專利名稱：集成在印刷電路板中的磁通閘門傳感器及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明總的涉及一種磁通閘門傳感器，尤其涉及一種集成在印刷電路板中的磁通閘門傳感器及其制造方法。本申請(qǐng)是基于2002年3月13日提交的韓國(guó)專利申請(qǐng)No2002-13524，該申請(qǐng)?jiān)诖艘秊閰⒖肌?br> 背景技術(shù)：
磁能的存在已經(jīng)通過各種物理現(xiàn)象得到證實(shí)，并且磁通閘門傳感器使得人體能夠間接地感覺到磁能，因?yàn)槿梭w的感應(yīng)器官如眼睛和耳朵是不能感覺磁能的。至于磁通閘門傳感器，長(zhǎng)期以來使用采取軟磁線圈的磁傳感器。磁傳感器通過繞一個(gè)由軟磁條形成的相對(duì)較大的棒狀芯或環(huán)狀芯纏繞線圈而制成。另外，還采用一個(gè)電路以獲得與所測(cè)磁場(chǎng)成比例的磁場(chǎng)。
但是常規(guī)的磁通閘門傳感器有下列問題。即，由于常規(guī)磁通閘門傳感器的結(jié)構(gòu)是將線圈纏繞在由軟磁條形成的較大的棒狀芯或環(huán)狀芯上，所以制造成本很高，并且整個(gè)系統(tǒng)的體積較大。另外，由于激勵(lì)線圈和探測(cè)到的磁場(chǎng)，磁通量變化中磁通量的泄漏是不可避免的。因此，不能保證很高的靈敏度。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明克服了上述現(xiàn)有技術(shù)中的問題。因此，本發(fā)明的目的是提供一種集成在印刷電路板中的高靈敏度的磁通閘門傳感器及其制造方法，本發(fā)明的磁通閘門傳感器不僅能夠減小系統(tǒng)的總體積，而且還能夠以更高的精度探測(cè)磁場(chǎng)。
本發(fā)明的另一個(gè)目的在于當(dāng)外磁場(chǎng)測(cè)得為零(0)時(shí)，防止磁通量變化探測(cè)線圈中的感應(yīng)波。
上述目的通過本發(fā)明的磁通閘門傳感器實(shí)現(xiàn)，本發(fā)明的磁通閘門傳感器包括一個(gè)形成在印刷電路板上的軟磁芯，從而形成一條閉合的磁路；一個(gè)激勵(lì)線圈，形成為一個(gè)纏繞軟磁芯的金屬膜；和一個(gè)成為形成在激勵(lì)線圈上的金屬膜的拾取線圈，纏繞軟磁芯。
軟磁芯形成為兩條，以平行的關(guān)系放置在同一平面上。磁芯條的放置位置使得磁心條的長(zhǎng)度處于磁場(chǎng)的探測(cè)方向?；蛘?，軟磁芯也可以形成為一個(gè)矩形環(huán)。與條形軟磁芯一樣，矩形環(huán)型芯也放置成其長(zhǎng)度處于磁場(chǎng)的探測(cè)方向。
激勵(lì)線圈具有一種基本上以數(shù)字“8”的圖案交替纏繞兩個(gè)條形軟磁芯的結(jié)構(gòu)?；蛘撸?lì)線圈也可以有一種基本以螺線管圖案分別纏繞兩個(gè)條形軟磁芯的結(jié)構(gòu)。
當(dāng)軟磁芯形成為矩形環(huán)時(shí)，激勵(lì)線圈可以基本上以數(shù)字“8”的圖案一起或分別在磁場(chǎng)的探測(cè)方向交替纏繞矩形環(huán)型軟磁芯的兩條長(zhǎng)邊。
