專利名稱：位置檢測(cè)裝置、光學(xué)裝置、投影系統(tǒng)、位置檢測(cè)方法以及程序的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于檢測(cè)對(duì)象物，例如用于檢測(cè)為了進(jìn)行光學(xué)系統(tǒng)的焦點(diǎn)調(diào)節(jié)而可以移動(dòng)的光學(xué)元件的位置的位置檢測(cè)裝置、位置檢測(cè)方法、程序以及使用它的光學(xué)裝置、攝影系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
以往，在使用了與對(duì)象物的移動(dòng)相應(yīng)地輸出正弦波狀的信號(hào)的位置檢測(cè)元件(磁阻元件(MR元件)等)的位置檢測(cè)裝置中，在從位置檢測(cè)元件所輸出的多相的信號(hào)成分中選擇具有線性優(yōu)異的信號(hào)成分的相，通過進(jìn)行內(nèi)插此信號(hào)成分的計(jì)算檢測(cè)對(duì)象物的位置。以下，說明作為位置檢測(cè)元件使用MR元件的情況。
從MR元件所輸出的多個(gè)相的信號(hào)如圖9所示一般其振幅以及振幅中心的電平不同。當(dāng)把此輸出信號(hào)用于對(duì)象物的位置檢測(cè)的情況下，因?yàn)椴荒艿玫匠浞值奈恢脵z測(cè)精度，所以如圖10所示那樣調(diào)整增益偏移使得振幅以及振幅中心一致。
在此，MR元件的輸出增益偏移因各個(gè)產(chǎn)品中的傳感器的組裝誤差和電路的電氣特性的誤差、通常因在使用時(shí)的傳感器的溫度等而變化。為了保持高的對(duì)象物的位置檢測(cè)精度，需要根據(jù)上述條件適宜地調(diào)整增益偏移。
作為進(jìn)行此調(diào)整的方法在專利文獻(xiàn)1(Japanese PatentPublication No.3173531)中提出了以下的方法。即，使作為對(duì)象物的鏡頭進(jìn)行大于等于MR傳感器的正弦波輸出的1個(gè)波長(zhǎng)的動(dòng)作，把此時(shí)從A/D轉(zhuǎn)換器取入的傳感器輸出的最大值和最小值存儲(chǔ)在半導(dǎo)體存儲(chǔ)器等的存儲(chǔ)電路中，使用此存儲(chǔ)著的值求增益偏移的調(diào)整數(shù)據(jù)。而后，通過使用此調(diào)整數(shù)據(jù)進(jìn)行加工從A/D轉(zhuǎn)換器取入的傳感器輸出數(shù)據(jù)使振幅和振幅中一致的增益偏移調(diào)整。
具體地說，如果把存儲(chǔ)著的傳感器輸出的最大值設(shè)置為MAX，把最小值設(shè)置為MIN，則作為調(diào)整數(shù)據(jù)的增益(GAIN)、偏移(OFFSET)可以用下式(1)、(2)求得。在此，PANGE是調(diào)整后的數(shù)據(jù)的動(dòng)態(tài)范圍。
GAIN=RANGEMAX-MIN]]>[式2]OFFSET=MAX+MIN2]]>對(duì)于在此得到的GAIN、OFFSET以及傳感器輸出(MR)，通過適用下式(3)的校正式，可以得到調(diào)整了增益偏移的輸出(OUTPUT)。
OUTPUT＝(MR-OFFSET)×GAIN而后，通過在鏡頭每次移動(dòng)RM傳感器的正弦波輸出的大于等于1波長(zhǎng)時(shí)實(shí)時(shí)更新上述的調(diào)整數(shù)據(jù)，即使當(dāng)在使用中環(huán)境溫度產(chǎn)生變化時(shí)也可以進(jìn)行正確的位置檢測(cè)。
但是，在上述以往的技術(shù)中，當(dāng)鏡頭長(zhǎng)時(shí)間停留在MR傳感器的正弦波輸出的1波長(zhǎng)以內(nèi)的范圍中的情況下，不進(jìn)行調(diào)整數(shù)據(jù)(GAIN、OFFSET)的更新。如果此期間環(huán)境溫度變化大，則MR傳感器輸出的最大值以及最小值根據(jù)環(huán)境溫度變化。
具體地說，相對(duì)于例如在-5℃的溫度環(huán)境下的MR傳感器輸出是用圖11的粗實(shí)線所示的正弦波的信號(hào)，在25℃的溫度環(huán)境下的MR傳感器輸出為用圖11的虛線所示的正弦波的信號(hào)。而后，在-5℃以及25℃中的傳感器輸出的最大值以及最小值分別為圖11所示的MAX1、MIN1以及MAX2、MIN2。
在此，在-5℃的溫度環(huán)境下在鏡頭在圖11的箭頭方向上移動(dòng)達(dá)到P點(diǎn)的狀態(tài)中，作為最大值存儲(chǔ)MAX1。其后，在鏡頭停留在P點(diǎn)期間即使環(huán)境溫度從-5℃變換到-20℃，因?yàn)殓R頭未移動(dòng)所以最大值仍然是環(huán)境溫度變化前的MAX1。
在此狀態(tài)下如果鏡頭進(jìn)一步移動(dòng)到圖11的Q點(diǎn)，則在此間作為最小值存儲(chǔ)環(huán)境溫度變化后(25℃)的MIN2的同時(shí)，判斷為鏡頭移動(dòng)超過傳感器輸出的1波長(zhǎng)，由上述的式(1)、式(2)更新調(diào)整數(shù)據(jù)(CAIN、OFFSET)。
但是，作為此時(shí)的MAX、MIN，使用環(huán)境溫度變化前(-5℃)的MAX1和環(huán)境溫度變換后(25℃)的MIN2。其結(jié)果，存在不能得到與溫度變化對(duì)應(yīng)的正確的調(diào)整數(shù)據(jù)，位置檢測(cè)的精度下降的問題。
本發(fā)明的目的在于在對(duì)象物移動(dòng)期間在位置檢測(cè)裝置中的溫度變化的情況下，抑制進(jìn)行上述那樣的不適宜的增益偏移調(diào)整，抑制位置檢測(cè)精度的下降。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的位置檢測(cè)裝置的特征在于包括根據(jù)對(duì)象物的位置變化生成多個(gè)檢測(cè)信號(hào)的第1檢測(cè)傳感器；對(duì)上述多個(gè)檢測(cè)信號(hào)中的至少1個(gè)檢測(cè)信號(hào)，通過進(jìn)行使用從該檢測(cè)信號(hào)得到的變換數(shù)據(jù)的變換處理生成變換信號(hào)的變換單元；根據(jù)上述變換信號(hào)計(jì)算上述對(duì)象物的位置的計(jì)算單元；檢測(cè)溫度的第2檢測(cè)傳感器。在此，上述變換單元在上述多個(gè)檢測(cè)信號(hào)中對(duì)第1檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行基于該第1檢測(cè)信號(hào)的上述變換處理，對(duì)第2檢測(cè)信號(hào)禁止基于上述第2檢測(cè)信號(hào)的上述變換處理。上述第2檢測(cè)信號(hào)當(dāng)用上述第2檢測(cè)傳感器在第1時(shí)刻檢測(cè)出的溫度，和其后在第2時(shí)刻檢測(cè)出的溫度的差比規(guī)定值還大的情況下，是由上述第1檢測(cè)傳感器生成的檢測(cè)信號(hào)。
