專利名稱：測量電阻的連接器、連接器設(shè)備及其生產(chǎn)方法及電路板的電阻測量裝置和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及測量電阻的連接器、測量電阻的連接器設(shè)備及其生產(chǎn)方法，以及電路板的電阻的測量裝置和測量方法。
背景技術(shù)：
近年來，隨著加速電子部件和包含這種部件的電子設(shè)備中的信號傳輸?shù)男枨?，要求將電阻低的電極間的布線開發(fā)成用于制作LSI封裝，諸如BGA和CSP或安裝這些半導(dǎo)體器件的電路板。因此，在電路板的電檢查中，高精度地測量這種電路板的電極間的布線的電阻非常重要。
在測量電路板的電阻的過程中，因此，例如采用四探針方法，其中，將用于電流的探針PA和PD以及用于電壓測量的探針PB和PC壓向并分別有在待檢查的電路板90中彼此電連接的待檢查的2個電極91和92相接觸，如圖37所示，在這種情況下，從電流設(shè)備93向用于電流供應(yīng)的探針PA和PD間提電流供應(yīng)流，以及在電信號處理器94中處理此時由用于電壓測量的探針PB和PC檢測的電壓信號，從而找出待檢查的電極91和92之間的電阻值。
在上述方法中，然而，由于將用于電流供應(yīng)的探針PA和PD以及用于電壓測量的探針PB和PC壓在電極上，待檢查的電極91和92的表面會被損壞，因為需要通過相當高的壓力將探針分別與待檢查的電極91和92相接觸，而探針由金屬制成并且其尖端很尖。因此，不可能使用該電路板。在這種情況下，不能在提供為產(chǎn)品的所有電路板上執(zhí)行電阻的測量，因此，該方法不能有助于采用所謂的采樣檢查。最終，不能增加產(chǎn)品的成品率。
為解決這種問題，迄今已經(jīng)建議了電阻測量裝置，其中，與待檢查的電極接觸的連接件由導(dǎo)電彈性體制成。具體地，已知(i)電阻測量裝置，其中，分別在用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極處，排列由通過結(jié)合導(dǎo)電顆粒和彈性體而獲得的導(dǎo)電橡膠形成的彈性連接件(見下述現(xiàn)有技術(shù)1)，(ii)電阻測量裝置，具有所提供的共用彈性連接件以便與電連接到待檢查的相同電極的用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極的表面接觸并且由各向異性導(dǎo)電彈性體制成(見下述現(xiàn)有技術(shù)2)，(iii)電阻測量裝置，包括在其表面上形成多個檢查電極的用于檢查的電路板，以及在用于檢查的電路板的表面上提供的并由導(dǎo)電彈性體形成的彈性連接件，其中在待檢查的電極已經(jīng)通過連接件電連接到多個檢查電極的情況下，選擇檢查電極的2個電極，將兩個電極中的一個用作電流供應(yīng)的電極，以及另一個用作電壓測量的電極以便測量電阻(見下述現(xiàn)有技術(shù)3)等等。
根據(jù)這種電阻測量裝置，通過彈性連接件將用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極與待檢查的電路板的待檢查的電極相接觸，從而實現(xiàn)電連接，以便在不損壞待檢查的電極的情況下，實施電阻的測量。
然而，通過結(jié)構(gòu)(i)和(ii)的電阻測量裝置測量電極間的電阻包含下述問題。
近年來，為實現(xiàn)高度集成化的目的，電路板中的電極的大小和間距或電極間距離已經(jīng)趨向于變小。然而，在結(jié)構(gòu)(i)和(ii)的電阻測量裝置中，需要分別通過彈性連接件，將用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極同時電連接到將要測量其電阻的待檢查的電路板中的待檢查的電極。在用于測量有關(guān)待檢查的電路板的電阻的電阻測量裝置中，在電路板上高密度地排列待檢查的小尺寸電極，因此需要在等于或小于由待檢查的電極占用的區(qū)域的面積的區(qū)域中，以彼此分開的狀態(tài)來形成對應(yīng)于待檢查的小尺寸電極的每一個的用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極，即，在以極其短的距離彼此分開的情況下，形成尺寸上小于待檢查的電極的用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極。
另一方面，為提高生產(chǎn)率，采用生產(chǎn)由通過板材相互連接的多個電路板組成的組合電路板的電路板生產(chǎn)方法，將在這種情況下，共同實施對于組合電路板中的各個電路板的電檢查，然后切割組合電路板從而生產(chǎn)彼此分開的多個電路板。
然而，作為檢查目標的組合電路板的面積相當大，以及待檢查的電極的數(shù)量也極其大。特別是當生產(chǎn)多層電路板時，在其生產(chǎn)過程中的步驟的數(shù)量大，以及通過熱處理而經(jīng)受熱滯后的次數(shù)大，以致通常在與預(yù)定排列位置不對準的情況下形成待檢查的電極。當對面積大而且具有如上所述，與預(yù)定排列位置不對準的情況下形成的待檢查的大量電極的待檢查的電路板執(zhí)行電阻測量時，通過結(jié)構(gòu)(i)和(ii)的電阻測量裝置，極其難以將用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極同時電連接到待檢查的每一個電極。
通過具體的例子來描述。當如圖38所示，當測量具有300μm直徑L的待檢查電極T的電阻時，要電連接到待檢查的電極T的用于電流供應(yīng)的電極A和用于電壓測量的電極V之間的間隙D為約150μm。如圖38所示，當如圖39(a)和39(b)所示，待檢查的電路板成一直線，在排列用于電流供應(yīng)的電極A和用于電壓測量的電壓V的方向(該圖中為橫向方向)中，待檢查的電極T相對于用于電流供應(yīng)的電極A和用于電壓測量的電極V的位置偏離規(guī)定位置75μm時，不能實現(xiàn)用于電流供應(yīng)的電極A和用于電壓測量的電壓V的任何一個與待檢查的電極T間的電連接，因此，不能實現(xiàn)電阻的必要測量。
另一方面，根據(jù)電阻測量裝置(iii)，不需要對應(yīng)于待檢查的電極的每一個，形成用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極，即使當將要測量其電阻的待檢查的電路板面積大，并且具有待檢查的大量電極，以及待檢查的電極尺寸小并且高密度排列時，對待檢查的電極的不對準的容差變高。另外，很容易生產(chǎn)這種電阻測量裝置。
由于這種電阻測量裝置是根據(jù)所謂的偽四探針方法的測量裝置，然而，測量誤差范圍大，從而難以高精度地執(zhí)行對于電極之間的電阻低的電路板的電阻測量。
現(xiàn)有技術(shù)1日本專利申請公開號No.26446/1997；現(xiàn)有技術(shù)2日本專利申請公開號No.2000-74965；現(xiàn)有技術(shù)3日本專利申請公開號No.2000-241485。

發(fā)明內(nèi)容
基于上述情形，已經(jīng)做出了本發(fā)明，以及本發(fā)明的第一目的是提供用于測量電阻的連接器，通過該連接器，即使當待檢查的電路板面積大并具有大量待檢查的小尺寸電極時，也一定能實現(xiàn)對于將要測量其電阻的待檢查的電路板的必要電連接，以及一定能高精度地執(zhí)行期望的電阻測量。
本發(fā)明的第二目的是提供用于測量電阻的連接器裝置，通過該裝置，即使當待檢查的電路板面積大并具有大量待檢查的小尺寸電極時，也一定能實現(xiàn)對于將要測量其電阻的待檢查的電路板的必要電連接，以及一定能高精度地執(zhí)行期望的電阻測量，即使由于環(huán)境改變，諸如由溫度改變引起的熱滯后，也能穩(wěn)定地保持良好的電連接。
本發(fā)明的第三目的是提供用于有利地生產(chǎn)用于測量電阻的上述連接器裝置的方法。
本發(fā)明的第四目的是提供用于電路板的電阻測量裝置，通過該裝置，即使當待檢查的電路板面積大并具有大量待檢查的小尺寸電極時，也一定能實現(xiàn)對于將要測量其電阻的待檢查的電路板的必要電連接，以及一定能高精度地執(zhí)行期望的電阻測量。
本發(fā)明的第五目的是提供用于電路板的電阻測量方法，通過該方法，即使當待檢查的電路板面積大并具有大量待檢查的小尺寸電極時，也一定能實現(xiàn)對于將要測量其電阻的待檢查的電路板的必要電連接，以及一定能高精度地執(zhí)行期望的電阻測量。
根據(jù)本發(fā)明，提供一種用于測量電阻的連接器，包括絕緣襯底和根據(jù)對應(yīng)于將要測量其電阻的待檢查的電路板中的待檢查的多個電極的圖案的圖案，排列在絕緣襯底的前表面上的多個連接電極組。
其中，連接電極組的每一個由彼此分離的情況下排列的用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極的至少3個電極組成，這些電極的至少一個是用于電流供應(yīng)的電極，以及其至少一個是用于電壓測量的電極。
根據(jù)本發(fā)明，還提供一種用于測量電阻的連接器，包括絕緣襯底和根據(jù)對應(yīng)于將要測量其電阻的待檢查的電路板中的待檢查的多個電極的圖案的圖案，排列在絕緣襯底的前表面上的多個連接電極組。
其中，連接電極組的每一個由位于矩形中的相對角的頂點位置處的用于電流供應(yīng)的2個電極和位于另一相對角的頂點位置處的用于電壓測量的2個電極組成，在彼此分開的情況下排列所述電極。
根據(jù)本發(fā)明，進一步提供一種用于測量電阻的連接器，包括絕緣襯底和根據(jù)對應(yīng)于將要測量其電阻的待檢查的電路板中的待檢查的多個電極的圖案的圖案，排列在絕緣襯底的前表面上的多個連接電極組。
其中，連接電極組的每一個由用于電壓測量的電極、用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極的3個電極組成，在彼此分開的情況下排列以便按此順序排成一行。
根據(jù)本發(fā)明，進一步提供一種用于測量電阻的連接器，包括絕緣襯底和根據(jù)對應(yīng)于將要測量其電阻的待檢查的電路板中的待檢查的多個電極的圖案的圖案，排列在絕緣襯底的前表面上的多個連接電極組，其中，連接電極組的每一個由用于電流供應(yīng)的電極、用于電壓測量的電極和用于電流供應(yīng)的電極的3個電極組成，在彼此分開的情況下排列以便按此順序排成一行。
在具有每個由如上述方式排列的3個電極組成的連接電極組的用于測量電阻的連接器中，連接電極組中用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極的每一個最好具有在垂直于這些電極的排列方向的方向上長的形狀。
在根據(jù)本發(fā)明的用于測量電阻的連接器中，在絕緣襯底的后表面上排列電連接到用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極的任何一個的多個中繼電極。
這種用于測量電阻的連接器最好具有電連接到多個用于電流供應(yīng)的電極的中繼電極。
根據(jù)本發(fā)明，提供一種用于測量電阻的連接器設(shè)備，包括如上述結(jié)構(gòu)的任何一個的用于測量電阻的連接器，以及整體層壓在用于測量電阻的連接器的前表面上的各向異性導(dǎo)電彈性體層。
在用于測量電阻的連接器設(shè)備中，各向異性導(dǎo)電彈性體層最好可以由排列在用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極的各個表面上并沿其厚度方向延伸的多個導(dǎo)電路徑形成部，以及使這些導(dǎo)電路徑形成部相互絕緣的絕緣部組成。
導(dǎo)電路徑形成部最好包含在定向以便在沿厚度方向上排列的狀態(tài)下，顯示出磁性的導(dǎo)電顆粒。
根據(jù)本發(fā)明，提供一種用于生產(chǎn)根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的用于測量電阻的連接器設(shè)備的方法，包括步驟通過在用于測量電阻的連接器的前表面上形成在通過固化將變?yōu)閺椥跃酆衔锏囊后w聚合物形成材料中包含顯示出磁性的導(dǎo)電顆粒的用于彈性體的材料層，將在位于已經(jīng)形成連接電極組的區(qū)域的表面上的部分而不是其他部分處具有較高強度的磁場在其厚度方向上應(yīng)用于用于彈性體的材料層，并使用于彈性體的材料層經(jīng)受固化處理，在用于測量電阻的連接器的前表面上，形成在已經(jīng)形成用于測量電阻的連接器的連接電極組的區(qū)域的表面上的部分中在定向以便沿其厚度方向排列的狀態(tài)下包含導(dǎo)電微粒的彈性體層。
除去該彈性體層中包含導(dǎo)電微粒的部分中，位于連接電極組的各個電極之間的區(qū)域的表面上的部分以便形成孔部；以及然后，將通過固化將變?yōu)閺椥跃酆衔锏囊后w聚合物形成材料填充到孔部中，以及使聚合物形成材料經(jīng)受固化處理。
