專利名稱：位移檢測方法、位移檢測設備及記錄設備的制作方法
技術領域：
本發(fā)明大體上涉及一種在信息記錄介質(zhì)的原版上進行記錄的記錄設備，更具體地，涉及應用在電子束記錄設備中的原版的表面位移檢測，以及一種通過位移檢測在信息記錄介質(zhì)的原版上進行記錄的記錄設備。
背景技術：
傳統(tǒng)上，為了在如光盤等信息記錄介質(zhì)上進行記錄，采用在信息記錄介質(zhì)的原版上進行記錄的記錄設備，在該記錄設備中將藍色或紫外激光束用作光源。在激光記錄設備中，例如，使用具有0.9的數(shù)值孔徑(NA)的物鏡，對記錄光束進行會聚，并照射在其上具有光敏材料的原版上，從而進行在原版上的記錄。在這種情況下，由于通過具有較大數(shù)值孔徑的物鏡而會聚的記錄光束的聚焦深度很小，用于響應原版表面的位移、移動物鏡、從而使記錄光束的焦點始終位于原版的表面上的控制機構至關重要。
通常，為了檢測原版表面的位移量，除了用于發(fā)射記錄光束的光源之外，還提供用于發(fā)射另一光束的另一光源，所述另一光束具有與記錄光束的波長不同、而且不能使光敏材料曝光的波長。然后，將來自所述另一光源的所述另一光束通過與記錄光束相同的物鏡，從而照射在原版上，并通過如像散方法和偏斜方法等檢測方法之一檢測其反射光的運動。這樣，通過由調(diào)節(jié)器依照檢測信息而移動物鏡對記錄光束的焦點位置進行控制。
響應近年來信息記錄介質(zhì)向更高密度發(fā)展的趨勢，正在考慮使用電子束作為記錄電子束。但是，在電子束記錄設備的情況下，由于與使另一光束通過物鏡從而照射在原版的表面上的傳統(tǒng)激光記錄相比，存在結構困難，所以需要提供另一種位移檢測設備。為此目的，通常采用以下方法。圖10示意性地示出了經(jīng)常應用于此、稱為“光學杠桿方法”的位移檢測方法。將具有不能使光敏材料曝光的波長的激光器用作光源。這樣，來自激光器的激光束斜入射在原版的表面上，由位置檢測裝置接收其反射光，從而根據(jù)反射光的方向改變，檢測原版表面的位移。即，來自光源901的光束在原版902的表面上反射，并由位置檢測器903接收其反射光。當原版902的表面按照A、B、C的順序改變其位置時，反射光按照A′、B′、C′的順序改變其位于位置檢測器903的表面上的位置。通過檢測反射光在位置檢測器903的表面上的位置A′、B′和C′，可以檢測原版902表面的位移。例如，正如日本專利未審公開No.2002-83758中所公開的那樣，根據(jù)位置檢測器903的輸出信號，調(diào)整如靜電透鏡等將記錄電子束會聚到原版902的表面上的物鏡的焦點位置，以便控制記錄電子束的焦點位置。
但是，在圖10所示的傳統(tǒng)方法中，被檢測為位置檢測器903的輸出信號的、反射光在位置檢測器903上的位移不僅由原版902表面的位移引起，而且由原版902表面的傾斜引起。圖11示意性地示出了在原版902的表面傾斜的情況下，反射光的運動。特別地，由于原版902表面的傾斜所引起的反射光位移與從反射光在原版902的表面上的反射點到位置檢測器903的距離成正比增加。因此，當反射光在原版902的表面上的反射點與位置檢測器903之間的距離增加時，由于原版902表面的傾斜所導致的反射光的位移與由于原版902表面的位移所導致的反射光的位移的比值變大。因此，由于圖10中的傳統(tǒng)方法容易受到原版902表面的傾斜的影響，其程度類似或高于原版902的表面位移的影響，其難以檢測原版902的表面位移。
同時，在傳統(tǒng)的激光記錄中，如上所述，用于位移檢測的另一光束通過用于會聚記錄光束的物鏡，從而檢測原版902表面的位移量。在此傳統(tǒng)記錄方法中，形成了用于驅(qū)動物鏡本身的閉環(huán)控制，使得反射光依照所檢測到的原版902表面的位移量、始終照射在位置檢測器903的預定位置上。這樣，即使照射到位置檢測器903上的反射光強度發(fā)生改變，仍然根據(jù)檢測靈敏度的變化，正確地檢測物鏡的焦點位置，從而對物鏡焦點的控制沒有任何影響。
