專利名稱：檢漏設備的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種根據(jù)逆流類型工作的檢漏設備。
背景技術：
從WO96/24828中已知一種檢漏設備。在這種類型的檢漏設備中，可以分別調(diào)整檢漏設備的靈敏度和檢測范圍。為此，入口與質(zhì)譜儀連接并且出口與預真空泵連接的高真空泵提供有中間入口，該中間入口通過連接導管連接到檢漏設備上。在連接導管路線中，提供可調(diào)節(jié)電導的閥?？烧{(diào)節(jié)的閥起到可調(diào)節(jié)節(jié)流閥的作用，而檢漏設備輸入的壓力如此之高導致在質(zhì)譜儀中的未節(jié)流的連接導管將通向內(nèi)部壓力，而內(nèi)部壓力是如此的高導致該質(zhì)譜儀無法工作。由于費用的原因，閥的內(nèi)徑限制為盡可能小的直徑。然而，即使在閥完全打開的情況下也能減小抽吸量，因此，可以維持非常重要的節(jié)流效果。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個目的是提供一種具有改善抽吸量的便宜的檢漏設備。
根據(jù)本發(fā)明，采用權利要求1的特征來達到這個目的。
根據(jù)本發(fā)明的檢漏設備包括在連接導管路線中的第二閥，該第二閥與可調(diào)節(jié)的第一閥平行設置。通過該第二閥，在連接導管路線的所有打開的閥的總電導得到了顯著的增加，因此，利用具有很小的內(nèi)徑的相對便宜的閥也可以實現(xiàn)很好的總電導。因此，就避免了對具有很大內(nèi)徑，也就是很高電導的非常昂貴的單個閥的需求。兩個閥彼此平行設置，也就是，在檢漏設備輸入和該高真空泵的唯一的中間入口之間的唯一的連接導管路線中它們彼此平行。
對于具有干式運行(dry-running)泵(例如，作為預真空泵的隔膜泵)的檢漏設備來說，連接到檢漏設備輸入端上的檢驗腔首先抽空到大約10-5毫巴。當真空度已經(jīng)到達這個壓力范圍或者降到低于這個壓力范圍的時候，那么該可調(diào)節(jié)的第一閥就被慢慢地開啟。該可調(diào)節(jié)的閥的調(diào)節(jié)可以依賴于輸入壓力來實現(xiàn)，也就是說，依賴于檢漏設備的輸入端處的壓力。由于可調(diào)節(jié)的第一閥并沒有完全打開，因此在預真空壓力值下已經(jīng)可以開始測量，由于可調(diào)節(jié)的第一閥起到節(jié)流閥的作用，因此該預真空壓力值仍然明顯地高于高真空泵的中間輸入端的最大許可壓力。由于節(jié)流效果，因此在高真空泵的中間入口產(chǎn)生低壓，在質(zhì)譜儀中也沒有達到最大許可壓力，并且質(zhì)譜儀仍然可以開始測量。在連接導管中的可調(diào)節(jié)閥的電導如此設置使其盡量高，然而，并沒有超出質(zhì)譜儀的最大許可壓力。一旦預真空壓力值下降到預定限度，該可調(diào)節(jié)閥就能夠被完全打開，并且該第二閥也可以被完全打開。因此，在連接導管中的兩個閥的組合電導被增大，以致高真空泵的抽吸量也能夠得到完全的利用。
在油封預真空泵中，檢漏設備輸入端被抽空到大約1毫巴，并且當該壓力下降到低于這個值的時候，可調(diào)節(jié)的第一閥被首先打開，接下來，打開連接導管路線的第二閥。因此，使得在早期實現(xiàn)靈敏測量成為可能。從10-2毫巴的壓力向上，兩個平行的閥能夠被完全打開以提供在檢漏設備輸入端的盡可能大的抽吸量。
通過提供平行于可調(diào)節(jié)的第一閥的第二閥，當打開閥的時候能夠獲得高電導，因此可以使用具有相對小直徑或者橫截面的閥，這些閥在降低成本上是有效的。
根據(jù)優(yōu)選實施例，第二閥為切換閥，該切換閥能夠在開啟和關閉狀態(tài)下轉(zhuǎn)換。該第二閥用于增加整個閥門裝置的電導。因此，不需要使用可調(diào)節(jié)的閥作為第二閥，可以使用廉價的切換閥。