根據(jù)本發(fā)明，提供一種用于電路板的電阻測量裝置，用于測量在其至少一個表面上具有電極的電路板的電阻，包括根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的任何一個的用于測量電阻的連接器排列在將要測量其電阻的待檢查的電路板的一個表面?zhèn)壬稀?br> 根據(jù)本發(fā)明，還提供一種用于電路板的電阻測量裝置，用于測量在其至少一個表面上具有電極的電路板的電阻，包括用于測量電阻的連接器，在其后表面上具有中繼電極，排列在將要測量其電阻的待檢查的電路板的一個表面?zhèn)壬?，以及用于檢查的一個表面?zhèn)入娐钒?，通過各向異性導(dǎo)電片排列在該用于測量電阻的連接器的后表面上，并在其表面上具有根據(jù)用于測量電阻的連接器中的中繼電極的圖案的圖案排列的檢查電極。
當將要測量其電阻的待檢查的電路板在其兩個表面上具有電極時，用于電路板的電阻測量裝置可以是進一步包括在將要測量其電阻的待檢查的電路板的另一表面?zhèn)壬吓帕械挠糜跈z查的另一表面?zhèn)入娐钒澹渲?，用于檢查的另一表面?zhèn)入娐钒逶谄淝氨砻嫔暇哂袑?yīng)于待檢查的電路板的待檢查的另一表面?zhèn)入姌O的每一個以及在彼此分開的狀態(tài)下排列并形成電連接到待檢查的相同另一表面?zhèn)入姌O的用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極。
根據(jù)本發(fā)明，進一步提供一種用于電路板的電阻測量裝置，用于測量在其兩個表面上具有電極的電路板的電阻，包括根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的任何一個的用于測量電阻的連接器，排列在將要測量其電阻的待檢查的電路板的一個表面?zhèn)壬?，以及根?jù)上述結(jié)構(gòu)的任何一個的用于測量電阻的連接器，排列在待檢查的電路板的另一表面?zhèn)壬稀?br> 根據(jù)本發(fā)明，還提供一種用于電路板的電阻測量裝置，用于測量在其兩個表面上均具有電極的電路板的電阻，包括根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的任何一個的用于測量電阻的連接器，排列在將要測量其電阻的待檢查的電路板的一個表面?zhèn)壬?，用于檢查的一個表面?zhèn)入娐钒?，通過各向異性導(dǎo)電片排列在該用于測量電阻的連接器的后表面上，并在其表面上具有根據(jù)對應(yīng)于用于測量電阻的連接器的中繼電極的圖案的圖案排列的檢查電極，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的任何一個的用于測量電阻的連接器，排列在待檢查的電路板的另一表面?zhèn)壬?，以及用于檢查的另一表面?zhèn)入娐钒?，通過各向異性導(dǎo)電片排列在該用于測量電阻的連接器的后表面上，并在其表面上具有根據(jù)對應(yīng)于用于測量電阻的連接器的中繼電極的圖案的圖案排列的檢查電極。
根據(jù)本發(fā)明，提供一種用于電路板的電阻測量方法，包括將根據(jù)上述用于測量電阻的連接器的任何一個排列在將要測量其電阻的待檢查的電路板的一個表面上，同時將用于測量電阻的連接器的連接電極組中至少一個用于電流供應(yīng)的電極和至少一個用于電壓測量的電極電連接到待檢查的電路板的待檢查的一個表面?zhèn)入姌O的每一個，從而產(chǎn)生可測量狀態(tài)，以及在該可測量狀態(tài)下，通過用于測量電阻的連接器中用于電流供應(yīng)的電極，將電流提供給待檢查的電路板，以及指定電連接到待檢查的一個表面?zhèn)入姌O的用于電壓測量的電極中的一個用于電壓測量的電極，以便對于電連接到所指定的一個用于電壓測量的電極的待檢查的一個表面?zhèn)入姌O執(zhí)行電阻測量。
根據(jù)本發(fā)明的用于測量電阻的連接器，根據(jù)對應(yīng)于待檢查的電路板中的待檢查的電極圖案的圖案排列的連接電極組每個具有至少兩個用于電流供應(yīng)的電極和/或用于電壓測量的電極，使得通過以適當?shù)奈恢藐P(guān)系排列這些電極，對于待檢查的電極的未對準的容差變高。
例如，每個連接電極組中的用于電流供應(yīng)的兩個電極位于矩形中相對角的頂點位置處，以及用于電壓測量的兩個電極位于矩形中另一相對角的頂點位置處，從而即使當在矩形的邊的方向上未對準待檢查的電極時，待檢查的電極也能同時電連接到至少一個用于電流供應(yīng)的電極和至少一個用于電壓測量的電極。
在連接電極組中，排列用于電壓測量的電極、用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極這3個電極以便按此順序排列，或排列用于電流供應(yīng)的電極、用于電壓測量的電極和用于電流供應(yīng)的電極這3個電極以便按此順序排列，由此即使當在這些電極的排列方向上未對準待檢查的電極時，也能將待檢查的電極同時電連接到至少一個用于電流供應(yīng)的電極和至少一個用于電壓測量的電極。另外，在這種結(jié)構(gòu)中，用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極的每一個在垂直于這些電極的排列方向的方向上具有長的形狀，從而即使當在垂直于連接電極組中各個電極的排列方向的方向上未對準待檢查的電極時，也能將待檢查的電極同時電連接到用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極。
根據(jù)本發(fā)明的用于測量電阻的連接器，由此，即使當待檢查的電路板面積大并具有多個待檢查的小尺寸電極時，也一定能實現(xiàn)到將要測量其電阻的待檢查的電路板的必要電連接，以及一定能高精度地執(zhí)行電阻的期望測量。
根據(jù)本發(fā)明的用于測量電阻的連接器設(shè)備，提供用于測量電阻的上述連接器的任何一個，使得即使當待檢查的電路板面積大并具有多個待檢查的小尺寸電極時，也一定能實現(xiàn)至將要測量其電阻的待檢查的電路板的必要電連接，一定能高精度地執(zhí)行電阻的期望測量，此外，即使在環(huán)境變化，諸如由溫度變化引起的熱滯后，也能穩(wěn)定地保持良好的電連接。
根據(jù)本發(fā)明的用于測量電阻的連接器設(shè)備的生產(chǎn)過程，能有利地生產(chǎn)用于測量電阻的上述連接器設(shè)備。
根據(jù)用于本發(fā)明的電路板的電阻測量裝置，提供用于測量電阻的上述連接器的任何一個，使得即使當待檢查的電路板面積大并具有多個待檢查的小尺寸電極時，也一定能實現(xiàn)至將要測量其電阻的待檢查的電路板的必要電連接，以及一定能高精度地執(zhí)行電阻的期望測量。
根據(jù)用于本發(fā)明的電路板的電阻測量裝置，使用用于測量電阻的上述連接器的任何一個，使得即使當待檢查的電路板面積大并具有多個待檢查的小尺寸電極時，也一定能實現(xiàn)至將要測量其電阻的待檢查的電路板的必要電連接，以及一定能高精度地執(zhí)行電阻的期望測量。


圖1是示例說明根據(jù)本發(fā)明的第一實施例用于測量電阻的連接器的平面圖。
圖2是示例說明根據(jù)第一實施例用于測量電阻的連接器的結(jié)構(gòu)的截面圖。
圖3是示例說明通過各向異性導(dǎo)電片，在待檢查的電路板的一個表面上排列如圖1所示的用于測量電阻的連接器的狀態(tài)的截面圖。
圖4示例說明在根據(jù)第一實施例的用于電阻測量的連接器中的連接電極組和待檢查的電極之間，已經(jīng)出現(xiàn)未對準的狀態(tài)。
圖5是示例說明待檢查的電路板的結(jié)構(gòu)的截面圖。
圖6是示例說明根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的用于測量電阻的連接器的平面圖。
圖7是示例說明根據(jù)第二實施例的用于電阻測量的連接器的結(jié)構(gòu)的截面圖。
圖8示例說明示例說明在根據(jù)第二實施例的用于電阻測量的連接器中的連接電極組和待檢查的電極間，已經(jīng)出現(xiàn)未對準的狀態(tài)。
圖9是示例說明根據(jù)本發(fā)明的第三實施例的用于測量電阻的連接器的平面圖。
圖10是示例說明根據(jù)第三實施例的用于電阻測量的連接器的結(jié)構(gòu)的截面圖。
圖11是示例說明根據(jù)第四實施例的用于電阻測量的連接器的結(jié)構(gòu)的截面圖。
圖12是示例說明根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的用于電阻測量的連接器設(shè)備的結(jié)構(gòu)的截面圖。
圖13是示例說明如圖12所示的用于電阻測量的連接器設(shè)備的平面圖，部分去除其各向異性導(dǎo)電彈性體層。
圖14是示例說明用于獲得各種異性導(dǎo)電彈性體層的示例模具的結(jié)構(gòu)的截面圖。
圖15是示例說明已經(jīng)在用于測量電阻的連接器的前表面上形成用于彈性體的材料層的狀態(tài)的截面圖。
圖16是示例說明已經(jīng)在用于彈性體的材料層的厚度方向上施加具有強度分布的磁場的狀態(tài)的截面圖。
圖17示例說明已經(jīng)在用于測量電阻的連接器的前表面上形成彈性體層的狀態(tài)的截面圖。
圖18是示例說明已經(jīng)在彈性體層中形成孔部的狀態(tài)的截面圖。
圖19是示例說明已經(jīng)將聚合物形成材料填充到在彈性體層中形成的孔部中的狀態(tài)的截面圖。
圖20是示例說明根據(jù)本發(fā)明的第二實施例，用于測量電阻的連接器設(shè)備的結(jié)構(gòu)的截面圖。
圖21是示例說明如圖20所示的用于測量電阻的連接器設(shè)備的平面圖，部分去除其各向異性導(dǎo)電彈性體層。
圖22是示例說明已經(jīng)在可松開的支撐板上形成導(dǎo)電彈性體層的狀態(tài)的截面圖。
圖23是示例說明已經(jīng)在導(dǎo)電彈性體層上形成金屬薄層的情形的截面圖。
圖24是示例說明已經(jīng)在金屬薄層上形成具有開口的抗蝕劑層的情形的截面圖。
圖25是示例說明在抗蝕劑層的開口中，已經(jīng)形成金屬掩膜的情形的截面圖。
圖26是示例說明已經(jīng)在可松開支撐板上形成多個導(dǎo)電路徑形成部的情形的截面圖。
圖27是示例說明已經(jīng)在用于測量電阻的連接器的前表面上，形成用于絕緣部分的材料層的情形的截面圖。
圖28是示例說明在其上形成導(dǎo)電路徑形成部的可松開支撐板疊加在其上形成用于絕緣部的材料層的用于測量電阻的連接器上的情形的截面圖。
圖29是示例說明在相鄰的導(dǎo)電路徑形成部之間形成絕緣部的情形的截面圖。
圖30是示例說明根據(jù)本發(fā)明的另一實施例，用于測量電阻的連接器設(shè)備的結(jié)構(gòu)的截面圖。
圖31是結(jié)合待檢查的電路板，示意性地示例說明根據(jù)本發(fā)明的第一實施例，用于電路板的電阻測量裝置的結(jié)構(gòu)的截面圖。
圖32是按放大比例，示例說明根據(jù)第一實施例，用于電路板的電阻測量裝置的主要部分的截面圖。
圖33典型地示例說明由根據(jù)第一實施例，用于電路板的電阻測量裝置形成的電壓測量電路。
圖34是結(jié)合待檢查的電路板，示意性地示例說明根據(jù)本發(fā)明的第二實施例，用于電路板的電阻測量裝置的結(jié)構(gòu)的截面圖。
圖35是按放大比例，示例說明根據(jù)第二實施例，用于電路板的電阻測量裝置的主要部分的截面圖。
圖36典型地示例說明由根據(jù)第二實施例的用于電路板的電阻測量裝置形成的電壓測量電路。
圖37典型地示例說明通過用于電流供應(yīng)的探針和用于電壓測量的探針，測量電路板中的電極之間的電阻的裝置。
圖38示例說明在電路板的傳統(tǒng)電阻測量裝置中，在待檢查的電極上正確地排列用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極的情形。
圖39示例說明在電路板的傳統(tǒng)電阻測量裝置中，在待檢查的電極上以未對準的狀態(tài)排列用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極的情形。
1 待檢查的電路板2 待檢查的一個表面?zhèn)入姌O3 待檢查的另一表面?zhèn)入姌O4a、4b 電路5 各向異性導(dǎo)電片10 用于測量電阻的連接器11 絕緣襯底12 連接電極組13 用于電流供應(yīng)的電極
14 用于電壓測量的電極15 中繼電極16 布線部20 各向異性導(dǎo)電彈性體層20A 用于彈性體的材料層20B 彈性體層21 導(dǎo)電路徑形成部21A 導(dǎo)電彈性體層22 絕緣部22A 用于絕緣部的材料層23 凸出部23A 聚合物形成材料25 用于測量電阻的連接器設(shè)備26 可松開支撐板27 金屬薄層28 抗蝕劑層28a 開口29 金屬掩膜30 上模31 鐵磁基板32 鐵磁物質(zhì)層33 非磁性物質(zhì)層35 下模36 鐵磁基板37 鐵磁物質(zhì)層38 非磁性物質(zhì)層40 上側(cè)轉(zhuǎn)接器41 用于檢查的一個表面?zhèn)入娐钒?2 檢查電極
