專利名稱：使用光驅(qū)動(dòng)型驅(qū)動(dòng)器和光輸出型電壓傳感器的ic試驗(yàn)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光驅(qū)動(dòng)型驅(qū)動(dòng)器、光輸出型電壓傳感器及使用了該兩者的IC試驗(yàn)裝置，其中，光驅(qū)動(dòng)型驅(qū)動(dòng)器通過(guò)利用光信號(hào)驅(qū)動(dòng)而產(chǎn)生電壓信號(hào)，將試驗(yàn)圖案信號(hào)提供給被試驗(yàn)IC；光輸出型電壓傳感器將檢測(cè)出的電壓作為光信號(hào)輸出，可以利用光信號(hào)傳輸對(duì)應(yīng)于測(cè)定電壓值的模擬量。
背景技術(shù)：
圖15顯示現(xiàn)有IC試驗(yàn)裝置的通常的結(jié)構(gòu)。一般使用的IC試驗(yàn)裝置如圖15所示，由試驗(yàn)頭THD、容納試驗(yàn)裝置主體的主框架MIN、在它們之間進(jìn)行連接的電纜KBL和全自動(dòng)地將被試驗(yàn)IC10提供給試驗(yàn)頭THD的自動(dòng)裝入機(jī)HND構(gòu)成。
其結(jié)構(gòu)為在試驗(yàn)頭THD裝有IC插座SK，使被試驗(yàn)IC10與該IC插座SK接觸，使被試驗(yàn)IC10經(jīng)電纜KBL與主框架MIN電連接，自主框架MIN通過(guò)電纜KBL將試驗(yàn)圖案信號(hào)提供給被試驗(yàn)IC10，將被試驗(yàn)IC10的應(yīng)答信號(hào)再次經(jīng)過(guò)電纜KBL送入主框架MIN，在主框架MIN中，通過(guò)對(duì)應(yīng)答信號(hào)和期待值進(jìn)行邏輯比較，判定被試驗(yàn)IC是否正常操作了，試驗(yàn)被試驗(yàn)IC的優(yōu)劣。
試驗(yàn)頭THD上附設(shè)有自動(dòng)裝入機(jī)HND，自動(dòng)搬送被試驗(yàn)IC10。自動(dòng)裝入機(jī)HND進(jìn)行下述作業(yè)全自動(dòng)地使被試驗(yàn)IC10與IC插座SK接觸，試驗(yàn)結(jié)束后，自IC插座SK將試驗(yàn)完的IC排出，進(jìn)而根據(jù)試驗(yàn)結(jié)果將被試驗(yàn)IC10分類為合格品和次品容放于儲(chǔ)藏庫(kù)中。
這樣，IC試驗(yàn)裝置就必須采用由自動(dòng)裝入機(jī)HND將被試驗(yàn)IC10自動(dòng)提供給試驗(yàn)頭THD的結(jié)構(gòu)，所以，試驗(yàn)頭THD當(dāng)然采用了與主框架MIN分開配置并由電纜KBL進(jìn)行電連接的結(jié)構(gòu)。
圖16顯示IC試驗(yàn)裝置的電路系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)。主框架MIN容納有圖形發(fā)生器PG、定時(shí)發(fā)生器TG、波形發(fā)生器FOM和邏輯比較器LOG等。圖形發(fā)生器PG對(duì)波形發(fā)生器FOM輸出試驗(yàn)圖形數(shù)據(jù)PGDAT。波形發(fā)生器FOM由自圖形發(fā)生器PG供給的試驗(yàn)圖形數(shù)據(jù)PGDAT規(guī)定H邏輯和L邏輯，產(chǎn)生具有按自定時(shí)發(fā)生器TG供給的定時(shí)數(shù)據(jù)規(guī)定了H邏輯和L邏輯的上行和下行的定時(shí)的波形的試驗(yàn)圖案信號(hào)PGSIG。試驗(yàn)圖案信號(hào)PGSIG對(duì)每個(gè)被試驗(yàn)IC10的輸入端子TIN產(chǎn)生，通過(guò)電纜KBL和驅(qū)動(dòng)器12供給到被試驗(yàn)IC10的所有輸入端子TIN。
在被試驗(yàn)IC為例如存儲(chǔ)器的情況下，使用試驗(yàn)圖案信號(hào)PGSIG將數(shù)據(jù)寫入被試驗(yàn)IC10的各地址一次，然后，自各地址將數(shù)據(jù)讀出到輸出端子Tout。讀出到輸出端子Tout的應(yīng)答信號(hào)由電壓比較器13的各比較器13A和13B判定是否具有規(guī)定的H邏輯電平及是否具有規(guī)定的L邏輯電平，其判定結(jié)果作為CP1和CP2通過(guò)電纜KBL送到主框架MIN。
用圖17說(shuō)明比較器13A和13B的操作概況。圖17A顯示讀出到輸出端子Tout的被試驗(yàn)IC10的應(yīng)答信號(hào)Vout的波形。在比較器13A和13B自主框架MIN定時(shí)發(fā)生器TG輸出的選通脈沖STR被提供，與該選通脈沖STR同期輸出電壓比較結(jié)果CP1和CP2。
也就是說(shuō)，在從應(yīng)答信號(hào)Vout的輸出開始經(jīng)過(guò)了穩(wěn)定波形的時(shí)間TDRY的時(shí)刻將選通脈沖STR提供給比較器13A和13B，利用該選通脈沖STR輸出比較結(jié)果CP1和CP2。對(duì)比較器13A提供規(guī)定正規(guī)的H邏輯的比較電壓VOH。對(duì)比較器13B提供規(guī)定正規(guī)的L邏輯的比較電壓VOL。比較器13A如果應(yīng)答信號(hào)Vout的H邏輯比比較電壓VOH向正側(cè)超過(guò)，則作為判定的結(jié)果輸出表示合格的H邏輯的比較結(jié)果CP1。電壓比較器13B在應(yīng)答信號(hào)Vout的L邏輯比規(guī)定正規(guī)的L邏輯的電壓VOL向負(fù)側(cè)偏時(shí)，輸出表示合格的H邏輯的比較結(jié)果CP2。
比較器13A和13B的比較結(jié)果CP1和CP2通過(guò)電纜KBL被送到主框架MIN，由設(shè)于主框架MIN上的邏輯比較器LOG與期待值圖形NPG進(jìn)行邏輯比較，由該邏輯比較器LOG根據(jù)是否發(fā)生不一致判定被試驗(yàn)IC10的優(yōu)劣。
