專利名稱：導(dǎo)電性接頭的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及導(dǎo)電性接頭，該導(dǎo)電性接頭是為了在印刷配線板或電子元件等之間交接電氣信號而使用的。
背景技術(shù)：
以往，在用于對印刷配線板的導(dǎo)體點陣或電子元件等進行電氣性檢查的接觸傳感器中所使用的導(dǎo)電性接頭上，具有導(dǎo)電性針狀體和在軸線方向自由位移地收納該針狀體的筒狀的保持器，使針狀體的前端向從保持器的前端突出的方向通過螺旋彈簧進行彈壓，使針狀體的前端與被測定物彈性接觸。
另外，與半導(dǎo)體相關(guān)的硅晶片或陶瓷插件、在液晶領(lǐng)域的玻璃制面板等是由硬度高的材料形成的。在這些之中，設(shè)置有電氣配線，在制造過程中進行電氣性檢查。在其檢查中使用導(dǎo)電性接頭(接觸傳感器)，使導(dǎo)電性接頭與電氣配線的端子部等接觸，導(dǎo)通規(guī)定的電氣信號。
但是，在作為被接觸體的被檢查體的材質(zhì)是上述那樣的較硬的情況下，在使用由以往的SK材料等構(gòu)成的針狀體的接觸傳感器中，存在著伴隨使用頻度的增大，與接觸傳感器的被檢查體的接觸部(前端部)或是磨損、或是變形，無法得到穩(wěn)定的接觸電阻的情況。在該情況下，需要進行針狀體的早期更換，因此存在著檢查裝置的運行成本高漲化的問題。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述課題，提供耐磨損性以及耐久性優(yōu)異的導(dǎo)電性接頭，在本發(fā)明中，提出了一種導(dǎo)電性接頭，具有導(dǎo)電性針狀體和螺旋彈簧，該螺旋彈簧用于將上述針狀體向使上述針狀體的前端部與被接觸體接觸的方向彈壓，其特征在于，在上述針狀體的上述前端部將難以氧化的耐磨損性高的導(dǎo)電性物質(zhì)一體化。
據(jù)此，可以使針狀體的前端部成為難以氧化且耐磨損性高的物質(zhì)，即使是在被檢查體是由硬度高的材料構(gòu)成的情況下，因為也可以防止針狀體的前端部的或是磨損，或是變形，所以可以提高針狀體的耐磨損性以及耐久性。據(jù)此，也能得到穩(wěn)定的接觸電阻。
特別是，根據(jù)使上述針狀體的至少上述導(dǎo)電性物質(zhì)沒有被一體化的剩余的部分通過導(dǎo)電率高的物質(zhì)進行電鍍，即使以難以氧化的耐磨損性高的特性為優(yōu)先，使用導(dǎo)電率并不十分高的導(dǎo)電性物質(zhì)，也可以從針狀體的前端部到與螺旋彈簧的結(jié)合部之間，用導(dǎo)電率高的物質(zhì)進行電鍍，從而可以確保從針狀體傳遞到螺旋彈簧的導(dǎo)電路徑的低電阻化。
另外，根據(jù)上述導(dǎo)電性物質(zhì)是銥、氮化鈦、銠、氮化鉿中的任意一種，或是各自與金或鉑的合金中的任意一種，可以發(fā)揮銥、氮化鈦、銠、氮化鉿所謂的質(zhì)地硬、難以受到熱或酸的影響以及接觸電阻穩(wěn)定的特征，提高針狀體的前端部的耐磨損性以及耐久性，可以得到因穩(wěn)定的機械接觸而產(chǎn)生的導(dǎo)通狀態(tài)(接觸電阻穩(wěn)定化等)。
另外，通過將上述銥、氮化鈦、銠、氮化鉿中的任意一種、或是各自與金或鉑的合金中的任意一種，介于為了防止剝離的襯底層而設(shè)置，即使是在直接涂覆各物質(zhì)、其強度不足的情況下，也可以介于襯底層與針狀體牢固地一體化，可以提供不存在任何問題就提高了耐磨損性以及耐久性的導(dǎo)電性接頭。