43 端子電極44 第一上側(cè)各向異性導(dǎo)電片45 第二上側(cè)各向異性導(dǎo)電片48 電極板49 標準排列電極50 下側(cè)轉(zhuǎn)接器51 用于檢查的另一表面?zhèn)入娐?2 檢查電極52a用于電流供應(yīng)的檢查電極52b用于電壓測量的檢查電極53 端子電極53a用于電流供應(yīng)的端子電極53b用于電壓測量的端子電極55 各向異性導(dǎo)電彈性體層56 導(dǎo)電路徑形成部57 絕緣部59 測試器60 電極板61 標準排列電極62 下側(cè)各向異性導(dǎo)電片64 第一下側(cè)各向異性導(dǎo)電片65 第二下側(cè)各向異性導(dǎo)電片90 待檢查的電路板91、92 待檢查的電極93 電源設(shè)備94 電信號處理器PA、PD 用于電流供應(yīng)的探針PB、PC 用于電壓測量的探針A 用于電流供應(yīng)的電極
V 用于電壓測量的電極T 待檢查的電極P 導(dǎo)電微粒K 孔部C1、C2、C3、C4 用于電壓測量的電路具體實施方式
在下文中，將詳細地描述本發(fā)明的實施例。
<用于測量電阻的連接器>
圖1是示例說明根據(jù)本發(fā)明的第一實施例，用于測量電阻的連接器的平面圖，以及圖2是示例說明根據(jù)第一實施例，用于測量電阻的連接器的結(jié)構(gòu)的截面圖。
根據(jù)第一實施例，用于測量電阻的連接器10具有絕緣襯底11。在絕緣襯底11的前表面上，根據(jù)對應(yīng)于在將要測量其電阻的電路板的一個表面上形成的待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2的圖案(用交替短和長虛線表示)的圖案，排列多個連接電極組12。這些連接電極組12分別由總共4個電極組成，用于電流供應(yīng)的2個矩形電極13和用于電壓測量的2個矩形電極14，如圖1所示。以用于電流供應(yīng)的電極13分別位于矩形中相對角的頂點位置，以及用于電壓測量的電極14分別位于矩形中另一相對角的頂點位置的方式，這4個電極以彼此分開的狀態(tài)排列。
在絕緣襯底11的后表面上，根據(jù)圖2所示的適當圖案，排列多個中繼電極15，以及通過在絕緣襯底11中形成的布線部16，將用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14的任何一個電連接到這些中繼電極15的每一個上。
作為用于形成絕緣襯底11的材料，可以使用聚亞胺樹脂、玻璃纖維加強聚亞胺樹脂、玻璃纖維加強雙馬來酰亞胺三嗪樹脂等等。絕緣襯底11可以是單層結(jié)構(gòu)或多層結(jié)構(gòu)。
絕緣襯底11的厚度最好是例如50至1,000μm，最佳為100至500μm。
作為用于形成用于電流供應(yīng)的電極13、用于電壓測量的電極14、中繼電極15和布線部16的材料，可以使用銅、鎳、金或這些金屬的層壓制品。
可以通過通常用于生產(chǎn)印刷線路板的方法，形成用于電流供應(yīng)的電極13、用于電壓測量的電極14、中繼電極15和布線部16。
在連接電極組12中，用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14之間的間隙最好是20至100μm，最佳為30至80μm。如果該間隙太小，在一些情況下，難以確保用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電壓14之間的必要絕緣特性，以及在一些情況下，也難以生產(chǎn)用于測量電阻的連接器。另一方面，如果該間隙太大，用于待檢查的電極的未對準的容差太低，以致在一些情況下，難以將用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電壓14一定電連接到待檢查的電極。
如圖3所示，例如，以用于測量電阻的連接器10中的各個連接電極組12位于待檢查的電路板1的待檢查的相應(yīng)一個表面?zhèn)入姌O2上的方式，通過各向異性導(dǎo)電片5，在將要測量其電阻的待檢查的電路板1的一個表面上，排列用于測量電阻的上述連接器10，以及通過適當方法按壓，從而通過各向異性導(dǎo)電片5，使待檢查的電路板10的待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2電連接到用于測量電阻的連接器10中的連接電極組12的電極上。
在這種情況下，通過用于電流供應(yīng)的電極13，在待檢查的電路板1的待檢查的電極之間提供恒流，以及電連接到待檢查的電路板10中的待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2的用于電壓測量的電極14的用于電壓測量的一個電極14被指定對于電連接到用于電壓測量的指定電極14的待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2進行電阻測量。通過連續(xù)地改變將指定的用于電壓測量的電極14，對所有待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2進行電阻測量。
根據(jù)第一實施例的用于測量電阻的連接器10，在連接電極組12的每一個中，用于電流供應(yīng)的2個電極13位于矩形中相對角的頂點位置，以及用于電壓測量的2個電極14位于矩形中另一相對角的頂點位置，以便即使當在矩形的邊的方向(圖1中的橫向和縱向方向)上未對準待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2時，也能同時將待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2電連接到用于電流供應(yīng)的至少一個電極13和用于電壓測量的至少一個電極14上。
通過具體的例子來描述。當如圖4(a)所示，從連接電極組12的中心位置到該圖中的右手側(cè)，未對準待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2的中心位置時，將待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2同時電連接到位于該圖中的右手側(cè)上的用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14上。
當如圖4(b)所示，從連接電極組12的中心位置到該圖中的左手側(cè)，未對準待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2的中心位置時，使待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2同時電連接到位于該圖中的左手側(cè)上的用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14。
當如圖4(c)所示，從連接電極組12的中心位置到該圖中的上側(cè)，未對準待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2的中心位置時，使待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2同時電連接到位于該圖中的上側(cè)上的用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14。
當如圖4(d)所示，從連接電極組12的中心位置到該圖中的下側(cè)，未對準待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2的中心位置時，使待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2同時電連接到位于該圖中的下側(cè)上的用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14。
根據(jù)第一實施例的用于測量電阻的連接器10，因此，在到待檢查的電路板1的電連接操作中，到待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2的未對準的容差高，使得即使當待檢查的電路板1面積大并具有多個待檢查的小尺寸表面?zhèn)入姌O2時，也一定能實現(xiàn)用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14與待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2的電連接。另外，由于用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14彼此電絕緣，能高精度地測量待檢查的電路板1的電阻。
在本發(fā)明中，將要測量其電阻的待檢查的電路板1可以是如圖5(a)所示，具有在其一個表面上形成的待檢查的僅一個表面?zhèn)入姌O2以及僅具有在待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2間形成的電路4a的電路板、如圖5(b)所示，具有在其一個表面上形成的待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2和在另一表面上形成的待檢查的另一表面?zhèn)入姌O3，以及僅具有在待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2和另一表面?zhèn)入姌O3之間形成的電路4b的電路板，以及如圖5(c)所示，具有在其一個表面上形成的待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2和在其另一表面上形成的待檢查的另一表面?zhèn)入姌O3，以及具有在待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2之間形成的電路4a和待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2和待檢查的另一表面?zhèn)入姌O3之間形成的電路4b的電路板的任何一個。
圖6是示例說明根據(jù)本發(fā)明的第二實施例，用于電阻測量的連接器的平面圖，以及圖7是示例說明根據(jù)第二實施例，用于測量電阻的連接器的結(jié)構(gòu)的截面圖。
在根據(jù)第二實施例的用于測量電阻的連接器10中，根據(jù)對應(yīng)于在將要檢測其電阻的電路板的一個表面上形成的待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2的圖案的圖案(用交替長和短虛線表示)，在絕緣襯底11的前表面上排列多個連接電極組12。這些連接電極組12分別由總共3個電極組成，用于電流供應(yīng)的1個矩形電極13和用于電壓測量的2個矩形電極14，如圖6所示。在彼此分開的情況下排列這3個電極，以便按用于電壓測量的電極14、用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14的順序排列。
在絕緣襯底11的后表面上，根據(jù)如圖7所示的適當圖案，排列多個中繼電極15，以及通過在絕緣襯底11中形成的布線部16，將用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14的任何一個電連接到這些中繼電極15的每一個。
在上文中，用于絕緣襯底11的材料和用于在連接電極組12中的各個電極的材料與根據(jù)第一實施例的用于測量電阻的連接器相同。
根據(jù)第二實施例的用于測量電阻的連接器10，在連接電極組12的每一個中，排列用于電壓測量的電極14、用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14的3個電極以便按這一順序排列，從而即使當在連接電極組12的各個電極的排列方向(圖6中的橫向)上未對準待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2時，也能同時將待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2電連接到用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的至少一個電極14。
具體所述，當如圖8(a)所示，從連接電極組12的中心位置到該圖中的右手側(cè)，未對準待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2的中心位置時，同時將待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2電連接到位于中心的用于電流供應(yīng)的電極13以及位于該圖中的右手側(cè)上的用于電壓測量的電極14。
當如圖8(b)所示，從連接電極組12的中心位置到該圖中的左手側(cè)，未對準待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2的中心位置時，同時將待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2電連接到位于中心的用于電流供應(yīng)的電極13以及位于該圖中的左手側(cè)上的用于電壓測量的電極14。
