專利名稱：微型振動式雙軸感測陀螺儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種微型振動式雙軸感測陀螺儀，特別是一種梁式且具有對稱性結(jié)構(gòu)，可作X方向或Y方向雙軸感測的靜電驅(qū)動諧振式陀螺儀。
背景技術(shù)：
陀螺儀(Gyroscope)是一利用慣性原理量測轉(zhuǎn)角或角速度的裝置，主要應(yīng)用領(lǐng)域為軍事、航空及航海導(dǎo)航，陀螺儀依其工作原理不同可概分為轉(zhuǎn)子(Rotor)式陀螺儀及靜電驅(qū)動的振動式陀螺儀(Vibration Gyroscope)兩種。
如圖1所示，是為一單軸感測梁型陀螺儀(美國專利US4,499,778號，F(xiàn)LEXURE MOUNT ASSEMBLY FOR A DYNAMI CALLY TUNED GYROSCOPE AND METHOD OFMANUFACTURING SAME)，該陀螺儀10是一傳統(tǒng)梁型轉(zhuǎn)動陀螺儀，僅能做單軸量測，其是用復(fù)數(shù)加工原件16、18組裝而成，該傳統(tǒng)轉(zhuǎn)子式陀螺儀10利用角動量守恒原理進(jìn)行設(shè)計以求得轉(zhuǎn)動的角速度，因此存在結(jié)構(gòu)復(fù)雜及高速軸承磨耗等問題，導(dǎo)致傳統(tǒng)陀螺儀的價格昂貴、重量重，且使用壽命不長。
不同于傳統(tǒng)轉(zhuǎn)子式陀螺儀的設(shè)計原理，振動式陀螺儀以彈性體振動原理設(shè)計，利用陀螺儀構(gòu)型中固有的兩個正交且頻率相同的模態(tài)振形，作為驅(qū)動與感測模態(tài)以增加系統(tǒng)的靈敏度(Sensitivity)，由于振動式陀螺儀構(gòu)造簡單，且因其無軸承等移動件，所以極適合以微加工技術(shù)大量制作以降低成本，因此，微型振動式陀螺儀以其低成本、且具有高級性能特性的優(yōu)勢，加上微小的體積，使其逐漸擁有廣大的應(yīng)用領(lǐng)域，是一極具發(fā)展與商品化淺力的感測組件，而訊號檢出電路的訊噪比設(shè)計，及構(gòu)型的最佳設(shè)計是影響振動式微陀螺儀性能(靈敏度)的主要因素。
如圖2所示的環(huán)型振動式陀螺儀20(美國專利US5,450,751，MICROSTRUCTURE FOR VIBRATORY GYROSCOPE)，該振動式陀螺儀20設(shè)置于一基座22中，其包括外環(huán)24、中心柱25及復(fù)數(shù)輻射狀等間距分布的半圓形支撐結(jié)構(gòu)26，于外環(huán)24外周圍設(shè)置有復(fù)數(shù)電極23，該外環(huán)24、支撐結(jié)構(gòu)26均是利用高深寬比(High Aspect-Ratio)微機(jī)電制程技術(shù)制作出，外環(huán)24與支撐結(jié)構(gòu)26的結(jié)構(gòu)高度相同，并藉由不同的外環(huán)24區(qū)域分別提供振動式陀螺儀20作為靜電式驅(qū)動與電容式感測電極所需的感應(yīng)面積，其感應(yīng)方式是藉由外環(huán)24的不同區(qū)段與該復(fù)數(shù)感測/驅(qū)動電極23作感應(yīng)達(dá)成。
再如圖3所示的環(huán)型振動式陀螺儀30(美國專利US5,547,093，METHOD OFFORMING A MICROMACHINE MOTION SENSOR)，該振動式陀螺儀30的結(jié)構(gòu)與圖2的振動式陀螺儀20結(jié)構(gòu)相似，其包括外環(huán)34、中心柱35及復(fù)數(shù)輻射狀等間距分布的半圓形支撐結(jié)構(gòu)36，于外環(huán)34外周圍設(shè)置有復(fù)數(shù)電極33，該外環(huán)34、支撐結(jié)構(gòu)36均利用高深寬比(High Aspect-Ratio)微機(jī)電制程技術(shù)制作出，外環(huán)34與支撐結(jié)構(gòu)36的結(jié)構(gòu)高度相同，并藉由不同的外環(huán)34區(qū)域分別提供振動式陀螺儀30作為靜電式驅(qū)動與電容式感測電極所需的感應(yīng)面積，其感應(yīng)方式是藉由外環(huán)34的不同區(qū)段與該復(fù)數(shù)感測/驅(qū)動電極33作感應(yīng)達(dá)成。