另外，在被試驗(yàn)IC10的輸出端子Tout連接有阻抗匹配用終端電阻TMR和具有由被試驗(yàn)IC10的規(guī)格決定的終端電壓值VT的直流源14。圖16顯示了被試驗(yàn)IC10為輸入端子TIN和輸出端子Tout獨(dú)立設(shè)置型的IC的情況，但輸入端子和輸出端子共用一個(gè)插頭的情況也很多。為此，如圖18所示，將驅(qū)動(dòng)器12的各驅(qū)動(dòng)器DR的輸出和電壓比較器13的各比較器13A和13B的各輸入端子共同連接，連接到被試驗(yàn)IC10的各輸入插頭T10上。這種情況下，將終端電阻TMR串聯(lián)連接到各驅(qū)動(dòng)器12的輸出端子與比較器13A和13B的輸入端子的共同連接點(diǎn)之間，在讀出由被試驗(yàn)IC10寫入的試驗(yàn)圖案信號(hào)(數(shù)據(jù))的模式下，在由驅(qū)動(dòng)器輸出終端電壓VT，滿足被試驗(yàn)IC10的終端條件的狀態(tài)下，用比較器13A和13B比較判定由被試驗(yàn)IC10讀出的電壓信號(hào)Vout的電位電平，將其比較結(jié)果CP1和CP2送入主框架MIN。
根據(jù)以上說(shuō)明，可以理解在IC試驗(yàn)裝置中，將試驗(yàn)頭THD和主框架MIN分離，在它們之間由電纜KBL電連接的結(jié)構(gòu)。
不過(guò)，IC試驗(yàn)裝置的使用者要求短時(shí)間試驗(yàn)大量的IC。因此，自動(dòng)裝入機(jī)HND和試驗(yàn)頭THD的規(guī)模及形狀就會(huì)大型化，從而電纜KBL的伸長(zhǎng)距離也有增長(zhǎng)的傾向。
當(dāng)電纜KBL增長(zhǎng)時(shí)，隨之電磁誘導(dǎo)雜音就變得易于混入，同時(shí)，也易于接受寄生于電纜KBL的浮置電容、寄生電感等產(chǎn)生的影響，對(duì)可在主框架MIN和試驗(yàn)頭THD之間授受的信號(hào)的傳輸速度(頻率)施加限制，存在對(duì)高速試驗(yàn)產(chǎn)生界限的缺陷。該界限是一個(gè)很大的障礙，只要是采用由電傳輸線路連接試驗(yàn)頭THD和主框架MIN之間的結(jié)構(gòu)就不能解除。
另外，作為其他障礙有，試驗(yàn)頭THD在很小的空間內(nèi)容納了諸如驅(qū)動(dòng)器12及電壓比較器13等大量的電子電路元件。并且，一次試驗(yàn)的被試驗(yàn)IC10的數(shù)量存在按16個(gè)、32個(gè)、64個(gè)增加的傾向。隨著一次試驗(yàn)的被試驗(yàn)IC10的數(shù)量增大，試驗(yàn)頭THD內(nèi)的每單位空間的發(fā)熱量增大，溫度上升也更顯著，所以，要想辦法放熱，產(chǎn)生了必須為放熱提高成本的缺陷。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提出一種可使IC試驗(yàn)裝置的試驗(yàn)速度大幅度提高、減少試驗(yàn)頭內(nèi)的發(fā)熱量、不需為放熱而增加成本的IC試驗(yàn)裝置。
本發(fā)明提供一種IC試驗(yàn)裝置，包括主框架，包括生成可應(yīng)用到被試驗(yàn)IC的電試驗(yàn)圖案信號(hào)的裝置，和邏輯比較器，在從被試驗(yàn)IC輸出的電IC試驗(yàn)應(yīng)答信號(hào)和所期望的圖案信號(hào)之間進(jìn)行邏輯比較，以判定被試驗(yàn)IC是否有缺陷；以及試驗(yàn)頭，安裝在遠(yuǎn)離該主框架但接近被試驗(yàn)IC的地方，該IC試驗(yàn)裝置其特征在于所述主框架還包括光源和光電檢測(cè)器；所述試驗(yàn)頭還包括光輸出型電壓傳感器，它包括電介質(zhì)基片，在該基片上形成的光分支部分，用于接收作為電壓傳感器的光輸入信號(hào)的輸入光，所述輸入光是以光方式從主框架中的光源發(fā)送的，并且該光分支部分還用于將所接收的輸入光分成兩部分，在該基片上形成的光匯合部分，在該基片上互相并行地形成在光分支部分和光匯合部分之間的第一和第二光波導(dǎo)，用于通過(guò)它們傳輸由輸入光分成的兩部分，和在該基片上形成的第一、第二電極和共用電極，被配制成使得第一電極和共用電極沿第一光波導(dǎo)的相對(duì)的邊排列成第一電極對(duì)，而第二電極和該共用電極沿第二光波導(dǎo)的相對(duì)的邊排列成第二電極對(duì)；光輸出型電壓傳感器用于接收從被試驗(yàn)IC輸出的電IC試驗(yàn)應(yīng)答信號(hào)，作為第一和第二電極至少之一的電輸入信號(hào)，并用于響應(yīng)所接收的電IC試驗(yàn)應(yīng)答信號(hào)，產(chǎn)生干涉光作為其光輸出信號(hào)；以及光電檢測(cè)器用于接收從試驗(yàn)頭中的電壓傳感器以光方式發(fā)送的光輸出信號(hào)，并將其轉(zhuǎn)換回代表電IC試驗(yàn)應(yīng)答信號(hào)的電輸出信號(hào)，該電輸出信號(hào)經(jīng)歷邏輯比較器的邏輯比較。
因此，根據(jù)本發(fā)明，試驗(yàn)頭和主框架之間由光波導(dǎo)線路連接。光波導(dǎo)線路不會(huì)混入電磁誘導(dǎo)雜音等電性雜音。并且，由于即使伸長(zhǎng)距離長(zhǎng)也沒(méi)有靜電容量或寄生電感產(chǎn)生的影響，因此可傳輸?shù)男盘?hào)的頻率與電傳輸線路構(gòu)成的IC試驗(yàn)裝置比可實(shí)現(xiàn)飛躍性地提高。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)可高速試驗(yàn)的IC試驗(yàn)裝置。