但是，在傳統(tǒng)的電子束記錄中，根據(jù)位置檢測器903的輸出信號調(diào)整如靜電透鏡等用于會聚電子束的物鏡的焦點位置，從而對記錄電子束的焦點位置進行控制。因此，與其中使反射光照射到位置檢測器903的預定位置上而進行控制的閉環(huán)控制相比，執(zhí)行了其中物鏡焦點位置的改變與位置檢測器903的輸出信號相互獨立的開環(huán)控制，從而，位置檢測器903輸出信號的幅度將表示原版902的位移量。這樣，如果通過信號幅度對物鏡的焦點位置進行控制，則信號幅度的變化直接表現(xiàn)為物鏡焦點位置的變化。因此，位置檢測器903的輸出信號應當始終具有與原版902的給定位移量相關的固定幅度。結果，在位置檢測器903輸出信號的幅度由于如，涂覆在原版902上的光敏材料的膜厚度的變化以及位置檢測系統(tǒng)光源輸出的變化等、除了原版902的位移變化之外的其他因素而發(fā)生變化的情況下，這種問題導致了位于針對電子束的物鏡的焦點位置處的信息中錯誤的產(chǎn)生。

發(fā)明內(nèi)容
因此，以消除上述現(xiàn)有技術的缺陷為目的，本發(fā)明的首要目的是提供一種位移檢測方法和一種位移檢測設備，其通過消除原版表面傾斜的影響以及入射到位置檢測裝置上光量的改變的影響，能夠檢測信息記錄介質(zhì)的原版表面的位移；以及一種用于在信息記錄介質(zhì)的原版上進行記錄的記錄設備，其通過使用所述位移檢測方法和所述位移檢測設備，能夠?qū)⒂涗浌?電子)束的焦點始終定位在原版的表面上。
在早先提到的傳統(tǒng)光學杠桿方法中，原版表面的位移所引起的信號分量和原版表面的傾斜所引起的另一信號分量在檢測到的信號中不能相互分離。但是，在光束從兩個相對的位置入射到原版的表面上的情況下，原版表面的位移所引起的信號分量所施加的影響和原版表面的傾斜所引起的另一分量所施加的影響在所述位置檢測裝置所檢測到的信號中互不相同。
因而，在本發(fā)明的位移檢測裝置中，由于多束、如兩束光束從兩個相對的位置入射到原版的表面上，并且由相應的位置檢測裝置檢測在原版的表面上反射的光束的方向改變，通過相互消除由原版表面的傾斜所引起的信號分量，可以對原版表面的位移進行檢測。同時，當從每個位置檢測裝置輸出的信號按照照射到每個位置檢測裝置的反射光束量進行歸一化時，可以與反射光束量的變化無關地檢測原版表面的位移。
此外，當將本發(fā)明的位移檢測設備安裝在本發(fā)明用于在信息記錄介質(zhì)的原版上進行記錄的記錄設備上時，不僅可以通過測量原版表面的位移，而且通過根據(jù)原版表面的位移量，改變記錄光(電子)束的焦點位置，對記錄光(電子)束的焦點進行調(diào)整，從而始終將其定位在原版的表面上。在不能使用相同的透鏡照射記錄光(電子)束和用于檢測原版表面的位移的光束的情況下，例如，將電子束用作記錄電子束，本發(fā)明尤為有用。


通過以下參照附圖對優(yōu)選實施例的描述，本發(fā)明的目的和特征將變得更加清楚，其中圖1是按照本發(fā)明第一實施例解釋了位移檢測方法和位移檢測設備的模擬圖；圖2A和圖2B是分別解釋了在第一實施例中原版的位移和傾斜所引起的反射光光軸變化的模擬圖；圖3A和圖3B是分別解釋了在第一實施例中原版的傾斜和位移所引起的檢測信號變化的模擬圖；圖4A和圖4B是分別解釋了針對圖1的位移檢測設備中所采用的光電二極管的光接收部分A和B的檢測靈敏度的調(diào)整方法的示意圖；圖5是解釋了圖1的位移檢測設備中所采用的位置檢測裝置的輸出信號變化的示意圖；圖6是解釋了在第一實施例中由原版的傾斜所引起的光電二極管和位置檢測裝置的輸出變化的示意圖；圖7是示出了圖1的位移檢測設備中所采用的歸一化機構的一個示例的模擬圖；
圖8是按照本發(fā)明第二實施例解釋了位移檢測方法和位移檢測設備的模擬圖；圖9是按照本發(fā)明第三實施例解釋了在信息記錄介質(zhì)的原版上進行記錄的記錄設備的模擬圖；圖10是解釋了傳統(tǒng)位移檢測方法的模擬圖；以及圖11是示出了在圖10所示的傳統(tǒng)位移檢測方法中、由原版表面的傾斜所引起的反射光的運動的模擬圖。