本發(fā)明的位置檢測(cè)裝置的另一特征在于包括輸出與對(duì)象物的位置變化相應(yīng)的信號(hào)的第1檢測(cè)傳感器；變換處理從上述第1檢測(cè)傳感器的輸出信號(hào)中得到的至少2個(gè)檢測(cè)數(shù)據(jù)，輸出變換信號(hào)的變換單元；基于上述變換信號(hào)計(jì)算上述對(duì)象物的位置的計(jì)算單元；檢測(cè)溫度的第2檢測(cè)傳感器。在此，上述變換單元在上述至少2個(gè)檢測(cè)數(shù)據(jù)中的1個(gè)檢測(cè)數(shù)據(jù)的取得時(shí)用上述第2檢測(cè)傳感器檢測(cè)出的溫度，和在另一檢測(cè)數(shù)據(jù)的取得時(shí)用上述第2檢測(cè)傳感器檢測(cè)的溫度的差大于等于規(guī)定的溫度差時(shí)，禁止上述檢測(cè)數(shù)據(jù)的變換處理。
本發(fā)明的光學(xué)裝置的特征包括光學(xué)系統(tǒng)，和檢測(cè)上述光學(xué)系統(tǒng)中至少1個(gè)光學(xué)元件的位置的上述位置檢測(cè)裝置。
本發(fā)明的攝影系統(tǒng)的特征包括具有可以移動(dòng)的光學(xué)元件的鏡頭裝置；安裝上述鏡頭裝置的拍攝裝置。此拍攝系統(tǒng)包括對(duì)應(yīng)上述光學(xué)元件的位置變化生成多個(gè)檢測(cè)信號(hào)的第1檢測(cè)傳感器；對(duì)上述多個(gè)檢測(cè)信號(hào)中的至少1個(gè)檢測(cè)信號(hào)通過進(jìn)行使用從該檢測(cè)信號(hào)得到的變換數(shù)據(jù)的變換處理生成變換信號(hào)的變換單元；基于上述變換信號(hào)計(jì)算上述光學(xué)元件的位置的計(jì)算單元；檢測(cè)溫度的第2檢測(cè)傳感器。在此，上述變換單元在上述多個(gè)檢測(cè)信號(hào)中對(duì)第1檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行基于該第1檢測(cè)信號(hào)的上述變換處理，對(duì)第2檢測(cè)信號(hào)禁止基于該第2檢測(cè)信號(hào)的上述變換處理。上述第2檢測(cè)信號(hào)當(dāng)用上述第2檢測(cè)傳感器在第1時(shí)刻檢測(cè)出的溫度，和在其后的第2時(shí)刻檢測(cè)出的溫度的差比規(guī)定的值還大的情況下，是由上述第1檢測(cè)傳感器生成的檢測(cè)信號(hào)。
本發(fā)明的位置檢測(cè)方法的特征在于包括根據(jù)對(duì)象物的位置變化生成多個(gè)檢測(cè)信號(hào)的第1步驟；在上述多個(gè)檢測(cè)信號(hào)中對(duì)至少1個(gè)檢測(cè)信號(hào)，進(jìn)行使用了從該檢測(cè)信號(hào)得到的變換數(shù)據(jù)的變換處理由此生成變換信號(hào)的第2步驟；基于上述變換信號(hào)計(jì)算上述對(duì)象物的位置的第3步驟；檢測(cè)溫度的第4步驟。在此，在上述第2步驟中，在上述多個(gè)檢測(cè)信號(hào)中對(duì)第1檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行基于該第1檢測(cè)信號(hào)的上述變換處理，對(duì)第2檢測(cè)信號(hào)禁止基于該第2檢測(cè)信號(hào)的上述變換處理。上述第2檢測(cè)信號(hào)當(dāng)在上述第4步驟中在第1時(shí)刻檢測(cè)出的溫度，和在其后的第2時(shí)刻檢測(cè)出的溫度的差比規(guī)定值還大的情況下，是在上述第1步驟中生成的檢測(cè)信號(hào)。
本發(fā)明的位置檢測(cè)裝置、光學(xué)檢測(cè)裝置、攝影系統(tǒng)以及位置檢測(cè)方法的特征可以參照附圖通過以下的具體說明變得明確起來。


圖1是展示實(shí)施方式1的照相機(jī)構(gòu)成的圖。
圖2是展示實(shí)施方式1中的增益偏移調(diào)整處理的流程圖。
圖3是展示對(duì)MR傳感器輸出的振幅的溫度的線性變化特性的圖。
圖4是展示對(duì)MR傳感器輸出的振幅中心的溫度的線性變化特性的圖。
圖5是展示實(shí)施方式2中的增益偏移調(diào)整處理的流程圖。
圖6是展示對(duì)MR傳感器輸出的振幅的溫度的曲線變化特性的圖。
圖7是展示對(duì)MR傳感器輸出的振幅中心的溫度的曲線變化特性的圖。
圖8是展示實(shí)施方式3中的照相機(jī)構(gòu)成的圖。
圖9是展示增益偏移未調(diào)整的MR傳感器輸出狀態(tài)的圖。
圖10是展示增益偏移調(diào)整后的MR傳感器輸出狀態(tài)的圖。
圖11是展示因環(huán)境溫度變化的MR傳感器輸出的最大值·最小值的變化的圖。
具體實(shí)施例方式圖1是展示具備作為本發(fā)明的實(shí)施方式1的位置檢測(cè)裝置的照相機(jī)(光學(xué)裝置)構(gòu)成的方框圖。
在圖1中，1是照相機(jī)，2是設(shè)置在照相機(jī)1上的鏡頭鏡筒。在本實(shí)施方式以及以下的實(shí)施例中說明鏡頭一體型照相機(jī)，但本發(fā)明也可以適用于由照相機(jī)主體、在該照相機(jī)主體上可以裝拆的鏡頭裝置所構(gòu)成的照相機(jī)系統(tǒng)。
3是鏡頭鏡筒2內(nèi)部的攝影光學(xué)系統(tǒng)。4是包含在攝影光學(xué)系統(tǒng)3中的聚焦鏡頭(對(duì)象物)，通過經(jīng)由未圖示的動(dòng)力傳遞機(jī)構(gòu)接受鏡頭驅(qū)動(dòng)電機(jī)15的驅(qū)動(dòng)力可以在光軸方向(圖1的左方向)上驅(qū)動(dòng)。
5是CCD和CMOD等的攝像元件(image pickup Device)，接受由攝影光學(xué)系統(tǒng)(image-taking optical system)3形成的被拍攝體光學(xué)像，變換為電氣信號(hào)(圖象數(shù)據(jù))輸出。此輸出的圖象數(shù)據(jù)在影象信號(hào)處理電路20中被實(shí)施圖象處理(顏色處理和γ校正等)，可以記錄在由磁帶、光盤、半導(dǎo)體存儲(chǔ)器等構(gòu)成的記錄介質(zhì)21上。另外，影象信號(hào)處理電路20的輸出被輸入到由LCD等構(gòu)成的顯示單元22，可以在此顯示單元22中作為影象顯示。
進(jìn)而，在本實(shí)施方式中，說明了具備攝像元件的數(shù)字照相機(jī)，但也可以適用在使用膠片的照相機(jī)中。
檢測(cè)磁體(第1檢測(cè)傳感器)6被配置成和聚焦鏡頭4的光軸方向的移動(dòng)成為一體地移動(dòng)，沿著此移動(dòng)方向磁化成相互相反極性。MR傳感器(第1檢測(cè)傳感器)7相對(duì)檢測(cè)磁體6以規(guī)定的間隔相對(duì)被固定在鏡頭鏡筒2上(在聚焦鏡頭4的移動(dòng)方向上固定)，根據(jù)因和聚焦鏡頭4連動(dòng)的檢測(cè)磁體6的移動(dòng)產(chǎn)生的磁場(chǎng)變化，輸出正弦波和余弦波的2相信號(hào)。
