專利名稱：位置測量裝置及運(yùn)行位置測量裝置的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種按權(quán)利要求1前序部分所述的位置測量裝置。此外本發(fā)明還涉及一種按權(quán)利要求19前序部分所述的、用于運(yùn)行位置測量裝置的方法。
除了有關(guān)兩個(gè)互相移動(dòng)物體的相對偏差的增量信號之外，公知的位置測量裝置常常也提供所謂的參考脈沖信號。在互相移動(dòng)物體的規(guī)定的相對位置上，通過這些信號可以建立位置測量的一個(gè)確切的絕對基準(zhǔn)。為了生成參考脈沖信號，在位置測量裝置的刻度尺方面在一個(gè)或多個(gè)位置上安排了具有參考標(biāo)記的區(qū)段。關(guān)于刻度尺上的參考標(biāo)記的布置存在著一系列公知的可能性。
因此例如從US 4,263,506中公開了，側(cè)向相鄰于具有增量刻度的刻度跡線來布置刻度尺上的參考標(biāo)記。但是在此成問題的是，在刻度尺和掃描單元圍繞垂直于刻度尺平面或掃描平面的軸線的可能扭轉(zhuǎn)的情況下，通常不再確保向增量信號的某個(gè)周期正確地分配參考脈沖信號。
除此之外，正象例如在US 3,985,448中所建議的那樣，也可能將參考標(biāo)記直接集成到具有增量刻度的跡線中，并于是直接從增量刻度中導(dǎo)出參考脈沖信號。這種裝置尤其提供在向增量信號分配參考脈沖信號方面的優(yōu)點(diǎn)，因?yàn)樵诳潭瘸吆蛼呙鑶卧纳鲜雠まD(zhuǎn)的情況下也總是保持確保正確的分配。在刻度尺上的所希望的參考位置上，在增量刻度中例如增量刻度的一個(gè)或多個(gè)略去的凸線或刻線可以用作為參考標(biāo)記，即具有增量刻度的跡線在一個(gè)或多個(gè)規(guī)定的位置上具有涉及光學(xué)特性的不連續(xù)性，以便生成參考脈沖信號。
此外從DE 35 36 466 A1中或從US 4,866,269中公開了關(guān)于參考標(biāo)記集成到具有增量刻度的跡線中的其它變型方案。在這些文獻(xiàn)中建議了，在增量刻度中將參考標(biāo)記構(gòu)成為非周期性的刻線序列或凸線序列，或又將具有變化的光學(xué)特性的區(qū)域用作為區(qū)別于其余增量刻度的參考標(biāo)記。
但是在將參考標(biāo)記集成到增量刻度中時(shí)原則上已證明成問題的是，在該位置上的周期性的增量信號也因此受到干擾，因?yàn)槿藗儽黄缺ＷC參考脈沖信號的足夠的檢測可靠性。尤其在希望增量信號的高度內(nèi)插性的情況下，該內(nèi)插性又以同一增量信號的盡可能良好的信號質(zhì)量為前提，如果在參考位置上的該增量信號顯著地偏離理想的信號形狀，則會(huì)產(chǎn)生困難。
此外從DE 41 11 873 C2中公開了，從跡線中生成一個(gè)參考脈沖信號，布置了該跡線僅僅用于生成刻度尺上的區(qū)域信息，即用于識(shí)別，掃描單元正好位于刻度尺參考位置的哪一側(cè)上。在兩個(gè)不同區(qū)域之間的過渡處，從相應(yīng)的區(qū)域信號中也可以生成參考脈沖信號。但是在此成問題的是在該位置上正確檢測參考脈沖信號。
本發(fā)明的一個(gè)第一任務(wù)所以就是創(chuàng)造一種位置測量裝置，該位置測量裝置實(shí)現(xiàn)從具有增量刻度的跡線中生成參考脈沖信號。在此，增量信號的生成應(yīng)盡可能少受干擾。
此外，本發(fā)明的一個(gè)第二任務(wù)是提供一種用于運(yùn)行位置測量裝置的方法，該方法尤其適合于從具有區(qū)域信號的跡線中正確地生成參考脈沖信號。
通過一個(gè)具有權(quán)利要求1特征部分中所述特征的位置測量裝置來解決第一任務(wù)。
從在從屬于權(quán)利要求1的權(quán)利要求中所列舉的措施中產(chǎn)生本發(fā)明位置測量裝置的有利的實(shí)施形式。
通過一種具有權(quán)利要求19特征部分中所述特征的方法來解決第二任務(wù)。
從在從屬于權(quán)利要求19的權(quán)利要求中所列舉的措施中產(chǎn)生用于運(yùn)行位置測量裝置的本發(fā)明方法的有利的實(shí)施形式。
現(xiàn)在按本發(fā)明在所述的位置測量裝置中，增量刻度沿測量線段的不同的段具有不同的周期性的橫向子結(jié)構(gòu)，這些子結(jié)構(gòu)促使入射的射線束向不同的空間方向偏轉(zhuǎn)。在此給每個(gè)段分配了具有不同偏轉(zhuǎn)作用的不同的橫向子結(jié)構(gòu)。在相鄰段之間的過渡區(qū)域中存在著橫向子結(jié)構(gòu)的有關(guān)光學(xué)偏轉(zhuǎn)作用的不連續(xù)性，該不連續(xù)性被用來在該位置上，即在參考位置上生成參考脈沖信號。為此在掃描單元方面，在不同的空間方向上布置了至少兩個(gè)參考脈沖檢測器元件。在所述的參考脈沖檢測器元件上施加了參考脈沖信號分量，從這些參考脈沖信號分量的處理中產(chǎn)生所希望的參考脈沖信號。
通過這種方式的參考脈沖信號的生成確保了，在參考位置上的周期性的增量刻度也在其周期性方面不受干擾，并所產(chǎn)生的增量信號因此也不被參考脈沖信號的生成所干擾。尤其由于按本發(fā)明來生成參考脈沖信號，所述的增量信號也不經(jīng)受不受歡迎的強(qiáng)度損失。
除了從增量刻度中所導(dǎo)出參考脈沖信號的在以下方面的優(yōu)點(diǎn)之外，即位置測量裝置的微小結(jié)構(gòu)尺寸和不復(fù)雜的安裝，基于本發(fā)明的措施還具有其它的優(yōu)點(diǎn)。