另外，根據(jù)基于上述導(dǎo)電率高的物質(zhì)的電鍍是鍍金，即使是對導(dǎo)電性物質(zhì)優(yōu)先其難以氧化的耐磨損性高的特性、使用導(dǎo)電率并不十分高的物質(zhì)，也可以提高作為針狀體的電導(dǎo)率。
特別是，根據(jù)在上述針狀體的全體上設(shè)置上述鍍金，且上述銥、氮化鈦、銠、氮化鉿中的任意一種、或是各自與金或鉑的合金中的任意一種，介于為了防止剝離的襯底層而設(shè)置在上述鍍金之上，通過在針狀體的全體上設(shè)置的鍍金，可以較高地穩(wěn)定保持針狀體全體的良好的導(dǎo)電率，通過介于襯底層將銥等的各物質(zhì)涂覆在針狀體上等，從而可以牢固地一體化。另外，通過銥等的各物質(zhì)的下層的鍍金也可以導(dǎo)電，從而可以得到更進一步良好的電氣特性。
再有，根據(jù)在上述銥、氮化鈦、銠、氮化鉿中的任意一種、或是各自與金或鉑的合金中的任意一種上設(shè)置鍍金層，可以確保因銥等的各物質(zhì)而帶來的耐磨損性的提高，且通過鍍金層可以將針狀體全體的電阻抑制在較低水平。即使鍍金層磨損·變形，使下層的銥等的各物質(zhì)露出，也因為在其露出的周圍就存在鍍金層，所以可以確保針狀體全體的導(dǎo)電率增高。


圖1是表示在適用于本發(fā)明的接觸傳感器中所使用的導(dǎo)電性接頭的縱剖視圖。
圖2是與表示接觸狀態(tài)的圖1相對應(yīng)的圖。
圖3是表示銥層的涂覆狀態(tài)的針狀體重要部位的擴大部分的剖視圖。
圖4是表示噴鍍要領(lǐng)的說明圖。
圖5的(a)、(b)、(c)是分別表示針狀體的前端部的不同形狀的重要部位的擴大立體圖。
圖6是表示基于本發(fā)明的其他例的與圖3相對應(yīng)的圖。
圖7是表示與圖3相對應(yīng)的進一步其他例的圖。
具體實施例方式
下面，參照附圖，詳細說明本發(fā)明的實施方式。
圖1是表示在適用于本發(fā)明的接觸傳感器中所使用的導(dǎo)電性接頭1的縱剖視圖。本導(dǎo)電性接頭1也可以單獨使用，例如介于中繼基板，在與安裝在用于晶片分級實驗的檢查機上的插件板一體化的保持器(頭部)上，通過相互并列配設(shè)多個，適用于作為多點同時測定用接觸傳感器而使用。另外，圖是模式表示，徑向和軸向的比與實際尺寸不同。
本導(dǎo)電性接頭1是由導(dǎo)電性針狀體2、壓縮螺旋彈簧3、大徑保持器孔4a以及小徑保持器孔4b構(gòu)成，該大徑保持器孔4a以及小徑保持器孔4b是在由可收納這些的絕緣材料構(gòu)成的保持器4上，相互同軸設(shè)置的。導(dǎo)電性針狀體2是由前端尖銳地形成的針狀部2a；在針狀部2a的后端側(cè)，與針狀部2a相比被擴徑的法蘭部2b；從法蘭部2b向與針狀部2a相反的方向(在圖中的下方)突出，且形成為小徑的軸部2c構(gòu)成，在各自的圓形剖面相互同軸地形成。
另外，在導(dǎo)電性針狀體2的軸部2c的法蘭部2b側(cè)，設(shè)置被略微擴徑后的擴徑部2d，壓縮螺旋彈簧3的一端部以彈性纏繞壓縮狀態(tài)與該擴徑部2d結(jié)合。這樣，壓縮螺旋彈簧3與導(dǎo)電性針狀體2連結(jié)。還有，在相對于擴徑部2d的壓縮螺旋彈簧3的一端部的結(jié)合時，并非僅限于上述彈性纏繞狀態(tài)，例如也可以是焊接。對于該壓縮螺旋彈簧3的纏繞方法，如圖所示，是與上述擴徑部2d結(jié)合的一端部為密圈，中間部為稀疏，在另一方的螺旋端部側(cè)，設(shè)置規(guī)定長的緊密纏繞部3a。