激勵(lì)線圈可以在探測(cè)磁場(chǎng)的方向上一起并基本上以數(shù)字“8”的圖案在纏繞兩個(gè)條形軟磁芯或矩形環(huán)型軟磁芯的兩條長(zhǎng)邊，或者以螺線管的圖案分別纏繞兩個(gè)條形軟磁芯或矩形環(huán)型軟磁芯的兩條長(zhǎng)邊，并且拾取線圈安置在此激勵(lì)線圈上，具有一種纏繞兩個(gè)條形軟磁芯或矩形環(huán)型軟磁芯的兩條長(zhǎng)邊并基本上為螺線管圖案的結(jié)構(gòu)。或者，激勵(lì)線圈可以在磁場(chǎng)探測(cè)方向并以數(shù)字“8”的圖案將兩個(gè)條形軟磁芯或矩形環(huán)型軟磁芯的兩條長(zhǎng)邊纏繞在一起，或以螺線管圖案分別纏繞矩形環(huán)型軟磁芯兩條長(zhǎng)邊的兩個(gè)條形軟磁芯，而拾取線圈有一種安置在此激勵(lì)線圈上的結(jié)構(gòu)，并有一種分別纏繞兩個(gè)條形軟磁芯或矩形環(huán)型軟磁芯的兩條長(zhǎng)邊的結(jié)構(gòu)，基本上為螺線管圖案。
上述目的也通過本發(fā)明的磁通閘門傳感器的制造方法實(shí)現(xiàn)，包括步驟在第一金屬片上粘貼一個(gè)半固化片和一個(gè)軟磁性膜；通過蝕刻軟磁性膜形成一個(gè)軟磁芯；通過在軟磁芯的上部粘合半固化片和第二金屬片而形成一個(gè)第一基底；在第一基底中遠(yuǎn)離軟磁芯一邊及另一邊的位置處形成第一穿孔；給第一穿孔電鍍金屬；通過蝕刻在基底的兩個(gè)表面上形成一個(gè)激勵(lì)線圈；通過在激勵(lì)線圈的兩部分附上粘結(jié)半固化片和第三金屬片而形成第二基底；在第二基底中對(duì)應(yīng)于第一穿孔形成第二穿孔；給第二穿孔電鍍金屬；通過蝕刻第二基底的兩個(gè)表面而形成一個(gè)拾取線圈；通過在拾取線圈的兩部分上粘結(jié)半固化片和第四金屬片形成第三基底；和通過蝕刻第三基底的兩個(gè)表面而形成一個(gè)導(dǎo)電性的襯墊。
最好進(jìn)一步提供這樣一個(gè)步驟在形成組件之前，利用感光油漆和曝光對(duì)磁通閘門傳感器的各個(gè)組件形成一種圖案。還提供用金電鍍襯墊的步驟。
根據(jù)本發(fā)明，通過沿探測(cè)方向形成一個(gè)軟磁芯，可以減小反磁特性，同時(shí)由于拾取線圈安置在纏繞于軟磁芯的激勵(lì)線圈上的這一結(jié)構(gòu)，在磁通量變化探測(cè)線圈中沒有感應(yīng)波。


下面通過參考附圖對(duì)本發(fā)明有效實(shí)施例的描述，本發(fā)明的上述目的和特點(diǎn)將變得更加清楚，其中圖1是本發(fā)明第一實(shí)施例的磁通閘門傳感器的典型示意圖；圖2A至2F是圖1所示磁通閘門傳感器的工作波形圖；圖3A至3M是沿圖1中I-I線的截面圖，示出了磁通閘門傳感器的制造工藝；圖4A是平行分布在同一平面上的兩個(gè)條形軟磁芯、以及基本上以數(shù)字“8”的圖案將兩個(gè)條形軟磁芯纏繞在一起的聯(lián)體結(jié)構(gòu)的激勵(lì)線圈平面圖；圖4B是基本上以螺線管圖案形成在圖4A所示的兩個(gè)條形軟磁芯上的拾取線圈的平面圖；圖4C是分布在同一平面上的矩形環(huán)狀軟磁芯以及纏繞矩形環(huán)型軟磁芯的聯(lián)體結(jié)構(gòu)的激勵(lì)線圈的平面圖；圖4D是基本上以螺線管圖案形成在圖4C所示矩形環(huán)型軟磁芯上的拾取線圈的平面圖；圖5是集成在根據(jù)本發(fā)明第二優(yōu)選實(shí)施例的印刷電路板中的磁通閘門傳感器示意圖；