因此現(xiàn)在沒有其它的附加措施，也可以從參考脈沖信號分量中生成一個(gè)有關(guān)掃描單元正好位于參考標(biāo)記的哪一側(cè)，或哪一區(qū)域中的信息。因此也可以將參考脈沖信號分量作為所謂的區(qū)域信號來分析處理。此外還可以通過處理參考脈沖信號分量的方式和方法來明確地調(diào)節(jié)所產(chǎn)生矩形參考脈沖信號的所希望的寬度，并與增量信號的信號周期相協(xié)調(diào)。
在生成至少一個(gè)第一和一個(gè)第二區(qū)域信號的情況下，和從在第一區(qū)域信號或從中導(dǎo)出的其它區(qū)域信號與第二區(qū)域信號或從中導(dǎo)出的其它區(qū)域信號之間的比較中，在此可以生成參考脈沖信號。
顯然本發(fā)明的措施既可以用在旋轉(zhuǎn)的，也可以用在線性的位置測量裝置中。
此外，按本發(fā)明既可以構(gòu)成反射光位置測量裝置，也可以構(gòu)成透射光位置測量裝置。
借助附圖從實(shí)施例的以下說明中得到本發(fā)明的其它的優(yōu)點(diǎn)以及細(xì)節(jié)。這些附圖是

圖1展示了本發(fā)明位置測量裝置的實(shí)施例的側(cè)視圖；圖2展示了圖1實(shí)施例中的掃描光程的示意性空間示圖；圖3a和3b分別展示了對來自圖1的刻度尺的俯視圖；圖4a-4c展示了不同的信號圖，借助其闡述按本發(fā)明生成參考脈沖信號的第一變型方案；圖5展示了用于說明生成參考脈沖信號的第一變型方案的方框電路圖示圖；圖6展示了一個(gè)其它實(shí)施例的掃描光程的示意性空間示圖，該實(shí)施例用于闡述生成參考脈沖信號的第二變型方案；圖7展示了用于闡述生成參考脈沖信號的第二變型方案的方框電路圖示圖；圖8a-8c展示了不同的信號圖，借助其闡述按本發(fā)明生成參考脈沖信號的第二變型方案。
圖1中以示意的形式在剖視圖中示出了本發(fā)明位置測量裝置的一個(gè)實(shí)施例。位置測量裝置所展示的變型方案在此用來采集兩個(gè)互相移動(dòng)物體圍繞旋轉(zhuǎn)軸1的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，并包括分別與兩個(gè)物體之一相連接的一個(gè)刻度尺10以及一個(gè)掃描單元20。在本情況下，兩個(gè)物體在其中互相相對移動(dòng)的測量方向x是對旋轉(zhuǎn)軸1旋轉(zhuǎn)對稱地取向的。
刻度尺10構(gòu)成為一個(gè)由盤形載體元件11(Trgerelement)所組成的刻度盤，在該刻度盤上以圓形在周圍方向上布置了具有增量刻度的跡線12。圖1中不能詳細(xì)識(shí)別的增量刻度由一個(gè)在測量方向x上以增量刻度周期TPINC周期性地布置的子區(qū)域序列組成，這些子區(qū)域具有不同的光學(xué)特性。所述的子區(qū)域在此具有在方向y上的縱向尺寸，該方向y垂直于測量方向x取向。就增量刻度的具體構(gòu)成而言請參閱圖3a和3b的以下的說明。
在本實(shí)例中增量刻度被構(gòu)成為透射光相位刻度，即相繼的子區(qū)域?qū)τ谕干溥^去的射線束分別具有不同相移的光學(xué)作用；載體元件11由玻璃制成。在掃描單元20方面布置了一個(gè)光源21；此外掃描單元20還包括掃描刻度22.1，22.2以及多個(gè)用來生成不同掃描信號的檢測器元件23-27。在此用參考符號23表示僅示意性表明的增量信號檢測器元件，該增量信號檢測器元件用來采集周期性的增量信號INC。增量信號檢測器元件23可以以公知的方式和方法構(gòu)成為所謂的結(jié)構(gòu)化的檢測器裝置，或又可以構(gòu)成為具有多個(gè)單獨(dú)的光電池的裝置。借助增量信號檢測器元件23以公知的方式和方法生成四個(gè)各自相移90°的，或三個(gè)各自相移120°的增量信號，這些增量信號又連接成兩個(gè)相移90°的增量輸出信號。但是以下為了簡單起見僅僅談及周期性的增量信號INC。
用參考符號24，25，26，27來表示參考脈沖檢測器元件，在這些參考脈沖檢測器元件上施加了多個(gè)參考脈沖信號分量REF1-REF4，并從這些參考脈沖信號分量的處理中最終生成參考脈沖信號REF，以下還將對此加以詳述?？紤]采用公知的光電池作為參考脈沖檢測器元件24-27。
由位置測量裝置所生成的增量信號INC和參考脈沖信號REF最后提供給-未示出的-布置在后面的分析處理單元，例如提供給數(shù)控機(jī)床控制裝置用于進(jìn)一步處理。
為了詳述按本發(fā)明來生成參考脈沖信號，現(xiàn)在請參閱以下附圖的說明。圖2在此展示了本發(fā)明位置測量裝置中的不同掃描光程的透視示意圖。
在構(gòu)成為刻度盤的刻度尺10上，來自-圖2中未示出的-光源的射線束S照射在具有增量刻度的跡線12上。在此位置上要提及的是，優(yōu)選用僅僅具有小直徑的準(zhǔn)直的射線束S來實(shí)現(xiàn)增量刻度的照明。圖2中未詳細(xì)示出增量刻度；有關(guān)于此請參閱以下的附圖3a和3b。
為了生成增量信號INC，入射的射線束S通過在增量刻度上的衍射被分解為兩個(gè)在兩個(gè)不同的空間方向上傳播的射線束分量S+1和S-1。在掃描單元方面，兩個(gè)射線束分量S+1和S-1分別射中一個(gè)掃描刻度22.1，22.2。射線束分量S+1和S-1同樣重新由掃描刻度22.1，22.2通過衍射而偏轉(zhuǎn)，并在增量信號檢測器元件23布置在其中的檢測平面中被導(dǎo)至干涉。在刻度尺和掃描單元相對移動(dòng)的情況下，即在圍繞旋轉(zhuǎn)軸1旋轉(zhuǎn)的情況下，在增量信號檢測器元件23上施加一個(gè)周期性調(diào)制的增量信號INC，可以以公知的方式和方法進(jìn)一步處理該增量信號INC。
