專利名稱：誤差因子獲取器件、方法、程序和記錄介質(zhì)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對被測器件計算和測量電路參數(shù)的基礎(chǔ)上對誤差因子的測量。
背景技術(shù)：
通常，對被測器件(DUT)中進行電路參數(shù)(諸如S參數(shù))測量(例如，參見專利文獻1(日本公開專利公報(Kokai)號.H11-38054))?，F(xiàn)在參照圖16對根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)被測器件(DUT)的電路參數(shù)的測量方法進行描述。
信號從信號源130通過DUT 400傳送到接收單元140。該信號由接收單元140接收。通過對由接收單元140所接收到的信號進行測量，就有可能獲得DUT400的S參數(shù)和頻率特征。
在該情形中，由于諸如信號源130和DUT 400等的測量系統(tǒng)之間的失諧，在測量時會產(chǎn)生測量系統(tǒng)誤差。
測量系統(tǒng)誤差包括，例如Ed由電橋的方向性所致的誤差，Er由頻率跟蹤所致的誤差，還有Es由源匹配所致的誤差。圖17示出了與信號源130相關(guān)聯(lián)的信號流圖表。RF IN表示從信號源130輸入到DUT 400等的信號，S11m表示基于從DUT 400等反射的信號而獲得的DUT 400等的S參數(shù)，以及S11a表示沒有測量系統(tǒng)誤差的DUT 400等的真實S參數(shù)。
在該情形中，例如，根據(jù)專利文獻1，就有可能修正誤差。以該方式所作出的修正可稱之為校準。對校準將給出簡短的描述。校準配件連接到信號源300以實現(xiàn)三種類型的狀態(tài)開路、短路和負載(標準負載Z0)。在這些狀態(tài)中，從校準配件所反射的信號由電橋所獲得，以獲取對應(yīng)于三種狀態(tài)類型的三種類型的S參數(shù)(S11m)。從三種類型的S參數(shù)中獲得三種類型的變量Ed、Er和Es。
但是，根據(jù)上述的現(xiàn)有技術(shù)，需要將三種類型的校準配件開路、短路和負載(標準負載Z0)連接到信號源130或從其分離。對于一種類型的校準配件，連接/分離的操作次數(shù)是兩次。結(jié)果，三種類型的校準配件的連接/分離操作次數(shù)是六。在校準之后，這樣就會產(chǎn)生一個問題校準配件的連接/分離次數(shù)增加，從而導(dǎo)致復(fù)雜的操作。
考慮前述的問題，本發(fā)明一目的是以較少的校準配件的連接/分離次數(shù)來校準被測器件的電路參數(shù)的測量系統(tǒng)。
發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明一方面，獲取被測器件以及具有信號輸出單元、輸出來自于信號輸出單元的信號的輸出端口和接收信號的接收端口的網(wǎng)絡(luò)分析器之間的誤差因子的誤差因子獲取器件，包括包含有對于網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口可實現(xiàn)第一狀態(tài)的第一狀態(tài)實現(xiàn)單元、并且連接到輸出端口和接收端口的第一校準裝置；包含有對于網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口可實現(xiàn)第二狀態(tài)的第二狀態(tài)實現(xiàn)單元、并且連接到第一校準裝置和被測器件的第二校準裝置，其中第一校準裝置包括將輸出端口和接收端口連接到第一狀態(tài)實現(xiàn)單元或第二校準裝置的第一連接單元；并且第二校準裝置包括將輸出端口和接收端口連接到第二狀態(tài)實現(xiàn)單元或被測器件的第二連接單元。
根據(jù)如此構(gòu)建的本發(fā)明，提供了一種獲取被測器件和網(wǎng)絡(luò)分析器之間的誤差因子的誤差因子獲取器件。網(wǎng)絡(luò)分析器具有信號輸出單元、輸出來自于信號輸出單元的信號的輸出端口以及接收該信號的接收端口。誤差因子獲取器件包括第一校準裝置和第二校準裝置。第一校準裝置包括對網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口實現(xiàn)第一狀態(tài)的第一狀態(tài)實現(xiàn)單元，并且被連接到輸出端口和接收端口。第二校準裝置包括對網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口實現(xiàn)第二狀態(tài)的第二狀態(tài)實現(xiàn)單元，并且被連接到第一校準裝置和被測器件。第一校準裝置包括將輸出端口和接收端口連接到第一狀態(tài)實現(xiàn)單元或第二校準裝置的第一連接單元。第二校準裝置包括將輸出端口和接收端口連接到第二狀態(tài)實現(xiàn)單元或被測器件的第二連接單元。