圖6A分別是平行放置在同一平面上的兩個(gè)條形軟磁芯和纏繞兩個(gè)條形軟磁芯的分體結(jié)構(gòu)的激勵(lì)線圈的平面圖；圖6B是表示基本上以螺線圖案纏繞圖6A所示兩個(gè)條形軟磁芯的拾取線圈的平面圖；圖6C是分別放置在同一平面上的矩形環(huán)型軟磁芯以及纏繞矩形環(huán)型軟磁芯的兩個(gè)長(zhǎng)邊的分體結(jié)構(gòu)的激勵(lì)線圈的平面圖；和圖6D是表示基本上以螺線管圖案纏繞圖6所示矩形環(huán)型軟磁芯的兩個(gè)長(zhǎng)邊的拾取線圈的平面圖。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在將參考附圖對(duì)本發(fā)明做詳細(xì)的描述。
圖1是表示根據(jù)本發(fā)明第一優(yōu)選實(shí)施例的印刷電路板集成到的磁通閘門傳感器視圖。磁通閘門傳感器有一個(gè)第一和第二條形軟磁芯1和2，激勵(lì)線圈3基本上以數(shù)字“8”的圖案纏繞在第一和第二條形軟磁芯1和2上，拾取線圈4纏繞在激勵(lì)線圈3、第一和第二條形軟磁芯1和2上。
以下將把線圈以數(shù)字“8”的圖案將兩個(gè)條形軟磁芯纏繞在一起的纏繞結(jié)構(gòu)稱作“聯(lián)體結(jié)構(gòu)”。根據(jù)本發(fā)明第二優(yōu)選實(shí)施例的矩形環(huán)型軟磁芯上的相同纏繞結(jié)構(gòu)也稱作“聯(lián)體結(jié)構(gòu)”。同時(shí)，有一個(gè)分別纏繞到兩個(gè)條形軟磁芯或分別纏繞到矩形環(huán)型軟磁芯的兩條長(zhǎng)邊的線圈的纏繞結(jié)構(gòu)稱作“分體結(jié)構(gòu)”。
圖2A至2F是解釋圖1所示磁通閘門傳感器的工作的計(jì)時(shí)圖。圖2A是第一軟磁芯1產(chǎn)生的磁場(chǎng)波形，圖2B是第二軟磁芯2產(chǎn)生的磁場(chǎng)波形，圖2C是第一軟磁芯1產(chǎn)生的磁通量密度波形，圖2D是第二軟磁芯2產(chǎn)生的磁通量密度波形，圖2E和2F是分別表示在拾取線圈中感應(yīng)的第一和第二感應(yīng)電壓Vind1和Vind2的波形，以及第一和第二感應(yīng)電壓之和Vind1+Vind2。
在以數(shù)字“8”的圖案將第一和第二條形軟磁芯1和2纏繞在一起的激勵(lì)線圈3以及供給激勵(lì)電流AC的情況下，在第一條形軟磁芯1處的內(nèi)磁場(chǎng)(Hext+Hexc)和磁通量密度(Bext+Bexc)與在第二條形軟磁芯2處的內(nèi)磁場(chǎng)(Hext-Hexc)和磁通量密度(Bext-Bexc)方向相反(見圖2A，2B，2C，2D)。此處，Hext是外磁場(chǎng)，Hexc是激勵(lì)線圈的磁場(chǎng)，Bext是外磁場(chǎng)的磁通量密度，Bexc是激勵(lì)線圈的磁通量密度。纏繞拾取線圈4以獲得第一和第二條形軟磁芯1和2每個(gè)產(chǎn)生的磁通量之和，并探測(cè)AC激勵(lì)電流的電子感應(yīng)的磁通量變化。因?yàn)榈谝缓偷诙l形軟磁芯1和2的內(nèi)磁場(chǎng)處于相反方向，所以在拾取線圈4探測(cè)到的感應(yīng)電壓是兩個(gè)對(duì)稱產(chǎn)生的感應(yīng)電壓Vind1和Vind2的偏差的結(jié)果(圖2F)。更具體地說，因?yàn)樵谙嗤姆较蛏蠈?duì)第一和第二條形軟磁芯1和2施加外磁場(chǎng)Hext，所以第一和第二芯1和2的內(nèi)磁場(chǎng)為Hext+Hexc和Hext-Hexc。此時(shí)，如圖2E所示，在拾取線圈4處感生電壓Vind1和Vind2，并且通過探測(cè)此感應(yīng)電壓Vind1和Vind2之和而獲得外磁場(chǎng)Hext的大小。
