專利名稱：不良分析方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及不良分析方法，特別是涉及以存儲器LSI為對象的不良分析方法。
背景技術(shù)：
一般，存儲器LSI具備包含有矩陣形地排列了多個存儲單元的圖形的存儲單元陣列。作為以這樣的存儲器LSI為對象的不良分析方法，以往已知使用了LSI測試器的方法。
以下，說明以往的不良分析方法的概略情況。首先，使用LSI測試器，對于全部存儲單元進行有關(guān)電特性的檢查。接著，根據(jù)其檢查結(jié)果生成第1FBM(故障位圖)。第1FBM在行方向以及列方向分別作為X方向以及Y方向規(guī)定的X-Y坐標空間中，具有與存儲單元陣列的圖形相對應(yīng)矩陣形地排列了多個比特的圖形。
然后，通過用一定的簡并率使第1FBM簡并，生成第2FBM。在第1FBM例如用8×8比特簡并的情況下，第1FBM的64比特(X方向8×Y方向8比特)與第2FBM的1個像素相對應(yīng)。而且，如果在其64比特內(nèi)存在1個不良比特，則與其64比特相對應(yīng)的像素設(shè)定為不良像素，另一方面，如果在其64比特內(nèi)沒有1個不良比特，則與其64比特相對應(yīng)的像素設(shè)定為合格像素。
然后，根據(jù)第2FBM的不良像素的圖形，進行識別不良種類的處理。由此，不良分類為塊不良，行不良，比特不良等不良模式。其次，對于所分類的各個不良模式，通過根據(jù)第1FBM進行1比特水平的識別處理，取得不良的詳細信息(地址或者大小等)。
但是，如果依據(jù)以往的不良分析方法，則使第1FBM簡并得到第2FBM時的簡并率是固定值，而且，簡并率設(shè)定為能夠減少要處理的數(shù)據(jù)量的某種程度的大值(8×8比特左右)。從而，存在著有時不能夠根據(jù)不良比特分布的狀況，正確地分類不良模式的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為解決這樣的問題而產(chǎn)生的，目的在于得到能夠高精度地分類不良模式的不良分析方法。
本發(fā)明中，方案1所述的不良分析方法具備(a)根據(jù)對于檢查對象進行的預(yù)定檢查的結(jié)果，生成具有矩陣形地排列了多個比特的圖形的第1FBM(故障位圖)的工序；(b)通過用第1簡并率使上述第1FBM簡并，生成第2FBM的工序；(c)根據(jù)上述第2FBM，特定在上述第1FBM內(nèi)存在不良比特的區(qū)域的工序；(d)通過用比上述第1簡并率低的第2簡并率，使與上述區(qū)域相對應(yīng)部分的上述第1FBM簡并，生成第3FBM的工序；(e)根據(jù)上述第3FBM，特定上述不良比特的工序。
另外，本發(fā)明中，方案2所述的不良分析方法具備(a)根據(jù)對于檢查對象進行的預(yù)定檢查的結(jié)果，生成具有矩陣形地排列了多個比特的圖形的第1FBM(故障位圖)的工序；(b)通過使上述第1FBM簡并，生成具有第1圖形的第2FBM的工序；(c)通過使上述第1FBM簡并，生成具有與上述第1圖形不同的第2圖形的第3FBM的工序；(d)根據(jù)上述第2FBM，特定第1不良的工序；(e)根據(jù)上述第3FBM，特定第2不良的工序。
另外，本發(fā)明中，方案3所述的不良分析方法具備(a)根據(jù)對于檢查對象進行的預(yù)定檢查的結(jié)果，生成具有矩陣形地排列了多個比特的圖形的第1FBM(故障位圖)的工序；(b)通過用第1簡并率使上述第1FBM簡并，生成第2FBM的工序；(c)根據(jù)上述第2FBM，特定在上述第1FBM內(nèi)存在不良比特的區(qū)域的工序；(d)通過使與上述區(qū)域相對應(yīng)部分的上述第1FBM簡并，生成具有第1圖形的第3FBM的工序；(e)通過使與上述區(qū)域相對應(yīng)部分的上述第1FBM簡并，生成具有與上述第1圖形不同的第2圖形的第4FBM的工序；(f)根據(jù)上述第3FBM，特定第1不良的工序；(g)根據(jù)上述第4FBM，特定第2不良的工序。
另外，本發(fā)明中，方案4所述的不良分析方法是方案1所述的不良分析方法，其特征在于還具備(f)求在上述第1FBM內(nèi)存在的上述不良比特的總數(shù)的工序，上述工序(e)具有(e-1)通過掃描上述第3FBM內(nèi)的多個像素，順序特定上述第1FBM內(nèi)存在的上述不良比特的工序，在上述工序(e-1)中順序特定了的上述不良比特的累計個數(shù)達到了在上述工序(f)中求出的上述總數(shù)的時刻，結(jié)束上述工序(e-1)中的掃描。
另外，本發(fā)明中，方案5所述的不良分析方法是方案2所述的不良分析方法，其特征在于還具備(f)求上述第1FBM內(nèi)存在的不良比特的總數(shù)的工序；上述工序(d)具有(d-1)通過掃描上述第2FBM內(nèi)的多個像素，順序特定上述第1FBM內(nèi)存在的上述第1不良的工序，上述工序(e)具有(e-1)通過掃描上述第3FBM內(nèi)的多個像素，順序特定上述第1FBM內(nèi)存在的上述第2不良的工序，在上述工序(d-1)中順序特定的構(gòu)成上述第1不良的不良比特的個數(shù)與在上述工序(e-1)中順序特定的構(gòu)成上述第2不良的不良比特的個數(shù)的總和的累計個數(shù)達到了在上述工序(f)中求出的上述總數(shù)的時刻，結(jié)束上述工序(d-1)以及上述工序(e-1)中的掃描。
另外，本發(fā)明中，方案6所述的不良分析方法是方案3所述的不良分析方法，其特征在于還具備(h)求上述第1FBM內(nèi)存在的不良比特的總數(shù)的工序；上述工序(f)具有(f-1)通過掃描上述第3FBM內(nèi)的多個像素，順序特定上述第1FBM內(nèi)存在的上述第1不良的工序，上述工序(g)具有(g-1)通過掃描上述第4FBM內(nèi)的多個像素，順序特定上述第1FBM內(nèi)存在的上述第2不良的工序，在上述工序(f-1)中順序特定的構(gòu)成上述第1不良的不良比特的個數(shù)與在上述工序(g-1)中順序特定的構(gòu)成上述第2不良的不良比特的個數(shù)的總計的累計個數(shù)達到了在上述工序(h)中求出的上述總數(shù)的時刻，結(jié)束上述工序(f-1)以及上述工序(g-1)中的掃描。
另外，本發(fā)明中，方案7所述的不良分析方法是方案2所述的不良分析方法，其特征在于上述工序(b)具有(b-1)通過使上述第1FBM簡并，生成第4FBM的工序；(b-2)通過使上述第4FBM簡并，生成上述第2FBM的工序，由屬于上述第1FBM的同一行的連續(xù)多個比特構(gòu)成的比特群與上述第4FBM的1個像素相對應(yīng)，由屬于上述第4FBM的同一行的連續(xù)多個像素構(gòu)成的像素群與上述第2FBM的1個像素相對應(yīng)，在上述第4FBM中，把在上述比特群中包含預(yù)定個數(shù)以上不良比特的像素設(shè)定為不良像素，在上述第2FBM中，把在上述像素群中包含預(yù)定個數(shù)以上上述不良像素的像素定義為不良像素。
另外，本發(fā)明中，方案8所述的不良分析方法是方案3所述的不良分析方法，其特征在于上述工序(d)具有(d-1)通過使上述第1FBM簡并，生成第5FBM的工序；(d-2)通過使上述第5FBM簡并，生成上述第3FBM的工序，由屬于上述第1FBM的同一行的連續(xù)多個比特構(gòu)成的比特群與上述第5FBM的1個像素相對應(yīng)，由屬于上述第5FBM的同一行的連續(xù)多個像素構(gòu)成的像素群與上述第3FBM的1個像素相對應(yīng)，在上述第5FBM中，把在上述比特群中包含預(yù)定個數(shù)以上不良比特的像素定義為不良像素，在上述第3FBM中，把在上述像素群中包含預(yù)定個數(shù)以上上述不良像素的像素定義為不良像素。
另外，本發(fā)明中，方案9所述的不良分析方法是方案1或3所述的不良分析方法，其特征在于在上述工序(c)中，通過把多個像素作為1個掃描單位，在上述第2FBM內(nèi)掃描，特定上述區(qū)域，包含在上述1個掃描單位內(nèi)的像素數(shù)在上述工序(c)中的每個掃描步驟中可變。
另外，本發(fā)明中，方案10所述的不良分析方法是方案1或3所述的不良分析方法，其特征在于在上述工序(b)中，上述第1簡并率在上述第1FBM內(nèi)的每個位置可變。
另外，本發(fā)明中，方案11所述的不良分析方法是方案1或3所述的不良分析方法，其特征在于上述工序(c)具有(c-1)判斷上述第2FBM內(nèi)存在的不良像素是否與某個特定的不良模式下的不良相當?shù)墓ば?，在上述工?c-1)中，判斷上述不良像素是否滿足在第1方向與上述不良像素鄰接的像素的合格/不良狀態(tài)有關(guān)的第1鄰按條件，以及在與上述第1方向不同的第2方向，與上述不良像素鄰接的像素的合格/不良狀態(tài)有關(guān)的第2鄰接條件，上述第1鄰接條件與上述第2鄰接條件能夠分別設(shè)定。
另外，本發(fā)明中，方案12所述的不良分析方法是方案1或2所述的不良分析方法，其特征在于上述工序(e)具有(e-1)判斷上述第3FBM內(nèi)存在的不良像素是否與某個特定的不良模式下的不良相當?shù)墓ば颍谏鲜龉ば?e-1)中，判斷上述不良像素是否滿足在第1方向與上述不良像素鄰接的像素的合格/不良狀態(tài)有關(guān)的第1鄰接條件，以及在與上述第1方向不同的第2方向，與上述不良像素鄰接的像素的合格/不良狀態(tài)有關(guān)的第2鄰接條件，上述第1鄰接條件與上述第2鄰接條件能夠分別設(shè)定。
另外，本發(fā)明中，方案13所述的不良分析方法是方案2所述的不良分析方法，其特征在于上述工序(d)具有(d-1)判斷上述第2FBM內(nèi)存在的不良像素是否與某個特定的不良模式下的不良相當?shù)墓ば颍谏鲜龉ば?d-1)中，判斷上述不良像素是否滿足在第1方向與上述不良像素鄰接的像素的合格/不良狀態(tài)有關(guān)的第1鄰接條件，以及在與上述第1方向不同的第2方向，與上述不良像素鄰接的像素的合格/不良狀態(tài)有關(guān)的第2鄰接條件，上述第1鄰接條件與上述第2鄰接條件能夠分別設(shè)定。
另外，本發(fā)明中，方案14所述的不良分析方法是方案3所述的不良分析方法，其特征在于上述工序(f)具有(f-1)判斷上述第3FBM內(nèi)存在的不良像素是否與某個特定的不良模式下的不良相當?shù)墓ば?，在上述工?f-1)中，判斷上述不良像素是否滿足在第1方向與上述不良像素鄰接的像素的合格/不良狀態(tài)有關(guān)的第1鄰接條件，以及在與上述第1方向不同的第2方向，與上述不良像素鄰接的像素的合格/不良狀態(tài)有關(guān)的第2鄰接條件，上述第1鄰接條件與上述第2鄰接條件能夠分別設(shè)定。
