專(zhuān)利名稱(chēng)：X射線檢查裝置和x射線檢查方法
背景技術(shù)：
本發(fā)明涉及X射線檢查裝置，例如檢查安裝在印刷電路板上的部件的接合狀態(tài)、用樹(shù)脂或金屬封裝的部件內(nèi)部接合狀態(tài)、和安裝在印刷電路板內(nèi)的部件接合狀態(tài)的X射線檢查裝置以及X射線檢查方法。
近年來(lái)便攜式信息終端等正向小型化、高功能化邁進(jìn)，為了在小的空間安裝盡可能多的電子部件，對(duì)所使用的電子部件的安裝正進(jìn)行著提高安裝密度的高密化；電極設(shè)置在電子部件下面連接到印刷電路板的接合面上的倒裝焊接化；將電子部件安裝到印刷電路板內(nèi)部的部件內(nèi)藏化。
對(duì)上述倒裝焊的焊接部分或者安裝在印刷電路板內(nèi)部時(shí)的連接部分來(lái)說(shuō)，由于不能直接用眼看，而使用使其連接部分的斷面露出進(jìn)行觀察的檢查方法和不進(jìn)行破壞來(lái)觀察檢查對(duì)象物內(nèi)部狀態(tài)的X射線檢查方法。使用X射線檢查法時(shí)，雖能觀察檢查對(duì)象物內(nèi)部的接合狀態(tài)等，但當(dāng)多個(gè)部件重疊安裝時(shí)，成為部件重合的X射線圖象，難以準(zhǔn)確地觀察各部件的狀態(tài)。因此，在現(xiàn)有的X射線檢查裝置要變更X射線的照射方向和內(nèi)檢查對(duì)象物的照射角度，在多個(gè)位置進(jìn)行攝像，切出想觀察的斷層部分用X射線斷層照相法和體層照相法來(lái)觀察、檢查該已被攝像的X射線圖象。
下面參照附圖對(duì)現(xiàn)有的X射線檢查裝置進(jìn)行說(shuō)明。在各現(xiàn)有例中，共同的部分使用同一標(biāo)號(hào)進(jìn)行說(shuō)明。
圖18是表示使用X射線斷層照相法的現(xiàn)有的X射線檢查裝置的大致結(jié)構(gòu)框圖。作為圖18所示的現(xiàn)有的X射線檢查裝置，例如有日本特開(kāi)平11-344453號(hào)公報(bào)所公開(kāi)的裝置。
如圖18所示，結(jié)構(gòu)是來(lái)自X射線照射裝置103的X射線照射到被旋轉(zhuǎn)裝置101保持的檢查對(duì)象物102，例如印刷電路板上，用X射線檢出裝置100檢出透過(guò)該檢查對(duì)象物102的X射線。X射線照射裝置103配置在旋轉(zhuǎn)裝置102的旋轉(zhuǎn)中心與X射線檢出裝置100的攝像中心位置的延長(zhǎng)線上，向X射線檢出裝置100發(fā)射X射線?？刂蒲b置104控制旋轉(zhuǎn)裝置101的旋轉(zhuǎn)位置，同時(shí)驅(qū)動(dòng)控制X射線檢出裝置100和X射線照射裝置103?？刂蒲b置104這樣來(lái)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，即保持檢查對(duì)象物102的旋轉(zhuǎn)裝置101在規(guī)定旋轉(zhuǎn)角度的位置，從X射線照射裝置103照射X射線，將透過(guò)檢查對(duì)象物102的X射線圖象送給X射線檢出裝置100。這時(shí)，控制裝置104的結(jié)構(gòu)是使旋轉(zhuǎn)裝置101旋轉(zhuǎn)一圈或半圈并在X射線檢出裝置100攝像制成要觀察的斷層部分的X射線圖象并顯示。
如上所述，圖18所示的現(xiàn)有X射線檢查裝置其構(gòu)成是以與X射線照射軸正交的軸為旋轉(zhuǎn)軸使檢查對(duì)象物102旋轉(zhuǎn)。在圖18所示的現(xiàn)有X射線檢查裝置的構(gòu)成中，從X射線照射裝置射出的X射線源的X射線焦點(diǎn)(輝點(diǎn)位置)到檢查對(duì)象物102的旋轉(zhuǎn)軸位置的距離A和從該旋轉(zhuǎn)軸的位置到X射線檢出裝置100的檢出部的距離B受檢查對(duì)象物102的外形尺寸的限制。所謂這種限制是距離A的最小值必須滿(mǎn)足A＞C/2的條件，以使作為檢查對(duì)象物102的印刷電路板的外形(在圖18中是用C表示的尺寸)能旋轉(zhuǎn)。由于這種限制不能使檢查對(duì)象物102太靠近X射線照射裝置103。在圖18所示的現(xiàn)有X射線檢查裝置，在使規(guī)定檢查對(duì)象配置空間的A+B的距離減少時(shí)，作為X射線圖象放大率的 中的A值受限制，不能提高放大率。因此存在用圖18所示的現(xiàn)有X射檢查裝置難以觀察各部件的詳細(xì)情況這樣的問(wèn)題。
圖19是使用體層照相法的現(xiàn)有X射線檢查裝置的大致結(jié)構(gòu)框圖。作為圖19所示的現(xiàn)有X射線檢查裝置，例如有美國(guó)專(zhuān)利第4926452號(hào)說(shuō)明書(shū)中所公開(kāi)的裝置。
圖19中，旋轉(zhuǎn)X射線照射裝置105用旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)控制熱電子，有在規(guī)定位置旋轉(zhuǎn)并放射X射線的功能。X射線檢出裝置109將透過(guò)檢查對(duì)象物102，例如印刷電路板等的X射線在閃爍器107中變?yōu)榭梢?jiàn)光后通過(guò)旋轉(zhuǎn)反射鏡機(jī)構(gòu)108檢測(cè)出來(lái)?？刂蒲b置106使旋轉(zhuǎn)X射線照射裝置105的旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)與旋轉(zhuǎn)反射鏡機(jī)構(gòu)同步地進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制。控制裝置106控制旋轉(zhuǎn)X射線照射裝置105和X射線檢出裝置109并進(jìn)行攝像，用X射線檢查裝置以高速取得檢查對(duì)象物102的斷層圖象進(jìn)行檢查。
在圖19所示的現(xiàn)有X射線檢查裝置中，X射線對(duì)檢查對(duì)象物102的照射角度β預(yù)先物理地決定，是固定值。因此，使檢查對(duì)象物接近旋轉(zhuǎn)X射線照射裝置105，例如在圖19中在用W表示的位置，脫離X射線照射范圍。因此，即使使檢查對(duì)象物102接近旋轉(zhuǎn)X射線照射裝置105放大X射線圖像，也存在放大率受限制的問(wèn)題。而且，圖19所示的現(xiàn)有X射線檢查裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜價(jià)格昂貴。
作為現(xiàn)有X射線檢查裝置的其它例子，有使X射線照射裝置傾斜且旋轉(zhuǎn)，將檢查對(duì)象物內(nèi)重合的接合部分分離，檢查各接合部分的接合狀態(tài)的X射線檢查裝置。作為這樣現(xiàn)有的X射線檢查裝置，有例如在日本特開(kāi)2002-189002號(hào)公報(bào)中公開(kāi)的裝置。
圖20是使X射線照射裝置傾斜、旋轉(zhuǎn)并檢查接合狀態(tài)的現(xiàn)有X射線檢查裝置的大體結(jié)構(gòu)圖。
圖20所示的X射線檢查裝置的構(gòu)成是X射線照射裝置110相對(duì)作為檢出對(duì)象物102的印刷電路板傾斜地照射X射線。來(lái)自X射線照射裝置110的X射線透過(guò)檢出對(duì)象物102，用X射線檢出裝置接收。在該現(xiàn)有的X射線檢查裝置中進(jìn)行的X射線傾斜攝影是通過(guò)將X射線照射裝置110傾斜來(lái)實(shí)施。這樣從各種角度對(duì)檢出對(duì)象物102照射X射線，借助X射線檢出裝置115攝取檢出對(duì)象物102的X射線透視圖象。因而，由這些X射線透視圖象能檢查檢出對(duì)象物102的所要求位置的部件狀態(tài)。
圖21是圖20所示的現(xiàn)有X射線檢查裝置的主要部分框圖。在圖21中，檢查對(duì)象物102是由有倒裝焊部分的球焊網(wǎng)絡(luò)陳列(以下稱(chēng)BGA)111、印刷電路板112和電子部件113構(gòu)成的電路形成體。將X射線照射裝置110對(duì)該檢查對(duì)象物102傾斜，在X射線檢出裝置115中攝像檢查對(duì)象物102。在圖21中，表示出X射線檢出裝置115中的閃爍器114。
圖21中用F表示的X射線攝像圖像是X射線照射裝置110位于檢查對(duì)象物102正下方時(shí)的X射線圖象的一例，來(lái)自X射線照射裝置110的X射線顯示出在檢查對(duì)象物102的電路形成體中部件重疊的狀態(tài)。在圖21中用G表示的X射線攝像圖像是將X射線照射裝置傾斜配置照射檢查對(duì)象物102，顯示出用X射線檢出裝置115檢出的X射線圖像的一例。由于在檢查對(duì)象物102的電路形成體內(nèi)部，在不同位置存在與電子部件接合部分，所以用X射線攝像圖像F和X射線攝像圖像G顯示隨攝影角度不同而不同的圖像。
如圖21所示，只用X射線攝影圖像F，電子部件隱蔽在暗處，雖不能檢查BGA111的全部接合部分，但通過(guò)使用使X射線照射裝置110傾斜攝影的X射線圖像G，就能檢查BGA111全部接合部分的接合狀態(tài)。即，在已攝影的多個(gè)X射線圖像中，通過(guò)從檢查范圍除去電子部件113的位置檢查BGA的接合部分，也能檢查BGA的全部接合狀態(tài)。