附圖的簡(jiǎn)單說(shuō)明如下圖1為用于說(shuō)明使用本發(fā)明的光驅(qū)動(dòng)型驅(qū)動(dòng)器的IC試驗(yàn)裝置的一實(shí)施例的連接圖；圖2為用于說(shuō)明使用本發(fā)明的光輸出型電壓傳感器的IC試驗(yàn)裝置的一圖6為用于說(shuō)明將本發(fā)明的光輸出型電壓傳感器的變形實(shí)施例應(yīng)用于IC試驗(yàn)裝置的例子的連接圖；圖7為用于說(shuō)明將本發(fā)明的光輸出型電壓傳感器的另一變形實(shí)施例應(yīng)用于IC試驗(yàn)裝置的例子的連接圖；圖8為用于說(shuō)明圖2所示的IC試驗(yàn)裝置的變形實(shí)施例的連接圖；圖9為用于說(shuō)明圖8的操作的波形圖；圖10為和圖9同樣的波形圖；圖11為顯示使用了本發(fā)明的光驅(qū)動(dòng)型驅(qū)動(dòng)器和光輸出型電壓傳感器兩者的IC試驗(yàn)裝置的實(shí)施例的連接圖；圖12為顯示圖11的變形實(shí)施例的連接圖；圖13為顯示圖11的另一變形實(shí)施例的連接圖；圖14為用于說(shuō)明圖11的又一變形實(shí)施例的立體圖；圖15為用于說(shuō)明現(xiàn)有IC試驗(yàn)裝置的概要的圖；圖16為用于說(shuō)明現(xiàn)有IC試驗(yàn)裝置的電路系統(tǒng)的概要的方框圖；圖17為用于說(shuō)明圖16的操作的波形圖；圖18為用于說(shuō)明圖16所示的現(xiàn)有IC試驗(yàn)裝置的其他例的方框圖。
具體實(shí)施例方式
圖1顯示本發(fā)明的光驅(qū)動(dòng)型驅(qū)動(dòng)器的一個(gè)實(shí)施例。在圖1所示的實(shí)施例中顯示構(gòu)成3值驅(qū)動(dòng)器的情況，該3值驅(qū)動(dòng)器可輸出VIH、VIL和由被試驗(yàn)IC10的規(guī)格決定的終端電壓VT。圖中，標(biāo)號(hào)20表示本發(fā)明的光驅(qū)動(dòng)型驅(qū)動(dòng)器。該光驅(qū)動(dòng)型驅(qū)動(dòng)器20可包括能夠形成內(nèi)部光波導(dǎo)線路22A、22B、22C的例如鈮酸鋰(LiNbO3)那樣的電介質(zhì)基片21，該電介質(zhì)基片21上形成的內(nèi)部光波導(dǎo)線路22A、22B、22C，光學(xué)性結(jié)合在這些內(nèi)部光波導(dǎo)線路22A、22B、22C的端部形成的光敏元件23A、23B、23C，和由該光敏元件23A、23B、23C電連接于輸出電極24的輸入電極25A、25B、25C。
另外，顯示了電介質(zhì)基片21上除輸出電極24和輸入電極25A、25B、25C外，形成用于和外部連接的外部連接電極26，及在這些外部連接電極26和輸出電極24之間形成終端電阻TMR的情況。
在電介質(zhì)基片21上形成的內(nèi)部光波導(dǎo)線路22A、22B、22C上光學(xué)性連接有例如光纖那樣的外部光波導(dǎo)線路32A、32B、32C，在該外部光波導(dǎo)線路32A、32B、32C的另一端、即主框架MIN一側(cè)連接有將自波形發(fā)生器FOM輸出的試驗(yàn)圖案信號(hào)PGSIG變換為光信號(hào)的光信號(hào)變換器33。該光信號(hào)變換器33在被試驗(yàn)IC10的每個(gè)輸入端子設(shè)置3個(gè)光源33A、33B、33C而構(gòu)成，通過(guò)按照試驗(yàn)圖案信號(hào)使光源33A、33B、33C點(diǎn)亮，利用各光源33A、33B、33C發(fā)的光選擇性導(dǎo)通光敏元件23A、23B、23C。通過(guò)選擇性導(dǎo)通光敏元件23A、23B、23C可將提供給輸入電極25A、25B、25C的電壓VIH、VIL、VT之某個(gè)輸出到外部連接電極26，可輸出3值驅(qū)動(dòng)信號(hào)DRV。
根據(jù)本發(fā)明的光驅(qū)動(dòng)型驅(qū)動(dòng)器20的結(jié)構(gòu)，將光驅(qū)動(dòng)型驅(qū)動(dòng)器20和電壓源31A、31B、31C裝在試驗(yàn)頭THD上，將光源33A、33B、33C裝在主框架MIN上，自主框架MIN通過(guò)外部光波導(dǎo)線路32A、32B、32C以光信號(hào)將試驗(yàn)圖案信號(hào)傳送到試驗(yàn)頭THD，從而，可將3值的驅(qū)動(dòng)信號(hào)DRV輸出到外部連接電極26。這樣，在被試驗(yàn)IC10的圖1的例子中，將該3值的驅(qū)動(dòng)信號(hào)DRV提供給輸入專用端子TIN，從而可將試驗(yàn)圖案信號(hào)輸入被試驗(yàn)IC10。
在上述的結(jié)構(gòu)中，光敏元件23A、23B、23C可以由例如在光被照射在Si、GaAs、InAs等半導(dǎo)體材料上時(shí)產(chǎn)生的載流子以對(duì)光的輸入呈現(xiàn)導(dǎo)電性的元件構(gòu)成。另外，說(shuō)明了將內(nèi)部光波導(dǎo)線路22A、22B、22C形成于電介質(zhì)基片21上的情況，但也可以使內(nèi)部光波導(dǎo)線路22A、22B、22C和外部光波導(dǎo)線路32A、32B、32C一樣由光纖構(gòu)成。這種情況下，只要可以由光連接件連接和分離構(gòu)成內(nèi)部光波導(dǎo)線路22A、22B、22C的光纖和構(gòu)成外部光波導(dǎo)線路32A、32B、32C的光纖就可以。
圖2顯示使用了本發(fā)明的光輸出型電壓傳感器的IC試驗(yàn)裝置的一個(gè)實(shí)施例。在該圖2所示的實(shí)施例中，表示了將自輸出專用端子Tout輸出的電壓信號(hào)Vout變換為光信號(hào)并傳送到主框架MIN的情況。圖中，標(biāo)號(hào)50表示本發(fā)明的光輸出型電壓傳感器。本發(fā)明的光輸出型電壓傳感器50可以包括以適當(dāng)?shù)淖杩菇邮鼙辉囼?yàn)IC10輸出的電壓信號(hào)Vout的終端阻抗TMR，將該終端阻抗TMR接受的電壓信號(hào)Vout的電壓Vo變換為光的調(diào)制量、由光的調(diào)制量輸出干擾光的光調(diào)制器52，和支承它們的基片51。