再請參閱圖4所示的懸臂梁型振動式陀螺儀40(美國專利US5,450,751，VIBRATION BEAM ROTATION SENSOR)，該振動式陀螺儀40是采用微機(jī)電加工制造，其結(jié)構(gòu)主要包括一懸臂梁41，該懸臂梁41設(shè)置于一底座電極42上，于該懸臂梁41的底部及側(cè)緣包覆有懸臂電極43，由震蕩回路44驅(qū)動電壓于底座電極42與懸臂電極43之間，使懸臂梁41先產(chǎn)生上下方向的垂直往復(fù)運動，再經(jīng)由科氏力作用將懸臂結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)成水平方向振動，由設(shè)置于懸臂梁41兩側(cè)的壓阻式感測裝置感測水平振動距離而獲得轉(zhuǎn)動角加速度值。
綜觀上述圖2至圖4所示的各型環(huán)型振動式陀螺儀，其中，該振動式陀螺儀20、30的外環(huán)24、34與感測電極23、33必須采用高深寬比(HighAspect-Ratio)為二十的特殊制程，此設(shè)計并非一般微機(jī)電制程所能達(dá)到，此外，由于振動式陀螺儀的作動是利用平面上兩個頻率相同而相差45度的橢圓形模態(tài)作為驅(qū)動與感測模態(tài)，因此前述該振動式陀螺儀20、30、40均僅能做單軸感測。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的是提供一種微型振動式雙軸感測陀螺儀，其結(jié)構(gòu)為梁式且具有對稱性，因此擁有X方向或Y方向雙軸感測性能。
本發(fā)明的次要目的是提供一種微型振動式雙軸感測陀螺儀，為梁式且具有對稱性結(jié)構(gòu)，故其穩(wěn)定性與抗環(huán)境振噪能力較佳，可提升感測性能。
本發(fā)明的另一目的是提供一種微型振動式雙軸感測陀螺儀，可使用微機(jī)電制程大量制造，可降低成本。
本發(fā)明的又一目的是提供一種微型振動式雙軸感測陀螺儀，不需要其它特別的制造技術(shù)，整體尺寸可小于1mm2。
本發(fā)明的再一目的是提供一種微型振動式雙軸感測陀螺儀，其具有感測模態(tài)頻率近似于驅(qū)動模態(tài)頻率的特性，可增加感測靈敏度。
本發(fā)明的微型振動式雙軸感測陀螺儀包括一基座，其中心設(shè)有一支撐柱；多個懸臂，設(shè)置于支撐柱外圍并以該支撐柱為中心徑向向外成放射狀延伸；一平臺，設(shè)置于懸臂的外側(cè)端，以該懸臂為中心分向兩側(cè)水平延伸；靜電驅(qū)動電極，設(shè)置于平臺下方的該基座頂部相對應(yīng)于平臺處；以及數(shù)個電容感測電極，設(shè)置于平臺頂部。
下面結(jié)合附圖以具體實例對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明，以便進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征、目的及功能。


圖1是習(xí)知單軸感測梁型陀螺儀的外觀圖；圖2及圖3是習(xí)知環(huán)型振動式陀螺儀的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是習(xí)知懸臂梁型振動式陀螺儀的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是本發(fā)明的一較佳具體實施例的立體外觀圖；圖6是圖5的實施例的前視圖；圖7是本發(fā)明的懸臂及平臺振動的示意圖；圖8是本發(fā)明另一較佳具體實施例的立體外觀圖；圖9是本發(fā)明又一較佳具體實施例的立體外觀圖；圖10A及圖10B是本發(fā)明的其它實施態(tài)樣示意圖。