根據(jù)本發(fā)明的誤差因子獲取器件，第一狀態(tài)實現(xiàn)單元可包括實現(xiàn)開路狀態(tài)的開路校準工具；實現(xiàn)短路狀態(tài)的短路校準工具；實現(xiàn)標準負載狀態(tài)的標準負載校準工具；使輸出端口和接收端口短路的短路單元；將開路校準工具、短路校準工具、標準負載工具和短路單元中任意一個連接到輸出端口的輸出端口連接單元；以及將開路校準工具、短路校準工具、標準負載工具和短路單元中任意一個連接到接收端口的接收端口連接單元。
根據(jù)本發(fā)明的誤差因子獲取器件，第二狀態(tài)實現(xiàn)單元可包括實現(xiàn)開路狀態(tài)的開路校準工具；實現(xiàn)短路狀態(tài)的短路校準工具；實現(xiàn)標準負載狀態(tài)的標準負載校準工具；將開路校準工具、短路校準工具、和標準負載工具中任意一個連接到網(wǎng)絡(luò)分析器的校準工具連接單元。
根據(jù)本發(fā)明的誤差因子獲取器件，被測器件的端口數(shù)量可能大于網(wǎng)絡(luò)分析器的端口的數(shù)量，并且誤差因子獲取器件可包括將第一校準裝置的一端口連接到第二校準裝置的任意一端口的支路連接單元。
根據(jù)本發(fā)明的誤差因子獲取器件，被測器件可能包括晶片以及與該晶片相接觸的晶片探針，并且可連接到第二校準裝置。
本發(fā)明的另一方面是通過使用誤差因子獲取器件來獲得誤差因子的誤差因子獲取方法，該誤差因子獲取器件獲得被測器件和具有信號輸出單元、輸出來自于信號輸出單元的信號的輸出端口以及接收該信號的接收端口的網(wǎng)絡(luò)分析器之間的誤差因子，包括(i)包括有對網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口實現(xiàn)第一狀態(tài)的第一狀態(tài)實現(xiàn)單元、并且被連接到輸出端口和接收端口的第一校準裝置；以及(ii)包括有對網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口實現(xiàn)第二狀態(tài)的第二狀態(tài)實現(xiàn)單元、并且被連接到第一校準裝置和被測器件的第二校準裝置；其中，(iii)第一校準裝置包括將輸出端口和接收端口連接到第一狀態(tài)實現(xiàn)單元或第二校準裝置的第一連接單元；以及(iv)第二校準裝置包括將輸出端口和接收端口連接到第二狀態(tài)實現(xiàn)單元或被測器件的第二連接單元，該誤差因子獲取方法包括基于對網(wǎng)絡(luò)分析器連接到第一狀態(tài)實現(xiàn)單元之后，從輸出端口輸出之前的信號、從第一狀態(tài)實現(xiàn)單元反射回到輸出端口的信號以及由接收端口所接收到的信號測量預(yù)定參數(shù)來獲取網(wǎng)絡(luò)分析器和第一校準裝置之間第一誤差因子的第一誤差因子獲取步驟，以及基于網(wǎng)絡(luò)分析器連接到第二狀態(tài)實現(xiàn)單元之后，從輸出端口輸出之前的信號以及從第二狀態(tài)實現(xiàn)單元反射回到輸出端口的信號來獲取被測器件和第一校準裝置之間第二誤差因子的第二誤差因子獲取步驟。
本發(fā)明的另一方面是通過使用誤差因子獲取器件來獲得誤差因子的誤差因子獲取方法，該誤差因子獲取器件獲得被測器件和具有信號輸出單元、輸出來自于信號輸出單元的信號的輸出端口以及接收該信號的接收端口的網(wǎng)絡(luò)分析器之間的誤差因子，包括(i)包括有對網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口實現(xiàn)第一狀態(tài)的第一狀態(tài)實現(xiàn)單元、并且被連接到輸出端口和接收端口的第一校準裝置；以及(ii)包括有對網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口實現(xiàn)第二狀態(tài)的第二狀態(tài)實現(xiàn)單元、并且被連接到第一校準裝置和被測器件的第二校準裝置；其中，(iii)第一校準裝置包括將輸出端口和接收端口連接到第一狀態(tài)實現(xiàn)單元或第二校準裝置的第一連接單元；以及(iv)第二校準裝置包括將輸出端口和接收端口連接到第二狀態(tài)實現(xiàn)單元或被測器件的第二連接單元，以及(v)被測器件包括一晶片和與該晶片相接觸的晶片探針，并且被連接到第二校準裝置，該誤差因子獲取方法包括基于對網(wǎng)絡(luò)分析器連接到第一狀態(tài)實現(xiàn)單元之后，從輸出端口輸出之前的信號、從第一狀態(tài)實現(xiàn)單元反射回到輸出端口的信號以及由接收端口所接收到的信號測量預(yù)定參數(shù)來獲取網(wǎng)絡(luò)分析器和第一校準裝置之間第一誤差因子的第一誤差因子獲取步驟；基于網(wǎng)絡(luò)分析器連接到第二狀態(tài)實現(xiàn)單元之后，從輸出端口輸出之前的信號以及從第二狀態(tài)實現(xiàn)單元反射回到輸出端口的信號來獲取被測器件和第一校準裝置之間第二誤差因子的第二誤差因子獲取步驟；以及基于第一誤差因子、第二誤差因子和晶片探針的誤差因子對晶片測量預(yù)定參數(shù)的晶片測量步驟。