另外，由于用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14的每一個在垂直于這些電極的排列方向的方向上具有長的矩形形狀，即使當從連接電極組12的中心位置到垂直于連接電極組12的各個電極的排列方向的方向(圖6中的垂直方向)上未對準待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2的中心位置時，也能將待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2同時電連接到用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14。
根據(jù)第二實施例的用于測量電阻的連接器10，因此，在與待檢查的電路板1的電連接操作中，與待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2的未對準的容差高，使得即使當待檢查的電路板1面積大并具有多個待檢測的小尺寸的一個表面?zhèn)入姌O2時，也一定能實現(xiàn)用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電壓14與待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2的電連接。另外，由于用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14彼此電絕緣，能高精度地測量待檢查的電路板1的電阻。
圖9是示例說明根據(jù)本發(fā)明的第三實施例的用于測量電阻的連接器的平面圖，以及圖10是示例說明根據(jù)第三實施例，用于測量電阻的連接器的結(jié)構(gòu)的截面圖。
在根據(jù)第三實施例的用于測量電阻的連接器10中，根據(jù)對應(yīng)于在將測量其電阻的電路板的一個表面上形成的待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2的圖案的圖案(用交替長和短虛線表示)，在絕緣襯底11的前表面上排列多個連接電極組12。這些連接電極組12分別由總共3個電極組成，用于電流供應(yīng)的2個矩形電極13和用于電壓測量的矩形電極14，如圖9所示。按彼此分開的狀態(tài)排列這3個電極以便按用于電流供應(yīng)的電極13、用于電壓測量的電極14和用于電流供應(yīng)的電極13的順序排列。
在絕緣襯底11的后表面上，根據(jù)如圖10所示的適當圖案，排列多個中繼電極15，以及通過在絕緣襯底11中形成的布線部16，將用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14的每一個電連接到這些中繼電極15的每一個。
在上文中，用于絕緣襯底11的材料和用于連接電極組12中的各個電極的材料與根據(jù)第一實施例的用于測量電阻的連接器相同。
根據(jù)第三實施例的用于測量電阻的連接器10，在連接電極組12的每一個中，排列用于電流供應(yīng)的電極13、用于電壓測量的電極14和用于電流供應(yīng)的電極13的3個電極，以便按該順序排列，從而即使當在各個電極的排列方向(圖9中的橫向方向)上未對準待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2時，也能同時將待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2電連接到用于電流供應(yīng)的至少一個電極13和用于電壓測量的電極14。
另外，由于用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14的每一個在垂直于這些電極的排列方向的方向上具有長的矩形形狀，即使當從連接電極組12的中心位置到垂直于各個電極的排列方向的方向(圖9的垂直方向)上未對準待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2的中心位置時，也能將待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2同時電連接到用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14。
根據(jù)第三實施例的用于電阻的連接器10，因而，在待檢查的電路板1的電連接操作中，對于待檢查的一個表面?zhèn)?的未對準的容差高，使得即使當待檢查的電路板面積大并具有多個待檢查的小尺寸的一個表面?zhèn)入姌O2時，也一定能實現(xiàn)用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14與待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2的電連接。另外，由于用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14彼此電絕緣，能高精度地測量待檢查的電路板1的電阻。
圖11是示例說明根據(jù)第四實施例的用于電阻測量的連接器的結(jié)構(gòu)的截面圖。
在根據(jù)第四實施例的用于測量電阻的連接器中，在絕緣襯底11的前表面上形成與根據(jù)第一實施例的用于測量電阻的連接器(見圖1)相同結(jié)構(gòu)的連接電極組12。在絕緣襯底11的后表面上，根據(jù)適當?shù)膱D案排列多個中繼電極15，通過在絕緣襯底11中形成的布線部16，使用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14中的任一個電連接至這些中繼電極15的每一個，以及用于電流供應(yīng)的多個電極13電連接到這些中繼電極15中的一些中繼電極15上。
在上文中，用于絕緣襯底11的材料和用于連接電極組12中的各個電極的材料與根據(jù)第一實施例的用于測量電阻的連接器相同。
根據(jù)第四實施例的用于測量電阻的連接器10，在到待檢查的電路板的電連接操作中，與待檢查的電極的未對準的容差高，以致即使當待檢查的電路板面積大并具有多個待檢查的小尺寸電極時，也一定能實現(xiàn)用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14與待檢查的電極的電連接。另外，由于用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14彼此電絕緣，能高精度地測量待檢查的電路板的電阻。
另外，由于連接器具有電連接到多個用于電流供應(yīng)的電極13的中繼電極15，能減少電連接用于測量電阻的連接器10的待檢查電路板中的檢查電極的數(shù)量，從而生產(chǎn)用于檢查的電路板變得容易，以及能降低用于檢查的電路板的生產(chǎn)成本。
根據(jù)本發(fā)明，用于測量電阻的連接器不限于上述實施例，以及可以增加各種改變或改進。
例如，連接電極組中的電極的總數(shù)可以是5或更多，只要該組包括至少一個用于電流供應(yīng)的電極和至少一個用于電壓測量的電極。
另外，用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極的形狀不限于矩形，以及可以是圓形或任何其他形狀。
另外，可以根據(jù)電極的數(shù)量和形狀、待檢查的電極的形狀等等，適當?shù)卦O(shè)置連接電極組中電極的排列圖案。
另外，多個用于電壓測量的電極可以電連接到一個中繼電極。
<用于測量電阻的連接器設(shè)備>
圖12是示例說明根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的用于電阻測量的連接器設(shè)備的結(jié)構(gòu)的截面圖。用于測量電阻的該連接器設(shè)備25由根據(jù)第一實施例的用于測量電阻的連接器10，以及在用于測量電阻的連接器10的前表面(圖12中的下表面)上整體形成的各向異性導(dǎo)電彈性體層20組成。
如圖13所示，各向異性導(dǎo)電彈性體層20由根據(jù)對應(yīng)于各個連接電極組12中的用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14的圖案的圖案排列并分別在彈性體層的厚度方向上延伸的多個導(dǎo)電路徑形成部21，以及插入這些導(dǎo)電路徑形成部21間并使這些導(dǎo)電路徑形成部相互絕緣的絕緣部22組成。在所示的實施例中，以對應(yīng)于一個連接電極組12中的各個電極的4個導(dǎo)電路徑形成部21的表面和插入它們中的絕緣部22的表面從另一絕緣部22的表面突出的方式，在各向異性導(dǎo)電彈性體層20的表面上形成凸出部23。
通過在定向以便在其厚度方向上排列的情況下，使顯示出磁性的導(dǎo)電微粒P密集地包含在組成各向異性導(dǎo)電彈性體層20的基底的彈性聚合物中，形成導(dǎo)電路徑形成部21。通過導(dǎo)電微粒P的鏈而形成導(dǎo)電路徑。另一方面，絕緣部22根本不包含導(dǎo)電微粒P或幾乎不包含它們。
作為組成導(dǎo)電路徑形成部21的導(dǎo)電微粒P的例子，可以是所提及的顯示出磁性的金屬微粒，諸如鎳、鐵和鈷、其合金的微粒以及包含這種金屬的微粒；通過使用這些微粒作為核心微粒并用具有良好導(dǎo)電性的金屬，諸如金、銀、鈀或銠來鍍核心微粒的表面而獲得的微粒；以及通過使用非磁性金屬的微粒、無機微粒，諸如玻璃珠或聚合物微粒作為核心微粒，并用導(dǎo)電磁性物質(zhì)，諸如鎳或鈷來鍍核心微粒的表面獲得的微粒。
在這些中，最好使用通過將鎳微粒用作核心微粒并用具有良好導(dǎo)電性的金屬，諸如金或銀來鍍其表面而獲得的微粒。
導(dǎo)電微粒P的微粒直徑最好是3至200μm，最佳為10至100μm，以便很容易在結(jié)果導(dǎo)電路徑形成部21的壓力下變形，以及在導(dǎo)電路徑形成部21中的導(dǎo)電微粒P中，實現(xiàn)充分電接觸。
導(dǎo)電微粒P中的水含量最好最多為5％，最佳最多為3％，更好最多為2％。最最好最多為1％。使用滿足這些條件的導(dǎo)電微粒能防止或禁止其形成時，在第一上側(cè)各向異性導(dǎo)電片20中出現(xiàn)水泡。
按體積率，導(dǎo)電路徑形成部21中的導(dǎo)電微粒P的比例最好是5至60％，最佳為7至50％，更好為10至40％。如果該比例小于5％，在一些情況下，難以形成電阻值足夠低的導(dǎo)電路徑。另一方面，如果該比例大于60％，則最終導(dǎo)電路徑形成部21變得易碎，使得在一些情況下，不可能實現(xiàn)導(dǎo)電路徑形成部所需的彈性。
組成各向異性導(dǎo)電彈性體層20的基底的絕緣彈性聚合物最好具有交聯(lián)結(jié)構(gòu)。作為能用于獲得具有交聯(lián)結(jié)構(gòu)的聚合物的聚合物形成材料，可以使用各種材料。其具體例子包括共軛二烯橡膠，諸如聚丁二烯橡膠、天然橡膠、聚異戊二烯橡膠、苯乙烯丁二烯共聚物橡膠和丙烯腈丁二烯共聚物橡膠，及其氫化產(chǎn)品；成塊共聚物，諸如苯乙烯丁二烯成塊共聚物橡膠，及其氫化產(chǎn)品，以及除此之處，還有硅橡膠、氟橡膠、改進硅的氟橡膠、二元乙丙橡膠、聚氨酯橡膠、聚酯橡膠、氯丁二烯橡膠和氯醇橡膠。
在這些中，最好使用硅橡膠和改進硅的氟橡膠，因為它們的模塑和處理能力以及電絕緣特性高。
根據(jù)第一實施例的用于測量電阻的連接器設(shè)備25，提供根據(jù)第一實施例的用于測量電阻的連接器，以便在將要測量其電阻的待檢查的電路板的電連接操作中，對待檢查的電極的未對準的容差高，因此，即使當待檢查的電路板面積大并具有多個待檢測的小尺寸的一個表面?zhèn)入姌O時，也一定能實現(xiàn)用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14與待檢查的電極的電連接。另外，由于用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14彼此電絕緣，能高精度地測量待檢查的電路板1的電阻。
另外，由于在用于測量電阻的連接器10的前表面上整體形成各向異性導(dǎo)電彈性體層20，即使由于環(huán)境改變，諸如由溫度改變引起熱滯后，也能穩(wěn)定地保持良好電連接。
另外，由于對應(yīng)于用于測量電阻的連接器10中的用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14，在各向異性導(dǎo)電彈性體層20中形成導(dǎo)電路徑形成部21，能保證用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14之間的絕緣特性。因此，能高精度地測量待檢查的電路板的電阻。
例如，用下述方式，能產(chǎn)生根據(jù)第一實施例的用于測量電阻的連接器設(shè)備。
圖14是示例說明用于獲得各向異性導(dǎo)電彈性體層的示例模具的結(jié)構(gòu)的截面圖。通過排列上模30和與之配對的下模35以便彼此相對，組成該模具。
在上模30中，根據(jù)與形成用于測量電阻的連接器10中的連接電極組12的區(qū)域的圖案正相反的圖案，在鐵磁基板31的表面(圖14的下表面)上形成鐵磁物質(zhì)層32，以及在形成鐵磁物質(zhì)層32的區(qū)域外的其他區(qū)域中形成非磁性物質(zhì)層33。非磁性物質(zhì)層33具有大于鐵磁物質(zhì)層32的厚度。在鐵磁物質(zhì)層32和非磁性物質(zhì)層33之間定義水平差，從而在上模30的模塑表面中，形成用于形成各向異性導(dǎo)電彈性體層20中的凸出部23的凹進部。