附圖標(biāo)記說明10-陀螺儀；16、18-加工原件；20-振動式陀螺儀；22-基座；23-電極；24-外環(huán)；25-中心柱；26-支撐結(jié)構(gòu)；30-振動式陀螺儀；33-電極；34-外環(huán)；35-中心柱；36-支撐結(jié)構(gòu)；40-該振動式陀螺儀；41-懸臂梁；42-底座電極；43-懸臂電極；44-震蕩回路；50-陀螺儀；51-電容感測電極；52-懸臂；521-內(nèi)側(cè)端；522-外側(cè)端；523-平臺；53-靜電驅(qū)動電極；54-基座；55-支撐柱；60-陀螺儀；61-電容感測電極；62-懸臂；621-內(nèi)側(cè)端；622-外側(cè)端；623-平臺；63-靜電驅(qū)動電極；64-基座；65-支撐柱；66、67-補(bǔ)強(qiáng)壁結(jié)構(gòu)；70-陀螺儀；71-電容感測電極；72-懸臂；721-內(nèi)側(cè)端；722-外側(cè)端；723-平臺；73-靜電驅(qū)動電極；74-基座；75-支撐柱；76、77-補(bǔ)強(qiáng)壁結(jié)構(gòu)；78-補(bǔ)強(qiáng)片；81-電容感測電極；82-懸臂；921-內(nèi)側(cè)端；822-外側(cè)端；823-平臺；85-支撐柱；91-電容感測電極；92-懸臂；921-內(nèi)側(cè)端；922-外側(cè)端；923-平臺；95-支撐柱H1、H2、H3-高度。
具體實施例方式
圖5至圖7示出了本發(fā)明的一較佳具體實施例的立體外觀圖，其是為一以靜電驅(qū)動、電容方式感測的梁型振動式陀螺儀50，該陀螺儀50具有一環(huán)型基座54，于基座54中心設(shè)有一支撐柱55，于該支撐柱55外圍設(shè)有復(fù)數(shù)以該支撐柱55為中心、等水平高度徑向向外成放射狀水平延伸的懸臂52，該懸臂52的設(shè)置數(shù)量至少為兩支且為雙數(shù)設(shè)置，該懸臂52的內(nèi)側(cè)端521與支撐柱55相連接，該懸臂52的外側(cè)端522以該懸臂52為中心分向兩側(cè)水平延伸形成一平臺523，于本實施例中，設(shè)置有四支懸臂52，各懸臂52均具有一平臺523，該四平臺523具有相同彎弧度，可由平臺523構(gòu)成一不連續(xù)的環(huán)型，于平臺523下方的該基座54頂部相對應(yīng)于平臺523處設(shè)有靜電驅(qū)動電極53，該平臺523則作為靜電電極；于平臺523頂部的兩端各設(shè)有一具有一高度H1的金屬材質(zhì)電容感測電極51，該電容感測電極51以電鍍方式成型于平臺523上，由該電容感測電極51作為陀螺儀50的慣性質(zhì)量塊；當(dāng)給予驅(qū)動電壓于靜電驅(qū)動電極53時，懸臂52及平臺523受靜電吸引呈Z方向振動，且相鄰的兩懸臂52及平臺523振動相位相差180度，當(dāng)陀螺儀50受X方向或Y方向的旋轉(zhuǎn)時，因科氏力將使得懸臂52及平臺523產(chǎn)生X方向或Y方向的位移(如圖7所示)，則電容感測電極51將因為兩電極間的距離改變，而產(chǎn)生不同的電容值，藉由量測電容值的改變即可測得陀螺儀50所受的旋轉(zhuǎn)角速度大小。
圖8示出了本發(fā)明另一較佳具體實施例的立體外觀圖，其亦為一以靜電驅(qū)動、電容方式感測的梁型振動式陀螺儀60，該陀螺儀60具有一環(huán)型基座64，于基座64中心設(shè)有一支撐柱65，于該支撐柱65外圍設(shè)有復(fù)數(shù)以該支撐柱65為中心、等水平高度徑向向外成放射狀延伸的懸臂62，該懸臂62的設(shè)置數(shù)量至少為兩支，且為雙數(shù)設(shè)置，該懸臂62的內(nèi)側(cè)端621與支撐柱65相連接，該懸臂62的外側(cè)端622以該懸臂62為中心分向兩側(cè)水平