優(yōu)選地，可調(diào)節(jié)的第一閥可以被連續(xù)地調(diào)節(jié)。因此，第一閥能夠連續(xù)地適應各種壓力條件。
根據(jù)優(yōu)選實施例，每個第一和第二閥的內(nèi)徑都小于13毫米。具有小于13毫米內(nèi)徑的閥相對便宜，因此在連接導管中的整個閥裝置可以以比具有相當大的內(nèi)徑的單個閥的形式便宜的方式得到利用。
優(yōu)選地，提供具有調(diào)制模塊的調(diào)整裝置，該調(diào)整裝置控制可調(diào)節(jié)的第一閥的開啟，并且調(diào)制通過可調(diào)節(jié)的第一閥的氣流。通過調(diào)制經(jīng)過連接導管進入到高真空泵中間入口的氣流，由于通過調(diào)制能夠?qū)⒂行盘栠^濾到整個信號之外，因此能夠增加靈敏度。通過可調(diào)節(jié)的第一閥的調(diào)制能夠利用打開或者關閉的第二閥來實現(xiàn)。


在下文中，本發(fā)明的實施例將通過參考附圖的方式得到詳細的說明。附圖顯示了根據(jù)本發(fā)明的逆流類型的檢漏設備的實施例。
具體實施例方式
在附圖中，檢漏設備10得到了說明，該檢漏設備包括檢漏設備輸入端12，具有試樣16的檢驗腔14連接到檢漏設備輸入端上。試樣16包含檢驗氣體，例如氦，即使很小量的檢驗氣體也能夠通過檢漏設備10檢測出來。
該檢漏設備10主要由通過氣體管線以預真空泵20、高真空泵22和質(zhì)譜儀24這樣的順序連接的預真空泵20、高真空泵22和質(zhì)譜儀24形成。進一步地，旁路管線26提供在檢漏設備輸入端12和預真空泵20的入口21之間，并且連接導管30提供在檢漏設備輸入端12和高真空泵22的中間入口28之間。在連接導管30的路線中，設置兩個閥，命名為關于其電導連續(xù)可調(diào)的第一閥32以及與其平行的構造成切換閥的第二閥34。在旁路管線26的路線中，提供旁路管線停止閥38，并且在位于預真空泵入口21和高真空泵出口23之間的導管25中，提供高真空泵停止閥40。為了檢測壓力，在檢漏設備輸入端12處提供檢驗腔壓力測量裝置42，并且在高真空泵22的出口23處提供預真空壓力測量裝置44。為了控制和調(diào)整檢漏設備10，在其他設備之間提供有調(diào)整裝置46，該調(diào)整裝置46包括調(diào)制模塊48和閥控制模塊50。高真空泵22為渦輪分子泵，但是也可以構造成不同構造的摩擦真空泵。
預真空泵20被構造成干式運行(dry-running)泵，例如作為隔膜泵，但是也可以構造成油封預真空泵。
可調(diào)節(jié)的第一閥32為具有6毫米內(nèi)徑的連續(xù)可控制的比例閥。第二閥34為切換閥，該切換閥適于在完全打開和完全關閉的狀態(tài)之間轉(zhuǎn)換，并且也具有6毫米的內(nèi)徑。
預真空壓力測量裝置44和檢驗腔壓力測量裝置42通過各自的信號線連接到調(diào)整裝置46上。
在連接導管30的路線中的兩個停止閥38、40以及兩個閥32、34通過備自的控制線連接到調(diào)整裝置46上。
為了通過檢漏設備10檢測泄漏，具有包含檢驗氣體氦的試樣16的檢驗腔14連接到檢漏設備輸入端12處。高真空泵停止閥40和設置在連接導管30中的兩個閥32、34最初都是關閉的，然而在旁路管線中的停止閥38是打開的。預真空泵加被轉(zhuǎn)換為開，并且通過旁路管線26抽空檢驗腔14。一旦檢驗腔壓力測量裝置42檢測到低于5毫巴的壓力，高真空泵停止閥40打開，因此檢驗氣體能夠以逆流的方式通過高真空泵22流入到檢測器、質(zhì)譜儀24，并且能夠在那里得到檢測。關閉旁路管線停止閥38。
從5毫巴的檢驗腔壓力向下，可變電導的第一閥32通過調(diào)整裝置46和閥控制模塊50慢慢打開。第一閥32僅僅分別打開到如此的程度以致在高真空泵22的中間入口28處的氣體壓力值低于在質(zhì)譜儀24中確保的足夠低的壓力的壓力值。隨著檢驗腔壓力進一步減小，第一閥32進一步打開，以致第一閥32的電導增加。一旦檢驗腔壓力已經(jīng)達到中間入口28的最大許可壓力，第一閥32完全打開，并且第二閥34也打開。通過打開第二閥34，連接導管30的兩個閥32、34組成的閥裝置的組合電導立即顯著地增加，以致高真空泵22的抽吸量不會由于完全打開的閥32、34而降低。