然而，在圖20所示的現(xiàn)有X射線檢查裝置中電子部件間安裝間隔進(jìn)一步變窄，即使在哪個(gè)角度也不能除外處于與檢查對(duì)象的斷層不同的高度的電子部件的影響，存在不能獲得檢查對(duì)象的斷層的正確信息的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有的各種X射線檢查裝置的問(wèn)題，提供一種檢查對(duì)象物的部件間隔變窄，即使高密度安裝也能正確取得所需斷層的信息的X射線檢查裝置和X射線檢查方法。在本發(fā)明中分辨率不受檢查對(duì)象物形狀的限制，能廉價(jià)地獲得高分辨率的鮮明的斷層圖像，其目的是提供使用該斷層圖像能高精度地進(jìn)行非破壞性檢查的X射線檢查裝置和X射線檢查方法。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的X射線檢查裝置具有產(chǎn)生X射線，將X射線照射到檢查對(duì)象物的X射線照射裝置；檢出來(lái)自X射線照射裝置通過(guò)上述檢查對(duì)象物的X射線的X射線檢出裝置；將上述檢查對(duì)象物保持在從上述X射線照射裝置向上述X射線檢出裝置的X射線路徑之間，相對(duì)上述X射線路徑的X射線照射軸沿任意角度和任意方向驅(qū)動(dòng)上述檢查對(duì)象物的搖動(dòng)裝置；和驅(qū)動(dòng)控制上述搖動(dòng)裝置和上述X射線照射裝置，輸入來(lái)自上述X射線檢出裝置的X射線圖像數(shù)據(jù)并顯示上述X射線圖像數(shù)據(jù)的控制裝置。
在這樣構(gòu)成的本發(fā)明中，檢查對(duì)象物的部件間隔變窄，即使高密度安裝，也能準(zhǔn)確地取得所需斷層的信息。在本發(fā)明中，使檢查對(duì)象物在任意傾斜方向、任意傾斜角度的狀態(tài)下，都能取得高精度的X射線圖像。
本發(fā)明的另一X射線檢查裝置具有產(chǎn)生X射線使X射線照射到檢查對(duì)象物的X射線照射裝置；檢出來(lái)自上述X射線照射裝置發(fā)出通過(guò)上述檢查對(duì)象物的X射線的X射線檢出裝置；將上述檢查對(duì)象物保持在從上述X射線照射裝置向上述X射線檢出裝置的X射線的路徑之間，相對(duì)上述X射線路徑的X射線照射軸沿任意角度和任意方向驅(qū)動(dòng)上述檢查對(duì)象物的搖動(dòng)裝置；沿與由上述搖動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)的上述檢查對(duì)象物同一方向和同一角度驅(qū)動(dòng)上述X射線檢出裝置的X射線檢出用搖動(dòng)裝置；和驅(qū)動(dòng)控制上述搖動(dòng)裝置和上述X射線照射裝置，輸入來(lái)自上述X射線檢出裝置的X射線圖像數(shù)據(jù)并顯示上述X射線圖像數(shù)據(jù)的控制裝置。
在這樣構(gòu)成的本發(fā)明中，用小型且價(jià)廉的結(jié)構(gòu)就能使檢查對(duì)象物在任意傾斜方向、任意傾斜角度的狀態(tài)下取得高精度的X射線圖象，能從在控制裝置的多個(gè)傾斜圖像經(jīng)運(yùn)算求得斷層圖像，獲得模糊圖像和虛像少的斷層圖像。由于能可靠地取得在安裝密度高的印刷電路板和薄的襯底的斷層信息，所以能以高分辨率使用鮮明的斷層圖像進(jìn)行檢查。
本發(fā)明的又一X射線檢查裝置具有以X射線焦點(diǎn)為頂點(diǎn)用規(guī)定的照射角沿垂直方向呈圓錐狀照射X射線的X射線照射裝置；在X射線照射范圍內(nèi)將檢查對(duì)象物水平地保持的保持機(jī)構(gòu)；在X射線照射范圍內(nèi)將被上述保持機(jī)構(gòu)保持的上述檢查對(duì)象物移動(dòng)到水平方向的任意位置的檢查對(duì)象物用移動(dòng)機(jī)構(gòu)；有檢出透過(guò)上述檢查對(duì)象物的X射線檢出面的X射線檢出裝置；將上述X射線檢出裝置移動(dòng)到與上述檢查對(duì)象物移動(dòng)的平面平行的平面上任意位置的X射線檢出用移動(dòng)機(jī)構(gòu)；同步地驅(qū)動(dòng)控制上述檢查對(duì)象物用移動(dòng)機(jī)構(gòu)和上述X射線檢出用移動(dòng)機(jī)構(gòu)的馬達(dá)控制裝置；從由上述X射線檢出裝置形成的X射線圖像抽出任意斷層面的X射線圖像的圖像處理裝置；和顯示由上述X射線檢出裝置和上述圖像處理裝置形成的上述X射線圖像的顯示裝置。
在這樣構(gòu)成的本發(fā)明中，能使檢查地點(diǎn)不從監(jiān)視器畫(huà)面中心移開(kāi)而只變更攝影方向和攝影放大率來(lái)進(jìn)行觀察，進(jìn)而能由檢查地點(diǎn)的斷層面的X射線圖像進(jìn)行包括作為檢查對(duì)象物，例如印刷電路板接合部的開(kāi)路不良的各種接合不良的檢查。
本發(fā)明的X射線檢查方法具有將檢查對(duì)象物安裝到配置在從X射線照射裝置向X射線檢出裝置的X射線路徑之間的搖動(dòng)裝置上的工序；相對(duì)上述X射線路徑的X射線照射軸由上述搖動(dòng)裝置以任意角度和任意方向驅(qū)動(dòng)上述檢查對(duì)象物的工序；將來(lái)自上述X射線照射裝置的X射線照射到上述檢查對(duì)象物的工序；用上述X射線檢出裝置檢出通過(guò)上述檢查對(duì)象物的X射線的工序；和輸入來(lái)自上述X射線檢出裝置的X射線圖像數(shù)據(jù)，從上述X射線圖像數(shù)據(jù)中抽出任意斷層面的數(shù)據(jù)的工序。
在有這樣工序的本發(fā)明X射線檢出方法中，檢查對(duì)象物的部件間隔變窄，即使高密度安裝也能準(zhǔn)確地獲得所需斷層的信息。在本發(fā)明中，使檢查對(duì)象物在任意傾斜方向、任意傾斜角度狀態(tài)下，都能獲得高精度的X射線圖像。
本發(fā)明的另一X射線檢查方法具有在X射線照射范圍內(nèi)用保持機(jī)構(gòu)將檢查對(duì)象物地保持水平的工序；在X射線照射范圍內(nèi)用檢查對(duì)象物用移動(dòng)機(jī)構(gòu)將被上述保持機(jī)構(gòu)保持的上述檢查對(duì)象物移動(dòng)到水平方向的任意位置的工序；在與上述檢查對(duì)象物移動(dòng)的平面平行的平面上，與上述檢查對(duì)象物的移動(dòng)同步地借助X射線檢出用移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)上述X射線檢出裝置，使目標(biāo)點(diǎn)配置在由X射線檢出裝置形成的X射線圖像中心的工序；以X射線焦點(diǎn)為頂點(diǎn)，用規(guī)定的角度沿垂直方向呈圓錐狀照射X射線的工序；用上述X射線檢出裝置檢出透過(guò)上述檢查對(duì)象物的X射線的工序；在圖像處理裝置，從由上述X射線檢出裝置形成的X射線圖像中抽出任意斷層面的X射線圖像的工序；和顯示由上述X射線檢出裝置和上述圖像處理裝置形成的上述X射線圖像的工序。
在有這樣工序的本發(fā)明X射線檢出方法中，能不使檢查地點(diǎn)從監(jiān)視畫(huà)面中心移開(kāi)而只變更攝影方向和攝影放大率來(lái)進(jìn)行觀察，進(jìn)而能由檢查地點(diǎn)的斷層面的X射線圖像進(jìn)行包括作為檢查對(duì)象物的，例如印刷電路板接合部的開(kāi)路不良的各種接合不良的檢查。
發(fā)明的新的特征不外乎記載在附屬的權(quán)利要求書(shū)中的內(nèi)容，但涉及結(jié)構(gòu)和內(nèi)容兩者。本發(fā)明通過(guò)與其它目的和特征一起并結(jié)合附圖閱讀以下詳細(xì)的說(shuō)明，將被更好地理解和評(píng)價(jià)。


圖1是表示本發(fā)明實(shí)施例1的X射線檢查裝置的大體結(jié)構(gòu)圖。
圖2是表示本發(fā)明實(shí)施例1的X射線檢查裝置的搖動(dòng)機(jī)構(gòu)的構(gòu)成圖。
圖3是表示實(shí)施例1的X射線檢查裝置的檢查對(duì)象物的搖動(dòng)狀態(tài)圖。
圖4是表示實(shí)施例1的X射線檢查裝置的檢查對(duì)象物的傾斜方向和傾斜角度的概念圖。
圖5是在實(shí)施例1的X射線檢查裝置中表示X軸馬達(dá)和Y軸馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)狀態(tài)波形圖。
圖6是表示實(shí)施例1的X射線檢查裝置的工作流程圖。
圖7是表示本發(fā)明X射線檢查裝置的搖動(dòng)機(jī)構(gòu)的其它結(jié)構(gòu)圖。
圖8是表示本發(fā)明X射線檢查裝置的搖動(dòng)機(jī)構(gòu)的又一其它結(jié)構(gòu)圖。
圖9是表示本發(fā)明實(shí)施例2的X射線檢查裝置大體結(jié)構(gòu)圖。
圖10是表示實(shí)施例2的X射線檢查裝置的檢查對(duì)象物驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的構(gòu)成圖。
圖11是表示實(shí)施例2的X射線檢查裝置的工作流程圖。
圖12是表示本發(fā)明實(shí)施例3的X射線檢查裝置的主要內(nèi)部結(jié)構(gòu)平面剖面圖。
圖13是表示實(shí)施例3的X射線檢查裝置的主要內(nèi)部結(jié)構(gòu)正剖面圖。
圖14是實(shí)施例3的X射線檢查裝置的X射線攝影說(shuō)明圖。
圖15是實(shí)施例3的X射線檢查裝置的X射線斷層攝影說(shuō)明圖。
圖16是實(shí)施例3的X射線檢查裝置的第1X射線斷層攝影說(shuō)明圖。
圖17是實(shí)施例3的X射線檢查裝置的第2X射線斷層攝影說(shuō)明圖。
圖18是表示X射線斷層照相法的現(xiàn)有X射線檢查裝置大體結(jié)構(gòu)圖。
圖19是表示體層照相法的現(xiàn)有X射線檢查裝置大體結(jié)構(gòu)圖。
圖20是表示現(xiàn)有X射線檢查裝置的另一構(gòu)成例的圖。
圖21是表示圖20中所示現(xiàn)有X射線檢查裝置主要部分的結(jié)構(gòu)及工作圖。
通過(guò)以圖示為目的的概要表達(dá)描述附圖一部分或全部，但要考慮到不限于在此忠實(shí)描寫(xiě)各要素的實(shí)際相對(duì)大小和位置。
發(fā)明的詳細(xì)說(shuō)明→具體實(shí)施方式
下面參照附圖對(duì)本發(fā)明的X射線檢查裝置和X射線檢查方法的最佳實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。
《實(shí)施例1》圖1是表示本發(fā)明實(shí)施例1的X射線檢查裝置的大體結(jié)構(gòu)圖。
