專利名稱：用于一個(gè)位置測(cè)量裝置的分度機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種如權(quán)利要求1前序部分所述的、用于一個(gè)位置測(cè)量裝置的分度機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
這樣一種分度機(jī)構(gòu)包括許多沿著一個(gè)測(cè)量方向前后設(shè)置的細(xì)長(zhǎng)的分度線，該分度線分別以一個(gè)確定的長(zhǎng)度與分度機(jī)構(gòu)成角度地、尤其是成直角地延伸，并且該分度線分別具有一個(gè)垂直于其延伸方向的確定寬度。
這樣一種分度機(jī)構(gòu)例如為了形成一個(gè)刻度尺而設(shè)計(jì)或布置在一個(gè)所謂的分度機(jī)構(gòu)載體上，并安置在兩個(gè)相互運(yùn)動(dòng)的構(gòu)件中的一個(gè)之上，其位置要通過(guò)所述位置測(cè)量裝置來(lái)確定。在這兩個(gè)相互運(yùn)動(dòng)的構(gòu)件中的另一個(gè)構(gòu)件上安置位置測(cè)量系統(tǒng)的一個(gè)掃描機(jī)構(gòu)，使得借助于掃描機(jī)構(gòu)通過(guò)掃描所述分度機(jī)構(gòu)能夠獲得一個(gè)構(gòu)件相對(duì)于另一構(gòu)件的位置。例如光電測(cè)量原理適合于掃描所述分度機(jī)構(gòu)。
所述分度機(jī)構(gòu)例如設(shè)計(jì)成一個(gè)增量分度機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)由許多周期地(等距地)前后設(shè)置的分度線組成，因此借助于掃描機(jī)構(gòu)對(duì)該分度線的掃描可以獲得所述一個(gè)構(gòu)件相對(duì)于所述另一構(gòu)件的位置變化的位置信息。
對(duì)于在機(jī)床上的使用-其中所述兩個(gè)構(gòu)件例如通過(guò)一個(gè)機(jī)床的床身和溜板構(gòu)成，位置測(cè)量裝置的高度精密性具有重要意義。這尤其要求分度機(jī)構(gòu)沿著測(cè)量方向在其整個(gè)長(zhǎng)度上必需包含精確的位置信息。因此存在著這種危險(xiǎn)高度精密的分度機(jī)構(gòu)被第三者非授權(quán)地作為復(fù)制樣本用于加工其它分度機(jī)構(gòu)。為了防止這一點(diǎn)，在一個(gè)分度機(jī)構(gòu)上可設(shè)有標(biāo)記，該標(biāo)記作為復(fù)制保護(hù)機(jī)構(gòu)例如在形成一個(gè)標(biāo)識(shí)(一個(gè)公司、一個(gè)公司口號(hào)、一個(gè)商業(yè)標(biāo)記、一個(gè)商標(biāo)、一個(gè)標(biāo)記等)的條件下給出一個(gè)對(duì)于原始分度機(jī)構(gòu)制造者的說(shuō)明。由此可以識(shí)別出所述分度機(jī)構(gòu)的非合法制造的這種復(fù)制品。
但是在此存在問(wèn)題由于分度機(jī)構(gòu)的改變，在借助于配屬的掃描機(jī)構(gòu)掃描分度機(jī)構(gòu)時(shí)產(chǎn)生信號(hào)振蕩，該振蕩又有可能導(dǎo)致測(cè)量誤差。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的問(wèn)題是，實(shí)現(xiàn)一種上述類型的分度機(jī)構(gòu)，其中由于以分度線改變的形式的標(biāo)記形成的復(fù)制保護(hù)機(jī)構(gòu)在位置測(cè)量裝置的使用中不導(dǎo)致對(duì)掃描信號(hào)產(chǎn)生本質(zhì)性的損害。
這個(gè)問(wèn)題按照本發(fā)明通過(guò)實(shí)現(xiàn)一個(gè)具有權(quán)利要求1特征的分度機(jī)構(gòu)得以解決。
