專利名稱：制作用于后續(xù)檢查的測試圖案的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于對設(shè)有預(yù)定圖案的基板(特別地，施加有焊錫膏(solder paste)的電路板)進(jìn)行測試的方法和裝置(arrangement)。
背景技術(shù)：
在電路板上制作復(fù)雜電路，隨著其不斷增加的電子電路密度，將導(dǎo)致更加精細(xì)的結(jié)構(gòu)，如端子焊盤和導(dǎo)體通路，而且需要精確且有效的測試方法。
一種用于以低組裝成本達(dá)到高組件密度的合適技術(shù)是表面安裝SMT(表面安裝技術(shù))，利用該表面安裝技術(shù)，將組件直接施加到電路板的表面并進(jìn)行焊接，從而，其中，表面安裝組件SMD(表面安裝器件)的端子密度高于常規(guī)組件的端子密度。
對于SMD的安裝，通常是利用標(biāo)繪器(plotter)(US 4,572,103)或絲網(wǎng)印刷(screen printing)把焊錫膏施加到電路板上。此后，將組件連同其端子一起置于所施加的焊錫膏上，接著使其通過回流焊爐(reflow oven)。在回流焊爐中，熔化焊錫膏，由此使其與組件粘合。冷卻之后，組件就與電路板牢固地接合起來。
在絲網(wǎng)印刷的情況下，通常，采用金屬模板或孔版(stencil)，該金屬模板或孔版在印刷后焊錫膏應(yīng)當(dāng)存在于電路板上的位置處設(shè)有開口(opening)?？梢岳貌煌姆椒?，舉例來說，如在金屬模板中刻蝕出(etching free)開口，利用激光切割開口，電化制作(galvanicproduction)掩模，或者對絲網(wǎng)上的感光層進(jìn)行曝光并洗掉非固化的位置，來制作所述開口。
對于所有方法，電路板的線路圖應(yīng)當(dāng)與模板的開口精確地相符。既然僅在存在充分的焊錫膏的位置處確保將組件可靠焊接到電路板，照例，緊接在施加之后，針對存在性、偏移以及架橋(bridge building)檢驗(yàn)所施加的焊錫膏。通常，在絲網(wǎng)印刷機(jī)中，利用CCD攝像機(jī)來檢測電路板的線路圖，并根據(jù)模板對其進(jìn)行取向。其中，軟件和攝像機(jī)系統(tǒng)通常被配置為，利用同一攝像機(jī)，還可以執(zhí)行所謂的印刷后檢驗(yàn)檢查(checkinspection)。
從而，在印刷后檢驗(yàn)檢查中，圖像處理能夠識別出好的和差的印刷，不過，必須首先使待測試圖案(即，希望圖案)為計(jì)算機(jī)所知。為此，可以在待測試結(jié)構(gòu)中教導(dǎo)，對一個(gè)或更多個(gè)印刷和/或非印刷電路板進(jìn)行光學(xué)檢測。DE 197 28 144 A1公開了一種方法，在該方法中，對于希望圖案中的教導(dǎo)，不對電路板進(jìn)行光學(xué)檢測，而是對電路板的印刷模板進(jìn)行光學(xué)檢測。然而，這些測試方法耗時(shí)且成本高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所基于的目的是，指出用于對設(shè)有預(yù)定圖案的基板進(jìn)行測試的方法和裝置，利用其可以進(jìn)行快速但仍精確的測試。
根據(jù)獨(dú)立權(quán)利要求的特征來實(shí)現(xiàn)該目的。從而，對利用印刷或構(gòu)造工序施加到基板的實(shí)際圖案進(jìn)行光學(xué)檢測，對光學(xué)檢測到的實(shí)際圖案與一希望圖案進(jìn)行比較，并且根據(jù)該比較，并考慮容許公差，確定要將具有實(shí)際圖案的觀察基板遞送到哪一進(jìn)一步的工序，其中，對實(shí)際圖案的光學(xué)檢測是按數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)的形式來實(shí)現(xiàn)的，從而形成了實(shí)際數(shù)據(jù)集，根據(jù)用于將圖案施加至基板的控制數(shù)據(jù)來格式化一希望數(shù)據(jù)集，然后執(zhí)行數(shù)據(jù)處理，以達(dá)到下面的效果，即，在考慮容許公差的情況下，對該希望集與實(shí)際數(shù)據(jù)集相互按數(shù)據(jù)進(jìn)行比較。這樣就不需要工序中的教導(dǎo)。這增加了測試的精度，這是因?yàn)?，希望圖案的制作不會(huì)如在利用教導(dǎo)進(jìn)行制作的情況下那樣，受到諸如不同環(huán)境照明和/或表面變化、污染以及操作員的設(shè)置錯(cuò)誤的因素的不利影響?？梢栽诙虝r(shí)間內(nèi)針對整個(gè)電路板制作出希望圖案，其中，操作員單獨(dú)確定電路板上涉及測試的區(qū)域。