在下模35中，根據(jù)與已經(jīng)形成用于測量電阻的連接器10中的連接電極組12的區(qū)域的圖案相同的圖案，在鐵磁基板36的表面(圖14中的上表面)上形成鐵磁物質(zhì)層37，以及在除形成鐵磁物質(zhì)層37的區(qū)域外的區(qū)域中，形成具有與鐵磁物質(zhì)層37基本上相同厚度的非磁性物質(zhì)層38。
作為用于形成上模30和下模33中的鐵磁基板31、36的材料，可以使用鐵磁金屬，諸如鐵、鐵鎳合金、鐵鈷合金、鎳和鈷。鐵磁基板336最好具有0.1至50mm的厚度，以及其表面最好平滑并經(jīng)受化學(xué)除油處理和/或機械拋光處理。
作為用于形成上模30和下模35中的鐵磁物質(zhì)層32、37的材料，可以使用鐵磁金屬，諸如鐵、鐵鎳合金、鐵鈷合金、鎳和鈷。鐵磁物質(zhì)層32、37最好具有至少10μm的厚度。如果該厚度小于10μm，難以將具有足夠密度分布的磁場應(yīng)用于用于稍后所述的彈性體的材料層，因此，在用于彈性體的材料層中，難以高密度地將導(dǎo)電微粒收集到將變?yōu)閷?dǎo)電路徑形成部的部分。因此，在一些情況下，不能提供具有良好導(dǎo)電性的導(dǎo)電路徑形成部。
作為用于形成上模30和下模35中的非磁性物質(zhì)層33、38的材料，可以使用非磁性金屬，諸如銅、具有耐熱性的聚合物等等。然而，最好使用通過輻射固化的聚合物，因為通過光刻術(shù)可以容易地形成非磁性物質(zhì)層33、38。作為其材料，可以使用例如光致抗蝕劑，諸如丙烯酸型干膜抗蝕劑、環(huán)氧樹脂型液體抗蝕劑或聚酰亞胺型液體抗蝕劑。
通過例如用下述方式使用上述模具，可以生產(chǎn)用于測量電阻的連接器設(shè)備。
首先生產(chǎn)如圖1所示的根據(jù)第一實施例的用于測量電阻的連接器10，以及通過使具有磁性的導(dǎo)電微粒包含在通過固化將變?yōu)閺椥跃酆衔镔|(zhì)的液體聚合物形成材料中，準備用于彈性體的材料。
如圖15所示，然后，將用于彈性體的材料應(yīng)用于用于測量電阻的連接器10的前表面上，從而形成用于具有必要厚度的彈性體的材料層20A，以及分別在用于彈性體的材料層20A的表面(圖15中的上表面)，以及用于測量電阻的連接器10的后表面上，排列上模30和下模35。
例如，分別在上模30的上表面以及下模35的下表面上排列電磁鐵，以及操作電磁鐵，從而將在位于上模30的鐵磁物質(zhì)層32和下模35的它們的相應(yīng)鐵磁物質(zhì)部37之間的部分，即位于區(qū)域的表面上的部分(在下文中，也稱為“連接電極組區(qū)”)，在其中已經(jīng)分別形成用于測量電阻的連接器10的連接電極組12，而不是其他部分具有更高密度的磁場在其厚度方向上應(yīng)用于用于彈性體的材料層20A。結(jié)果，在位于如圖16所示的連接電極組區(qū)的表面的部分處，收集在用于彈性體的材料層20A中分散的導(dǎo)電微粒P并定向以便沿厚度方向排列。在這種情況下，使用于彈性體的材料層20A經(jīng)受固化處理，從而如圖17所示，在用于測量電阻的連接器10的前表面上，形成在位于連接電極組的表面上的部分處包含顯示出磁性、定向以便沿厚度方向排列的導(dǎo)電微粒的彈性體層20B。
在上述過程中，用于彈性體的材料的粘性最好在25℃的溫度時，在100,000至1,000,000cp的范圍內(nèi)。
在用于應(yīng)用彈性體的材料的方法上沒有施加特別的限制，例如，可以使用滾涂方法、刮涂方法或印刷方法，諸如絲網(wǎng)印刷。
施加到用于彈性體的材料層20A的磁場的強度最好在平均總計20至2,000mT的強度。
作為用于施加磁場的裝置，可以使用永久磁鐵來代替電磁鐵。作為這種永久磁鐵，最好由alunico(Fe-Al-Ni-Co合金)、鐵磁等等組成，因為實現(xiàn)在上述范圍內(nèi)的磁場強度。
在已經(jīng)施加磁場的情況下，可以實施用于彈性體的材料層20A的固化處理。然而，在停止施加磁場后，也可以實施處理。
根據(jù)所使用的材料，可以適當?shù)剡x擇用于彈性體的材料層20A的固化處理的條件。然而，通常由熱處理來實施該處理。根據(jù)用于彈性體的材料層的聚合物質(zhì)形成材料的類型、用于導(dǎo)電微粒移動所需的時間等等，可以適當?shù)剡x擇具體加熱溫度和加熱時間。例如，當聚合物形成材料是室溫固化硅橡膠時，在室溫下，執(zhí)行用于彈性體的材料層的固化處理達約24小時，在40℃下，執(zhí)行約2小時，以及在80℃下，執(zhí)行約30分鐘。
根據(jù)以這種方式在用于測量電阻的連接器10的前表面上形成的彈性體層20B，如圖18所示，去除位于包含導(dǎo)電微粒P的部分中連接電極組12的各個電極(用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14)之間的區(qū)域的表面上的部分，從而形成十字形狀的孔部K。然后，將通過固化變?yōu)閺椥跃酆衔锏囊后w聚合物形成材料23A被填充到圖19所示的孔部K中，此后，使液體聚合物形成材料23A經(jīng)受固化處理，從而形成具有在相鄰導(dǎo)電路徑形成部21之間形成的絕緣部22的各向異性導(dǎo)電彈性體層20，從而生產(chǎn)如圖12和13所示的用于測量電阻的連接器設(shè)備25。
在上述過程中，最好將借助于二氧化碳氣體激光器等等的激光束加工用作用于形成彈性體層20B中的孔部K。
填充到孔部K中的聚合物形成材料可以與用作彈性體的材料的聚合物形成材料相同或不同。
根據(jù)該過程，形成在用于測量電阻的連接器10的連接電極組區(qū)的表面上，具有包含導(dǎo)電微粒P的部分的彈性體層20B，在該部分之間形成孔部K，在包含導(dǎo)電微粒P的部分中，變?yōu)樵趶椥泽w層20B中，位于用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14的表面上的導(dǎo)電路徑形成部，以及在孔部K中形成絕緣部22，使得一定形成在相鄰導(dǎo)電路徑形成部21之間具有確保的必要絕緣特性的各向異性導(dǎo)電彈性體層20。
圖20是示例說明根據(jù)本發(fā)明的第二實施例，用于測量電阻的連接器設(shè)備的結(jié)構(gòu)的截面圖。用于測量電阻的連接器設(shè)備25由根據(jù)第一實施例的用于測量電阻的連接器10，以及在用于測量電阻的連接器10的前表面(圖20中的下表面)上整體形成的各向異性導(dǎo)電彈性體層20組成。
也如圖21所示，各向異性導(dǎo)電彈性體層20由根據(jù)對應(yīng)于各個連接電極組12中的用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電壓14的圖案的圖案排列以及分別沿其厚度方向延伸的多個導(dǎo)電路徑形成部21，以及插入這些導(dǎo)電路徑形成部21間并且相互絕緣這些導(dǎo)電路徑形成部的絕緣部22組成。在所示的實施例中，導(dǎo)電路徑形成部21的表面從絕緣部22的表面凸出的方式，在各向異性導(dǎo)電彈性體層20上形成凸出部23。
通過使顯示出磁性的導(dǎo)電微粒P在定向以便在彈性體層的厚度方向上排列的情況下，以高密度包含在組成各向異性導(dǎo)電彈性體層20的基底的彈性聚合物中，形成導(dǎo)電路徑形成部21。通過導(dǎo)電微粒P的鏈形成導(dǎo)電路徑。另一方面，絕緣部22根本不包含導(dǎo)電微粒P。
作為組成各向異性導(dǎo)電彈性體層20的基底的彈性聚合物以及組成導(dǎo)電路徑形成部21的導(dǎo)電微粒，可以使用根據(jù)第一實施例的用于測量電阻的上述連接器設(shè)備中的各向異性導(dǎo)電彈性體層20中的相同物質(zhì)和微粒。
根據(jù)第二實施例的用于測量電阻的連接器設(shè)備25，提供根據(jù)第一實施例的用于測量電阻的連接器，以便在將要測量其電阻的待檢查的電路板的電連接操作中，對待檢查的電極的未對準的容差高，因此，即使當待檢查的電路板面積大并具有多個待檢測的小尺寸的一個表面?zhèn)入姌O時，也一定能實現(xiàn)用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14到待檢查的電極的電連接。另外，由于用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14彼此電絕緣，能高精度地測量待檢查的電路板1的電阻。
另外，由于在用于測量電阻的連接器10的前表面上整體形成各向異性導(dǎo)電彈性體層20，即使在環(huán)境改變，諸如由溫度改變引起熱滯后，也能穩(wěn)定地保持良好電連接。
另外，由于對應(yīng)于用于測量電阻的連接器10中的用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14，在各向異性導(dǎo)電彈性體層20中形成導(dǎo)電路徑形成部21，保證了用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14之間的絕緣特性。因此，能高精度地測量待檢查的電路板的電阻。
例如，可以用下述方式生產(chǎn)根據(jù)第二實施例的用于測量電阻的連接器設(shè)備。
如圖22所示，首先提供適當?shù)目伤砷_支撐板26，以及在可松開支撐板26上可松開地支撐的狀態(tài)下，在該可松開支撐板26的表面上形成導(dǎo)電彈性體層21A，其中導(dǎo)電微粒P在定向以便沿厚度方向排列的狀態(tài)下包含在彈性聚合物中。該導(dǎo)電彈性體層21A具有與將形成的導(dǎo)電路徑形成部的厚度相同的厚度。
在上述過程中，作為用于形成可松開支撐板26的材料，可以使用金屬、陶瓷、樹脂或其合成材料。
作為用于形成導(dǎo)電彈性體層21A的過程，可以使用(1)在可松開支撐板26的表面上，可松開地附著通過適當?shù)倪^程預(yù)先生產(chǎn)的導(dǎo)電彈性體板的過程，其中，導(dǎo)電微粒P在定向以便沿板的厚度方向排列的狀態(tài)下包含在彈性聚合物中，(2)準備用于導(dǎo)電彈性體的材料的過程，其中顯示出磁性的導(dǎo)電微粒分散在通過固化將變?yōu)閺椥跃酆衔锏囊后w聚合物形成材料中，將該用于導(dǎo)電彈性體的材料施加在可松開支撐板15上，從而形成用于導(dǎo)電彈性體的材料層，在其厚度方向上將磁場施加在用于導(dǎo)電彈性體的材料層上，從而定向用于導(dǎo)電彈性體的材料層中的導(dǎo)電微粒P，以便沿厚度方向排列，以及在這種情況下，使用于導(dǎo)電彈性體的材料層經(jīng)受固化處理等等。
在過程(1)中，作為用于將導(dǎo)電彈性體板附著到可松開支撐板26的表面上的手段，可以使用利用導(dǎo)電彈性體板本身的粘著屬性來附著它的方法、通過粘合劑來附著它的方法等等。
在上述過程(2)中，作為用于應(yīng)用用于導(dǎo)電彈性體的材料的特定手段，可以使用諸如絲網(wǎng)印刷的印刷方法、滾涂方法、刮涂方法等等。
作為用于將磁場施加到用于導(dǎo)電彈性體的材料層的手段，可以使用電磁鐵、永久磁體等等。
施加到用于導(dǎo)電彈性體的材料層的磁場的強度最好是總計0.2至2.5T的強度。
通常通過加熱處理來實施用于導(dǎo)電彈性體的材料層的固化處理。根據(jù)形成用于導(dǎo)電彈性體的材料層的聚合物形成材料的類型、導(dǎo)電微粒移動所需的時間等等，可以適當?shù)仡A(yù)設(shè)特定的加熱溫度和加熱時間。
以如圖23所示的方式，在可松開支撐板26上形成的導(dǎo)電彈性體層21A的表面上，形成用于鍍電極的金屬薄層27。如圖24所示，通過光刻法在該金屬薄層27上形成抗蝕劑層28，其中，根據(jù)將形成的導(dǎo)電路徑形成部的圖案，即對應(yīng)于用于測量電阻的連接器中的用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極的圖案，形成多個開口28a。此后，將該金屬薄層27用作鍍電極以便使通過抗蝕劑層28的開口28a暴露的金屬薄層27中的部分經(jīng)受電鍍處理，從而在抗蝕劑層28的開口28a內(nèi)形成金屬掩膜29，如圖25所示。在這種情況下，使導(dǎo)電彈性體層21A、金屬薄層27和抗蝕劑層28經(jīng)受激光束加工，從而去除部分抗蝕劑層28、金屬薄層27和導(dǎo)電彈性體層21A。因此，如圖26所示，在可松開支撐板26上支撐的情況下，形成根據(jù)對應(yīng)于用于測量電阻的連接器中的用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極的圖案排列的多個導(dǎo)電路徑形成部21。此后，從導(dǎo)電路徑形成部21的表面去除剩余的金屬薄層27和金屬掩膜29。
在上述過程中，作為用于在導(dǎo)電彈性體層21A的表面上形成金屬薄層27的方法，可以使用無電鍍方法、濺射方法等等。
作為用于形成金屬薄層27的材料，可以使用銅、金、鋁、銠等等。
金屬薄層27的厚度最好在0.05至2μm，最好是0.1至1μm。如果該厚度太小，不形成均勻的薄層，以及在一些情況下，這種薄層不適合于用作鍍電極。另一方面，如果該厚度太大，在一些情況下，難以通過激光束加工來去除該金屬薄層。