據(jù)此在分度機(jī)構(gòu)上設(shè)有許多標(biāo)記，其中每個(gè)標(biāo)記分別通過(guò)一個(gè)分度線的形狀、即寬度在相應(yīng)分度線的一個(gè)局部范圍中的改變而構(gòu)成，并且其中在其中所述分度線具有一個(gè)改變的寬度的局部范圍只具有一個(gè)這樣微小的長(zhǎng)度，使得那些標(biāo)記在其整體上不對(duì)掃描信號(hào)產(chǎn)生重要的(本質(zhì)上的)損害。
受到標(biāo)記影響的掃描信號(hào)的強(qiáng)度與未受干擾的掃描信號(hào)(該掃描信號(hào)在掃描一個(gè)在其它方面一致的測(cè)量分度機(jī)構(gòu)時(shí)-即沒(méi)有對(duì)分度線寬度進(jìn)行改變-作為一個(gè)位置測(cè)量裝置的組成部分借助于位置測(cè)量裝置的掃描單元產(chǎn)生)的強(qiáng)度偏差最大為5％，由此該偏差不視為本質(zhì)性的，并且不對(duì)分度機(jī)構(gòu)或相應(yīng)的位置測(cè)量裝置的功能產(chǎn)生重要的損害。
分度機(jī)構(gòu)的用來(lái)構(gòu)成復(fù)制保護(hù)機(jī)構(gòu)的各個(gè)標(biāo)記分別通過(guò)分度線的局部范圍構(gòu)成，其中分度線具有一個(gè)加粗部位(即比其余范圍更寬)或一個(gè)收縮部位(即比其余范圍更窄)。在此起決定性作用的是，所述的在其中分度線的寬度被改變的局部范圍沿著分度線的延伸方向具有一個(gè)這樣微小的延伸部位，使得所有標(biāo)記在其整體性上不對(duì)于所產(chǎn)生的掃描信號(hào)產(chǎn)生本質(zhì)的干擾。其結(jié)果是，作為復(fù)制保護(hù)機(jī)構(gòu)的標(biāo)記不被某個(gè)人以裸眼識(shí)別，而是只有借助于一個(gè)放大鏡或一個(gè)顯微鏡才能明確地識(shí)別。在各種情況下所述標(biāo)記都能夠以任意的形式閱讀或者讀出，以便能夠作為復(fù)制保護(hù)機(jī)構(gòu)。
本發(fā)明不僅可以用于直線刻度尺形式的分度機(jī)構(gòu)而且也可以用于角度測(cè)量系統(tǒng)的分度盤(pán)。在分度盤(pán)的情況下測(cè)量方向沿著一個(gè)圓弧而不是沿著一條直線延伸。此外所述分度線對(duì)于角度測(cè)量系統(tǒng)的分度盤(pán)在徑向上具有一個(gè)略微的寬度變化。因?yàn)榉侄染€的寬度受結(jié)構(gòu)的限制，在分度盤(pán)的外邊緣上的寬度小于在中間的、面對(duì)分度盤(pán)中心點(diǎn)的邊緣上的寬度。但是一個(gè)分度線的寬度從分度盤(pán)的內(nèi)邊緣到外邊緣的連續(xù)變化在本發(fā)明的意義上不構(gòu)成標(biāo)記，而該標(biāo)記通過(guò)各分度線在一個(gè)局部范圍里的形狀改變而構(gòu)成。因?yàn)樗龇侄染€的寬度從一個(gè)分度盤(pán)的內(nèi)邊緣到外邊緣(極其微小的)增加對(duì)于相應(yīng)分度盤(pán)的所有分度線是完全相同。因此不涉及本發(fā)明意義上的標(biāo)記，而通過(guò)該標(biāo)記在分度機(jī)構(gòu)上可以產(chǎn)生一個(gè)例如一個(gè)圖形形式的復(fù)制保護(hù)機(jī)構(gòu)，它指出相應(yīng)分度機(jī)構(gòu)的制造者。
為了保證對(duì)掃描信號(hào)(即在掃描分度機(jī)構(gòu)時(shí)由掃描機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的輸出信號(hào))不產(chǎn)生本質(zhì)性的損害，一個(gè)標(biāo)記的長(zhǎng)度、即各局部范圍的長(zhǎng)度-在該局部范圍中一個(gè)分度線的寬度小于或大于其余局部范圍中的寬度-最多為各分度線長(zhǎng)度的6％、最好最多為4％、尤其是在2％至4％之間，其中各分度線最好具有一致的長(zhǎng)度。
