專利名稱：沖擊傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及沖擊(日文ノツク)傳感器，例如涉及安裝在內(nèi)燃機(jī)等的振動發(fā)生部、將內(nèi)燃機(jī)等的沖擊振動變換成電氣信號進(jìn)行檢測的非共振型的沖擊傳感器。
背景技術(shù)：
根據(jù)附圖對以往的沖擊傳感器的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖8是表示一般已知的沖擊傳感器70內(nèi)部結(jié)構(gòu)的剖視圖。用螺栓等安裝在內(nèi)燃機(jī)等的振動發(fā)生部上的金屬制的基座21，由形成螺栓貫通用的孔22的筒部21b和形成在其一端的圓板狀的凸緣部21a構(gòu)成，以與凸緣部21a接觸的狀態(tài)在筒部21b上嵌插有下側(cè)絕緣片7，并在其上依次地嵌插著以下的構(gòu)件。
即是下側(cè)端子板5、在上下面具有整個面電極4a的壓電元件4、上側(cè)端子板6、上側(cè)絕緣片8、配重9。接著，將螺母23與在筒部21b的前端外周面上刻有的陽螺紋部21c螺合，并使用轉(zhuǎn)矩扳手等工具將上述各結(jié)構(gòu)零件以規(guī)定的轉(zhuǎn)矩與凸緣部21a緊固。然后，將端子部14與下側(cè)端子板5和上側(cè)端子板6利用釬焊或電阻焊等進(jìn)行接合，利用樹脂模壓對基座21的筒部21b的內(nèi)周面和兩端面以外的部分進(jìn)行被覆而形成殼體13，另一方面，使取出信號用的連接器部15向殼體13的一側(cè)面突出而成為一體地同時模壓成形的結(jié)構(gòu)。
這種沖擊傳感器，利用插入于設(shè)在基座21的軸向上的貫通孔22中的螺栓例如被安裝在內(nèi)燃機(jī)上。并且，當(dāng)在內(nèi)燃機(jī)上發(fā)生沖擊振動時，構(gòu)成沖擊傳感器的壓電元件4及配重9等的結(jié)構(gòu)構(gòu)件與沖擊振動一體地進(jìn)行振動，將該振動用壓電元件4變換成電壓信號，通過下側(cè)端子板5和上側(cè)端子板6將檢測信號從端子部14向外部輸出。(例如，參照專利文獻(xiàn)1)[專利文獻(xiàn)1] 日本專利特開2002-257624號公報(段落0008～0010，圖1)以往的沖擊傳感器如上所述那樣構(gòu)成，由于將壓電元件4的電極4a設(shè)置在與端子板5、6接觸面的整個面上，故壓電元件4具有的靜電電容根據(jù)壓電元件的厚度和與整個面電極面積相應(yīng)的電平來決定，根據(jù)沖擊振動所取出的輸出信號的電平也被確定成規(guī)定的電平。但是，為了改變根據(jù)沖擊振動所取出的輸出信號的電平，需要改變壓電元件4的厚度或直徑，而在該場合，也就必須改變沖擊傳感器的外形形狀。
因此可知必須部分設(shè)置電極，而不是將整個面電極設(shè)置在壓電元件4的與端子板5、6接觸的面上，但當(dāng)將壓電元件4作成部分電極時，由于在壓電元件4與端子板5、6之間存在與壓電元件的部分電極的厚度相當(dāng)?shù)拈g隙，故存在以下的問題。
即，在壓電元件4進(jìn)行部分電極部的分極處理時，隨此在部分電極周邊的無電極部上也有因分極作用和隨環(huán)境溫度變化的熱電效應(yīng)產(chǎn)生的電荷，在有電極的部分電荷通過端子板5、6逐漸緩慢地放電，而在不存在電極的部分電荷被蓄積。被蓄積在該壓電元件的無電極部上的電荷，以與存在于壓電元件4與端子板5或6之間的間隙相應(yīng)的電壓產(chǎn)生絕緣破壞，向端子板5或6瞬時地放電。