除此周期性的增量信號INC以外，通過本發(fā)明的措施也還可以在沿測量線段d的至少一個(gè)位置或參考位置xREF上生成參考脈沖信號REF。借助該參考脈沖信號REF可以建立在測量期間的絕對基準(zhǔn)，以后的增量測量于是基于該絕對基準(zhǔn)。
為此目的安排了增量刻度的某種構(gòu)成，以便通過在至少一個(gè)位置或參考位置上的、有關(guān)光學(xué)特性的不連續(xù)性來生成參考脈沖信號REF。為了進(jìn)一步闡述本發(fā)明，在此位置上也請參圖3a和3b，這些附圖展示了對刻度尺10的俯視圖，或在參考位置xREF上的同一刻度尺10的局部放大圖。
本發(fā)明位置測量裝置中的增量刻度，原則上由在測量方向x上用增量刻度周期TPINC來周期性布置的子區(qū)域TB1，TB2所組成，這些子區(qū)域TB1，TB2具有不同的光學(xué)特性。所述的子區(qū)域TB1，TB2在此具有在垂直于測量方向x的方向y上的縱向尺寸。
在本實(shí)例中，增量刻度在測量線段的一個(gè)第一段D1中還具有一個(gè)第一橫向子結(jié)構(gòu)，該第一橫向子結(jié)構(gòu)將入射到其上的射線束偏轉(zhuǎn)到至少一個(gè)第一空間方向上。在圖2，3a和3b中所示出的實(shí)施例中，第一段D1延伸經(jīng)過刻度盤或增量刻度的左邊180°的圓弧段。在鄰近第一段D1的一個(gè)第二段D2中，增量刻度具有一個(gè)第二橫向子結(jié)構(gòu)，該第二橫向子結(jié)構(gòu)將入射的射線束偏轉(zhuǎn)到至少一個(gè)第二空間方向上。所述的第二空間方向不同于第一空間方向。在所示出的實(shí)例中，增量刻度的右邊180°的圓弧段因而是測量線段的第二段D2。在第一和第二段D1和D2之間，在過渡區(qū)域中因而存在著增量刻度各自橫向子結(jié)構(gòu)的有關(guān)不同光學(xué)偏轉(zhuǎn)作用的不連續(xù)性，在此位置上最后將該不連續(xù)性用于生成參考脈沖信號REF。
沿著子區(qū)域TB1，TB2的縱向尺寸的方向y，增量刻度中的橫向子結(jié)構(gòu)分別構(gòu)成為具有規(guī)定的偏轉(zhuǎn)刻度周期TPTRANS.1，TPTRANS.2的周期性結(jié)構(gòu)，正象尤其在圖3b中可識(shí)別的那樣。第一段D1中的第一橫向子結(jié)構(gòu)在此具有一個(gè)第一偏轉(zhuǎn)刻度周期TPTRANS.1；第二段中的第二橫向子結(jié)構(gòu)具有一個(gè)不同于第一偏轉(zhuǎn)刻度周期TPTRANS.1的第二偏轉(zhuǎn)刻度周期TPTRANS.2。
如從圖2中的示圖中可看出的那樣，測量線段的第一段D1中的橫向子結(jié)構(gòu)促使入射的射線束S向第一空間方向RR1偏轉(zhuǎn)。用參考符號ST1來標(biāo)記向第一空間方向RR1偏轉(zhuǎn)的射線束。測量線段的第二段D2中的橫向子結(jié)構(gòu)促使入射的射線束S向第二空間方向RR2偏轉(zhuǎn)。用參考符號ST2來標(biāo)記向第二空間方向RR2偏轉(zhuǎn)的射線束。為了說明問題，在圖2中示出了向兩個(gè)空間方向RR1，RR2偏轉(zhuǎn)的射線束ST1，ST2，這在實(shí)際上僅僅出現(xiàn)在兩個(gè)段D1和D2之間的過渡區(qū)域中。
在兩個(gè)空間方向RR1，RR2上分別布置了參考脈沖檢測器元件24，25，這些參考脈沖檢測器元件24，25檢測向這些空間方向RR1，RR2偏轉(zhuǎn)的射線束，并在這些參考脈沖檢測器元件24，25上施加了參考脈沖信號分量REF1，REF2，從這些參考脈沖信號分量REF1，REF2的處理中原則上可以生成參考脈沖信號REF。
以下闡述在本實(shí)例中用于生成參考位置xREF上的參考脈沖信號REF的所基于的原理。
只要來自光源的射線束S僅僅掃描或穿過增量刻度的第一段D1，則通過該段中的橫向子結(jié)構(gòu)僅僅實(shí)現(xiàn)向第一空間方向RR1的偏轉(zhuǎn)，即產(chǎn)生施加在第一參考脈沖檢測器元件24上的射線束ST1。在該測量階段中，只有第一參考脈沖檢測器元件24記錄入射的輻射強(qiáng)度，并因此記錄施加在輸出端上的第一參考脈沖信號分量REF1。在對增量刻度的第二段D2進(jìn)行掃描的情況下則存在著準(zhǔn)確相反的情況，即僅僅第二空間方向RR2上的第二參考脈沖檢測器元件25記錄射線束ST2的入射的輻射強(qiáng)度，并于是在該第二參考脈沖檢測器元件25的輸出端上施加著第二參考脈沖信號分量REF2。在兩個(gè)段D1和D2之間的過渡區(qū)域中，因此還有在參考位置xREF上，因而存在著有關(guān)兩個(gè)參考脈沖信號分量REF1，REF2的特征性的信號曲線，該信號曲線可利用于按本發(fā)明來生成參考脈沖信號REF。
在具有測量線段的兩個(gè)分別經(jīng)180°圓弧延伸的段D1和D2的圖3a和3b實(shí)例中，當(dāng)然可以在第二過渡區(qū)域中以相同的方式和方法來生成參考脈沖信號REF，于是在第一過渡區(qū)域的對面布置了該第二過渡區(qū)域。
除此之外，當(dāng)然也可以考慮將各自的測量線段分解為更多的段，并在不同段之間的過渡區(qū)域上分別生成參考脈沖信號。
