專利名稱：反擴(kuò)散式氦探漏器的節(jié)省電力的運(yùn)轉(zhuǎn)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及反擴(kuò)散式氦探漏器(逆擴(kuò)散式氦泄漏探測(cè)器)的節(jié)省電力的運(yùn)轉(zhuǎn)方法。
背景技術(shù)：
反擴(kuò)散式氦探漏器用于進(jìn)行被試驗(yàn)體的密封檢查和密閉檢查。圖1表示其一例的基本結(jié)構(gòu)圖。形成裝置的核心的真空排氣系統(tǒng)1具有一種前部管線，其中，分析管1a連接到真空泵1b的吸氣口上；前部泵1c通過(guò)前部管線閥1e連接到排氣口上，當(dāng)進(jìn)行氦閥探漏時(shí)，通過(guò)粗抽/測(cè)試閥1f來(lái)把連接在測(cè)試口1g上的被測(cè)試體中漏出的氦引導(dǎo)到高真空的前部管線內(nèi)，利用分析管1a來(lái)檢測(cè)氦。而且，在圖1中，1d是監(jiān)視測(cè)試口1g的壓力用的直空計(jì)，2是對(duì)與裝置有關(guān)的信息進(jìn)行顯示和操作用的顯示/操作部，3是對(duì)各個(gè)部分進(jìn)行電源通斷和對(duì)輸入的信號(hào)進(jìn)行運(yùn)算處理用的電源/處理部，4是對(duì)氦離子電流進(jìn)行放大用的DC放大器，5是對(duì)高真空泵的馬達(dá)進(jìn)行控制用的高真空泵電源。高真空泵1b例如采用渦輪分子泵(TMP)，其泵的作用是依靠氦分子從高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子的渦輪葉片獲得運(yùn)動(dòng)能量而向排氣口移動(dòng)。
反擴(kuò)散式氦探漏器的運(yùn)轉(zhuǎn)方法的概況如下。也就是說(shuō)，進(jìn)行初始起動(dòng)，對(duì)前部管線抽真空。一旦前部管線被抽成高真空后，構(gòu)成前部管線的各個(gè)部分的有關(guān)電源，即分析管1a的燈絲、高真空泵1b、前部管線閥1e、前部泵1c的各個(gè)電源全部接通，使前部管線的狀態(tài)經(jīng)常保持高真空。當(dāng)進(jìn)行氦探漏時(shí)，把被測(cè)試體連接到測(cè)試口1g上，把前部管線閥1e關(guān)閉后把粗抽/測(cè)試閥1f打開(kāi)，進(jìn)行粗抽。然后，用真空計(jì)1d來(lái)檢查確認(rèn)測(cè)試口1g的壓力已降到很低后，把前部管線閥1e打開(kāi)。被引入到前部管線內(nèi)的氦，在高真空泵1b內(nèi)從排氣口向吸氣口進(jìn)行反擴(kuò)散，被引入到分析管1a內(nèi)進(jìn)行檢測(cè)。
進(jìn)行初始起動(dòng)把前部管線抽成高真空后，構(gòu)成前部管線的各個(gè)部分的有關(guān)電源全部持續(xù)接通，使前部管線經(jīng)常保持高真空狀態(tài)，其目的是為了使分析管1a保持穩(wěn)定的壓力。在使高真空泵1b連續(xù)旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下，若持續(xù)關(guān)閉前部管線閥1e，或者持續(xù)停止前部泵1c的運(yùn)轉(zhuǎn)，則分析管1a的壓力上升。若使裝置保持在這種狀態(tài)下，則不僅不能正確檢測(cè)氦，而且，高真空泵1b承受負(fù)荷，其中使用的軸承等會(huì)受到損傷。
但是，構(gòu)成前部管線的各個(gè)部分的有關(guān)電源全部持續(xù)接通，將造成很大的電力消耗。例如，前部管線閥約消耗0.5A的電力；前部泵約消耗5A的電力。所以，如能減少該消耗功率，則可適應(yīng)省能源的當(dāng)代要求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供反擴(kuò)散式氦探漏器的節(jié)省電力用的運(yùn)轉(zhuǎn)方法。
