專利名稱：彩色顯像管殘余氣體分析設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及彩色顯像管制造，尤其涉及一種對彩色顯像管真空質(zhì)量的殘余氣體分析的裝置。
背景技術(shù)：
彩色顯像管是電視機(jī)的核心部件，而陰極又是彩色顯像管的“心臟”，其發(fā)射電子能力的衰退將會引起圖像亮度下降、對比度淡化、清晰度變差，最終導(dǎo)致“壽終”即失效。研究表明，陰極發(fā)射不良往往是由于管內(nèi)真空質(zhì)量惡化，引起陰極中毒、濺散而造成的。成品顯像管內(nèi)的真空狀態(tài)屬于“準(zhǔn)靜態(tài)”。管內(nèi)真空的量與質(zhì)，不僅取決于封離真空度、吸氣劑的吸氣能力，還與管內(nèi)氣源包括管內(nèi)材料放氣或管殼漏氣密切相關(guān)。在大生產(chǎn)中，考慮到生產(chǎn)效率，封離真空度不可能很高；吸氣劑的吸氣容量也是有限度的；為長期保持管內(nèi)良好的真空質(zhì)量，必須重點研究管內(nèi)氣源，以便采取有效的改善措施。
掃屏放氣是顯像管內(nèi)的主要氣源。實測發(fā)現(xiàn)，掃屏?xí)r的放氣速率是不掃屏?xí)r的數(shù)倍、數(shù)十倍甚至上百倍。掃屏一小時內(nèi)所釋放出的氣體量相當(dāng)于甚至超過顯像管內(nèi)空間殘氣的總量。在現(xiàn)有技術(shù)中常用的殘氣分析設(shè)備，僅能測出管內(nèi)空間的殘氣種類及其分壓強(qiáng)或百分含量為靜態(tài)，它不足以全面地反映管子的真空質(zhì)量。
經(jīng)大量試驗發(fā)現(xiàn)，所有彩色顯像管掃屏?xí)r釋放的主要氣體是H2和N2。屏幕內(nèi)的有機(jī)膜殘留物是彩色顯像管掃屏?xí)r的主要氫源，少量吸附在蔭罩和鋁膜表面的H2解析以及H2O的裂解也是彩色顯像管掃屏?xí)r的氫源。彩色顯像管掃屏?xí)r釋放出的N2則大部分來自熒光粉層內(nèi)。彩色顯像管掃屏?xí)r釋放的H2和N2的釋放量及其隨時間的變化情況，是與彩色顯像管真空質(zhì)量的優(yōu)劣有著明顯的差異。

發(fā)明內(nèi)容
本實用新型的任務(wù)是提供一種彩色顯像管殘余氣體分析設(shè)備，它解決了現(xiàn)有技術(shù)的殘氣分析設(shè)備不能全面反映管子真空質(zhì)量的問題。
本實用新型的技術(shù)方案如下一種彩色顯像管殘余氣體分析設(shè)備，將彩色顯像管與其連接，所述分析設(shè)備包括抽氣裝置、質(zhì)譜分析裝置和取樣裝置；所述抽氣裝置包括順序相連的機(jī)械泵、吸附阱和分子泵，分子泵的進(jìn)口端分別通過管路與質(zhì)譜分析裝置和取樣裝置連通；所述質(zhì)譜分析裝置包括四極質(zhì)譜計、超高真空電離規(guī)、濺散離子泵和質(zhì)譜分析室，四極質(zhì)譜計、超高真空電離規(guī)和濺散離子泵分別通過管路與質(zhì)譜分析室連通，質(zhì)譜分析室還通過管路分別與抽氣裝置的分子泵和取樣裝置連通；所述取樣裝置為取樣管道，取樣裝置與取樣玻管連通，取樣玻管與彩色顯像管連接，取樣裝置的進(jìn)氣端與彩色顯像管相連通，取樣裝置的出氣端與質(zhì)譜分析裝置相連通。