光調(diào)制器52如圖3所示，包括將形成于電介質(zhì)基片52-7的光波導(dǎo)線路分支的光分支部52-1，光匯合部52-2，形成于這些光分支部52-1和光匯合部52-2之間的2條光波導(dǎo)線路52-3A、52-3B，形成于這2條光波導(dǎo)線路52-3A、52-3B各自兩側(cè)的電場(chǎng)施加電極52-4、52-5、52-6。
光分支部52-1、光匯合部52-2、光波導(dǎo)線路52-3A、52-3B可以分別使例如鈦等擴(kuò)散到由例如鈮酸鋰(LiNbO3)等構(gòu)成的電介質(zhì)基片52-7上而形成。將例如光纖那樣的光波導(dǎo)線路54、55光學(xué)結(jié)合在自電介質(zhì)基片52-7的端面露出而形成的光的入射端52-8A和出射端52-8B，將例如激光二極管那樣的光源61結(jié)合在結(jié)合于入射端52-8A的輸入用光波導(dǎo)線路的另一端側(cè)，將例如光電二極管那樣的光傳感器63結(jié)合在結(jié)合于出射端52-8B的輸出用光波導(dǎo)線路55的另一端側(cè)。
光源61由光源驅(qū)動(dòng)電路62驅(qū)動(dòng)至點(diǎn)亮狀態(tài)。在本例中，顯示由直流電源驅(qū)動(dòng)的情況。因此光源61將一定光量的激光入射至輸入用光波導(dǎo)線路54。將檢測(cè)電路64連接在光傳感器63上，將自輸出用光波導(dǎo)線路55出射的光的強(qiáng)度變換為電壓信號(hào)Vout-1取出。將產(chǎn)生于終端電阻TMR的電壓Vo施加到電場(chǎng)施加電極52-4、52-5、52-6之一側(cè)的一對(duì)。在圖3所示的例子中，顯示將產(chǎn)生于終端電阻TMR的電壓Vo施加到電場(chǎng)施加電極52-4和52-5之間，對(duì)另一側(cè)的一對(duì)電場(chǎng)施加電極52-4和52-6，共連接這些電極52-4和52-6并不給它們提供電場(chǎng)的情況。
這樣，對(duì)分支的光的一側(cè)的光波導(dǎo)線路52-3A施加電場(chǎng)，對(duì)另一側(cè)的光波導(dǎo)線路52-3B不施加電場(chǎng)，從而，在提供有電場(chǎng)的光波導(dǎo)線路52-3A一側(cè)對(duì)光進(jìn)行相位調(diào)制，而使通過(guò)另一無(wú)電場(chǎng)側(cè)的光波導(dǎo)線路52-3B的光無(wú)調(diào)制地通過(guò)。利用光波導(dǎo)線路52-3A側(cè)接收的光的相位調(diào)制在光匯合部52-2產(chǎn)生光的干擾，使出射到輸出用光波導(dǎo)線路55的光的強(qiáng)度變化。
用圖3及圖4說(shuō)明該情況。設(shè)入射到輸入用光波導(dǎo)線路54的光強(qiáng)度為Pin，輸出到輸出用光波導(dǎo)線路55的光強(qiáng)度為Pout，提供給電場(chǎng)施加電極52-4和52-5的電壓為Vo，則當(dāng)使該施加電壓Vo變化時(shí)，出射到光波導(dǎo)線路55的光強(qiáng)度Pout如圖4A所示，沿Cos曲線變化。即，當(dāng)施加電壓Vo為Vo＝0時(shí)，Pout＝Pin，當(dāng)使Vo漸漸向+方向或-方向變化時(shí)，出射光量沿Cos曲線漸漸降低，在某個(gè)電壓下出射光量達(dá)到0。當(dāng)使施加電壓Vo進(jìn)一步增加時(shí)，出射強(qiáng)度Pout沿Cos曲線漸漸增加，當(dāng)達(dá)到某個(gè)電壓時(shí)出射強(qiáng)度Pout為1，即，形成Pout＝Pin的狀態(tài)。以后，相對(duì)施加電壓Vo的變化出射強(qiáng)度Pout呈現(xiàn)在1和0之間往復(fù)的光調(diào)制特性。
圖4A所示的光調(diào)制特性顯示了光波導(dǎo)線路52-3A和52-3B的光路長(zhǎng)相等的情況，但通過(guò)使一側(cè)的光路長(zhǎng)與另一側(cè)的光路長(zhǎng)之間存在所傳播的光的波長(zhǎng)的1/4的差或在圖3及圖5所示的連接結(jié)構(gòu)中對(duì)電場(chǎng)施加電極施加旁路電壓VBAS，光調(diào)制特性就變?yōu)槿鐖D4B所示，相對(duì)施加電壓Vo的變化沿Sin曲線而變的特性。即，得到以施加電壓Vo＝0為中心急劇變化的特性。在圖6以后的說(shuō)明中，說(shuō)明通過(guò)使光波導(dǎo)線路52-3A和52-3B的光路長(zhǎng)存在1/4波長(zhǎng)之差而將光調(diào)制的初期位置設(shè)定為圖4B所示的狀態(tài)的情況。
由以上說(shuō)明的光調(diào)制器52的調(diào)制特性可知，光調(diào)制器52相對(duì)于某個(gè)范圍的電場(chǎng)輸入(光的相位調(diào)制量在360°范圍內(nèi)的電場(chǎng)輸入)，將出射光的強(qiáng)度Pout調(diào)制為用Pout＝Pin的狀態(tài)和Pout＝0之間的值、即Pout/Pin＝1和Pout/Pin＝0之間的值表示的光信號(hào)。因此，圖2所示的檢測(cè)電路64輸出具有和被試驗(yàn)IC10輸出的電壓信號(hào)Vout等價(jià)的波形的電壓信號(hào)Vout-1(參照?qǐng)D2)。
得到該電壓信號(hào)Vout-1后的處理與現(xiàn)有的IC試驗(yàn)裝置一樣，利用電壓比較器13將電壓信號(hào)Vout-1與基準(zhǔn)的H邏輯電平VOH和L邏輯電平VOL比較，判定是否具備規(guī)定的邏輯電平，若其判定結(jié)果為好，則將電壓比較結(jié)果和期待值進(jìn)行邏輯比較，判定被試驗(yàn)IC10的操作是否正常。圖2顯示了直至電壓比較器13的結(jié)構(gòu)，省略了比較電壓信號(hào)Vout-1的邏輯是否與期待值一致的邏輯比較器和輸出期待值的圖形發(fā)生器等的結(jié)構(gòu)。
在圖3所示的光調(diào)制器52中，電壓信號(hào)Vout的檢測(cè)感度與電極長(zhǎng)L(參照?qǐng)D3)成正比，與電極間的間隙成反比。因此通過(guò)使電極長(zhǎng)L增長(zhǎng)而電極間間隙變窄的方式形成，可提高電壓信號(hào)Vout的檢測(cè)感度。