從上面的敘述可以知道，關(guān)于集成在印刷電路板中的磁通閘門傳感器的結(jié)構(gòu)，最重要的是有一種激勵(lì)線圈3和拾取線圈4的適當(dāng)?shù)恼辰Y(jié)結(jié)構(gòu)以得到第一和第二條形軟磁芯1和2中的磁通量變化之和，其中激勵(lì)線圈3具有數(shù)字“8”圖案的聯(lián)體結(jié)構(gòu)，拾取線圈4以螺線管圖案纏繞第一和第二條形軟磁芯1和2。此處，拾取線圈4也可以形成在激勵(lì)線圈3上，單獨(dú)纏繞第一和第二條形軟磁芯1和2。這是因?yàn)樯鲜龃磐ㄩl門傳感器的結(jié)構(gòu)通過在第一和第二條形軟磁芯1和2處形成一條閉合磁路的激勵(lì)線圈產(chǎn)生的磁通量抵消了在不存在外磁場(chǎng)的情況下第一和第二條形軟磁芯1和2產(chǎn)生的磁場(chǎng)的感應(yīng)波。
同時(shí)，圖1的軟磁芯可以采取矩形環(huán)的形式。這樣可以具備與條形軟磁芯相同的優(yōu)點(diǎn)，具有激勵(lì)線圈以數(shù)字“8”的圖案纏繞矩形環(huán)型軟磁芯的兩條長(zhǎng)邊、拾取線圈以螺線管圖案纏繞兩條長(zhǎng)邊的結(jié)構(gòu)?；蛘?，拾取線圈可以分別纏繞到矩形環(huán)的兩條長(zhǎng)邊上。
磁場(chǎng)的探測(cè)也可以通過分布有激勵(lì)線圈和拾取線圈的單個(gè)條形軟磁芯結(jié)構(gòu)進(jìn)行。但是這種情況需要對(duì)探測(cè)線圈的輸出信號(hào)進(jìn)行更復(fù)雜的處理，如放大和濾波，因?yàn)樯踔猎诓淮嬖谕獯艌?chǎng)的情況下也會(huì)有較大的激勵(lì)線圈在探測(cè)線圈處產(chǎn)生感應(yīng)電壓波。因此，利用兩個(gè)條形軟磁芯或單個(gè)矩形環(huán)型芯將提供更多的益處，尤其就信號(hào)處理的需求而言。
圖3A至3M是圖1中I-I線的截面圖，表示在印刷電路板中安置磁通閘門傳感器的過程。
首先，在第一銅箔21上粘結(jié)一個(gè)半固化片22和一個(gè)軟磁性膜24(見圖3A)。然后，通過利用一種感光油漆28和曝光，形成軟磁芯1和2(見圖3B)。然后，通過利用感光油漆28對(duì)軟磁性膜24進(jìn)行蝕刻過程而使軟磁芯1和2成型(見圖3C)。軟磁芯1和2的形成使得其長(zhǎng)度處于磁場(chǎng)的探測(cè)方向。接下來，在第一和第二軟磁芯1和2的上部粘結(jié)一個(gè)半固化片25和一個(gè)銅箔26(見圖3D)。然后，通過鉆孔，在由第一和第二軟磁芯1和2組成的第一基底上形成第一穿孔27，第一軟磁芯1和第二軟磁芯2分別位于第一和第二軟磁芯1和2之間(見圖3E)，并且對(duì)第一穿孔27的壁鍍以金屬(見圖3F)。之后，通過在外銅箔的兩側(cè)使用一種感光油漆和曝光，形成一種激勵(lì)線圈的圖案(見圖3G)。