增量刻度的用在本實(shí)例中的起偏轉(zhuǎn)作用的橫向子結(jié)構(gòu)被構(gòu)成為偏轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)，并不僅分別促使向第一或第二空間方向RR1，RR2的偏轉(zhuǎn)。在第一段D1中，除了射線束ST1向第一空間方向的偏轉(zhuǎn)之外，此外還實(shí)現(xiàn)了射線束ST4向第四空間方向RR4的偏轉(zhuǎn)，在該第四空間方向RR4上同樣布置了一個(gè)參考脈沖信號檢測器元件27。與此相似，在第二段D2中除了射線束ST2向第二空間方向RR2的偏轉(zhuǎn)之外，還產(chǎn)生了射線束ST3向第三空間方向RR3的偏轉(zhuǎn)，在該第三空間方向RR3上同樣布置了一個(gè)參考脈沖信號檢測器元件26。第一和第四空間方向RR1，RR4，以及第二和第三空間方向RR2，RR3因此分別相當(dāng)于+第1和-第1衍射階(Beugungsordnung)，通過兩個(gè)段D1和D2的各自的橫向子結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了向這些衍射階的相應(yīng)的偏轉(zhuǎn)。將第一和第四參考脈沖檢測器元件24，27以及第二和第三參考脈沖檢測器元件25，26進(jìn)行聯(lián)接，用于進(jìn)一步的信號處理。
如從圖2中可以看出的那樣，通過射線束向其偏轉(zhuǎn)的不同的空間方向RR1-RR4，撐開一個(gè)平面，該平面垂直于測量方向x和平行于增量刻度不同的子區(qū)域TB1，TB2的縱向尺寸的方向y。
在所述的實(shí)例中所述的增量刻度構(gòu)成為透射光刻度或相衍射光柵(Phasengitter)。在圖3b中可識(shí)別的、以增量刻度周期TPINC周期性布置的子區(qū)域TB1和TB2因此分別對輻射的射線束施加了不同的作用。
在此位置上要指出的是，在本發(fā)明的范圍內(nèi)當(dāng)然也可以替代地采用振幅光柵或振幅結(jié)構(gòu)。替代地按本發(fā)明實(shí)現(xiàn)一種反射光系統(tǒng)(Auflichtsystem)當(dāng)然同樣是可能的。
由子區(qū)域TB1，TB2的相應(yīng)的構(gòu)成來形成增量刻度的橫向子結(jié)構(gòu)。這些橫向子結(jié)構(gòu)-如圖3b中可識(shí)別的那樣-優(yōu)選在其長度尺寸的方向上，即在y方向上具有周期性的正弦形的輪廓界限。理想正弦形的輪廓界限的周期性相當(dāng)于各自的橫向的偏轉(zhuǎn)刻度周期TPTRANS.1，TPTRANS.2。基于該橫向子結(jié)構(gòu)，除了將用于增量信號生成的射線束偏轉(zhuǎn)或分解到測量方向x上之外，也產(chǎn)生用于生成參考脈沖信號REF的射線束的所希望的橫向偏轉(zhuǎn)。作為正弦形輪廓界限的特別優(yōu)點(diǎn)可以列舉的是，確保了通過參考脈沖信號的生成僅微小地影響增量信號的強(qiáng)度。這里的原因是在橫向光柵結(jié)構(gòu)的地點(diǎn)上的+/-第1的縱向衍射階的微小場強(qiáng)。正弦形輪廓界限在測量方向x上的尺寸，即正弦函數(shù)的調(diào)制幅度，確定了參考標(biāo)記掃描和增量信號掃描的所引用射線束分量的光強(qiáng)度的劃分比例。象所希望的那樣，通過選擇正弦函數(shù)的調(diào)制周期來調(diào)節(jié)該劃分比例。在此還應(yīng)注意，如此調(diào)節(jié)的劃分比例在不同子區(qū)域TB1，TB2中盡可能沒有區(qū)別。
除了在增量刻度中合適的橫向子結(jié)構(gòu)的示出在圖3b實(shí)例中的構(gòu)成之外，此外也還可以采用本發(fā)明范圍中的替代的變型方案。
因此例如也可以采用周期性的橫向子結(jié)構(gòu)，其中，增量刻度的子區(qū)域具有沿y方向的三角形的輪廓界限。
此外還可以將輪廓界限的調(diào)制幅度選擇得如此大，使得在測量方向上相鄰的橫向子結(jié)構(gòu)互相接觸，并如此產(chǎn)生一種具有菱形結(jié)構(gòu)的正交光柵。
此外在增量刻度的各自的子區(qū)域中也可以采用圓柱透鏡作為橫向于測量方向x偏轉(zhuǎn)的子結(jié)構(gòu)。為了聚焦橫向偏轉(zhuǎn)的衍射階，也可以將這種圓柱透鏡用在小的檢測器元件上。在此將用于增量信號生成的第零衍射階不聚焦或去聚焦。
在本發(fā)明的一個(gè)可能的實(shí)施形式中，選擇增量刻度周期TPINC＝4μm以及兩個(gè)橫向的偏轉(zhuǎn)刻度周期TPTRANS.1＝3.5μm，TPTRANS.2＝4.5μm。當(dāng)然也可以另行選擇這些參數(shù)，并將其與各自的掃描配置相匹配。
在用于闡述實(shí)例的其它替代的實(shí)施形式中此外還可以考慮，沿各自的測量線段還在多于兩個(gè)參考位置上生成參考脈沖信號。也可以生成所謂的間距編碼的參考標(biāo)記，等等。
此外也可以考慮采用多于僅僅兩個(gè)不同地偏轉(zhuǎn)的橫向子結(jié)構(gòu)。因此例如尤其在沿測量線段的多個(gè)所生成的參考脈沖信號的情況下，也可以如此來實(shí)現(xiàn)各自參考脈沖信號的單義編碼或識(shí)別。在該情況下給每個(gè)參考位置單義地分配了在不同地偏轉(zhuǎn)的橫向子結(jié)構(gòu)之間的某種過渡，等等。
最后在此位置上要提及的是，在本實(shí)施例中也可能總是生成一個(gè)有關(guān)于以下內(nèi)容的信息，該信息說明，掃描單元正好位于參考位置的哪一側(cè)，或掃描單元正好位于測量線段的哪個(gè)范圍中。這可以通過讀出各自的參考脈沖信號檢測器元件24，25，26，27來實(shí)現(xiàn)。因此例如顯然的是，在上述的實(shí)例中在僅僅發(fā)現(xiàn)第一參考脈沖信號分量REF1的情況下，掃描單元位于第一段D1中，與此相似地在僅僅發(fā)現(xiàn)第二參考脈沖信號分量REF的情況下，掃描單元位于第二段D2中，等等。因此也可以將參考脈沖信號分量REF1，REF2作為所謂的區(qū)域信號來分析處理。