如圖5所示，通過(guò)將被試驗(yàn)IC10輸出的電壓信號(hào)Vout差動(dòng)性供給電場(chǎng)施加電極52-4和52-5及52-4和52-6兩側(cè)，可使光調(diào)制器52的感度達(dá)到2倍。作為用于提高感度的其他方法，加強(qiáng)光源61的發(fā)光強(qiáng)度也是一種方法。
無(wú)論如何，如圖2所示，通過(guò)將被試驗(yàn)IC10輸出的應(yīng)答信號(hào)Vout變換為光信號(hào)，利用光信號(hào)將被試驗(yàn)IC10的電壓信號(hào)Vout自試驗(yàn)頭THD傳輸?shù)街骺蚣躆IN，即使其傳輸距離增長(zhǎng)一些如達(dá)到數(shù)10米～100米左右，光信號(hào)的品質(zhì)也不會(huì)劣化。而且，也不會(huì)混入來(lái)自外界的電性誘導(dǎo)雜音，也完全不會(huì)受如電傳輸線路等的寄生電容、寄生電感等產(chǎn)生的影響，所以這一點(diǎn)也可以傳輸高品質(zhì)的光信號(hào)。而且，由于在試驗(yàn)頭THD中處理電信號(hào)的部分少，所以可以減少試驗(yàn)頭THD側(cè)的發(fā)熱量。這樣，可以抑制試驗(yàn)頭THD的總發(fā)熱量，所以可抑制試驗(yàn)頭THD內(nèi)部的溫度上升，所以，可以得到可以不設(shè)置冷卻裝置等昂貴裝置的優(yōu)點(diǎn)。
圖6顯示光輸出型電壓傳感器50的變形實(shí)施例。在該實(shí)施例中，采用由使構(gòu)成光調(diào)制器52的電場(chǎng)施加電極52-6與規(guī)定的特性阻抗匹配的微型帶狀線構(gòu)成的信號(hào)傳送線路結(jié)構(gòu)，將被試驗(yàn)IC10輸出的電壓信號(hào)Vout向該信號(hào)線路結(jié)構(gòu)的電場(chǎng)施加電極52-6傳播。將終端阻抗TMR和輸出終端電壓Vt的電壓源14串聯(lián)連接到電場(chǎng)施加電極52-6的終端側(cè)，連接在共電位點(diǎn)。
和該電壓信號(hào)Vout的傳播方向同一方向使光透過(guò)構(gòu)成光調(diào)制器52的光波導(dǎo)線路52-3A，在電場(chǎng)施加電極52-6和52-4之間向透過(guò)該光波導(dǎo)線路52-3A的光施加電壓信號(hào)Vout的電壓Vo。向另一側(cè)的電極對(duì)52-4和52-5提供共電位，不對(duì)光波導(dǎo)線路52-3B施加電場(chǎng)。光源61在本例中表示利用直流的光源驅(qū)動(dòng)電路進(jìn)行直流點(diǎn)亮的情況。
如本實(shí)施例這樣，通過(guò)使電壓信號(hào)Vout的進(jìn)行方向與光的進(jìn)行方向一致使電信號(hào)和光的進(jìn)行速度相等，從而作為進(jìn)行波形光調(diào)制器進(jìn)行操作。其結(jié)果光調(diào)制器52的調(diào)制特性寬帶化，利用光干擾光在主框架MIN再現(xiàn)的脈沖信號(hào)Vout-1忠實(shí)地再現(xiàn)送出側(cè)的電壓信號(hào)Vout的波形。并且，由于電壓信號(hào)Vout和光以同一速度行進(jìn)，所以，電壓的檢測(cè)感度也可得到高增益。
圖7表示圖6的變形實(shí)施例。在該實(shí)施例中，表示共同連接構(gòu)成光調(diào)制器52的電場(chǎng)施加電極52-5和52-6、同時(shí)雙側(cè)采用信號(hào)傳輸線路結(jié)構(gòu)，形成對(duì)光波導(dǎo)線路52-3A和光波導(dǎo)線路52-3B差動(dòng)施加電場(chǎng)的結(jié)構(gòu)的情況。該情況下，由電場(chǎng)施加電極52-5、52-6構(gòu)成的信號(hào)傳輸線路的阻抗形成圖6情況下的約2倍的特性阻抗，終端阻抗TMR的阻抗值也選定為圖6情況下的2倍的阻抗值。根據(jù)該圖7的結(jié)構(gòu)，與圖6的實(shí)施例比較可得到可實(shí)現(xiàn)約2倍的電壓的檢測(cè)感度的優(yōu)點(diǎn)。
圖8表示圖2的另一實(shí)施例。在該圖8的實(shí)施例中，在光源61側(cè)連接光纖65，利用該光纖65將自光源61出射的光變換為脈沖寬度窄的光脈沖PPS(參照?qǐng)D9B)，將該光脈沖PPS通過(guò)輸入用光波導(dǎo)線路54輸入光調(diào)制器52。這里，選定提供給光開關(guān)65的開關(guān)控制信號(hào)SWP的定時(shí)，以使光脈沖PPS在被試驗(yàn)IC10輸出的電壓信號(hào)Vout達(dá)到穩(wěn)定的值的定時(shí)產(chǎn)生。或者也可以通過(guò)直接用脈沖電流、電壓驅(qū)動(dòng)激光元件產(chǎn)生光脈沖。
通過(guò)在電壓信號(hào)Vout的規(guī)定的定時(shí)提供光脈沖PPS，自光調(diào)制器52輸出的脈沖狀的干擾光具有與電壓信號(hào)Vout的H邏輯和L邏輯的值對(duì)應(yīng)的光干擾電平。因此，自檢測(cè)電路64輸出圖9C所示的電壓信號(hào)Vout-1。在檢測(cè)電路64的輸出側(cè)設(shè)置積分電路66，利用該積分電路66對(duì)由檢測(cè)電路64輸出的電壓信號(hào)Vout-1進(jìn)行積分。
積分電路66的積分時(shí)間常數(shù)在光脈沖PPS的脈沖寬度的時(shí)間范圍內(nèi)選定為積分電壓INTV充分達(dá)到目標(biāo)值時(shí)的時(shí)間常數(shù)。通過(guò)這樣選定積分電路66的時(shí)間常數(shù)，就可以充分取得自檢測(cè)電路64輸出的電壓信號(hào)Vout-1的峰值。通過(guò)積分電路66對(duì)目標(biāo)值的電壓進(jìn)行積分，就可以以充裕的時(shí)間進(jìn)行其后的處理。因此，具有積分電路66以后的電路不必為高速操作的電路的優(yōu)點(diǎn)。