在對本發(fā)明進行描述之前，應當注意的是，相似的部分以貫穿幾幅附圖的相似參考數(shù)字表示。
具體實施例方式
此后，將參照附圖，對本發(fā)明的實施例進行描述。
(第一實施例)圖1按照本發(fā)明的第一實施例描述了用于檢測信息記錄介質(zhì)的原版105的表面位移的位移檢測方法和位移檢測設備。第一照射檢測系統(tǒng)由利用激光二極管發(fā)射偏振光的第一光源101和具有被分成兩個光接收部分A和B的光接收面的第一光電二極管102構成，而第二照射檢測系統(tǒng)由利用激光二極管發(fā)射偏振光的第二光源103和具有被分成兩個光接收部分C和D的光接收面的第二光電二極管104構成。第一和第二照射檢測系統(tǒng)分別由第一和第二偏振分束器106和107合成與分離。這樣，來自第一和第二光源101和103的光束入射到原版105實質(zhì)上相同的位置上，并沿著實質(zhì)上相同的光軸、沿相反方向反射，通過第二和第一偏振分束器107和106，從而分別入射到第一和第二光電二極管102和104上。
此時，設置第一和第二光電二極管102和104中的每一個的光接收面的分割線，從而，實質(zhì)上與來自原版105的每束反射光束的光路平面垂直，同時調(diào)整來自原版105的反射光束，使其分別定位在第一和第二光電二極管102和104的分割線上。當獲得第一和第二光電二極管102和104中的每一個的兩個光接收部分之間的信號差時，可以檢測反射光束在兩個光接收部分上的位置變化，從而由每一個都具有兩個光接收部分的第一和第二光電二極管102和104形成了位置檢測裝置。
圖2A示出了由于原版105的表面位移在第一和第二光電二極管102和104的位置所引起的來自第一和第二光源101和103的光束的光軸變化，而圖2B示出了由于原版105的表面傾斜在第一和第二光電二極管102和104的位置所引起的第一和第二光源101和103的光束的光軸變化。如圖2A所示，在相同的光路平面中，在原版205的表面反射之后從光源201向右行進到屏幕202的光路和在原版205的表面反射之后從光源203向左行進到屏幕204的光路中，反射光束在屏幕202和204上的位置沿與原版205的表面位移的方向相同的方向改變。另一方面，如圖2B所示，與圖2A所示的原版205的表面位移相比，來自光源201和203的反射光束的光軸沿與原版205的表面傾斜的方向相同的方向旋轉(zhuǎn)。
因此，當為兩束反射光束設置位置檢測裝置，從而檢測兩束反射光束的光軸變化，并獲得來自位置檢測裝置的兩個部分的信號差或信號和，使得由原版205的表面傾斜所產(chǎn)生的信號分量相互抵消時，可以通過對其進行放大，提取和檢測出只由原版205的表面位移所產(chǎn)生的信號分量。
在圖1中，鄰近原版105的光接收部分A和遠離原版105的光接收部分B分別作為第一光電二極管102的兩個光接收部分。類似地，鄰近原版105的光接收部分C和遠離原版105的光接收部分D分別作為第二光電二極管104的兩個光接收部分。假設在光接收部分A、B、C和D中分別檢測到信號a、b、c和d，將參照圖3A和圖3B，對信號(a-b)和信號(c-d)的變化進行描述。如圖3A所示，原版105的表面傾斜分別將信號(a-b)和信號(c-d)設置為相反的符號。另一方面，如圖3B所示，原版105的表面位移將信號(a-b)和信號(c-d)設置為相同的符號。因而，在圖2B所示的原版205的表面傾斜中，當在圖3A中獲得信號(a-b)與信號(c-d)的和，即{(a-b)+(c-d)}時，由原版205的表面傾斜所產(chǎn)生的信號分量相互抵消。與此同時，在圖2A所示的原版205的表面位移中，當在圖3B中獲得信號(a-b)與信號(c-d)的和，即{(a-b)+(c-d)}時，對原版205的表面位移所產(chǎn)生的信號分量進行雙重檢測。