本發(fā)明的另一方面是通過計算機對使用誤差因子獲取器件而獲得誤差因子進行誤差因子獲取處理的程序指令，該誤差因子獲取器件獲得被測器件和具有信號輸出單元、輸出來自于信號輸出單元的信號的輸出端口以及接收該信號的接收端口的網(wǎng)絡(luò)分析器之間的誤差因子，包括(i)包括有對網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口實現(xiàn)第一狀態(tài)的第一狀態(tài)實現(xiàn)單元、并且被連接到輸出端口和接收端口的第一校準裝置；以及(ii)包括有對網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口實現(xiàn)第二狀態(tài)的第二狀態(tài)實現(xiàn)單元、并且被連接到第一校準裝置和被測器件的第二校準裝置；其中，(iii)第一校準裝置包括將輸出端口和接收端口連接到第一狀態(tài)實現(xiàn)單元或第二校準裝置的第一連接單元；以及(iv)第二校準裝置包括將輸出端口和接收端口連接到第二狀態(tài)實現(xiàn)單元或被測器件的第二連接單元，誤差因子獲取處理包括基于對網(wǎng)絡(luò)分析器連接到第一狀態(tài)實現(xiàn)單元之后，從輸出端口輸出之前的信號、從第一狀態(tài)實現(xiàn)單元反射回到輸出端口的信號以及由接收端口所接收到的信號測量預(yù)定參數(shù)來獲取網(wǎng)絡(luò)分析器和第一校準裝置之間第一誤差因子的第一誤差因子獲取步驟；基于網(wǎng)絡(luò)分析器連接到第二狀態(tài)實現(xiàn)單元之后，從輸出端口輸出之前的信號以及從第二狀態(tài)實現(xiàn)單元反射回到輸出端口的信號來獲取被測器件和第一校準裝置之間第二誤差因子的第二誤差因子獲取步驟。
本發(fā)明的另一方面是通過計算機對使用誤差因子獲取器件而獲得誤差因子進行誤差因子獲取處理的程序指令，該誤差因子獲取器件獲得被測器件和具有信號輸出單元、輸出來自于信號輸出單元的信號的輸出端口以及接收該信號的接收端口的網(wǎng)絡(luò)分析器之間的誤差因子，包括(i)包括有對網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口實現(xiàn)第一狀態(tài)的第一狀態(tài)實現(xiàn)單元、并且被連接到輸出端口和接收端口的第一校準裝置；以及(ii)包括有對網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口實現(xiàn)第二狀態(tài)的第二狀態(tài)實現(xiàn)單元、并且被連接到第一校準裝置和被測器件的第二校準裝置；其中，(iii)第一校準裝置包括將輸出端口和接收端口連接到第一狀態(tài)實現(xiàn)單元或第二校準裝置的第一連接單元；以及(iv)第二校準裝置包括將輸出端口和接收端口連接到第二狀態(tài)實現(xiàn)單元或被測器件的第二連接單元，以及(v)被測器件包括一晶片和該晶片相接觸的晶片探針，并且被連接到第二校準裝置，該誤差因子獲取處理包括基于對網(wǎng)絡(luò)分析器連接到第一狀態(tài)實現(xiàn)單元之后，從輸出端口輸出之前的信號、從第一狀態(tài)實現(xiàn)單元反射回到輸出端口的信號以及由接收端口所接收到的信號測量預(yù)定參數(shù)來獲取網(wǎng)絡(luò)分析器和第一校準裝置之間第一誤差因子的第一誤差因子獲取步驟；基于網(wǎng)絡(luò)分析器連接到第二狀態(tài)實現(xiàn)單元之后，從輸出端口輸出之前的信號以及從第二狀態(tài)實現(xiàn)單元反射回到輸出端口的信號來獲取被測器件和第一校準裝置之間第二誤差因子的第二誤差因子獲取步驟；以及基于第一誤差因子、第二誤差因子和晶片探針的誤差因子對晶片測量預(yù)定參數(shù)的晶片測量步驟。
本發(fā)明的另一方面是具有通過計算機對使用誤差因子獲取器件而獲得誤差因子進行誤差因子獲取處理的程序指令的計算機可讀介質(zhì)，該誤差因子獲取器件獲得被測器件和具有信號輸出單元、輸出來自于信號輸出單元的信號的輸出端口以及接收該信號的接收端口的網(wǎng)絡(luò)分析器之間的誤差因子，該方面包括(i)包括有對網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口實現(xiàn)第一狀態(tài)的第一狀態(tài)實現(xiàn)單元、并且被連接到輸出端口和接收端口的第一校準裝置；以及(ii)包括有對網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口實現(xiàn)第二狀態(tài)的第二狀態(tài)實現(xiàn)單元、并且被連接到第一校準裝置和被測器件的第二校準裝置；其中，(iii)第一校準裝置包括將輸出端口和接收端口連接到第一狀態(tài)實現(xiàn)單元或第二校準裝置的第一連接單元；以及(iv)第二校準裝置包括將輸出端口和接收端口連接到第二狀態(tài)實現(xiàn)單元或被測器件的第二連接單元，誤差因子獲取處理包括基于對網(wǎng)絡(luò)分析器連接到第一狀態(tài)實現(xiàn)單元之后，從輸出端口輸出之前的信號、從第一狀態(tài)實現(xiàn)單元反射回到輸出端口的信號以及由接收端口所接收到的信號測量預(yù)定參數(shù)來獲取網(wǎng)絡(luò)分析器和第一校準裝置之間第一誤差因子的第一誤差因子獲取步驟；基于網(wǎng)絡(luò)分析器連接到第二狀態(tài)實現(xiàn)單元之后，從輸出端口輸出之前的信號以及從第二狀態(tài)實現(xiàn)單元反射回到輸出端口的信號來獲取被測器件和第一校準裝置之間第二誤差因子的第二誤差因子獲取步驟。
本發(fā)明的另一方面是具有通過計算機對使用誤差因子獲取器件而獲得誤差因子進行誤差因子獲取處理的程序指令的計算機可讀介質(zhì)，該誤差因子獲取器件獲得被測器件和具有信號輸出單元、輸出來自于信號輸出單元的信號的輸出端口以及接收該信號的接收端口的網(wǎng)絡(luò)分析器之間的誤差因子，該方面包括(i)包括有對網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口實現(xiàn)第一狀態(tài)的第一狀態(tài)實現(xiàn)單元、并且被連接到輸出端口和接收端口的第一校準裝置；以及(ii)包括有對網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口實現(xiàn)第二狀態(tài)的第二狀態(tài)實現(xiàn)單元、并且被連接到第一校準裝置和被測器件的第二校準裝置；其中，(iii)第一校準裝置包括將輸出端口和接收端口連接到第一狀態(tài)實現(xiàn)單元或第二校準裝置的第一連接單元；以及(iv)第二校準裝置包括將輸出端口和接收端口連接到第二狀態(tài)實現(xiàn)單元或被測器件的第二連接單元，以及(v)被測器件包括一晶片和該晶片相接觸的晶片探針，并且被連接到第二校準裝置，該誤差因子獲取處理包括基于對網(wǎng)絡(luò)分析器連接到第一狀態(tài)實現(xiàn)單元之后，從輸出端口輸出之前的信號、從第一狀態(tài)實現(xiàn)單元反射回到輸出端口的信號以及由接收端口所接收到的信號測量預(yù)定參數(shù)來獲取網(wǎng)絡(luò)分析器和第一校準裝置之間第一誤差因子的第一誤差因子獲取步驟；基于網(wǎng)絡(luò)分析器連接到第二狀態(tài)實現(xiàn)單元之后，從輸出端口輸出之前的信號以及從第二狀態(tài)實現(xiàn)單元反射回到輸出端口的信號來獲取被測器件和第一校準裝置之間第二誤差因子的第二誤差因子獲取步驟；以及基于第一誤差因子、第二誤差因子和晶片探針的誤差因子對晶片測量預(yù)定參數(shù)的晶片測量步驟。
圖1是示出使用根據(jù)本發(fā)明第一實施例的誤差因子獲取器件的測量系統(tǒng)的配置圖。
圖2是示出網(wǎng)絡(luò)分析器1的配置圖；圖3是示出第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120的配置圖；圖4是示出第二狀態(tài)實現(xiàn)單元220的配置圖；圖5示出當(dāng)?shù)谝贿B接單元110a(110b)將端口18(28)連接到第二校準器200，第二連接單元210將端口202連接到DUT 400時信號流圖表，其中圖5(a)是當(dāng)端口18為輸出端口、端口28為接收端口時的信號流圖表，而圖5(b)是當(dāng)端口18為接收端口、端口28為輸出端口時的信號流圖表；圖6是示出第一實施例操作的流程圖；圖7示出顯示誤差因子Edf、Erf和Esf(圖7(a))和誤差因子Edr、Err和Esr(圖7(b))的信號流圖表；圖8示出顯示誤差因子Etf和ELf(圖8(a))和誤差因子Etr和ELr(圖8(b))的信號流圖表；圖9示出顯示誤差因子A11、A12、A21和A22(圖9(a))和誤差因子B11、B12、B21和B22(圖9(b))的信號流圖表；圖10是示出使用根據(jù)本發(fā)明第二實施例的誤差因子獲取器件的測量系統(tǒng)的配置圖；圖11是示出根據(jù)本發(fā)明第二實施例的第一校準器100的內(nèi)部配置圖；圖12是示出使用根據(jù)本發(fā)明第三實施例的誤差因子獲取器件的測量系統(tǒng)的配置圖；圖13是示出九端口測試組合500的內(nèi)部配置圖；圖14是示出使用根據(jù)本發(fā)明第四實施例的誤差因子獲取器件的測量系統(tǒng)的配置圖；圖15示出當(dāng)