專利名稱：萬(wàn)用型半導(dǎo)體檢測(cè)機(jī)的測(cè)試機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種萬(wàn)用型半導(dǎo)體檢測(cè)機(jī)的測(cè)試機(jī)構(gòu)，特別涉及一種具有可替換測(cè)試頭結(jié)構(gòu)的測(cè)試機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
中國(guó)臺(tái)灣發(fā)明專利公告第381183號(hào)公開(kāi)了一種“萬(wàn)用型多功能半導(dǎo)體自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)”。上述系統(tǒng)主要將不同的測(cè)試儀器整合在一系統(tǒng)上，單一測(cè)試系統(tǒng)而能涵蓋所有的半導(dǎo)體參數(shù)，例如順向電壓(VF)、逆向電流(IR)、逆向電壓(VR)、逆向返回時(shí)間(Trr)、順向電壓差(ΔVF)、集電極電壓(VC)、集電極-發(fā)射極崩潰電壓(BVCE)、集電極-發(fā)射極電流(ICE)、集電極-發(fā)射極飽和電壓(VCE(sAT))、電流放大率(HFE)等參數(shù)的測(cè)試，同時(shí)將上述測(cè)試儀器與一個(gè)人電腦連接，接收并分析測(cè)量結(jié)果。如圖1所示，上述系統(tǒng)1主要包括，多個(gè)測(cè)試儀器2、2’，用于測(cè)試不同的參數(shù)；多個(gè)測(cè)試機(jī)構(gòu)7、7’，分別包含一氣動(dòng)升降的測(cè)試座71、71’，及與其連動(dòng)的測(cè)試頭72、72’，不同的半導(dǎo)體元件51；多個(gè)測(cè)試治具5、5’，用于放置不同的待測(cè)半導(dǎo)體元件51；一傳送裝置6，用于驅(qū)動(dòng)測(cè)試治具5、5’；多個(gè)傳感器裝置8、8’，分別檢測(cè)半導(dǎo)體元件51的停留位置；一個(gè)人電腦3，與上述多個(gè)測(cè)試儀器2、2’連接，用于接收及分析上述多個(gè)測(cè)試儀器2、2’所測(cè)量的結(jié)果，并控制傳送裝置6的傳送或停留，及驅(qū)動(dòng)測(cè)試座71、71’的上升或下降；一電路，分別與上述多個(gè)測(cè)試儀器2、2’及上述多個(gè)傳感器裝置8、8’連接，其終端與上述個(gè)人電腦3連接。上述系統(tǒng)1，可根據(jù)不同測(cè)試治具5上不同的半導(dǎo)體元件51，選擇使用不同的測(cè)試機(jī)構(gòu)7、7’進(jìn)行測(cè)試。
由于半導(dǎo)體元件種類繁多，例如，雙極性晶體管、場(chǎng)效晶體管、二極管、半導(dǎo)體整流器等，不同的半導(dǎo)體元件或其組件包含有不同數(shù)量的引線接腳，不同規(guī)格的半導(dǎo)體元件，其引線接腳的間距也不盡相同；因此，必須準(zhǔn)備多種探針的測(cè)試頭在檢測(cè)相應(yīng)的引線接腳時(shí)進(jìn)行更換。因此，在對(duì)上述固定式的測(cè)試頭進(jìn)行拆換時(shí)，實(shí)際操作復(fù)雜費(fèi)事，效率低，且準(zhǔn)備多組測(cè)試機(jī)構(gòu)導(dǎo)致裝置成本高、結(jié)構(gòu)復(fù)雜，不易維修。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于提供一種萬(wàn)用型半導(dǎo)體檢測(cè)機(jī)的測(cè)試機(jī)構(gòu)，具有可置換的測(cè)試頭結(jié)構(gòu)，能快速更換測(cè)試頭，而適應(yīng)少量多樣化的半導(dǎo)體元件的檢測(cè)，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本降低，易于維修保養(yǎng)。