根據(jù)將形成的金屬掩膜29的厚度來預(yù)設(shè)抗蝕劑層28的厚度。
作為用于形成金屬掩膜29的材料，可以使用銅、鐵、鋁、金、銠等等。
金屬掩膜29的厚度最好至少為2μm，最佳為5至20μm。如果該厚度太小，在一些情況下，這種金屬掩膜可能不適合于用作防止激光的掩膜。
最好通過二氧化碳氣體激光器來實施激光束加工，由此，一定能形成所需形狀的導(dǎo)電路徑形成部21。
另一方面，將通過固化變?yōu)榻^緣彈性聚合物的液體聚合物形成材料被施加到用于測量電阻的連接器10的表面上，如圖27所示，從而形成用于絕緣部的材料層22A。然后，將在其上形成多個導(dǎo)電路徑形成部21的可松開支撐板26疊加在已經(jīng)在其上形成用于絕緣部的材料層22A的可松開支撐板26上，如圖28所示，從而使用于測量電阻的連接器10中的用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14與它們相應(yīng)的導(dǎo)電路徑形成部21相接觸。從而在相鄰導(dǎo)電路徑形成部21之間形成用于絕緣部的材料層22A。在這種情況下，然后，使用于絕緣部的材料層22A經(jīng)受固化處理，從而與導(dǎo)電路徑形成部11和用于測量它們間的電阻的連接器10整體形成使相鄰導(dǎo)電路徑形成部21相互絕緣的絕緣部12，如圖29所示。
松開可松開支撐板26，從而獲得如圖20所示結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)接器設(shè)備，其中，在用于測量電阻的連接器10的前表面上，整體形成各向異性導(dǎo)電彈性體層20。
在上述過程中，作為用于施加聚合物形成材料的手段，可以使用諸如絲網(wǎng)印刷的印刷方法、滾涂方法、刮涂方法等等。
根據(jù)將形成的絕緣部22的厚度，預(yù)設(shè)用于絕緣部的材料層22A的厚度。
通常通過加熱處理來實施用于絕緣部的材料層22A的固化處理。根據(jù)形成用于絕緣部的材料層22A的彈性體材料的類型等等，可以適當?shù)仡A(yù)設(shè)具體加熱溫度和加熱時間。
根據(jù)上述生產(chǎn)過程，使其中導(dǎo)電微粒P在定向以便在厚度方向上排列的狀態(tài)下分散的導(dǎo)電彈性體層21A經(jīng)受激光束加工以便去除其一部分，從而形成所需形狀的導(dǎo)電路徑形成部21，以便一定能獲得各向異性導(dǎo)電彈性體層20，其中形成充有所需量的導(dǎo)電微粒P并具有所期望的導(dǎo)電率的導(dǎo)電路徑形成部21。
另外，由于在可松開支撐板26上形成根據(jù)用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14的圖案排列的多個導(dǎo)電路徑形成部21，然后，在這些導(dǎo)電路徑形成部21之間形成用于絕緣部的材料層22A并經(jīng)受固化處理，從而形成絕緣部22，一定能獲得其中已經(jīng)形成導(dǎo)電微粒P根本不存在的絕緣部22的各向異性導(dǎo)電彈性體層20。
另外，不必使用為形成各向異性導(dǎo)電彈性體層而排列大量鐵磁物質(zhì)部分的昂貴模具。
由于在可松開支撐板26上進行通過激光束加工而形成導(dǎo)電路徑形成部21的形成步驟，在形成各向異性導(dǎo)電彈性體層20過程中，不損壞用于測量電阻的連接器10的表面。
用于本發(fā)明的電阻測量的連接器設(shè)備不限于上述實施例，以及可以增加各種改變或改進。
例如，用于測量電阻的連接器10可以是如圖30所示，根據(jù)圖6和7所示的第二實施例的連接器、根據(jù)如圖9和10所示的第三實施例的連接器，以及根據(jù)如圖11所示的第四實施例的連接器，以及根據(jù)本發(fā)明的用于測量電阻的其他連接器的任何一個。
另外，各向異性導(dǎo)電彈性體層20可以是形成導(dǎo)電路徑形成部以便覆蓋連接電極組中的所有電極，或可以是所謂的分散型，即導(dǎo)電微粒在定向以便沿其厚度方向排列的狀態(tài)下包含在彈性聚合物中，以及在其平面方向上分散導(dǎo)電微粒的鏈。
<用于電路板的電阻測量裝置>
圖31是結(jié)合待檢查的電路板，示意性地示例說明根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的用于電路板的電阻測量裝置的結(jié)構(gòu)的截面圖，以及圖32是按放大比例，示例說明如圖31所示的用于電路板的電阻測量裝置的主要部分。
通過垂直排列在將要測量其電阻的待檢查的電路板1的一個表面(圖31中的上表面)側(cè)上排列的上側(cè)轉(zhuǎn)接器40以及彼此相反，在待檢查的電路板1的另一表面(圖31中的下表面)側(cè)上排列的下側(cè)轉(zhuǎn)接器50，構(gòu)成根據(jù)第一實施例的用于電路板的電阻測量裝置。
在上側(cè)轉(zhuǎn)接器40中，提供在待檢查的電路板1的一個表面則(圖31中的上側(cè))排列的如例如圖12所示的結(jié)構(gòu)的用于測量電阻的連接器設(shè)備25。在用于測量電阻的連接器設(shè)備25中，用于測量電阻的連接器10的后表面(圖31中的上表面)上，通過第一上側(cè)各向異性導(dǎo)電片44，排列用于檢查的電路板41的一個表面?zhèn)取８鶕?jù)對應(yīng)于用于測量電阻的連接器設(shè)備25中的中繼電極15的圖案的圖案，在用于檢測的該一個表面?zhèn)入娐钒?1的前表面(圖31中的下表面)上，排列多個檢查電極42。在用于檢測的一個表面?zhèn)入娐钒?1的后表面(圖31中的上表面)上，根據(jù)對應(yīng)于稍后所述的電極板48的標準排列電極49的排列圖案的圖案，排列端子電極43，以及各個端子電極43電連接到它們相應(yīng)的檢查電極42。
通過第二上側(cè)各向異性導(dǎo)電片45，在用于檢查的一個表面?zhèn)入娐钒?1的后表面上，提電流供應(yīng)極板48。該電極板48在其前表面(圖31中的下表面)上具有在具有例如2.54mm、1.87mm或1.27mm間距的標準格點上排列的多個標準排列電極49。通過第二上側(cè)各向異性導(dǎo)電片45，這些標準排列電極49分別電連接到用于檢查的一個表面?zhèn)入娐钒?1的端子電極43，以及通過電極板48的內(nèi)部布線(未示出)，連接到測試器59。
在該實施例中，第一上側(cè)各向異性導(dǎo)電片44是所謂的不均勻分布型各向異性導(dǎo)電片，由根據(jù)對應(yīng)于用于測量電阻的連接器10的中繼電極15的圖案的圖案排列并且每個沿厚度方向延伸的多個導(dǎo)電路徑形成部(未示出)，以及插入這些導(dǎo)電路徑形成部中以便使它們相互絕緣的絕緣部(未示出)組成。通過使導(dǎo)電微粒在定向以便在厚度方向排列的狀態(tài)下包含在絕緣彈性聚合物中而形成導(dǎo)電路徑形成部。絕緣部由根本不包含導(dǎo)電微?；驇缀醪话鼈兊慕^緣彈性聚合物組成。
另一方面，第二上側(cè)各向異性導(dǎo)電板45是所謂的分散型各向異性導(dǎo)電片，其中，導(dǎo)電微粒在定向以便沿板厚度方向排列從而形成鏈的狀態(tài)下包含在彈性聚合物中，以及在板的平面方向上分散導(dǎo)電微粒鏈。
從示例為在用于測量電阻的連接器設(shè)備25中組成各向異性導(dǎo)電彈性體層20的彈性聚合物和導(dǎo)電微粒，可以適當?shù)剡x擇和使用組成這些第一上側(cè)各向異性導(dǎo)電片44和第二上側(cè)各向異性導(dǎo)電片45的彈性聚合物和導(dǎo)電微粒。
在下側(cè)轉(zhuǎn)接器50中，提供用于檢查的另一表面?zhèn)入娐钒?1，以及根據(jù)對應(yīng)于待檢查的另一表面?zhèn)入姌O3的排列圖案的圖案，在用于檢查的另一表面?zhèn)入娐钒?1的前表面(圖31中的上表面)上，排列檢查電極對，每個由在彼此分開的狀態(tài)下排列到待檢查的電路板1的待檢查的一個另一表面?zhèn)入姌O3的用于電流供應(yīng)的檢查電極52a和用于電壓測量的檢查電極52b組成，以便位于等于由待檢查的另一表面?zhèn)入姌O3占用的區(qū)域的面積的區(qū)域內(nèi)。根據(jù)對應(yīng)于稍后所述的電極板60的標準排列電極61的排列圖案的圖案，在用于檢查的另一側(cè)電路板51的后表面上排列用于電流供應(yīng)的端子電極53a和用于電壓測量的端子電極53b。這些用于電流供應(yīng)的端子電極53a和用于電壓測量的端子電極53b電連接到它們相應(yīng)的用于電流供應(yīng)的檢查電極52a和用于電壓測量的檢查電極52b。
在用于檢查的另一表面?zhèn)入娐钒?1的前表面上，整體形成各向異性導(dǎo)電彈性體層55。在該各向異性導(dǎo)電彈性體層55的表面上，形成共用導(dǎo)電路徑形成部56，每個分別與組成檢查電極對的用于電流供應(yīng)的檢查電極52a和用于電壓測量的檢查電極52b的表面(圖31中的上表面)相接觸。在相鄰導(dǎo)電路徑形成部56之間形成使導(dǎo)電路徑形成部相互絕緣的絕緣部57。通過使導(dǎo)電微粒在定向以便在厚度的方向上排列的狀態(tài)下包含在絕緣彈性聚合物中，形成導(dǎo)電路徑形成部56，以及絕緣部57由根本不包含導(dǎo)電微?；驇缀醪话鼈兊慕^緣彈性聚合物組成。在導(dǎo)電路徑形成部56的表面(圖31中的上表面)從絕緣部57的表面凸出的狀態(tài)下，形成該實施例中的各向異性導(dǎo)電彈性體層55。
通過下側(cè)各向異性導(dǎo)電片62，在用于檢查的另一表面?zhèn)入娐钒?1的后表面(圖31中的下表面)上提電流供應(yīng)極板60。
電極板60和下側(cè)各向異性導(dǎo)電片62分別對應(yīng)于上側(cè)轉(zhuǎn)接器40中的電極板48和第二上側(cè)各向異性導(dǎo)電片45。電極板60在其表面(圖31中的上表面)上具有在具有例如2.54mm、1.87mm或1.27mm的間距的標準格點上排列的多個標準排列電極61。通過下側(cè)各向異性導(dǎo)電片62，標準排列電極61的每一個電連接到用于檢查的另一表面?zhèn)入娐钒?1的用于電流供應(yīng)的端子電極53a和用于電壓測量的端子電極53b，以及通過電極板60的內(nèi)部布線(未示出)，還連接到測試器59。下側(cè)各向異性導(dǎo)電片62是所謂的分散型各向異性導(dǎo)電片，其中，導(dǎo)電微粒在定向以便沿厚度方向排列的狀態(tài)下包含在彈性聚合物中以便形成鏈，以及在板的平面方向上分散導(dǎo)電微粒鏈。
各向異性導(dǎo)電彈性體層55中的導(dǎo)電路徑形成部56最好在其厚度方向，而不是垂直于厚度方向的平面方向中，具有更高導(dǎo)電率。具體地，導(dǎo)電路徑形成部最好具有厚度方向上的電阻值與平面方向上的電阻值的比率為1或更小，特別是0.5或更低的電特性。
如果該比率超出1，則通過導(dǎo)電路徑形成部56在用于電流供應(yīng)的檢查電極52a和用于電壓測量的檢查電極52b之間流動的電流變高，使得在一些情況下難以高精度地測量電阻。
根據(jù)這種觀點，導(dǎo)電路徑形成部56中導(dǎo)電微粒的填充率按體積來說最好為5至50％。
能根據(jù)任何適當?shù)姆椒?，例如在日本專利申請公開號No.2000-74965中所述的方法，來形成這種各向異性導(dǎo)電彈性體層55。
可以從示例為組成用于測量電阻的連接器設(shè)備25中的各向異性導(dǎo)電彈性體層20的彈性聚合物和導(dǎo)電微粒，適當?shù)剡x擇和使用組成各向異性導(dǎo)電彈性體層55和下側(cè)各向異性導(dǎo)電片62的彈性聚合物和導(dǎo)電微粒。
在用于檢查的另一表面?zhèn)入娐钒?1中，用于電流供應(yīng)的檢查電極52a和用于電壓測量的檢查電極52b之間的間隙最好至少為10μm。如果該間隙短于10μm，則通過導(dǎo)電路徑形成部56在用于電流供應(yīng)的檢查電極52a和用于電壓測量的檢查電極52b之間流動的電流變高，使得在一些情況下，難以高精度地測量電阻。
另一方面，通過各個檢查電極的大小以及與之有關(guān)的待檢查的另一表面?zhèn)入姌O3的尺寸和間距，來確定間隙的上限，以及通常至多為500μm。如果該間隙太長，在一些情況下，難以適當?shù)嘏帕袑?yīng)于待檢查的一個另一表面?zhèn)入姌O3的檢查電極。
在上述用于電路板的電阻測量裝置中，用下述方式，測量在待檢查的任何一個表面?zhèn)入姌O2和待檢查的電路板1中待檢查的相應(yīng)另一表面?zhèn)入姌O3之間的電阻。
在上側(cè)轉(zhuǎn)接器40和下側(cè)轉(zhuǎn)接器50之間的必要位置排列待檢查的電路板1，以及在這種情況下，降低上側(cè)轉(zhuǎn)接器40并提升上側(cè)轉(zhuǎn)接器50，從而在壓力下使用于測量電阻的連接器設(shè)備25中的各向異性導(dǎo)電彈性體層20與待檢查的電路板1的一個表面接觸，同時，在壓力下使在用于檢查的另一表面?zhèn)入娐钒?1的前表面上形成的各向異性導(dǎo)電彈性體層55與待檢查的電路板1的另一表面接觸。該狀態(tài)是測量狀態(tài)。