?shù)谝贿B接單元110a(110b)將端口18(28)連接到第二校準器200，以及第二連接單元210將端口202連接到晶片探針420時信號流圖表，其中圖15(a)是當(dāng)端口18為輸出端口、端口28為接收端口時的信號流圖表，而圖5(b)是當(dāng)端口18為接收端口、端口28為輸出端口時的信號流圖表；圖16是解釋根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的被測器件(DUT)的電路參數(shù)的測量方法圖；以及圖17是與根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)與信號源130相關(guān)的信號流圖表。
具體實施例參照附圖對本發(fā)明的實施例進行描述。
第一實施例圖1是示出使用根據(jù)本發(fā)明第一實施例的誤差因子獲取器件的測量系統(tǒng)的配置圖。測量系統(tǒng)具備網(wǎng)絡(luò)分析器1、第一校準器100、第二校準器200、纜線300和DUT 400。第一校準器100和第二校準器200構(gòu)成了誤差因子獲取器件。
圖2示出網(wǎng)絡(luò)分析器1的配置。網(wǎng)絡(luò)分析器1具備信號源10、接收部件20、測量系統(tǒng)誤差因子記錄單元30、電路參數(shù)測量單元40、測量系統(tǒng)誤差因子獲取單元50以及接收端測量系統(tǒng)誤差因子記錄單元70。
信號源10具備信號輸出單元12、開關(guān)13、電橋14a和14b、接收器(RS)16a、接收器(TS)16b以及端口18。
信號輸出單元12輸出預(yù)定頻率的輸入信號。要注意該預(yù)定頻率是可變的。
開關(guān)13是用作選擇從信號輸出單元12中輸出的輸入信號是從端口18還是從端口28中輸出。開關(guān)13包括端子13a、13b和13c。端子13a連接到端口18，端子13b連接到接收裝置20，而端子13c連接到信號輸出單元12。如果端子13a和端子13c相連接，即開關(guān)13切換到端子13a的一側(cè)，則輸入信號從端口18中輸出。如果端子13a和端子13b相連接，即開關(guān)13切換到端子13b的一側(cè)，則輸入信號從端口28中輸出。
如果輸入信號從端口28中輸出，來自端口18的信號將會輸入到信號源10。在該情形上，電橋14b將信號提供給接收器(TS)16b。
電橋14a將從信號輸出單元12輸出的信號提供給接收器(RS)16a。電橋14b將作為從端口18輸出的輸入信號的反射信號提供給接收器(TS)16b，并且然后被反射回。要注意電橋14a和14b可是功率分配器。其它稍后將要描述的電橋可由功率分配器所代替。
接收器(RS)16a測量通過電橋14a所接收到的信號的S參數(shù)。接收器(TS)16b測量通過電橋14b所接收到的信號的S參數(shù)。
端口18用作為輸出該輸入信號的端子。
接收裝置20包括電橋24a和24b，接收器(TR)26a、接收器(RR)26b和端口28。
如果輸入信號是從端口18中輸出的，則電橋24a將從端口28輸入的信號提供給接收器(TR)26a。接收器(TR)26a測量所接收到的信號的S參數(shù)。端口28用作為對接收裝置20接收信號的端子。
如果開關(guān)13切換到端子13b的一側(cè)，則由信號輸出單元12所輸出的輸入信號通過開關(guān)13被傳送到接收裝置20。電橋24b將輸入信號提供給接收器(RR)26b。電橋24a將作為從端口28輸出的輸入信號的反射信號提供給接收器(TR)26a，并且然后被反射回。
如果輸入信號從端口(輸出端口)18中輸出，則端口(接收端口)28通過DUT 400接收信號。如果輸入信號從端口(輸出端口)28中輸出，則端口(接收端口)18通過DUT 400接收信號。
接收器(TR)26a測量通過電橋24a所接收到的信號的S參數(shù)。接收器(RR)26b測量通過電橋24b所接收到的輸入信號的S參數(shù)。
測量系統(tǒng)誤差因子記錄單元30記錄下網(wǎng)絡(luò)分析器1的測量系統(tǒng)的誤差因子。測量系統(tǒng)的誤差因子包括第一誤差因子和第二誤差因子。第一誤差因子是網(wǎng)絡(luò)分析器1和第一校準器100之間的誤差因子。第二誤差因子是DUT 400和第一校準器100之間的誤差因子。第二誤差因子主要是由纜線300所致的。
電路參數(shù)測量單元40基于下述情形測量DUT 400的真實S參數(shù)(沒有測量系統(tǒng)誤差因子的影響)(1)當(dāng)輸入信號是從端口18中輸出時由接收器(RS)16a、接收器(TS)16b和接收器(TR)26a所測量的與DUT 400相關(guān)的數(shù)據(jù)(S參數(shù))，(2)當(dāng)輸入信號是從端口28中輸出時由接收器(RR)26b、接收器(TR)26a和接收器(TS)16a所測量的與DUT400相關(guān)的數(shù)據(jù)(S參數(shù))，以及(3)由測量系統(tǒng)誤差因子記錄單元30所記錄的測量系統(tǒng)誤差因子。