如上所述在本實(shí)施方式中，作為第1檢測(cè)傳感器，使用作為周期地被磁化的磁體部件的檢測(cè)磁體6，和作為隨著對(duì)象物(聚焦鏡頭4)的移動(dòng)與磁體部件相對(duì)移動(dòng)，根據(jù)移動(dòng)引起的磁變化輸出多相的位置檢測(cè)信號(hào)的磁性檢測(cè)器的MR傳感器7。在此，上述構(gòu)成的第1檢測(cè)傳感器(MR傳感器7)輸出根據(jù)對(duì)象物的位置變化而周期性變化的多相的信號(hào)。
進(jìn)而，在本實(shí)施方式中，把MR傳感器7的輸出設(shè)置為正弦波和余弦波的2相，但本發(fā)明并不限于此形態(tài)，也可以具有3相以上的輸出。
另外，在以上的說明中其構(gòu)成是把MR傳感器7固定在鏡頭鏡筒2上，檢測(cè)磁體6和聚焦鏡頭4連動(dòng)移動(dòng)，但其構(gòu)成也可以是把檢測(cè)磁體6固定在鏡頭鏡筒2上，MR傳感器7和聚焦鏡頭4連動(dòng)移動(dòng)。
MR傳感器7的輸出由放大器8a、8b放大，經(jīng)由取樣保持電路9a、9b用A/D轉(zhuǎn)換器10進(jìn)行數(shù)字變換。這樣取入的MR傳感器輸出在增益偏移調(diào)整單元(※單元＝section以下相同)(變換單元)11中被增益偏移調(diào)整后，在位置計(jì)算單元(計(jì)算單元)12中計(jì)算聚焦鏡頭4的位置。
在此，作為變換單元的增益偏移調(diào)整單元11如后述那樣基于對(duì)象物移動(dòng)傳感器輸出的1波長(zhǎng)期間從傳感器輸出信號(hào)中得到的最大值數(shù)據(jù)以及最小值數(shù)據(jù)，制成作為變換數(shù)據(jù)的增益偏移值，基于此增益偏移值進(jìn)行傳感器輸出信號(hào)的增益偏移調(diào)整(規(guī)定的變換處理)。
在位置計(jì)算單元12中得到的鏡頭位置數(shù)據(jù)被送到鏡頭控制單元13，在鏡頭位置的伺服控制中使用。
鏡頭控制單元13通過把驅(qū)動(dòng)信號(hào)給予驅(qū)動(dòng)電路14，驅(qū)動(dòng)鏡頭驅(qū)動(dòng)電機(jī)15，可以控制聚焦鏡頭4的位置。進(jìn)而，聚焦鏡頭4通過未圖示的自動(dòng)聚焦控制(例如，采用公知的相位差檢測(cè)方式和對(duì)比檢測(cè)方式的控制)使得攝影光學(xué)系統(tǒng)移動(dòng)到對(duì)焦?fàn)顟B(tài)的位置。
調(diào)整數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元18由DRAM等的易失性半導(dǎo)體存儲(chǔ)元件構(gòu)成，存儲(chǔ)保持MR傳感器輸出的增益偏移和正弦波輸出的最大值·最小值等的調(diào)整數(shù)據(jù)。增益偏移調(diào)整單元11從調(diào)整數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元18中讀出調(diào)整數(shù)據(jù)，由上述的公式(3)進(jìn)行MR傳感器輸出的增益偏移調(diào)整。
調(diào)整數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元19由ROM和EEPROM等的非易失性半導(dǎo)體存儲(chǔ)元件構(gòu)成，存儲(chǔ)保持后述的溫度變化量的閾值等的固定數(shù)據(jù)。
進(jìn)而，在鏡頭鏡筒2中具備用于測(cè)量MR傳感器7周邊溫度的溫度傳感器(第2溫度傳感器)16，溫度傳感器16的輸出信號(hào)經(jīng)由放大器8c、取樣保持電路9c由A/D變換器10進(jìn)行數(shù)字變換。在此，可以把溫度傳感器16一并作為用于校正因溫度產(chǎn)生的焦點(diǎn)偏移而使用的校正用溫度傳感器使用。即，因?yàn)榫劢圭R頭4在光軸方向上的對(duì)焦位置有可能因環(huán)境溫度偏移，所以通過檢測(cè)此環(huán)境溫度可以校正聚焦鏡頭4的對(duì)焦位置。這樣通過在1個(gè)傳感器16上兼具備2個(gè)功能，與分別設(shè)置各功能的傳感器的情況相比可以使照相機(jī)1小型化，并削減成本。
圖1中的用點(diǎn)劃線包圍的區(qū)域內(nèi)的構(gòu)成要素在進(jìn)行照相機(jī)1的動(dòng)作的各種控制的照相機(jī)CPU17內(nèi)作為硬件或者軟件構(gòu)成。但是，本發(fā)明并不限于此，也可以把取樣保持電路9a、9b、9c和A/D轉(zhuǎn)換器10設(shè)置在照相機(jī)CPU17的外部，另外也可以把調(diào)整數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元18、19內(nèi)置于CPU17中。
以下，根據(jù)圖2所示的流程圖說明MR傳感器輸出的增益偏移調(diào)整處理。以下的處理是對(duì)從MR傳感器7輸出的多相的信號(hào)分別進(jìn)行。
首先，在步驟S2中對(duì)MR傳感器輸出的最大值/最小值數(shù)據(jù)進(jìn)行初始化。具體地說，作為最大值數(shù)據(jù)設(shè)置A/D轉(zhuǎn)換器10的輸入數(shù)據(jù)的最小值，作為最小值數(shù)據(jù)設(shè)置A/D轉(zhuǎn)換器10的輸入數(shù)據(jù)的最大值，存儲(chǔ)在調(diào)整數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元18中。
以下，在步驟S3中，把聚焦鏡頭4的現(xiàn)在位置X0存儲(chǔ)在調(diào)整數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元18中。此位置數(shù)據(jù)在以后的步驟S9中，用于判定聚焦鏡頭4是否移動(dòng)了大于等于1波長(zhǎng)。
以下，在步驟S4中對(duì)MR傳感器7的輸出進(jìn)行取樣，進(jìn)而在步驟S5中對(duì)溫度傳感器16的輸出進(jìn)行取樣。
進(jìn)而，在步驟S6中，進(jìn)行保持MR傳感器輸出的最大值/最小值的處理。具體地說，比較被存儲(chǔ)在調(diào)整數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元18中的最大值/最小值數(shù)據(jù)和MR傳感器輸出的A/D變換值。而后，MR傳感器輸出的A/D轉(zhuǎn)換值如果比預(yù)先存儲(chǔ)著的最大值數(shù)據(jù)大，則把該A/D變換值置換作為最大值數(shù)據(jù)，如果A/D變換值比預(yù)先存儲(chǔ)的最小值數(shù)據(jù)小，則把該A/D變換值作為最小值數(shù)據(jù)置換更新調(diào)整數(shù)據(jù)(最大值數(shù)據(jù)或者最小值數(shù)據(jù))。當(dāng)哪種情況都不是的情況下，不更新最大值/最小值數(shù)據(jù)。