如圖1所示，由X射線照射裝置3射出的X射線照射到被搖動(dòng)裝置2保持的檢查對(duì)象物102，例如印刷電路板等電路形成體上，用X射線檢出裝置1檢出透過(guò)該檢查對(duì)象物102的X射線。X射線照射裝置3配置在搖動(dòng)裝置2的中心與X射線檢出裝置1的攝像中心位置的延長(zhǎng)線(X射線路徑)上，向X射線檢出裝置1發(fā)射X射線?？刂蒲b置6控制搖動(dòng)裝置2向Z軸方向(X射線照射方向)的移動(dòng)以及與搖動(dòng)裝置的X軸和Y軸有關(guān)的傾斜角度，同時(shí)驅(qū)動(dòng)控制X射線檢出裝置1和X射線照射裝置3。在圖所示的狀態(tài)下，左右方向是Y軸方向，與該Y軸方向正交的方向是X軸方向。Z軸方向是X射線照射裝置3的X射線焦點(diǎn)(輝點(diǎn)位置)的垂直方向，此方向是X射線照射軸方向。
控制裝置6是這樣來(lái)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，保持檢查對(duì)象物102的搖動(dòng)裝置2在規(guī)定的角度，從X射線照射裝置3照射X射線，將透過(guò)檢查對(duì)象物102的X射圖像取入X射線檢出裝置1。
在實(shí)施例1的X射線檢查裝置中，其構(gòu)成是透過(guò)檢查對(duì)象物102的X射線輸入X射線檢出裝置并形成X射線圖象，在控制裝置6中運(yùn)算該X射線圖像并在控制裝置6中顯示其運(yùn)算結(jié)果。
實(shí)施例1中所用的X射線照射裝置3是利用通過(guò)使已加速的熱電子碰撞對(duì)陰極產(chǎn)生的X射線的裝置，是內(nèi)部常常被密封在真空狀態(tài)的密封管式的X射線照射裝置。但是在本發(fā)明中，不限定于此方式，是在用戶(hù)側(cè)交換產(chǎn)生熱電子的燈絲的方法，在使用時(shí)也可以使用每次都使內(nèi)部成為真空的開(kāi)放管方式的X射線照射裝置。但是，為了使放光率增大分辨率提高，希望X射線源的X射線焦點(diǎn)尺寸(輝點(diǎn)直徑)盡可能地小。因此在實(shí)施例1中使用X射線焦點(diǎn)尺寸為1μm的X射線照射裝置3，極力減少顯示時(shí)X射線圖像的模糊現(xiàn)象。
在實(shí)施例1中，作為檢查對(duì)象物102的電路形成體來(lái)說(shuō)，表示印刷電路板、電子部件的任一種，或者將它們組合的復(fù)合件、或者使它們接合的組裝部件。印刷電路板包括紙酚的單面基板、多層的玻璃氧樹(shù)脂基板、薄片狀基板、電子部件內(nèi)藏基板、在樹(shù)脂表面形成電路圖形的基板等的各種基板。
圖2是表示實(shí)施例1的搖動(dòng)裝置2的大體結(jié)構(gòu)平面圖。搖動(dòng)裝置2具有保持檢查對(duì)象物102的上述電路形成體的作為檢查對(duì)象物用移動(dòng)機(jī)構(gòu)的XY載物臺(tái)7、固定以X軸為中心使該XY載物臺(tái)7轉(zhuǎn)動(dòng)的X軸馬達(dá)4的內(nèi)框8、固定以Y軸為中心通過(guò)內(nèi)框8使XY載物臺(tái)7轉(zhuǎn)動(dòng)的Y軸馬達(dá)的外框9。XY載物臺(tái)7以X軸為中心相對(duì)內(nèi)框8轉(zhuǎn)動(dòng)那樣通過(guò)聯(lián)接器連接起來(lái)。而內(nèi)框8以Y軸為中心相對(duì)外框9轉(zhuǎn)動(dòng)那樣通過(guò)聯(lián)接器連接起來(lái)。在圖2所示的狀態(tài)，XY載物臺(tái)7的縱向是X軸方向，橫向是Y軸方向。
下面對(duì)被實(shí)施例1的搖動(dòng)裝置2驅(qū)動(dòng)的檢查對(duì)象物102的搖動(dòng)狀態(tài)進(jìn)行說(shuō)明。圖3是表示實(shí)施例1的X射線檢查裝置的檢查對(duì)象物102的搖動(dòng)狀態(tài)說(shuō)明圖。圖4是表示實(shí)施例1的X射線檢查裝置的檢查對(duì)象物102的傾斜方向T和傾斜角度α的概念圖。
如圖3所示，檢查對(duì)象物102借助實(shí)施例1的搖動(dòng)裝置2進(jìn)行搖動(dòng)工作。這里，所謂搖動(dòng)工作是指保持檢查對(duì)象物102的XY載物臺(tái)7的保持面7a中心點(diǎn)的法線相對(duì)X射線照射軸有規(guī)定角度，以保持面7a的中心為旋轉(zhuǎn)中心點(diǎn)(搖動(dòng)中心點(diǎn))進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。在實(shí)施例1中，X射線照射裝置3配置在搖動(dòng)裝置2的中心位置與X射線檢出裝置1的攝像中心位置的延長(zhǎng)線上，此延長(zhǎng)線是X射線照射軸，成為Z軸。因此，XY載物臺(tái)7的保持面7a的中心點(diǎn)(搖動(dòng)中心)的法線相對(duì)此Z軸有規(guī)定角度進(jìn)行搖動(dòng)。搖動(dòng)中心是在X軸馬達(dá)4與Y軸馬達(dá)5的旋轉(zhuǎn)軸的交點(diǎn)位置，是固定的。但是，通過(guò)在XY載物臺(tái)7上變更檢查對(duì)象物102的位置能對(duì)檢查對(duì)象物102的所要求的位置進(jìn)行檢查。
圖4是表示實(shí)施例1的X射線檢查裝置的檢查對(duì)象物102的傾斜方向T和傾斜角度α的概念圖。這里，所謂傾斜方向T是指在XY載物臺(tái)7的保持面(XY面)7a中，檢查對(duì)象物102的中心點(diǎn)(保持面7a的中心點(diǎn))的法線具有與X軸構(gòu)成的角度θ的方向。所謂傾斜角度α是指檢查對(duì)象物102的中心點(diǎn)的法線與Z軸構(gòu)成的角度。在圖4中，角度φX表示X軸馬達(dá)4的旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)角度，表示相對(duì)YZ面的Z軸的角度。角度φY表示Y軸馬達(dá)5的旋轉(zhuǎn)軸的旋軸角度，表示相對(duì)ZX面的Z軸的角度。
規(guī)定傾斜方向T的角度θ如下述式(1)所示，用X軸馬達(dá)4的旋轉(zhuǎn)角度φX與Y軸馬達(dá)5的旋轉(zhuǎn)角度φY表示。傾斜角度α如下述式(2)所示，用X軸馬達(dá)4的旋轉(zhuǎn)角度φX和Y軸馬達(dá)5的旋轉(zhuǎn)角度φY表示。
TAN(θ)＝TAN(φX)/TAN(φY)(1)TAN2(α)＝TAN2(φX)+TAN2(φY) (2)如上所述，通過(guò)規(guī)定X軸馬達(dá)4的旋轉(zhuǎn)角度φX和Y輛馬達(dá)5的旋轉(zhuǎn)角度φY，能設(shè)定任意傾斜方向T和任意傾斜角度α。
在實(shí)施例1中，規(guī)定X軸馬達(dá)4的旋轉(zhuǎn)角度φX和Y軸馬達(dá)5的旋轉(zhuǎn)角度φY，對(duì)XY載物臺(tái)7的保持面(XY面)7a，即檢查對(duì)象物102進(jìn)行搖動(dòng)工作。圖5是在實(shí)施例1的X射線檢查裝置中表示X軸馬達(dá)4和Y軸馬達(dá)5的驅(qū)動(dòng)工作的波形圖。在圖5中，傾斜角度α是45°時(shí)，這時(shí)成為T(mén)AN45°＝1，TNAφX與TNAφY的最大值成為1。
在實(shí)施例1中，傾斜角度α為45°，從0度到360度移動(dòng)規(guī)定傾斜方向T的角度。這時(shí)X軸馬達(dá)4在規(guī)定角度內(nèi)進(jìn)行往復(fù)動(dòng)作，Y軸馬達(dá)5如圖5所示一邊保持相位與X軸馬達(dá)4的偏移關(guān)系一邊動(dòng)作。例如，Y軸馬達(dá)5可以在與X軸馬達(dá)4相位偏移90°的狀態(tài)下以相同振幅和周期進(jìn)行往復(fù)動(dòng)作。
在上述搖動(dòng)動(dòng)作中，變更傾斜角度α?xí)r，TANφX與TANφY的振幅改變。在實(shí)施例1中，傾斜角度α能在從0度到75度以下的范圍內(nèi)進(jìn)行設(shè)定來(lái)構(gòu)成。但在30度以上75度以下的范圍內(nèi)能取得比較好的圖像。
在實(shí)施例1中，如上所述，檢查對(duì)象物102借助搖動(dòng)裝置2進(jìn)行規(guī)定的搖動(dòng)動(dòng)作，在該搖動(dòng)動(dòng)作中到達(dá)規(guī)定位置時(shí)由X射線照射裝置3照射X射線，透過(guò)檢查對(duì)象物102的X射線被X射線檢出裝置1接收。這時(shí)，控制裝置6借助搖動(dòng)裝置2，傾斜方向T在360度變化期間，即在搖動(dòng)動(dòng)作轉(zhuǎn)一圈期間在X射線檢出裝置進(jìn)行多次攝像，作成斷層X(jué)射線圖像，并加以顯示。
在實(shí)施例1的X射線檢查裝置中，由于是使檢查對(duì)象物102進(jìn)行搖動(dòng)動(dòng)作的結(jié)構(gòu)，所以如使用上述圖18所示的X射線斷層照相法的現(xiàn)有X射線檢查裝置那樣，不必將檢查對(duì)象物102的整體旋轉(zhuǎn)一圈，就可使檢查對(duì)象物102接近X射線源的X射線焦點(diǎn)(輝點(diǎn)位置)。結(jié)果，實(shí)施例1的X射線檢查裝置成為小型的有高分辨率的裝置。
在實(shí)施例1的X射線檢查裝置中，作為搖動(dòng)裝置2的XY載物臺(tái)7上的檢查對(duì)象物102的保持手段，使用螺釘?shù)任锢砉潭ㄊ侄?。在搖動(dòng)裝置2中，為能使搖動(dòng)裝置整體向X射線照射軸方向(Z軸方向)任意移動(dòng)，設(shè)置由齒條、齒輪構(gòu)成的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。在X射線檢出裝置1和X射線照射裝置3設(shè)置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，使X射線檢出裝置1和X射線照射裝置3能同時(shí)或分別沿X射線照射軸方向(Z軸方向)移動(dòng)的結(jié)構(gòu)，也可以構(gòu)成更大地設(shè)定變更X射線圖像的放大率的結(jié)構(gòu)。