所述方法在通過采用對應(yīng)構(gòu)成的模板的方法來實(shí)現(xiàn)將圖案施加到基板上的情況下，是尤其有利的，這是因?yàn)椋诖?，可以根?jù)為制作模板而已經(jīng)采用的控制數(shù)據(jù)按非常簡單的方式格式化希望數(shù)據(jù)集。
此外，通過數(shù)據(jù)處理的恰當(dāng)構(gòu)成，可以使希望圖案的僅某些選定部分經(jīng)受測試和/或經(jīng)受與希望圖案不同公差數(shù)據(jù)子集的不同部分相關(guān)聯(lián)。由此，可以減小測試所需的數(shù)據(jù)集大小，而且可以加速測試。
通過數(shù)據(jù)處理的恰當(dāng)構(gòu)成，可以針對待比較部分和/或關(guān)聯(lián)公差編輯相應(yīng)數(shù)據(jù)集。此外，可以進(jìn)行存檔，而且可以對必需數(shù)據(jù)集進(jìn)行快速存取。
對實(shí)際圖案的光學(xué)檢測可以利用數(shù)字矩陣攝像機(jī)(例如，CCD攝像機(jī))按像素來實(shí)現(xiàn)，由此，對于高精度，有利的是，使用一個(gè)像素寬的線性攝像機(jī)，其長度對應(yīng)于待測試的基板上的實(shí)際圖案區(qū)域的線性維度。在此為形成二維圖像，垂直于所述線性維度以一個(gè)像素的步長執(zhí)行數(shù)字?jǐn)z像機(jī)與承載實(shí)際圖案的基板之間的相對運(yùn)動(dòng)。矩陣攝像機(jī)要部分地在兩個(gè)維度上移動(dòng)，但是線性攝像機(jī)僅在一個(gè)維度上按步移動(dòng)，由此，將在機(jī)械運(yùn)動(dòng)中不可避免地出現(xiàn)的故障減到最少，這對于非常精細(xì)的結(jié)構(gòu)具有重大意義。
如果其上施加有待測試實(shí)際圖案的基板本身已經(jīng)承載至少一個(gè)其它圖案，則有利的是，將光學(xué)檢測配置或?qū)崿F(xiàn)成，使其例如通過濾光，相對于所述其它圖案和基板區(qū)分出待測試實(shí)際圖案。由此，基于已對實(shí)際圖案的檢測，可以減小數(shù)據(jù)集，或者可以增大檢測圖案的分辨率。
本發(fā)明由從屬權(quán)利要求的特征進(jìn)一步限定。
根據(jù)進(jìn)一步的優(yōu)點(diǎn)，在使用希望數(shù)據(jù)集的情況下，還可測試(最好是定期地)模板是在其使用期間已被不利影響到相應(yīng)程度，還是已發(fā)生其它變化，并且如果合適，則測試是啟動(dòng)清潔過程、修版(retouching)過程，還是啟動(dòng)更換過程。只需按相同方式對模板進(jìn)行光學(xué)掃描，并且執(zhí)行相同的比較數(shù)據(jù)處理。


參照附圖更詳細(xì)地說明本發(fā)明，附圖中示出圖1是根據(jù)本發(fā)明用于對利用焊錫膏施加到導(dǎo)體板的圖案進(jìn)行測試的第一示例實(shí)施例的基本結(jié)構(gòu)，和圖2是根據(jù)本發(fā)明第二示例實(shí)施例將施加到電路板的圖案分為子圖案的細(xì)分。
具體實(shí)施例方式
在圖1示出的示例中，根據(jù)本發(fā)明，測試施加到基板(如電路板1)的實(shí)際圖案1a，例如預(yù)定焊錫膏圖案。首先，將在電路板上1生成實(shí)際圖案1a所利用的控制數(shù)據(jù)遞送到格式化裝置2。該控制數(shù)據(jù)是根據(jù)將實(shí)際圖案1a施加到電路板1上的方法，直接從標(biāo)繪器3獲得或者從數(shù)據(jù)庫4獲得的，該標(biāo)繪器3直接施加實(shí)際圖案1a，該數(shù)據(jù)庫4例如包括用于制作施加實(shí)際圖案1a所利用的對應(yīng)印刷模板等(此處未示出)的數(shù)據(jù)。格式化裝置識別所遞送的控制數(shù)據(jù)的種類，并且與控制單元5的要求相對應(yīng)地根據(jù)所接收的控制數(shù)據(jù)格式化一希望數(shù)據(jù)集。如果按照慣例，要利用同一實(shí)際圖案1a制作多個(gè)電路板1并對其進(jìn)行測試，則存儲由此產(chǎn)生的希望數(shù)據(jù)集，使得在對多個(gè)電路板1的測試中，只需執(zhí)行一次對控制數(shù)據(jù)進(jìn)行讀取的步驟和格式化希望數(shù)據(jù)集的步驟。