針對(duì)上述問(wèn)題的本發(fā)明的反擴(kuò)散式氦探漏器的運(yùn)轉(zhuǎn)方法，如權(quán)利要求1所述，其中具有一種把分析管連接到高真空泵的吸氣口上，把前部泵通過(guò)前部管線閥而連接到排氣口上的前部管線，當(dāng)進(jìn)行氦探漏時(shí)，把從被測(cè)試體中漏泄的氦引導(dǎo)到前部管線中，用分析管對(duì)氦進(jìn)行檢測(cè)，這種運(yùn)轉(zhuǎn)方法，其特征在于在進(jìn)行初始起動(dòng)使前部管線達(dá)到高真空之后進(jìn)行等待測(cè)試時(shí)，對(duì)前部管線閥和前部泵，第1步，關(guān)閉前部管線閥后使前部泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)；第2步，由于第1步而使分析管的壓力上升，當(dāng)其達(dá)到壓力上升極限值時(shí)，使前部泵重新開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)，打開(kāi)前部管線閥；第3步，由于第2步而使分析管的壓力下降，當(dāng)其達(dá)到規(guī)定值時(shí)，把前部管線閥關(guān)閉，使前部泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)，這樣反復(fù)進(jìn)行第1步～第3步的周期，以間歇運(yùn)轉(zhuǎn)的方式來(lái)節(jié)省電力，即減少與前部管線閥和前部泵有關(guān)的消耗功率。
并且，權(quán)利要求2所述的運(yùn)轉(zhuǎn)方法，如權(quán)利要求1所述的運(yùn)轉(zhuǎn)方法，其特征在于關(guān)于第2步，從前部管線閥關(guān)閉開(kāi)始，或者從前部泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始到分析管的壓力達(dá)到壓力上升極限值為止的時(shí)間，另行通過(guò)實(shí)踐而獲得，利用間歇定時(shí)器進(jìn)行時(shí)間監(jiān)視，在分析管的壓力達(dá)到壓力上升極限值為止的時(shí)間過(guò)去之后，使前部泵再次開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)，把前部管線閥打開(kāi)。
再者，權(quán)利要求3所述的運(yùn)轉(zhuǎn)方法，如權(quán)利要求1所述的運(yùn)轉(zhuǎn)方法，其特征在于根據(jù)分析管的測(cè)量經(jīng)驗(yàn)值來(lái)設(shè)定第2步的壓力上升極限值來(lái)設(shè)定第2步的壓力上升極限值。
并且，權(quán)利要求4所述的運(yùn)轉(zhuǎn)方法，如權(quán)利要求1所述的運(yùn)轉(zhuǎn)方法，其特征在于根據(jù)高真空泵的馬達(dá)的電流值來(lái)設(shè)定第2步的壓力上升極限值。
再者，本發(fā)明的反擴(kuò)散式氦探漏器，如權(quán)利要求5所述，其特征在于能夠以節(jié)省電力的方式進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)，即減小權(quán)利要求1所述的前部管線閥和前部泵的消耗功率。


圖1是氦探漏器一例的基本結(jié)構(gòu)圖。
圖2是以時(shí)間監(jiān)視為基礎(chǔ)的間歇運(yùn)轉(zhuǎn)動(dòng)作流程圖。
圖3是以分析管的測(cè)量經(jīng)驗(yàn)值的監(jiān)視為基礎(chǔ)的間歇運(yùn)轉(zhuǎn)動(dòng)作流程圖。
圖4是以真空泵馬達(dá)電流值的監(jiān)視為基礎(chǔ)的間歇運(yùn)轉(zhuǎn)動(dòng)作流程圖。
具體實(shí)施例方式
一種反擴(kuò)散式氦探漏器的運(yùn)轉(zhuǎn)方法，其中具有一種把分析管連接到高真空泵的吸氣口上，把前部泵通過(guò)前部管線閥而連接到排氣口上的前部管線，當(dāng)進(jìn)行氦探漏時(shí)，把從被測(cè)試體中漏泄的氦引導(dǎo)到前部管線中，用分析管對(duì)氦進(jìn)行檢測(cè)，這種運(yùn)轉(zhuǎn)方法，其特征在于在進(jìn)行初始起動(dòng)使前部管線達(dá)到高真空之后進(jìn)行等待測(cè)試時(shí)，對(duì)前部管線閥和前部泵，第1步，關(guān)閉前部管線閥后使前部泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)；第2步，由于第1步而使分析管的壓力上升，當(dāng)其達(dá)到壓力上升極限值時(shí)，使前部泵重新開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)，打開(kāi)前部管線閥；第3步，由于第2步而使分析管的壓力下降，當(dāng)其達(dá)到規(guī)定值時(shí)，把前部管線閥關(guān)閉，使前部泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)，這樣反復(fù)進(jìn)行第1步～第3步的周期，以間歇運(yùn)轉(zhuǎn)的方式來(lái)節(jié)省電力，即減少與前部管線閥和前部泵有關(guān)的消耗功率。