由此，MR傳感器輸出的最大值/最小值數(shù)據(jù)被保持在調(diào)整數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元18中。此外，在步驟S7中，把在更新了最大值數(shù)據(jù)時(shí)(第1時(shí)刻以及第2時(shí)刻中的一方的時(shí)刻)的溫度THOLD_MAX以及更新了最小值數(shù)據(jù)時(shí)(第1時(shí)刻以及第2時(shí)刻中的另一方的時(shí)刻)THOLD_MIN存儲(chǔ)在調(diào)整數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元18中。
在步驟S8中，判定MR傳感器輸出是否和振幅中心電平交叉。從MR傳感器7輸出的正弦波狀的信號(hào)因?yàn)樵诿堪氩ㄩL(zhǎng)上和振幅中心交叉，所以通過此判別可以用半波長(zhǎng)單位檢測(cè)聚焦鏡頭4的移動(dòng)量。作為具體的處理，使用上述式(3)通過增益偏移調(diào)整后的MR傳感器輸出數(shù)據(jù)的符號(hào)是從正切換到負(fù)，還是從負(fù)切換到正進(jìn)行交叉判別。
在此，當(dāng)不和振幅中心交叉的情況下，因?yàn)榫劢圭R頭4還未移動(dòng)半波長(zhǎng)，所以返回步驟S4。另一方面，當(dāng)判別為交叉的情況下進(jìn)入步驟S9。
在步驟S9中，判別在步驟S3中存儲(chǔ)著的鏡頭位置X0、移動(dòng)后的現(xiàn)在的鏡頭位置的差的絕對(duì)值(聚焦鏡頭4的移動(dòng)距離)是否是大于等于相當(dāng)于MR傳感器輸出的1波長(zhǎng)的距離。在上述的步驟S8的判別中，不能判別聚焦鏡頭4是移動(dòng)了半波長(zhǎng)，還是移動(dòng)了1波長(zhǎng)，或者是返回了上述交叉的位置。因而，在步驟S9中判別聚焦位置4的移動(dòng)量是否是1波長(zhǎng)。
在此，當(dāng)聚焦鏡頭4未移動(dòng)1波長(zhǎng)的情況下返回步驟S4。另一方面，當(dāng)判別為聚焦鏡頭移動(dòng)了1波長(zhǎng)的情況下進(jìn)入步驟S10。
在步驟S10中，在基于溫度傳感器16的輸出檢測(cè)現(xiàn)在的溫度(調(diào)整數(shù)據(jù)制作時(shí)的溫度)的同時(shí)，判別此檢測(cè)出的溫度和與在步驟S7中存儲(chǔ)的最大值數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的溫度THOLD_MAX的差的絕對(duì)值是否比規(guī)定的閾值TTHRESHOLD小。此TTHRESHOLD是表示在調(diào)整MR傳感器輸出的增益偏移后，可以容許MR傳感器輸出偏移的溫度范圍的值，被存儲(chǔ)保持在非易失性的調(diào)整數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元19中。
在此，如果溫度差比閾值TTHRESHOLD大，則現(xiàn)在保持著的MR傳感器輸出的最大值數(shù)據(jù)因溫度變化不適宜增益偏移調(diào)整。這種情況下，不進(jìn)行增益以及偏移的調(diào)整數(shù)據(jù)的更新而返回步驟S2，再次初始化最大值/最小值數(shù)據(jù)。另一方面，如果溫度差比閾值TTHRESHOLD小，則因?yàn)楝F(xiàn)在保持著的最大值數(shù)據(jù)適宜增益偏移調(diào)整，所以進(jìn)入步驟S11。
在步驟S11中，和步驟S10一樣，判斷用溫度傳感器16檢測(cè)出的現(xiàn)在溫度(調(diào)整數(shù)據(jù)制成時(shí)的溫度)，和在步驟S7中存儲(chǔ)著的與最小值數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的溫度THOLD_MIN的差的絕對(duì)值是否比規(guī)定的閾值TTHRESHOLD小。
在此，如果溫度差比閾值TTHRESHOLD大，則現(xiàn)在保持的MR傳感器輸出的最小值數(shù)據(jù)因溫度變化不適宜增益偏移調(diào)整。這種情況下，不進(jìn)行增益以及偏移的調(diào)整數(shù)據(jù)的更新而返回步驟S2，再次初始化最大值/最小值數(shù)據(jù)。另一方面，如果溫度差比閾值TTHRESHOLD小，則因?yàn)楝F(xiàn)在保持著的最小值數(shù)據(jù)適宜增益偏移調(diào)整，所以進(jìn)入步驟S12。
在步驟S12中，基于被存儲(chǔ)在調(diào)整數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元18中的最大值/最小值數(shù)據(jù)采用上述式(1)、式(2)進(jìn)行調(diào)整數(shù)據(jù)的計(jì)算，在步驟S13中更新調(diào)整數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元18的調(diào)整數(shù)據(jù)(GAIN，OFFSET)。
如果采用上述的流程圖，則在聚焦透鏡4移動(dòng)MR傳感器輸出的1波長(zhǎng)期間，當(dāng)有超過閾值TTHRESHOLD的大的溫度變化的情況下，禁止基于此時(shí)得到的MR傳感器輸出(第2檢測(cè)信號(hào))的增益偏移調(diào)整。即，通過禁止從上述MR傳感器輸出的最大值數(shù)據(jù)/最小值數(shù)據(jù)求得的增益以及偏移的調(diào)整數(shù)據(jù)的更新，可以防止進(jìn)行不適宜的位置檢測(cè)的增益偏移調(diào)整。
另一方面，當(dāng)是未超過閾值TTHRESHOLD的溫度變化的情況下，基于此時(shí)得到的MR傳感器輸出(第1檢測(cè)信號(hào))進(jìn)行增益偏移調(diào)整。即，從上述的MR傳感器輸出的最大值數(shù)據(jù)/最小值數(shù)據(jù)中求偏移的特征數(shù)據(jù)，基于此調(diào)整數(shù)據(jù)進(jìn)行MR傳感器輸出的增益偏移調(diào)整。
以下，說明具備作為本發(fā)明的實(shí)施方式2的位置檢測(cè)裝置的照相機(jī)(光學(xué)裝置)。本實(shí)施方式中的照相機(jī)的構(gòu)成和在實(shí)施方式1中說明的照相機(jī)的構(gòu)成一樣，對(duì)同樣的構(gòu)成要素標(biāo)注相同的符號(hào)并省略說明。以下，說明和實(shí)施方式1不同的部分。
在本實(shí)施方式中，在非易失性的調(diào)整數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元19上預(yù)先存儲(chǔ)相對(duì)溫度變換的MR傳感器輸出的增益偏移的變動(dòng)率數(shù)據(jù)，在未進(jìn)行增益以及偏移的調(diào)整數(shù)據(jù)更新時(shí)，基于溫度變化以及變動(dòng)率數(shù)據(jù)校正增益以及偏移的調(diào)整數(shù)據(jù)。而后，基于此校正后的調(diào)整數(shù)據(jù)進(jìn)行增益偏移的調(diào)整。