測量系統(tǒng)誤差因子50獲取單元基于由接收器(RS)16a、接收器(TS)16b和接收器(TR)26a所得的測量結(jié)果來獲得測量系統(tǒng)的誤差因子。
接收端測量系統(tǒng)誤差因子獲取單元70基于由接收器(RR)26b、接收器(TR)26a和接收器(TS)16b所得的測量結(jié)果來獲得測量系統(tǒng)的誤差因子。
第一校準器100包括端口102、104、106和108，第一連接單元110a和110b以及第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120。
端口102連接到端口18。端口104連接到端口28。端口106連接到第二校準器200的端口202。端口108連接到第二校準器200的端口202。
第一連接單元110a連接到端口102、106和第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120。第一連接單元110a將端口102連接到端口106或第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120。因此第一連接單元110a將端口18連接到第二校準器200或第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120。要注意端口18用作輸出端口(當(dāng)信號從端口18中輸出時)或者接收端口(當(dāng)信號從端口28中輸出時)。
第一連接單元110b連接到端口104和108以及第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120。第一連接單元110b將端口104連接到端口108或第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120。因此第一連接單元110b將端口28連接到第二校準器200或第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120。要注意端口28用作為接收端口(當(dāng)信號從端口18中輸出時)或者輸出端口(當(dāng)信號從端口28中輸出時)。
第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120對端口18和28，即對輸出端口和接收端口實現(xiàn)第一狀態(tài)。第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120的配置如圖3所示。第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120包括開路校準工具122op和123op、短路校準工具122s和123s，標準負載校準工具122L和123L，短路電路單元124以及端口連接單元126和128。
校準工具都是在日本公開專利公報(Kokai)號.H11-38054中所描述的能夠?qū)崿F(xiàn)三類狀態(tài)；開路、短路和負載(標準負載Z0)的眾所周知的校準工具。
開路校準工具122op對端口18實現(xiàn)開路狀態(tài)。開路校準工具123op對端口28實現(xiàn)開路狀態(tài)。短路校準工具122s對端口18實現(xiàn)短路狀態(tài)。短路校準工具123s對端口28實現(xiàn)短路狀態(tài)。標準負載校準工具122L對端口18實現(xiàn)標準負載狀態(tài)。標準負載校準工具123L對端口28實現(xiàn)標準負載狀態(tài)。
短路單元124用于將端口18和端口28彼此連接。
即，第一狀態(tài)包括端口18的開路狀態(tài)、短路狀態(tài)和標準負載狀態(tài)，端口28的開路狀態(tài)、短路狀態(tài)和標準負載狀態(tài)，以及端口18和端口28彼此相連的狀態(tài)。
端口連接單元126將開路校準工具122op、短路校準工具122s、標準負載校準工具122L以及短路單元124中任意一個連接到第一連接單元110a。端口連接單元126是一類開關(guān)。
端口連接單元128將開路校準工具123op、短路校準工具123s、標準負載校準工具123L和短路單元124中的任何一個連接到第一連接單元110b。端口連接單元128是一類開關(guān)。
第二校準器200包括端口202和204、第二連接單元210和第二狀態(tài)實現(xiàn)單元220。
端口202連接到端口106(108)。端口204連接到DUT 400的端口402。
第二連接單元210連接到端口202和204以及第二狀態(tài)實現(xiàn)單元220。第二連接單元210將端口202連接到端口204或第二狀態(tài)實現(xiàn)單元220。