另外，本發(fā)明中，方案15所述的不良分析方法是方案3所述的不良分析方法，其特征在于上述工序(g)具有(g-1)判斷上述第4FBM內(nèi)存在的不良像素是否與某個特定的不良模式下的不良相當?shù)墓ば?，在上述工?g-1)中，判斷上述不良像素是否滿足在第1方向與上述不良像素鄰接的像素的合格/不良狀態(tài)有關(guān)的第1鄰接條件，以及在與上述第1方向不同的第2方向，與上述不良像素鄰接的像素的合格/不良狀態(tài)有關(guān)的第2鄰接條件，上述第1鄰接條件與上述第2鄰接條件能夠分別設(shè)定。
另外，本發(fā)明中，方案16所述的不良分析方法是方案1～3的任一項所述的不良分析方法，其特征在于上述工序(a)具有(a-1)通過對于上述檢查對象進行上述預(yù)定的檢查，生成原始FBM的工序；(a-2)通過部分地抽取圖上述原始FBM，作為與上述原始FBM不同的新FBM，生成上述第1FBM的工序。
另外，本發(fā)明中，方案17所述的不良分析方法是方案1～3的任一項所述的不良分析方法，其特征在于上述工序(a)具有(a-1)通過對于上述檢查對象進行上述預(yù)定的檢查，生成原始FBM的工序，上述第1FBM是上述原始FBM的一部分。
附圖的簡單說明

圖1是示出本發(fā)明的不良分析裝置的結(jié)構(gòu)的框圖。
圖2是用于說明本發(fā)明實施形態(tài)1的不良分析方法的流程圖。
圖3是用于說明本發(fā)明實施形態(tài)1的不良分析方法的流程圖。
圖4是用于說明本發(fā)明實施形態(tài)1的不良分析方法的流程圖。
圖5是用于說明本發(fā)明實施形態(tài)1的不良分析方法的流程圖。
圖6示出與本發(fā)明實施形態(tài)1的不良分析方法有關(guān)的識別規(guī)則。
圖7示出與本發(fā)明實施形態(tài)1的不良分析方法有關(guān)的FBM。
圖8是用于說明本發(fā)明實施形態(tài)2的不良分析方法的流程圖。
圖9是用于說明本發(fā)明實施形態(tài)2的不良分析方法的流程圖。
圖10示出與本發(fā)明實施形態(tài)2的不良分析方法有關(guān)的識別規(guī)則。
圖11示出與本發(fā)明實施形態(tài)2的不良分析方法有關(guān)的FBM。
圖12是用于說明本發(fā)明實施形態(tài)3的不良分析方法的流程圖。
圖13是用于說明本發(fā)明實施形態(tài)3的不良分析方法的流程圖。
圖14是用于說明本發(fā)明實施形態(tài)3的不良分析方法的流程圖。
圖15是用于說明本發(fā)明實施形態(tài)3的不良分析方法的流程圖。
圖16示出與本發(fā)明實施形態(tài)3的不良分析方法有關(guān)的識別規(guī)則。
圖17示出與本發(fā)明實施形態(tài)3的不良分析方法有關(guān)的FBM。
圖18是用于說明本發(fā)明實施形態(tài)4的不良分析方法的流程圖。
圖19是用于說明本發(fā)明實施形態(tài)4的不良分析方法的流程圖。
圖20是用于說明本發(fā)明實施形態(tài)4的不良分析方法的流程圖。
圖21是用于說明本發(fā)明實施形態(tài)4的不良分析方法的流程圖。
圖22是用于說明本發(fā)明實施形態(tài)5的不良分析方法的流程圖。
圖23是用于說明本發(fā)明實施形態(tài)5的不良分析方法的流程圖。
圖24是用于說明本發(fā)明實施形態(tài)6的不良分析方法的流程圖。
圖25是用于說明本發(fā)明實施形態(tài)6的不良分析方法的流程圖。
圖26是用于說明本發(fā)明實施形態(tài)6的不良分析方法的流程圖。
圖27是用于說明本發(fā)明實施形態(tài)6的不良分析方法的流程圖。
圖28示出與本發(fā)明實施形態(tài)7的不良分析方法有關(guān)的識別規(guī)則。
圖29示出與本發(fā)明實施形態(tài)7的不良分析方法有關(guān)的FBM。
圖30示出與本發(fā)明實施形態(tài)8的不良分析方法有關(guān)的識別規(guī)則。
圖31示出與本發(fā)明實施形態(tài)8的不良分析方法有關(guān)的FBM。
圖32示出與本發(fā)明實施形態(tài)9的不良分析方法有關(guān)的識別規(guī)則。
圖33示出與本發(fā)明實施形態(tài)10的不良分析方法有關(guān)的識別規(guī)則。
圖34示出與本發(fā)明實施形態(tài)10的不良分析方法有關(guān)的FBM。
圖35示出與本發(fā)明實施形態(tài)11的不良分析方法有關(guān)的識別規(guī)則。
圖36示出與本發(fā)明實施形態(tài)12的不良分析方法有關(guān)的識別規(guī)則。
圖37示出與本發(fā)明實施形態(tài)12的不良分析方法有關(guān)的FBM。
圖38示出與本發(fā)明實施形態(tài)13的不良分析方法有關(guān)的FBM。
圖39示出與本發(fā)明實施形態(tài)14的不良分析方法有關(guān)的識別規(guī)則。
圖40示出與本發(fā)明實施形態(tài)14的不良分析方法有關(guān)的FBM。
發(fā)明的具體實施形態(tài)以下，以檢查對象是存儲器LSI的情況為例，說明本發(fā)明的不良分析裝置以及不良分析方法。
圖1是示出本發(fā)明的不良分析裝置的結(jié)構(gòu)的框圖。如圖1所示，本發(fā)明的不良分析裝置具備對于存儲器LSI的全部存儲單元進行有關(guān)電特性檢查的測試器2，控制測試器2的動作的同時取得由測試器2進行的檢查結(jié)果的EWS(工程工作站)3，經(jīng)過網(wǎng)絡(luò)等以及EWS3連接到測試器2上，具有根據(jù)由測試器2進行的檢查結(jié)果進行本發(fā)明的不良分析方法的功能的EWS1，由EWS1參照的數(shù)據(jù)庫4。
以下，具體地說明使用了圖1的不良分析裝置的本發(fā)明的不良分析方法實施形態(tài)。
實施形態(tài)1圖2～5是用于說明本發(fā)明實施形態(tài)1的不良分析方法的流程圖，圖6示出與本實施形態(tài)1的不良分析方法有關(guān)的識別規(guī)則，圖7(圖7(A)～圖7(B))示出與本實施形態(tài)1的不良分析方法有關(guān)的FBM27a～27d。識別規(guī)則按照各個品種生成，預(yù)先登錄在數(shù)據(jù)庫4中。
如圖6所示，在與本實施形態(tài)1的不良分析方法有關(guān)的識別規(guī)則中，設(shè)置與使FBM簡并時的簡并率有關(guān)項目的18、18a，與成為分類對象的不良模式的名稱有關(guān)的項目19、19a、19b，與要識別的不良模式的優(yōu)先順序(掃描號)有關(guān)的項目20、20a、20b，與各個不良模式相對應(yīng)的不良尺寸(X×Y像素)有關(guān)的項目21、21a、21b，與后述的鄰接條件有關(guān)的項目22、22a、22b，與不良模式有關(guān)的項目23、23a、23b、與各個不良模式相對應(yīng)的掃描尺寸(X×Y像素)有關(guān)的項目24、24、24b，與設(shè)定是否進行多階段識別的項目有關(guān)的25、25a、25b，與成為多階段識別規(guī)則的接圖辭有關(guān)的項目26。
關(guān)于上述鄰接條件，在項目22、22a、22b設(shè)定為「none」的情況下，是判斷某個特定的不良像素是否與某個特定的不良模式中的不良相當，如果在該特定的不良像素的周圍存在其它的不良像素，則該特定的不良像素不被識別為該特定的不良模式中的像素不良。另外，在項目22、22a、22b設(shè)定為「OK」的情況下，即使在該特定的不良像素的周圍存在其它的不良像素，該特定的不良像素也被識別為該特定的不良模式中的不良。其中，在圖6所示的識別規(guī)則中，項目22、22a、22b全部設(shè)定為「否ne」。
以下，參照圖1～圖7說明本實施形態(tài)1的不良分析方法。另外，已經(jīng)預(yù)先結(jié)束了使用測試器2的存儲器LSI的檢查，其檢查結(jié)果登錄在數(shù)據(jù)庫4中。另外，EWS1根據(jù)從數(shù)據(jù)庫4讀入的該檢查結(jié)果，已經(jīng)生成圖7(A)所示的原始FBM27a，該原始FBM27a登錄在數(shù)據(jù)庫4中。參照圖7(A)，在FBM27a的行方向以及列方向分別規(guī)定為X方向以及Y方向，并且左上角規(guī)定了原點O(X坐標以及Y坐標都為0)的X-Y坐標空間內(nèi)，與存儲單元陣列的圖形相對應(yīng)，具有矩陣形地排列了1024(32×32)個比特的圖形。另外，在FBM27a內(nèi)，存在2個行不良28a和4個比特不良29a。
首先，在步驟SP101中如果開始不良的識別，則在步驟SP102中，EWS1從數(shù)據(jù)庫4讀入圖6所示識別規(guī)則。
接著，在步驟SP103中，EWS1根據(jù)圖6所示的識別規(guī)則的內(nèi)容使已經(jīng)生成的原始FBM27a簡并。具體地講，EWS1根據(jù)圖6所示的識別規(guī)則的項目18的內(nèi)容，通過用8×8比特使原始FBM27a簡并，生成圖7(B)所示的FBM27b。FBM27b具有X方向4像素×Y方向4像素的總計16個像素，F(xiàn)BM27b的1個像素與FBM27a的64比特(X方向8比特×Y方向8比特)相對應(yīng)。而且，如果在FBM27a的某個64比特內(nèi)存在1個不良比特，則與該64比特相對應(yīng)的FBM27b的像素設(shè)定為不良像素(黑色顯示)，另一方面，如果在該64比特內(nèi)沒有1個不良比特，則與該64比特相對應(yīng)的像素設(shè)定為合格像素(白色顯示)。在FBM27b中，在總計16個像素中各設(shè)定4個不良像素28b、29b。
接著，在步驟SP104中，EWS1根據(jù)圖6所示的識別規(guī)則的內(nèi)容，設(shè)定第1個不良模式。在該例中，在項目20中，掃描號設(shè)定為「1」，項目19的「A-line-Fail」設(shè)定為第1個不良模式。
然后，在步驟SP105中，EWS1根據(jù)圖6所示的識別規(guī)則的內(nèi)容，設(shè)定第1個掃描區(qū)域。具體地講，EWS1從原點O附近一側(cè)把在圖6所示的識別規(guī)則的項目21中設(shè)定了尺寸的區(qū)域設(shè)定到FBM27b內(nèi)。在該例中，4×1像素的掃描區(qū)域S1設(shè)定為第1個掃描區(qū)域。
接著，在步驟SP106中，EWS1對于掃描區(qū)域S1計算不良率。在該例中，由于包含在掃描區(qū)域S1內(nèi)的4個像素全部是不良像素28b，因此不良率計算為100％。