以下，說明用于調(diào)整相對(duì)環(huán)境溫度變化的MR傳感器輸出的增益偏移變動(dòng)的處理。進(jìn)而，因?yàn)樵鲆婧推普{(diào)整處理的內(nèi)容大致相同，所以以下說明增益的調(diào)整處理，有關(guān)偏移調(diào)整處理的說明除去固有的部分外進(jìn)行省略。
首先，說明MR傳感器7的輸出的振幅以及振幅中心如圖3、圖4所示那樣相對(duì)溫度近似于直線變化時(shí)的增益的調(diào)整處理。
首先，在傳感器特性試驗(yàn)中如圖3所示，求在以在基準(zhǔn)溫度T0中的振幅為基準(zhǔn)(振幅變動(dòng)率＝1)時(shí)的振幅溫度變動(dòng)率的斜率KTG[1/℃]，存儲(chǔ)在非易失性的調(diào)整數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元19中。
而后，根據(jù)圖5所示的流程圖進(jìn)行增益的調(diào)整處理。進(jìn)而，對(duì)于步驟S1～步驟S13，進(jìn)行和實(shí)施方式1(圖2的流程圖)一樣的處理。
在此，在進(jìn)行增益調(diào)整數(shù)據(jù)的計(jì)算的步驟S12中，替換上述的式(1)用下式(4)計(jì)算在基準(zhǔn)溫度T0下的增益(GAIN0)，把此增益調(diào)整數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在調(diào)整數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元18中。
在式(4)中，TINIT是取得GAIN0時(shí)對(duì)溫度傳感器輸出進(jìn)行取樣得到的溫度。另外，同一式中的MAX、MIN分別表示在TINIT中的MR傳感器輸出的最大值以及最小值。
GAIN0=RANGEMAX-MIN{1+KTG(TINIT-T0)}]]>使用此增蓋調(diào)整數(shù)據(jù)(GAIN0)的溫度補(bǔ)償處理如以下那樣進(jìn)行。
在圖5的步驟S10或者步驟S11中，當(dāng)判斷為用溫度傳感器16檢測(cè)出的現(xiàn)在溫度(在增益調(diào)整數(shù)據(jù)制成時(shí)的檢測(cè)溫度)，和在步驟S7中存儲(chǔ)的與最大值數(shù)據(jù)或者最小值數(shù)據(jù)相對(duì)應(yīng)的溫度(THOLD_MAX，THOLD_MIN)的差的絕對(duì)值比規(guī)定的閾值TTHRESHLD還大的情況下進(jìn)入步驟S14。
在步驟S14中，用下式(5)求與在調(diào)整數(shù)據(jù)的制成時(shí)的溫度T(檢測(cè)溫度從TINIT變換到T的情況)對(duì)應(yīng)的增益(GAIN)。
GAIN=GAIN0{1+KTG(T-T0)}]]>而后，使用在上述式(5)中得到的增益調(diào)整數(shù)據(jù)在增益/偏移調(diào)整單元11中進(jìn)行增益調(diào)整。在此，當(dāng)沒有溫度變化的情況下T＝TINIT，式(5)是和式(1)一樣的式子。
另一方面，對(duì)于偏移調(diào)整數(shù)據(jù)也進(jìn)行和上述的增益調(diào)整數(shù)據(jù)一樣的處理。即，對(duì)于偏移調(diào)整數(shù)據(jù)，在代替上述的式子(4)使用下式(6)的同時(shí)，代替上述式(5)通過使用下式(7)得到進(jìn)行溫度補(bǔ)償處理后的偏移調(diào)整數(shù)據(jù)。而后，基于該偏移調(diào)整數(shù)據(jù)進(jìn)行偏移的調(diào)整。
在式(6)、(7)中，KTOFFS[1/℃]如圖4所示是以在基準(zhǔn)溫度T0中的振幅中心為基準(zhǔn)的振幅中心的溫度變動(dòng)率的斜率，此變動(dòng)率數(shù)據(jù)在傳感器特性試驗(yàn)中求得，存儲(chǔ)在非易失性的調(diào)整數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元19中。另外，TINIT是取得OFFSET0時(shí)取樣溫度傳感器輸出得到的溫度。另外，同一式中的MAX、MIN分別表示在TINIT中的MR傳感器輸出的最大值以及最小值。
OFFSET0=MAX+MIN2{1+KTOFFS(TINIT-T0)}]]>[式7]OFFSET＝OFFSET0{1+KTOFFS(T-T0)}
通過以上的處理，對(duì)于因環(huán)境溫度變化引起的MR傳感器輸出的變動(dòng)，也可以取得考慮到溫度變化的增益以及偏移調(diào)整數(shù)據(jù)(與規(guī)定值以上的溫度對(duì)應(yīng)的變換數(shù)據(jù))，根據(jù)該調(diào)整數(shù)據(jù)可以進(jìn)行適宜的增益/偏移調(diào)整。
在以上的說明中，敘述了MR傳感器7的輸出振幅以及振幅中心相對(duì)溫度近似線性變化時(shí)的增益偏移調(diào)整。
但是，因MR傳感器7以及放大器電路8a、8b等的特性，相對(duì)于溫度MR傳感器7的輸出振幅呈曲線變化，在采用直線的近似中也設(shè)想了不充分的情況。以下說明這種情況下的增益調(diào)整方法。
首先，在傳感器特性試驗(yàn)中求以溫度基準(zhǔn)T0中的振幅為基準(zhǔn)的振幅的溫度變動(dòng)率(曲線變化的曲線圖)，如圖6所示用折線LTG(1)～LTG(N)近似曲線的變化。
以此變動(dòng)率數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)，把振幅的溫度變動(dòng)率的折點(diǎn)(用圖6中的圓點(diǎn)表示)中的溫度TG(k)以及在下式(8)、(9)所示的KTG(k)、BTG(k)的數(shù)據(jù)對(duì)于k＝1～N分別存儲(chǔ)在非易失性的調(diào)整數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元19中。
在此，KTG(k)[1/℃]是折線LTG(k)的斜率，BTG(k)是把折線LTG(k)延長(zhǎng)至T＝T0時(shí)的截距。另外，WT(k)是振幅的溫度變化率的折點(diǎn)中的振幅變動(dòng)率。
KTG(k)=WT(k+1)-WT(k)TG(k+1)-TG(k)]]>[式9]BTG(k)＝KTG(k){T0-TG(k))}+WT(k)而后，在圖5的步驟S12中的增益調(diào)整數(shù)據(jù)的計(jì)算時(shí)，代替上述的式(1)用下式(10)計(jì)算在基準(zhǔn)溫度T0下的增益(GAIN0)，把此值存儲(chǔ)在調(diào)整數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元18中。在式(10)中，TINIT是在取得GAIN0時(shí)取樣溫度傳感器輸出得到的溫度，KTG(k)、BTG(k)是在k＝1～N中TG(k)＜TINIT＜TG(k+1)那樣的折點(diǎn)上的斜率以及截距數(shù)據(jù)。