即，若積分電路66對(duì)作為目標(biāo)的電壓信號(hào)Vout-1的峰值進(jìn)行積分，則其后就維持該積分電壓，所以電壓比較器13A和13B只要在延遲了直至積分電壓INTV達(dá)到穩(wěn)定的時(shí)間τ的定時(shí)，利用選通脈沖STB(參照?qǐng)D9E)對(duì)積分電路66的積分電壓INTV進(jìn)行電壓比較就可以。
比較器13A和13B的比較結(jié)果CP1和CP2示于圖9G和H。進(jìn)行電壓比較后，利用圖9F所示的復(fù)位脈沖RSP對(duì)積分電路66的積分電壓INTV進(jìn)行復(fù)位。
如圖8所示的實(shí)施例所示，通過(guò)利用光脈沖PPS對(duì)被試驗(yàn)IC10輸出的電壓信號(hào)Vout取樣，可以相對(duì)時(shí)間軸方向高分辨率地對(duì)電壓信號(hào)Vout進(jìn)行取樣。即，可正確測(cè)定光脈沖PPS脈沖寬度范圍內(nèi)的電壓信號(hào)Vout的值，即使例如電壓信號(hào)Vout的波形如圖10所示在上行及下行部分為不標(biāo)準(zhǔn)的波形，也可以通過(guò)在電壓信號(hào)Vout達(dá)到最終邏輯電壓VH、VL的定時(shí)提供光脈沖PPS而對(duì)電壓信號(hào)Vout-1的最終邏輯電壓值VH和VL進(jìn)行取樣。在電壓信號(hào)Vout具有一定的重復(fù)的情況下，只要一邊將光脈沖的定時(shí)一點(diǎn)點(diǎn)偏移一邊取樣，就可觀測(cè)Vout的波形本身。另外，使用圖8所示的光開關(guān)65的電壓測(cè)定方法在圖8所示的實(shí)施例中表示了應(yīng)用于圖2所示的實(shí)施例的情況，但當(dāng)然也可以應(yīng)用于圖6及圖7所示的實(shí)施例。
圖11顯示將本發(fā)明應(yīng)用于被試驗(yàn)IC10的端子兼作輸入端子和輸出端子的輸入輸出端子T10的情況。該情況下，使用圖1說(shuō)明的光驅(qū)動(dòng)型驅(qū)動(dòng)器20和圖6說(shuō)明的光輸出型電壓傳感器50兩者將試驗(yàn)圖案信號(hào)輸入被試驗(yàn)IC10，同時(shí)用光輸出型電壓傳感器50將自被試驗(yàn)IC10輸出的電壓信號(hào)Vout變換為光信號(hào)，將該光信號(hào)通過(guò)輸出用光波導(dǎo)線路55傳送給主框架MIN。
使構(gòu)成光輸出型電壓傳感器50的電場(chǎng)施加電極52-6采用微型帶狀線那樣的信號(hào)傳輸線路結(jié)構(gòu)，將該電場(chǎng)施加電極52-6的一端側(cè)連接到被試驗(yàn)IC10的輸入輸出端子T10，同時(shí)將另一端側(cè)電連接到光驅(qū)動(dòng)型驅(qū)動(dòng)器20的外部連接電極26。
在將試驗(yàn)圖案信號(hào)提供給被試驗(yàn)IC10的情況下，波形發(fā)生器FOM按照試驗(yàn)圖形數(shù)據(jù)控制構(gòu)成光信號(hào)變換器33的光源33A、33B、33C使其點(diǎn)亮，將該點(diǎn)亮的光通過(guò)光波導(dǎo)線路32A、32B、32C供給到設(shè)在試驗(yàn)頭THD的光敏元件23A、23B、23C，從而驅(qū)動(dòng)光驅(qū)動(dòng)型驅(qū)動(dòng)器20。
在將試驗(yàn)圖案信號(hào)提供給被試驗(yàn)IC10的狀態(tài)下，控制光源33A、33B使其閃爍。另一方面，在使電壓信號(hào)Vout自被試驗(yàn)IC10輸出的情況下，使光源33C點(diǎn)亮，使光敏元件23C導(dǎo)通，將終端阻抗器TMR的一端通過(guò)輸出終端電壓VT的直流源31C連接到共電位點(diǎn)，將被試驗(yàn)IC10的輸入輸出端子T10在與規(guī)定的阻抗匹配的狀態(tài)下終接。
在該終接狀態(tài)下，若被試驗(yàn)IC10輸出電壓信號(hào)Vout，則利用該電壓信號(hào)Vout調(diào)制透過(guò)光調(diào)制器52的光的相位，利用該光的相位調(diào)制在匯合部得到干擾光，該干擾光通過(guò)輸出用光波導(dǎo)線路55被送到主框架MIN，由光傳感器63變換為電信號(hào)，檢測(cè)電路64輸出電壓信號(hào)Vout-1。因此，利用比較器13A和13B判定該電壓信號(hào)Vout-1是否具有H邏輯電平和L邏輯電平的電壓，將其比較輸出CP1和CP2送入邏輯比較器LOG(參照?qǐng)D16)，進(jìn)行被試驗(yàn)IC10的優(yōu)劣的判定。
另外，在圖11的實(shí)施例中顯示了光源61的發(fā)光采用直流點(diǎn)亮的情況，但也可以如圖8所示，將光開關(guān)65插入光波導(dǎo)線路54，利用光開關(guān)65將供給光調(diào)制器52的光形成脈沖狀，在光調(diào)制器52中利用光脈沖對(duì)被試驗(yàn)IC10輸出的電壓信號(hào)Vout取樣。
即使在該圖11的實(shí)施例中，如圖12所示，也可使光調(diào)制器52的電場(chǎng)施加電極52-5和52-6兩者采用微型帶狀線結(jié)構(gòu)，采用通過(guò)分別供給電壓信號(hào)Vout，對(duì)光波導(dǎo)線路52-3A和52-3B差動(dòng)地施加電場(chǎng)而達(dá)到2倍的電壓的檢測(cè)感度的電壓傳感器的結(jié)構(gòu)。
圖13顯示圖12所示的本發(fā)明的IC試驗(yàn)裝置的變形實(shí)施例。在本圖13所示的實(shí)施例中，在構(gòu)成光調(diào)制器52的電介質(zhì)基片52-7上形成補(bǔ)正用光波導(dǎo)線路52-9，使供給光調(diào)制器52的光的一部分透過(guò)該補(bǔ)正用光波導(dǎo)線路52-9，將該透過(guò)光通過(guò)光波導(dǎo)線路56送入主框架MIN，利用設(shè)在主框架MIN的光傳感器63B和檢測(cè)電路64B生成參照信號(hào)REF。由自檢測(cè)電路64A輸出的電壓信號(hào)Vout-1減去該參照信號(hào)REF，并將參照信號(hào)REF提供給光源驅(qū)動(dòng)電路62，控制光源61的發(fā)光強(qiáng)度使其穩(wěn)定化。