利用本實用新型的彩色顯像管殘余氣體分析設(shè)備，能分析出彩色顯像管內(nèi)的殘余氣體成分及其分壓力，還能在較短時間內(nèi)測量出彩色顯像管的掃屏放氣性能，用其判定彩色顯像管的內(nèi)在真空質(zhì)量，進(jìn)而判定或比較制屏工藝與材料包括排氣工藝與設(shè)備的優(yōu)劣，預(yù)估因真空因素導(dǎo)致失效的整管壽命水平，信息反饋速度快，更能及時地反映工藝或材料變更對成品管帶來的影響，具有實際應(yīng)用價值。


附圖是本實用新型的一種彩色顯像管殘余氣體分析設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
請參見附圖，本實用新型的一種彩色顯像管殘余氣體分析設(shè)備主要由抽氣裝置1、質(zhì)譜分析裝置2和取樣裝置3三部分組成，將被測彩色顯像管9與本分析設(shè)備連接。
抽氣裝置1包括順序相連的機(jī)械泵11、吸附阱12和分子泵13，分子泵13的進(jìn)口端通過閥門4與質(zhì)譜分析裝置的質(zhì)譜分析室23連通，并通過閥門5與取樣裝置3連通。
質(zhì)譜分析裝置2包括四極質(zhì)譜計(QMS)21及其探頭、超高真空電離規(guī)22、質(zhì)譜分析室23和濺散離子泵24。四極質(zhì)譜計21、超高真空電離規(guī)22和濺散離子泵24分別通過管路與質(zhì)譜分析室23連通，質(zhì)譜分析室23還通過管路分別與抽氣裝置的分子泵13和取樣裝置3連通。
在質(zhì)譜分析室23與四極質(zhì)譜計21、超高真空電離規(guī)22、濺散離子泵24和分子泵13相連接的連通管路上設(shè)有全金屬超高真空角閥4、6、7、8。分子泵13與取樣裝置3的連通管路上設(shè)有超高真空角閥5。質(zhì)譜分析裝置2中的四極質(zhì)譜計21、閥門4、6、7、8及相關(guān)管道經(jīng)過長期烘烤后，利用濺散離子泵24能始終維持在超高真空狀態(tài)下。即使在更換被測彩色顯像管9并對取樣裝置玻管單獨進(jìn)行烘烤除氣期間，閥門4、6也不打開，以保持質(zhì)譜分析裝置2不受污染。
取樣裝置3為取樣管道，取樣裝置3的進(jìn)氣端與取樣玻管連通，取樣玻管與被測彩色顯像管9連接，取樣裝置3的出氣端與質(zhì)譜分析裝置2相連通。取樣裝置3的出氣端通過閥門6與質(zhì)譜分析裝置的質(zhì)譜分析室23連通，濺散離子泵24通過閥門8與質(zhì)譜分析室23連通，四極質(zhì)譜計21通過閥門7與質(zhì)譜分析室23連通，超高真空電離規(guī)22直接與質(zhì)譜分析室23連通。在取樣管道上纏繞有絕緣加熱帶32。取樣裝置3的取樣管道上設(shè)有吹氣尾管31，吹氣尾管31在取樣裝置與取樣玻管連通后熔封。
質(zhì)譜分析裝置2中的四極質(zhì)譜計21為四極智能化質(zhì)譜計，用它可進(jìn)行殘氣成分分析和分壓力測量。由于該儀器設(shè)計獨特，電腦屏幕上不僅可適時地給出真空裝置內(nèi)設(shè)定氣體的分壓力，還可同時顯示“總壓力”數(shù)值。由于殘氣分析和掃屏放氣性能分別采用“靜態(tài)膨脹法”和“靜態(tài)定容法”測試，為了避免超高真空電離規(guī)吸放氣效應(yīng)對測試結(jié)果的影響，在測試過程中，超高真空電離始終關(guān)閉，僅用四極智能化質(zhì)譜計自動采集和貯存不斷變化著的總壓力和各設(shè)定氣體的分壓力數(shù)據(jù)。