然后，通過利用感光油漆對(duì)銅箔26進(jìn)行蝕刻的過程而形成激勵(lì)線圈布線(3H)形成的激勵(lì)線圈具有聯(lián)體結(jié)構(gòu)，基本上以數(shù)字“8”的圖案將第一和第二軟磁芯1和2纏繞在一起。然后，將半固化片29和銅箔30連接到激勵(lì)線圈的兩側(cè)(圖3I)。接下來，對(duì)應(yīng)于第一穿孔27形成第二穿孔31，對(duì)第二穿孔31壁鍍以金屬。然后，利用感光油漆和曝光形成一個(gè)拾取線圈布線(圖3J)。拾取線圈4有一種形成在激勵(lì)線圈上的結(jié)構(gòu)，以大致螺線管型的圖案將第一和第二條形軟磁芯1和2纏繞在一起。然后，連接半固化片32和銅片33(圖3K)，并且通過曝光和蝕刻形成一個(gè)襯墊34(圖3L)，用外界導(dǎo)體。用金35鍍覆銅襯墊34(圖3M)。
圖4A和4B是根據(jù)本發(fā)明第一優(yōu)選實(shí)施例的印刷電路板上磁通閘門傳感器的平面圖。圖4A是平行放置在同一平面上的兩個(gè)條形軟磁芯、以及以數(shù)字“8”的圖案將兩個(gè)條形軟磁芯纏繞在一起的聯(lián)體結(jié)構(gòu)的激勵(lì)線圈平面圖，圖4B是基本上以螺線管圖案纏繞在軟磁芯上的拾取線圈的平面圖，圖4C是放置在同一平面上的矩形環(huán)狀軟磁芯以及纏繞矩形環(huán)型軟磁芯的聯(lián)體結(jié)構(gòu)的激勵(lì)線圈的平面圖，圖4D是基本上以螺線管圖案形成在圖4C所示矩形環(huán)型軟磁芯上的拾取線圈的平面圖。
圖5是集成在根據(jù)本發(fā)明第二優(yōu)選實(shí)施例的印刷電路板中的磁通閘門傳感器示意圖。在磁通閘門傳感器中，有彼此平行放置的第一和第二條形軟磁芯1和2，激勵(lì)線圈3單獨(dú)纏繞在第一和第二軟磁芯1和2的每一個(gè)上。換言之，激勵(lì)線圈3具有分體結(jié)構(gòu)。拾取線圈4纏繞在激勵(lì)線圈3上，將第一和第二條形軟磁芯1和2纏繞在一起?；蛘?，拾取線圈4可以纏繞在激勵(lì)線圈3上，分別纏繞第一和第二條形軟磁芯1和2。
同時(shí)，軟磁芯可以采取矩形環(huán)的形式，在這種情況下，激勵(lì)線圈3可以在磁場(chǎng)探測(cè)方向單獨(dú)地纏繞矩形環(huán)型軟磁芯的兩條長(zhǎng)邊，并且拾取線圈4基本上以螺線管圖案將矩形環(huán)型軟磁芯的兩條長(zhǎng)邊纏繞在一起，實(shí)現(xiàn)相同的感應(yīng)電壓偏置效果?；蛘?，拾取線圈4可以以螺線管圖案單獨(dú)地纏繞在矩形環(huán)型軟磁芯的兩條長(zhǎng)邊上。
這里，根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的拾取線圈4處探測(cè)到的感應(yīng)電壓類似于在根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的聯(lián)體結(jié)構(gòu)的激勵(lì)線圈處探測(cè)到的感應(yīng)電壓，即外磁場(chǎng)為零時(shí)在第一和第二實(shí)施例中預(yù)期有相同的感應(yīng)電壓的偏置效果。