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種萬(wàn)用型半導(dǎo)體檢測(cè)機(jī)的測(cè)試機(jī)構(gòu)，上述測(cè)試機(jī)構(gòu)位于一傳送裝置上方，且包括有一支撐架；一測(cè)試座，通過(guò)支撐架支持，并可沿支撐架作升降操作；一測(cè)試頭，與測(cè)試座連動(dòng)，上述測(cè)試頭上設(shè)有多個(gè)探針，在隨同測(cè)試座下降時(shí)壓觸半導(dǎo)體元件的引線腳位；上述測(cè)試座上包含有一對(duì)承接部，上述測(cè)試頭兩端形成的有跨接部，上述承接部與上述跨接部互為匹配地連接；一壓板可升降地設(shè)置在測(cè)試座上方，上述壓板包含有多個(gè)探針電極，并通過(guò)壓簧頂壓上述壓板；上述探針電極的一端分別對(duì)應(yīng)地抵接在測(cè)試頭的各探針上；一對(duì)鉤部，其一端分別軸樞在壓板一側(cè)，自由端分別鉤接在承接部下方，使承接部與跨接部連接在一起。
上述測(cè)試座的承接部上分別設(shè)有一定位銷，上述測(cè)試頭的跨接部上對(duì)應(yīng)形成有一榫孔，通過(guò)上述定位銷和上述榫孔將上述承接部與上述跨接部榫接在一起。
上述測(cè)試座又包含一承載架，上述承載架上方設(shè)有一對(duì)導(dǎo)銷及一滑塊，引導(dǎo)測(cè)試座在支撐架上的升降滑動(dòng)。
上述支撐架上設(shè)有一氣壓缸，驅(qū)動(dòng)上述承載架的升降。
上述承載架下方包含有一對(duì)導(dǎo)銷，引導(dǎo)上述壓板的升降。
上述多個(gè)的探針電極具有壓接端，上述壓接端與上述壓板之間，分別套設(shè)有壓簧。
對(duì)應(yīng)于不同種類的半導(dǎo)體元件的引線腳位，上述測(cè)試頭包含有不同數(shù)量的上述探針。


圖1為中國(guó)臺(tái)灣發(fā)明專利公告第381183號(hào)“萬(wàn)用型多功能半導(dǎo)體自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)”的示意立體圖；圖2為本發(fā)明萬(wàn)用型半導(dǎo)體檢測(cè)機(jī)的測(cè)試機(jī)構(gòu)測(cè)試座與測(cè)試頭分解狀態(tài)的正視圖；圖3為圖2的右視圖；圖4為本發(fā)明萬(wàn)用型半導(dǎo)體檢測(cè)機(jī)的測(cè)試機(jī)構(gòu)組合狀態(tài)，測(cè)試座在測(cè)試完成后上升的示意圖；圖5為本發(fā)明萬(wàn)用型半導(dǎo)體檢測(cè)機(jī)的測(cè)試機(jī)構(gòu)組合狀態(tài)，測(cè)試座在進(jìn)行測(cè)試時(shí)下降的示意圖。
具體實(shí)施例方式
以下將配合實(shí)施例通過(guò)結(jié)合參考附圖對(duì)本發(fā)明技術(shù)特點(diǎn)作進(jìn)一步地說(shuō)明。
本發(fā)明萬(wàn)用型半導(dǎo)體檢測(cè)機(jī)的測(cè)試機(jī)構(gòu)系統(tǒng)的基本構(gòu)成，如圖1所示，與中國(guó)臺(tái)灣發(fā)明專利公告第381183號(hào)的“萬(wàn)用型多功能半導(dǎo)體自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)”大致相同，其主要包括多個(gè)測(cè)試儀器2、2’，用來(lái)測(cè)試不同的參數(shù)；一測(cè)試機(jī)構(gòu)7，包含一氣動(dòng)升降的測(cè)試座71，及一與其連動(dòng)的測(cè)試頭72，用于測(cè)試半導(dǎo)體元件51；多個(gè)測(cè)試治具5、5’，用于放置不同的待測(cè)半導(dǎo)體元件51；一傳送裝置6，用于驅(qū)動(dòng)上述測(cè)試治具5、5’的傳送；一傳感器裝置8，用于檢測(cè)半導(dǎo)體元件51的停留位置；一個(gè)人電腦3，包含有一運(yùn)算器在上述多個(gè)測(cè)試儀器2、2’的終端，以接收及分析上述多個(gè)測(cè)試儀器2、2’所測(cè)量的結(jié)果，并控制傳送裝置6的傳送或停留，及控制測(cè)試座71的上升或下降；一電路，分別與上述多個(gè)測(cè)試儀器2、2’及上述傳感器裝置8連接，終端與上述于人電腦3連接。