如前所述，進(jìn)行初始起動(dòng)把前部管線抽成高真空后，在使高真空泵連續(xù)旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下，若持續(xù)關(guān)閉前部管線閥，或者持續(xù)停止前部泵的運(yùn)轉(zhuǎn)，則分析管的壓力上升。不僅不能正確檢測(cè)氦，而且，高真空泵承受負(fù)荷，其中使用的軸承等會(huì)受到損傷。
在本發(fā)明中，在不造成這種情況的條件下，允許分析管壓力上升，在進(jìn)行初始起動(dòng)使前部管線達(dá)到高真空之后也是如此，第1步，關(guān)閉前部管線閥后使前部泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)；以便節(jié)約與此有關(guān)的功耗；并且第2步，分析管的壓力上升，當(dāng)其達(dá)到壓力上升極限值時(shí)，為了降低分析管的壓力，使前部泵重新開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)，打開(kāi)前部管線閥；并且，第3步，分析管的壓力下降，當(dāng)其達(dá)到規(guī)定值時(shí)，把前部管線閥關(guān)閉，使前部泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)，再次節(jié)約與此有關(guān)的功耗。這樣反復(fù)進(jìn)行第1步～第3步的周期，以間歇運(yùn)轉(zhuǎn)的方式從整體上大幅度節(jié)省電力，即減少與前部管線閥和前部泵有關(guān)的消耗功率。
在此，第2步的壓力上升極限值的設(shè)定，根據(jù)所使用的反擴(kuò)散式氦探漏器的裝置特性等而適當(dāng)進(jìn)行。
第2步，由于第1步而使分析管的壓力上升，當(dāng)其達(dá)到壓力上升極限值時(shí)，為了使分析管的壓力下降，使前部泵再次開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)，然后，把前部管線閥打開(kāi)。使前部泵再次開(kāi)始適當(dāng)運(yùn)轉(zhuǎn)后把前部管線閥打開(kāi)的這種方法，舉例如下，例如，根據(jù)所使用的反擴(kuò)散式氦探漏器的裝置特性等，從前部管線閥關(guān)閉開(kāi)始，或者從前部泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始，經(jīng)過(guò)多長(zhǎng)時(shí)間之后分析管的壓力達(dá)到壓力上升極限值，這要通過(guò)實(shí)踐另行取得該時(shí)間，利用間歇定時(shí)器來(lái)進(jìn)行時(shí)間監(jiān)視，分析管的壓力達(dá)到壓力上升極限值為止的時(shí)間過(guò)去之后，進(jìn)行上述控制。
圖2是利用間歇定時(shí)器進(jìn)行時(shí)間監(jiān)視對(duì)第2步進(jìn)行控制的情況下涉及前部管線閥和前部泵的間歇運(yùn)轉(zhuǎn)動(dòng)作流程圖。以下按照時(shí)間順序?qū)ζ涓乓右哉f(shuō)明。
作為第1步把前部管線閥關(guān)閉后若使前部泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)(S1、S2)，則作為第2步間歇定時(shí)器進(jìn)行動(dòng)作(S3A)。并且，從前部管線閥關(guān)閉開(kāi)始，或者從前部泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始到分析管的壓力達(dá)到壓力上升極限值為止的時(shí)間過(guò)去后為規(guī)定時(shí)間已到(S4A)。使前部泵再次開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)，然后把前部管線閥打開(kāi)(S5、S8)。而且，利用定時(shí)器來(lái)監(jiān)視從前部泵再次開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)起到前部管線閥打開(kāi)為止的時(shí)間，僅在規(guī)定時(shí)間內(nèi)對(duì)前部管線閥下流進(jìn)行真空粗抽，然后把前部管線閥打開(kāi)，這樣做是為了防止裝置損傷。(S6、S7)。