實(shí)施例1的X射線檢出裝置1有將X射線的線量變換成電信號(hào)的功能。在X射線檢出裝置1中，設(shè)置將X射線變?yōu)榭梢?jiàn)光的閃爍器，將從該閃爍器入射的X射線變?yōu)榭梢?jiàn)光后，將該光用透鏡聚光，并射入CCD、CMDS等光電變換元件。因而在實(shí)施例1中，由閃爍器和透鏡決定X射線的分辨率后，其結(jié)構(gòu)為將X射線的射線量變換為電信號(hào)。
作為另一種X射線檢出裝置，也可以是下面這樣結(jié)構(gòu)、動(dòng)作的裝置。如X射線圖像增強(qiáng)器那樣，借助將X軸線變換為荷電粒子的第1閃爍器將入射的X射線變換為帶電粒子，然后對(duì)帶電粒子進(jìn)行磁場(chǎng)控制并使之集中。而且，被將已集中的荷帶電粒子變?yōu)榭梢?jiàn)光的第2閃爍器接收而變換為光，使用CCD、CMOS等光電變換元件將該光變換為電信號(hào)。如X射線平直控制盤(pán)那樣，用將X射線變?yōu)榭梢?jiàn)光的閃爍器將X射線變?yōu)楣夂螅部梢詫⒃摴庵苯由淙隒CD、CMOS等光電變換元件，變換為電信號(hào)。
在實(shí)施例1中，控制裝置6進(jìn)行X射線照射裝置3的X射線產(chǎn)生的ON/OFF控制、管電壓設(shè)定、管電流設(shè)定、差錯(cuò)監(jiān)視，控制搖動(dòng)裝置2的傾斜方向T及傾斜角度α?？刂蒲b置6對(duì)作為從X射線檢出裝置1輸入的X射線圖像數(shù)據(jù)的電信號(hào)進(jìn)行運(yùn)算處理，顯示運(yùn)算處理過(guò)的電信號(hào)的狀態(tài)。控制裝置6有使用X射線斷層照相法從多個(gè)幀X射線圖像顯示斷層數(shù)據(jù)的功能。作為控制裝置6的檢查方法，是原樣地顯示X射線檢出裝置1獲得的傾斜圖像，由操作者進(jìn)行判斷的方法和用X射線斷層照相法從多幀X射線圖像制成立體圖像，根據(jù)該立體圖像顯示任意斷層面并由操作者進(jìn)行判斷的方法。
圖6是表示實(shí)施例1的X射線檢查裝置的檢查工作流程圖。
如圖6所示，在實(shí)施例1的X射線檢查裝置中，首先在步驟201向Z軸方向(X射線照射軸方向)移動(dòng)搖動(dòng)裝置2使成為所要求的放大率。接著在步驟202中，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)X軸馬達(dá)4和Y軸馬達(dá)5使固定檢查對(duì)象物102的XY載物臺(tái)7搖動(dòng)動(dòng)作。在此搖動(dòng)動(dòng)作中，在XY載物臺(tái)7的保持面7a到達(dá)規(guī)定的傾斜方向T和規(guī)定的傾斜角度α?xí)r，由X射線照射裝置3照射X射線，進(jìn)行使透過(guò)檢查對(duì)象102的X射圖像取入X射線檢出裝置1的攝像工作(步驟203)。此攝像工作在預(yù)先決定的多個(gè)位置進(jìn)行。即，保持面7a的傾斜方向T在360度變化期間(轉(zhuǎn)一圈期間)，在X射線檢出裝置1進(jìn)行多次攝像，取得規(guī)定幀數(shù)的X射線圖像。從已取得的多幀X射線圖像制成該檢查對(duì)象物102的立體圖像(三維圖像)，顯示在控制裝置6的顯示部上(步驟204)。從已制成的立體圖像檢出所要求的斷層面的狀態(tài)，判斷好不好(步驟205)。在該好不好判定中，獲得預(yù)定取得的合格品狀態(tài)斷層面數(shù)據(jù)與該檢查對(duì)象物102的斷層面數(shù)據(jù)的差分，也可以檢查該差分圖像。
如上所述，如按照實(shí)施例1的X射線檢查裝置，用小型廉價(jià)的結(jié)構(gòu)就能使檢查對(duì)象物102在任意傾斜方向、任意傾斜角度的狀態(tài)下取得高精度的X射線圖像，能通過(guò)運(yùn)算從控制裝置6的多個(gè)傾斜圖像求出斷層圖像，從而獲得模糊現(xiàn)象和虛像少的斷層圖像。由于能可靠地獲取在安裝密度高的印板電路板和薄基板的斷層數(shù)據(jù)，所以能以高分辨率用鮮明的斷層圖像進(jìn)行檢查。
在實(shí)施例1中，作為搖動(dòng)裝置2雖在使用了用X軸馬達(dá)4和Y軸馬達(dá)5的搖動(dòng)機(jī)構(gòu)的例子中進(jìn)行了說(shuō)明，但使用3軸以上的多軸控制裝置10來(lái)構(gòu)成也是可能的。圖7是實(shí)施例1的搖動(dòng)裝置2的變形例，用3個(gè)多軸控制裝置10驅(qū)動(dòng)固定檢查對(duì)象物102的載物臺(tái)7A。多軸控制裝置10的構(gòu)成為能沿X軸方向、Y軸方向和Z軸方向移動(dòng)載物臺(tái)7A。圖8是搖動(dòng)裝置2的另一變形例。在圖8所示的搖動(dòng)裝置2中用作為6軸自動(dòng)裝置的多軸控制裝置10驅(qū)動(dòng)固定檢查對(duì)象物的載物臺(tái)7B。因而，載物臺(tái)7B能借助6軸自動(dòng)裝置的臂，沿X軸、Y軸和Z軸方向使檢查對(duì)象物102進(jìn)行搖動(dòng)動(dòng)作和滑動(dòng)動(dòng)作。如圖7和圖8所示，使用多軸控制機(jī)構(gòu)301，通過(guò)其構(gòu)成為可使固定檢查對(duì)象物102的載物臺(tái)7A或7B進(jìn)行搖動(dòng)動(dòng)作，沿X軸、Y軸和Z軸方向進(jìn)行搖動(dòng)動(dòng)作和滑動(dòng)動(dòng)作，能對(duì)檢查對(duì)象物102進(jìn)行所要求的動(dòng)作，能容易地實(shí)施檢查位置變更功能和放大率變更功能。
《實(shí)施例2》圖9是表示本發(fā)明實(shí)施例2的X射線檢查裝置的大體結(jié)構(gòu)的圖。圖10是表示實(shí)施例2的X射線檢查裝置的檢查對(duì)象物的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)圖。實(shí)施例2的X射線檢查裝置是在上述實(shí)施例1的X射線檢查裝置的搖動(dòng)裝置2中進(jìn)一步設(shè)置使X射線檢出裝置1搖動(dòng)的X射線檢出用搖動(dòng)裝置20，同時(shí)設(shè)置可沿X軸、Y軸和Z軸移動(dòng)的移動(dòng)工作臺(tái)26。在實(shí)施例2中，有與上述實(shí)施例1的構(gòu)成要素相同功能、結(jié)構(gòu)的部分給予相同的標(biāo)號(hào)，省略其說(shuō)明。
如圖9所示，在實(shí)施例2的X射線檢查裝置中，從X射線照射裝置3射出的X射線也照射到被搖動(dòng)裝置2保持的檢查對(duì)象物102上，用X射線檢出裝置檢出透過(guò)該檢查對(duì)象物102的X射線。X射線照射裝置3的X射線焦點(diǎn)(輝點(diǎn)位置)配置在搖動(dòng)裝置2的中心與X射線檢出裝置1的攝像中心位置的延長(zhǎng)線上，向X軸線檢出裝置1發(fā)射X射線。
在實(shí)施例2的X射線檢查裝置中，如圖10所示，作為檢查對(duì)象物驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的多軸控制裝置25設(shè)置在搖動(dòng)裝置2的XY載物臺(tái)7上。在圖9中省略此多軸控制裝置25。在實(shí)施例2的X射線檢查裝置中，借助多軸控制裝置25沿X軸、Y軸和Z軸可移動(dòng)地構(gòu)成XY載物臺(tái)7上的XYZ移動(dòng)工作臺(tái)26。在此XYZ移動(dòng)工作臺(tái)26上固定作為檢查對(duì)象物102，例如印刷電路板、電子部件等電路形成體。
在實(shí)施例2的X射線檢查裝置中，設(shè)置搖動(dòng)X射線檢出裝置1的X射線檢出用搖動(dòng)裝置20。X射線檢出用搖動(dòng)裝置20與搖動(dòng)檢出對(duì)象物102的搖動(dòng)裝置2同樣，有固定X射線檢出裝置1的XY載物臺(tái)27、以X軸為中心轉(zhuǎn)動(dòng)此XY載物臺(tái)27的X軸馬達(dá)21，以Y軸為中心轉(zhuǎn)動(dòng)XY載物臺(tái)27的Y軸馬達(dá)22。其中XY載物臺(tái)27是沿Z軸方向不移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。實(shí)施例2的X射線檢出用搖動(dòng)裝置20與搖動(dòng)裝置2同步且沿相同方向被驅(qū)動(dòng)。即X射線檢出用搖動(dòng)裝置20的XY載物臺(tái)27與搖動(dòng)裝置2的XY載物臺(tái)7常常是成為相同方向那樣搖動(dòng)。
實(shí)施例2的控制裝置23控制向搖動(dòng)裝置2的Z軸方向的移動(dòng)、XY載物臺(tái)7對(duì)X軸與Y軸的傾斜角度、X射線檢出用搖動(dòng)裝置20的XY載物臺(tái)27對(duì)X軸與Y軸的傾斜角度?？刂蒲b置23驅(qū)動(dòng)控制X射線檢出裝置1和X射線照射裝置3?？刂蒲b置23這樣進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，即保持檢查對(duì)象物102的搖動(dòng)裝置2在規(guī)定角度，從X射線照射裝置3照射X射線，在X射線檢出裝置1接收透過(guò)檢查對(duì)象物102的X射線。而且X射線檢出裝置1收到后的X射線圖像數(shù)據(jù)輸入控制裝置23，在控制裝置23中運(yùn)算該X射線圖像數(shù)據(jù)并顯示其運(yùn)算結(jié)果。在控制裝置23中，自動(dòng)判斷并顯示所制成的斷層面信息好不好這樣的結(jié)構(gòu)。