接著，在步驟SP107中，EWS1對于掃描區(qū)域S1，判斷是否滿足預(yù)定的判斷條件。具體地講，EWS1根據(jù)圖6所示的識別規(guī)則的項目22、23的內(nèi)容，對于掃描區(qū)域S1判斷是否滿足鄰接條件和不良率的條件。在該例中，由于在步驟SP106中計算出的不良率是100％，因此滿足項目23的不良率的條件。另外，由于對于Y方向，與掃描區(qū)域S1鄰接的不良像素沒有存在于FBM27b內(nèi)，因此也滿足項目22的鄰接條件。從而，步驟SP107中的判斷結(jié)果成為「是」。
接著，在步驟SP108中，EWS1判斷是否設(shè)定多階段識別規(guī)則。該例的情況下，由于圖6所示的識別規(guī)則的項目25設(shè)定為「ON」，因此判斷為設(shè)定了多階段識別規(guī)則。即，步驟SP108中的判斷結(jié)果成為「是」。
接著，在步驟SP109中進行多階段識別。步驟SP109中的多階段識別的處理流程具體地示出在圖4、5中。在步驟SP109a中如果開始多階段識別的處理，則在步驟SP109中，EWS1根據(jù)多階段識別規(guī)則26的項目18a的內(nèi)容通過用2×2比特使與掃描區(qū)域S1相對應(yīng)部分原始FBM27a簡并，生成圖7(C)所示的FBM27c。FBM27c的1個像素與FBM27a的4比特(X方向2比特×Y方向2比特)相對應(yīng)。在FBM27c內(nèi)，與FBM27a的行不良28a相對應(yīng)，設(shè)定總計16個不良像素28c。
接著，在步驟SP109c中，接著，在步驟SP109c中，EWS1根據(jù)多階段識別規(guī)則26的內(nèi)容，設(shè)定多階段識別中的第1個不良模式。在該例中，在項目20a中掃描設(shè)定為「1」的項目19a的「A-line-Fail」設(shè)定為多階段識別中的第1個不良模式。
接著，在步驟SP109d中，EWS1根據(jù)多階段識別規(guī)則26的內(nèi)容，設(shè)定多階段識別中的第1個不良模式。在該例中，在項目20a中掃描設(shè)定為「1」的項目19a的「A-line-Fail」設(shè)定為多階段識別中的第1個不良模式。
接著，在步驟SP109d中，EWS1根據(jù)多階段識別規(guī)則26的內(nèi)容，設(shè)定多階段識別中的第1個掃描區(qū)域。具體地講，EWS1從原點O附近把在多階段識別規(guī)則26的項目21a中設(shè)定了尺寸的區(qū)域設(shè)定到FBM27c內(nèi)。在該例中，16×1像素的掃描區(qū)域T1設(shè)定為多階段識別中的第1個掃描區(qū)域。
接著，在步驟SP109e中，EWS1對于掃描區(qū)域T1計算不良率。在該例中，由于包含在掃描區(qū)域T1內(nèi)的16個像素全部是合格像素，因此不良率計算為0％。
接著，在步驟SP109f中，EWS1對于掃描區(qū)域T1，判斷是否滿足預(yù)定的判斷條件。具體地講，EWS1根據(jù)多階段識別規(guī)則26的項目22a、23a的內(nèi)容，對于掃描區(qū)域T1判斷是否滿足鄰接條件和不良率的條件。該例的情況下，由于在步驟SP109e中計算出的不良率是0％，不滿足項目23a的不良率的條件，因此步驟SP109f中的判斷結(jié)果成為「否」。
接著，在步驟SP109g中，EWS1判斷裝置在FBM27c內(nèi)是否殘存其它的掃描區(qū)域。該例的情況下，由于殘存著掃描取域T2～T4，因此步驟SP109g中的判斷結(jié)果成為「是」。
接著，在步驟SP109h中，EWS1更新掃描區(qū)域。具體地講，EWS1根據(jù)多階段識別規(guī)則26的項目24a的內(nèi)容，把掃描區(qū)域T1的下一個掃描區(qū)域T2設(shè)定在FBM27c內(nèi)。
接著，對于掃描區(qū)域T2，順序進行步驟SP109e中的計算以及步驟SP109f中的判斷，而在本例中，由于對于掃描區(qū)域T2，不良率也是0％，因此步驟SP109f中的判斷結(jié)果成為「否」。從而，在步驟SP109g中的判斷以后，在步驟SP109h中，設(shè)定下一個掃描區(qū)域T3。另外，在該例中，由于對于掃描區(qū)T3，不良率也成為0％，因此同樣，在步驟SP109h中設(shè)定下一個掃描區(qū)域T4。
接著，對于掃描區(qū)域T4，進行步驟SP109e中的計算以及步驟SP109f中的判斷。該例的情況下，對于掃描區(qū)域T4，由于在步驟SP109e中計算出的不良率是100％，因此滿足項目23a的不良率的條件。另外，對于Y方向，由于在FBM27c內(nèi)不存在與掃描區(qū)域T4鄰接的不良像素，因此也滿足項目22a的鄰接條件。從而，對于掃描區(qū)域T4，步驟SP109f中的判斷結(jié)果成為「是」。
接著，在步驟SP109i中，EWS1判斷是否設(shè)定多階段識別規(guī)則。該例的情況下，由于多階段識別規(guī)則26的項目25a設(shè)定為「OFF」，因此判斷為沒有設(shè)定多階段識別規(guī)則，步驟SP109i中的判斷結(jié)果成為「否」。
接著，在步驟SP109j中，EWS1對于與掃描區(qū)域T4相對應(yīng)部分的FBM27a進行1比特水平的識別處理，取得不良的詳細信息(地址或者尺寸)，作為不良模式「A-line-Fail」進行分類，記錄不良的數(shù)據(jù)。
接著，在步驟SP109k中，EWS1把在掃描區(qū)域T4內(nèi)識別為不良模式「A-line-Fail」的不良像素28c從FBM27c中清除。
接著，在步驟SP109g中，EWS1判斷在FBM27c內(nèi)是否殘存著其它的掃描區(qū)域。該例的情況下，由于沒有殘存其它的掃描區(qū)域，因此步驟SP109g中的判斷結(jié)果成為「否」。
接著，在步驟SP1091中，EWS1判斷在多階段識別規(guī)則26中是否殘存著其它的不良模式。該例的情況下，由于殘存著在項目19d中設(shè)定的「Bit-Fail」，因此步驟SP1091中的判斷結(jié)果成為「是」。
接著，在步驟SP109m中，EWS1更新不良模式。該例中，在項目20b中掃描號設(shè)定為「2」。項目19b的「Bit-Fail」設(shè)定為多階段識別中的第2個不良模式。然后，根據(jù)圖4、5所示的流程圖，對于FBM27c進行不良模式「Bit-Fail」中的識別。而該例的情況下，步驟SP109k中的清除不良的結(jié)果，在該時刻，由于在FBM27c內(nèi)沒有殘存任一個不良比特，因此在FBM27c內(nèi)沒有檢測出比特不良。在結(jié)束了對于FBM27c的不良模式「Bit-Fail」中的識別以后，再次進行步驟SP109l中的判斷。這種情況下，由于在多階段識別規(guī)則26內(nèi)沒有殘存其它的不良模式，因此步驟SP109l中的判斷結(jié)果成為「否」，進入到步驟SP109n，結(jié)束對于掃描區(qū)域S1的多階段識別。另外，在步驟SP109i中的判斷結(jié)果是「是」的情況下，在步驟SP109o中，進行更進一步的多階段識別。
參照圖3，在結(jié)束了對于掃描區(qū)域S1的多階段識別以后，接著，在步驟SP110中，EWS1判斷在FBM27b內(nèi)是否殘存著其它的掃描區(qū)域。該例的情況下，由于殘存著掃描區(qū)域S2～S4，因此步驟SP110中的判斷結(jié)果成為「是」。
接著，在步驟SP111中，EWS1更新掃描區(qū)域。具體地講，EWS1根據(jù)圖6所示的識別規(guī)則的項目24的內(nèi)容，把掃描區(qū)域S1的下一個掃描區(qū)域S2設(shè)定在FBM27b內(nèi)。
接著，雖然對于掃描區(qū)域S2，進行步驟SP106中的計算以及步驟SP107中的判斷，但是由于在該例中對于掃描區(qū)域S2的不良率是0％，因此步驟SP107中的判斷結(jié)果成為「否」。從而，在步驟SP110中的判斷以后，在步驟SP111中設(shè)定下一個掃描區(qū)域S3。
接著，對于掃描區(qū)域S3，進行步驟SP106中的計算以及步驟SP107中的判斷。該例的情況下，對于掃描區(qū)域S3，由于在步驟SP106中計算出的不良率是100％，因此滿足項目23的不良率的條件。另外，對于Y方向，由于在FBM27b內(nèi)不存在與掃描區(qū)域S3鄰接的不良像素，因此也滿足項目22的鄰接條件。從而，對于掃描區(qū)域S3，步驟SP107中的判斷結(jié)果成為「是」。
接著，在步驟SP108中，EWS1判斷是否設(shè)定了多階段識別規(guī)則。該例的情況下，由于步驟SP108中的判斷結(jié)果成為「是」，因此與上述相同，在步驟SP109中，進行圖4、5所示的多階段識別。關(guān)于掃描區(qū)域S3，在多階段識別中的第1個不良模式「A-line-Fail」中，不識別行不良，而進行至步驟SP1091為止的處理。而且，在步驟SP109m中，項目19b的「Bit-Fail」設(shè)定為多階段識別中的第2個不良模式。
接著，在步驟SP109d中，EWS1根據(jù)多階段識別規(guī)則26的項目21b的內(nèi)容，在圖7(B)所示的FBM27d內(nèi)，設(shè)定多階段識別的不良模式中的第1個掃描區(qū)域U1。
接著，在步驟SP109e中，EWS1對于掃描區(qū)域U1計算不良率。在該例中，掃描區(qū)域U1的不良率計算為0％。從而，經(jīng)過了步驟SP109f，SP109g以后，在步驟SP109h中，設(shè)定下一個掃描區(qū)域U2。同樣，至掃描區(qū)域U8為止反復(fù)進行了掃描區(qū)域的更新以后，接著，設(shè)定掃描區(qū)域U9。在該例的情況下，對于掃描區(qū)域U9，由于在步驟SP109e中計算出的不良率是100％，因此滿足項目23b的不良率的條件。另外，由于在掃描區(qū)域U9的周圍不存在不良像素，因此也滿足項目22b的鄰接條件。從而，對于掃描區(qū)域U9，步驟SP109f中的判斷結(jié)果成為「是」。
接著，在步驟SP109i中得到了「否」的判斷結(jié)果以后，在步驟SP109j中，EWS1通過對于與掃描區(qū)域U9相對應(yīng)部分的FBM27a進行1比特水平的識別處理，取得不良的詳細信息(地址或者尺寸等)，分類為不良模式「Bit-Fail」，記錄不良的數(shù)據(jù)。
接著，在步驟SP109k中，EWS1從FBM27d清除在掃描區(qū)域U9內(nèi)識別為不良模式「Bit-Fail」的不良像素29c。
然后，與上述相同，至掃描區(qū)域U64為止反復(fù)進行掃描區(qū)域的更新，結(jié)束對于最掃描區(qū)域S3的多階段識別。這時，對于掃描區(qū)域U19、U23、U46取得不良的詳細信息，分類為不良模式「Bit-Fail」，記錄不良的數(shù)據(jù)。