根據(jù)該圖13所示的實(shí)施例，光源61的發(fā)光強(qiáng)度被穩(wěn)定化控制，因此，輸入光調(diào)制器52的光的強(qiáng)度也穩(wěn)定，所以可以提高光調(diào)制器52的可靠性。并且，在本實(shí)施例中，接近光調(diào)制器52形成補(bǔ)正用光波導(dǎo)線路52-9，利用透過(guò)該補(bǔ)正用光波導(dǎo)線路52-9的光生成參照信號(hào)REF，所以，即使由于例如溫度變動(dòng)等使透過(guò)構(gòu)成光調(diào)制器52的光波導(dǎo)線路52-3A、52-3B的光量產(chǎn)生變動(dòng)，也可由參照信號(hào)REF的變動(dòng)檢測(cè)其變動(dòng)，可通過(guò)檢測(cè)參照信號(hào)REF的變動(dòng)補(bǔ)正電壓信號(hào)Vout-1的變動(dòng)。
通過(guò)自電壓信號(hào)Vout-1減去參照信號(hào)REF，可自電壓信號(hào)Vout-1除去偏移成分。
圖14顯示本發(fā)明的又一實(shí)施例。在該圖14所示的實(shí)施例中，顯示了如下的情況，即，在使探頭73直接接觸形成于半導(dǎo)體晶片(Wafer)70上的IC芯片(chip)71試驗(yàn)形成于IC芯片71上的IC是否正常操作的情況下，應(yīng)用本發(fā)明的光驅(qū)動(dòng)型驅(qū)動(dòng)器20和光輸出型電壓傳感器50的情況。探頭卡72通常形成環(huán)狀，探頭73自中心孔的周緣向內(nèi)突出支承在探頭卡72上。使探頭73的前端與形成于IC芯片71的電極部分接觸，使IC芯片71上形成的集成電路操作而進(jìn)行試驗(yàn)。
在這種IC試驗(yàn)裝置中，要準(zhǔn)備將光驅(qū)動(dòng)型驅(qū)動(dòng)器20和光輸出型電壓傳感器50一體搭載的基片80。光驅(qū)動(dòng)型驅(qū)動(dòng)器20和光輸出型電壓傳感器50兩者合起來(lái)也可以裝在10～15mm左右方形基片上?？梢詫⒃摶?0裝在探頭73上，通過(guò)探頭73將試驗(yàn)圖案信號(hào)自光驅(qū)動(dòng)型驅(qū)動(dòng)器20提供給IC芯片71，同時(shí)，通過(guò)探頭73將IC芯片71輸出的電壓信號(hào)Vout取出輸入到光輸出型電壓傳感器50，由光輸出型電壓傳感器50將電壓信號(hào)Vout變換為干擾光，通過(guò)輸出用光波導(dǎo)線路55送入主框架。
如上所述，通過(guò)使用本發(fā)明的光驅(qū)動(dòng)型驅(qū)動(dòng)器和光輸出型電壓傳感器，可以利用光信號(hào)傳送驅(qū)動(dòng)信號(hào)，且可以以光信號(hào)傳送測(cè)定信號(hào)。傳送光信號(hào)的光波導(dǎo)線路完全不會(huì)象電信號(hào)的傳送線路那樣混入電雜音，而且也不存在寄生電容、寄生電感等成分，因此即使采用長(zhǎng)距離的信號(hào)傳送線路，也不會(huì)發(fā)生任何障礙。
因此，通過(guò)將本發(fā)明的光驅(qū)動(dòng)型驅(qū)動(dòng)器和光輸出型電壓傳感器應(yīng)用于IC試驗(yàn)裝置，即使試驗(yàn)頭THD和主框架MIN之間距離變長(zhǎng)，也可以通過(guò)以光信號(hào)在其間授受，而不受任何電障礙地將試驗(yàn)圖案信號(hào)提供給被試驗(yàn)IC10?？梢詫⒈辉囼?yàn)IC10輸出的電壓信號(hào)Vout無(wú)波形劣化地送入主框架MIN。
而且，由于信號(hào)傳輸線路不存在寄生電容或寄生電感等成分，所以在光波導(dǎo)線路傳播的光信號(hào)的頻率也可以采用高頻率。其結(jié)果，提供給被試驗(yàn)IC10的試驗(yàn)圖案信號(hào)的頻率也可以設(shè)定為比電信號(hào)的情況下足夠高的頻率。因此可以使被試驗(yàn)IC10的試驗(yàn)速度高速化，可以飛躍性地提高IC試驗(yàn)裝置的試驗(yàn)速度。
光驅(qū)動(dòng)型驅(qū)動(dòng)器20和光輸出型電壓傳感器50完全不使用大量消耗電力的電性的有源元件，故發(fā)熱量等于無(wú)。因此，即使將大量的光驅(qū)動(dòng)型驅(qū)動(dòng)器20和光輸出型電壓傳感器50裝在試驗(yàn)頭THD上，發(fā)熱量也極小，尤其是不需要使用冷卻裝置。因此可期待IC試驗(yàn)裝置在制造上降低成本。
權(quán)利要求
1.一種IC試驗(yàn)裝置，包括主框架，包括生成可應(yīng)用到被試驗(yàn)IC的電試驗(yàn)圖案信號(hào)的裝置，和邏輯比較器，用于在從被試驗(yàn)IC輸出的電IC試驗(yàn)應(yīng)答信號(hào)和所期望的圖案信號(hào)之間進(jìn)行邏輯比較，以判定被試驗(yàn)IC是否有缺陷；以及試驗(yàn)頭，安裝在遠(yuǎn)離該主框架但接近被試驗(yàn)IC的地方，該IC試驗(yàn)裝置其特征在于主框架還包括光源和光電檢測(cè)器；試驗(yàn)頭還包括光輸出型電壓傳感器，它包括電介質(zhì)基片，在該基片上形成的光分支部分，用于接收輸入光作為電壓傳感器的光輸入信號(hào)，所述輸入光是以光方式從主框架的光源發(fā)送的，并且該光分支部分還用于將所接收的輸入光分成兩部分，在該基片上形成的光匯合部分，在該基片上互相并行地形成在光分支部分和光匯合部分之間的第一和第二光波導(dǎo)，用于通過(guò)它們傳輸由輸入光分成的兩部分，和在該基片上形成的第一、第二電極和共用電極，被配制成使得第一電極和共用電極沿第一光波導(dǎo)的相對(duì)的邊排列成第一電極對(duì)，而第二電極和該共用電極沿第二光波導(dǎo)的相對(duì)的邊排列成第二電極對(duì)；該光輸出型電壓傳感器用于接收從被試驗(yàn)IC輸出的電IC試驗(yàn)應(yīng)答信號(hào)，作為第一和第二電極至少之一的電輸入信號(hào)，并用于響應(yīng)所接收的電IC試驗(yàn)應(yīng)答信號(hào)，產(chǎn)生干涉光作為其光輸出信號(hào)；以及該光電檢測(cè)器用于接收從試驗(yàn)頭的電壓傳感器以光方式發(fā)送的光輸出信號(hào)，并將其轉(zhuǎn)換回代表電IC試驗(yàn)應(yīng)答信號(hào)的電輸出信號(hào)，該電輸出信號(hào)經(jīng)歷邏輯比較器的邏輯比較。