圖6A和6B是根據(jù)本發(fā)明第二優(yōu)選實(shí)施例的印刷電路板中磁通閘門傳感器的平面圖。圖6A是平行放置在同一平面上的兩個(gè)條形軟磁芯和形成在兩個(gè)軟磁芯上的分體結(jié)構(gòu)的激勵(lì)線圈平面圖，圖6B是表示基本上以螺線圖案形成在軟磁芯上的拾取線圈的平面圖。圖6C是放置在同一平面上的矩形環(huán)型軟磁芯的平面圖，分體結(jié)構(gòu)的激勵(lì)線圈形成在矩形環(huán)型軟磁芯上；和圖6D是表示基本上以螺線管圖案形成在矩形環(huán)型軟磁芯的拾取線圈平面圖。
上述的磁通閘門傳感器可用在于各種應(yīng)用中，如通過陸地磁力探測(cè)的導(dǎo)航系統(tǒng)，地球磁力變化監(jiān)視器(地震預(yù)報(bào))，生物電測(cè)量和金屬缺陷的探測(cè)。至于間接應(yīng)用，磁通閘門傳感器還可以用在磁編碼器、非接觸式電位計(jì)、電流傳感器、力矩傳感器和位移傳感器中。
本發(fā)明的磁通閘門傳感器可以與其它傳感器和電路一起集成在印刷電路板中，使系統(tǒng)的整體尺寸大大減小。另外，因?yàn)閺母鱾€(gè)側(cè)芯感生的電壓被可變地驅(qū)動(dòng)，所以甚至在弱外磁場(chǎng)下也能保持很高的靈敏度。
另外，因?yàn)楦鶕?jù)本發(fā)明的磁通閘門傳感器可以以低于條形軟磁芯或環(huán)向磁芯的價(jià)格生產(chǎn)，所以能夠批量生產(chǎn)。
雖然以上描述了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，但本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該知道，本發(fā)明并不局限于此，在不脫離本發(fā)明由所附權(quán)利要求限定的實(shí)質(zhì)和范圍的前提下可以進(jìn)行各種變化和改型。
權(quán)利要求
1.一種磁通閘門傳感器，包括軟磁芯，形成在印刷電路板上，用以形成一條閉合的磁路；形成為金屬膜的激勵(lì)線圈，纏繞軟磁芯形；和形成在激勵(lì)線圈上的金屬膜拾取線圈，纏繞軟磁芯。
2.如權(quán)利要求1所述的磁通閘門傳感器，其特征在于軟磁芯包括兩條，以平行的關(guān)系放置在同一平面上。
3.如權(quán)利要求2所述的磁通閘門傳感器，其特征在于兩條磁芯的放置位置使得磁芯條的長(zhǎng)度處于磁場(chǎng)的探測(cè)方向。
4.如權(quán)利要求3所述的磁通閘門傳感器，其特征在于激勵(lì)線圈具有一種基本上以數(shù)字“8”的圖案交替纏繞兩個(gè)條形磁芯的結(jié)構(gòu)。
5.如權(quán)利要求4所述的磁通閘門傳感器，其特征在于拾取線圈具有一種形成在激勵(lì)線圈上的結(jié)構(gòu)，基本上以螺線管的圖案將兩條磁芯纏繞在一起。
6.如權(quán)利要求4所述的磁通閘門傳感器，其特征在于拾取線圈具有一種形成在激勵(lì)線圈上的結(jié)構(gòu)，大致以螺線管的圖案分別纏繞兩條磁芯。
7.如權(quán)利要求3所述的磁通閘門傳感器，其特征在于激勵(lì)線圈有一種基本以螺線管圖案分別纏繞兩條磁芯的結(jié)構(gòu)。
8.如權(quán)利要求7所述的磁通閘門傳感器，其特征在于拾取線圈具有一種形成在激勵(lì)線圈上的結(jié)構(gòu)，基本上以螺線管的圖案將兩條磁芯纏繞在一起。
9.如權(quán)利要求7所述的磁通閘門傳感器，其特征在于拾取線圈具有一種形成在激勵(lì)線圈上的結(jié)構(gòu)，大致以螺線管的圖案分別纏繞兩條磁芯。