延伸形成一平臺623，于本實施例中，是設(shè)置有四支懸臂62，各懸臂62均具有一平臺623，該四平臺623具有相同彎弧度，可由平臺623構(gòu)成一不連續(xù)的環(huán)型，于平臺623下方的該基座64頂部相對應(yīng)于平臺623處設(shè)有靜電驅(qū)動電極63，該平臺623則作為靜電電極；于平臺623頂部的兩端各設(shè)有一具有一高度H2的金屬材質(zhì)電容感測電極61，該電容感測電極61以電鍍方式成型于平臺623上，由該電容感測電極61作為陀螺儀60的慣性質(zhì)量塊；本實施例的特點在于該平臺623及懸臂62的頂部周緣設(shè)有凸伸的補(bǔ)強(qiáng)壁結(jié)構(gòu)66、67，其中，該補(bǔ)強(qiáng)壁結(jié)構(gòu)66位于懸臂62頂部兩側(cè)并延伸于平臺623內(nèi)側(cè)，再與電容感測電極61連接，該補(bǔ)強(qiáng)壁結(jié)構(gòu)66的材質(zhì)亦為導(dǎo)電材質(zhì)，不但具有補(bǔ)強(qiáng)作用，同時可作為訊號傳遞，而位于平臺623外側(cè)的補(bǔ)強(qiáng)壁結(jié)構(gòu)67因純粹為補(bǔ)強(qiáng)作用，故其材質(zhì)不限，必須注意的是，補(bǔ)強(qiáng)壁結(jié)構(gòu)67不可與電容感測電極61連接；于本實施例中，當(dāng)給予驅(qū)動電壓于靜電驅(qū)動電極63，懸臂62及平臺623受靜電吸引呈Z方向振動，且相鄰的兩懸臂62及平臺623振動相位相差180度，當(dāng)陀螺儀60受X方向或Y方向的旋轉(zhuǎn)時，因科氏力將使得懸臂62及平臺623產(chǎn)生X方向或Y方向的位移，則電容感測電極61將因為兩電極間的距離改變，而產(chǎn)生不同的電容值，藉由量測電容值的改變即可測得陀螺儀60所受的旋轉(zhuǎn)角速度大小。
圖9示出了本發(fā)明另一較佳具體實施例，該陀螺儀70的外型與圖8所示陀螺儀60的外型相似，該陀螺儀70具有一環(huán)型基座74，于基座74中心設(shè)有一支撐柱75，于該支撐柱75外圍設(shè)有復(fù)數(shù)以該支撐柱75為中心、等水平高度徑向向外成放射狀延伸的懸臂72，該懸臂72的設(shè)置數(shù)量至少為兩支，且為雙數(shù)設(shè)置，該懸臂72的內(nèi)側(cè)端721與支撐柱75相連接，該懸臂72的外側(cè)端722以該懸臂72為中心分向兩側(cè)水平延伸形成一平臺723，于懸臂72與平臺723的銜接處設(shè)有補(bǔ)強(qiáng)片78，于本實施例中，設(shè)置有四支懸臂72，各懸臂72均具有一平臺723，該四平臺723具有相同彎弧度，可由平臺723構(gòu)成一不連續(xù)的環(huán)型，于本實施例中，于平臺723下方的該基座74頂部相對應(yīng)于平臺723處設(shè)有靜電驅(qū)動電極73，該平臺723則作為靜電電極；于平臺723頂部的兩端各設(shè)有一具有一高度H3的金屬材質(zhì)電容感測電極71，該電容感測電極71呈長條狀，其兩端略凸出于平臺723邊緣，該電容感測電極71以電鍍方式成型于平臺723上，由該電容感測電極71作為陀螺儀70的慣性質(zhì)量塊；于該平臺723及懸臂72的頂部周緣設(shè)有凸伸的補(bǔ)強(qiáng)壁結(jié)構(gòu)76、77，其中，該補(bǔ)強(qiáng)壁結(jié)構(gòu)76位于懸臂72頂部兩側(cè)并延伸于平臺723內(nèi)側(cè)，再與電容感測電極71連接，該補(bǔ)強(qiáng)壁結(jié)構(gòu)76的材質(zhì)亦為導(dǎo)電材質(zhì)，不但具有補(bǔ)強(qiáng)作用，同時可作為訊號傳遞，而位于平臺723外側(cè)的補(bǔ)強(qiáng)壁結(jié)構(gòu)77因純粹為補(bǔ)強(qiáng)作用，故其材質(zhì)不限，必須注意的是，補(bǔ)強(qiáng)壁結(jié)構(gòu)77不可與電容感測電極71連接；當(dāng)給予驅(qū)動電壓于靜電驅(qū)動電極73，懸臂72及平臺723受靜電吸引呈Z方向振動，且相鄰的兩懸臂72及平臺723振動相位相差180度，當(dāng)陀螺儀70受X方向或Y方向的旋轉(zhuǎn)時，因科氏力將使得懸臂72及平臺723產(chǎn)生X方向或Y方向的位移，則電容感測電極71將因為兩電極間的距離改變，而產(chǎn)生不同的電容值，藉由量測電容值的改變即可測得陀螺儀70所受的旋轉(zhuǎn)角速度大小。