在實(shí)施例2的X射線檢查裝置中，在振動(dòng)裝置2的XY載物臺(tái)7上設(shè)置多軸控制裝置25與XYZ移動(dòng)工作臺(tái)26，將XYZ移動(dòng)工作臺(tái)26構(gòu)成為能獨(dú)立地沿X軸、Y軸和Z軸移動(dòng)。因此，能將檢查對(duì)象物102相對(duì)XY載物臺(tái)7設(shè)置在任意位置(X軸方向的位置、Y軸方向的位置和Z軸方向的位置)。從而，能相對(duì)XY載物臺(tái)7的X射線照射基準(zhǔn)位置，將檢查對(duì)象物102的任意部分設(shè)定為規(guī)定的傾斜角度和傾斜方向。結(jié)果，如按照實(shí)施例2的X射線檢查裝置，能很容易地檢查檢查對(duì)象物102全部的位置。
在實(shí)施例2的X射線檢查裝置中，設(shè)置搖動(dòng)X射線檢出裝置1的X射線檢出用搖動(dòng)裝置20，X射線檢出用搖動(dòng)裝置20與搖動(dòng)裝置2同步并沿相同方向被驅(qū)動(dòng)。即，X射線檢出用搖動(dòng)裝置20的XY載物27與搖動(dòng)裝置2的XY載物臺(tái)7設(shè)定在相同的傾斜方向T和相同的傾斜角度α。結(jié)果，實(shí)施例2的X射線檢查裝置能防止X射線圖像的失真。在實(shí)施例2的X射線檢查裝置中，作為共同控制X射線檢用搖動(dòng)裝置20的XY載物臺(tái)27與搖動(dòng)裝置2的XY載物臺(tái)7兩者的方法，檢出各馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)位置，根據(jù)該旋轉(zhuǎn)位置，在控制裝置23中進(jìn)行反饋控制驅(qū)動(dòng)。
作為同一控制搖動(dòng)裝置2與X射線檢出用搖動(dòng)裝置20的手段，物理地將兩者連接，通過(guò)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)一方搖動(dòng)機(jī)構(gòu)就能實(shí)現(xiàn)同一傾斜方向T和同一傾斜角度α。
在實(shí)施例2的X射線檢查裝置中，控制裝置23有算法的自動(dòng)檢查功能。因此能實(shí)現(xiàn)檢查質(zhì)量無(wú)偏差的高可靠性穩(wěn)定的X射線檢查。
圖11是在實(shí)施例2的X射線檢查裝置中表示控制裝置23具有算法的自動(dòng)檢查功能的工作流程圖。
在圖11的搖動(dòng)動(dòng)作步驟301中，用多軸控制裝置25將XYZ移動(dòng)工作臺(tái)26設(shè)定到所要求的位置，用Z軸方向(X射線照射軸方向)移動(dòng)搖動(dòng)裝置2并達(dá)到所要求的放大率。而且使固定檢查對(duì)象物102的XY載物臺(tái)7與X射線檢出用搖動(dòng)裝置20同步地進(jìn)行搖動(dòng)動(dòng)作。在此搖動(dòng)動(dòng)作中，XY載物臺(tái)7的保持面7a到達(dá)規(guī)定的傾斜方向T和規(guī)定的傾斜角度α?xí)r，從X射線照射裝置3照射X射線，由X射線檢出裝置1接收透過(guò)檢查對(duì)象物102的X射線。此攝像動(dòng)作在預(yù)定的規(guī)定傾斜方向T和規(guī)定的傾斜角度α的多個(gè)位置進(jìn)行。即，XY載物臺(tái)7的保持面7a的傾斜方向T在360度變化期間(旋轉(zhuǎn)一圈期間)在X射線檢出裝置中進(jìn)行多次攝像，取得規(guī)定幀數(shù)的X射線圖像(圖像取得步驟302)。
在設(shè)定數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部401，取得預(yù)定的傾斜方向T和預(yù)定的角度α的各斷層面的合格品狀態(tài)的全部X射線圖像并進(jìn)行存儲(chǔ)。因而在圖像取得步驟302從設(shè)定數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部401對(duì)驅(qū)動(dòng)控制搖動(dòng)裝置2和X射線檢出用搖動(dòng)裝置20的控制裝置23發(fā)送與傾斜方向T和傾斜角度α有關(guān)的信息。
在立體圖像制作步驟303使用X射線斷層照相法，借助來(lái)自立體圖像數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部402的算法，制成該檢查對(duì)象物102的立體圖像數(shù)據(jù)。
下面，在檢查圖像設(shè)定步驟304中，根據(jù)由設(shè)定數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部401送來(lái)的信息指定規(guī)定的斷層面，選擇已制成的立體圖像數(shù)據(jù)中的一部分信息。對(duì)由該選擇的信息形成的規(guī)定斷層面的數(shù)據(jù)和與被保存的該檢查對(duì)象物有關(guān)的合格品狀態(tài)的立體圖像數(shù)據(jù)中的斷層面數(shù)據(jù)進(jìn)行比較。合格品狀態(tài)的立體圖像數(shù)據(jù)由合格品圖像數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部403進(jìn)行選擇并送出。在檢查圖像設(shè)定步驟304中，借助比較時(shí)的相關(guān)值，根據(jù)在設(shè)定數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部401中保存的好不好判定基準(zhǔn)值，實(shí)施好不好判定。
如上所述，在實(shí)施例2的X射線檢查裝置中，用控制裝置23具有的自動(dòng)檢查功能，能可靠且容易地進(jìn)行X射線檢查。
實(shí)施例2的X射線檢查裝置能使用圖像認(rèn)識(shí)裝置構(gòu)成自動(dòng)檢查系統(tǒng)。在這些自動(dòng)檢查系統(tǒng)中，將X射線檢查裝置串聯(lián)設(shè)置在生產(chǎn)線上，能用傳送帶自動(dòng)運(yùn)送并連續(xù)檢查生產(chǎn)中的印刷電路板等電路形成體。
在實(shí)施例2的X射線檢查裝置中，由于XYZ移動(dòng)工作臺(tái)26設(shè)置在搖動(dòng)裝置2的XY載物臺(tái)7上，能將檢查對(duì)象物102相對(duì)于XY載物臺(tái)7設(shè)定在任意位置，能相對(duì)于XY載物臺(tái)7的X射線照射基準(zhǔn)位置，將檢查對(duì)象物102的任意部分設(shè)定成規(guī)定的傾斜角度和傾斜方向。結(jié)果，如按照實(shí)施例2的X射線檢查裝置，能由已取得的X射線圖像制成模糊現(xiàn)象和虛像少的高精度斷層圖像，從而能容易而且準(zhǔn)確地檢查整個(gè)檢查對(duì)象物102。
在實(shí)施例2中，將驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在X射線檢出用搖動(dòng)裝置20和X射線照射裝置3，構(gòu)成能同時(shí)或個(gè)別地向X射線照射軸方向(Z軸方向)移動(dòng)X射線檢出用搖動(dòng)裝置20和X射線照射裝置3，在構(gòu)成上也可以更大地設(shè)定變更X射線圖像的放大率。
《實(shí)施例3》圖12是表示本發(fā)明實(shí)施例3的X射線檢查裝置的主要內(nèi)部結(jié)構(gòu)的平面剖面圖，圖13是其正剖面圖。圖14～圖17是實(shí)施例3的X射線檢查裝置的X射線攝影和圖像合成的說(shuō)明圖。在實(shí)施例3中，具有與上述實(shí)施例1和實(shí)施例2的構(gòu)成要素相同功能的部件給予相同標(biāo)號(hào)，其說(shuō)明省略。
在圖12和圖13中，在X射線屏蔽箱30內(nèi)配置有X射線檢出裝置1、X射線照射裝置3、作為檢查對(duì)象物用移動(dòng)機(jī)構(gòu)的基板用XY載物臺(tái)31和作為X射線檢出用移動(dòng)機(jī)構(gòu)的X射線檢出用XY載物臺(tái)32等。裝著作為檢查對(duì)象物102的印刷電路板等基板保持機(jī)構(gòu)40設(shè)置在位于X射線裝置3正上方的基板用XY載物臺(tái)31上。將基板保持機(jī)構(gòu)40構(gòu)成為相對(duì)于基板用XY載物臺(tái)31可向X軸方向和Y軸方向移動(dòng)。有基板用X軸馬達(dá)33的基板用X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)41和有基板用Y軸馬達(dá)34的基板用Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)42設(shè)置在基板用XY載物臺(tái)31上?；灞３謾C(jī)構(gòu)40借助基板用X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)41和基板用Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)42被向X軸方向和Y軸方向驅(qū)動(dòng)。
X射線檢出裝置1固定在X射線檢出用XY載物臺(tái)32上。有X射線檢出用X軸馬達(dá)35的X射線檢出用X射線驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)43和有X射線檢出用Y軸馬達(dá)36的X射線檢出用Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)44設(shè)置在X射線檢出用XY載物臺(tái)32上。因此，將固定X射線檢出裝置1的X射線檢出用XY載物臺(tái)32構(gòu)成為向X軸方向和Y軸方向移動(dòng)。X射線檢出用XY載物臺(tái)32能向Z軸方向(圖13中的上下方向)移動(dòng)地設(shè)置X射線檢出用Z軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)39。
馬達(dá)控制裝置37(在圖13中用方塊表示)同時(shí)控制驅(qū)動(dòng)基板用XY載物臺(tái)31和X射線檢出用XY載物臺(tái)32的各馬達(dá)。顯示裝置38(在圖13中用方塊表示)顯示來(lái)自X射線檢出裝置1的X射線圖像數(shù)據(jù)和算出的X射線斷層圖像數(shù)據(jù)。