請(qǐng)?jiān)賲⒖紙D2并對(duì)照?qǐng)D3，本發(fā)明的不同之處在于，其半導(dǎo)體檢測(cè)機(jī)1在傳送裝置6上方有一共用的測(cè)試機(jī)構(gòu)7，上述測(cè)試機(jī)構(gòu)7包括有一支撐架70，在支撐架70上設(shè)有一氣壓缸701；一測(cè)試座71，包含有一承載架74設(shè)置在氣壓缸701的推進(jìn)端，受推桿702驅(qū)動(dòng)可升降；上述承載架74上方設(shè)有一對(duì)導(dǎo)銷741及一L型滑塊742，支撐架70上對(duì)應(yīng)形成有一對(duì)導(dǎo)槽703及一滑槽704，用來(lái)引導(dǎo)測(cè)試座71在支撐架70上升或下降的滑動(dòng)。
測(cè)試座71下端包含有一對(duì)承接部711，上述承接部711上分別設(shè)有一定位銷712；一測(cè)試頭72，兩端對(duì)應(yīng)形成有一跨接部721，上述跨接部721上分別形成有一榫孔722，通過(guò)跨接部721跨接在上述承接部711中與測(cè)試座71連動(dòng)，并且承接部711上的定位銷712與跨接部721上的榫孔722可裝卸地榫接在一起。上述測(cè)試頭72上，對(duì)應(yīng)于待測(cè)半導(dǎo)體元件51的引線腳位，設(shè)有多個(gè)探針723，通過(guò)測(cè)試座71的下壓，與半導(dǎo)體元件51的引線連接，測(cè)量不同的參數(shù)。
另外，還包含有一壓板73，壓接在測(cè)試頭72的上方，上述壓板73兩端穿設(shè)在承載架74下方的一對(duì)導(dǎo)銷743上，可上下滑動(dòng)，此壓板73上包含有多個(gè)探針電極731，上述探針電極731的一壓接端與壓板73之間，分別套設(shè)有一壓簧732，壓接在上述測(cè)試頭72的多個(gè)探針723上形成電氣連接；探針電極731的另一端分別與多個(gè)測(cè)試儀器2、2’的多個(gè)引線21連接，終端與個(gè)人電腦上的運(yùn)算器連接。一對(duì)鉤部733，其一端分別軸樞在壓板73的兩側(cè)，自由端分別鉤接在承接部711的下方，將測(cè)試頭72可置換地結(jié)合在測(cè)試座71上。
測(cè)試頭72對(duì)應(yīng)于不同種類的半導(dǎo)體元件51的引線腳位，包含有不同數(shù)量的探針723并成可置換地結(jié)合在測(cè)試座71上；上述測(cè)試頭72置換時(shí)，如圖2及圖3中所示，以箭頭a的方向?qū)y(cè)試頭72置入測(cè)試座71的承接部711中定位，一對(duì)鉤部733則以箭頭b的方向滑動(dòng)，最后以箭頭c的方向扣接在承接部711下方，拆卸時(shí)程序相反；如此，可快速地置換其所需要的測(cè)試頭72以適應(yīng)檢測(cè)少量而多樣化的半導(dǎo)體元件。
如圖4、圖5所示，為本發(fā)明測(cè)試頭72結(jié)合在測(cè)試座71上的組合狀態(tài)，其中測(cè)試機(jī)構(gòu)7在測(cè)試治具5上方，通過(guò)支撐架70上氣壓缸701的作動(dòng)使測(cè)試座71升降，對(duì)半導(dǎo)體元件51的引線腳位進(jìn)行測(cè)量，圖4為測(cè)試座在測(cè)試完成后上升的狀態(tài)，圖5則為在測(cè)試座測(cè)試時(shí)下降的測(cè)量狀態(tài)。
本發(fā)明萬(wàn)用型半導(dǎo)體檢測(cè)機(jī)的測(cè)試機(jī)構(gòu)，通過(guò)替換式測(cè)試頭的構(gòu)造，能快速適應(yīng)少量而多樣化的半導(dǎo)體元件，例如在測(cè)試規(guī)格為TD-220AB(或ITO-220AB)的半導(dǎo)體后，很容易經(jīng)由本發(fā)明機(jī)構(gòu)立即轉(zhuǎn)換成測(cè)試規(guī)格為TO-247AD或TO-3P的測(cè)試頭，或其他相關(guān)產(chǎn)品如GBU換成KBPM等，而且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單大幅降低了成本，且易于維修保養(yǎng)，使用方便。
權(quán)利要求