10.如權(quán)利要求1所述的磁通閘門傳感器，其特征在于軟磁芯包括形成在同一平面上的一個(gè)矩形環(huán)。
11.如權(quán)利要求10所述的磁通閘門傳感器，其特征在于矩形環(huán)放置成其長(zhǎng)度處于磁場(chǎng)的探測(cè)方向。
12.如權(quán)利要求10所述的磁通閘門傳感器，其特征在于激勵(lì)線圈有一種基本上以數(shù)字“8”的圖案交替纏繞矩形環(huán)兩條長(zhǎng)邊的結(jié)構(gòu)。
13.如權(quán)利要求12所述的磁通閘門傳感器，其特征在于拾取線圈具有一種形成在激勵(lì)線圈上的結(jié)構(gòu)，基本上以螺線管的圖案將兩條磁芯纏繞在一起。
14.如權(quán)利要求12所述的磁通閘門傳感器，其特征在于拾取線圈具有一種形成在激勵(lì)線圈上的結(jié)構(gòu)，大致以螺線管的圖案分別纏繞兩條磁芯。
15.如權(quán)利要求11所述的磁通閘門傳感器，其特征在于激勵(lì)線圈有一種基本上以螺線管圖案單獨(dú)纏繞兩條長(zhǎng)邊的結(jié)構(gòu)。
16.如權(quán)利要求15所述的磁通閘門傳感器，其特征在于拾取線圈具有一種形成在激勵(lì)線圈上的結(jié)構(gòu)，基本上以螺線管的圖案將兩條磁芯纏繞在一起。
17.如權(quán)利要求15所述的磁通閘門傳感器，其特征在于拾取線圈具有一種形成在激勵(lì)線圈上的結(jié)構(gòu)，大致以螺線管的圖案分別纏繞兩條磁芯。
18.一種磁通閘門傳感器的制造方法，包括步驟在第一金屬片上粘貼一個(gè)半固化片和一個(gè)軟磁性膜；通過蝕刻軟磁性膜形成一個(gè)軟磁芯；通過在軟磁芯的上部粘合半固化片和第二金屬片而形成一個(gè)第一基底；在第一基底中遠(yuǎn)離軟磁芯一邊及另一邊的位置處形成第一穿孔；給第一穿孔電鍍金屬；通過蝕刻在基底的兩個(gè)表面上形成一個(gè)激勵(lì)線圈；通過在激勵(lì)線圈的兩部分上粘結(jié)半固化片和第三金屬片而形成第二基底；在第二基底中對(duì)應(yīng)于第一穿孔地形成第二穿孔；給第二穿孔電鍍金屬；通過蝕刻第二基底的兩個(gè)表面而形成一個(gè)拾取線圈；通過在拾取線圈的兩部分上粘結(jié)半固化片和第四金屬片形成第三基底；和通過蝕刻第三基底的兩個(gè)表面而形成一個(gè)導(dǎo)電性的襯墊。
19.如權(quán)利要求18所述的制造方法，其特征在于軟磁芯包括兩條，以平行的關(guān)系放置在同一平面上。
20.如權(quán)利要求19所述的制造方法，其特征在于兩條磁芯的放置位置使得磁芯條的長(zhǎng)度處于磁場(chǎng)的探測(cè)方向。
21.如權(quán)利要求20所述的制造方法，其特征在于激勵(lì)線圈具有一種基本上以數(shù)字“8”的圖案交替纏繞兩個(gè)條形磁芯的結(jié)構(gòu)。
22.如權(quán)利要求21所述的制造方法，其特征在于拾取線圈具有一種形成在激勵(lì)線圈上的結(jié)構(gòu)，基本上以螺線管的圖案將兩條磁芯纏繞在一起。
23.如權(quán)利要求21所述的制造方法，其特征在于拾取線圈具有一種形成在激勵(lì)線圈上的結(jié)構(gòu)，大致以螺線管的圖案分別纏繞兩條磁芯。
24.如權(quán)利要求20所述的制造方法，其特征在于激勵(lì)線圈有一種基本以螺線管圖案分別纏繞兩條磁芯的結(jié)構(gòu)。