通過保持器4的小徑保持器孔4b，在軸線方向可以自由往復(fù)運動地支撐針狀部2a的圓柱狀部分，在大徑保持器孔4a內(nèi)，收納有法蘭部2b·擴徑部2d·軸部2c和壓縮螺旋彈簧3。另外，在保持器4的圖中的下面，安裝有中繼基板5，以阻塞大徑保持器孔4a的開口面。還有，中繼基板5通過沒有圖示的螺絲等，被一體固定在保持器4上。在該中繼基板5上，設(shè)置具有與大徑保持器孔4a相鄰的端子面的基板內(nèi)配線5a。
如圖所示，在使保持器4和中繼基板5一體化組裝的狀態(tài)下，在由小徑保持器孔4b和大徑保持器孔4a而形成的肩部4c上，通過法蘭部2b的碰撞，防止了導(dǎo)電性針狀體2的脫落。在該狀態(tài)下，將大徑保持器孔4a的軸線方向的長度設(shè)定為通過壓縮變形，可以在壓縮螺旋彈簧3上產(chǎn)生規(guī)定的初期負載的程度，同時，在圖的初期狀態(tài)(非檢查狀態(tài))下，將軸部2c和緊密纏繞部3a的各軸線方向的長度設(shè)定為使軸部2c的端部(在圖中的下端部)與緊密纏繞部3a接觸。
這樣，如圖2所示，通過使針狀部2a的前端與作為被接觸體的檢查對象的例如晶片6的Au或Cu或Al制的墊片6a接觸，將從晶片6側(cè)得到的電氣信號I從針狀體2，介于壓縮螺旋彈簧3，傳遞到中繼基板5。進而，經(jīng)例如與中繼基板5結(jié)合的無圖示的交換器，傳遞到無圖示的控制裝置，從而可以進行規(guī)定的檢查。
另外，如上所述，在初期狀態(tài)，軸部2c與緊密纏繞部3a接觸，而且，在檢查時，如圖2所示，軸部2c和緊密纏繞部3a切實地接觸。電氣信號I如圖所示，在軸線方向流經(jīng)導(dǎo)電性針狀體2，被傳遞到緊密纏繞部3a，且可以推測出，即使在緊密纏繞部3a中，也會沿壓縮螺旋彈簧3的軸線流動。據(jù)此，因為可以推測出流經(jīng)壓縮螺旋彈簧3的疏圈部3b很少，即螺旋狀流動很少，所以在低電感化方面有效。
對于基于本發(fā)明的導(dǎo)電性接頭1，在其導(dǎo)電性針狀體2的全體上，如圖3所示，是介于Ni襯底層7a，設(shè)置鍍金層8，進而，在其針狀部2a上，介于Ni襯底層7b，將銥層9設(shè)置在鍍金層8上。因此，針狀部2a的外面是由銥層9形成的。另外，介于Ni襯底層7a，設(shè)置鍍金層8是為了提高鍍金層8的密封性。另外，銥層9是由銥或銥合金構(gòu)成的。
表示上述各層的形成的一例。首先，例如通過鐵類的高硬度材料或銅合金材料或是貴金屬合金材料形成在同軸上具有針狀部2a·法蘭部2b·軸部2c·擴徑部2d的針狀體2，在該針狀體2上，對其全體電鍍Ni，形成上述Ni襯底層7a，進而，在其上面電鍍作為導(dǎo)電率高的物質(zhì)的耐腐蝕性優(yōu)異的金，形成鍍金層8。
接著，使象那樣形成了鍍金層8的導(dǎo)電性針狀體2，如圖4所示，通過夾具10支撐針狀部2a的基端部(法蘭部2b側(cè))，使從夾具10露出的針狀部2a與上述相同，例如形成厚度約1μm以下的Ni襯底層7b，使呈通過夾具10支撐狀態(tài)的針狀部2a向Ir電極對電極11露出，從上方以及側(cè)方進行噴鍍。這樣一來，通過作為難以氧化的耐磨損性高的導(dǎo)電性物質(zhì)的銥Ir(或者銥合金也可以)的噴鍍，形成覆蓋針狀部2a的全體的例如厚度約為0.5μm以下的銥層9。另外，對于因夾具10的針狀部2a的支撐，也可以是在圖4中的通過夾具10夾住針狀部2a，在通過夾具鉤掛支撐法蘭部2b的情況下，可以或是使圖4呈橫置狀態(tài)，或是上下逆轉(zhuǎn)。
另外，在上述圖示例中，表示了銥，根據(jù)本發(fā)明，并非僅限于銥，作為能達到其他的同等效果的物質(zhì)，也可以是氮化鈦(TiN)、銠(Rh)、氮化鉿(HfN)中的任意一種。氮化鈦通過將代替在上述圖示例中的銥的氮化鈦作為電極對電極進行置換，可以形成同樣的氮化鈦層。另外，對于銠，通過在鉑(Pt)與銠的混合環(huán)境中的噴鍍，同樣可以形成鉑與銠的合金層。