對(duì)于在本發(fā)明構(gòu)思中形成的、構(gòu)成復(fù)制保護(hù)機(jī)構(gòu)的標(biāo)記的長(zhǎng)度的另一評(píng)價(jià)可以由此定義不考慮各標(biāo)記的長(zhǎng)度，而是考慮標(biāo)記在分度機(jī)構(gòu)的一個(gè)確定部分上的總長(zhǎng)度。因?yàn)闉榱诵纬缮鲜鰳?biāo)記，所述分度線寬度的改變是否對(duì)掃描信號(hào)產(chǎn)生一個(gè)本質(zhì)性的損害的問(wèn)題首先是所有標(biāo)記的總長(zhǎng)度在分度機(jī)構(gòu)的這樣一個(gè)部分里具有意義，在通過(guò)掃描機(jī)構(gòu)對(duì)分度機(jī)構(gòu)進(jìn)行掃描時(shí)作為整體獲得該部分。
在許多情況下由掃描機(jī)構(gòu)獲得的對(duì)分度機(jī)構(gòu)的掃描范圍的延伸部位(在測(cè)量方向上)基本上相應(yīng)于各分度線的長(zhǎng)度；即掃描范圍基本上是正方形的。在這種情況下在分度機(jī)構(gòu)的一個(gè)部分中的所有各標(biāo)記長(zhǎng)度的總和最多為在分度機(jī)構(gòu)的所述部分中的所有分度線長(zhǎng)度的總和的6％，最好最多為4％，在此分度機(jī)構(gòu)在測(cè)量方向上的所述延伸部位相應(yīng)于分度線的長(zhǎng)度。
相鄰分度線的標(biāo)記可以沿著分度機(jī)構(gòu)的測(cè)量方向相鄰地或也可相互錯(cuò)開(kāi)地設(shè)置，使得通過(guò)所述標(biāo)記構(gòu)成至少一條、例如一條直線或一條曲線形式的線，該線在分度機(jī)構(gòu)上在大量分度線上延伸并在此垂直或傾斜于各分度線的延伸方向延伸。
所述線或直線可以構(gòu)成一個(gè)或多個(gè)信息列(Schriftzug)，該信息列表示分度機(jī)構(gòu)的制造者。
一個(gè)具有按照本發(fā)明的分度機(jī)構(gòu)的位置測(cè)量裝置通過(guò)權(quán)利要求20的特征來(lái)表征。
在此在每個(gè)掃描范圍中的標(biāo)記總長(zhǎng)度最多為在該掃描范圍中的所有分度線總長(zhǎng)度的6％，最好最多為4％，該掃描范圍可以在進(jìn)行測(cè)量時(shí)被掃描機(jī)構(gòu)作為相關(guān)的范圍測(cè)量到。在此所述掃描范圍定義為具有這樣一個(gè)沿著分度機(jī)構(gòu)的延伸方向的延伸部位的分度機(jī)構(gòu)的一個(gè)部分，它相應(yīng)于一個(gè)尺寸的測(cè)量局部范圍，該范圍可以在掃描分度機(jī)構(gòu)時(shí)被掃描機(jī)構(gòu)作為整體而測(cè)量到。


借助于附圖通過(guò)對(duì)下面一個(gè)實(shí)施例的描述詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的其它特征和優(yōu)點(diǎn)。附圖示出圖1一個(gè)位置測(cè)量裝置的示意圖，該位置測(cè)量裝置具有一個(gè)分度機(jī)構(gòu)和一個(gè)用于該掃描分度機(jī)構(gòu)的掃描機(jī)構(gòu)；圖2按照?qǐng)D1的位置測(cè)量裝置的分度機(jī)構(gòu)的視圖，該分度機(jī)構(gòu)具有作為復(fù)制保護(hù)機(jī)構(gòu)的標(biāo)記；圖2a圖2中分度機(jī)構(gòu)的一個(gè)放大圖。
具體實(shí)施例方式
在圖1中簡(jiǎn)示出一個(gè)用于確定兩個(gè)相互運(yùn)動(dòng)的機(jī)床部件形式的構(gòu)件的位置的位置測(cè)量裝置，這些構(gòu)件例如可以是一個(gè)機(jī)床的床身和溜板。所述位置測(cè)量裝置具有一個(gè)刻度尺S-該刻度尺通過(guò)一個(gè)具有設(shè)置在其上的分度機(jī)構(gòu)M的分度機(jī)構(gòu)載體T構(gòu)成，以及一個(gè)用于光電地掃描分度機(jī)構(gòu)M的掃描機(jī)構(gòu)A。該掃描機(jī)構(gòu)A以公知的方式包括一個(gè)(半導(dǎo)體)光源L以及在由光源產(chǎn)生的光的光程中的一個(gè)聚光透鏡K和一個(gè)掃描板P，它們?cè)O(shè)置在光源L與分度機(jī)構(gòu)M之間。