同時，在本發(fā)明的第一實施例中，由于為了方便計算光接收部分A、B、C和D中的信號a、b、c和d，信號(a-b)和信號(c-d)分別具有圖3A和3B所示的極性，獲得了信號(a-b)與信號(c-d)的和。但是，為了排除原版105表面傾斜的影響，可以按照信號極性的處理，采用信號(a-b)與信號(c-d)的差。
此外，上面對本發(fā)明第一實施例的描述是基于光接收部分A、B、C和D具有相同的檢測靈敏度的大前提的。但是，在光接收部分A、B、C和D具有不同的檢測靈敏度的情況下，圖3A和圖3B所示的輸出信號(a-b)和輸出信號(c-d)中的每一個的正負峰值發(fā)生變化，破壞了輸出信號的幅度相對于位移量的平衡。結果，如圖4A和圖4B所示，必需調(diào)整光接收部分A、B、C和D的檢測靈敏度。如圖4A所示，調(diào)整第一光電二極管102的位置或者調(diào)整反射光入射到第一光電二極管102的光接收面上的位置，使得反射光完全照射到光接收部分A上。此時，從光接收部分A輸出的信號強度代表圖3B中信號(a-b)的正峰值。同時，另一方面如圖4B所示，調(diào)整第二光電二極管104的位置或者調(diào)整反射光入射到第二光電二極管104的光接收面上的位置，使得反射光完全照射到光接收部分B上。此時，從光接收部分A輸出的信號強度代表圖3B中信號(a-b)的負峰值。假設光接收部分A和B分別具有第一和第二增益的放大器電路，通過調(diào)整放大器電路的第一和第二增益，可以調(diào)整光接收部分A和B的檢測靈敏度。通過對第二光電二極管104進行類似的操作，可以調(diào)整接收部分C和D的檢測靈敏度。
此外，在入射到光電二極管上的反射光的數(shù)量根據(jù)如涂覆在原版105的表面上的材料的膜厚度的變化或者根據(jù)光源光的數(shù)量的變化而變化的情況下，位置檢測裝置的輸出幅度經(jīng)歷圖5和圖6所示的變化。首先，圖5描述了在由于涂覆在原版105上的材料的膜厚度的變化等使反射光的數(shù)量下降的情況下、相對于原版105的位移量、位置檢測裝置的輸出信號{(a-b)+(c-d)}的變化。參考數(shù)字“301”表示反射光的數(shù)量較大時的輸出信號的波形，而參考數(shù)字“302”表示反射光的數(shù)量較小時的輸出信號的波形。在這種情況下，由于入射在第一光電二極管102上的反射光的數(shù)量與入射在第二光電二極管104上的反射光的數(shù)量類似地下降，如圖5所示，假設波形301和302的正峰值+V1和+V2分別對應于(-X)的位移量，而負峰值-V1和-V2分別對應于(+X的位移量)，使得波形302的幅度相對于波形301的幅度以(V2/V1)的比例下降。如果從輸出信號的幅度讀取出位移量，則對位移量的讀取包含了與靈敏度的變化相對應的誤差。
然后，圖6描述了在只有第二光源103的光量下降的情況下，相對于原版105的傾斜量，第一和第二光電二極管102和104的輸出信號(a-b)和(c-d)以及位置檢測裝置的輸出信號{(a-b)+(c-d)}的變化。當只有第二光源103的光量下降時，如圖6所示，信號(c-d)的波形從波形401變化為波形402。此時，由于輸出信號(a-b)的輸出幅度與輸出信號(c-d)的輸出幅度之間的差，在位置檢測裝置的輸出信號{(a-b)+(c-d)}中出現(xiàn)了由傾斜所產(chǎn)生的信號分量，從而變得不能精確測量僅由位移所產(chǎn)生的信號分量。
因而，在本發(fā)明的第一實施例中，在每個位置檢測裝置中均設置了用于消除在位移量的讀取中由于反射光數(shù)量的變化所產(chǎn)生的誤差的歸一化機構。圖7示出了設置在第一照射檢測系統(tǒng)中的歸一化機構的一個示例。當將通過從已經(jīng)調(diào)整使其在第一光電二極管102中具有相同的檢測靈敏度的光接收部分A和B輸出的信號a和b的差信號(a-b)而得到的位置信息除以輸入到第一光電二極管102中的光強度(a+b)時，輸出歸一化位置信息{(a-b)/(a+b)}。利用這種結構，即使反射光的數(shù)量改變，針對預定的位移量，始終能輸出相同的信號幅度。同時，當向第二照射檢測系統(tǒng)也提供類似的歸一化機構，從而平衡第一照射檢測系統(tǒng)時，可以消除由傾斜所產(chǎn)生的誤差，從而，可以只測量位移量。