隨后借助圖4a-4c和5在第一變型方案上來闡述，在本實(shí)例中如何從按本發(fā)明所生成的參考脈沖信號分量REF1-REF4中最終生成所希望的參考脈沖信號REF。
如從圖5中可看出的那樣，在該實(shí)施形式中將布置在第一和第四空間方向上的第一和第四參考脈沖檢測器元件24，27如此進(jìn)行聯(lián)接，使得在連接在后面的第一電流電壓互換器28.1的輸出端上產(chǎn)生一個(gè)第一參考脈沖總和信號REFS1；與此相似地將布置在第二和第三空間方向上的第二和第三參考脈沖檢測器元件25，26如此進(jìn)行聯(lián)接，使得在連接在后面的第二電流電壓互換器28.2的輸出端上產(chǎn)生一個(gè)第二參考脈沖總和信號REFS2。圖4a中示出了參考位置xREF區(qū)域中的兩個(gè)參考脈沖總和信號REFS1，REFS2的曲線。
如同樣從圖4a中可識(shí)別的那樣，沒有其它的附加措施已經(jīng)可以從第一和第二參考脈沖總和信號REFS1，REFS2中獲得關(guān)于掃描單元恰好位于參考位置xREF哪一側(cè)的信息。兩個(gè)第一和第二參考脈沖總和信號REFS1，REFS2因此也可以作為區(qū)域信號來分析處理。只要第一參考脈沖總和信號REFS1大于第二參考脈沖總和信號REFS2，在本實(shí)例中掃描單元?jiǎng)t因而位于參考位置xREF左側(cè)；如果與此相反地第一參考脈沖總和信號REFS1小于第二參考脈沖總和信號REFS2掃描單元?jiǎng)t位于參考位置xREF右側(cè)，等等。
在此位置上要提及的是，原則上每次只需要兩個(gè)參考脈沖檢測器元件24或27，或參考脈沖檢測器元件25，26中的一個(gè)，以便按本發(fā)明的方式和方法生成參考脈沖信號REF。每次采用兩個(gè)參考脈沖檢測器元件以及按圖5相應(yīng)地連接這些參考脈沖檢測器元件，這在該實(shí)例中僅僅確保提高的信號強(qiáng)度，或改善的對干擾影響的不敏感性。
隨后借助兩個(gè)分別具有規(guī)定放大系數(shù)V＝(1+ε)的放大器單元29.1，29.2來放大兩個(gè)第一和第二參考脈沖總和信號REFS1，REFS2，使得在兩個(gè)放大器單元29.1，29.2的輸出端上施加著第三和第六參考脈沖總和信號REFS3，REFS6。此外還通過兩個(gè)具有規(guī)定衰減系數(shù)A＝(1-ε)的衰減器單元29.3，29.4來衰減兩個(gè)參考脈沖總和信號REFS1，REFS2，使得在兩個(gè)衰減器單元29.3，29.4的輸出端上施加著第四和第五參考脈沖總和信號REFS4，REFS5。圖4a中示出了在參考位置xREF區(qū)域中的第三至第六參考脈沖總和信號REFS3-REFS6的合成曲線。
于是通過以下的邏輯連接從不同的參考脈沖總和信號REFS3-REFS6中形成了兩個(gè)參考脈沖輔助信號REFH1，REFH2。為此目的將第三和第五參考脈沖總和信號REFS3，REFS5輸送給第一比較器單元29.1的兩個(gè)輸入端，而將第四和第六參考脈沖總和信號REFS4，REFS6輸送給第二比較器單元29.2的輸入端。在兩個(gè)比較器單元29.1，29.2的輸入端上施加著兩個(gè)參考脈沖輔助信號REFH1，REFH2，圖4b中示出了在參考位置xREF區(qū)域中的所述兩個(gè)參考脈沖輔助信號REFH1，REFH2的曲線。
借助比較器單元29.1，29.2基于以下的比較運(yùn)算如果REFS3＞REFS5，則REFH1＝1，或如果REFS3＜REFS5，則REFH1＝0以及如果REFS6＞REFS4，則REFH2＝1，或如果REFS6＜REFS4，則REFH2＝0實(shí)現(xiàn)了從四個(gè)施加在輸入端方面的所放大或衰減的參考脈沖總和信號REFS3-REFS6中生成兩個(gè)參考脈沖輔助信號REFH1，REFH2。
最后借助邏輯連接元件31通過邏輯的“與”(UND)連接來從兩個(gè)如此形成的參考脈沖輔助信號REFH1，REFH2中生成參考脈沖信號REF，于是將該參考脈沖信號REF作為具有某個(gè)寬度bREF的矩形信號來產(chǎn)生。圖4c中示出了如此產(chǎn)生的矩形信號。
如從圖4a-4c中可以看出的那樣，在生成參考脈沖信號REF時(shí)通過合適地選擇放大系數(shù)V或衰減系數(shù)A，以規(guī)定的方式和方法可以調(diào)節(jié)參考脈沖信號REF的所產(chǎn)生的寬度bREF，并如此地與平行生成的增量信號的周期性相匹配。
在所闡述的實(shí)例中如上所述地，所生成的第一至第六參考脈沖總和信號也可以作為所謂的區(qū)域信號起作用，這些區(qū)域信號各自單義地標(biāo)記掃描單元相對于參考位置xREF的相對位置。如已在開始時(shí)提及的和從DE 41 11 873 C2中公開的那樣，原則上這種區(qū)域信號也可以用于生成參考脈沖信號。在該情況下通過第一和第二區(qū)域信號之間的過渡區(qū)域來規(guī)定所述的參考位置xREF。所以按本發(fā)明已識(shí)別，如借助圖4a-4c和5已闡述的那樣，原則上也可以用于替代上述方式和方法已生成的區(qū)域信號來用于生成參考脈沖信號。對于用于運(yùn)行位置測量裝置的，尤其是用于生成參考脈沖信號REF的本發(fā)明方法，因此僅僅需要第一和第二區(qū)域信號，這些第一和第二區(qū)域信號在參考位置xREF的區(qū)域中具有相似于按圖4a的第一和第二參考脈沖總和信號REFS1，REFS的信號曲線。通過放大或衰減至少一個(gè)區(qū)域信號又可以生成第三和第四區(qū)域信號。通過在第一、第三或第四區(qū)域信號與第二區(qū)域信號，或必要時(shí)與從中導(dǎo)出的區(qū)域信號之間的隨后的比較，又可以生成一個(gè)參考脈沖信號。