另必須說明的是，本發(fā)明的懸臂、平臺、電容感測電極的設(shè)置方式并不限于上述附圖所示的態(tài)樣，且電容感測電極與靜電驅(qū)動電極可互換，如圖10A所示，是將兩支懸臂82對稱設(shè)置于支撐柱85的徑向兩側(cè)，懸臂82的內(nèi)側(cè)端821與支撐柱85相連接，懸臂82的外側(cè)端822具有一平臺823，于平臺823兩端的頂部各設(shè)有一電容感測電極81，該平臺823概呈一半圓形，由兩平臺823構(gòu)成一不連續(xù)的圓環(huán)型；再如圖10B所示，將四支懸臂92等角對稱設(shè)置于支撐柱95的徑向四邊，懸臂92的內(nèi)側(cè)端921與支撐柱95相連接，懸臂92的外側(cè)端922具有一平臺923，于平臺923兩端的頂部各設(shè)有一電容感測電極91，該平臺923是呈直長條狀，由四平臺923圍繞構(gòu)成一不連續(xù)的等邊方型；前述兩實施例顯示，本發(fā)明的懸臂設(shè)置原則是為兩支以上且雙數(shù)設(shè)置，懸臂是以支撐柱為中心、等水平高度徑向向外成放射狀延伸，而平臺可為彎弧形，亦可為直長條型，無論平臺的形狀為何，平臺的中心是設(shè)置于懸臂外側(cè)端，且平臺的延伸方向與懸臂的延伸方向概呈垂直而構(gòu)成一”T”型，而電容感測電極則設(shè)置于平臺的兩側(cè)端的頂部，且電容感測電極以懸臂軸心或平臺中心為中心成鏡射外型。
綜上所述，本發(fā)明具有以下優(yōu)點一、其結(jié)構(gòu)具有對稱性，因此擁有X方向或Y方向雙軸感測性能。
二、具有對稱性結(jié)構(gòu)，故其穩(wěn)定性與抗環(huán)境振噪能力較佳，可提升感測性能。
三、可使用微機(jī)電制程大量制造，可降低成本。
四、不需要其它特別的制造技術(shù)，整體尺寸可小于1mm2。
五、其具有感測模態(tài)頻率近似于驅(qū)動模態(tài)頻率的特性，可增加感測領(lǐng)靈敏度。
以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例，當(dāng)不能以此限制本發(fā)明的范圍，凡依本發(fā)明權(quán)利要求所做的均等變化及修飾，仍將不失本發(fā)明的要義所在，亦不脫離本發(fā)明的精神和范圍的，都應(yīng)視為本發(fā)明的進(jìn)一步實施。
權(quán)利要求
1.一種微型振動式雙軸感測陀螺儀，包括一基座，其中心設(shè)有一支撐柱；多個懸臂，設(shè)置于支撐柱外圍并以該支撐柱為中心徑向向外成放射狀延伸；一平臺，設(shè)置于懸臂的外側(cè)端，以該懸臂為中心分向兩側(cè)水平延伸；靜電驅(qū)動電極，設(shè)置于平臺下方的該基座頂部相對應(yīng)于平臺處；以及數(shù)個電容感測電極，設(shè)置于平臺頂部。
2.如權(quán)利要求1所述的微型振動式雙軸感測陀螺儀，其中，該電容感測電極以電鍍方式成型于平臺兩端的頂部。
3.如權(quán)利要求1所述的微型振動式雙軸感測陀螺儀，其中，該懸臂位于同一水平高度，且平行于基座。
4.如權(quán)利要求1所述的微型振動式雙軸感測陀螺儀，其中，設(shè)置至少兩支或雙數(shù)懸臂。
5.如權(quán)利要求1所述的微型振動式雙軸感測陀螺儀，其中，該平臺以懸臂軸心為中心對稱延伸于懸臂兩側(cè)。
6.如權(quán)利要求1所述的微型振動式雙軸感測陀螺儀，其中，該平臺具有弧度的彎弧形，各由平臺構(gòu)成一不連續(xù)的圓環(huán)型。