此外，在本發(fā)明的第一實施例中，由其中每一個的光接收面均被分成兩個光接收部分的第一和第二光電二極管102和104形成位置檢測裝置。但是，在本發(fā)明中，即使采用如位置靈敏檢測器(PSD)等能夠檢測光學位置的另一元件來代替第一和第二光電二極管102和104，仍然能夠獲得相似的效果。
(第二實施例)圖8按照本發(fā)明的第二實施例描述了用于檢測信息記錄介質(zhì)的原版605的表面位移的位移檢測方法和位移檢測設備。第一照射檢測系統(tǒng)包括利用激光二極管的第一光源601和第一光電二極管602。如圖8所示，第一光電二極管602的光接收面沿著實質(zhì)上垂直于光接收面與由入射到原版605的表面上的光和從原版605的表面反射的光所形成的光路平面之間的切線的方向被分成兩個光接收部分。第二照射檢測系統(tǒng)包括利用激光二極管的第二光源603和第二光電二極管604。如圖8所示，第二光電二極管604的光接收面沿著實質(zhì)上垂直于光接收面與由入射到原版605的表面上的光和從原版605的表面反射的光所形成的光路平面之間的切線的方向被分成兩個光接收部分。設置第一和第二照射檢測系統(tǒng)，使其實質(zhì)上相互面對，從而來自第一和第二光源601和603的光束入射在原版605實質(zhì)上相同的位置上，然后，從原版605分別朝第一和第二光電二極管602和604反射。
此時，設置第一和第二光電二極管602和604中的每一個的光接收面的分割線，從而與來自原版605的每束反射光束的入射平面垂直，并調(diào)整來自原版105的反射光束，使其分別定位在第一和第二光電二極管602和604的分割線上。當對由第一和第二光電二極管602和604中的每一個的兩個光接收部分獲得的信號差進行計算時，可以檢測反射光束在兩個光接收部分上的位置變化，從而由每一個都具有兩個光接收部分的第一和第二光電二極管602和604形成了位置檢測裝置。
同樣，在上述結構中，通過對第一和第二光電二極管602和604的每一個的光接收部分中所獲得的信號進行計算，可以按照與本發(fā)明的第一實施例相同的方式，檢測原版605的表面位移。
同時，在本發(fā)明的第二實施例中，由于在一組光源和光電二極管與另一組光源和光電二極管之間所形成的角度較小，由傾斜所施加在光電二極管上的不利影響相互抵消的效應變大。因而，最好將此角度設置為盡可能地小。
(第三實施例)圖9按照本發(fā)明的第三實施例示出了在信息記錄介質(zhì)的原版710上進行記錄的記錄設備。記錄設備包括電子槍701，發(fā)射記錄電子束；靜電透鏡702和703，對電子束進行會聚；偏轉(zhuǎn)電極704，偏轉(zhuǎn)電子束；屏蔽板705，屏蔽由偏轉(zhuǎn)電極704偏轉(zhuǎn)后的電子束，從而對電子束進行調(diào)制；轉(zhuǎn)盤706，支撐涂覆有光敏材料的原版710，從而旋轉(zhuǎn)原版710；滑動器707，用于移動轉(zhuǎn)盤706；位移檢測設備708，如本發(fā)明第一實施例所述，用于檢測原版710的表面位移；聚焦柵711，調(diào)整其、使其具有與原版710的表面實質(zhì)上齊平的高度，而且在其表面上形成用于調(diào)整電子束的焦點位置的圖案；以及真空容器709，其中容納了上述部件。
通過根據(jù)位移檢測設備708所檢測到的原版710表面的位移量，調(diào)整電子透鏡703的焦點位置，改變用于會聚電子束的焦點位置，使得電子束的焦點始終位于原版710表面上的記錄點。在聚焦柵711上預先形成了具有預定深度的臺階。在掃描聚焦柵711的臺階期間，位移檢測設備708所輸出的信號改變代表原版710的表面相對于此狀態(tài)下的臺階所檢測到的位移量。利用位移檢測設備708信號的這種變化，校準輸入給靜電透鏡703的信號。