結(jié)果，當(dāng)端口202通過第一連接單元110a(110b)連接到端口18(28)時，第二連接單元210將端口18(28)連接到DUT 400或第二狀態(tài)實現(xiàn)單元220。
第二狀態(tài)實現(xiàn)單元220對端口18(28)，即輸出端口或接收端口實現(xiàn)第二狀態(tài)。第二狀態(tài)實現(xiàn)單元220的配置如圖4所示。第二狀態(tài)實現(xiàn)單元220包括開路校準工具222op、短路校準工具222s、標準負載校準工具222L以及校準工具連接單元224。
校準工具都是在日本公開專利公報(Kokai)號.H11-38054中所描述的能夠?qū)崿F(xiàn)三類狀態(tài)；開路、短路和負載(標準負載Z0)的眾所周知的校準工具。
開路校準工具222op對端口18(28)實現(xiàn)開路狀態(tài)。短路校準工具222s對端口18(28)實現(xiàn)短路狀態(tài)。標準校準工具222L對端口18(28)實現(xiàn)標準負載狀態(tài)。
即，第二狀態(tài)意味著端口18或28的開路狀態(tài)、短路狀態(tài)和標準負載狀態(tài)。
校準工具連接單元224將開路校準工具222op、短路校準工具222s和標準負載校準工具222L中的任何一個連接到第二連接單元210。校準工具連接單元224是一類開關(guān)。
纜線300將第一校準器100的端口106(108)和第二校準器200的端口202彼此相連。
DUT 400包括端口402和404。DUT 400是要經(jīng)歷測量的對象(被測器件)，而網(wǎng)絡(luò)分析器1的目的是測量DUT 400的真實S參數(shù)。
對第一實施例的操作給出描述。
圖5包括當(dāng)?shù)谝贿B接單元110a(110b)將端口18(28)連接到第二校準器200，第二連接單元210將端口202連接到DUT 400時的信號流圖表，要注意圖5(a)是當(dāng)端口18為輸出端口、端口28為接收端口時的信號流圖表，而圖5(b)是當(dāng)端口18為接收端口、端口28為輸出端口時的信號流圖表。
測量系統(tǒng)的誤差因子包括第一誤差因子和第二誤差因子。參照圖5(a)，第一誤差因子包括Edf、Erf、Esf、Etf和Elf。第二誤差因子包括A11、A12、A21、A22、B11、B12、B21和B22。要注意第一誤差因子的后綴f是“forward”的縮寫，意味著輸入信號是從端口18提供給DUT 400的。此外，Ed表示由電橋的方向性所致的誤差，Er表示由反射跟蹤(reflection tracking)所致的誤差，Es表示由源匹配所致的誤差，Et表示由傳輸軌跡所致的誤差，而EL表示由負載匹配所致的誤差。
參照圖5(b)，第一誤差因子包括Edr、Err、Esr、Etr和ELr。第二誤差因子包括A11、A12、A21、A22、B11、B12、B21和B22。要注意第一誤差因子的后綴r是“reverse”的縮寫，意味著輸入信號是從端口28提供給DUT 400的。
由于存在測量系統(tǒng)誤差因子，通過端口18和28對DUT 400的S參數(shù)進行測量的結(jié)果并非DUT 400的準確S參數(shù)(S11、S12、S21和S22)。為了針對該問題，通過測量第一誤差因子和第二誤差因子來獲得DUT 400的準確的S參數(shù)。
圖6是示出第一實施例的操作的流程圖。
首先網(wǎng)絡(luò)分析器1和第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120彼此相連。即，使得第一連接單元110a將端口18連接到第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120，并使得第一連接單元110b將端口28連接到第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120。
于是獲得了第一誤差因子(S12)。首先從端口18輸出一信號。端口連接單元126通過第一連接單元110a將開路校準工具122op、短路校準工具122s和標準負載校準工具122L依次連接到端口18。在該情形中，測量系統(tǒng)誤差因子獲取單元50基于由接收器(RS)16a和接收器(TS)16b所測量的值而獲得如圖7所示的誤差因子Edf、Erf和Esf，并且將其寫入到測量系統(tǒng)誤差因子記錄單元30。端口連接單元126通過第一連接單元110a將短路單元124連接到端口18，并且同時，端口連接單元128通過第一連接單元110b將短路單元124連接到端口28。在該情形中，測量系統(tǒng)誤差因子獲取單元50基于由接收器(RS)16a、接收器(TS)16b和接收器(TR)26a所測量出的值而獲得如圖8(a)所示的誤差因子Etf和ELf，并且將其寫入測量系統(tǒng)誤差因子記錄單元30。