在實(shí)施例3的X射線檢查裝置中，X射線照射裝置3固定在X射線屏蔽箱30內(nèi)的下部。X射線從X射線發(fā)射裝置的X射線焦點(diǎn)(X射線輝點(diǎn))50向上方以寬廣的照射角呈圓錐狀照射。從X射線焦點(diǎn)50放射的X射線透過(guò)作為檢查對(duì)象物102的例如印刷電路板并入射到印刷電路板檢出裝置1。該X射線透過(guò)檢查對(duì)象物102時(shí)，按照該檢查對(duì)象物102物質(zhì)的X射線吸收率而衰減。在X射線檢出裝置1中變換為與取入的X射線強(qiáng)度成正比例的濃淡圖像，制成X射線圖像。在顯示裝置38上顯示已制成的X射線圖像。
在實(shí)施例3的X射線檢查裝置中，檢查對(duì)象物102被基板用XY載物臺(tái)31的保持機(jī)構(gòu)40固定，能向X軸方向和Y軸方向移動(dòng)。檢查對(duì)象物102借助基板用X驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)41和基板用Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)42，能移動(dòng)到基板用XY載物臺(tái)31水平面上的任意位置。另一方面，固定X射線檢出裝置1的X射線檢出用載物32固定在X射線檢出用Z軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)39上。進(jìn)而，X射線檢出用Z軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)39安裝到X射線檢出用X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)43和X射線檢出用Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)44上。因此，實(shí)施例3的X射線檢出裝置1能移動(dòng)到由X射線檢出用X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)43、X射線檢出用Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)44和X射檢出用Z軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)39決定的移動(dòng)范圍內(nèi)任意空間上的位置。在圖12中，用虛線表示的圓Q表示基板保持機(jī)構(gòu)40的中心點(diǎn)軌跡，圓R表示X射線檢出裝置1的檢出面的中心點(diǎn)軌跡。
下面，參照?qǐng)D14說(shuō)明實(shí)施例3的X射線檢查裝置的X射線攝影。圖14是作作為檢查對(duì)象物102，有球焊網(wǎng)格陳列(以下稱(chēng)BGA)接合部的印刷電路板，在圖14中P1、P2表示BGA接合部的X射線圖象。
在圖14中，X射線圖像P1是將有BGA接合部的印刷電路板(102)固定在基板用XY載物臺(tái)31上，BGA接合部中心的球焊部在X射線檢出裝置的X射線圖像中心被攝影那樣向垂直方向透視的圖像。這時(shí)，電容器等X射線透過(guò)率低的部件安裝在有BGA接合部的印刷電路板(102)的上部。這樣就妨礙對(duì)BGA接合部中心的球焊部的觀察。X射線圖像P2，是將有GBA接合部的印刷電路板(102)向圖14的左方移動(dòng)而且成為對(duì)BGA接合部中心的球焊部攝影的X射線圖像中心那樣，是使X射線檢出裝置1進(jìn)一步向左方移動(dòng)的圖像。就X射線圖像P2來(lái)說(shuō)，由于電容器等X射線透過(guò)率低的部件不與中心的球焊部重疊，所以能觀察BGA接合部中心的球焊部。
上述印刷電路板(102)的移動(dòng)和X射線檢出裝置1的移動(dòng)，只要操作者按一下操作裝置60(在圖13中用方塊表示)的檢查對(duì)象物102的X軸方向和/或Y軸方向的移動(dòng)開(kāi)關(guān)，就能按照檢查對(duì)象物102的移動(dòng)量自動(dòng)地移動(dòng)X射線檢出用XY載物臺(tái)32。這時(shí)，X射線檢出用XY載物臺(tái)32只移動(dòng)X射線攝影的放大率乘以基板用XY載物臺(tái)31的基板保持機(jī)構(gòu)40的移動(dòng)量的部分。結(jié)果，BGA接合部中心的球焊部常常成為被攝像的X射線圖像的中心位置。這里，所謂X射線攝影的放大率是用從X射線焦點(diǎn)50到檢出對(duì)象物102的檢出位置的距離F去除從X射線焦點(diǎn)50到X射線檢出位置1的圖像形成位置的距離G所獲得的值(G/F)。在用X射線檢出用Z軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)39移動(dòng)X射線檢出裝置1使放大率變化時(shí)，自動(dòng)地重新計(jì)算放大率，按照此已算出的放大率使X射線檢出XY載物臺(tái)32動(dòng)作。
如上所述，在實(shí)施例3的X射線檢查裝置中，通常是這樣構(gòu)成的，即按照基板用XY載物臺(tái)31的基板保持機(jī)構(gòu)40的移動(dòng)量自動(dòng)地移動(dòng)X射線檢出用XY載物臺(tái)32，使要觀察的注意點(diǎn)成為X射線圖像的中心。
下面利用圖15～圖17，對(duì)上述這樣構(gòu)成的實(shí)施例3的X射線檢查裝置的X射線斷層檢查方法進(jìn)行說(shuō)明。作為實(shí)施例3的X射線檢查裝置的X射線斷層檢查方法，有2個(gè)檢查方法。
首先，用圖15和圖16說(shuō)明第1X射線斷層檢查方法。圖15是實(shí)施例3的X射線檢查裝置的X射線斷層攝影的說(shuō)明圖。圖16示出用實(shí)施例3的X射線檢查裝置的第1X射線斷層檢查方法進(jìn)行攝影的X射線圖像P3。
圖15的檢查對(duì)象物102作為一個(gè)例子示出3層構(gòu)造的印刷電路板。此印刷電路板作為3層構(gòu)造其構(gòu)成是，在觀察面的中間層有圓形圖案Pa，在中間層的上面有四角形圖案Pb，在中間層的下面是三角形圖案Pc。此印刷電路板安裝在基板用XY載物臺(tái)31的基板保持機(jī)構(gòu)40上，借助基板用X軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)41和基板用Y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)42，基板用XY載物臺(tái)31的基板保持機(jī)構(gòu)40在水平面上進(jìn)行圓形運(yùn)動(dòng)。這時(shí)，將X射線檢出用XY載物臺(tái)32只自動(dòng)地移動(dòng)X射線攝影的放大率乘以基板保持機(jī)構(gòu)40的移動(dòng)量的部分。結(jié)果，X射線檢出用XY載物臺(tái)32以X射線攝影的放大率乘以基板保持機(jī)構(gòu)40的圓形運(yùn)動(dòng)直徑大小的直徑進(jìn)行圓形運(yùn)動(dòng)。在上述放大率的計(jì)算中，從X射線焦點(diǎn)50到檢出對(duì)象物102的觀察面的目標(biāo)位置的距離用從X射線的焦點(diǎn)50到印刷電路板中間層的圓形圖案Pa的距離進(jìn)行計(jì)算。因此，如圖16的X射線圖像P3所示，通常在X射線檢出裝置1X射線圖像中心攝影3層構(gòu)造的印刷電路板的圓形圖案Pa。在此攝影動(dòng)作中，作為檢查對(duì)象物102的印刷電路板和X射線檢出裝置1的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)中心位于通過(guò)X射線焦點(diǎn)的垂直線上。在該旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)中，用馬達(dá)控制裝置37同步地控制驅(qū)動(dòng)各載物臺(tái)的各軸的馬達(dá)，使基板用XY載物臺(tái)31和X射線檢出用XY載物臺(tái)32的各自旋轉(zhuǎn)角度常常變成相同。
實(shí)施例3的X射線檢出裝置1的構(gòu)造是通過(guò)使用存儲(chǔ)型攝像機(jī)獲得與快門(mén)打開(kāi)時(shí)間和X射線強(qiáng)度之積成正比例的濃淡圖像。圖16所示的X射線圖像P3是印刷電路板和X射線檢出裝置1的圓形運(yùn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)一圈期間在快門(mén)打開(kāi)的狀態(tài)下攝影的X射線圖像。如果在旋轉(zhuǎn)角度為0度時(shí)打開(kāi)攝像機(jī)的快門(mén)，旋轉(zhuǎn)一圈時(shí)關(guān)閉快門(mén)，則在印刷電路板的X射線圖像中，圓形圖案Pa通常投影在X射線圖像的中心，攝影鮮明的圖案。另一方面，由于位于其它斷層面的四角形圖案Pb和三角形圖案Pc與旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)對(duì)應(yīng)地投影在X射線圖像的不同位置，所以圖像模糊，不能得到清晰的像。
通過(guò)使用實(shí)施例3的X射線檢查裝置1進(jìn)行第1X射線斷層檢查方法，形成合成水平斷層圖像，能可靠地檢查檢查對(duì)象物102的指定的斷層面的狀態(tài)。
下面，參照?qǐng)D15和圖17對(duì)實(shí)施例3的X射線檢查裝置的第2X射線斷層檢查方法進(jìn)行說(shuō)明。
在上述第1X射線斷層檢查方法中，在作為檢查對(duì)象物102的印刷電路板和X射線檢出裝置1的旋轉(zhuǎn)一圈的圓形運(yùn)動(dòng)中打開(kāi)快門(mén)進(jìn)行一次攝影。在第2X射線斷層檢查方法中，在圓形運(yùn)動(dòng)的每隔一定角度使印刷電路板和X射線檢出裝置1停止，在靜止?fàn)顟B(tài)下進(jìn)行攝影。因而，在第2X射線斷層檢查方法中，在旋轉(zhuǎn)一圈的圓形運(yùn)動(dòng)期間進(jìn)行多次攝影，制成多幀X射線圖像。因此第2X射線斷層檢查方法是，采用使多幀X射線圖像重合的辦法，能與上述第1X射線斷層檢查方法一樣，獲得合成水平斷層圖像。