參照圖3，在結(jié)束了對于掃描區(qū)域S3的多階段識別以后，接著，在步驟SP110中，EWS1判斷在FBM27b內(nèi)是否殘存著其它的掃描區(qū)域。在該例的情況下，由于殘存著掃描區(qū)域S4，因此步驟SP110中的判斷結(jié)果成為「是」。
接著，在步驟SP111中，EWS1更新掃描區(qū)域。具體地講，EWS1根據(jù)圖6所示的識別規(guī)則的項目24的內(nèi)容，在FBM27b內(nèi)設(shè)定掃描區(qū)域S3的下一個掃描區(qū)域S4。
接著，雖然對于掃描區(qū)域S4，進行步驟SP106中的計算以及步驟SP107中的判斷，但是由于對于掃描區(qū)域S4的不良率是0％，因此步驟SP107中的判斷結(jié)果成為「否」。
接著，在步驟SP110中，EWS1判斷在FBM27b內(nèi)是否殘存著其它的掃描區(qū)域。在該例的情況下，由于不存在其它的掃描區(qū)域，因此步驟SP110中的判斷結(jié)果成為「否」。
接著，在步驟SP112中，EWS1判斷是否在圖6所示的識別規(guī)則內(nèi)殘存著其它的不良模式。在該例的情況下，由于殘存著「B-line-Fail」，因此步驟SP112中的判斷結(jié)果成為「是」。
接著，在步驟SP113中，EWS1更新不良模式，把掃描號設(shè)定為「2」的「B-line-Fail」設(shè)定為第2個不良模式。以后，雖然省略了說明，但是進行不良模式中的識別。而且，如果結(jié)束設(shè)定在識別規(guī)則內(nèi)的所有的不良模式「B-line-Fail」中的識別，即，如果在步驟SP112中得到「否」的判斷結(jié)果，則進入到步驟SP114，結(jié)束不良的識別。另外，在步驟SP108中的判斷結(jié)果是「否」的情況下，在步驟SP115中取得以及記錄了不良的詳細信息以后，在步驟SP116中從FBM清除不良像素。
這樣，如果依據(jù)本實施形態(tài)1的不良分析方法，則通過用第1簡并率(8×8比特)使原始FBM27a簡并，生成FBM27b，根據(jù)FBM27b，特定在FBM27a內(nèi)存在著不良比特的區(qū)域(以下，稱為「不良發(fā)生區(qū)域」)。而且，通過用比第1簡并率低的第2簡并率(2×2比特)，使與該不良發(fā)生區(qū)域相對應(yīng)部分的FBM27a簡并，生成FBM27c、27d，根據(jù)FBM27c、27d，分類為各個不良模式的同時取得以及記錄不良比特的詳細信息。從而，不良模式的分類不是根據(jù)粗糙的FBM27b進行，而是根據(jù)比FBM27b更細致的FBM27c、27d進行，因此能夠高精度地分類不良模式。
而且，不是只降低使FBM27a簡并得到FBM27b時的簡并率，而是僅對于與不良發(fā)生區(qū)域相對應(yīng)的部分，用低的簡并率使FBM27a簡并生成FBM27c、27d。從而，由于能夠把要處理的數(shù)據(jù)量的增大抑制為最小限度，因此能夠避免大幅度延長識別所需要的時間。
實施形態(tài)2圖8、9是用于說明本發(fā)明實施形態(tài)2的不良分析方法的流程圖，圖10示出與本實施形態(tài)2的不良分析方法有關(guān)的識別規(guī)則，圖11(圖11(A)～圖11(C))示出與本實施形態(tài)2的不良分析方法有關(guān)的FBM27a、27e、27f。
如圖10所示，在與本實施形態(tài)2的不良分析方法有關(guān)的識別規(guī)則中，設(shè)置著第1個并行識別規(guī)則33和第2個并行識別規(guī)則34。在并行識別規(guī)則33、34中，分別設(shè)置著與使FBM簡并時的簡并的閾值有關(guān)的項目32a、32b。
以下，參照圖1、8～11，以與上述實施形態(tài)1的不良分析方法相異點為中心，說明本實施形態(tài)2的不良分析方法。
首先，在步驟SP210中如果開始不良的識別，則在步驟SP202中，EWS1從數(shù)據(jù)庫4讀入第1個并行識別規(guī)則33。
接著，在步驟SP203中，EWS1根據(jù)并行識別規(guī)則33的內(nèi)容使原始FBM27a簡并。具體地講，EWS1根據(jù)并行識別規(guī)則33的項目18的內(nèi)容，通過用32×1比特使FBM27a簡并，生成圖11(B)所示的FBM27e。FBM27e具有X方向1像素×Y方向32像素的總計32個像素，F(xiàn)BM27e的1個像素與FBM27a的32比特(X方向32比特×Y方向1比特)相對應(yīng)。EWS1參照并行識別規(guī)則33的項目32a的內(nèi)容，如果在FBM27a的1行(32比特)中存在16比特以上的不良比特，則把與該行相對應(yīng)的FBM27e的像素設(shè)定為不良像素。另一方面，如果1行中的不良比特的個數(shù)小于16比特，則把與該行相對應(yīng)的像素設(shè)定為合格像素。在FBM27e中，在總計32個像素內(nèi)設(shè)定2個不良像素28e。另外，由于在項目32中簡并的閾值設(shè)定為16比特，因此與存在比特不良29a的FBM27a的行相對應(yīng)的FBM27e的像素不設(shè)定為不良像素。
接著，在步驟SP204中，EWS1根據(jù)并行識別規(guī)則33的內(nèi)容19、20的內(nèi)容，設(shè)定第1個不良模式「A-line-Fail」。接著，在步驟SP205中，EWS1根據(jù)并行識別規(guī)則33的項目21的內(nèi)容，設(shè)定第1個掃描區(qū)域S1。接著，在步驟SP206中，EWS1對于掃描區(qū)域S1計算不良率。在該例中掃描區(qū)域S1的不良率計算為0％。接著，在步驟SP207中，EWS1對于掃描區(qū)域S1判斷是否滿足預(yù)定的判斷條件。在該例的情況下，步驟SP207中的判斷結(jié)果成為「否」。接著，在步驟SP208中，EWS1判斷在FBM27e內(nèi)是否殘存著其它的掃描區(qū)域。在該例的情況下，步驟SP208中的判斷結(jié)果成為「是」。
接著，在步驟SP209中，EWS1更新掃描區(qū)域，在FBM27e內(nèi)設(shè)定掃描區(qū)域S1的下一個掃描區(qū)域S2。接著，雖然對于掃描區(qū)域S2，進行步驟SP206中的計算以及步驟SP207中的判斷，但是在該例中對于掃描區(qū)域S2，步驟SP207中的判斷結(jié)果也成為「否」。從而，在步驟SP208中的判斷以后，在步驟SP209中，設(shè)定下一個掃描區(qū)域S3。另外，在該例中，由于對于掃描區(qū)域S3，步驟SP207中的判斷結(jié)果也成為「否」，因此同樣在步驟SP209中設(shè)定下一個掃描區(qū)域S4。
接著，在步驟SP206中，EWS1對于掃描區(qū)域S4計算不良率。該例中由于包含在掃描區(qū)域S4內(nèi)的2個像素每一個都是不良像素28e，因此不良率計算為100％。接著，在步驟SP207中，EWS1對于掃描區(qū)域S4判斷是否滿足預(yù)定的判斷條件。該例的情況下，步驟SP207中的判斷結(jié)果成為「是」。接著，在步驟SP210中，EWS1對于與掃描區(qū)域S4相對應(yīng)部分的FBM27a取得不良的詳細信息(地址或者尺寸等)，分類為不良模式「A-line-Fail」，記錄不良的數(shù)據(jù)。接著，在步驟SP211中，EWS1從FBM27e清除識別為不良模式「A-line-Fail」的不良像素28e。另外，EWS1從FBM27a清除識別為不良模式「A-line-Fail」的行不良28a。
然后，對于掃描區(qū)域S5～S16也相同，進行不良模式「A-line-Fail」中的識別。接著，在步驟SP213中更新了不良模式以后，對于掃描區(qū)域T1～T32，進行不良模式「B-line-Fail」中的識別。
接著，在步驟SP214中，EWS1判斷在圖16所示的并行規(guī)則內(nèi)是否殘存著其它的并行識別規(guī)則。在該例的情況下，由于殘存著并行識別規(guī)則34，因此步驟SP214中的判斷結(jié)果成為「是」。接著，在步驟SP215中，EWS1更新并行識別規(guī)則，設(shè)定第2個并行識別規(guī)則34。
接著，在步驟SP203中，EWS1根據(jù)并行識別規(guī)則34的內(nèi)容使FBM27a簡并。具體地講，EWS1通過用2×2比特使FBM27a簡并，生成圖11(C)所示的FBM27f。FBM27f具有X方向16像素×Y方向16像素的總計256個像素，F(xiàn)BM27f的1個像素與27a的4比特(X方向2比特×Y方向2比特)相對應(yīng)。EWS1參照并行識別規(guī)則34的項目32b的內(nèi)容，如果FBM27a內(nèi)的某個4比特中存在1個以上的不良比特，則把與該4比特相對應(yīng)的FBM27f的像素設(shè)定為不良像素。另一方面，如果在某個4比特中不存在任一個比特的不良比特，則把與該4比特相對應(yīng)的像素設(shè)定為合格像素。在FBM27f中，在總計256個像素內(nèi)，設(shè)定4個不良像素29f。
然后，根據(jù)圖8、9的流程圖，從掃描區(qū)域U1到掃描區(qū)域U256反復(fù)更新掃描區(qū)域，進行不良模式「Bit-Fail」中的識別。這時，對于掃描區(qū)域U137、U147、U151、U190，取得不良的詳細信息，分類為不良模式「Bit-Fail」，記錄不良的數(shù)據(jù)。
而且，如果結(jié)束對于設(shè)定在識別規(guī)則內(nèi)的所有的不良模式的識別，即，如果在步驟SP214中得到「否」的判斷結(jié)果，則進入到步驟SP216，結(jié)束不良的識別。
這樣，如果依據(jù)本實施形態(tài)2的不良分析方法，則通過使FBM27a簡并，生成具有排列了帶形的多個像素的圖形的FBM27e，根據(jù)該FBM27e特定行不良。另外，通過使FBM27a簡并，生成具有矩陣形地排列了多個像素的圖形的FBM27f，根據(jù)該FBM27f特定比特不良。這樣，通過使用具有相互不同圖形的FBM27e、27f，能夠按照每個不良模式單獨地識別不良。
實施形態(tài)3圖12～15是用于說明本發(fā)明實施形態(tài)3的不良分析方法的流程圖，圖16示出與本實施形態(tài)3的不良分析方法有關(guān)的識別規(guī)則，圖17(圖17(A)～圖17(B))示出與本實施形態(tài)3的不良分析方法有關(guān)的FBM27a、27b、27g、27h。
以下，參照圖1、12～17，以與上述實施形態(tài)1、2的不良分析方法的相異點為中心，說明本實施形態(tài)3的不良分析方法。另外，在以下的說明中，把轉(zhuǎn)移到多階段識別之前階段的識別稱為「通常識別」。
首先，在步驟SP301中如果開始不良的識別，則在步驟SP302中，EWS1從數(shù)據(jù)庫4讀入通常識別中的第1個并行識別規(guī)則。