另外，對于氮化鈦、氮化鉿，通過在氮素環(huán)境中，同時噴鍍鉑(Pt)或金(Au)及氮化鈦或氮化鉿，同樣可以形成氮化鈦或氮化鉿與金或鉑的合金層。象這樣，即使是在代替上述銥層9而形成的氮化鈦層或銠層或氮化鉿層中，也可以發(fā)揮與上述銥層9同等的特性，可以使針狀體2的前端部成為具有導(dǎo)電性，且難以氧化的耐磨損性高的物質(zhì)。
通過這樣一來，就可以發(fā)揮作為銥、氮化鈦、銠、氮化鉿的特征的較硬、難以受到熱或酸的影響以及接觸電阻穩(wěn)定的這一效果，提高了在針狀部2a的特別是前端部的耐磨損性以及耐久性，可以得到穩(wěn)定的機械接觸的導(dǎo)通狀態(tài)(接觸電阻一定化等)。另外，如上所述，由于通過電鍍或噴鍍，可以形成合金層或金屬層，而無需改變(設(shè)計變更)現(xiàn)有的導(dǎo)電性針狀體2的形狀，即能達到上述效果，所以可抑制制造成本的上升。
另外，因為僅對由于沖擊或按壓而產(chǎn)生的磨損或變形的部分進行硬化處理(在上述例中的銥層的形成)即可，所以對于沒有進行硬化處理的作為剩余部分的其他部分，可以通過象鍍金那樣，用導(dǎo)電率更高的材質(zhì)形成表面。例如，因為對于相對于擴徑部2d的呈壓縮螺旋彈簧3的壓入狀態(tài)的部分，設(shè)置鍍金層8，所以可以較低地抑制與壓縮螺旋彈簧3的壓入部分的接觸電阻。因此，即使是在電氣信號I的一部分流入壓縮螺旋彈簧3的壓入部分的情況下，也可以減小因其接觸電阻而造成的影響。
根據(jù)圖2中所示的電氣信號I的流動，電氣信號I是介于針狀體2的軸部2c與螺旋彈簧3的緊密纏繞部3a的接觸部流動的。在該情況下，對于針狀體2，通過皮層效應(yīng)，使電氣信號在鍍金層8上流動。另外，雖然在針狀部2a的前端部，電氣信號要在銥層9上流動，但由于在針狀部2a的下層設(shè)置了鍍金層8，所以也可以介于該鍍金層8流動。象這樣，可以發(fā)揮在針狀體2的全體上設(shè)置鍍金層8的效果。另外，通過將鍍金層8設(shè)置在軸部2c上，在焊接螺旋彈簧3的情況下的焊接性良好。另外，通過鍍金可以確保耐腐蝕性，無需考慮導(dǎo)電性或耐腐蝕性，就可以比較自由地選擇針狀體2的材料。
另外，在上述銥層9形成之前，形成了Ni襯底層7b，這是因為在作為難以氧化的耐磨損性高的導(dǎo)電性物質(zhì)，使用銥的情況下，難以進行直接將銥涂覆在鍍金層8上的處理。通過使Ni襯底層7b介在，可以大幅提高銥的涂覆強度(耐剝離性)。另外，襯底層7b并不僅限于Ni，只要是能提高銥的耐剝離性的物質(zhì)，其他的材質(zhì)也可以。
這樣一來，由于在針狀體2的前端部的表面設(shè)置銥層9，得到了如下的實驗結(jié)果例如，與玻璃基板100萬次接觸時的磨損部分的直徑，在表面為鍍金時，為約20μm以上，相對于顯露出襯底的金屬，在涂覆銥時，為約5μm以下，且銥層9的磨損也小。
關(guān)于上述圖示例的針狀部2a的前端形狀，是圖示的尖銳的圓錐狀，但并非僅限于該形狀。也可以適用于例如圖5所示的各種前端形狀。圖5(a)是前端帶圓的圓錐狀，圖5(b)是設(shè)置有多個角狀部的形狀，圖5(c)是設(shè)置有平坦面的形狀。這些都是適用于與被接觸體的形狀相對應(yīng)的形狀，例如圖5(c)適宜與焊接球接觸。
進一步，通過將噴鍍方向限定在以圖5(a)為代表所示的箭頭S上，可以僅在朝向噴鍍方向的各面12a·12b·12c(針狀體的前端部)上形成銥層。在這些情況下，可以僅在與被接觸體接觸的面上設(shè)置銥層，可以降低材料成本。