由光源L產(chǎn)生的光借助于聚焦透鏡K實(shí)現(xiàn)平行化，并作為準(zhǔn)直的光束首先輸送到(透明的)掃描板P然后輸送到刻度尺S的分度機(jī)構(gòu)T。該光在刻度尺S的配有分度機(jī)構(gòu)M的表面上反射，并利用掃描板P按照更新的交替作用到達(dá)掃描機(jī)構(gòu)A的一個(gè)由一個(gè)光電二極管機(jī)構(gòu)D構(gòu)成的接收器。在此涉及到一種以入射光-方法對(duì)于分度機(jī)構(gòu)M的掃描，其中由分度機(jī)構(gòu)M反射的光被光電二極管機(jī)構(gòu)D的輻射靈敏的表面接收。所述光電二極管機(jī)構(gòu)D產(chǎn)生一個(gè)輸出信號(hào)(掃描信號(hào))，該信號(hào)表征在輻射靈敏的表面0上產(chǎn)生的、在分度機(jī)構(gòu)M上反射的光的強(qiáng)度和空間分布。
一方面是刻度尺S另一方面是掃描機(jī)構(gòu)A分別固定在兩個(gè)上述機(jī)床部件中的一個(gè)部件上，因此借助于掃描機(jī)構(gòu)A通過(guò)掃描刻度尺S的分度機(jī)構(gòu)M可以獲得這兩個(gè)機(jī)床部件相互間的每個(gè)運(yùn)動(dòng)的程度。這種位置測(cè)量裝置一般是公知的，參考Alfons Ernst所著的“長(zhǎng)度和角度數(shù)字測(cè)量技術(shù)(Digitale Laengen-und Winkelmesstechnik)”現(xiàn)代工業(yè)出版社(verlag moderne industrie)，Landesberg/Lech(1998)，因此在這里無(wú)需繼續(xù)描述位置測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)和功能。
在圖2和2a中示出一個(gè)圖1中的刻度尺S的可能的分度機(jī)構(gòu)M，該分度機(jī)構(gòu)由許多沿著一個(gè)測(cè)量方向R以恒定的距離-通過(guò)中間空間2間隔-周期地前后設(shè)置的分度線1組成。該分度線1分別以不變的長(zhǎng)度L垂直于測(cè)量方向R延伸，并在測(cè)量方向上具有一個(gè)寬度B。
這個(gè)分度機(jī)構(gòu)M構(gòu)成一個(gè)所謂的增量分度機(jī)構(gòu)，即一個(gè)具有一致寬度B的等距分度線1的周期結(jié)構(gòu)，通過(guò)對(duì)其掃描可以獲得一個(gè)機(jī)床部件相對(duì)于另一機(jī)床部件的位置變化。
作為復(fù)制保護(hù)機(jī)構(gòu)-即為了防止分度機(jī)構(gòu)M作為樣本用于制造其它的全等結(jié)構(gòu)的分度機(jī)構(gòu)，所述分度線1和中間空間2配有標(biāo)記10、20。在此所述分度線1的標(biāo)記10通過(guò)分度線1的長(zhǎng)度1的(沿著延伸方向E延伸的)局部范圍構(gòu)成，其中分度線1分別具有一個(gè)比在其其余范圍更窄的寬度b。通過(guò)分度線1的這個(gè)設(shè)計(jì)為收縮部位的標(biāo)記10構(gòu)成中間空間2的相應(yīng)的互補(bǔ)的(以加粗的形式的)標(biāo)記20，其中該中間空間2在這個(gè)標(biāo)記20的部位處比在中間空間的其余部位具有一個(gè)更寬的寬度。
分度線1的構(gòu)成標(biāo)記10的收縮部位以及中間空間2的構(gòu)成互補(bǔ)標(biāo)記20的加粗部位分別在兩側(cè)通過(guò)沿著分度線1或中間空間2的延伸方向E延伸的邊界線11、12或者21、22來(lái)限定。在此一個(gè)分度線的標(biāo)記10的邊界線11、12或者一個(gè)中間空間2的互補(bǔ)標(biāo)記20的邊界線21、22分別沿著測(cè)量方向R相互間隔，并沿著分度線1或中間空間2的延伸方向E相互錯(cuò)置。由此使分度線1的標(biāo)記10和中間空間2的互補(bǔ)標(biāo)記20構(gòu)成線3-在本實(shí)施例中為直線，它們不僅相對(duì)于分度機(jī)構(gòu)M的測(cè)量方向R而且相對(duì)于分度線1或中間空間2的延伸方向E都傾斜地延伸。