通過該放電而向端子板5或6移動的電荷，以環(huán)流的形態(tài)施加在壓電元件4上。這時，通過施加與壓電元件4的電極極性相同極性的電荷、壓電元件4在分極方向瞬時地伸長，在內(nèi)部產(chǎn)生逆極性的電荷。這樣，在用以往的沖擊傳感器的結(jié)構(gòu)使壓電元件的電極進(jìn)行部分電極化的場合，存在在溫度變化時噪音與沖擊傳感器的輸出重疊的問題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述問題而作成的，其目的在于，在需要以相同的外形形狀提供輸出靈敏度不同的沖擊傳感器的場合，提供能抑制因隨著溫度變化發(fā)生輸出噪音的沖擊傳感器。
本發(fā)明的沖擊傳感器具有有安裝在振動發(fā)生部上的筒部和設(shè)在該筒部的一部分上的凸緣部的基座；嵌插于上述筒部并將上述振動發(fā)生部的沖擊振動變換成電氣信號進(jìn)行檢測的環(huán)狀的壓電元件；分別設(shè)置成與上述壓電元件的兩面接觸的電極；與上述各電極抵接配置、并將上述壓電元件的輸出向外部取出的端子板；以及將上述壓電元件、電極和端子板向上述凸緣部進(jìn)行推壓保持的保持裝置，上述電極形成為與上述壓電元件部分地接觸的狀態(tài)，并在上述壓電元件的與上述電極不接觸的部分上設(shè)有與上述電極大致相同厚度的電氣絕緣性材料。
本發(fā)明的沖擊傳感器，由于采用以上那樣的結(jié)構(gòu)，就能通過改變壓電元件的部分電極面積并改變壓電元件的靜電電容，能以相同的外形形狀獲得輸出靈敏度不同的沖擊傳感器，并能防止因隨著溫度變化的熱電效應(yīng)在壓電元件的無電極部產(chǎn)生的電荷引起的向端子板的放電，在產(chǎn)生溫度變化時也能獲得不使噪音重疊的穩(wěn)定的輸出。
又，能采用將電氣絕緣性材料均勻地向壓電元件或端子板進(jìn)行涂敷的合理的制造方法。
圖1是表示本發(fā)明實施形態(tài)1的沖擊傳感器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的剖視圖。
圖2是表示實施形態(tài)1的壓電元件的結(jié)構(gòu)的圖，(a)是俯視圖，(b)是表示從E-E線的剖面看的剖視圖。
圖3是表示本發(fā)明實施形態(tài)2的沖擊傳感器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的剖視圖。
圖4是表示本發(fā)明實施形態(tài)3的沖擊傳感器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的剖視圖。
圖5是表示本發(fā)明實施形態(tài)4的沖擊傳感器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的剖視圖。
圖6是表示本發(fā)明實施形態(tài)5的沖擊傳感器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的剖視圖。
圖7是表示本發(fā)明實施形態(tài)6的沖擊傳感器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的剖視圖。
圖8是表示以往的沖擊傳感器的結(jié)構(gòu)的剖視圖。
具體實施例方式以下，參照附圖對本發(fā)明的實施形態(tài)1進(jìn)行說明。
圖1是表示本發(fā)明實施形態(tài)1的沖擊傳感器1的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的剖視圖。
沖擊傳感器1作成利用合成樹脂(例如，尼龍66)制的殼體13將所有的結(jié)構(gòu)零件進(jìn)行覆蓋的結(jié)構(gòu)，在上述殼體13中形成有與來自點(diǎn)火時期控制裝置(未圖示)的連接器進(jìn)行連接的連接器部15。