7.如權(quán)利要求1所述的微型振動式雙軸感測陀螺儀，其中，該平臺是直長條型，由各平臺圍繞構(gòu)成一不連續(xù)的等邊形。
8.如權(quán)利要求1所述的微型振動式雙軸感測陀螺儀，其中，于懸臂頂部兩側(cè)并延伸于平臺內(nèi)側(cè)設(shè)有補(bǔ)強(qiáng)壁結(jié)構(gòu)，該補(bǔ)強(qiáng)壁結(jié)構(gòu)與電容感測電極連接，于平臺外側(cè)設(shè)有補(bǔ)強(qiáng)壁結(jié)構(gòu)，該補(bǔ)強(qiáng)壁結(jié)構(gòu)不連接電容感測電極。
9.如權(quán)利要求1所述的微型振動式雙軸感測陀螺儀，其中，于懸臂與平臺的銜接處設(shè)有補(bǔ)強(qiáng)片。
10.一種微型振動式雙軸感測陀螺儀，包括一基座，中心設(shè)有一支撐柱；多個懸臂，設(shè)置于支撐柱外圍并以該支撐柱為中心徑向向外成放射狀延伸；一平臺，設(shè)置于懸臂的外側(cè)端，以該懸臂為中心分向兩側(cè)水平延伸；電容感測電極，設(shè)置于平臺下方的該基座頂部相對應(yīng)于平臺處；以及數(shù)個靜電驅(qū)動電極，設(shè)置于平臺頂部。
11.如權(quán)利要求10所述的微型振動式雙軸感測陀螺儀，其中，該靜電驅(qū)動電極以電鍍方式成型于平臺兩端的頂部。
12.如權(quán)利要求10所述的微型振動式雙軸感測陀螺儀，其中，該懸臂是位于同一水平高度，且平行于基座。
13.如權(quán)利要求10所述的微型振動式雙軸感測陀螺儀，其中，設(shè)置至少兩支或雙數(shù)懸臂。
14.如權(quán)利要求10所述的微型振動式雙軸感測陀螺儀，其中，該平臺以懸臂軸心為中心對稱延伸于懸臂兩側(cè)。
15.如權(quán)利要求10所述的微型振動式雙軸感測陀螺儀，其中，該平臺具有弧度的彎弧形，各由平臺構(gòu)成一不連續(xù)的圓環(huán)型。
16.如權(quán)利要求10所述的微型振動式雙軸感測陀螺儀，其中，該平臺是直長條型，由各平臺圍繞構(gòu)成一不連續(xù)的等邊形。
17.如權(quán)利要求10所述的微型振動式雙軸感測陀螺儀，其中，于懸臂頂部兩側(cè)并延伸于平臺內(nèi)側(cè)設(shè)有補(bǔ)強(qiáng)壁結(jié)構(gòu)，該補(bǔ)強(qiáng)壁結(jié)構(gòu)與靜電驅(qū)動電極連接，于平臺外側(cè)設(shè)有補(bǔ)強(qiáng)壁結(jié)構(gòu)，該補(bǔ)強(qiáng)壁結(jié)構(gòu)不連接靜電驅(qū)動電極。
18.如權(quán)利要求10所述的微型振動式雙軸感測陀螺儀，其中，于懸臂與平臺的銜接處設(shè)有補(bǔ)強(qiáng)片。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種微型振動式雙軸感測陀螺儀，包括一基座，于基座中心設(shè)有一支撐柱，于支撐柱外圍設(shè)有復(fù)數(shù)以該支撐柱為中心、等水平高度徑向向外成放射狀延伸的懸臂，懸臂外側(cè)端以該懸臂為中心分向兩側(cè)等距水平延伸形成一平臺，于平臺頂部兩端各電鍍有一電容感測電極或靜電驅(qū)動電極，于平臺下方設(shè)有靜電驅(qū)動電極或電容感測電極；其結(jié)構(gòu)具有對稱性，因此擁有X或Y方向雙軸感測性能，穩(wěn)定性與抗環(huán)境振噪能力較佳，可提升感測性能，并其加工方式簡單，適于大量生產(chǎn)、成本低。
文檔編號G01C19/16GK1580700SQ03149769
公開日2005年2月16日 申請日期2003年8月5日 優(yōu)先權(quán)日2003年8月5日
發(fā)明者陳怡加, 張凱程, 范光錢, 許銘修, 梁佩芳 申請人:財團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院