專(zhuān)利名稱(chēng)：低功耗氣體傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于傳感器領(lǐng)域，特別涉及到一種可減少功率消耗的氣體傳感器結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
傳感器在生產(chǎn)和生活各領(lǐng)域占據(jù)著重要的位置。幾乎所有領(lǐng)域的科學(xué)發(fā)展中，都離不開(kāi)傳感器。其種類(lèi)和數(shù)量也隨著應(yīng)用的廣泛性而不斷增多。作為傳感器的研究和開(kāi)發(fā)工作者，不僅專(zhuān)注于傳感器各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)、參數(shù)，而且要設(shè)計(jì)出合理結(jié)構(gòu)，使傳感器在達(dá)到同樣參數(shù)要求下，耗能降低到最小，壽命盡可能長(zhǎng)，而且安全、可靠。在已有的氣體傳感器結(jié)構(gòu)上，為使硅基片上敷著的加熱電阻層及氣體敏感層得以保持相同的溫度，消耗盡量少的加熱功率，其做法是將硅基底層開(kāi)成凹形結(jié)構(gòu)(參照?qǐng)D1)。使得該基底與其上的氣敏部件的導(dǎo)熱量降低，但這種做法使功耗減少得不明顯，而且也一定程度地影響了基片的強(qiáng)度。為使功耗得以顯著降低，需要進(jìn)一步研究改進(jìn)。本設(shè)計(jì)人就是為此宗旨而研究出一種氣體傳感器的結(jié)構(gòu)，使其功耗得以明顯減少。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型需要解決的技術(shù)問(wèn)題是，針對(duì)已有技術(shù)中，氣體傳感器結(jié)構(gòu)不能確保顯著降低加熱功耗，不能提供長(zhǎng)的使用壽命等不足之處，為克服此不足，重新設(shè)計(jì)一種低功耗傳感器結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型的目的是采用下述技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的，一種低功耗氣體傳感器結(jié)構(gòu)，包括加熱電阻層及其饋線、敷著在基片上的氣體敏層、基片、底層基體，其特征在于，在基片與基體相接觸處——基片底部或基體上部，刻蝕成縱橫交錯(cuò)的凸起與分離的凹坑，其凸起的部分與相對(duì)應(yīng)的另一面以靜電封接方式結(jié)合在一起，其凹入部分成為微形真空腔室。這種凸凹形的基片底部與底層基體的接觸方式，大大減少了兩者的接觸面積，又由于形成許多不連續(xù)的真空絕熱空腔，減少了氣體敏感層溫度的向外傳導(dǎo)，從而減少了其功耗。所述基片與底層基體可采用硅片，也可采用玻璃片。本實(shí)用新型的有益效果是，該傳感器結(jié)構(gòu)在保持氣體敏感層溫度相同的情況下，可使加熱功耗大為節(jié)省，而且傳感器結(jié)構(gòu)牢固，使用壽命提高。


圖1為已有技術(shù)中氣體傳感器的一種結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為低功耗氣體傳感器結(jié)構(gòu)的剖面示意圖。
具體實(shí)施方式
參照?qǐng)D1表示原有的一種氣體傳感器結(jié)構(gòu)示意圖。圖中表示為減少基片部分向外導(dǎo)熱，而將其下部設(shè)計(jì)成內(nèi)凹形式；參照?qǐng)D2表示被實(shí)用新型專(zhuān)利提供的低功耗氣體傳感器結(jié)構(gòu)，其中氣體敏感層部分為1，其上設(shè)有電阻加熱層及其饋線2，氣體敏感層的下部是基片3，本例中選用硅片，其底部刻蝕有正交的凸起及分離的凹坑，形成微型真空絕熱腔室4，最下面的底層基體5，可選用玻璃，也可選用硅片，本例中選用玻璃。
權(quán)利要求1.一種低功耗氣體傳感器結(jié)構(gòu)，包括加熱電阻層及其饋線、敷著在基片上的氣體敏層、基片、底層基體，其特征在于，在基片與基體相接觸處——基片底部或基體上部，刻蝕成縱橫交錯(cuò)的凸起與分離的凹坑，其凸起的部分與相對(duì)應(yīng)的另一面以靜電封接方式結(jié)合在一起，其凹入部分成為微形真空腔室。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低功耗氣體傳感器結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述基片與底層基體可采用硅片，也可采用玻璃片。
專(zhuān)利摘要低功耗氣體傳感器結(jié)構(gòu)，屬于傳感器領(lǐng)域，包括加熱電阻層及其饋線、敷著在基片上的氣體敏層、基片、底層基體，在基片與基體相接觸處——基片底部或基體上部，刻蝕成縱橫交錯(cuò)的凸起與分離的凹坑，其凸起的部分與相對(duì)應(yīng)的另一面以靜電封接方式結(jié)合在一起，其凹入部分成為微形真空腔室。該傳感器結(jié)構(gòu)在保持氣體敏感層溫度相同的情況下，可使加熱功耗大為節(jié)省，而且傳感器結(jié)構(gòu)牢固，使用壽命提高。
文檔編號(hào)G01N27/04GK2606893SQ03251150
公開(kāi)日2004年3月17日 申請(qǐng)日期2003年4月30日 優(yōu)先權(quán)日2003年4月30日
發(fā)明者李策 申請(qǐng)人:李策