與用于制作希望圖案的常規(guī)方式(其中，教導(dǎo)目的用原型(prototype)，或?yàn)橹谱鞫捎玫哪０澹际抢脭z像機(jī)6來掃描的)相比，在此避免了在對本身經(jīng)受誤差的原型進(jìn)行經(jīng)受因相對運(yùn)動(dòng)而造成的誤差的檢測中，或者在對本身可能經(jīng)受誤差的印刷絲網(wǎng)(即使經(jīng)受的誤差比在原型的情況下程度輕)進(jìn)行經(jīng)受因相對運(yùn)動(dòng)而造成的誤差的檢測中，必然出現(xiàn)的故障，用于對標(biāo)繪器3(其將施加圖案)進(jìn)行控制的數(shù)據(jù)，或者用于制作模板(如印刷絲網(wǎng))的數(shù)據(jù)與希望圖案完全對應(yīng)，此外，所述數(shù)據(jù)也是可獲得的，因?yàn)槠涫怯砷_發(fā)者(developer)生成的。
至少構(gòu)圖有實(shí)際圖案1a的電路板1的實(shí)際圖案1a由攝像機(jī)6來掃描，該攝像機(jī)6具體地按形式和像素光學(xué)檢測利用標(biāo)繪器3或絲網(wǎng)印刷施加到電路板1的實(shí)際圖案，并將此按數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)的形式傳遞到轉(zhuǎn)換器7。轉(zhuǎn)換器7與控制單元5的要求相對應(yīng)地把由攝像機(jī)6檢測到的實(shí)際圖案轉(zhuǎn)換為實(shí)際數(shù)據(jù)集。實(shí)際數(shù)據(jù)集和希望數(shù)據(jù)集、以及由控制單元5制成可用的公差數(shù)據(jù)集(其描述相對于希望數(shù)據(jù)集的容許公差，由此這種公差可以確實(shí)是在希望圖案上不同分布的)，被傳遞并接著被遞送到比較器8，該比較器8考慮到公差數(shù)據(jù)集中指示的容許公差，對實(shí)際數(shù)據(jù)集與希望數(shù)據(jù)集按數(shù)據(jù)進(jìn)行比較或關(guān)聯(lián)。比較結(jié)果可以顯示在顯示器9上。具體地說，對于實(shí)際圖案相對于希望圖案的不容許偏差，可以在顯示器9上強(qiáng)調(diào)表示實(shí)際圖案的對應(yīng)部分，以便使用戶可以做出恰當(dāng)反應(yīng)。
在連續(xù)自動(dòng)測試工序的情況下，可能有優(yōu)勢的是不但提取出這種故障電路板1，而且還存儲比較的關(guān)聯(lián)結(jié)果，或者存儲實(shí)際圖案相對于希望圖案的偏差的種類與程度。此外，可以基于所述比較執(zhí)行對單個(gè)電路板1的質(zhì)量的分類，具體地說，將分類為故障的電路板1分類為可以修版的電路板1和不能修版的電路板1。這種分類例如可以利用描述不同長公差的不同公差數(shù)據(jù)集來實(shí)現(xiàn)。
為增加測試精度，根據(jù)本發(fā)明，在以下方面，在根據(jù)本發(fā)明的測試中將電路板1上的實(shí)際圖案1a的性質(zhì)考慮在內(nèi)，即，例如，在整個(gè)圖案內(nèi)，在具有較高端子密度的區(qū)域或部分內(nèi)，例如，在要將IC組件施加到電路板1的位置處，與在具有較低接端子密度的區(qū)域內(nèi)(例如，在要將電阻和電容器施加到電路板1的位置處)相比，針對實(shí)際/希望偏移給出較低的公差。區(qū)域的選擇和相應(yīng)公差的關(guān)聯(lián)可以自動(dòng)地或通過操作員來實(shí)現(xiàn)。