25.如權(quán)利要求24所述的制造方法，其特征在于拾取線圈具有一種形成在激勵(lì)線圈上的結(jié)構(gòu)，基本上以螺線管的圖案將兩條磁芯纏繞在一起。
26.如權(quán)利要求24所述的制造方法，其特征在于拾取線圈具有一種形成在激勵(lì)線圈上的結(jié)構(gòu)，大致以螺線管的圖案分別纏繞兩條磁芯。
27.如權(quán)利要求18所述的制造方法，其特征在于軟磁芯包括一個(gè)矩形環(huán)。
28.如權(quán)利要求27所述的制造方法，其特征在于矩形環(huán)放置成其長(zhǎng)度處于磁場(chǎng)的探測(cè)方向。
29.如權(quán)利要求28所述的制造方法，其特征在于激勵(lì)線圈有一種基本上以數(shù)字“8”的圖案交替纏繞矩形環(huán)兩條長(zhǎng)邊的結(jié)構(gòu)。
30.如權(quán)利要求29所述的制造方法，其特征在于拾取線圈具有一種形成在激勵(lì)線圈上的結(jié)構(gòu)，基本上以螺線管的圖案將兩條磁芯纏繞在一起。
31.如權(quán)利要求29所述的制造方法，其特征在于拾取線圈具有一種形成在激勵(lì)線圈上的結(jié)構(gòu)，大致以螺線管的圖案分別纏繞兩條磁芯。
32.如權(quán)利要求28所述的制造方法，其特征在于激勵(lì)線圈有一種基本上以螺線管圖案單獨(dú)纏繞兩條長(zhǎng)邊的結(jié)構(gòu)。
33.如權(quán)利要求32所述的制造方法，其特征在于拾取線圈具有一種形成在激勵(lì)線圈上的結(jié)構(gòu)，基本上以螺線管的圖案將兩條磁芯纏繞在一起。
34.如權(quán)利要求32所述的制造方法，其特征在于拾取線圈具有一種形成在激勵(lì)線圈上的結(jié)構(gòu)，大致以螺線管的圖案分別纏繞兩條磁芯。
35.如權(quán)利要求18所述的制造方法，在形成磁通閘門傳感器的組件之前，還包括利用感光油漆和曝光對(duì)磁通閘門傳感器的各個(gè)組件形成一種圖案的步驟。
36.如權(quán)利要求18所述的制造方法，還包括用金電鍍襯墊的步驟。
全文摘要
一種集成在印刷電路板中的磁通閘門傳感器。該磁通閘門傳感器有兩個(gè)條形或矩形環(huán)形軟磁芯，用以在印刷電路板上形成一條閉合磁路，金屬膜形式的激勵(lì)線圈纏繞兩個(gè)條形軟磁芯，既可以是將兩個(gè)條形軟磁芯纏繞在一起的聯(lián)體結(jié)構(gòu)，也可以是分別纏繞兩個(gè)條形軟磁芯的分體結(jié)構(gòu)，二者均以數(shù)字“8”的圖案纏繞。拾取線圈安置在激勵(lì)線圈上，既可以是將兩條纏繞到一起，也可以分別纏繞，但都以螺線管的圖案纏繞?？梢砸缘土闹圃斐杀九恐圃旒稍谟∷㈦娐钒逯械拇磐ㄩl門傳感器。該磁通閘門傳感器也可以制造得很緊湊，并且同時(shí)能夠形成一條閉合磁路。結(jié)果，磁通量的泄漏減到最小，該磁通閘門傳感器在通過變化驅(qū)動(dòng)探測(cè)磁場(chǎng)時(shí)有很高的靈敏度。
文檔編號(hào)G01R33/04GK1444237SQ02150380
公開日2003年9月24日 申請(qǐng)日期2002年11月8日 優(yōu)先權(quán)日2002年3月13日
發(fā)明者崔源悅, 高秉天, 羅敬遠(yuǎn), 崔相彥, 姜明杉, 樸建陽(yáng) 申請(qǐng)人:三星電機(jī)株式會(huì)社