即使在第2X射線斷層檢查方法中，也以圖15所示的3層構(gòu)造的印刷電路板作為檢查對(duì)象物102進(jìn)行說(shuō)明。
將印刷電路板安裝在基板用XY載物臺(tái)31的基板保持機(jī)構(gòu)40上。在攝影動(dòng)作之初，基板用XY載物臺(tái)31移動(dòng)到預(yù)定的檢查對(duì)象物102水平面上圓形運(yùn)動(dòng)的圓周上0度角度的位置而停止。這時(shí)，X射線檢出用XY載物臺(tái)32只自動(dòng)移動(dòng)X射線攝影的放大率乘以基板用XY載物臺(tái)31的移動(dòng)量的部分。在此狀態(tài)下進(jìn)行攝影制成最初的X射線圖像。隨后，將基板用XY載物臺(tái)31移動(dòng)到預(yù)定圓形運(yùn)動(dòng)的圓周上所要求角度的位置后停止并進(jìn)行攝影。下面，在圓形運(yùn)動(dòng)的圓周上每隔所要求的角度依次對(duì)基板用XY載物臺(tái)31進(jìn)行攝影。通過(guò)這樣攝影，在圓形運(yùn)動(dòng)的圓周上全部停止位置，通常在X射線檢出裝置1的X射線圖像中心對(duì)3層構(gòu)的印刷電路板的圓形圖案Pa進(jìn)行攝像。
如上所述，在第2X射線斷層檢查方法中，作為檢查對(duì)象物102的印刷電路板的圓形運(yùn)動(dòng)中心點(diǎn)與X射線檢出裝置1的圓形運(yùn)動(dòng)中心點(diǎn)位于通過(guò)X射線焦點(diǎn)50的垂直線上。印刷電路板和X射線檢出裝置1各自圓形運(yùn)動(dòng)的圓周上位置常常是各圓的中心角度相同。這樣以來(lái)，用馬達(dá)控制裝置37同步控制基板用X軸馬達(dá)33、基板用Y軸馬達(dá)34、X射線檢查用X軸馬達(dá)35和X射線檢查用Y軸馬達(dá)36，使印刷電路板和X射線檢出裝置1進(jìn)行圓形運(yùn)動(dòng)。
在第2X射線斷層檢查方法中，用X射線檢出裝置1制成與打開(kāi)快門(mén)時(shí)間和X射線強(qiáng)度之積成正比例的濃淡圖像的X射線圖像，與上述第1X射線斷層檢查方法相同。但是，在第2X射線斷層檢查方法中，由于快門(mén)開(kāi)放時(shí)間是短時(shí)間，因而希望使用高靈敏度攝像機(jī)。
圖17是使印刷電路板和X射線檢出裝置1每隔90度停止并攝影，制成4幀X射線圖像的例子。在圖17中，P0是角度0度時(shí)的X射線圖像，P90是角度90°時(shí)的X射線圖像，P180是角度180度時(shí)的X射線圖像，P270是角度270度時(shí)的X射線圖像。在圖17中記載在中央的PA是在實(shí)施例3的X射線檢查裝置的圖像處理裝置70(在圖13中用方塊表示)中通過(guò)將4幀X射線圖像重合形成后的合成X射線圖像，是合成水平斷層圖像。
在第2X射線斷層檢查方法中，是使圓形運(yùn)動(dòng)的停止位置增多，停止角度縮小來(lái)進(jìn)行攝影從而制成更多的X射線圖像，通過(guò)將它們合成，能獲得更鮮明的X射線圖像。通常，隨著停止位置增多，攝影所用的時(shí)間也變長(zhǎng)，因而X射線檢查也需要長(zhǎng)時(shí)間。
在第2X射線斷層檢查方法中，借助圖像處理裝置70使用在每隔所要求的角度獲得的多幀X射線圖像的信息，通過(guò)進(jìn)行借助CT技術(shù)的X射線圖像的再構(gòu)成運(yùn)算，也能制成三維的立體圖像。使用這樣制成的立體圖像，能正確地檢出檢查對(duì)象物102的各斷面層的信息。因而通過(guò)使用第2X射線斷層檢查方法，勿須進(jìn)行軸移動(dòng)，就能容易地檢查檢查對(duì)象物102的各斷面層有關(guān)的內(nèi)部信息。
如上所述，如按照實(shí)施例3的X射線檢查裝置，能容易地從X射線照射角范圍內(nèi)的任意方向觀察檢查對(duì)象物102的檢查位置，即使變更放大率不僅常常能觀察相同的檢查位置而且還能只抽出包括檢查位置的水平斷面圖像。進(jìn)而如按照實(shí)施例3的X射線檢查裝置，也能容易地取得檢查對(duì)象物102的各斷面層的信息。
如按照實(shí)施例3的X射線檢查裝置，借助固定了X射線照射裝置3和X射線焦點(diǎn)的X射線檢出裝置1，不從監(jiān)視器畫(huà)面中心移動(dòng)就能變更攝影方向和攝影放大率觀察作為X檢查注目點(diǎn)的檢查位置。如按照實(shí)施例3的X射線檢查裝置，通過(guò)合成檢查位置的水平斷層圖像，能檢查包括例如印刷電路板接合部斷開(kāi)不良的各種接合不良。
在本發(fā)明的X射線檢查裝置中，如在各實(shí)施例中詳細(xì)說(shuō)明過(guò)的那樣，能以廉價(jià)容易地取得高分辨率而且鮮明的檢查對(duì)象物的斷層信息，能進(jìn)行基于此斷層信息的正確的檢查。
近年來(lái)在便攜式信息機(jī)器等電子機(jī)器的市場(chǎng)上強(qiáng)烈要求商品的小型化、輕量化，即使對(duì)構(gòu)成電子機(jī)器的電路基板也強(qiáng)烈要求其小型化輕量化。因此，從在現(xiàn)有這樣的封裝周?chē)渲秒姌O引線的QFR(Quad Flat Package)、SOP(SmallOutline Package)等線性接合型電子部件到在封裝整個(gè)背面上配置球形電極的BGA(Ball grid array)、CPS(Chip Size Package)等面接合型電子部件正被廣泛地應(yīng)用。面接合型封裝與線性接合型相比，雖然由于在狹小的面積中具有多個(gè)電極而有能小型化的優(yōu)點(diǎn)，但由于從外面看不到接合部，不能使用光學(xué)的外觀檢查裝置。因此對(duì)這些部件接合的檢查現(xiàn)在已經(jīng)可以使用能透視印刷電路板內(nèi)部狀態(tài)的X射線攝影法。對(duì)這樣的部件，本發(fā)明的X射線檢查裝置是有用的。
雖然結(jié)合最佳實(shí)施例對(duì)發(fā)明進(jìn)行了一定程度的詳細(xì)說(shuō)明，但此最佳實(shí)施例公開(kāi)的內(nèi)容其構(gòu)成細(xì)節(jié)當(dāng)然是可以變化的，不超出權(quán)利要求的發(fā)明范圍和思想，也能實(shí)現(xiàn)各要素組合和順序的變化。
權(quán)利要求
1.一種X射線檢查裝置，產(chǎn)生X射線并向檢查對(duì)象物照射X射線，其特征在于，具備檢出通過(guò)上述檢查對(duì)象物的來(lái)自上述X射線照射裝置的X射線的X射線檢出裝置；將上述檢查對(duì)象物保持在從上述X射線照射裝置向上述X射線檢出裝置的X射路線之間，相對(duì)上述X射線路線的X射線照射軸沿任意角度和任意方向驅(qū)動(dòng)上述檢查對(duì)象物的搖動(dòng)裝置；和驅(qū)動(dòng)控制上述搖動(dòng)裝置和上述X射線照射裝置，輸入來(lái)自上述X射線檢出裝置的X射線圖像數(shù)據(jù)并顯示上述X射線圖像數(shù)據(jù)的控制裝置。
2.權(quán)利要求1所說(shuō)的X射線檢查裝置，其特征在于，上述搖動(dòng)裝置的構(gòu)成為有安裝上述檢查對(duì)象物的安裝面，通過(guò)以正交的2軸為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，使上述安裝面搖動(dòng)。
3.權(quán)利要求1所說(shuō)的X射線檢查裝置，其特征在于，上述控制裝置的構(gòu)成為驅(qū)動(dòng)控制上述X射線檢出裝置、上述搖動(dòng)裝置和上述X射線照射裝置，由來(lái)自上述X射線檢出裝置的X射線圖像的數(shù)據(jù)和上述X射線圖像數(shù)據(jù)顯示任意斷層面的數(shù)據(jù)。
4.權(quán)利要求1所說(shuō)的X射線檢查裝置，其特征在于，上述控制裝置具有將上述檢查對(duì)象物的內(nèi)部狀態(tài)與預(yù)先保存的數(shù)據(jù)進(jìn)行比較并運(yùn)算，檢查上述檢查對(duì)象物內(nèi)部狀態(tài)的自動(dòng)檢查功能。
5.權(quán)利要求2所說(shuō)的X射線檢查裝置，其特征在于，在上述搖動(dòng)裝置中其構(gòu)成為以上述正交的2軸為中心借助X軸馬達(dá)和Y軸馬達(dá)進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，上述X軸馬達(dá)的轉(zhuǎn)動(dòng)是在規(guī)定的旋轉(zhuǎn)角內(nèi)的往復(fù)動(dòng)作，Y軸馬達(dá)的轉(zhuǎn)動(dòng)是在相位相對(duì)X軸馬達(dá)的轉(zhuǎn)動(dòng)偏移規(guī)定旋轉(zhuǎn)角度內(nèi)進(jìn)行相同周期的往復(fù)動(dòng)作。
6.一種X射線檢查裝置，形成X射線，向檢查對(duì)象物照射X射線，其特征在于，具備檢出來(lái)自X射線照射裝置的通過(guò)上述檢查對(duì)象物的X射線的X射線檢出裝置；將上述檢查對(duì)象物保持在從上述X射線照射裝置向上述X射線檢出裝置的X射線路線之間，相對(duì)上述X射線路線的X射線照射軸在任意角度和任意方向驅(qū)動(dòng)上述檢查對(duì)象物的搖動(dòng)裝置；在與被上述搖動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)的上述檢查對(duì)象物同一方向和同一角度驅(qū)動(dòng)上述X射線檢出裝置的X射線檢出用搖動(dòng)裝置；和驅(qū)動(dòng)控制上述搖動(dòng)裝置和上述X射線照射裝置，輸入來(lái)自上述X射線檢出裝置的X射線圖像數(shù)據(jù)并顯示上述X射線圖像數(shù)據(jù)的控制裝置。