基于圖2，解釋區(qū)域的自動(dòng)選擇和公差的自動(dòng)分配。圖2示出了具有預(yù)定希望圖案的電路板1的一部分，這是通過格式化裝置2來處理的。如可識別的，該圖案在此包括具有不同結(jié)構(gòu)(例如，不同的焊錫膏施加密度)的區(qū)域1a1、1a2、1a3、1a4。基于檢測到的希望數(shù)據(jù)集(其例如包含待制成的單個(gè)焊錫膏施加部的坐標(biāo)、尺寸以及形式)，控制單元5確定或區(qū)分區(qū)域1a1、1a2、1a3、1a4，其中，控制單元5檢測具有施加的焊錫膏的單個(gè)點(diǎn)與彼此耦合的裝配點(diǎn)之間的間距，針對區(qū)域1a1、1a2、1a3、1a4采用大致相同的間距?；趯?yīng)的區(qū)域1a1、1a2、1a3、1a4內(nèi)的這些點(diǎn)的間距的尺寸，將相應(yīng)的容許公差與區(qū)域1a1、1a2、1a3、1a4相關(guān)聯(lián)。從而，生成對應(yīng)于不同區(qū)域的數(shù)據(jù)子集，并將其與實(shí)際圖案的對應(yīng)數(shù)據(jù)子集進(jìn)行比較。
針對待比較部分和關(guān)聯(lián)公差編輯針對每一待測試圖案而由此生成的希望數(shù)據(jù)集，并存儲它們。在測試中，比較器8考慮到對于單獨(dú)區(qū)域1a1、1a2、1a3、1a4確定為允許的公差，對實(shí)際數(shù)據(jù)集與希望數(shù)據(jù)集按數(shù)據(jù)進(jìn)行比較。
對于快速而有效的測試，可能有利的是僅測試希望圖案的被選擇的、被認(rèn)為是關(guān)鍵的部分。這樣的選擇可以基于上面描述的對于單獨(dú)區(qū)域1a1、1a2、1a3、1a4的公差的關(guān)聯(lián)/確定，來自動(dòng)實(shí)現(xiàn)。此外，僅在第一“粗”處理步驟中確定的容許公差被判斷為低于特定值的部分/區(qū)域1a1、1a2、1a3、1a4，可以在進(jìn)一步處理步驟中經(jīng)受更靠近的測試?？刂茊卧?區(qū)分由轉(zhuǎn)換器7生成的實(shí)際值數(shù)據(jù)集中的待比較部分，從而引起從轉(zhuǎn)換器7或格式化裝置2并根據(jù)對應(yīng)公差數(shù)據(jù)集向比較器8遞送實(shí)際值數(shù)據(jù)集和希望值數(shù)據(jù)集的選定部分。
此外，如果其上施加有待測試圖案(例如，焊錫膏的圖案)的電路板1本身已承載另一圖案(例如，印刷電路)，可能有必要區(qū)分電路板1上的待測試實(shí)際圖案1a與該另一圖案。根據(jù)本發(fā)明，為此，一方面，按簡單方式從在電路板1上生成待測試實(shí)際圖案1a所利用的控制數(shù)據(jù)獲得所述信息，其中，在另一方面，攝像機(jī)6不但針對電路板1而且針對該另一圖案執(zhí)行對實(shí)際圖案的光學(xué)區(qū)分。
為減小數(shù)據(jù)集，控制單元5還可以控制攝像機(jī)6或其轉(zhuǎn)換器7，以使得單獨(dú)地檢測電路板1上的實(shí)際圖案的選定部分。
如果通過使用模板的印刷或構(gòu)造工序?qū)D案施加到諸如電路板1的基板，那么可能發(fā)生的是，在該模板的使用期間，該模板發(fā)生變化，特別地發(fā)生劣化，使得通常不再能利用它制作可容許的產(chǎn)品。因此有利的是，檢驗(yàn)該模板在使用時(shí)間期間產(chǎn)生的這種故障，最遲在非容許產(chǎn)品的出現(xiàn)頻率增加時(shí)(然而有利的是，較早并定期地)。有利的是，這可利用本發(fā)明所基于的思想來實(shí)現(xiàn)。換句話說，由于希望數(shù)據(jù)集是根據(jù)為制作模板而采用的控制數(shù)據(jù)來格式化的，因而滿足了與對電路板1或基板的光學(xué)掃描相對應(yīng)的對模板的光學(xué)掃描，而且滿足了對模板的如此獲得的實(shí)際數(shù)據(jù)集與希望數(shù)據(jù)集的比較，以便檢測模板中的變化并且還能夠?qū)λ鼈冞M(jìn)行評價(jià)，從而在恰當(dāng)時(shí)間能夠通過清潔、修版、和/或更換來進(jìn)行動(dòng)作。模板的測試頻率取決于在制作基板或電路板1中的容許偏差。如果在公差數(shù)據(jù)集中確定的公差僅允許與在希望數(shù)據(jù)集中確定的希望印刷圖案存在輕微偏差，那么相對應(yīng)地更加頻繁地執(zhí)行對模板的測試，最差的情況是在每次單獨(dú)使用用于印刷或構(gòu)造諸如電路板1的基板的模板之后都進(jìn)行。這可以由使用者可確定，而且還可以改變。