GAIN0=RANGEMAX-MIN{KTG(k)(TINIT-T0)+BTG(k)}]]>使用此調(diào)整數(shù)據(jù)(GAIN0)的溫度校正處理如以下那樣進(jìn)行。
在圖5的步驟S10或者步驟S11中，當(dāng)判定為調(diào)整數(shù)據(jù)制成時(shí)的檢測(cè)溫度，和在步驟S7中存儲(chǔ)著的與最大值數(shù)據(jù)或者最小值數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的溫度(THOLD_MAX，THOLD_MIN)的差的絕對(duì)值比規(guī)定的閾值TTHRESHLD還大的情況下進(jìn)入步驟S14。
在步驟S14中，用調(diào)整數(shù)據(jù)求在k＝1～N中TG(k)＜T＜TG(k+1)那樣的KTG(k)、BTG(k)，用下式(11)求與調(diào)整數(shù)據(jù)制成時(shí)的溫度T對(duì)應(yīng)的增益(GAIN)。
(式11)GAIN=GAIN0{KTG(k)(T-T0)+BTG(k)}]]>使用這樣得到的GAIN在增益偏移調(diào)整單元11中進(jìn)行增益調(diào)整。
另外，即使對(duì)于偏移調(diào)整，也大致和上述的增益調(diào)整一樣。即，首先在傳感器特性試驗(yàn)中求以在基準(zhǔn)溫度TO中的振幅中心為基準(zhǔn)的振幅中心的溫度變動(dòng)率(曲線性變化的曲線)，把曲線性變化如圖7所示那樣以折線LTM(1)～LTM(N)近似。
以此變動(dòng)率數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)，把振幅的溫度變動(dòng)率的折點(diǎn)(用圖7中的圓點(diǎn)表示)中的溫度TM(k)、在下式(12)、(13)所示的KTOFFS(k)、BTOFFS(k)的數(shù)據(jù)對(duì)于k＝1～N分別存儲(chǔ)在非易失性的調(diào)整數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元19中。
在此，KTOFFS(k)[1/℃]是折線LTM(k)的斜率，BTOFFS(k)是把折線LTM(k)延長(zhǎng)至T＝T0時(shí)的截距。另外，MT(k)是振幅中心的溫度變化率在折點(diǎn)中的振幅變動(dòng)率。
KTOFFS(k)=MT(k+1)-MT(k)TM(k+1)-TM(k)]]>[式13]BTOFFS(k)＝KTOFFS(k){T0-TM(k)}+MT(k)而后，代替上述的式(10)用下式(14)，代替上述式(11)用下式(15)進(jìn)行和增益的情況一樣的調(diào)整。
OFFSET0=MAX+MIN2{KTOFFS(k)(TINIT-T0)+BTOFFS(k)}]]>[式15]OFFSET＝OFFSET0{KTOFFS(k)(T-T0)+BTOFFS(k)}通過以上的處理，因環(huán)境溫度變化引起的MR傳感器輸出的變動(dòng)以曲線變化，在直線近似中對(duì)于不充分的情況也可以進(jìn)行與MR傳感器輸出的曲線變動(dòng)相對(duì)應(yīng)的適宜的增益偏移調(diào)整。
如果采用本實(shí)施方式，因?yàn)楹蛯?shí)施方式1一樣禁止增益以及偏移的調(diào)整數(shù)據(jù)的更新，所以可以抑制因溫度變化進(jìn)行不適宜的增益偏移調(diào)整的情況。而且，當(dāng)禁止了增益以及偏移的調(diào)整數(shù)據(jù)更新時(shí)，因?yàn)槭褂脺囟茸兓约霸鲆嫫频淖儎?dòng)率數(shù)據(jù)進(jìn)行增益以及偏移的調(diào)整數(shù)據(jù)的溫度校正，所以與實(shí)施方式1相比可以進(jìn)一步抑制鏡頭的位置檢測(cè)精度的下降。
以下，說明具有作為本發(fā)明的實(shí)施方式3的位置檢測(cè)裝置的照相機(jī)。圖8是展示本實(shí)施方式中的照相機(jī)構(gòu)成的方框圖。本實(shí)施方式相對(duì)上述的實(shí)施方式1、2位置檢測(cè)裝置的構(gòu)成不同，代替檢測(cè)磁體6以及MR傳感器7使用光學(xué)標(biāo)尺20以及光學(xué)編碼器21。
即，在本實(shí)施方式中，作為第1檢測(cè)傳感器使用，具有周期性形狀變化的反射面的作為光學(xué)標(biāo)尺部件的光學(xué)標(biāo)尺20；作為光學(xué)檢測(cè)器的光學(xué)編碼器21，它隨著對(duì)象物(聚焦鏡頭4)的移動(dòng)和光學(xué)標(biāo)尺部件相對(duì)移動(dòng)，根據(jù)在投射出的光中因移動(dòng)而變化的在標(biāo)尺部件上反射的光的受光量輸出多相的位置檢測(cè)信號(hào)。
進(jìn)而，在圖8中，對(duì)于在和上述的實(shí)施例中說明的構(gòu)成要素相同的部分上標(biāo)注同一符號(hào)并省略說明。
光學(xué)編碼器21具備發(fā)光單元和受光單元，用光學(xué)標(biāo)尺反射從發(fā)光單元照射的光，輸出與在受光單元上檢測(cè)出的光量相應(yīng)的信號(hào)。光學(xué)標(biāo)尺20具有在與光軸平行的方向上周期形狀變化的反射面。
而后，通過光學(xué)標(biāo)尺20的形狀以及來自光學(xué)編碼器21的受光信號(hào)的處理，可以發(fā)生和MR傳感器同樣的正弦波信號(hào)。因而，可以適用和實(shí)施方式1、2的說明中一樣的位置檢測(cè)方法以及增益偏移調(diào)整方法。有關(guān)具體的處理，因?yàn)楹蜕鲜鰧?shí)施方式1、2相同，所以省略其說明。
進(jìn)而，在上述的各實(shí)施例中，說明了包含在照相機(jī)的攝影光學(xué)系統(tǒng)中的聚焦鏡頭4的位置檢測(cè)，但本發(fā)明可以適用在聚焦鏡頭以外的可移動(dòng)光學(xué)元件(例如，連續(xù)變焦鏡頭)、進(jìn)行光學(xué)元件以外的可移動(dòng)對(duì)象物的位置檢測(cè)的裝置上。
權(quán)利要求