基座2是金屬制的，由具有貫通孔3的筒部2b和設(shè)在其一端部的圓板狀的凸緣部2a構(gòu)成，在凸緣部2a的外周面和筒部2b的前端(圖中上端)外周面上，形成有與殼體13可靠地卡合并能防止從外部的水等進(jìn)入的多個卡合槽11、12。在筒部2b的靠近凸緣部2a的部分嵌插有環(huán)狀的壓電元件4。該壓電元件4的詳細(xì)結(jié)構(gòu)表示在圖2(a)的俯視圖和從其E-E線的剖面看的圖2(b)中。
即，在與壓電元件4的兩面的端子板5、6接觸的面上，形成具有規(guī)定厚度(從數(shù)微米至十幾微米)的部分電極4b，中央的孔部4c嵌插著筒部2b，將通過基座2傳遞的軸向的振動作成電壓信號進(jìn)行輸出。
又，壓電元件4的部分電極4b，成形為不是在壓電元件4的與端子板的整個面、而是與一部分接觸的形狀地進(jìn)行分極處理，壓電元件4具有與其厚度和部分電極4b的面積相應(yīng)的靜電電容，成為決定沖擊傳感器1的輸出靈敏度的要素。
又，在壓電元件4表面的無電極部、即存在于未設(shè)有部分電極4b的部分與端子板5和6之間的、與壓電元件4的部分電極4b的厚度相當(dāng)?shù)拈g隙中充滿著電氣絕緣性材料A。作為該電氣絕緣性材料A，采用硅膠或硅油是適當(dāng)?shù)摹τ谠趬弘娫?的電極形成面上涂敷電氣絕緣性材料A的方法，有在排出規(guī)定的材料的分配器的排出口下方使壓電元件4進(jìn)行旋轉(zhuǎn)對規(guī)定的涂敷面均勻地進(jìn)行涂敷的方法及將壓電元件4進(jìn)行固定、使分配器以規(guī)定的軌跡進(jìn)行移動地涂敷的方法等。
另外，也可以采用使規(guī)定的材料向旋轉(zhuǎn)滾子滴下、使壓電元件4通過旋轉(zhuǎn)滾子間而在上下的電極形成面上同時進(jìn)行涂敷的方法。
利用導(dǎo)電性金屬板形成下側(cè)端子板5，在被嵌插于基座2的筒部2b上的狀態(tài)下，從壓電元件4的下面與部分電極4b抵接。又，上側(cè)端子板6利用導(dǎo)電性金屬板形成，在被嵌插于基座2的筒部2b上的狀態(tài)下，從壓電元件4的上面與部分電極4b抵接。
在下側(cè)端子板5與凸緣部2a之間，配設(shè)著將薄的板狀的絕緣樹脂形成圓環(huán)狀的下側(cè)絕緣片7，對下側(cè)端子板5與凸緣部2a進(jìn)行絕緣。又，同樣地，在上側(cè)端子板6的上面，載置著將薄的板狀的絕緣樹脂形成圓環(huán)狀的上側(cè)絕緣片8，對上側(cè)端子板6與后述的配重9進(jìn)行絕緣。
配重9是對壓電元件4施加振力用的構(gòu)件，形成環(huán)狀并被嵌插在基座2的筒部2b上，被設(shè)在上側(cè)絕緣片8的上側(cè)。螺母23與在筒部2b的前端外周面上刻有的陽螺紋部2c螺合，以規(guī)定的緊固轉(zhuǎn)矩將嵌插于筒部2b上的下側(cè)絕緣片7、下側(cè)端子板5、壓電元件4、上側(cè)端子板6、上側(cè)絕緣片8、配重9進(jìn)行緊固，在與凸緣部2a之間以夾壓保持的狀態(tài)進(jìn)行固定。
其結(jié)果，在壓電元件4的電極形成面上涂敷的電氣絕緣性材料A，在存在于壓電元件4的電極形成面的無電極部與端子板5和6之間的、與壓電元件4的部分電極4b的厚度相當(dāng)?shù)拈g隙中進(jìn)行流動并充滿。然后，將端子部14與上側(cè)端子板6利用釬焊或電阻焊等進(jìn)行接合，利用樹脂模壓對基座2的筒部2b的內(nèi)周面和兩端面以外的部分進(jìn)行被覆而形成殼體13，另一方面，使取出信號用的連接器部15向殼體13的一側(cè)面突出而成為一體地同時模壓成形的結(jié)構(gòu)。
這樣，實施形態(tài)1的沖擊傳感器在壓電元件4的電極形成面上形成有部分電極4b，并在存在于無電極部與端子板5、6之間的、與壓電元件的部分電極厚度相當(dāng)?shù)拈g隙中充滿電氣絕緣性材料A。