對實(shí)際圖案1a的光學(xué)檢測可以利用數(shù)字矩陣攝像機(jī)、一個(gè)像素寬的CCD線性攝像機(jī)或直線攝像機(jī)(該攝像機(jī)的長度對應(yīng)于基板上的待測試實(shí)際圖案的區(qū)域的線性維度)，或者利用按交錯(cuò)方式排列的線性子攝像機(jī)，來按像素實(shí)現(xiàn)。
直線攝像機(jī)相對于矩陣攝像機(jī)的優(yōu)點(diǎn)在于，可以針對每次曝光任意地選擇曝光參數(shù)，如照明時(shí)間和掃描線的相互間距。對于二維圖像的形成，根據(jù)本發(fā)明，與所述一個(gè)線性維度正交地以一個(gè)像素的步長在數(shù)字?jǐn)z像機(jī)與承載實(shí)際圖案1a的基板(電路板1)之間執(zhí)行相對運(yùn)動(dòng)。在曝光中，同時(shí)照明CCD線的全部圖像點(diǎn)，而且在照明時(shí)間結(jié)束之后，將全部圖像點(diǎn)并行地中間存儲在傳送寄存器中。這個(gè)過程發(fā)生得非常迅速，以緊接一個(gè)照明周期的終止之后開始下一個(gè)照明周期。從傳送寄存器連續(xù)地逐圖像點(diǎn)讀出信息，并將其遞送到轉(zhuǎn)換器7。從原理上來說，直線在其方向上的分辨率取決于攝像機(jī)6所呈現(xiàn)的圖像點(diǎn)的數(shù)量。然而，也可以通過相互緊鄰地排列多個(gè)攝像機(jī)來增加分辨率。進(jìn)一步的優(yōu)點(diǎn)在于，僅在一個(gè)維度中發(fā)生機(jī)械型的相對運(yùn)動(dòng)，而對于矩陣攝像機(jī)，則在兩個(gè)維度中發(fā)生相對運(yùn)動(dòng)，任一機(jī)械地引起的相對運(yùn)動(dòng)原理上來說都經(jīng)受誤差，這在精細(xì)結(jié)構(gòu)的情況下可能從本質(zhì)上影響測試的精度。
本發(fā)明不限于用于測試電路板的所述應(yīng)用，而可以有利地應(yīng)用于要對具有預(yù)定圖案的部件的構(gòu)圖/構(gòu)造/構(gòu)圖進(jìn)行測試的任何場合。在所述的示例中，將用于對希望數(shù)據(jù)集與實(shí)際數(shù)據(jù)集進(jìn)行比較的公差數(shù)據(jù)集遞送到比較器8。然而，己在希望數(shù)據(jù)集的格式化中和/或在實(shí)際數(shù)據(jù)集的形成中考慮了容許公差也是可以的。
權(quán)利要求
1.用于對設(shè)有預(yù)定圖案的基板(1)進(jìn)行測試的方法，其中，光學(xué)檢測(6)通過印刷或構(gòu)造工序(3、4)施加到基板(1)的實(shí)際圖案(1a)，對光學(xué)檢測到的實(shí)際圖案(1a)與一希望圖案進(jìn)行比較(8)，根據(jù)所述比較(8)并且考慮容許公差，確定要將所觀察的設(shè)有實(shí)際圖案(1a)的基板(1)遞送到哪一個(gè)進(jìn)一步的工序，所述方法的特征在于按數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)的形式實(shí)現(xiàn)對實(shí)際圖案(1a)的光學(xué)檢測(8)，從而形成實(shí)際數(shù)據(jù)集(7)，根據(jù)用于將所述圖案施加到所述基板上的控制數(shù)據(jù)來格式化(2)希望數(shù)據(jù)集，以及執(zhí)行數(shù)據(jù)處理以達(dá)到以下效果，即，在考慮容許公差的情況下，對所述希望數(shù)據(jù)集和所述實(shí)際數(shù)據(jù)集相互按數(shù)據(jù)進(jìn)行比較(8)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于將所述圖案施加到基板(1)上是通過采用對應(yīng)地構(gòu)成的模板的工序來實(shí)現(xiàn)的，和根據(jù)為制作所述模板所采用的控制數(shù)據(jù)(4)格式化(2)所述希望數(shù)據(jù)集。