在該可測量狀態(tài)下，在用于測量電阻的連接器10中的用于電流供應(yīng)的電極12和用于檢查的另一表面?zhèn)入娐钒?1中的用于電流供應(yīng)的檢查電極52a之間提供恒定值的電流，指定電連接到待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2的用于電壓測量的電極14中的一個用于電壓測量的電極14，測量指定的一個用于電壓測量的電極14和電連接到對應(yīng)于電連接到用于電壓測量的電極14的待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2的待檢查的另一表面?zhèn)入姌O3的檢查電極對中用于電壓測量的檢查電極52b之間的電壓，以及基于由此獲得的電壓值，獲得電連接到用于電壓測量的指定電極14的待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2和其相應(yīng)的待檢查的另一表面?zhèn)入姌O3之間的電阻值。
通過連續(xù)地改變將指定的用于電壓測量的電極14，能進行待檢查的所有一個表面?zhèn)入姌O2和它們相應(yīng)的待檢查的另一表面?zhèn)入姌O3之間的電阻的測量。
在上述過程中，當將用于測量電阻的連接器10的連接電極組12中的2個用于電壓測量的電極14電連接到待檢查的電路板1中的待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2時，如圖33所示，在待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2及其相應(yīng)的待檢查的另一表面?zhèn)入姌O3之間，形成用于電壓測量的2個電路C1和C2。在這種情況下，采用用于電壓測量的電路C1的電阻值和用于電壓測量的電路C2的電壓值之間的較高值，以及基于該電壓值，獲得待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2及其相應(yīng)的待檢查的另一表面?zhèn)入姌O3之間的電阻值。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的用于電路板的電阻測量裝置，在其上側(cè)轉(zhuǎn)接器40上，提供如圖1和2所示結(jié)構(gòu)的用于測量電阻的連接器10，從而在到待檢查的電路板1的電連接操作中，到待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2的未對準的容差高，以致即使當待檢查的電路板面積大并具有多個待檢查的小尺寸的一個表面?zhèn)入姌O2時，也一定能實現(xiàn)用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14與待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2的電連接。另外，由于用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14彼此電絕緣，能高精度地測量待檢查的電路板1的電阻。
圖34示例說明根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的用于電路板的電阻測量裝置的結(jié)構(gòu)的截面圖，以及圖35按放大比例示例說明如圖34所示的用于電路板的電阻測量裝置的主要部分。
通過垂直排列將要測量其電阻的待檢查的電路板1和一個表面(圖34中的上表面)側(cè)上排列的上側(cè)轉(zhuǎn)接器40，以及在彼此相對的待檢查的電路板1的另一表面(圖34中的下表面)側(cè)上排列的下側(cè)轉(zhuǎn)接器50，構(gòu)成根據(jù)第二實施例的用于電路板的電阻測量裝置。上側(cè)轉(zhuǎn)接器40具有與根據(jù)第一實施例的電阻測量裝置中的上側(cè)轉(zhuǎn)接器相同的結(jié)構(gòu)。
在下側(cè)轉(zhuǎn)接器50中，提供排列在待檢查的電路板1的另一表面?zhèn)?圖34中的下側(cè))上的例如圖12所示的結(jié)構(gòu)的用于測量電阻的連接器設(shè)備25。在用于測量電阻的連接器設(shè)備25中的用于測量電阻的連接器10的后表面(圖34中的下表面)上，通過第一下側(cè)各向異性導(dǎo)電片64，排列用于檢查的另一表面?zhèn)入娐钒?1。通過第二下側(cè)各向異性導(dǎo)電片65，在用于檢查的另一表面?zhèn)入娐钒?1的后表面上提電流供應(yīng)極板60。該電極板60具有與根據(jù)第一實施例的電阻測量裝置的下側(cè)轉(zhuǎn)接器中的電極板相同的結(jié)構(gòu)。
根據(jù)對應(yīng)于用于測量電阻的連接器設(shè)備25中的中繼電極15的圖案的圖案，在用于檢查的另一表面?zhèn)入娐钒?1的前表面(圖34中的上表面)上排列多個檢查電極52。在用于檢查的另一表面?zhèn)入娐钒?1的后表面(圖34中的下表面)上，根據(jù)對應(yīng)于電極板60的標準排列電極61的排列圖案的圖案，排列端子電極53，以及各個端子電極53電連接到它們相應(yīng)的檢查電極52。
在該實施例中的第一下側(cè)各向異性導(dǎo)電片64是所謂的不均衡分布型各向異性導(dǎo)電片，由根據(jù)對應(yīng)于用于測量電阻的連接器10的中繼電極15的圖案的圖案排列并分別在厚度方向上延伸的多個導(dǎo)電路徑形成部(未示出)，以及插入這些導(dǎo)電路徑形成部中以便使它們相互絕緣的絕緣部(未示出)組成。通過使導(dǎo)電顆粒在定向以便在厚度方向上排列的狀態(tài)下包含在絕緣彈性聚合物中，形成導(dǎo)電路徑形成部。絕緣部由根本不包含導(dǎo)電顆?；驇缀醪话鼈兊慕^緣彈性聚合物組成。
另一方面，第二下側(cè)各向異性導(dǎo)電片65是所謂的分散型各向異性導(dǎo)電片，其中，導(dǎo)電顆粒在定向以便在厚度方向上排列的狀態(tài)下包含在彈性聚合物中以便形成鏈，以及在板的平面方向上分散導(dǎo)電微粒鏈。
可以從示例為組成用于測量電阻的連接器設(shè)備25中的各向異性導(dǎo)電彈性體層20的彈性聚合物和導(dǎo)電微粒，適當?shù)剡x擇和使用組成這些第一下側(cè)各向異性導(dǎo)電片64和第二下側(cè)各向異性導(dǎo)電片65的彈性聚合物和導(dǎo)電微粒。
在上述用于電路板的電阻測量裝置中，用下述方式，測量待檢查的電路板1中的待檢查的任何一個表面?zhèn)入姌O2及其相應(yīng)的另一表面?zhèn)入姌O3之間的電阻。
在上側(cè)轉(zhuǎn)接器40和下側(cè)轉(zhuǎn)接器50之間的必要位置處放置待檢查的電路板1，以及在這種情況下，降低上側(cè)轉(zhuǎn)接器40并提升下側(cè)轉(zhuǎn)接器50，從而在壓力下，使上側(cè)轉(zhuǎn)接器40中的用于測量電阻的連接器設(shè)備25中的各向異性導(dǎo)電彈性體層20與待檢查的電路板1的一個表面接觸，同時，在壓力下，使下側(cè)轉(zhuǎn)接器50中的用于測量電阻的連接器設(shè)備25中的各向異性導(dǎo)電彈性體層20與待檢查的電路板1的另一表面接觸。該狀態(tài)是可測量狀態(tài)。
在該可測量狀態(tài)下，在上側(cè)轉(zhuǎn)接器40的用于測量電阻的連接器10中的用于電流供應(yīng)的電極12和下側(cè)轉(zhuǎn)接器50的用于測量電阻的連接器10中的用于電流供應(yīng)的電極12之間，提供恒定值的電流，指定電連接到待檢查的一個表面?zhèn)入姌O的用于電壓測量的電極中的一個用于電壓測量的電極14，測量指定的一個用于電壓測量的電極14和電連接到對應(yīng)于電連接到指定的用于電壓測量的電極14的待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2的另一表面?zhèn)入姌O3的用于電壓測量的電極14之間的電壓，基于由此獲得的電壓值而得到電連接到指定的用于電壓測量的電極14的待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2及其相應(yīng)的待檢查的另一表面?zhèn)入姌O3之間的電阻。
可以通過連續(xù)地改變將指定用于電壓測量的電極14來進行所有的待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2及其相應(yīng)的待檢查的另一表面?zhèn)入姌O3之間的電阻的測量。
在上述過程中，當用于測量電阻的連接器10的連接電極組12中的2個用于電壓測量的電極14電連接到待檢查的電路板1中的待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2，以及用于測量電阻的連接器10的連接電極組12中的2個用于電壓測量的電極14電連接到待檢查的電路板1中的待檢查的另一表面?zhèn)入姌O3時，在待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2及其相應(yīng)的待檢查的另一表面?zhèn)入姌O3之間，形成用于電壓測量的4個電路C1、C2、C3和C4。在這種情況下，采用用于電壓測量的電路C1、用于電壓測量的電路C2、用于電壓測量的電路C3以及用于電壓測量的電路C4的每一個的電壓值中的最大值，以及基于該電壓值，獲得待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2及其相應(yīng)的待檢查的另一表面?zhèn)入姌O3之間的電阻值。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的用于電路板的電阻測量裝置，在上側(cè)轉(zhuǎn)接器40和下側(cè)轉(zhuǎn)接器50上，提供如圖1和2所示的結(jié)構(gòu)的用于測量電阻的連接器10，從而在到待檢查的電路板1的電連接操作中，待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2和待檢查的另一表面?zhèn)入姌O3的未對準的容差高，以致即使當待檢查的電路板1面積大并具有多個待檢查的小尺寸的一個表面?zhèn)入姌O2和待檢查的另一表面?zhèn)入姌O3時，也一定能實現(xiàn)用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14到待檢查的一個表面?zhèn)入姌O2和待檢查的另一表面?zhèn)入姌O3的電連接。另外，由于用于電流供應(yīng)的電極13和用于電壓測量的電極14彼此電絕緣，能高精度地測量待檢查的電路板1的電阻。
根據(jù)本發(fā)明的電阻測量裝置不限于上述實施例，以及可以增加下述各種改變或改進。
例如，在第一實施例中，作為用于檢查下側(cè)轉(zhuǎn)接器50的另一表面?zhèn)入娐钒?1，可以使用各種類型，只要能實現(xiàn)使組成一對檢查電極的用于電流供應(yīng)的檢查電極52和用于電壓測量的檢查電極53電連接到待檢查的另一表面?zhèn)入姌O3的狀態(tài)。
另外，作為各向異性導(dǎo)電彈性體層55，可以使用對應(yīng)于用于電流供應(yīng)的檢查電極52和用于電壓測量的檢查電極53的每一個，形成導(dǎo)電路徑形成部。
如果允許的話，可以將在每個尖端上提供導(dǎo)電彈性體的檢查電極，以及另外探針用作檢查電極。
當待檢查的電路板是單面印刷電路板時，不需要提供下側(cè)轉(zhuǎn)接器。
在下文中，將通過下述例子，具體地描述本發(fā)明。然而，本發(fā)明不限于下述例子。
在下面的例子中，將下述規(guī)格的單面印刷電路板用作待檢查的電路板。
具有3cm乘3cm尺寸的單面印刷電路板，其中，總共4個電極組，在其一個表面上形成每個包括具有100μm的直徑并按0.2mm間距排列的待檢查的600個電極(總共待檢查電極數(shù)2,400)，以及在每個電極組中的待檢查的600個電極中的每2個電極通過內(nèi)部布線彼此電連接以形成電路(每個電極組中的電路數(shù)300；電路總數(shù)1,200)。
<例子1>
{用于測量電阻的連接器}根據(jù)如圖1和2所示的結(jié)構(gòu)，生產(chǎn)下述規(guī)格的用于測量電阻的連接器。
絕緣襯底(11)材料玻璃纖維-加強的環(huán)氧樹脂，
絕緣襯底(11)的尺寸100mm×100mm×0.5mm連接電極組(12)用于電流供應(yīng)的電極(13)和用于電壓測量的電極(14)的尺寸50μm×50μm，用于電流供應(yīng)的電極(13)和用于電壓測量的電極(14)之間的間隙30μm，連接電極組(12)的間距200μm，連接電極組(12)的數(shù)量600。
中繼電極(15)中繼電極(15)的尺寸直徑(圓)120μm中繼電極(15)的間距350μm，中繼電極(15)的數(shù)量1,200[用于測量電阻的連接器設(shè)備]用下述方式，在用于測量電阻的上述連接器的前表面上形成各向異性導(dǎo)電彈性體層，以便生產(chǎn)用于測量電阻的連接器設(shè)備。
(1)模具根據(jù)圖14所示的結(jié)構(gòu)及下述規(guī)格，生產(chǎn)用于獲得各向異性導(dǎo)電彈性體層的模具。