第2步使前部泵再次開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)，把前部管線閥打開(kāi)，然后，第3步，用定時(shí)器來(lái)監(jiān)視使分析管的壓力下降的時(shí)間，在分析管的壓力達(dá)到規(guī)定值之前對(duì)前部管線進(jìn)行真空排氣。(S9、S10)。然后，在分析管的壓力達(dá)到規(guī)定值時(shí)，把前部管線閥關(guān)閉，使前部泵停止運(yùn)動(dòng)。(S1、S2)。
而且，把分析管的燈絲和高真空泵組裝到間歇運(yùn)轉(zhuǎn)動(dòng)作流程內(nèi)，對(duì)這些也進(jìn)行間歇運(yùn)轉(zhuǎn)，這樣能更多地節(jié)省電力。
并且，在第2步，使前部泵再次開(kāi)始適當(dāng)運(yùn)轉(zhuǎn)后把前部管線閥打開(kāi)的另一種方法是，根據(jù)分析管的測(cè)量經(jīng)驗(yàn)值來(lái)設(shè)定壓力上升極限值。該方法是利用當(dāng)分析管的壓力上升時(shí)分析管的測(cè)量經(jīng)驗(yàn)值上升的現(xiàn)象，當(dāng)測(cè)量經(jīng)驗(yàn)值達(dá)到規(guī)定值時(shí)，判斷為分析管的壓力已上升到壓力上升極限值。
圖3是根據(jù)分析管的測(cè)量經(jīng)驗(yàn)值來(lái)設(shè)定第2步的壓力上升極限值的情況下涉及前部管線閥和前部泵的間歇運(yùn)轉(zhuǎn)動(dòng)作流程圖。第1步，把前部管線閥關(guān)閉使前部泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)后(S1、S2)，第2步，對(duì)分析管的測(cè)量經(jīng)驗(yàn)值進(jìn)行監(jiān)視(S3B)。當(dāng)測(cè)量經(jīng)驗(yàn)值達(dá)到規(guī)定值時(shí)，判斷為分析管的壓力已上升到壓力上升極限值(S4B)，使前部泵再次開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)，把前部管線閥打開(kāi)(S5、S8)。其他流程與圖2所示的流程相同。
而且，把高真空泵組裝到間歇運(yùn)動(dòng)動(dòng)作流程中，對(duì)高真空泵也進(jìn)行間歇運(yùn)轉(zhuǎn)，這樣能更多地節(jié)省電力。
并且，在第2步，使前部泵再次開(kāi)始適當(dāng)運(yùn)轉(zhuǎn)后把前部管線閥打開(kāi)的另一種方法是，根據(jù)高真空泵的馬達(dá)電流值來(lái)設(shè)定壓力上升極限值。該方法是利用當(dāng)分析管的壓力上升時(shí)高真空泵的馬達(dá)承受負(fù)荷，其電流值上升的現(xiàn)象，當(dāng)電流值達(dá)到規(guī)定值時(shí)，判斷為分析管的壓力已上升到壓力上升極限值。
圖4是根據(jù)高真空泵的馬達(dá)的電流值來(lái)設(shè)定第2步的壓力上升極限值的情況下涉及前部管線閥和前部泵的間歇運(yùn)轉(zhuǎn)動(dòng)作流程圖。第1步，把前部管線閥關(guān)閉使前部泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)后(S1、S2)，第2步，對(duì)高真空泵的馬達(dá)的電流值進(jìn)行監(jiān)視(S3C)。當(dāng)電流值達(dá)到規(guī)定值時(shí)，判斷為分析管的壓力已上升到壓力上升極限值(S4C)，使前部泵再次開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)，把前部管線閥打開(kāi)(S5、S8)。其他流程與圖2所示的流程相同。
而且，把高真空泵組裝到間歇運(yùn)轉(zhuǎn)動(dòng)作流程中，對(duì)分析管燈絲也進(jìn)行間歇運(yùn)轉(zhuǎn)，這樣能更多地節(jié)省電力。
當(dāng)正在進(jìn)行以上的間歇運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)進(jìn)行氦探漏的情況下，例如，根據(jù)間歇運(yùn)轉(zhuǎn)解除指令的輸入。進(jìn)行間歇運(yùn)轉(zhuǎn)解除，使前部管線形成高真空。當(dāng)前部管線閥被關(guān)閉時(shí)，使前部泵運(yùn)轉(zhuǎn)，對(duì)前部管線閥下流充分進(jìn)行粗抽真空之后，把前部管線閥打開(kāi)，使前部管線形成高真空，這是為了防止裝置受損傷。
而且，上述間歇運(yùn)轉(zhuǎn)既可以自動(dòng)設(shè)定，也可手動(dòng)設(shè)定。