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的IC試驗(yàn)設(shè)備，其中第一和二電極連接在一起形成并行連接的電極，以便以不同方式將該電IC試驗(yàn)應(yīng)答信號(hào)提供給第一和第二電極對(duì)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的IC試驗(yàn)設(shè)備，其中第二電極與共用電極相連接，以便將電IC試驗(yàn)應(yīng)答信號(hào)提供給第一電極對(duì)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3之一的IC試驗(yàn)設(shè)備，其中該光輸出型電壓傳感器還包括一偏壓電源，用于產(chǎn)生提供給共用電極的偏壓，以便按照由于該偏壓引起的提供給該電壓傳感器的IC試驗(yàn)應(yīng)答信號(hào)的變化，控制從該電壓傳感器輸出的干涉光的發(fā)射光強(qiáng)度隨正弦曲線變化。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4之一的IC試驗(yàn)設(shè)備，其特征在于輸入光是脈沖狀的光。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至4之一的IC試驗(yàn)設(shè)備，其中在基片中的光波導(dǎo)之一的附近，該電壓傳感器還具有一補(bǔ)正用光波導(dǎo)，用于傳輸輸入光的一部分，以便返回主框架，轉(zhuǎn)換成參照信號(hào)并與已經(jīng)轉(zhuǎn)換過(guò)的電輸出信號(hào)進(jìn)行組合，以形成補(bǔ)正的輸出信號(hào)作為用于邏輯比較的電應(yīng)答信號(hào)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6的IC試驗(yàn)設(shè)備，其中該主框架還包括反饋部件，用于將該基準(zhǔn)信號(hào)反饋給光源的一驅(qū)動(dòng)電路，以便調(diào)節(jié)光源的輸出強(qiáng)度。
8.根據(jù)權(quán)利要求1的IC試驗(yàn)設(shè)備，其特征在于具有多個(gè)探頭的探頭卡，用于連接排列在試驗(yàn)頭中的被試驗(yàn)IC的引腳；以及多個(gè)電壓傳感器，以這樣一種方式安裝在該多個(gè)探頭上每個(gè)探頭與一個(gè)電壓傳感器相關(guān)聯(lián)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1的IC試驗(yàn)設(shè)備，其中該主框架也包括光信號(hào)轉(zhuǎn)換器，用于將試驗(yàn)圖案信號(hào)轉(zhuǎn)換成光驅(qū)動(dòng)器信號(hào)，以及該試驗(yàn)頭也包括光驅(qū)動(dòng)器，用于接收以光學(xué)方式從該主框架中的光信號(hào)轉(zhuǎn)換器發(fā)送的光驅(qū)動(dòng)信號(hào)，并按照該光驅(qū)動(dòng)信號(hào)產(chǎn)生電試驗(yàn)圖案信號(hào)。
10.根據(jù)權(quán)利要求2的IC試驗(yàn)設(shè)備，其中連接在一起形成并行連接的電極的第一和二電極中的每一個(gè)都具有預(yù)定阻抗的信號(hào)傳輸線結(jié)構(gòu)，和被施加到該第一和二電極中的每一個(gè)并沿其傳輸?shù)谋惠斎氲腎C試驗(yàn)應(yīng)答信號(hào)和透過(guò)該電壓傳感器的第一和第二光波導(dǎo)的光在同一方向上傳播。
11.根據(jù)權(quán)利要求3的IC試驗(yàn)設(shè)備，其中第一電極對(duì)中的所述第一電極具有預(yù)定阻抗的信號(hào)傳輸線結(jié)構(gòu)，和被施加到該第一電極并沿其傳輸?shù)谋惠斎氲腎C試驗(yàn)應(yīng)答信號(hào)和透過(guò)該電壓傳感器的第一光波導(dǎo)的光在同一方向上傳播。
全文摘要
一種IC試驗(yàn)裝置，包括主框架和試驗(yàn)頭，主框架包括圖形發(fā)生器和邏輯比較器，試驗(yàn)頭安裝在遠(yuǎn)離該主框架但接近被試驗(yàn)IC的地方。所述主框架還包括光源和光電檢測(cè)器；所述試驗(yàn)頭還包括電介質(zhì)基片，在該基片上形成的光分支部分、光匯合部分、互相并行地形成在光分支部分和光匯合部分之間的第一和第二光波導(dǎo)和第一、第二電極和共用電極。被試驗(yàn)IC輸出的應(yīng)答信號(hào)被提供給光輸出型電壓傳感器，利用該光輸出型電壓傳感器將被試驗(yàn)IC輸出的電壓信號(hào)作為光信號(hào)傳送到主框架，利用光信號(hào)在主框架和試驗(yàn)頭之間進(jìn)行信號(hào)的授受，可以進(jìn)行高速操作。
文檔編號(hào)G01R31/28GK1434302SQ03101070
公開日2003年8月6日 申請(qǐng)日期2003年1月9日 優(yōu)先權(quán)日2003年1月9日
發(fā)明者岡安俊幸 申請(qǐng)人:株式會(huì)社愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試