更具體地說，在上模(30)和下模(35)中的各個鐵磁基板(31，36)的材料是鐵，及其厚度為10mm。鐵磁物質(zhì)層(32，37)的材料為鎳，每個層的平面形狀為圓形，及其尺寸為直徑300μm，以及厚度為100μm。上模(30)中的非磁性物質(zhì)層(33)的材料是經(jīng)受固化處理的干膜抗蝕劑，以及其厚度為150μm。下模(35)中的非磁性物質(zhì)層(38)的材料是經(jīng)受固化處理的干膜抗蝕劑，以及其厚度為100μm。
(2)用于彈性體的材料在按重量將具有平均顆粒直徑10μm的15份導(dǎo)電微粒添加到按重量100份附加型液體硅橡膠之后，通過降壓，使最終混合物經(jīng)受去泡沫處理，從而準備用于彈性體的材料。在上述過程中，將通過用金鍍由鎳組成的核心微粒獲得的那些(平均涂層量重量為核心顆粒的重量的4％)用作導(dǎo)電微粒。在25℃的溫度，用于彈性體的材料的粘性為4,800P。
(3)各向異性導(dǎo)電彈性體層通過絲網(wǎng)印刷，將由此準備的用于彈性體的材料施加到用于測量電阻的連接器(10)的前表面上，從而形成用于彈性體的材料層(20A)，以及將上模(30)和下模(35)分別排列在用于彈性體的該材料層(20A)的前表面上和用于測量電阻的連接器10的后表面上。此后，在125℃和2個小時的條件下，使用于彈性體的材料層(20A)經(jīng)受固化處理，同時通過將電磁體分別排列在上模(30)的下表面以及下模(35)的下表面上，將2T的磁場在其厚度的方向上應(yīng)用于用于彈性體的材料層(20A)的位于上模(30)的磁化物質(zhì)層(32)和下模(35)的鐵磁物質(zhì)層(37)之間的部分，以及操作該電磁體，從而在用于測量電阻的連接器(10)的前表面上，形成在位于連接電極組區(qū)的表面上的部分處，包含在定向以便在厚度方向排列的狀態(tài)下顯示出磁性的導(dǎo)電微粒的彈性體層(20B)。
通過二氧化碳氣體激光器，使由此獲得的彈性體層(20B)經(jīng)受激光束加工，從而去除位于包含導(dǎo)電微粒的部分中的連接電極組(12)的各個電極之間的區(qū)域的表面上的部分，從而形成十字形狀的孔部(K)。然后，將另外類型的液體硅橡膠填充到空部分(K)中，以及在125℃以及2個小時的條件下，使另外類型的液體硅橡膠經(jīng)受固化處理，從而形成各向異性導(dǎo)電彈性體層(20)，從而生產(chǎn)用于測量電阻的連接器設(shè)備(25)。
(4)用于電路板的電阻測量裝置使用用于電阻測量的上述連接器設(shè)備來產(chǎn)生包括上側(cè)轉(zhuǎn)接器和測試器的如圖31所示的電阻測量裝置。
<比較例子1>
根據(jù)在日本專利申請公開號No.2000-74965中所述的結(jié)構(gòu)，生產(chǎn)電阻測量裝置，具有在其前表面上對應(yīng)于將檢查的電極形成用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極的用于檢查的電路板、包括在用于檢查的電路板的前表面上提供的導(dǎo)電彈性體的連接件，以及保持構(gòu)件。
在用于檢查的電路板中，用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極分別具有120μm長和40μm寬的尺寸。用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極之間的間隙為40μm，連接件的厚度為0.06mm，將硅橡膠用作用于形成連接件的彈性聚合物，以及具有平均顆粒直徑為10μm、用金鍍的鎳顆粒用作導(dǎo)電顆粒。
提供上述規(guī)格的待檢查的總共200個電路板，并通過根據(jù)例子1和比較例子1的電阻測量裝置，測量在將檢查的那些電路板中每個電路的電阻，以便當電路的電阻的測量值為1Ω或更高時，判斷為連接故障，從而計數(shù)其數(shù)量。
因此，在根據(jù)例子1的電阻測量裝置中，在100個電路板(1,200電路×100)中，具有其電阻的測量值為1Ω或更高的電路的電路板的數(shù)量為0，而在根據(jù)比較例子1的電阻測量裝置中，在100個電路板(1,200×100)中，具有其電阻的測量值為1Ω或更高的電路的電路板的數(shù)量為25。
權(quán)利要求
1.一種用于測量電阻的連接器，包括絕緣襯底和根據(jù)對應(yīng)于將要測量其電阻的待檢查的電路板中的待檢查的多個電極的圖案的圖案排列在所述絕緣襯底的前表面上的多個連接電極組，其中，所述連接電極組的每一個由在彼此分離的狀態(tài)下排列的用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極的至少3個電極組成，這些電極的至少一個是用于電流供應(yīng)的電極，以及其至少一個是用于電壓測量的電極。
2.一種用于測量電阻的連接器，包括絕緣襯底和根據(jù)對應(yīng)于將要測量其電阻的待檢查的電路板中的待檢查的多個電極的圖案的圖案排列在所述絕緣襯底的前表面上的多個連接電極組，其中，所述連接電極組的每一個由位于矩形中的相對角的頂點位置處的2個用于電流供應(yīng)的電極和位于另一相對角的頂點位置處的2個用于電壓測量的電極組成，在彼此分開的狀態(tài)下排列所述電極。
3.一種用于測量電阻的連接器，包括絕緣襯底和根據(jù)對應(yīng)于將要測量其電阻的待檢查的電路板中的待檢查的多個電極的圖案的圖案排列在所述絕緣襯底的前表面上的多個連接電極組，其中，所述連接電極組的每一個由用于電壓測量的電極、用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極的3個電極組成，在彼此分開的狀態(tài)下排列以便按此順序排列。
4.一種用于測量電阻的連接器，包括絕緣襯底和根據(jù)對應(yīng)于將要測量其電阻的待檢查的電路板中的待檢查的多個電極的圖案的圖案排列在所述絕緣襯底的前表面上的多個連接電極組，其中，所述連接電極組的每一個由用于電流供應(yīng)的電極、用于電壓測量的電極和用于電流供應(yīng)的電極的3個電極組成，在彼此分開的狀態(tài)下排列以便按此順序排列。
5.如權(quán)利要求3或4所述的用于測量電阻的連接器，其中，所述連接電極組中的用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極的每一個在垂直于這些電極的排列方向的方向上，具有長的形狀。
6.如權(quán)利要求1至5的任何一個所述的用于測量電阻的連接器，其中，在所述絕緣襯底的后表面上，排列電連接到用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極的任何一個的多個中繼電極。
7.如權(quán)利要求6所述的用于測量電阻的連接器，其具有電連接到多個用于電流供應(yīng)的電極的中繼電極。
8.一種用于測量電阻的連接器設(shè)備，包括如權(quán)利要求1至7的任何一個所述的用于測量電阻的連接器，以及整體層壓在所述用于測量電阻的連接器的前表面上的各向異性導(dǎo)電彈性體層。
9.如權(quán)利要求8所述的用于測量電阻的連接器設(shè)備，其中，所述各向異性導(dǎo)電彈性體層由排列在所述用于電流供應(yīng)的電極和所述用于電壓測量的電極的各個表面上并沿其厚度方向延伸的多個導(dǎo)電路徑形成部，以及使這些導(dǎo)電路徑形成部相互絕緣的絕緣部組成。
10.如權(quán)利要求9所述的用于測量電阻的連接器設(shè)備，其中，所述各向異性導(dǎo)電彈性體層中的所述導(dǎo)電路徑形成部包含定向以便在厚度方向上排列的狀態(tài)下的顯示出磁性的導(dǎo)電顆粒。
11.一種用于生產(chǎn)如權(quán)利要求10所述的用于測量電阻的連接器設(shè)備的方法，包括步驟通過在用于測量電阻的連接器的前表面上，形成在通過固化將變?yōu)閺椥跃酆衔锏囊后w聚合物形成材料中包含顯示出磁性的導(dǎo)電顆粒的用于彈性體的材料層，將在位于已經(jīng)形成所述連接電極組的區(qū)域表面上的部分而不是其他部分具有較高強度的磁場在其厚度方向上應(yīng)用于用于彈性體的材料層，并使用于彈性體的材料層經(jīng)受固化處理，在如權(quán)利要求1-7的任何一個所述的用于測量電阻的連接器的前表面上，形成在位于已經(jīng)形成用于測量電阻的連接器的連接電極組的區(qū)域表面上的部分中，包含定向以便沿其厚度方向排列的狀態(tài)下的導(dǎo)電微粒的彈性體層，除去該彈性體層中包含導(dǎo)電微粒的部分中，位于所述連接電極組的各個電極之間的區(qū)域表面上的部分以便形成孔部；以及然后，將通過固化將變?yōu)閺椥跃酆衔锏囊后w聚合物形成材料填充到所述孔部中，并使所述聚合物形成材料經(jīng)受固化處理。
12.一種用于電路板的電阻測量裝置，用于測量在其至少一個表面上具有電極的電路板的電阻，包括如權(quán)利要求1至7的任何一個所述的用于測量電阻的連接器，其排列在將要測量其電阻的待檢查的電路板的一個表面?zhèn)壬稀?br> 13.一種用于電路板的電阻測量裝置，用于測量在其至少一個表面上具有電極的電路板的電阻，包括如權(quán)利要求6或7所述的用于測量電阻的連接器，其排列在將要測量其電阻的待檢查的電路板的一個表面?zhèn)壬?，以及用于檢查的一個表面?zhèn)入娐钒?，通過一個各向異性導(dǎo)電片排列在該用于測量電阻的連接器的后表面上，以及在其表面上具有根據(jù)對應(yīng)于用于測量電阻的連接器中的所述中繼電極的圖案的圖案排列的檢查電極。
14.如權(quán)利要求12或13所述的用于電路板的電阻測量裝置，其是用于測量在其兩個表面上具有電極的電路板的電阻的用于電路板的電阻測量裝置，以及進一步包括在將要測量其電阻的待檢查的電路板的另一表面?zhèn)壬吓帕械挠糜跈z查的另一表面?zhèn)入娐钒?，其中，用于檢查的另一表面?zhèn)入娐钒逶谄淝氨砻嫔暇哂袑?yīng)于待檢查的電路板的待檢查的另一表面?zhèn)入姌O的每一個以及在彼此分開的情況下排列并形成電連接到待檢查的相同另一表面?zhèn)入姌O的用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極。
15.一種用于電路板的電阻測量裝置，用于測量在其兩個表面上具有電極的電路板的電阻，包括如權(quán)利要求1至7的任何一個所述的用于測量電阻的連接器，其排列在將要測量其電阻的待檢查的電路板的一個表面?zhèn)壬?，以及如?quán)利要求1至7的任何一個所述的用于測量電阻的連接器，其排列在待檢查的電路板的另一表面?zhèn)壬稀?br> 16.一種用于電路板的電阻測量裝置，用于測量在其兩個表面上具有電極的電路板的電阻，包括如權(quán)利要求6或7所述的用于測量電阻的連接器，其排列在將要測量其電阻的待檢查的電路板的一個表面?zhèn)壬希糜跈z查的一個表面?zhèn)入娐钒?，通過各向異性導(dǎo)電片排列在該用于測量電阻的連接器的后表面上，以及在其表面上，具有根據(jù)對應(yīng)于用于測量電阻的連接器的中繼電極的圖案的圖案排列的檢查電極，如權(quán)利要求6或7所述的用于測量電阻的連接器，其排列在待檢查的電路板的另一表面?zhèn)壬?，以及用于檢查的另一表面?zhèn)入娐钒澹ㄟ^各向異性導(dǎo)電片排列在該用于測量電阻的連接器的后表面上，以及在其表面上，具有根據(jù)對應(yīng)于用于測量電阻的連接器的中繼電極的圖案的圖案排列的檢查電極。
17.一種用于電路板的電阻測量方法，包括將如權(quán)利要求1至7的任何一個所述的用于測量電阻的連接器排列在將要測量其電阻的待檢查的電路板的一個表面上，將用于測量電阻的連接器的連接電極組中的至少一個用于電流供應(yīng)的電極和至少一個用于電壓測量的電極同時電連接到待檢查的電路板的待檢查的一個表面?zhèn)入姌O的每一個上，從而產(chǎn)生可測量狀態(tài)，以及在該可測量狀態(tài)下，通過用于測量電阻的連接器中的用于電流供應(yīng)的電極，將電流提供給待檢查的電路板，以及指定電連接到待檢查的一個表面?zhèn)入姌O的用于電壓測量的電極中的一個用于電壓測量的電極，以便對于電連接到所指定的一個用于電壓測量的電極的待檢查的一個表面?zhèn)入姌O執(zhí)行電阻測量。
全文摘要
在此公開了一種用于測量電阻的連接器、用于測量電阻的連接器設(shè)備及其制造方法，以及用于電路板的測量裝置和測量方法，通過它們，即使當待檢查的電路板面積大并具有多個尺寸小的待檢查電極時，也一定能實現(xiàn)必要的電連接，以及一定能以高精度地執(zhí)行期望的電阻測量。根據(jù)本發(fā)明，用于測量電阻的連接器包括絕緣襯底和根據(jù)對應(yīng)于將要測量其電阻的待檢查的電路板中的多個待檢查電極的圖案的圖案，在絕緣襯底的前表面上排列的多個連接電極組。上述連接電極組的每一個由在彼此分開排列的用于電流供應(yīng)的電極和用于電壓測量的電極的至少3個電極組成，這些電極的至少一個是用于電流供應(yīng)的電極，以及其至少一個是用于電壓測量的電極。
文檔編號G01R1/073GK1764844SQ200480007778
公開日2006年4月26日 申請日期2004年3月23日 優(yōu)先權(quán)日2003年3月26日
發(fā)明者木村潔, 下田杉郎, 原富士雄 申請人:Jsr株式會社