按照?qǐng)D2這些直線形式的線3構(gòu)成一個(gè)信息列，該信息列包含一個(gè)對(duì)該分度機(jī)構(gòu)M的制造者的說(shuō)明。在非授權(quán)地制造一個(gè)分度機(jī)構(gòu)2的復(fù)制品時(shí)，這個(gè)信息列被同時(shí)復(fù)制，因此非授權(quán)加工的復(fù)制品具有一個(gè)對(duì)原始分度機(jī)構(gòu)制造者的說(shuō)明。
如同由圖2可以看到的那樣，在此在一個(gè)分度線1和一個(gè)中間空間2中可以連續(xù)地設(shè)有兩個(gè)甚至多個(gè)標(biāo)記10或20。此外各標(biāo)記10或20可以在分度線1或中間空間2的延伸方向E上具有一個(gè)不同的長(zhǎng)度1。在此重要的是，分度線1的所有標(biāo)記10和中間空間2的所有互補(bǔ)標(biāo)記20的總長(zhǎng)度與所有分度線1或中間空間2的總長(zhǎng)度相比足夠地小，使得標(biāo)記10或20的存在不會(huì)對(duì)在掃描分度機(jī)構(gòu)M時(shí)所產(chǎn)生的掃描信號(hào)導(dǎo)致本質(zhì)性的損害。這尤其意味著，分度線1的所有標(biāo)記10或中間空間2的互補(bǔ)標(biāo)記20的總長(zhǎng)度在分度機(jī)構(gòu)M的一個(gè)掃描范圍中、即在一個(gè)以這樣一種延長(zhǎng)沿著測(cè)量方向R延伸的范圍中-該范圍可以由配屬的掃描機(jī)構(gòu)A(參見(jiàn)圖1)在掃描分度機(jī)構(gòu)M時(shí)正好作為整體獲得-與所有分度線1或中間空間2的總長(zhǎng)度相比足夠地小，以防止對(duì)掃描信號(hào)造成本質(zhì)性損害或干擾，當(dāng)掃描機(jī)構(gòu)-根據(jù)其相對(duì)于分度機(jī)構(gòu)M的各個(gè)位置-獲得分度機(jī)構(gòu)M的相應(yīng)掃描范圍時(shí)產(chǎn)生這種干擾。
在圖2中還示例性地表示，每個(gè)掃描范圍在測(cè)量方向R上具有一個(gè)延伸部位L，該延伸部位相應(yīng)于分度線1的長(zhǎng)度L。因此分度線1的標(biāo)記10或中間空間2的互補(bǔ)標(biāo)記20的總長(zhǎng)度在分度機(jī)構(gòu)M的一個(gè)任意掃描范圍里-即在每個(gè)由配屬的掃描機(jī)構(gòu)在位置測(cè)量裝置工作時(shí)相關(guān)地獲得的范圍里-低于所有分度線1或中間空間2在那個(gè)掃描范圍中的總長(zhǎng)度的6％，最好最多為該總長(zhǎng)度的4％。
這個(gè)規(guī)則與掃描范圍的形狀無(wú)關(guān)，該范圍由配屬于分度機(jī)構(gòu)M的掃描機(jī)構(gòu)獲得，即與各掃描范圍是否如實(shí)施例一樣為正方形地構(gòu)成無(wú)關(guān)，或者與其在測(cè)量方向R上的延伸小于或大于分度線1的長(zhǎng)度L無(wú)關(guān)。起決定作用的僅僅是，在分度機(jī)構(gòu)M的每個(gè)被掃描的范圍里標(biāo)記10的總長(zhǎng)度或由標(biāo)記10總體覆蓋的面積與所有分度線1的總長(zhǎng)度相比或與所有分度線1整體覆蓋的面積相比是小的。由此保證，所述標(biāo)記10不對(duì)掃描信號(hào)產(chǎn)生本質(zhì)性的損害。
權(quán)利要求