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，使所述希望圖案的選定部分(1a1、1a2、1a3、1a4)經(jīng)受所述測試(8)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1到3中的任何一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，將不同公差數(shù)據(jù)子集與所述希望圖案的各個(gè)不同部分(1a1、1a2、1a3、1a4)相關(guān)聯(lián)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1到4中的任何一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，可以執(zhí)行數(shù)據(jù)處理(5)以達(dá)到以下效果，即，針對要比較的部分(1a1、1a2、1a3、1a4)和/或所述關(guān)聯(lián)公差實(shí)現(xiàn)對各數(shù)據(jù)集的編輯。
6.根據(jù)權(quán)利要求1到5中的任何一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述光學(xué)檢測(6)是利用數(shù)字?jǐn)z像機(jī)按像素實(shí)現(xiàn)的。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，對于所述光學(xué)檢測(6)，在所述數(shù)字?jǐn)z像機(jī)與承載所述實(shí)際圖案的所述基板之間實(shí)現(xiàn)相對運(yùn)動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，所述數(shù)字?jǐn)z像機(jī)是一個(gè)像素寬的線性攝像機(jī)，該線性攝像機(jī)的長度對應(yīng)于待測試的所述基板上的實(shí)際圖案的區(qū)域的一個(gè)線性維度，并且與所述一個(gè)線性維度正交地按一個(gè)像素的步長實(shí)現(xiàn)所述相對運(yùn)動(dòng)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，所述線性攝像機(jī)是利用按交錯(cuò)方式排列的線性子攝像機(jī)來形成的。
10.根據(jù)權(quán)利要求1到9中的任何一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，其上施加有待測試的實(shí)際圖案(1a)的基板(1)本身已承載至少一個(gè)其它圖案，并且所述光學(xué)檢測被按相對于所述其它圖案和所述基板區(qū)分出待測試的實(shí)際圖案的方式構(gòu)成或執(zhí)行。
11.一種用于對設(shè)有預(yù)定圖案的基板(1)進(jìn)行測試的裝置，包括光電裝置(6)，用于對通過印刷或構(gòu)造工序(3、4)施加到基板(1)的實(shí)際圖案(1a)進(jìn)行檢測，比較器(8)，其對光學(xué)檢測到的實(shí)際圖案(1a)與一希望圖案進(jìn)行比較，并且根據(jù)該比較并考慮容許公差，確定要將所觀察的設(shè)有實(shí)際圖案(1a)的基板(1)遞送到哪一個(gè)進(jìn)一步的工序，所述裝置的特征在于一轉(zhuǎn)換器(7)將光電裝置(6)檢測到的圖案轉(zhuǎn)換為采用數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)形式的實(shí)際數(shù)據(jù)集，一格式化裝置(2)根據(jù)用于將所述圖案施加到基板上(3、4)的控制數(shù)據(jù)來格式化(2)希望數(shù)據(jù)集，比較器(8)執(zhí)行數(shù)據(jù)處理以達(dá)到以下效果，即，在考慮容許公差的情況下，對所述希望數(shù)據(jù)集和所述實(shí)際數(shù)據(jù)集相互按數(shù)據(jù)進(jìn)行比較。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的裝置，其特征在于將所述圖案施加到基板(1)上是通過采用對應(yīng)地構(gòu)成的模板(4)的工序來實(shí)現(xiàn)的，和格式化裝置(2)根據(jù)為制作所述模板而采用的控制數(shù)據(jù)格式化所述希望數(shù)據(jù)集。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的裝置，其特征在于，使所述希望圖案的選定部分(1a1、1a2、1a3、1a4)經(jīng)受所述測試(8)。