接著，在步驟SP303中，EWS1通過根據(jù)通常識別中的第1個并行識別規(guī)則的內(nèi)容，用8×8比特使原始FBM27a簡并，生成圖17(B)所示的FBM27B。接著，在步驟SP304中，EWS1設(shè)定通常識別中的第1個不良模式「A-line-Fail」。接著，在步驟SP305中，EWS1設(shè)定第1個掃描區(qū)域S1。接著，在步驟SP306中，EWS1對于掃描區(qū)域S1計算不良率。在該例中，掃描區(qū)域S1的不良率計算為100％。接著，在步驟SP307中，EWS1對于掃描區(qū)域S1判斷是否滿足預(yù)定的判斷條件。在該例的情況下，步驟SP307中的判斷結(jié)果成為「是」。接著，在步驟SP308中，EWS1判斷是否設(shè)定了多階段識別規(guī)則。在該例的情況下，步驟SP308中的判斷結(jié)果成為「是」。
接著，在步驟SP309中，進行多階段識別。步驟SP309中的多階段識別的處理流程具體地示出在圖14、15中。在步驟SP309a中如果開始多階段識別的處理，則在步驟SP309b中，EWS1讀入多階段識別中的第1個進行識別規(guī)則35。接著，在步驟SP309c中，EWS1通過用32×1比特使與掃描區(qū)域S1相對應(yīng)部分的FBM27a簡并，生成圖17(C)所示的FBM27g。
接著，在步驟SP309d中，EWS1設(shè)定不良模式「A-line-Fail」。而且，與上述實施形態(tài)2相同，對于掃描區(qū)域S1～S4，進行不良模式「A-line-Fail」中的識別。如果在步驟SP309m中得到「否」的判斷結(jié)果，則接著在步驟SP309o中，EWS1判斷是否殘存著其它的并行識別規(guī)則。在該例的情況下，由于殘存著并行識別規(guī)則36，因此步驟SP309o中的判斷結(jié)果成為「是」。接著，在步驟SP309p中，EWS1更新并行識別規(guī)則，設(shè)定多階段識別中的第2個并行識別規(guī)則36。然后，與上述實施形態(tài)2相同，對于掃描區(qū)域S1進行基于并行識別規(guī)則36的識別。如果在步驟SP309o中得到「否」的判斷結(jié)果，則進入到步驟SP309q，結(jié)束多階段識別的處理。
參照圖13，在步驟SP310中的判斷以后，在步驟SP311中，EWS1更新掃描區(qū)域，設(shè)定掃描區(qū)域S1的下一個掃描區(qū)域S2。對于掃描區(qū)域S2，由于步驟SP307中的判斷結(jié)果成為「否」，因此在步驟SP310中的判斷以后，在步驟SP311中設(shè)定下一個掃描區(qū)域S3。對于掃描區(qū)域S3，由于步驟SP307中的判斷結(jié)果成為「是」，因此在步驟SP308中的判斷以后，轉(zhuǎn)移到步驟SP309中的多階段識別。
參照圖14、15，然后，與上述相同，進行基于多階段識別中的第1個并行識別規(guī)則35的識別。然后，EWS1在步驟SP309p中更新并行識別規(guī)則，設(shè)定多階段識別中的第2個并行識別規(guī)則36。然后，在步驟SP309c中，EWS1通過用2×2比特使與掃描區(qū)域S3相對應(yīng)部分的FBM27a簡并，生成圖17(D)所示的FBM27h。接著，在步驟SP309d中，EWS1設(shè)定不良模式「Bit-Fail」。而且，與上述實施形態(tài)2相同，對于掃描區(qū)域T1～T64，進行不良模式「Bit-Fail」中的識別。然后，如果在步驟SP309o中得到「否」的判斷結(jié)果，則轉(zhuǎn)移到步驟SP309q，結(jié)束多階段識別的處理。
參照圖13，在步驟SP310中的判斷以后，在步驟SP311中，EWS1更新掃描區(qū)域，設(shè)定掃描區(qū)域S3的下一個掃描區(qū)域S4。對于掃描區(qū)域S4，由于步驟SP307中的判斷結(jié)果成為「否」，因此在步驟SP310中的判斷以后，在步驟SP312中判斷是否殘存著其它的不良模式。接著，在步驟SP313中，EWS1設(shè)定通常識別中的第2不良模式「B-line-Fail」。然后，雖然省略了說明，但是進行不良模式「B-line-Fail」中的識別。
如果在步驟SP312中得到「否」的判斷結(jié)果，則接著在步驟SP314中，EWS1判斷是否殘存著其它的并行識別規(guī)則。在殘存著其它的并行識別規(guī)則的情況下，在步驟SP315中，設(shè)定通常識別中的第2個并行識別規(guī)則，進行基于該并行識別規(guī)則的識別。在沒有殘存其它的并行識別規(guī)則的情況下，進入到步驟SP316，結(jié)束不良的識別。
這樣，如果依據(jù)本實施形態(tài)3的不良分析方法，則與上述實施形態(tài)2的不良分析方法相同，能夠按照各個不良模式單獨地識別不良。而且，在根據(jù)FBM27b特定了不良發(fā)生區(qū)域以后，僅對于與不良發(fā)生區(qū)域相對應(yīng)的部分生成FBM27g、27h。從而，能夠把要處理的數(shù)據(jù)量的增大抑制到最小限度。
實施形態(tài)4圖18～21是用于說明本發(fā)明實施形態(tài)4的不良分析方法的流程圖。以下，參照圖1、7、18～21，以與上述實施形態(tài)1的不良分析方法的相異點為中心，說明本實施形態(tài)4的不良分析方法。
另外，與上述實施形態(tài)1相同，EWS1進行步驟SP101到步驟SP103的處理。接著，在步驟SP401中，EWS1計數(shù)FBM27a內(nèi)存在的不良比特的總數(shù)(FBC)。在該例中，F(xiàn)BC＝68。另外，也可以在生成FBM27a的同時進行計數(shù)。然后，與上述實施形態(tài)1相同，EWS1進行步驟SP104到步驟SP108的處理。
接著，在步驟SP109中，進行對于掃描區(qū)域S1的多階段識別。參照圖20、21，首先，與上述實施形態(tài)1相同，EWS1通過進行步驟SP109a、SP109b的處理，生成FBM27c。接著，在步驟SP402中，EWS1計數(shù)與掃描區(qū)域S1相對應(yīng)部分的FBM27a內(nèi)存在的不良比特的總數(shù)(FBCn)。這里「n」是自然數(shù)，相當于多階段識別的次數(shù)。例如，在第1階段的多階段識別中n＝1，在第2階段的多階段識別中n＝2。在該例中，F(xiàn)BCn＝FBC1＝64。然后，與上述實施形態(tài)1相同，EWS1進行步驟SP109c到步驟SP109j的處理。
接著，在步驟SP403中，EWS1從FBM27c清除不良像素28c的同時，從FBC以及FBCn分別減去與所清除的不良像素28c相對應(yīng)的不良比特28a的總數(shù)。該例的情況下，步驟SP403中的減法運算后，成為FBC＝4，F(xiàn)BCn＝0。
接著，在步驟SP404中，EWS1判斷是否為FBCn＝0。在該例的情況下，由于FBCn＝0，因此步驟SP404中的判斷結(jié)果成為「是」。從而，進入到步驟SP109n，結(jié)束對于掃描區(qū)域S1的多階段識別的處理。
參照圖19，接著，在步驟SP405中，EWS1判斷是否是FBC＝0。在該例的情況下，由于FBC＝4，因此步驟SP405中的判斷結(jié)果成為「否」。然后，與上述實施形態(tài)1相同，在設(shè)定了掃描區(qū)域S2以后，設(shè)定掃描區(qū)域S3。而且，對于掃描區(qū)域S3，進行步驟SP109中的多階段識別。在步驟SP402中，EWS1對于與掃描區(qū)域S3相對應(yīng)部分的FBM27a，計數(shù)FBCn。在該例中，F(xiàn)BCn＝4。然后，與上述實施形態(tài)1相同，EWS1進行了多階段識別中的第1個不良模式「A-line-Fail」中的識別以后，生成FBM27d，開始第2個不良模式「Bit-Fail」中的識別。
雖然從掃描區(qū)域U1開始，在更新掃描區(qū)域的同時進行不良模式「Bit-Fail」中的識別，但是在步驟SP109j中每次取得不良的詳細信息時，在步驟SP403中，進行從FBM27d清除不良像素29c，以及FBC、FBCn的減法運算。在該例的情況下，在清除與掃描區(qū)域U46相對應(yīng)的不良像素29c的時刻，F(xiàn)BCn＝0。其結(jié)果，由于在步驟SP404中得到「是」的判斷結(jié)果，因此進入到步驟SP109n，結(jié)束對于掃描區(qū)域S3的多階段識別。
參照圖19，接著，在步驟SP405中，EWS1判斷是否是FBC＝0。在該例的情況下，由于FBC＝0，因此步驟SP405中的判斷結(jié)果成為「是」。從而，進入到步驟SP114，結(jié)束不良的識別。
這樣，如果依據(jù)本實施形態(tài)4的不良分析方法，則預(yù)先求出FBM27a內(nèi)存在的不良比特的總數(shù)，在掃描FBM27c、27d的同時進行不良的識別的過程中，當順序特定了的不良比特累計個數(shù)達到預(yù)先求出的上述總數(shù)的時刻結(jié)束不良的識別。從而，由于能夠避免在特定了全部的不良比特以后進行不必要的掃描，因此與上述實施形態(tài)1的不良分析方法相比較，能夠縮短識別所需要的時間。
實施形態(tài)5圖22、23是用于說明本發(fā)明實施形態(tài)5的不良分析方法的流程圖。以下，參照圖1、10、11、22、23，以與上述實施形態(tài)2的不良分析方法的相異點為中心，說明本實施形態(tài)5的不良分析方法。
首先，如果在步驟SP201中開始不良的識別，則在步驟SP501中，F(xiàn)BC1計數(shù)FBM27a內(nèi)存在的不良比特的總數(shù)(FBC)。在該例中，F(xiàn)BC＝68。然后，與上述實施形態(tài)2相同，F(xiàn)BC1生成FBM27e，根據(jù)第1個并行識別規(guī)則33，進行步驟SP202到步驟SP210的處理。
接著，在步驟SP502中，EWS1從FBM27e清除不良像素28e的同時，從FBC減去與清除了的不良像素28e相對應(yīng)的不良比特28a的總數(shù)。在該例的情況下，在步驟SP502中的減法運算以后，成為FBC＝4。
接著，在步驟SP503中，EWS1判斷是否是FBC＝0。在該例的情況下，由于FBC＝4，因此步驟SP503中的判斷結(jié)果成為「否」。然后，與上述實施形態(tài)2相同，生成FBM27f，進行基于第2個并行識別規(guī)則34的不良的識別。
雖然從掃描區(qū)域U1開始，在更新掃描區(qū)域的同時進行基于并行識別規(guī)則34的識別，但是在步驟SP210中每次取得不良的詳細信息時，在步驟SP502中，進行從FBM27f清除不良像素29f，以及FBC的減法運算。在該例的情況下，在清除了與掃描區(qū)域U190相對應(yīng)的不良像素29f的時刻，成為FBC＝0。其結(jié)果，由于步驟SP503中的判斷結(jié)果成為「是」，因此進入到步驟SP216，結(jié)束不良的識別。