另外，在上述圖示例中，就一端可動型的導(dǎo)電性接頭進行了表示，對于本發(fā)明，不用說也可以適用于在壓縮螺旋彈簧的兩螺旋端部，分別設(shè)置有導(dǎo)電性針狀體的兩端可動型的導(dǎo)電性接頭，或單片支撐導(dǎo)電性針狀體，呈梁狀的物質(zhì)等。在這些情況下，在至少針狀體的前端部(與被接觸體接觸的部分)，只要將銥等的難以氧化的耐磨損性高的導(dǎo)電性物質(zhì)一體化設(shè)置即可。
另外，如圖6所示，也可以在形成銥層9后，進一步進行鍍金，在最外層設(shè)置鍍金層13。通過這樣一來，可以進一步通過銥層9，確保耐磨損性，同時，通過鍍金層13，可以尋求針狀體2的耐腐蝕性以及低電阻化，可以提供耐磨損性高且接觸電阻更進一步穩(wěn)定的針狀體2。進而，即使鍍金層13發(fā)生磨損·變形，露出下層的銥層9，由于在其露出的周圍，就存在鍍金層13，所以可以確保針狀體2全體的導(dǎo)電率增高。
另外，在上述各圖示例中，是在針狀體2的全體上設(shè)置鍍金層8，在全體設(shè)置有鍍金層8的狀態(tài)的針狀體2的前端部上形成了銥層9，也可以在設(shè)置有銥層9的部分上不設(shè)置鍍金層8。即，只要至少在沒有設(shè)置銥層9的部分上(在圖示例中的法蘭部2b·擴徑部2d·軸部2c)，設(shè)置鍍金層即可。
圖7表示其一例。還有，圖7與圖3相對應(yīng)，在相同的部分賦予相同的符號，省略其詳細說明。如圖所示，在針狀體2的全體上設(shè)置Ni襯底層7a，在針狀部2a的部分形成銥層9。在沒有設(shè)置該銥層9的部分上(法蘭部2b·擴徑部2d·軸部2c)設(shè)置鍍金層8。不管這些各層8·9的形成順序，只要在分別的形成中，可以覆蓋另一方的部分即可。在圖7所示的情況下，電氣信號可以流過銥層9后向鍍金層8傳遞流動。另外，在與圖5相對應(yīng)的情況下，可以從鍍金層13向鍍金層8傳遞，可以充分發(fā)揮鍍金所帶來的電氣特性。
以上，就特定的實施例，對本發(fā)明進行了說明，若是該從業(yè)人員，只要不脫離權(quán)利要求所述的本發(fā)明的概念，就可以進行各種變形·變更。
從上述說明即可明確，根據(jù)本發(fā)明，針狀體的材質(zhì)不采用特殊的物質(zhì)，就可以使其前端部成為難以氧化的以及耐磨損性高的物質(zhì)，可以容易地提高導(dǎo)電性接頭的耐磨損性以及耐久性。另外，作為那樣的材料，即使使用例如銥?zāi)菢拥膶?dǎo)電率不十分高的物質(zhì)，也由于至少對針狀體的剩余部分用導(dǎo)電率高的物質(zhì)進行了電鍍，所以也可以確保從針狀體傳遞到螺旋彈簧的導(dǎo)電路徑的低電阻化。特別是，由于導(dǎo)電率高的物質(zhì)的電鍍?yōu)殄兘?，所以可以長期得到穩(wěn)定的電氣特性。因此，延長了針狀體的耐久性，能得到運轉(zhuǎn)成本的低廉化。
特別是，通過在對針狀體的全體進行鍍金，同時，介于為了防止剝離的襯底層，設(shè)置了銥、氮化鈦、銠、氮化鉿中的任意一種，或是各自與金或鉑的合金中的任意一種，即使針狀體的材質(zhì)為例如以往所使用的SK材料的情況下，也可以通過鍍金，使從針狀體的前端部到螺旋彈簧之間為低電阻化，同時，通過相對于鍍金，介于襯底層，可以牢固地涂覆銥等的各物質(zhì)。據(jù)此，在針狀體上，可以發(fā)揮作為銥等的各物質(zhì)的特征的較硬、難以受到熱或酸的影響以及接觸電阻穩(wěn)定這一效果，同時，通過鍍金，可以得到使導(dǎo)電率高且穩(wěn)定。