本裝置測試用的掃屏電源為數(shù)顯式彩色顯像管通用電源，其參數(shù)可調(diào)，穩(wěn)定可靠。
權(quán)利要求1.一種彩色顯像管殘余氣體分析設(shè)備，將彩色顯像管與其連接，其特征在于所述分析設(shè)備包括抽氣裝置、質(zhì)譜分析裝置和取樣裝置；所述抽氣裝置包括順序相連的機(jī)械泵、吸附阱和分子泵，分子泵的進(jìn)口端分別通過管路與質(zhì)譜分析裝置和取樣裝置連通；所述質(zhì)譜分析裝置包括四極質(zhì)譜計、超高真空電離規(guī)、濺散離子泵和質(zhì)譜分析室，四極質(zhì)譜計、超高真空電離規(guī)和濺散離子泵分別通過管路與質(zhì)譜分析室連通，質(zhì)譜分析室還通過管路分別與抽氣裝置的分子泵和取樣裝置連通；所述取樣裝置為取樣管道，取樣裝置與取樣玻管連通，取樣玻管與彩色顯像管連接，取樣裝置的進(jìn)氣端與彩色顯像管相連通，取樣裝置的出氣端與質(zhì)譜分析裝置相連通。
2.如權(quán)利要求1所述的彩色顯像管殘余氣體分析設(shè)備，其特征在于所述質(zhì)譜分析室與四極質(zhì)譜計、超高真空電離規(guī)、濺散離子泵和分子泵相連接的連通管路上設(shè)有超高真空角閥。
3.如權(quán)利要求1所述的彩色顯像管殘余氣體分析設(shè)備，其特征在于所述分子泵與取樣裝置的連通管路上設(shè)有超高真空角閥。
4.如權(quán)利要求1所述的彩色顯像管殘余氣體分析設(shè)備，其特征在于所述取樣管道上纏繞有絕緣加熱帶。
5.如權(quán)利要求1所述的彩色顯像管殘余氣體分析設(shè)備，其特征在于所述取樣裝置的取樣管道上設(shè)有吹氣尾管，吹氣尾管在取樣裝置與取樣玻管連通后熔封。
6.如權(quán)利要求1所述的彩色顯像管殘余氣體分析設(shè)備，其特征在于所述四極質(zhì)譜計為四極智能化質(zhì)譜計。
專利摘要本實用新型提供了一種彩色顯像管殘余氣體分析設(shè)備，它包括抽氣裝置、質(zhì)譜分析裝置和取樣裝置。抽氣裝置包括順序相連的機(jī)械泵、吸附阱和分子泵，分子泵的進(jìn)口端分別通過管路與質(zhì)譜分析裝置和取樣裝置連通。質(zhì)譜分析裝置包括四極質(zhì)譜計、超高真空電離規(guī)、濺散離子泵和質(zhì)譜分析室，四極質(zhì)譜計、超高真空電離規(guī)和濺散離子泵分別通過管路與質(zhì)譜分析室連通，質(zhì)譜分析室還通過管路分別與抽氣裝置的分子泵和取樣裝置連通。取樣裝置為取樣管道。利用本分析設(shè)備能分析出彩色顯像管內(nèi)的殘余氣體成分及其分壓力，還能在較短時間內(nèi)測量出彩色顯像管的掃屏放氣性能，用其判定彩色顯像管的內(nèi)在真空質(zhì)量，進(jìn)而判定或比較制屏工藝與材料包括排氣工藝與設(shè)備的優(yōu)劣，預(yù)估因真空因素導(dǎo)致失效的整管壽命水平，具有實際應(yīng)用價值。
文檔編號G01N30/72GK2757130SQ20042011085
公開日2006年2月8日 申請日期2004年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月8日
發(fā)明者錢永生 申請人:上海永新彩色顯像管股份有限公司