專利名稱：一體化安裝結(jié)構(gòu)的硅壓阻式壓力傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及的是一種是由硅壓力芯體和外部接口封裝的采用螺紋一體化安裝結(jié)構(gòu)的硅壓阻式壓力傳感器，被測(cè)介質(zhì)的壓力是通過(guò)外部接口傳遞給硅壓力芯體。屬于儀表測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域。
附圖
是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖圖中的1是螺紋(M20X1.5)、2是主體、3是焊環(huán)、4是膜片、5是硅油、6是芯片、7是瓷環(huán)、8是墊片、9是補(bǔ)償板、10是引腳、11是引線、12是安裝孔。
本實(shí)用新型采用螺紋一體化安裝結(jié)構(gòu)方式。由硅壓力芯體、“O”型圈、壓力接頭三部分組成。引腳10和主體2通過(guò)玻璃絕緣子燒結(jié)一起，瓷環(huán)7安裝在引腳上，芯片6粘貼在主體2的中心部位，芯片6和引腳10由金絲通過(guò)超聲焊接一起，主體2、焊環(huán)3和膜片4由激光焊接一起，墊片8墊在補(bǔ)償板9的下面，補(bǔ)償板9安在引腳10上用錫焊在一起，引線11焊在補(bǔ)償板上用于測(cè)試。主體2上有兩個(gè)安裝孔12，有M20X1.5螺紋安裝極其方便，安裝在進(jìn)壓頭上組成標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)輸出的變送器上，也可安裝在壓力測(cè)試點(diǎn)上。
權(quán)利要求1.一體化安裝結(jié)構(gòu)的硅壓阻式壓力傳感器，其特征是由螺紋(1)、主體(2)和焊環(huán)(3)、膜片(4)、硅油(5)、芯片(6)、瓷環(huán)(7)、墊片(8)、補(bǔ)償板(9)、引腳(10)、引線(11)組成，其中引腳(10)和主體(2)通過(guò)玻璃絕緣子燒結(jié)一起，瓷環(huán)(7)安裝在引腳(10)上，芯片(6)粘貼在主體(2)的中心部位，芯片(6)和引腳(10)由金絲通過(guò)超聲焊接一起，主體(2)、焊環(huán)(3)和膜片(4)由激光焊接一起，墊片(8)墊在補(bǔ)償板(9)的下面，補(bǔ)償板(9)安裝在引腳(10)上用錫焊在一起，引線(11)焊在補(bǔ)償板(9)上，主體(2)上有兩個(gè)安裝孔(12)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及的是一種是由硅壓力芯體和外部接口封裝的采用螺紋一體化安裝結(jié)構(gòu)的硅壓阻式壓力傳感器，被測(cè)介質(zhì)的壓力是通過(guò)外部接口傳遞給硅壓力芯體。屬于儀表測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域。由螺紋、主體和焊環(huán)、膜片、硅油、芯片、瓷環(huán)、墊片、補(bǔ)償板、引腳、引線組成，其中引腳和主體通過(guò)玻璃絕緣子燒結(jié)一起，瓷環(huán)安裝在引腳上，芯片粘貼在主體的中心部位，芯片和引腳由金絲通過(guò)超聲焊接一起，主體、焊環(huán)和膜片由激光焊接一起，墊片墊在補(bǔ)償板的下面，補(bǔ)償板安裝在引腳上用錫焊在一起，引線焊在補(bǔ)償板上，主體上有兩個(gè)安裝孔。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)由于主體上有兩個(gè)安裝孔，并用的是M20X1.5螺紋，所以安裝方便，它不但可安裝在進(jìn)壓頭上組成標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)輸出的變送器，而且也可安裝在壓力測(cè)試點(diǎn)上。
文檔編號(hào)G01L9/06GK2540627SQ0222046
公開(kāi)日2003年3月19日 申請(qǐng)日期2002年5月10日 優(yōu)先權(quán)日2002年5月10日
發(fā)明者李維平, 佘德群, 高峰, 趙建立, 黃標(biāo) 申請(qǐng)人:李維平, 佘德群, 高峰, 趙建立, 黃標(biāo)