這樣，如果依據(jù)本實施形態(tài)5的不良分析方法，則預(yù)先求出FBM27a內(nèi)存在的不良比特的總數(shù)，在掃描FBM27e、27f進行不良識別的過程中，當順序特定了的不良比特的累計個數(shù)達到了預(yù)先求出的上述總數(shù)的時刻，結(jié)束不良的識別。從而，由于能夠避免在特定了全部的不良比特以后進行不必要的掃描，因此與上述實施形態(tài)2的不良分析方法相比較，能夠縮短識別所需要的時間。
實施形態(tài)6圖24～27是用于說明本發(fā)明實施形態(tài)6的不良分析方法的流程圖。以下，參照圖1、16、17、24～27，以與上述實施形態(tài)3的不良分析方法的相異點為中心，說明本實施形態(tài)6的不良分析方法。
首先，如果在步驟SP301中開始不良的識別，則在步驟SP601中，EWS1計數(shù)FBM27a內(nèi)存在的不良比特的總數(shù)(FBC)。在該例中FBC＝68。然后，與上述實施形態(tài)3相同，EWS1進行步驟SP302到步驟SP308的處理。
接著，在步驟SP309中，進行對于掃描區(qū)域S1的多階段識別。參照圖26、27，首先，與上述實施形態(tài)3相同，EWS1通過進行步驟SP39a到步驟SP39c的處理，生成FBM27g。
接著，在步驟SP602中，EWS1計數(shù)與掃描區(qū)域S1相對應(yīng)部分的FBM27a內(nèi)存在的不良比特的總數(shù)(FBCn)。在該例中，F(xiàn)BCn＝64。然后，與上述實施形態(tài)3相同，EWS1進行步驟SP309d到步驟SP309k的處理。
接著，在步驟SP603中，EWS1從FBM27g清除不良像素28g的同時，從FBC以及FBCn分別減去與清除了的不良像素28g相對應(yīng)的不良比特28a的總數(shù)。在該例的情況下，在步驟SP603中的減法運算以后，成為FBC＝4，F(xiàn)BCn＝0。
接著，在步驟SP604中，EWS1判斷是否是FBCn＝0。在該例的情況下，由于FBCn＝0，因此步驟SP604中的判斷結(jié)果成為「是」。從而，進入到步驟SP309q，結(jié)束對于掃描區(qū)域S1的多階段識別的處理。
參照圖25，接著，在步驟SP605中，EWS1判斷是否是FBC＝0。在該例的情況下，由于FBC＝4，因此步驟SP605中的判斷結(jié)果成為「否」。然后，與上述實施形態(tài)3相同，在設(shè)定了掃描區(qū)域S2以后，設(shè)定掃描區(qū)域S3。而且，對于掃描區(qū)域S3，進行步驟SP309中的多階段識別。在步驟SP602中，EWS1對于與掃描區(qū)域S3相對應(yīng)部分的FBM27a計數(shù)FBCn。在該例中，F(xiàn)BCn＝4。然后，與上述實施形態(tài)3相同，EWS1進行了基于第1個并行識別規(guī)則35的識別以后，生成FBM27h，開始基于第2個并行識別規(guī)則36的識別。
雖然從掃描區(qū)域T1開始，在更新掃描區(qū)域的同時進行基于并行識別規(guī)則36的識別，但是在步驟SP309中每次取得不良的詳細信息時，在步驟SP603中，進行從FBM27h清除不良像素29h，以及FBC、FBCn的減法運算。在該例的情況下，在清除了與掃描區(qū)域T62相對應(yīng)的不良像素29h的時刻，成為FBCn＝0。其結(jié)果，在步驟SP604中由于得到「是」的判斷結(jié)果，因此進入到步驟SP309q，結(jié)束對于掃描區(qū)域S3的多階段識別。
參照圖25，接著，在步驟SP605中，EWS1判斷是否是FBC＝0。在該例的情況下，由于FBC＝0，因此步驟SP605中的判斷結(jié)果成為「是」。從而，進入到步驟SP316，結(jié)束不良的識別。
這樣，如果依據(jù)本實施形態(tài)6的不良分析方法，則預(yù)先求出FBM27a內(nèi)存在的不良比特的總數(shù)，在掃描FBM27g、27h的同時進行不良識別的過程中，當順序特定了的不良比特的累計個數(shù)達到了預(yù)先求出的上述總數(shù)的時刻，結(jié)束不良的識別。從而，由于能夠避免在特定了全部的不良比特以后進行不必要的掃描，因此與上述實施形態(tài)3的不良分析方法相比較，能夠縮短識別所需要的時間。
實施形態(tài)7圖28示出與本發(fā)明實施形態(tài)7的不良分析方法有關(guān)的識別規(guī)則，圖29(圖29(A)～圖29(C))示出與本實施形態(tài)7的不良分析方法有關(guān)的FBM42a～42c。
本實施形態(tài)7的不良分析方法是與在上述實施形態(tài)2中使FBM27a簡并生成FBM27e的工序以及在上述實施形態(tài)3中使FBM27a簡并生成FBM27g的工序的每一個的改良有關(guān)的方法。
參照圖29(A)，在原始FBM42a內(nèi)存在著8個不良比特43a和10個不良比特44a。不良比特43a構(gòu)成為每4個比特具有發(fā)生不良的特征的行不良。不良比特44a是直線形排列的比特。
在本實施形態(tài)7的不良方法中，EWS1首先根據(jù)圖28所示的識別規(guī)則的項目18的內(nèi)容，通過用4×1比特使32×32比特的FBM42a簡并，生成圖29(B)所示的FBM42b。FBM42b的1個像素與FBM42a的4個比特(4×1比特)相對應(yīng)。另外，在FBM42b的1行內(nèi)存在著8個像素。EWS1通過參照圖28所示的識別規(guī)則的項目32的內(nèi)容，如果在FBM42a的某個4比特中存在著1個不良比特，則把與該4比特相對應(yīng)的FBM42b的像素設(shè)定為不良像素。另一方面，如果在某個4比特中不存在任一比特的不良比特，則把與該4比特相對應(yīng)的像素設(shè)定為合格像素。在FBM42b內(nèi)，存在著與不良比特43a相對應(yīng)的8個不良像素43b，與不良比特44a相對應(yīng)的3個不良像素44b。
EWS1接著根據(jù)圖28所示的識別規(guī)則的項目40的內(nèi)容，通過用8×1像素使FBM42b簡并，生成圖29(C)所示的FBM42c。FBM42c的1個像素與FBM42b的1行(8個像素)相對應(yīng)。EWS1通過參照圖28所示的識別規(guī)則的項目41的內(nèi)容，如果在FBM42b的某個行中存在4個像素以上的不良像素，則把與該行相對應(yīng)的FBM42c的像素設(shè)定為不良像素。另一方面，如果在某個行中存在的不良像素的個數(shù)小于4個像素，則把與該行相對應(yīng)的像素設(shè)定為合格像素。在FBM42c內(nèi)，存在著與不良像素43b相對應(yīng)的不良像素43c。另一方面，由于在42b內(nèi)僅存在3個不良像素44b，因此與不良像素44b相對應(yīng)的不良像素44c不存在于FBM42c內(nèi)。
這樣，如果依據(jù)本實施形態(tài)7的不良分析方法，則由于使FBM42a兩階段簡并，生成FBM42c，因此在FBM42a內(nèi)間斷存在著連續(xù)構(gòu)成行不良的不良比特43a的情況下，在FBM42c內(nèi)，也能夠高精度地設(shè)定與不良比特43a相對應(yīng)的不良像素43c。
另外，雖然在圖10所示的識別規(guī)則的項目32a中簡并的閾值設(shè)定為16比特，但也能夠通過把該值下降到8比特，與不良比特43a相對應(yīng)，在FBM42c內(nèi)設(shè)定不良像素43c。但是，這種情況下，與不良比特44a相對應(yīng)，不良像素44c將錯誤地設(shè)定在FBM42c內(nèi)。另一方面，如果依據(jù)本實施形態(tài)7的不良分析方法，則如上所述，與不良比特44a相對應(yīng)，不設(shè)定不良像素44c。
實施形態(tài)8圖30示出與本發(fā)明實施形態(tài)8的不良分析方法有關(guān)的識別規(guī)則，圖31(圖31(A)、圖31(B))示出與本發(fā)實施形態(tài)8的不良分析方法有關(guān)的FBM47a、47b。
本實施形態(tài)8的不良分析方法，例如，是與在上述實施形態(tài)1、3中，使FBM27a簡并生成FBM27b的工序的變形有關(guān)的方法。
在本實施形態(tài)8中，成為檢查對象的存儲器LSI的存儲單元陣列的分割成塊尺寸分別為20×32比特，24×32比特以及20×32比特的3個塊。參照圖31(A)，原始FBM47a具有矩陣形地排列了2048(64×32)個比特的圖形。另外，F(xiàn)BM47a與存儲單元陣列的圖形相對應(yīng)，分割為3個塊BL1a～BL3a。圖31(A)中，用粗線示出相互鄰接的塊之間的邊界。塊BL1a～BL3a的各個塊尺寸分別是20×32比特，24×32比特，以及20×32比特。另外，在FBM47a內(nèi)，存在著構(gòu)成行不良的48個不良比特48a。
在本實施形態(tài)8的不良分析方法中，EWS1首先根據(jù)圖30所示的識別規(guī)則的項目18的內(nèi)容，通過用4×4比特使FBM47a簡并，生成圖31(B)所示的FBM47b。FBM47b的1個像素與FBM47a的16個比特(4×4比特)相對應(yīng)。另外，與FBM47a相同，F(xiàn)BM47b也與存儲單元陣列的圖形相對應(yīng)，分割為3個塊BL1b～BL3b，在圖31(B)中，用粗線示出相互鄰接的塊之間的邊界。塊BL1b、BL3b的塊尺寸是5×8像素，塊BL2b的塊尺寸是6×8像素。EWS1通過參照圖30所示的識別規(guī)則的項目32的內(nèi)容，在FBM47b內(nèi)設(shè)定不良像素以及合格像素。在FBM47b內(nèi)，存在著與不良比特48a相對應(yīng)的6個不良像素48b。
參照圖30，在對于不良尺寸的項目45以及對于掃描尺寸的項目46中，用逗點劃分列舉對于各個決BL1b～BL3b的X方向的決尺寸。在步驟SP105、SP305中，EWS1根據(jù)項目項目45的內(nèi)容，把塊BL1B的第1行的5×1像素設(shè)定為第1個掃描區(qū)域，把塊BL2b的第1行的6×1像素設(shè)定為第2個掃描區(qū)域，把決BL3b的第1行的5×1像素設(shè)定為第3個掃描區(qū)域。另外，在步驟SP111、SP311中，EWS1根據(jù)項目46的內(nèi)容，把塊BL1b的第2行的5×1像素設(shè)定為第4個掃描區(qū)域，把塊BL2b的第2行的6×1像素設(shè)定為第5個掃描區(qū)域，把塊BL3b的第2行的5×1像素設(shè)定為第6個掃描區(qū)域。以后，同樣地進行掃描區(qū)域的更新。