通過依賴于檢驗腔壓力的調(diào)整裝置46能夠自動實現(xiàn)調(diào)整和打開在連接導管30中的兩個閥32、34。
為了增加測量靈敏度，可以通過調(diào)制模塊48以如下的方式驅(qū)動閥控制模塊50，該方式為在恒定的頻率下調(diào)制可調(diào)節(jié)的第一閥32的電導，而第二閥34或者是打開的或者是關閉的。通過質(zhì)譜儀24產(chǎn)生的測量信號在調(diào)整裝置46中得到相應的過濾，因此僅僅有效信號可用于評階。
權利要求
1.一種逆流類型的檢漏設備(10)，其包括高真空泵(22)，其具有連接到質(zhì)譜儀(24)的入口；預真空泵(20)，其具有連接到高真空泵(22)的出口(23)和檢漏設備輸入端(12)的入口(21)；連接導管(30)，其位于檢漏設備輸入端(12)和高真空泵(22)的中間入口(28)之間，以及第一閥(32)，其位于連接導管(30)的路線中，所述的第一閥具有可調(diào)電導，其特征在于在連接導管(30)的路線中，設置第二閥(34)，第二閥與可調(diào)節(jié)的第一閥(32)平行設置。
2.根據(jù)權利要求1所述的檢漏設備(10)，其特征在于所述第二閥(34)為切換閥，所述切換閥適于切換成完全打開或者切換成完全關閉的狀態(tài)。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的檢漏設備(10)，其特征在于可調(diào)節(jié)的第一閥(32)的電導為連續(xù)可調(diào)的。
4.根據(jù)權利要求1-3任何一項所述的檢漏設備(10)，其特征在于所述閥(32、34)的內(nèi)徑小于13毫米。
5.根據(jù)權利要求1-4任何一項所述的檢漏設備(10)，其特征在于預真空泵(20)為油封泵。
6.根據(jù)權利要求1-4任何一項所述的檢漏設備(10)，其特征在于預真空泵(20)為干式運行泵。
7.根據(jù)權利要求1-6任何一項所述的檢漏設備(10)，其特征在于提供具有調(diào)制模塊(48)的調(diào)整裝置(46)，所述調(diào)整裝置(46)控制可調(diào)節(jié)的第一閥(32)的打開并且調(diào)制通過可調(diào)節(jié)的第一閥(32)的氣流。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種根據(jù)逆流原理設計的檢漏設備(10)，該檢漏設備(10)具有高真空泵(22)，該高真空泵(22)具有連接到質(zhì)譜儀(24)的入口，此外，預真空泵(20)提供有連接到高真空泵(22)的出口(23)和檢漏設備輸入端(12)處的入口(21)。進一步，本發(fā)明的檢漏設備包括連接導管(30)，連接導管(30)在檢漏設備輸入端(12)和高真空泵(22)的中間入口(28)之間。可調(diào)節(jié)電導的第一閥(32)設置在連接導管(30)的延長部分中。具有大內(nèi)徑的閥是昂貴的，而具有小內(nèi)徑的閥甚至在完全打開時也具有相當大的電阻。根據(jù)本發(fā)明，設置成平行于可調(diào)節(jié)的第一閥的第二閥提供在連接導管的延長部分中。這就使得使用具有相對小內(nèi)徑的經(jīng)濟閥作為設置在連接導管(30)中的兩個閥(32、34)成為可能，其中顯著增加了兩個打開的閥(32、34)的總電導。
文檔編號G01M3/20GK1798963SQ200480014995
公開日2006年7月5日 申請日期2004年5月11日 優(yōu)先權日2003年5月30日
發(fā)明者托馬斯·伯姆, 沃納·格羅塞布萊 申請人:因菲康有限公司