采用這樣的結(jié)構(gòu)，就能改變部分電極4b的電極面積并改變壓電元件的靜電電容，能以相同的外形形狀獲得輸出靈敏度不同的沖擊傳感器，又，能防止因隨著溫度變化的熱電效應(yīng)在壓電元件的無電極部產(chǎn)生的電荷引起的向端子板的放電，在產(chǎn)生溫度變化時也能獲得不使噪音重疊的穩(wěn)定的輸出。
接著，根據(jù)附圖對本發(fā)明實施形態(tài)2進(jìn)行說明。
圖3是表示本發(fā)明實施形態(tài)2的沖擊傳感器20的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的剖視圖。
實施形態(tài)2與實施形態(tài)1是同樣的結(jié)構(gòu)，但在存在于壓電元件4的電極形成面的無電極部與端子板5及6之間的、與壓電元件4的部分電極4b的厚度相當(dāng)?shù)拈g隙中充滿導(dǎo)電性粘接劑B。作為導(dǎo)電性粘接劑B，采用含有導(dǎo)電性金屬粉的環(huán)氧系粘接劑是適當(dāng)?shù)摹?br>
為了將導(dǎo)電性粘接劑B涂敷在壓電元件4的電極形成面上，有在排出規(guī)定的材料的分配器的排出口下方使壓電元件4進(jìn)行旋轉(zhuǎn)對規(guī)定的涂敷面均勻地進(jìn)行涂敷的方法及將壓電元件4進(jìn)行固定、使分配器以規(guī)定的軌跡進(jìn)行移動地涂敷的方法等。
在壓電元件4的電極面上涂敷導(dǎo)電性粘接劑B后，與實施形態(tài)1同樣，在基座的筒部2b上，從下方起依次嵌插下側(cè)絕緣片7、下側(cè)端子板5、壓電元件4、上側(cè)端子板6、上側(cè)絕緣片8、配重9，并疊積在凸緣部2a上。
然后，將與在筒部2b的前端外周面上刻有的陽螺紋部2c螺合的螺母23使用轉(zhuǎn)矩扳手緊固頭等的工具以規(guī)定的轉(zhuǎn)矩加以緊固，以使上述結(jié)構(gòu)零件與凸緣部2a之間夾壓保持的狀態(tài)進(jìn)行固定。其結(jié)果，在壓電元件4的電極形成面上涂敷的導(dǎo)電性粘接劑B，在存在于壓電元件4的電極形成面的無電極部與端子板5和6之間的、與壓電元件4的部分電極4b的厚度相當(dāng)?shù)拈g隙中進(jìn)行流動并充滿。
在該狀態(tài)下，在從100℃至120℃程度的干燥爐中加熱數(shù)小時，使導(dǎo)電性粘接劑B干燥。然后，將端子部14與下側(cè)端子板5、上側(cè)端子板6利用釬焊或電阻焊等進(jìn)行接合，利用樹脂模壓對基座2的筒部2b的內(nèi)周面和兩端面以外的部分進(jìn)行被覆而形成殼體13，另一方面，使取出信號用的連接器部15向殼體13的一側(cè)面突出、而成為一體地同時模壓成形的結(jié)構(gòu)。
這樣，實施形態(tài)2的沖擊傳感器，在壓電元件4的電極形成面上形成有部分電極4b，并在存在于電極形成面的無電極部與端子板5、6之間的、與壓電元件的部分電極厚度相當(dāng)?shù)拈g隙中充滿導(dǎo)電性粘接劑B。
采用這樣的結(jié)構(gòu)，就能改變部分電極4b的電極面積并改變壓電元件的靜電電容，能以相同的外形形狀獲得使輸出靈敏度不同的沖擊傳感器，又，因隨著溫度變化的熱電效應(yīng)在壓電元件的無電極部產(chǎn)生的電荷隨時經(jīng)過導(dǎo)電性粘接劑B向端子板移動、并由于在壓電元件的無電極部與端子板間不產(chǎn)生放電，故在產(chǎn)生溫度變化時也能獲得不使噪音重疊的穩(wěn)定的輸出。又，能采用將導(dǎo)電性粘接劑B合理且均勻地向壓電元件進(jìn)行涂敷的制造方法。