這樣，如果依據(jù)本實施形態(tài)8的不良分析方法，則即使在具備被分割為塊尺寸相互不同的多個塊的存儲單元陣列的存儲器LSI是檢查對象的情況下，通過在識別規(guī)則內(nèi)列舉FBM47b的塊BL1b～BL3b的對于X方向的塊尺寸，也能夠按照各個塊BL1b～BL3b適宜地進行不良分析。
實施形態(tài)9圖32示出與本發(fā)明實施形態(tài)9的不良分析方法有關(guān)的識別規(guī)則。在上述實施形態(tài)8中，如圖30所示，對于X方向的塊BL1b～BL3b的塊尺寸分別列舉在識別規(guī)則的下位項目45、46中。與此不同，在本實施形態(tài)9的不良分析方法中，如圖32所示，與「X-Block」有關(guān)的項目49設(shè)置在識別規(guī)則的起始。在項目49中，用逗點劃分列舉了對于X方向的塊BL1a～BL3a的塊尺寸。另外，在存在對于X方向的塊尺寸相互不同的多個塊的情況下，可以設(shè)置定義為「Y-Block」的項目。另外，在存在多種塊的情況下，可以設(shè)置定義為「X(orY)-Blockn」(n＝1、2、3、…)」的項目。
EWS1使用對于X方向的簡并率「4」除項目49的各個值「20、24、20」，使用通過該除法運算得到的值「5、6、5」設(shè)定或者更新掃描區(qū)域。由此，對于掃描區(qū)域的設(shè)定或者更新，能夠?qū)崿F(xiàn)與上述實施形態(tài)8相同的動作。
這樣，如果依據(jù)本實施形態(tài)9的不良分析方法，則不是在識別規(guī)則的項目45、46中分別列舉塊BL1b～BL3b的塊尺寸，而是在識別規(guī)則的起始記述塊BL1a～BL3a的塊尺寸。從而，與上述實施形態(tài)8相比較，能夠簡化識別規(guī)則的記述內(nèi)容。
實施形態(tài)10圖33示出與本發(fā)明實施形態(tài)10的不良分析方法有關(guān)的識別規(guī)則，圖34(圖34(A)、圖34(B))示出與本實施形態(tài)10的不良分析方法有關(guān)的FBM47a、47c。
參照圖33，在項目50中記述著使47a簡并時的簡并率，對于X方向的簡并率，用逗點劃分并列舉了多個值。這些多個值示出在使對于X方向的47a的比特數(shù)簡并時怎樣劃分。在該例的情況下，意味著FBM47a的1行(64比特)劃分為10比特，10比特，12比特，12比特，10比特，10比特。
在步驟SP103、SP303中，EWS1通過根據(jù)項目50的內(nèi)容使FBM47a簡并，生成圖34(B)所示的FBM47c。塊BL1b～BL3b的塊尺寸每一個都是2×8像素。另外，塊BL1b、BL3b的1個像素與FBM47a的10×4比特相對應(yīng)，塊BL2b的1個像素與FBM47a的12×4比特相對應(yīng)。
這樣，如果依據(jù)本實施形態(tài)10的不良分析方法，則即使在具備被分割為塊尺寸相互不同的多個塊的存儲單元陣列的存儲器LSI是檢查對象的情況下，通過在各個塊使簡并率不同，也能夠適宜地進行不良分析。
而且，在上述實施形態(tài)8、9中，為了在各個塊BL1b～BL3b之間使FBM47b的1個像素的尺寸相等，需要把對于X方向的簡并率設(shè)定為對于X方向的各個塊BL1a～BL3a的比特數(shù)的公約數(shù)。與此不同，在本實施形態(tài)10的不良分析方法中，由于沒有這樣的限制，能夠把對于X方向的簡并率設(shè)定為比上述實施形態(tài)8、9大的值，因此能夠減少要處理的數(shù)據(jù)量。
實施形態(tài)11圖35示出與本發(fā)明實施形態(tài)11的不良分析方法有關(guān)的識別規(guī)則。在上述實施形態(tài)10中，如圖33所示，在識別規(guī)則的項目50中列舉了直接示出FBM47a的1行部分比特數(shù)的劃分方法的多個值。與此不同，在本實施形態(tài)11的不良分析方法中，與上述實施形態(tài)9相同，與「X-Block」有關(guān)的項目49設(shè)置在識別規(guī)則的起始。
EWS1用對于X方向的各個塊BL1b～BL3b的像素數(shù)「2」除項目49的各個值「20、24、20」，把根據(jù)該除法運算得到的值「10、12、10」用作為在項目51中各個塊BL1a～BL3a的對于X方向的簡并率。由此，對于FBM47a的簡并，實現(xiàn)與上述實施形態(tài)10相同的動作。
這樣，如果依據(jù)本實施形態(tài)11的不良分析方法，則不是列舉直接顯示FBM47a的1行部分比特數(shù)的劃分方法的多個值，而是在識別規(guī)則的起始記述塊BLla～BL3a的塊尺寸。從而，與上述實施形態(tài)10相比較，能夠簡化識別規(guī)則的記述內(nèi)容。
實施形態(tài)12圖36示出與本發(fā)明實施形態(tài)12的不良分析方法有關(guān)的識別規(guī)則，圖37(圖37(A)～圖37(D))示出與本實施形態(tài)12的不良分析方法有關(guān)的FBM53a、53b、56a、56b。
本實施形態(tài)12的不良分析方法是與在上述實施形態(tài)1～3的不良分析方法中的通常識別以及多階段識別中判斷的鄰接條件的改良有關(guān)的方法。
參照圖36，在與本實施形態(tài)12有關(guān)的識別規(guī)則中，與鄰接條件有關(guān)的項目22設(shè)定為「Special」。項目52是在項目22設(shè)定為「Special」時有效的項目。在項目52中，對于上下左右的各個方向能夠單獨地設(shè)定「OK」、「否ne」以及「0-1」的任一種詳細鄰接條件。在圖36所示的識別規(guī)則中，對于不良模式「A-line-Fail」，例如對于上方向的詳細鄰接條件設(shè)定為「0-1」。這意味著在根據(jù)簡并后的FBM識別不良時，對于某個特定的不良像素，在上方向鄰接的不良像素的個數(shù)如果是0個～1個的范圍內(nèi)，則把其不良像素序列識別不良模式「A-line-Fail」中的行不良，另一方面，如果是其范圍外，則該不良像素序列不識別為不良模式「A-line-Fail」中的行不良。
參照圖37(A)，在原始FBM53a內(nèi)，存在著沿著X方向延伸的行不良54a和沿著Y方向延伸并且與行不良54a交叉的行不良55a。如果根據(jù)圖36所示的識別規(guī)則的項目18、32的內(nèi)容使FBM53a簡并，則得到圖37(c)所示的FBM53b。在FBM53b內(nèi)，存在著與行不良54a相對應(yīng)的不良像素序列54b和與行不良55a相對應(yīng)的不良像素序列55b。不良像素序列54b與不良像素序列55b相互交叉，共同具有FBM53b內(nèi)的第3行第2列的1個像素。
根據(jù)圖36所示的識別規(guī)則，EWS1判斷不良像素序列54b是否與不良模式「A-line-Fail」中的行不良相當。在該例的情況下，在項目52中，對于上方向以及下方向的詳細鄰接條件分別設(shè)定為「0-1」。從而，EWS1把不良像素序列54b識別為不良模式「A-line-Fail」中的行不良。
另一方面，如果使圖37(B)所示的原始FBM56a簡并，則雖然得到圖37(D)所示的FBM56b，但是在FBM56b中，由于對于任一行不滿足對于上方向以及下方向的詳細鄰接條件，因此不識別為不良模式「A-line-Fail」中的行不良。
這樣，如果依據(jù)本實施形態(tài)12的不良分析方法，通過對于上下左右的各個方向，分別設(shè)定詳細鄰接條件，能夠提高不良的識別精度。例如，能夠正確地識別在FBM53a內(nèi)相互交叉的行不良54a、55a。
實施形態(tài)13圖38(圖38(A)、圖38(B))示出與本發(fā)明實施形態(tài)13的不良分析方法有關(guān)的FBM57a、57b。
根據(jù)使用了LSI測試器2的存儲器LSI的檢查結(jié)果，生成圖38(A)所示的原始FBM57a。FBM57a與存儲單元陣列的圖形相對應(yīng)，具有矩陣形地排列了4096(64×64)個比特的圖形。另外，在FBM57a內(nèi)發(fā)生很多比特不良。
EWS1通過抽取FBM57a內(nèi)的一部分區(qū)生成新的FBM，把該FBM登錄在數(shù)據(jù)庫4中。該例的情況下，從FBM57a抽取出包括原點0的16×16比特的區(qū)域58，生成圖38(B)所示的FBM57b。1根據(jù)FBM57b，實行上述實施形態(tài)1～12的不良分析方法。
這樣，如果依據(jù)本實施形態(tài)13，則在生成了原始FBM57a以后，通過抽取出FBM57a內(nèi)的一部分區(qū)域58，生成與FBM57a不同的新的FBM57b。從而，即使在由于FBM57a的尺寸過大，或者在FBM57a內(nèi)大量發(fā)送了不良的理由而使得EWS1要處理的數(shù)據(jù)量巨大的情況下，通過僅對于FBM57b代表性地進行不良分析，能夠減少要處理的數(shù)據(jù)量，能夠謀求不良分析的高效化。
實施形態(tài)14圖39示出與本發(fā)明實施形態(tài)14的不良分析方法有關(guān)的識別規(guī)則，圖40(圖40(A)、圖40(B))示出與本實施形態(tài)14的不良分析方法有關(guān)的FBM57a、57c。與上述實施形態(tài)13相同，根據(jù)使用了LSI測試器2的存儲器LSI的檢查結(jié)果，生成圖40(A)所示的原始FBM57a。FBM57a登錄在數(shù)據(jù)庫4中。
EWS1根據(jù)圖39所示的識別規(guī)則的項目59、60的內(nèi)容，特定要進行識別處理的FBM57a內(nèi)的一部分區(qū)域。該例的情況下，特定包括原點0的16×16比特的區(qū)域58。區(qū)域58的尺寸能夠由圖39所示的識別規(guī)則的項目59任意地設(shè)定，區(qū)域58的位置能夠由項目60任意地設(shè)定。
EWS1僅對于區(qū)域58，實行上述實施形態(tài)1～12的不良分析方法。例如，根據(jù)圖39所示的識別規(guī)則，通過用2×2比特使FBM57a簡并，生成圖40(B)所示的FBM57c。在FBM57c中，不是對于總體進行簡并處理，而是僅對于與區(qū)域58相對應(yīng)的區(qū)域58c進行簡并處理。
這樣，如果依據(jù)本實施形態(tài)14的不良分析方法，則在生成了原始FBM57a以后，僅對于FBM57a內(nèi)的一部分區(qū)域58進行不良分析。從而，即使在EWS1要處理的數(shù)據(jù)量巨大的情況下，通過僅對于一部分區(qū)域58代表性地進行不良處理，能夠減少要處理的數(shù)據(jù)量，能夠謀求不良分析的高效化。
如果依據(jù)本發(fā)明的方案1，則不是根據(jù)粗糙的第2FBM，而是根據(jù)比第2FBM精細的第3FBM進行不良比特的特定。因此，能夠高精度地特定不良比特。