1.用于一種位置測(cè)量裝置的分度機(jī)構(gòu)，該分度機(jī)構(gòu)具有許多沿著一個(gè)測(cè)量方向(R)前后布置的細(xì)長(zhǎng)的分度線(1)，該分度線分別以一個(gè)確定的長(zhǎng)度(L)與測(cè)量方向(R)成角度地延伸，并且該分度線分別具有一個(gè)垂直于其延伸方向(E)的確定寬度(B)，其特征在于多個(gè)標(biāo)記(10)，該標(biāo)記分別由一個(gè)分度線(1)的寬度(B)在一個(gè)局部范圍里的改變而構(gòu)成，并且該標(biāo)記具有一個(gè)這樣的長(zhǎng)度(1)，使得在借助于掃描機(jī)構(gòu)(A)掃描分度機(jī)構(gòu)(M)時(shí)由掃描機(jī)構(gòu)(A)產(chǎn)生的掃描信號(hào)不會(huì)受到所述標(biāo)記(10)本質(zhì)性的損害。
2.如權(quán)利要求1所述的分度機(jī)構(gòu)，其特征在于，每個(gè)標(biāo)記(10)的長(zhǎng)度(1)最多為配屬的分度線(1)長(zhǎng)度(L)的6％。
3.如權(quán)利要求1所述的分度機(jī)構(gòu)，其特征在于，每個(gè)標(biāo)記(10)的長(zhǎng)度(1)最多為配屬的分度線(1)長(zhǎng)度(L)的4％。
4.如權(quán)利要求1所述的分度機(jī)構(gòu)，其特征在于，每個(gè)標(biāo)記(10)的長(zhǎng)度(1)在所配屬的分度線(1)長(zhǎng)度(L)的2％至4％之間。
5.如權(quán)利要求1所述的分度機(jī)構(gòu)，其特征在于，在分度機(jī)構(gòu)(M)的一個(gè)部分中的標(biāo)記(10)長(zhǎng)度(1)的總和-該部分在測(cè)量方向(R)上的延伸相應(yīng)于分度線(1)的長(zhǎng)度(L)-最多為在分度機(jī)構(gòu)(M)的這個(gè)部分中的分度線(1)長(zhǎng)度(L)的總和的6％。
6.如權(quán)利要求5所述的分度機(jī)構(gòu)，其特征在于，在分度機(jī)構(gòu)(M)的一個(gè)部分中的標(biāo)記(10)長(zhǎng)度(1)的總和-該部分在測(cè)量方向(R)上的延伸相應(yīng)于分度線(1)的長(zhǎng)度(L)-最多為在分度機(jī)構(gòu)(M)的這個(gè)部分中的分度線(1)長(zhǎng)度(L)的總和的4％。
7.如權(quán)利要求1所述的分度機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述分度線(1)垂直于測(cè)量方向(R)延伸。
8.如權(quán)利要求1所述的分度機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述各分度線(1)具有一個(gè)一致的長(zhǎng)度(L)。
9.如權(quán)利要求1所述的分度機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述分度線(1)在構(gòu)成標(biāo)記(10)的局部范圍中具有一個(gè)比在該局部范圍以外更寬的寬度。
10.如權(quán)利要求1所述的分度機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述分度線(1)在構(gòu)成標(biāo)記(10)的局部范圍中具有一個(gè)比在該局部范圍以外更窄的寬度(b)。
11.如權(quán)利要求1所述的分度機(jī)構(gòu)，其特征在于，相鄰分度線(1)的標(biāo)記(10)沿著分度線(1)的延伸方向(E)相互錯(cuò)開(kāi)。
12.如權(quán)利要求1所述的分度機(jī)構(gòu)，其特征在于，通過(guò)標(biāo)記(10)構(gòu)成至少一條線(3)，該線在分度機(jī)構(gòu)(M)上延伸經(jīng)過(guò)許多分度線(1)。
13.如權(quán)利要求12所述的分度機(jī)構(gòu)，其特征在于，至少一條線(3)垂直或傾斜于分度線(1)的延長(zhǎng)方向(E)延伸。
14.如權(quán)利要求12所述的分度機(jī)構(gòu)，其特征在于，至少一條線(3)通過(guò)相鄰分度線(1)的標(biāo)記(10)的序列而構(gòu)成。
15.如權(quán)利要求12所述的分度機(jī)構(gòu)，其特征在于，至少一條線(3)構(gòu)成一條直線。