1.一種位置檢測(cè)裝置，其特征在于包括根據(jù)對(duì)象物的位置變化生成多個(gè)檢測(cè)信號(hào)的第1檢測(cè)傳感器；對(duì)上述多個(gè)檢測(cè)信號(hào)中至少1個(gè)檢測(cè)信號(hào)，通過進(jìn)行使用了從該檢測(cè)信號(hào)中得到的變換數(shù)據(jù)的變換處理來生成變換信號(hào)的變換單元；基于上述變換信號(hào)計(jì)算上述對(duì)象物的位置的計(jì)算單元；以及檢測(cè)溫度的第2檢測(cè)傳感器，其中，上述變換單元在上述多個(gè)檢測(cè)信號(hào)中對(duì)第1檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行基于該第1檢測(cè)信號(hào)的上述變換處理，對(duì)第2檢測(cè)信號(hào)禁止基于該第2檢測(cè)信號(hào)的上述變換處理，上述第2檢測(cè)信號(hào)是由上述第2檢測(cè)傳感器在第1時(shí)刻檢測(cè)出的溫度，與在其后的第2時(shí)刻檢測(cè)出的溫度之差比規(guī)定值還大的情況下，由上述第1檢測(cè)傳感器所生成的檢測(cè)信號(hào)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置檢測(cè)裝置，其特征在于還包括存儲(chǔ)根據(jù)溫度變化校正上述變換數(shù)據(jù)的校正數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)單元，其中，上述變換單元在對(duì)上述第2檢測(cè)信號(hào)禁止了基于該第2檢測(cè)信號(hào)的上述變換處理的情況下，基于上述校正數(shù)據(jù)求與比上述規(guī)定值還大的溫度變化對(duì)應(yīng)的上述變換數(shù)據(jù)，對(duì)上述第2檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行使用了該變換數(shù)據(jù)的變換處理。
3.一種光學(xué)裝置，其特征在于包括光學(xué)系統(tǒng)；以及檢測(cè)上述光學(xué)系統(tǒng)中至少1個(gè)光學(xué)元件的位置的、權(quán)利要求1或者2所述的位置檢測(cè)裝置。
4.一種攝影系統(tǒng)，具備含有可移動(dòng)的光學(xué)元件的鏡頭裝置，和安裝有上述鏡頭裝置的攝影裝置，其特征在于包括根據(jù)上述光學(xué)元件的位置變化生成多個(gè)檢測(cè)信號(hào)的第1檢測(cè)傳感器；對(duì)上述多個(gè)檢測(cè)信號(hào)中至少1個(gè)檢測(cè)信號(hào)，通過進(jìn)行使用了從該檢測(cè)信號(hào)中得到的變換數(shù)據(jù)的變換處理來生成變換信號(hào)的變換單元；基于上述變換信號(hào)計(jì)算上述光學(xué)元件的位置的計(jì)算單元；以及檢測(cè)溫度的第2檢測(cè)傳感器，其中，上述變換單元在上述多個(gè)檢測(cè)信號(hào)中對(duì)第1檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行基于該第1檢測(cè)信號(hào)的上述變換處理，對(duì)第2檢測(cè)信號(hào)禁止基于該第2檢測(cè)信號(hào)的上述變換處理，上述第2檢測(cè)信號(hào)是當(dāng)由上述第2檢測(cè)傳感器在第1時(shí)刻檢測(cè)出的溫度，與在其后的第2時(shí)刻檢測(cè)出的溫度之差比規(guī)定值還大的情況下，由上述第1檢測(cè)傳感器所生成的檢測(cè)信號(hào)。
5.一種位置檢測(cè)方法，其特征在于包括根據(jù)對(duì)象物的位置變化生成多個(gè)檢測(cè)信號(hào)的第1步驟；對(duì)上述多個(gè)檢測(cè)信號(hào)中至少1個(gè)檢測(cè)信號(hào)，通過進(jìn)行使用了從該檢測(cè)信號(hào)中得到的變換數(shù)據(jù)的變換處理來生成變換信號(hào)的第2步驟；基于上述變換信號(hào)計(jì)算上述對(duì)象物的位置的第3步驟；以及檢測(cè)溫度的第4步驟，其中，在上述第2步驟中在上述多個(gè)檢測(cè)信號(hào)中對(duì)第1檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行基于該第1檢測(cè)信號(hào)的上述變換處理，對(duì)第2檢測(cè)信號(hào)禁止基于該第2檢測(cè)信號(hào)的上述變換處理，上述第2檢測(cè)信號(hào)是當(dāng)在上述第4步驟中在第1時(shí)刻檢測(cè)出的溫度，與在其后的第2時(shí)刻檢測(cè)出的溫度之差比規(guī)定值還大的情況下，在上述第1步驟中所生成的檢測(cè)信號(hào)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的位置檢測(cè)方法，其特征在于還包括存儲(chǔ)根據(jù)溫度變化校正上述變換數(shù)據(jù)的校正數(shù)據(jù)的第5步驟，其中，在上述第2步驟中，在對(duì)上述第2檢測(cè)信號(hào)禁止了基于該第2檢測(cè)信號(hào)的上述變換處理的情況下，基于上述校正數(shù)據(jù)求與比上述規(guī)定值還大的溫度變化對(duì)應(yīng)的上述變換數(shù)據(jù)，對(duì)上述第2檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行使用了該變換數(shù)據(jù)的變換處理。
7.一種用于使計(jì)算機(jī)執(zhí)行用于檢測(cè)對(duì)象物位置的位置檢測(cè)方法的程序，其特征在于包括根據(jù)對(duì)象物的位置變化生成多個(gè)檢測(cè)信號(hào)的第1步驟；對(duì)上述多個(gè)檢測(cè)信號(hào)中至少1個(gè)檢測(cè)信號(hào)，通過進(jìn)行使用了從該檢測(cè)信號(hào)中得到的變換數(shù)據(jù)的變換處理來生成變換信號(hào)的第2步驟；基于上述變換信號(hào)計(jì)算上述對(duì)象物的位置的第3步驟；以及檢測(cè)溫度的第4步驟，其中，在上述第2步驟中在上述多個(gè)檢測(cè)信號(hào)中對(duì)第1檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行基于該第1檢測(cè)信號(hào)的上述變換處理，對(duì)第2檢測(cè)信號(hào)禁止基于該第2檢測(cè)信號(hào)的上述變換處理，上述第2檢測(cè)信號(hào)是當(dāng)在上述第4步驟中在第1時(shí)刻檢測(cè)出的溫度，與在其后的第2時(shí)刻檢測(cè)出的溫度之差比規(guī)定值還大的情況下，在上述第1步驟中所生成的檢測(cè)信號(hào)。