14.根據(jù)權(quán)利要求11到13中的任何一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，將不同公差數(shù)據(jù)子集與所述希望圖案的各個(gè)不同部分(1a1、1a2、1a3、1a4)相關(guān)聯(lián)。
15.根據(jù)權(quán)利要求11到14中的任何一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，可以執(zhí)行數(shù)據(jù)處理(5)以達(dá)到以下效果，即，針對要比較的部分(1a1、1a2、1a3、1a4)和/或所述關(guān)聯(lián)公差實(shí)現(xiàn)對相應(yīng)數(shù)據(jù)集的編輯。
16.根據(jù)權(quán)利要求11到15中的任何一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述光學(xué)檢測(6)是利用數(shù)字?jǐn)z像機(jī)按像素實(shí)現(xiàn)的。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的裝置，其特征在于，對于所述光學(xué)檢測，在所述數(shù)字?jǐn)z像機(jī)(6)與承載所述實(shí)際圖案的所述基板之間實(shí)現(xiàn)相對運(yùn)動(dòng)。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的裝置，其特征在于，數(shù)字?jǐn)z像機(jī)(6)是一個(gè)像素寬的線性攝像機(jī)，該線性攝像機(jī)的長度對應(yīng)于待測試的所述基板上的實(shí)際圖案的區(qū)域的一個(gè)線性維度，并且與所述一個(gè)線性維度正交地按一個(gè)像素的步長實(shí)現(xiàn)所述相對運(yùn)動(dòng)。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的裝置，其特征在于，所述線性攝像機(jī)是利用按交錯(cuò)方式排列的線性子攝像機(jī)來形成的。
20.根據(jù)權(quán)利要求11到19中的任何一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，其上施加有待測試的實(shí)際圖案(1a)的基板(1)本身已承載至少一個(gè)其它圖案，并且所述光學(xué)檢測被按相對于所述其它圖案和所述基板區(qū)分出待測試的實(shí)際圖案(1a)的方式構(gòu)成或執(zhí)行。
21.根據(jù)權(quán)利要求2到10中的任何一項(xiàng)所述的方法的應(yīng)用，或根據(jù)權(quán)利要求12到20中的任何一項(xiàng)所述的裝置的使用，用于針對在使用期間出現(xiàn)的故障對模板進(jìn)行測試。
全文摘要
本發(fā)明涉及用于對設(shè)有預(yù)定圖案的基板(1)，特別地具有焊錫膏施加的電路板，進(jìn)行檢查的方法和裝置。根據(jù)本發(fā)明，對通過印刷或構(gòu)造工序(3、4)置于基板上的實(shí)際圖案(1a)進(jìn)行光學(xué)檢測，將光學(xué)檢測到的實(shí)際圖案與指定圖案進(jìn)行比較，而且根據(jù)該比較并且同時(shí)考慮容許公差，確定將所觀察的設(shè)有實(shí)際圖案的基板遞送到哪一附加工序。按數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)的形式進(jìn)行對實(shí)際圖案的光學(xué)檢測，同時(shí)形成實(shí)際數(shù)據(jù)集，根據(jù)用于將圖案施加至基板的控制數(shù)據(jù)來格式化指定數(shù)據(jù)集，并且接著執(zhí)行數(shù)據(jù)處理，其間，在考慮容許公差的同時(shí)，對該指定數(shù)據(jù)集和該實(shí)際數(shù)據(jù)集相互按數(shù)據(jù)進(jìn)行比較。
文檔編號G01R31/309GK1833165SQ200480022421
公開日2006年9月13日 申請日期2004年7月7日 優(yōu)先權(quán)日2003年8月1日
發(fā)明者卡爾·尚茨 申請人:亞系自動(dòng)化系統(tǒng)有限公司