在本發(fā)明方法中，相似于參考脈沖信號分量或參考脈沖總和信號的處理那樣，也優(yōu)選實(shí)現(xiàn)了輸入端方面的區(qū)域信號的處理。這意味著，在本實(shí)例中從第二區(qū)域信號中通過衰減和放大來產(chǎn)生第五和第六區(qū)域信號，于是又將這些第五和第六區(qū)域信號與第一、第三或第四區(qū)域信號進(jìn)行比較，以便生成一個(gè)參考脈沖信號。
同樣又用規(guī)定的放大和衰減系數(shù)實(shí)現(xiàn)了區(qū)域信號的放大和衰減。通過這些放大和衰減系數(shù)的選擇最后-如上所述-可以調(diào)節(jié)所產(chǎn)生的參考脈沖信號的寬度。
作為在要生成的區(qū)域信號方面的要求應(yīng)該列舉的僅僅是，第一和第二區(qū)域信號在兩個(gè)區(qū)域中的每一個(gè)中分別具有一個(gè)單義的信號電平，即所述的信號電平可以合適地區(qū)分開，這正如在上述實(shí)例中例如對于第一和第二參考脈沖總和信號REFS1，REFS是這種情況那樣。
但是也可以替代上述實(shí)例來實(shí)現(xiàn)第一和第二區(qū)域信號的生成。因此例如也可以從刻度尺上的單獨(dú)的區(qū)域跡線中導(dǎo)出區(qū)域信號。所述的區(qū)域跡線例如又包括兩個(gè)分別彼此互補(bǔ)地構(gòu)成的子跡線，并例如在參考位置xREF的一側(cè)是完全透明的，而這些子跡線在參考位置xREF右側(cè)的區(qū)域中是不透明地構(gòu)成的。由用于生成區(qū)域信號的檢測器元件來掃描兩個(gè)子跡線中的每一個(gè)，使得在刻度尺和掃描單元的這種構(gòu)成中也可以生成具有參考位置xREF區(qū)域中的所要求曲線的區(qū)域信號。
以下借助圖6，7以及8a-8c來闡述用于生成參考脈沖信號的一個(gè)第二變型方案。
圖6在此又展示了如圖2中原則上已闡述的裝置。以下因此僅討論與上述實(shí)施形式的差別。為此也請參閱圖7，該圖7展示了有關(guān)所述連接的方框電路圖。不同于上述的實(shí)例，實(shí)現(xiàn)了第一和第二參考脈沖檢測器元件24，25或各自參考脈沖信號分量REF1，REF2-因此還有區(qū)域信號-的一種聯(lián)接，使得在串連在后面的第一電流電壓互換器128.1的輸出端上施加著一個(gè)第一參考脈沖總和信號REFS1。與此相似地，如下來對第三和第四參考脈沖信號檢測器元件26，27或各自參考脈沖信號分量REF3，REF4-因此還有區(qū)域信號-進(jìn)行聯(lián)接，使得在連接在后面的第二電流電壓互換器128.2的輸出端上產(chǎn)生一個(gè)以下稱為第二參考脈沖總和信號REFS2的信號。在信號REFS2的情況下涉及一個(gè)信號，該信號基本上與REF3和REF4之總和成正比，并也可以稱為參考脈沖相同光信號(Gleichlichtsignal)。借助分別連接在電流電壓互換器128.1，128.2之后的放大器單元129.1，129.2來實(shí)現(xiàn)兩個(gè)信號REFS1，REFS2的放大。在兩個(gè)放大器單元129.1，129.2的輸出端上施加著所放大的第一和第二信號REFS或REFG，圖8a和8b中示出了在參考位置xREF的區(qū)域中的這些信號的曲線。
如從圖8b中可以識(shí)別的那樣，信號REFS基本上具有一個(gè)保持不變的信號電平，而信號REFS的信號電平在參考位置xREF的區(qū)域中強(qiáng)烈地改變。為了生成所希望的參考脈沖信號REF，因此從信號REFG中導(dǎo)出兩個(gè)各自具有恒定信號電平的觸發(fā)信號或參考信號TS1，TS2，這兩個(gè)觸發(fā)信號或參考信號TS1，TS2同樣示出在圖8a中，并用來在具有信號REFS的交點(diǎn)上生成本身的參考脈沖信號REF。最后在圖8c中示出了從中產(chǎn)生的信號REF。
從圖7中可以看出用于生成參考脈沖信號REF的該變型方案在電路技術(shù)上的實(shí)現(xiàn)；因此在比較器單元130的輸出端上產(chǎn)生了參考脈沖信號REF，在比較器單元130的輸入端上施加著信號REFG和REFS。以公知的方式和方法將比較器單元130例如構(gòu)成為窗口比較器，其中，從所施加REFG的當(dāng)時(shí)的電平中確定窗口寬度，并因此確定了兩個(gè)觸發(fā)信號TS1，TS2的位置。
除了所闡述的實(shí)施例之外當(dāng)然還存在著本發(fā)明的其它替代的構(gòu)成可能性。
因此例如可以在所述第一實(shí)例中僅僅放大和衰減所生成的第一參考脈沖總和信號REFS1，并隨后通過與未改變的第二參考脈沖總和信號進(jìn)行的邏輯的比較運(yùn)算來生成規(guī)定寬度的參考脈沖信號。
此外也還可以通過其它信號組合的邏輯比較來生成兩個(gè)參考脈沖輔助信號，等等。
權(quán)利要求
1.用于生成周期性增量信號和至少一個(gè)參考脈沖信號的位置測量裝置，包括-一個(gè)具有跡線(12)的刻度尺(10)，在該跡線(12)中布置了一個(gè)具有某個(gè)增量刻度周期(TPINC)的周期性的增量刻度，該增量刻度在測量方向(x)上延伸，以及其中，所述的跡線(12)在至少一個(gè)規(guī)定的參考位置(xREF)上具有用于生成參考脈沖信號(REF)的有關(guān)光學(xué)特性的不連續(xù)性，以及-一個(gè)掃描單元(20)，該掃描單元(20)相對于所述的刻度尺(10)是可以在測量方向(x)上經(jīng)某個(gè)測量線段(D)移動(dòng)的，而該掃描單元(20)除了光源(21)之外還包括多個(gè)用于光電掃描所述增量刻度的檢測器元件(23，24，25，26，27)，其特征在于，-所述的增量刻度在所述測量線段的一個(gè)第一段(D1)中具有一個(gè)第一橫向子結(jié