若采用本發(fā)明，則可提供反擴(kuò)散式氦探漏器的節(jié)省電力用的運(yùn)轉(zhuǎn)方法。
權(quán)利要求
1.一種反擴(kuò)散式氦探漏器的運(yùn)轉(zhuǎn)方法，該探漏器具有把分析管連接到高真空泵的吸氣口上、把前部泵通過(guò)前部管線閥而連接到排氣口上的前部管線，當(dāng)進(jìn)行氦探漏檢測(cè)時(shí)，把從被測(cè)試體中漏泄的氦引導(dǎo)到前部管線中，用分析管對(duì)氦進(jìn)行檢測(cè)，這種運(yùn)轉(zhuǎn)方法其特征在于在進(jìn)行初始起動(dòng)使前部管線達(dá)到高真空之后進(jìn)行等待測(cè)試時(shí)，對(duì)前部管線閥和前部泵，第1步，關(guān)閉前部管線閥后使前部泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)；第2步，由于第1步而使分析管的壓力上升，當(dāng)其達(dá)到壓力上升極限值時(shí)，使前部泵重新開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)，打開(kāi)前部管線閥；第3步，由于第2步而使分析管的壓力下降，當(dāng)其達(dá)到規(guī)定值時(shí)，把前部管線閥關(guān)閉，使前部泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)，這樣反復(fù)進(jìn)行第1步～第3步的周期，以間歇運(yùn)轉(zhuǎn)的方式來(lái)節(jié)省電力，即減少與前部管線閥和前部泵有關(guān)的消耗功率。
2.如權(quán)利要求1所述的運(yùn)轉(zhuǎn)方法，其特征在于第2步，從前部管線閥關(guān)閉開(kāi)始，或者從前部泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始到分析管的壓力達(dá)到壓力上升極限值為止的時(shí)間，另行通過(guò)實(shí)踐而獲得，利用間歇定時(shí)器進(jìn)行該時(shí)間監(jiān)視，在分析管的壓力達(dá)到壓力上升極限值為止的時(shí)間過(guò)去之后，使前部泵再次開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)，把前部管線閥打開(kāi)。
3.如權(quán)利要求1所述的運(yùn)轉(zhuǎn)方法，其特征在于根據(jù)分析管的測(cè)量經(jīng)驗(yàn)值來(lái)設(shè)定第2步的壓力上升極限值。
4.如權(quán)利要求1所述的運(yùn)轉(zhuǎn)方法，其特征在于根據(jù)高真空泵的馬達(dá)的電流值來(lái)設(shè)定第2步的壓力上升極限值。
5.一種反擴(kuò)散式氦探漏器，其特征在于能夠進(jìn)行權(quán)利要求1所述的減小前部管線閥和前部泵的消耗功率以節(jié)省電力的方式運(yùn)轉(zhuǎn)。
全文摘要
一種反擴(kuò)散式氦探漏器及其運(yùn)轉(zhuǎn)方法。在進(jìn)行初始起動(dòng)使前部管線達(dá)到高真空之后進(jìn)行等待測(cè)試時(shí)，對(duì)前部管線閥和前部泵，第1步，關(guān)閉前部管線閥后使前部泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)；第2步，由于第1步而使分析管的壓力上升，當(dāng)其達(dá)到壓力上升極限值時(shí)，使前部泵重新開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)，打開(kāi)前部管線閥；第3步，由于第2步而使分析管的壓力下降，當(dāng)其達(dá)到規(guī)定值時(shí)，把前部管線閥關(guān)閉，使前部泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)，這樣反復(fù)進(jìn)行第1步～第3步的周期，以間歇運(yùn)轉(zhuǎn)的方式來(lái)節(jié)省電力，即減少與前部管線閥和前部泵有關(guān)的消耗功率。
文檔編號(hào)G01M3/20GK1490603SQ03127599
公開(kāi)日2004年4月21日 申請(qǐng)日期2003年8月8日 優(yōu)先權(quán)日2002年8月9日
發(fā)明者落合英二郎, 大嶋弦, 瀨戶規(guī)正, 松本善和, 和, 正 申請(qǐng)人:愛(ài)發(fā)科股份有限公司