8.一種位置檢測(cè)裝置，其特征在于包括輸出對(duì)應(yīng)于對(duì)象物的位置變化的信號(hào)的第1檢測(cè)傳感器；對(duì)從上述第1檢測(cè)傳感器的輸出信號(hào)得到的至少2個(gè)檢測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行變換處理，輸出變換信號(hào)的變換單元；基于上述變換信號(hào)計(jì)算上述對(duì)象物的位置的計(jì)算單元；以及檢測(cè)溫度的第2檢測(cè)傳感器，其中，上述變換單元在上述至少2個(gè)檢測(cè)數(shù)據(jù)中1個(gè)檢測(cè)數(shù)據(jù)的取得時(shí)用上述第2檢測(cè)傳感器檢測(cè)出的溫度，與在其他的檢測(cè)數(shù)據(jù)的取得時(shí)用上述第2檢測(cè)傳感器檢測(cè)出的溫度之差大于等于規(guī)定的溫度差時(shí)，禁止上述檢測(cè)數(shù)據(jù)的變換處理。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的位置檢測(cè)裝置，其特征在于還包括存儲(chǔ)用于根據(jù)溫度變化校正在上述變換處理中使用的變換數(shù)據(jù)的校正數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)單元，其中，上述變換單元在禁止了上述檢測(cè)數(shù)據(jù)的變換處理時(shí)，基于上述校正數(shù)據(jù)求與大于等于上述規(guī)定的溫度差的溫度變化相對(duì)應(yīng)的上述變換數(shù)據(jù)，使用此變換數(shù)據(jù)對(duì)從上述第1檢測(cè)傳感器的輸出信號(hào)得到的檢測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行變換處理。
10.一種光學(xué)裝置，其特征在于包括光學(xué)系統(tǒng)；以及檢測(cè)此光學(xué)系統(tǒng)中至少1個(gè)光學(xué)元件的位置的、權(quán)利要求8或者9所述的位置檢測(cè)裝置。
11.一種位置檢測(cè)方法，其特征在于包括對(duì)從輸出與對(duì)象物的位置變化相應(yīng)的信號(hào)的第1檢測(cè)傳感器的輸出信號(hào)得到的至少2個(gè)檢測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行變換處理，輸出變換信號(hào)的變換步驟；以及基于上述變換信號(hào)計(jì)算上述對(duì)象物的位置的計(jì)算步驟；檢測(cè)溫度的溫度檢測(cè)步驟，其中，在上述變換步驟中，當(dāng)在上述至少2個(gè)檢測(cè)數(shù)據(jù)中1個(gè)檢測(cè)數(shù)據(jù)的取得時(shí)在上述溫度檢測(cè)步驟中檢測(cè)出的溫度，與在其他的檢測(cè)數(shù)據(jù)的取得時(shí)在上述溫度檢測(cè)步驟中檢測(cè)出的溫度之差大于等于規(guī)定的溫度差時(shí)，禁止上述檢測(cè)數(shù)據(jù)的變換處理。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的位置檢測(cè)方法，其特征在于還包括存儲(chǔ)用于根據(jù)溫度變化校正在上述變換處理中使用的變換數(shù)據(jù)的校正數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)步驟，其中，在上述變換步驟中，當(dāng)禁止了上述檢測(cè)數(shù)據(jù)的變換處理時(shí)，基于上述校正數(shù)據(jù)求與大于等于上述規(guī)定的溫度差的溫度變化相對(duì)應(yīng)的上述變換數(shù)據(jù)，使用此變換數(shù)據(jù)對(duì)從上述第1檢測(cè)傳感器的輸出信號(hào)得到的檢測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行變換處理。
13.一種通過攝像元件根據(jù)來自被拍攝體的光輸出信號(hào)，在存儲(chǔ)介質(zhì)上存儲(chǔ)該輸出信號(hào)的攝像裝置，其特征在于包括輸出與鏡頭的位置變化相應(yīng)的信號(hào)的第1檢測(cè)傳感器；對(duì)從上述第1檢測(cè)傳感器的輸出信號(hào)得到的至少2個(gè)檢測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行變換處理，輸出變換信號(hào)的變換單元；基于上述變換信號(hào)計(jì)算上述鏡頭的位置的計(jì)算單元；以及檢測(cè)溫度的第2檢測(cè)傳感器，其中，上述變換單元在上述至少2個(gè)檢測(cè)數(shù)據(jù)中1個(gè)檢測(cè)數(shù)據(jù)的取得時(shí)用上述第2檢測(cè)傳感器檢測(cè)出的溫度，與在其他的檢測(cè)數(shù)據(jù)的取得時(shí)用上述第2檢測(cè)傳感器檢測(cè)出的溫度之差大于等于規(guī)定的溫度差時(shí)，禁止上述檢測(cè)數(shù)據(jù)的變換處理，并且經(jīng)由上述鏡頭拍攝來自被拍攝體的光。
14.一種對(duì)通過攝像元件根據(jù)來自被拍攝體的光輸出信號(hào)，在存儲(chǔ)介質(zhì)上存儲(chǔ)該輸出信號(hào)；具有輸出與鏡頭的位置變化相應(yīng)的信號(hào)的第1檢測(cè)傳感器；檢測(cè)溫度的第2檢測(cè)傳感器的攝像裝置中的上述第1以及第2檢測(cè)傳感器的動(dòng)作，和輸出信號(hào)向上述存儲(chǔ)介質(zhì)的存儲(chǔ)進(jìn)行控制的程序，其特征在于包括對(duì)從上述第1檢測(cè)傳感器的輸出信號(hào)得到的至少2個(gè)檢測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行變換處理，輸出變換信號(hào)的變換步驟；基于上述變換信號(hào)計(jì)算上述鏡頭的位置的計(jì)算步驟；以及使用上述第2檢測(cè)傳感器檢測(cè)溫度的溫度檢測(cè)步驟，其中，在上述變換步驟中，在上述至少2個(gè)檢測(cè)數(shù)據(jù)中1個(gè)檢測(cè)數(shù)據(jù)的取得時(shí)在上述溫度檢測(cè)步驟中檢測(cè)出的溫度，與在其他的檢測(cè)數(shù)據(jù)的取得時(shí)在上述溫度檢測(cè)步驟中檢測(cè)出的溫度之差大于等于規(guī)定的溫度差時(shí)，禁止上述檢測(cè)數(shù)據(jù)的變換處理。
全文摘要
本發(fā)明提供位置檢測(cè)裝置、光學(xué)裝置、投影系統(tǒng)、位置檢測(cè)方法以及程序。揭示可以進(jìn)行與溫度變化相對(duì)應(yīng)的位置檢測(cè)的位置檢測(cè)裝置。位置檢測(cè)裝置包括對(duì)應(yīng)于對(duì)象物的位置變化生成多個(gè)檢測(cè)信號(hào)的第1檢測(cè)傳感器；對(duì)上述多個(gè)檢測(cè)信號(hào)中至少1個(gè)檢測(cè)信號(hào)，通過進(jìn)行使用了從該檢測(cè)信號(hào)中得到的變換數(shù)據(jù)的變換處理生成變換信號(hào)的變換單元；基于上述變換信號(hào)計(jì)算上述對(duì)象物的位置的計(jì)算單元；檢測(cè)溫度的第2檢測(cè)傳感器。
文檔編號(hào)G01D5/18GK1591158SQ200410056319
公開日2005年3月9日 申請(qǐng)日期2004年8月6日 優(yōu)先權(quán)日2003年8月8日
發(fā)明者森本庸介 申請(qǐng)人:佳能株式會(huì)社