)構(gòu)，該第一橫向子結(jié)構(gòu)將入射的射線束(S)向至少一個(gè)第一空間方向(RR1)偏轉(zhuǎn)，并在所述測量線段的一個(gè)第二段(D2)中具有一個(gè)第二橫向子結(jié)構(gòu)，該第二橫向子結(jié)構(gòu)將入射的射線束(S)向至少一個(gè)不同于所述第一空間方向(RR1)的第二空間方向(RR2)偏轉(zhuǎn)，使得在所述第一和第二段(D1，D2)之間的過渡區(qū)域中存在著所述增量刻度橫向子結(jié)構(gòu)的有關(guān)光學(xué)偏轉(zhuǎn)作用的不連續(xù)性，以及-在所述的掃描單元(20)方面，在所述不同的空間方向(RR1，RR2)上各自布置了一個(gè)或多個(gè)參考脈沖檢測器元件(24，25，26，27)，在這些參考脈沖檢測器元件(24，25，26，27)上施加著參考脈沖信號分量(REF1-REF4)，從這些參考脈沖信號分量(REF1-REF4)的處理中產(chǎn)生所述的參考脈沖信號(REF)。
2.按權(quán)利要求1的位置測量裝置，其特征在于，所述的增量刻度由在測量方向(x)上以所述增量刻度周期(TPINC)周期性布置的、具有不同光學(xué)特性的子區(qū)域(TB1，TB2)組成，其中，所述的子區(qū)域(TB1，TB2)具有一個(gè)垂直于所述測量方向(x)的方向(y)上的縱向尺寸，并且沿著所述子區(qū)域(TB1，TB2)縱向尺寸的方向(y)，所述的橫向子結(jié)構(gòu)分別構(gòu)成為具有規(guī)定偏轉(zhuǎn)刻度周期(TPTRANS.1，TPTRANS.2)的周期性結(jié)構(gòu)。
3.按權(quán)利要求2的位置測量裝置，其特征在于，所述的第一橫向子結(jié)構(gòu)具有一個(gè)第一偏轉(zhuǎn)刻度周期(TPTRANS.1)，而所述的第二橫向子結(jié)構(gòu)具有一個(gè)不同于所述第一偏轉(zhuǎn)刻度周期(TPTRANS.1)的第二偏轉(zhuǎn)刻度周期(TPTRANS.2)。
4.按權(quán)利要求2的位置測量裝置，其特征在于，-所述的第一橫向子結(jié)構(gòu)促使向所述第一空間方向(RR1)和向一個(gè)不同于所述第一空間方向(RR1)的其它的第四空間方向(RR4)的偏轉(zhuǎn)，以及-所述的第二橫向子結(jié)構(gòu)促使向所述第二空間方向(RR2)和向一個(gè)不同于所述第二空間方向(RR2)的其它的第三空間方向(RR3)的偏轉(zhuǎn)。
5.按權(quán)利要求4的位置測量裝置，其特征在于，所述射線束(ST1，ST2)向其產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)的所述空間方向(RR1-RR4)撐開一個(gè)平面，該平面垂直于所述的測量方向(x)，并平行于所述增量刻度的子區(qū)域(TB1，TB2)的縱向尺寸的方向(y)。
6.按權(quán)利要求4的位置測量裝置，其特征在于，所述的第一和第四、或第二和第三空間方向(RR1-RR4)相當(dāng)于以下的方向，向這些方向通過所述的具有各自偏轉(zhuǎn)刻度周期(TPTRANS.1，TPTRANS.2)的橫向子結(jié)構(gòu)產(chǎn)生進(jìn)入+/-第1衍射階的衍射。
7.按權(quán)利要求2的位置測量裝置，其特征在于，所述增量刻度的子區(qū)域在其縱向尺寸的方向(y)上具有正弦形的輪廓界限。
8.按權(quán)利要求2的位置測量裝置，其特征在于，所述增量刻度的子區(qū)域在其縱向尺寸的方向(y)上具有三角形的輪廓界限。
9.按權(quán)利要求1的位置測量裝置，其特征在于，盤狀載體元件(11)上的所述的增量刻度是圓形地布置在周圍方向上的，而所述增量刻度的第一和第二段(D1，D2)是兩個(gè)相鄰的圓弧。
10.按權(quán)利要求9的位置測量裝置，其特征在于，所述的兩個(gè)圓弧分別延伸經(jīng)180°，使得在沿所述周圍方向的兩個(gè)相對的參考位置(xREF)上可以生成參考脈沖信號(REF)。
11.按權(quán)利要求1的位置測量裝置，其特征在于，所述的增量刻度被構(gòu)成為相衍射光柵。
12.按權(quán)利要求1的位置測量裝置，其特征在于，所述的增量刻度被構(gòu)成為透射光刻度。
13.按權(quán)利要求1的位置測量裝置，其特征在于，用具有小直徑的準(zhǔn)直的射線束(S)來實(shí)現(xiàn)所述增量刻度的照明。
14.按權(quán)利要求4的位置測量裝置，其特征在于，-在所述的第一和第四空間方向(RR1，RR4)上布置了第一和第四參考脈沖檢測器元件(24，27)，這些參考脈沖檢測器元件(24-27)是如下連接的，使得從所施加的第一和第四參考脈沖信號分量(REF1，REF4)中產(chǎn)生一個(gè)第一參考脈沖總和信號(REFS1)，而-在所述的第二和第三空間方向(RR2，RR3)上布置了第二和第三參考脈沖檢測器元件(25，26)，這些參考脈沖檢測器元件(25，26)是如下連接的，使得從所施加的第二和第三參考脈沖信號分量(REF2，REF3)中產(chǎn)生一個(gè)第二參考脈沖總和信號(REFS2)，-其中，從所述第一和第二參考脈沖總和信號(REFS1，REFS2)的處理中產(chǎn)生所述的參考脈沖信號(REF)。
15.按權(quán)利要求14的位置測量裝置，其特征在于，-從所述的第一參考脈沖總和信號(REFS1)中通過放大和衰減產(chǎn)生其它的第三和第四參考脈沖總和信號(REFS3，REFS4)，而-從所述的第二參考脈沖總和信號(REFS2)中通過衰減和放大產(chǎn)生其它的第五和第六參考脈沖總和信號(REFS5，REFS6)，和-從所述的第三、第四、第五和第六參考脈沖總和信號(REFS3，REFS4，REFS5，REFS6)的邏輯連接中產(chǎn)生所述的參考脈沖信號(REF)。