16.如權(quán)利要求12所述的分度機(jī)構(gòu)，其特征在于，至少一條線(3)構(gòu)成一個(gè)信息列。
17.如權(quán)利要求16所述的分度機(jī)構(gòu)，其特征在于，設(shè)有多個(gè)沿著測(cè)量方向(R)前后設(shè)置的信息列。
18.如權(quán)利要求1所述的分度機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述分度機(jī)構(gòu)(M)是一個(gè)增量分度機(jī)構(gòu)。
19.如權(quán)利要求1所述的分度機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述分度機(jī)構(gòu)(M)作為線性分度機(jī)構(gòu)沿著一條直線延伸。
20.如權(quán)利要求1所述的分度機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述分度機(jī)構(gòu)沿著一個(gè)圓弧延伸。
21.用于確定兩個(gè)相互運(yùn)動(dòng)的物體的位置的位置測(cè)量裝置，該測(cè)量裝置具有-一個(gè)分度機(jī)構(gòu)(M)，該分度機(jī)構(gòu)通過(guò)許多沿著一個(gè)測(cè)量方向(R)前后設(shè)置的細(xì)長(zhǎng)的分度線(1)構(gòu)成，該分度線分別以一個(gè)確定的長(zhǎng)度(L)與測(cè)量方向(R)成角度地延伸，并且它們分別具有一個(gè)垂直于其延伸方向(E)的確定寬度(B)，和-一個(gè)用于掃描分度機(jī)構(gòu)(M)的掃描機(jī)構(gòu)(A)，該掃描機(jī)構(gòu)對(duì)于給定的時(shí)刻分別獲得分度機(jī)構(gòu)(M)的一個(gè)確定掃描范圍(L*L)，其特征在于一個(gè)按照上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述分度機(jī)構(gòu)(M)的結(jié)構(gòu)。
22.如權(quán)利要求21所述的位置測(cè)量裝置，其特征在于，在分度機(jī)構(gòu)(M)的掃描范圍(L*L)中的標(biāo)記(10)的長(zhǎng)度(1)的總和最多為在該掃描范圍中的分度線(1)的長(zhǎng)度(L)的總和的6％。
23.如權(quán)利要求22所述的位置測(cè)量裝置，其特征在于，在分度機(jī)構(gòu)(M)的掃描范圍(L*L)中的標(biāo)記(10)的長(zhǎng)度(1)的總和最多為在該掃描范圍中的分度線(1)的長(zhǎng)度(L)的總和的4％。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于一種位置測(cè)量裝置的分度機(jī)構(gòu)，該分度機(jī)構(gòu)具有許多沿著一個(gè)測(cè)量方向(R)前后布置的細(xì)長(zhǎng)的分度線(1)，該分度線分別以一個(gè)確定的長(zhǎng)度(L)與測(cè)量方向(R)成角度地延伸，并且該分度線分別具有一個(gè)垂直于其延伸方向(E)的確定寬度(B)。根據(jù)本發(fā)明設(shè)置多個(gè)標(biāo)記(10)，該標(biāo)記分別由一個(gè)分度線(1)的寬度(B)在一個(gè)局部范圍里的改變而構(gòu)成，其中該標(biāo)記(10)具有這樣一個(gè)長(zhǎng)度(1)，使得在并且該標(biāo)記具有一個(gè)這樣的長(zhǎng)度(1)，使得在借助于掃描機(jī)構(gòu)(A)掃描分度機(jī)構(gòu)(M)時(shí)由掃描機(jī)構(gòu)(A)產(chǎn)生的掃描信號(hào)不會(huì)受到所述標(biāo)記(10)本質(zhì)性的損害。
文檔編號(hào)G01B11/00GK1616918SQ200410092550
公開(kāi)日2005年5月18日 申請(qǐng)日期2004年11月15日 優(yōu)先權(quán)日2003年11月14日
發(fā)明者H·羅倫茨 申請(qǐng)人:約翰尼斯海登海恩博士股份有限公司