結果，可以保持作為記錄電子束的電子束的焦點，使其始終定位在原版710的表面上，與轉(zhuǎn)盤706旋轉(zhuǎn)時所產(chǎn)生的原版710的表面位移一致。在聚焦柵711上形成格狀圖案。通過檢查在電子束照射到格狀圖案上以及掃描格狀圖案周圍期間所形成的反射電子像、二次電子像等，可以確認電子束的會聚狀態(tài)。
同時，在本實施例中，除了原版710之外，設置了聚焦柵711。但是，或者通過在原版710的表面上形成如聚苯乙烯膠乳球等標準樣本，或者通過在原版710的表面上形成聚焦圖案代替聚焦柵711，都能夠?qū)﹄娮邮臅蹱顟B(tài)進行確認。
在位移檢測設備708中，最好設置傳播光束的方向，使其垂直于轉(zhuǎn)盤706的徑向。因此，在原版710的表面是彎曲的情況下，依照記錄半徑傾斜原版710的表面。盡管與轉(zhuǎn)盤706的徑向相垂直地傳播光束，但由于反射光束由原版710表面的這種傾斜所引起的方向改變，使反射光束與光電二極管的光接收面的分割線平行運動，從而，可以消除對光電二極管的光接收部分所檢測到的信號的影響。
在本發(fā)明的第三實施例中，將位移檢測設備708的光束設置在記錄電子束的記錄點。但是，也可以將位移檢測設備708的光束設置在轉(zhuǎn)盤706上具有與記錄電子束相同的半徑、但具有與記錄電子束的位置不同的朝向并計算了調(diào)整靜電透鏡703距記錄電子束照射點的時間延遲的位置，可以對記錄電子束的焦點進行調(diào)整。同時，代替這種實時的位移檢測，如果在根據(jù)位移數(shù)據(jù)調(diào)整靜電透鏡703進行記錄之前，預先測量原版710表面的位移量，也可以獲得類似的效果。
此外，在本發(fā)明的第三實施例中，通過調(diào)整靜電透鏡703來改變記錄電子束的焦點位置，將記錄電子束的焦點保持在原版710的表面上。但是，如果提供用于動態(tài)改變固定于轉(zhuǎn)盤706的原版710表面高度的機構，從而依照位移檢測設備708所檢測到的原版710表面的位移量，調(diào)整原版710的表面高度，也可以獲得類似的效果。
正如從本發(fā)明前述的描述中所清楚的那樣，即使在難以使針對位移檢測的光束與記錄光(電子)束同時通過透鏡，而且在電子束用作記錄電子束的情況下采用開環(huán)控制的聚焦機構時，仍能提供位移檢測方法和位移檢測設備，能夠?qū)σM行記錄的原版的表面位移進行檢測，而不受原版的表面傾斜和從原版表面反射的光束的數(shù)量變化的影響。
同時，通過將此位移檢測裝置與用于控制記錄光(電子)束的焦點位置的控制裝置安裝在一起，可以提供在信息記錄介質(zhì)的原版上進行記錄的記錄設備，其能夠?qū)⒂涗浌?電子)束的焦點始終保持在原版的表面上。
權利要求
1.一種位移檢測方法，其中在要測量的物體的表面上反射光束，根據(jù)由于所述物體的表面位移的變化而引起的反射光束的變化，檢測所述物體的表面位移，所述方法包括以下步驟至少從實質(zhì)上相對的兩個光源，使光束入射到所述物體表面上實質(zhì)上相同的位置上；由位置檢測裝置分別檢測在所述物體的表面上反射的光束的方向變化；分別用所述位置檢測裝置接收到的光強度對所述位置檢測裝置的輸出信號進行歸一化；以及計算所述位置檢測裝置歸一化了的輸出信號的和或差。
2.按照權利要求1所述的位移檢測方法，其特征在于由入射到所述物體表面的光束和所述反射光束形成了光路平面，而具有光接收面的所述位置檢測器作為每個位置檢測裝置，所述光接收面由沿與所述光路平面與所述光接收面之間的切線實質(zhì)上相垂直的方向的分割線分成兩個光接收部分；其中，使所述反射光束入射在所述光接收面的分割線上，所述位置檢測器根據(jù)在所述光接收面的兩個光接收部分分別檢測到的信號差，檢測所述反射光束的位置，從而，用所述信號和對所述信號差進行歸一化。