16.按權(quán)利要求15的位置測量裝置，其特征在于，從所述的第三、第四、第五和第六參考脈沖總和信號(REFS3，REFS4，REFS5，REFS6)的邏輯連接中產(chǎn)生兩個(gè)參考脈沖輔助信號(REFH1，REFH2)，從所述兩個(gè)參考脈沖輔助信號(REFH1，REFH2)的邏輯的UND連接中產(chǎn)生一個(gè)以具有某個(gè)寬度(bREF)的矩形信號形式的參考脈沖信號(REF)。
17.按權(quán)利要求4的位置測量裝置，其特征在于，-在所述的第一和第二空間方向(RR1，RR2)上布置了第一和第二參考脈沖檢測器元件(24，25)，這些參考脈沖檢測器元件(24，25)是如下連接的，使得從所施加的第一和第二參考脈沖信號分量(REF1，REF2)中產(chǎn)生一個(gè)第一參考脈沖總和信號(REFS1)，而-在所述的第三和第四空間方向(RR3，RR4)上布置了第三和第四參考脈沖檢測器元件(26，27)，這些參考脈沖檢測器元件(26，27)是如下連接的，使得從所施加的第三和第四參考脈沖信號分量(REF3，REF4)中產(chǎn)生一個(gè)第二參考脈沖總和信號(REFS2)，-其中，從所述第一和第二參考脈沖總和信號(REFS1，REFS2)的處理中產(chǎn)生所述的參考脈沖信號(REF)。
18.按權(quán)利要求17的位置測量裝置，其特征在于，所述的第一和第二參考脈沖總和信號(REFS1，REFS2)在放大之后施加在比較器單元(130)的輸入端上，并在所述比較器單元(130)的輸出端上產(chǎn)生所述的參考脈沖信號(REF)。
19.用于運(yùn)行位置測量裝置的，尤其用于在沿測量線段的至少一個(gè)參考位置上生成參考脈沖信號的方法，其中，從刻度尺上的一個(gè)跡線中可以導(dǎo)出第一和第二區(qū)域信號，這些區(qū)域信號分別單義標(biāo)記了相對于所述刻度尺可移動(dòng)的掃描單元的、涉及所述參考位置的相對位置，并通過在至少一個(gè)區(qū)域信號中的所述的過渡區(qū)域規(guī)定了的所述參考位置，其特征在于，從在所述第一區(qū)域信號、或從中導(dǎo)出的其它信號與所述第二區(qū)域信號、或與從中導(dǎo)出的其它信號之間的比較中可以生成一個(gè)參考脈沖信號(REF)。
20.按權(quán)利要求19的方法，其特征在于，-放大和衰減至少所述的第一區(qū)域信號，使得從中產(chǎn)生第三和第四區(qū)域信號，并-從在所述第一、第三、或第四區(qū)域信號與所述第二區(qū)域信號、或與從其中導(dǎo)出的其它信號之間的比較中生成一個(gè)參考脈沖信號(REF)。
21.按權(quán)利要求20的方法，其特征在于，放大和衰減所述的第二區(qū)域信號，使得從中產(chǎn)生第五和第六區(qū)域信號，并從在所述第一、第三、或第四區(qū)域信號與所述第二、第五、或第六區(qū)域信號之間的比較中生成一個(gè)參考脈沖信號(REF)。
22.按權(quán)利要求20的方法，其特征在于，所述的第一和第二區(qū)域信號分別具有一個(gè)所述兩個(gè)區(qū)域中的每一個(gè)單義的信號電平。
23.按權(quán)利要求20的方法，其特征在于，選擇規(guī)定的放大和衰減系數(shù)(A，V)用于放大和衰減所述的區(qū)域信號。
24.按權(quán)利要求23的方法，其特征在于，通過選擇所述的放大和衰減系數(shù)(A，V)來調(diào)節(jié)所產(chǎn)生的參考脈沖信號(REF)的寬度(b)。
25.按權(quán)利要求19的方法，其特征在于，將一個(gè)從兩個(gè)區(qū)域信號(REF1，REF2)中導(dǎo)出的第一信號(REFS)輸送給比較器單元(130)用于生成所述的參考脈沖信號(REF)，以及其中，所述的第一信號(REFS)在所述參考位置(xREF)的區(qū)域中強(qiáng)烈地改變，并還將一個(gè)同樣從兩個(gè)區(qū)域信號(REF3，REF4)中導(dǎo)出的第二信號(REFG)輸送給所述的比較器單元(130)，以及其中，所述的第二信號(REFG)在所述參考位置(xREF)的區(qū)域中基本上具有一個(gè)保持不變的信號電平。
全文摘要
本發(fā)明提出了一種位置測量裝置以及一種用于運(yùn)行位置測量裝置的，尤其用于生成至少一個(gè)參考脈沖信號的方法。所述的位置測量裝置包括一個(gè)具有跡線的刻度尺，在該跡線中布置了在測量方向上延伸的周期性的增量刻度。所述的跡線在至少一個(gè)規(guī)定的參考位置上具有有關(guān)光學(xué)特性的不連續(xù)性。所述的位置測量裝置還包括一個(gè)掃描單元，該掃描單元在測量方向上可以相對于刻度尺經(jīng)某個(gè)測量線段移動(dòng)，以及除了光源之外還具有多個(gè)用于光電掃描增量刻度的檢測器元件。在所述測量線段的相鄰段中，所述的增量刻度具有不同的橫向子結(jié)構(gòu)，這些橫向子結(jié)構(gòu)將入射的射線束向第一和第二空間方向偏轉(zhuǎn)。在所述的掃描單元方面，在不同的空間方向上布置了參考脈沖檢測器元件，在這些參考脈沖檢測器元件上施加著參考脈沖信號分量或區(qū)域信號，從這些參考脈沖信號分量或區(qū)域信號的處理中產(chǎn)生所述的參考脈沖信號。
文檔編號G01D5/26GK1551973SQ02817339
公開日2004年12月1日 申請日期2002年9月2日 優(yōu)先權(quán)日2001年9月4日
發(fā)明者W·霍爾扎普菲爾, K·桑迪, W 霍爾扎普菲爾 申請人:約翰尼斯海登海恩博士股份有限公司