，由第二合波元件(15)的第二端口(e)入射，從第二合波元件(15)的第三端口(f)射出后，再經(jīng)過(guò)第五段光纖(305)和準(zhǔn)直器(17)后，透過(guò)部分反射元件(18)射到被測(cè)物體(19)上；由耦合器(8)的第二端口(P2)出射的光束通過(guò)第八段光纖(801)射到第一光電轉(zhuǎn)換元件(9)上；由耦合器(8)的第四端口(P4)出射的光束通過(guò)第九段光纖(802)射到第二光電轉(zhuǎn)換元件(12)上；第一光電轉(zhuǎn)換元件(9)和第二光電轉(zhuǎn)換元件(12)的輸出同時(shí)連接到模數(shù)轉(zhuǎn)換器(10)上；在第一驅(qū)動(dòng)電源(2)與模數(shù)轉(zhuǎn)換器(10)之間連接有相位控制器(1)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全光纖納米精度微位移與微振動(dòng)干涉測(cè)量?jī)x，其特征在于所說(shuō)的光源(3)、準(zhǔn)直光源(6)和激振光源(14)均是半導(dǎo)體激光器，光源(3)發(fā)射光束的波長(zhǎng)與準(zhǔn)直光源(6)和激振光源(14)發(fā)生光束的波長(zhǎng)不相等，其中準(zhǔn)直光源(6)為可見光光源。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的全光纖納米精度微位移與微振動(dòng)干涉測(cè)量?jī)x，其特征在于所說(shuō)的第一光電轉(zhuǎn)換元件(9)和第二光電轉(zhuǎn)換元件(12)的響應(yīng)波段在光源(3)發(fā)射光束的波段。
全文摘要
一種全光纖納米精度微位移與微振動(dòng)干涉測(cè)量?jī)x,包括波長(zhǎng)不相同的帶有第一驅(qū)動(dòng)電源和溫度控制器的光源,調(diào)整光路準(zhǔn)直用的準(zhǔn)直光源和使被測(cè)物體產(chǎn)生振動(dòng)的激振光源。光束傳送的全光程都是在光纖、合波元件和光纖耦合器中進(jìn)行。有兩個(gè)光電轉(zhuǎn)換元件響應(yīng)波段只是對(duì)應(yīng)光源發(fā)射光束的波段,對(duì)準(zhǔn)直光源和激振光源發(fā)射的光束不響應(yīng)。在第一驅(qū)動(dòng)電源和模數(shù)轉(zhuǎn)換器之間連接有控制初始相位的相位控制器。與在先技術(shù)相比,本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、抗干擾能力增強(qiáng),消除了由于波長(zhǎng)漂移帶來(lái)的誤差的優(yōu)點(diǎn),測(cè)量精度高。
文檔編號(hào)G01B9/02GK1384331SQ0211207
公開日2002年12月11日 申請(qǐng)日期2002年6月14日 優(yōu)先權(quán)日2002年6月14日
發(fā)明者王向朝, 王學(xué)鋒, 劉英明, 錢鋒 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所