3.按照權利要求2所述的位移檢測方法，其特征在于所述光接收面的兩個光接收部分具有實質(zhì)上相同的檢測靈敏度。
4.一種位移檢測設備，用于對要測量的物體的表面位移進行檢測，所述設備包括多個照射檢測系統(tǒng)，每一個均包括光源，用于向所述物體的表面發(fā)射光束；位置檢測器，用于檢測在所述物體的表面上反射的光束的方向；以及歸一化機構，利用所述位置檢測器所接收到的光強度對位置檢測器的輸出信號進行歸一化；其中，來自所述照射檢測系統(tǒng)的光源的光束實質(zhì)上相對，從而入射在所述物體表面上實質(zhì)上相同的位置；其中，利用從所述照射檢測系統(tǒng)的歸一化機構輸出的信號，計算所述位置檢測器的輸出信號和或差。
5.按照權利要求4所述的位移檢測設備，其特征在于由入射到所述物體表面的光束和所述反射光束形成了光路平面，而具有光接收面的光強度檢測元件作為每個位置檢測器，所述光接收面由沿與所述光路平面與所述光接收面之間的切線實質(zhì)上相垂直的方向的分割線分成兩個光接收部分；其中，使所述反射光束入射在所述光接收面的分割線上，所述光強度檢測元件根據(jù)在所述光接收面的兩個光接收部分分別檢測到的信號差，檢測所述反射光束的位置；其中，所述歸一化機構利用所述信號和對所述信號差進行歸一化。
6.按照權利要求5所述的位移檢測設備，其特征在于所述光接收面的兩個光接收部分具有實質(zhì)上相同的檢測靈敏度。
7.一種記錄設備，在信息記錄介質(zhì)的原版上進行記錄，其中原版具有記錄材料，所述記錄設備包括旋轉(zhuǎn)機構，用于支撐和旋轉(zhuǎn)所述原版；位移檢測設備，用于檢測所述原版的表面位移，包括多個照射檢測系統(tǒng)；其中，每個照射檢測系統(tǒng)包括光源，用于向所述物體的表面發(fā)射光束；位置檢測器，用于檢測在所述物體的表面上反射的光束的方向；以及歸一化機構，利用所述位置檢測器所接收到的光強度對位置檢測器的輸出信號進行歸一化；其中，來自所述照射檢測系統(tǒng)的光源的光束實質(zhì)上相對，從而入射在所述原版表面上實質(zhì)上相同的位置；其中，利用從所述照射檢測系統(tǒng)的歸一化機構輸出的信號，計算所述位置檢測器的輸出信號和或差；以及照射裝置，根據(jù)要記錄的信息信號，將記錄束(recording beam)照射在位于記錄束的焦點位置的原版表面上，使得記錄束的焦點位置依照位移檢測設備所檢測到的位移變化。
8.按照權利要求7所述的記錄設備，其特征在于在原版的表面上或者在實質(zhì)上等于原版表面的高度上設置預定深度的臺階；其中，通過根據(jù)在所述位移檢測設備掃描所述臺階時輸出的信號，對所述位移檢測設備的敏感性進行檢測，修正輻射裝置的信號。
9.按照權利要求7所述的記錄設備，其特征在于記錄束是電子束。
10.按照權利要求7所述的記錄設備，其特征在于在原版的表面上或者在實質(zhì)上等于原版表面的高度上設置用于調(diào)整所述記錄束的焦點位置的圖案。
全文摘要
一種位移檢測方法，其中在要測量的物體的表面上反射光束，根據(jù)由于所述物體的表面位移的變化而引起的反射光束的變化，檢測所述物體的表面位移，所述方法包括以下步驟至少從實質(zhì)上相對的兩個光源，使光束入射到所述物體表面上實質(zhì)上相同的位置上；由位置檢測器分別檢測在所述物體的表面上反射的光束的方向變化；分別用所述位置檢測器接收到的光強度對所述位置檢測器的輸出信號進行歸一化；以及計算所述位置檢測器歸一化了的輸出信號的和或差。
文檔編號G01B11/00GK1499493SQ20031010440
公開日2004年5月26日 申請日期2003年10月28日 優(yōu)先權日2002年10月28日
發(fā)明者佃雅彥, 阿部伸也, 也 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社