而且，通過在銥等的各物質(zhì)上設(shè)置鍍金層，可以確保因銥等的各物質(zhì)所帶來的耐磨損性的增大，且通過鍍金層，可以將針狀體全體的電阻抑制到較低。在該情況下，即使鍍金層發(fā)生磨損·變形，露出下層的銥等的各物質(zhì)，也由于在該露出的周圍就存在鍍金層，從而可以確保針狀體全體的導(dǎo)電率增高。
權(quán)利要求
1.一種導(dǎo)電性接頭，具有導(dǎo)電性針狀體和螺旋彈簧，該螺旋彈簧用于將上述針狀體向使上述針狀體的前端部與被接觸體接觸的方向彈壓，其特征在于，在上述針狀體的上述前端部將難以氧化的耐磨損性高的導(dǎo)電性物質(zhì)一體化。
2.如權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電性接頭，其特征在于，使上述針狀體的至少上述導(dǎo)電性物質(zhì)沒有被一體化的剩余的部分通過導(dǎo)電率高的物質(zhì)進行電鍍。
3.如權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電性接頭，其特征在于，上述導(dǎo)電性物質(zhì)是銥、氮化鈦、銠、氮化鉿中的任意一種，或是各自與金或鉑的合金中的任意一種。
4.如權(quán)利要求3所述的導(dǎo)電性接頭，其特征在于，上述銥、氮化鈦、銠、氮化鉿中的任意一種，或是分別與金或鉑的合金中的任意一種，介于為了防止剝離的襯底層而設(shè)置。
5.如權(quán)利要求2所述的導(dǎo)電性接頭，其特征在于，上述導(dǎo)電性物質(zhì)是銥、氮化鈦、銠、氮化鉿中的任意一種，或是分別與金或鉑的合金中的任意一種。
6.如權(quán)利要求5所述的導(dǎo)電性接頭，其特征在于，上述銥、氮化鈦、銠、氮化鉿中的任意一種，或是分別與金或鉑的合金中的任意一種，介于為了防止剝離的襯底層而設(shè)置。
7.如權(quán)利要求2所述的導(dǎo)電性接頭，其特征在于，基于上述導(dǎo)電率高的物質(zhì)的電鍍是鍍金。
8.如權(quán)利要求7所述的導(dǎo)電性接頭，其特征在于，上述導(dǎo)電性物質(zhì)是銥、氮化鈦、銠、氮化鉿中的任意一種，或是分別與金或鉑的合金中的任意一種。
9.如權(quán)利要求8所述的導(dǎo)電性接頭，其特征在于，在上述針狀體的全體上設(shè)置上述鍍金，且上述銥、氮化鈦、銠、氮化鉿中的任意一種，或是分別與金或鉑的合金中的任意一種，介于為了防止剝離的襯底層而設(shè)置。
10.如權(quán)利要求9所述的導(dǎo)電性接頭，其特征在于，在上述銥、氮化鈦、銠、氮化鉿中的任意一種，或是在分別與金或鉑的合金中的任意一種上設(shè)置鍍金層。
全文摘要
關(guān)于根據(jù)本發(fā)明的導(dǎo)電性接頭，其特征在于，是在導(dǎo)電性針狀體(2)上介于Ni襯底層(7a)設(shè)置鍍金層(8)，而且在針狀部(2a)中，在鍍金層(8)的上面形成Ni襯底層(7b)，通過噴鍍設(shè)置銥層(9)(或氮化鈦層或銠層或氮化鉿層)，在針狀體的材質(zhì)上不采用特殊的物質(zhì)，就可以使前端部的難以氧化以及耐磨損性提高，延長了針狀體的耐久性，能得到運轉(zhuǎn)成本的低廉化。
文檔編號G01R1/067GK1529818SQ0281431
公開日2004年9月15日 申請日期2002年7月1日 優(yōu)先權(quán)日2001年7月2日
發(fā)明者風(fēng)間俊男 申請人:日本發(fā)條株式會社