而且，不是簡單地降低第1簡并率，而是僅對于與存在不良比特的區(qū)域相對應(yīng)的部分，用第2簡并率使第1FBM簡并，生成第3FBM。從而，由于能夠把要處理的數(shù)據(jù)量的增大抑制為最小限度，因此能夠避免大幅度地延長識別所需要的時間。
另外，如果依據(jù)本發(fā)明的方案2，則通過使第1FBM簡并，生成具有相互不同的圖形的第2FBM以及第3FBM，能夠單獨地特定第1以及第2不良。例如，根據(jù)具有排列了帶形的多個像素的第1圖形的第2FBM，能夠特定行不良(第1不良)，根據(jù)具有矩陣形地排列的多個圖形的第2圖形的第3FBM，能夠特定比特不良(第2不良)。
另外，如果依據(jù)本發(fā)明的方案3，則通過使第1FBM簡并，生成具有相互不同圖形的第3FBM以及第4FBM，能夠單獨地特定第1以及第2不良。例如，根據(jù)具有排列了帶形的多個像素的第1圖形的第3FBM，能夠特定行不良(第1不良)，根據(jù)具有矩陣形地排列了多個圖形的第2圖形的第4FBM，能夠特定比特不良(第2不良)。
而且，由于僅對于與存在不良比特的區(qū)域相對應(yīng)的部分生成第3以及第4FBM，因此能夠把要處理的數(shù)據(jù)量的增大抑制到最小限度。
另外，如果依據(jù)本發(fā)明的方案4，則在特定了全部的不良比特以后，能夠避免進行不需要的掃描。
另外，如果依據(jù)本發(fā)明的方案5，則在特定了全部的不良比特以后，能夠避免進行不需要的掃描。
另外，如果依據(jù)本發(fā)明的方案6，則在特定了全部的不良比特以后，能夠避免進行不需要的掃描。
如果依據(jù)本發(fā)明的方案7，則即使在第1FBM內(nèi)間斷地存在著連續(xù)的行不良的情況下，也能夠在第2FBM中，高精度地設(shè)定不良像素。
另外，如果依據(jù)本發(fā)明的方案8，則即使在第1FBM內(nèi)間斷地存在著連續(xù)的行不良的情況下，也能夠在第3FBM中，高精度地設(shè)定不良像素。
另外，如果依據(jù)本發(fā)明的方案9，則即使在具備被分割為塊尺寸相互不同的多個塊的存儲單元陣列的存儲器LSI是檢查對象的情況下，也能夠適宜地進行不良分析。
另外，如果依據(jù)本發(fā)明的方案10，則即使在具備被分割為塊尺寸相互不同的多個塊的存儲單元陣列的存儲器LSI是檢查對象的情況下，也能夠適宜地進行不良分析。
另外，如果依據(jù)本發(fā)明的方案11，則由于詳細地設(shè)定鄰接條件，因此能夠提高不良的識別精度。
另外，如果依據(jù)本發(fā)明的方案12，則由于詳細地設(shè)定鄰接條件，因此能夠提高不良的識別精度。
另外，如果依據(jù)本發(fā)明的方案13，則由于詳細地設(shè)定鄰接條件，因此能夠提高不良的識別精度。
另外，如果依據(jù)本發(fā)明的方案14，則由于詳細地設(shè)定鄰接條件，因此能夠提高不良的識別精度。
另外，如果依據(jù)本發(fā)明的方案15，則由于詳細地設(shè)定鄰接條件，因此能夠提高不良的識別精度。
另外，如果依據(jù)本發(fā)明的方案16，則在原始FBM的數(shù)據(jù)量巨大的情況下，通過部分地抽取原始FBM，生成第1FBM，能夠減少要處理的數(shù)據(jù)量。
另外，如果依據(jù)本發(fā)明的方案17，則在原始FBM的數(shù)據(jù)量巨大的情況下，通過把原始FBM的一部分作為第1FBM，能夠減少需要處理的數(shù)據(jù)量。
權(quán)利要求
1.一種不良分析方法，其特征在于具備(a)根據(jù)對于檢查對象進行的預(yù)定檢查的結(jié)果，生成具有矩陣形地排列了多個比特的圖形的第1FBM的工序；(b)通過用第1簡并率使上述第1FBM簡并，生成第2FBM的工序；(c)根據(jù)上述第2FBM，特定在上述第1FBM內(nèi)存在不良比特的區(qū)域的工序；(d)用比上述第1簡并率低的第2簡并率，通過使與上述區(qū)域相對應(yīng)部分的上述第1FBM簡并，生成第3FBM的工序；(e)根據(jù)上述第3FBM，特定上述不良比特的工序。
2.一種不良分析方法，其特征在于具備(a)根據(jù)對于檢查對象進行的預(yù)定檢查的結(jié)果，生成具有矩陣形地排列了多個比特的圖形的第1FBM的工序；(b)通過使上述第1FBM簡并，生成具有第1圖形的第2FBM的工序；(c)通過使上述第1FBM簡并，生成具有與上述第1圖形不同的第2圖形的第3FBM的工序；(d)根據(jù)上述第2FBM，特定第1不良的工序；(e)根據(jù)上述第3FBM，特定第2不良的工序。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的不良分析方法，其特征在于還具備(f)求在上述第1FBM內(nèi)存在的上述不良比特的總數(shù)的工序，上述工序(e)具有(e-1)通過掃描上述第3FBM內(nèi)的多個像素，順序特定上述第1FBM內(nèi)存在的上述不良比特的工序，在上述工序(e-1)中順序特定了的上述不良比特的累計個數(shù)達到了在上述工序(f)中求出的上述總數(shù)的時刻，結(jié)束上述工序(e-1)中的掃描。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的不良分析方法，其特征在于還具備(f)求上述第1FBM內(nèi)存在的不良比特的總數(shù)的工序；上述工序(d)具有(d-1)通過掃描上述第2FBM內(nèi)的多個像素，順序特定上述第1FBM內(nèi)存在的上述第1不良的工序，上述工序(e)具有(e-1)通過掃描上述第3FBM內(nèi)的多個像素，順序特定上述第1FBM內(nèi)存在的上述第2不良的工序，在上述工序(d-1)中順序特定了構(gòu)成上述第1不良的不良比特的個數(shù)與在上述工序(e-1)中順序特定了構(gòu)成上述第2不良的不良比特的個數(shù)的總和的累計個數(shù)達到了在上述工序(f)中求出的上述總數(shù)的時刻，結(jié)束上述工序(d-1)以及上述工序(e-1)中的掃描。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的不良分析方法，其特征在于上述工序(b)具有(b-1)通過使上述第1FBM簡并，生成第4FBM的工序；(b-2)通過使上述第4FBM簡并，生成上述第2FBM的工序，由屬于上述第1FBM的同一行的連續(xù)多個比特構(gòu)成的比特群與上述第4FBM的1個像素相對應(yīng)，由屬于上述第4FBM的同一行的連續(xù)多個像素構(gòu)成的像素群與上述第2FBM的1個像素相對應(yīng)，在上述第4FBM中，把在上述比特群中包含預(yù)定個數(shù)以上不良比特的像素設(shè)定為不良像素，在上述第2FBM中，把在上述像素群中包含預(yù)定個數(shù)以上上述不良像素的像素定義為不良像素。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的不良分析方法，其特征在于在上述工序(c)中，通過把多個像素作為1個掃描單位，在上述第2FBM內(nèi)掃描，特定上述區(qū)域，包含在上述1個掃描單位內(nèi)的像素數(shù)在上述工序(c)中的每個掃描步驟中可變。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的不良分析方法，其特征在于在上述工序(b)中，上述第1簡并率在上述第1FBM內(nèi)的每個位置可變。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的不良分析方法，其特征在于上述工序(c)具有(c-1)判斷上述第2FBM內(nèi)存在的不良像素是否與某個特定的不良模式下的不良相當?shù)墓ば颍谏鲜龉ば?c-1)中，判斷上述不良像素是否滿足在第1方向與上述不良像素鄰接的像素的合格/不良狀態(tài)有關(guān)的第1鄰接條件，以及在與上述第1方向不同的第2方向，與上述不良像素鄰接的像素的合格/不良狀態(tài)有關(guān)的第2鄰接條件，上述第1鄰接條件與上述第2鄰接條件能夠分別設(shè)定。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的不良分析方法，其特征在于上述工序(e)具有(e-1)判斷上述第3FBM內(nèi)存在的不良像素是否與某個特定的不良模式下的不良相當?shù)墓ば?，在上述工?e-1)中，判斷上述不良像素是否滿足在第1方向與上述不良像素鄰接的像素的合格/不良狀態(tài)有關(guān)的第1鄰接條件，以及在與上述第1方向不同的第2方向，與上述不良像素鄰接的像素的合格/不良狀態(tài)有關(guān)的第2鄰接條件，上述第1鄰接條件與上述第2鄰接條件能夠分別設(shè)定。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的不良分析方法，其特征在于上述工序(d)具有(d-1)判斷上述第2FBM內(nèi)存在的不良像素是否與某個特定的不良模式下的不良相當?shù)墓ば?，在上述工?d-1)中，判斷上述不良像素是否滿足在第1方向與上述不良像素鄰接的像素的合格/不良狀態(tài)有關(guān)的第1鄰接條件，以及在與上述第1方向不同的第2方向，與上述不良像素鄰接的像素的合格/不良狀態(tài)有關(guān)的第2鄰接條件，上述第1鄰接條件與上述第2鄰接條件能夠分別設(shè)定。
11.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的不良分析方法，其特征在于上述工序(a)具有(a-1)通過對于上述檢查對象進行上述預(yù)定的檢查，生成原始FBM的工序；(a-2)通過部分地抽取上述原始FBM，作為與上述原始FBM不同的新FBM，生成上述第1FBM的工序。
12.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的不良分析方法，其特征在于上述工序(a)具有(a-1)通過對于上述檢查對象進行上述預(yù)定的檢查，生成原始FBM的工序，上述第1FBM是上述原始FBM的一部分。
全文摘要
本發(fā)明得到能夠高精度地分類不良模式的不良分析方法，根據(jù)使用LSI測試器2進行的預(yù)定檢查的結(jié)果，生成原始FBM27a，其次，通過把FBM27a用8×8比特簡并，生成FBM27b，然后，根據(jù)FBM27b，特定FBM27a內(nèi)存在不良比特的區(qū)域，然后，通過使與上述區(qū)域相對應(yīng)部分的FBM27a用2×2比特簡并，生成FBM27c、27d，最后，根據(jù)FBM27c、27d，特定不良比特。
文檔編號G01R31/28GK1459801SQ0310185
公開日2003年12月3日 申請日期2003年1月20日 優(yōu)先權(quán)日2002年5月22日
發(fā)明者太田文人 申請人:三菱電機株式會社