接著，根據(jù)附圖對本發(fā)明實施形態(tài)3進(jìn)行說明。圖4是表示本發(fā)明實施形態(tài)3的結(jié)構(gòu)的剖視圖。在實施形態(tài)3的沖擊傳感器中，在存在于壓電元件4的電極形成面上的無電極部與端子板5及6之間的、與壓電元件4的部分電極4b的厚度相當(dāng)?shù)拈g隙中充滿含有粒徑比其間隙小的填料的電氣絕緣性材料C。其它的結(jié)構(gòu)由于與實施形態(tài)1相同，故省略其說明。又，制造方法能采用與實施形態(tài)1同樣的制造方法，但由于電氣絕緣性材料C中的填料在上述的間隙內(nèi)不粉碎地分散，故能不損害電氣絕緣性材料C所具有的物理性能地充滿于上述間隙中。
接著，根據(jù)附圖對本發(fā)明實施形態(tài)4進(jìn)行說明。
圖5是表示本發(fā)明實施形態(tài)4的沖擊傳感器40的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的剖視圖。
實施形態(tài)4的沖擊傳感器與實施形態(tài)1的沖擊傳感器大致同樣，但將彈簧10位于配重9上那樣地嵌插在基座2的筒部2b上。
由于螺母23通過彈簧10將嵌插于筒部2b上的下側(cè)絕緣片7、下側(cè)端子板5、壓電元件4、上側(cè)端子板6、上側(cè)絕緣片8、配重9夾壓保持在與凸緣部2a之間，故能可靠地進(jìn)行緊固固定。
然后，將端子部14與下側(cè)端子板5、上側(cè)端子板6利用釬焊或電阻焊等進(jìn)行接合，利用樹脂模壓對基座2的筒部2b的內(nèi)周面和兩端面以外的部分進(jìn)行被覆而形成殼體13，另一方面，使取出信號用的連接器部15向殼體13的一側(cè)面突出，而成為一體地同時模壓成形的結(jié)構(gòu)。
另外，圖5中表示了在與壓電元件4的部分電極4b的厚度相當(dāng)?shù)拈g隙中充滿了電氣絕緣性材料A的例子，但即使充滿導(dǎo)電性粘接劑B來代替電氣絕緣性材料A也能期待同樣的效果。
接著，根據(jù)附圖對本發(fā)明實施形態(tài)5進(jìn)行說明。
圖6是表示本發(fā)明實施形態(tài)5的沖擊傳感器50的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的剖視圖。
實施形態(tài)5的沖擊傳感器與實施形態(tài)1的沖擊傳感器大致同樣，但將擋圈24取代螺母23而嵌插于基座2的筒部2b上，在將在筒部2b上嵌插的配重9、上側(cè)絕緣片8、上側(cè)端子板6、壓電元件4、下側(cè)端子板5、下側(cè)絕緣片7夾壓保持在與基座2的凸緣部2a之間的狀態(tài)下，鉚接固定在筒部2b的槽25上。
然后，將端子部14與下側(cè)端子板5、上側(cè)端子板6利用釬焊或電阻焊等進(jìn)行接合，利用樹脂模壓對基座2的筒部2b的內(nèi)周面和兩端面以外的部分進(jìn)行被覆而形成殼體13，另一方面，使取出信號用的連接器部15向殼體13的一側(cè)面突出，而成為一體地同時模壓成形的結(jié)構(gòu)。
另外，圖6中表示了在與壓電元件4的部分電極的厚度相當(dāng)?shù)拈g隙中充滿了電氣絕緣性材料A的例子，但即使充滿導(dǎo)電性粘接劑B來代替電氣絕緣性材料A也能期待同樣的效果。
接著，根據(jù)附圖對本發(fā)明實施形態(tài)6進(jìn)行說明。
圖7是表示本發(fā)明實施形態(tài)6的沖擊傳感器60的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的剖視圖。
實施形態(tài)6的沖擊傳感器與實施形態(tài)5的沖擊傳感器大致同樣，但在與筒部2b鉚接固定的擋圈24與配重9之間嵌入作成盤簧的彈簧10，通過盤簧10將配重9、上側(cè)絕緣片8、上側(cè)端子板6、壓電元件4、下側(cè)端子板5、下側(cè)絕緣片7夾壓保持在與基座的凸緣部2a之間。