7.權(quán)利要求6所說(shuō)的X射線檢查裝置，其特征在于，上述搖動(dòng)裝置的構(gòu)成為有安裝上述檢查對(duì)象物的安裝面，通過(guò)以正交的2軸為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)?yè)u動(dòng)上述安裝面，同時(shí)上述X射線檢出用搖動(dòng)裝置與上述安裝面同步地進(jìn)行搖動(dòng)。
8.權(quán)利要求6所說(shuō)的X射線檢查裝置，其特征在于，上述控制裝置的構(gòu)成為驅(qū)動(dòng)控制上述X射線檢出裝置、上述搖動(dòng)裝置、上述X射線檢出用搖動(dòng)裝置和X射線照射裝置，在任意位置使上述檢查對(duì)象物停止并攝像，由來(lái)自上述X射線檢出裝置的X射線圖像的數(shù)據(jù)和上述X射線圖像數(shù)據(jù)顯示任意斷層面的數(shù)據(jù)。
9.權(quán)利要求6所說(shuō)的X射線檢查裝置，其特征在于，上述控制裝置具有將上述檢查對(duì)象物的內(nèi)部狀態(tài)與預(yù)先保存的數(shù)據(jù)比較并進(jìn)行運(yùn)算，檢查上述檢查對(duì)象物的內(nèi)部狀態(tài)的自動(dòng)檢查功能。
10.權(quán)利要求7所說(shuō)的X射線檢查裝置，其特征在于，在上述搖動(dòng)裝置中，其構(gòu)成為以上述正交的2軸為中心借助X軸馬達(dá)和Y軸馬達(dá)進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，上述X軸馬達(dá)的轉(zhuǎn)動(dòng)是在規(guī)定的旋轉(zhuǎn)角度內(nèi)的往復(fù)動(dòng)作，Y軸的轉(zhuǎn)動(dòng)是相對(duì)上述X軸馬達(dá)的轉(zhuǎn)動(dòng)，在相位偏移的規(guī)定的旋轉(zhuǎn)角度內(nèi)進(jìn)行周期相同的往復(fù)動(dòng)作。
11.一種X射線檢查裝置，以X射線焦點(diǎn)為頂點(diǎn)，以規(guī)定的照射角，沿垂直方向呈圓錐狀照射X射線，其特征在于，具備在X射線照射范圍內(nèi)水平地保持檢查對(duì)象物的保持機(jī)構(gòu)；在X射線照射的范圍內(nèi)將被上述保持機(jī)構(gòu)保持的上述檢查對(duì)象物移動(dòng)到水平方向的任意位置的檢查對(duì)象物用移動(dòng)機(jī)構(gòu)；有檢出透過(guò)上述檢查對(duì)象物的X射線的檢出面的X射線檢出裝置；將上述X射線檢出裝置移動(dòng)到與上述檢查對(duì)象物移動(dòng)平面平行的平面上的任意位置的X射線檢出用移動(dòng)機(jī)構(gòu)；同步地驅(qū)動(dòng)控制上述檢查對(duì)象物用移動(dòng)機(jī)構(gòu)和上述X射線檢出用移動(dòng)機(jī)構(gòu)的馬達(dá)控制裝置；從被X射線檢出裝置形成的X射線圖像抽出任意斷層面的X射線圖像的圖像處理裝置；和顯示被上述X射線檢出裝置和上述圖像處理裝置形成的上述X射線圖像的顯示裝置。
12.權(quán)利要求11所說(shuō)的X射線檢查裝置，其特征在于，上述檢查對(duì)象物用移動(dòng)機(jī)構(gòu)的構(gòu)成為在X射線照射范圍內(nèi)移動(dòng)上述檢查對(duì)象物時(shí)，上述X射線檢出裝置的上述檢出面的中心點(diǎn)配置在連結(jié)上述X射線焦點(diǎn)和上述檢查對(duì)象物的檢查位置的中心點(diǎn)的直線上，使檢查對(duì)象物用移動(dòng)機(jī)構(gòu)和X射線檢出用移動(dòng)機(jī)構(gòu)同步移動(dòng)。
13.權(quán)利要求11所說(shuō)的X射線檢查裝置，其特征在于，上述X射線檢出用移動(dòng)機(jī)構(gòu)的構(gòu)成為有能沿垂直方向移動(dòng)上述X射線檢出裝置的X射線檢出用Z軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過(guò)變更從上述X射線焦點(diǎn)到上述檢查對(duì)象物的距離和從上述X射線焦點(diǎn)到上述X射線檢出裝置的距離的比率能變更X射線圖像的放大率。
14.權(quán)利要求11所說(shuō)的X射線檢查裝置，其特征在于，上述檢查對(duì)象物用移動(dòng)機(jī)構(gòu)和上述X射線檢出用移動(dòng)機(jī)構(gòu)的構(gòu)成為在各自配置的平面上同步旋轉(zhuǎn)，在旋轉(zhuǎn)動(dòng)作旋轉(zhuǎn)一圈期間打開(kāi)快門(mén)進(jìn)行X射線攝影。
15.權(quán)利要求11所說(shuō)的X射線檢查裝置，其特征在于，上述檢查對(duì)象物用移動(dòng)機(jī)構(gòu)和上述X射線檢出用移動(dòng)機(jī)構(gòu)的構(gòu)成為在各自配置的平面上同步地一面每隔一定角度停止一面旋轉(zhuǎn)，并在各自的停止位置進(jìn)行X射線攝影。
16.權(quán)利要求13所說(shuō)的X射線檢查裝置，其特征在于，借助上述X射線檢出用Z軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)沿垂直方向移動(dòng)上述X射線檢出用移動(dòng)機(jī)構(gòu)時(shí)，上述X射線檢出裝置的中心點(diǎn)配置在連結(jié)上述X射線焦點(diǎn)和上述檢查對(duì)象物的檢查位置的中心點(diǎn)的直線上，同步地移動(dòng)上述X射線檢出用移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
17.一種X射線檢查方法，其特征在于，包括如下工序?qū)z查對(duì)象物安裝在搖動(dòng)裝置上的工序，所說(shuō)的搖動(dòng)裝置配置在從X射線照射裝置向X射線檢出裝置的X射線路線之間，相對(duì)上述X射線路線的X射線照射軸沿任意角度和任意方向用上述搖動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)上述檢查對(duì)象物的工序；向上述檢查對(duì)象物照射來(lái)自上述X射線照射裝置的X射線的工序；用上述X射線檢出裝置檢出通過(guò)上述檢查對(duì)象物的X射線的工序；和輸入來(lái)自上述X射線檢出裝置的X射線圖像數(shù)據(jù)，從上述X射圖像數(shù)據(jù)抽出任意斷層面的數(shù)據(jù)的工序。
18.權(quán)利要求17所說(shuō)的X射線檢查方法，其特征在于，通過(guò)用X軸馬達(dá)和Y軸馬達(dá)使正交的2軸轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)?yè)u動(dòng)安裝上述檢查對(duì)象物的上述安裝面，上述X軸馬達(dá)的轉(zhuǎn)動(dòng)是在規(guī)定的旋轉(zhuǎn)角度內(nèi)的往復(fù)動(dòng)作，Y軸馬達(dá)的轉(zhuǎn)動(dòng)是相對(duì)于上述X軸馬達(dá)的轉(zhuǎn)動(dòng)，在相位偏移的規(guī)定旋轉(zhuǎn)角度內(nèi)周期相同的往復(fù)動(dòng)作。
19.一種X射線檢查方法，其特征在于，包括如下工序在X射線照射范圍內(nèi)用保持機(jī)構(gòu)水平地保持檢查對(duì)象物的工序，在X射線照射范圍內(nèi)用檢查對(duì)象物移動(dòng)機(jī)構(gòu)將被上述保持機(jī)構(gòu)保持的上述檢查對(duì)象物移動(dòng)到水平方向的任意位置的工序；在與上述檢查對(duì)象物移動(dòng)的平面平行的平面上，與上述檢查對(duì)象物的移動(dòng)同步地將目標(biāo)點(diǎn)配置在由X射線檢出裝置的形成的X射線圖像中心，用X射線檢查用移動(dòng)機(jī)構(gòu)移動(dòng)上述X射線檢出裝置的工序；以X射線焦點(diǎn)為頂點(diǎn)，以規(guī)定照射角沿垂直方向呈圓錐狀照射X射線的工序；用上述X射線檢出裝置檢出透過(guò)上述檢查對(duì)象物的X射線的工序；在上述圖像處理裝置中，從由上述X射線檢出裝置形成的X射線圖像抽出任意斷層面的X射線圖像的工序；和顯示由上述X射線檢出裝置和上述圖像處理裝置形成的上述X射線圖像的工序。
20.權(quán)利要求19所說(shuō)的X射線檢查方法，其特征在于，上述檢查對(duì)象物用移動(dòng)機(jī)構(gòu)在X射線照射范圍內(nèi)移動(dòng)上述檢查對(duì)象物時(shí)，上述X射線檢出裝置的上述檢出面的中心點(diǎn)配置在連結(jié)上述X射線焦點(diǎn)和上述檢查對(duì)象物的檢查位置的中心點(diǎn)的直線上，同步地移動(dòng)檢查對(duì)象物用移動(dòng)機(jī)構(gòu)和X射線檢出用移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
全文摘要
本發(fā)明的X射線檢查裝置和X射線檢查方法是這樣構(gòu)成的，保持被來(lái)自X射線照射裝置的X射照射的檢查對(duì)象物，使用進(jìn)行向任意角度和任意方向傾斜的搖動(dòng)動(dòng)作的搖動(dòng)裝置，在X射線檢出裝置中攝像通過(guò)檢查對(duì)象物的X射線，在控制裝置中，從來(lái)自X射線檢出裝置的X射線圖像抽出任意斷層面的數(shù)據(jù)。
文檔編號(hào)G01B15/00GK1595124SQ20041008825
公開(kāi)日2005年3月16日 申請(qǐng)日期2004年8月27日 優(yōu)先權(quán)日2003年8月27日
發(fā)明者市原勝, 吉野信治, 井上博之, 木下俊生, 大內(nèi)一生 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社