1.一種萬(wàn)用型半導(dǎo)體檢測(cè)機(jī)的測(cè)試機(jī)構(gòu)，上述測(cè)試機(jī)構(gòu)(7)位于一傳送裝置(6)上方，且包括有一支撐架(70)；一測(cè)試座(71)，通過(guò)支撐架(70)支持，并可沿支撐架(70)作升降操作；一測(cè)試頭(72)，與測(cè)試座(71)連動(dòng)，上述測(cè)試頭(72)上設(shè)有多個(gè)探針(723)，在隨同測(cè)試座(71)下降時(shí)壓觸半導(dǎo)體元件(51)的引線腳位；其特征在于上述測(cè)試座(71)上包含有一對(duì)承接部(711)，上述測(cè)試頭(72)兩端形成的有跨接部(721)，上述承接部(711)與上述跨接部(721)互為匹配地連接；一壓板(73)可升降地設(shè)置在測(cè)試座(71)上方，上述壓板(73)包含有多個(gè)探針電極(731)，并通過(guò)壓簧(732)頂壓上述壓板(73)；上述探針電極(731)的一端分別對(duì)應(yīng)地抵接在測(cè)試頭(72)的各探針(723)上；一對(duì)鉤部(733)，其一端分別軸樞在壓板(73)一側(cè)，自由端分別鉤接在承接部(71)下方，使承接部(711)與跨接部(721)連接在一起。
2.如權(quán)利要求1所述的萬(wàn)用型半導(dǎo)體檢測(cè)機(jī)的測(cè)試機(jī)構(gòu)，其特征在于，上述測(cè)試座(71)的承接部(711)上分別設(shè)有一定位銷(712)，上述測(cè)試頭(72)的跨接部(721)上對(duì)應(yīng)形成有一榫孔(722)，通過(guò)上述定位銷(712)和上述榫孔(722)將上述承接部(711)與上述跨接部(721)榫接在一起。
3.如權(quán)利要求1所述的萬(wàn)用型半導(dǎo)體檢測(cè)機(jī)的測(cè)試機(jī)構(gòu)，其特征在于，上述測(cè)試座(71)又包含一承載架(74)，上述承載架(74)上方設(shè)有一對(duì)導(dǎo)銷(741)及一滑塊(742)，引導(dǎo)測(cè)試座(71)在支撐架(70)上的升降滑動(dòng)。
4.如權(quán)利要求3所述的萬(wàn)用型半導(dǎo)體檢測(cè)機(jī)的測(cè)試機(jī)構(gòu)，其特征在于，上述支撐架(70)上設(shè)有一氣壓缸(701)，驅(qū)動(dòng)上述承載架(74)的升降。
5.如權(quán)利要求3所述的萬(wàn)用型半導(dǎo)體檢測(cè)機(jī)的測(cè)試機(jī)構(gòu)，其特征在于，上述承載架(74)下方包含有一對(duì)導(dǎo)銷(743)，引導(dǎo)上述壓板(73)的升降。
6.如權(quán)利要求1所述的萬(wàn)用型半導(dǎo)體檢測(cè)機(jī)的測(cè)試機(jī)構(gòu)，其特征在于，上述多個(gè)的探針電極(731)具有壓接端，上述壓接端與上述壓板(73)之間，分別套設(shè)有壓簧(732)。
7.如權(quán)利要求1所述的萬(wàn)用型半導(dǎo)體檢測(cè)機(jī)的測(cè)試機(jī)構(gòu)，其特征在于，對(duì)應(yīng)于不同種類的半導(dǎo)體元件(51)的引線腳位，上述測(cè)試頭(72)包含有不同數(shù)量的上述探針(723)。
全文摘要
一種萬(wàn)用型半導(dǎo)體檢測(cè)機(jī)的測(cè)試機(jī)構(gòu)，上述測(cè)試機(jī)構(gòu)位于一傳送裝置上方，且包括有一支撐架；一測(cè)試座，通過(guò)支撐架支持，并可沿支撐架作升降操作；一測(cè)試頭，與測(cè)試座連動(dòng)，上述測(cè)試頭上設(shè)有多個(gè)探針，在隨同測(cè)試座下降時(shí)壓觸半導(dǎo)體元件的引線腳位；上述測(cè)試座上包含有一對(duì)承接部，上述測(cè)試頭兩端形成的有跨接部，上述承接部與上述跨接部互為匹配地連接；一壓板可升降地設(shè)置在測(cè)試座上方，上述壓板包含有多個(gè)探針電極，并通過(guò)壓簧頂壓上述壓板；上述探針電極的一端分別對(duì)應(yīng)地抵接在測(cè)試頭的各探針上；一對(duì)鉤部，其一端分別軸樞在壓板一側(cè)，自由端分別鉤接在承接部下方，使承接部與跨接部連接在一起。
文檔編號(hào)G01R31/26GK1566978SQ03148270
公開(kāi)日2005年1月19日 申請(qǐng)日期2003年7月1日 優(yōu)先權(quán)日2003年7月1日
發(fā)明者黃德崑 申請(qǐng)人:臺(tái)北歆科科技有限公司