然后，將端子部14與下側(cè)端子板5、上側(cè)端子板6利用釬焊或電阻焊等進(jìn)行接合，利用樹脂模壓對基座2的筒部2b的內(nèi)周面和兩端面以外的部分進(jìn)行被覆而形成殼體13，另一方面，使取出信號用的連接器部15向殼體13的一側(cè)面突出，而成為一體地同時模壓成形的結(jié)構(gòu)。
另外，圖7中表示了在與壓電元件4的部分電極的厚度相當(dāng)?shù)拈g隙中充滿了電氣絕緣性材料A的例子，但即使充滿導(dǎo)電性粘接劑B來代替電氣絕緣性材料A也能期待同樣的效果。
權(quán)利要求
1.一種沖擊傳感器，其特征在于，具有有安裝在振動發(fā)生部上的筒部和設(shè)在該筒部的一部分上的凸緣部的基座；嵌插于上述筒部并將上述振動發(fā)生部的沖擊振動變換成電氣信號進(jìn)行檢測的環(huán)狀的壓電元件；分別設(shè)置成與上述壓電元件的兩面接觸的電極；與上述各電極抵接配置、并將上述壓電元件的輸出向外部取出的端子板；以及將上述壓電元件、電極和端子板向上述凸緣部進(jìn)行推壓保持的保持裝置，上述電極形成為與上述壓電元件部分地接觸的狀態(tài)，并在上述壓電元件的與上述電極不接觸的部分上設(shè)有與上述電極大致相同厚度的電氣絕緣性材料。
2.一種沖擊傳感器，其特征在于，具有有安裝在振動發(fā)生部上的筒部和設(shè)在該筒部的一部分上的凸緣部的基座；嵌插于上述筒部并將上述振動發(fā)生部的沖擊振動變換成電氣信號進(jìn)行檢測的環(huán)狀的壓電元件；分別設(shè)置成與上述壓電元件的兩面接觸的電極；與上述各電極抵接配置、并將上述壓電元件的輸出向外部取出的端子板；以及將上述壓電元件、電極和端子板向上述凸緣部進(jìn)行推壓保持的保持裝置，上述電極形成為與上述壓電元件部分地接觸的狀態(tài)，并在上述壓電元件的與上述電極不接觸的部分上設(shè)有與上述電極大致相同厚度的導(dǎo)電性粘接劑。
3.如權(quán)利要求1所述的沖擊傳感器，其特征在于，上述電氣絕緣性材料，包含不超過上述電極厚度的粒徑的填料。
4.如權(quán)利要求1～3中任一項所述的沖擊傳感器，其特征在于，上述保持裝置，通過在與上述端子板之間所設(shè)置的配重和配設(shè)在上述配重上的環(huán)狀彈簧將壓電元件、電極和端子板向凸緣部推壓。
5.如權(quán)利要求1～3中任一項所述的沖擊傳感器，其特征在于，上述保持裝置被鉚接固定在上述筒部上。
6.如權(quán)利要求1～3中任一項所述的沖擊傳感器，其特征在于，上述保持裝置，通過在與上述端子板之間所設(shè)置的配重和配設(shè)在上述配重上的環(huán)狀彈簧將壓電元件、電極和端子板向凸緣部推壓，并被鉚接固定在上述筒部上。
全文摘要
本發(fā)明的沖擊傳感器，具有有安裝在振動發(fā)生部上的筒部(2b)和設(shè)在該筒部的一部分上的凸緣部(2a)的基座；嵌插于上述筒部并將上述振動發(fā)生部的沖擊振動變換成電氣信號進(jìn)行檢測的環(huán)狀的壓電元件(4)；分別設(shè)置成與上述壓電元件的兩面接觸的電極(4b)；與上述各電極抵接配置、并將上述壓電元件的輸出向外部取出的端子板(5、6)；以及將上述壓電元件、電極和端子板向上述凸緣部進(jìn)行推壓保持的保持裝置(23)，上述電極(4b)形成為與上述壓電元件(4)部分地接觸的狀態(tài)，并在上述壓電元件的與上述電極不接觸的部分上設(shè)有與上述電極大致相同厚度的電氣絕緣性材料(A)。
文檔編號G01L23/10GK1690673SQ200410104998
公開日2005年11月2日 申請日期2004年12月24日 優(yōu)先權(quán)日2004年4月20日
發(fā)明者柴田治昌, 橫井章人, 三宅惠三, 稻葉秀弘 申請人:三菱電機(jī)株式會社, 富士陶磁器株式會社