然后從端口28中輸出一信號。端口連接單元128通過第一連接單元110b將開路校準工具123op、短路校準工具123s和標準負載校準工具123L依次連接到端口28。在該情形中，接收端的測量系統(tǒng)誤差因子獲取單元70基于由接收器(TR)26a和接收器(RR)26b所測量的值而獲得如圖7(b)所示的誤差因子Edr和Err和Esr，并且將其寫入測量系統(tǒng)誤差因子記錄單元30。隨后端口連接單元126通過第一連接單元110a將短路單元124連接到端口18，并且同時，端口連接單元128通過第一連接單元110b將短路單元124連接到端口28。在該情形中，接收端的測量系統(tǒng)誤差因子獲取單元70基于由接收器(TR)26a、接收器(RR)26b和接收器(TS)16b所測量出的值而獲得如圖8(b)所示的誤差因子Etr和ELr，并且將其寫入測量系統(tǒng)誤差因子記錄單元30。
以下列方式獲得第一誤差因子然后將網(wǎng)絡(luò)分析器1和第二校準器200相連(S14)。即，使得第一連接單元110a將端口18連接到第二校準器200，并使得第一連接單元110b將端口28連接到第二校準器200。還進一步將網(wǎng)絡(luò)分析器1和第二狀態(tài)實現(xiàn)單元220相連(S16)。即，使得第二連接單元210通過第一連接單元110a(110b)將端口18(28)連接到第二狀態(tài)實現(xiàn)單元220。
隨后獲得第二誤差因子(S18)。首先從端口18中輸出一信號。校準工具連接單元224通過第二連接單元210將開路校準工具222op、短路校準工具222s和標準負載校準工具222L依次連接到端口18。在該情形中，測量系統(tǒng)誤差因子獲取單元50基于由接收器(RS)16a和接收器(TS)16b所測量出的值而獲得如圖9(a)所示的誤差因子A11、A12、A21和A22，并且將其寫入測量系統(tǒng)誤差因子記錄單元30。
從端口28中輸出一信號。校準工具連接單元224通過第二連接單元210將開路校準工具222op、短路校準工具222s和標準負載校準工具222L依次連接到端口28。在該情形中，接收端的測量系統(tǒng)誤差因子獲取單元70基于由接收器(TR)26a和接收器(RR)26b所測量出的值而獲得如圖9(b)所示的誤差因子B11、B12、B21和B22，并且將其寫入測量系統(tǒng)誤差因子記錄單元30。
以下列方式獲得第二誤差因子。
然后網(wǎng)絡(luò)分析器1和DUT 400彼此相連。即，使得第二連接單元210通過第一連接單元110a(110b)將端口18(28)連接到DUT 400的端口402(404)。
從端口18或28中輸出一信號。并且電路參數(shù)測量單元40基于由接收器(RS)16a、接收器(TS)16b、接收器(TR)26a和接收器(RR)26b所測量的值而對DUT 400的S參數(shù)進行實際地測量(S22)。
實際測量出的值會受到測量系統(tǒng)誤差因子的影響。電路參數(shù)測量單元40讀出在測量系統(tǒng)誤差因子記錄單元30中記錄的測量系統(tǒng)誤差因子，將測量系統(tǒng)誤差因子的影響從DUT 400的S參數(shù)的實際測量出的值上去除，并且測量出DUT 400的真實S參數(shù)(S24)。
根據(jù)第一實施例，并非將校準工具和DUT 400依次連接到網(wǎng)絡(luò)分析器1的端口18和28以及從其分離，可通過操作第一連接單元110a、110b、第二連接單元210和端口連接單元126、128和224來對網(wǎng)絡(luò)分析器1進行簡易地校準。
第二實施例第二實施例與第一實施例不同在于，網(wǎng)絡(luò)分析器和DUT 400的端口數(shù)量分別增加到四。
圖10是示出使用根據(jù)本發(fā)明第二實施例的誤差因子獲取器件的測量系統(tǒng)的配置圖。測量系統(tǒng)具備網(wǎng)絡(luò)分析器1、第一校準器100、第二校準器200、纜線300和DUT 400。第一校準器100和第二校準器200構(gòu)成誤差因子獲取器件。在下面的部分中相同的元件用圖1中相同的標號標記，并不再對其進行說明。
網(wǎng)絡(luò)分析器1具備端口18、28、38和48。其內(nèi)部配置近似于第一實施例中的配置。從某一端口中輸出的信號可由另一端口接收到。例如，從端口18中輸出的信號可由端口28、38和48中任何一個接收到。此外，任何端口包括電橋14a和14b以及接收器16a和16b所對應(yīng)的端口。
第一校準器100的內(nèi)部配置如圖11所示。第一校準器100包括端口101、102。103、104、105、106、107和108，第一連接單元110a、110b、110c和110d，第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120a、120b、120c和120d，以及開關(guān)S1、S2、S3、S4、S11、S12、S13和S14。
端口102連接到端口18。端口104連接到端口28。端口101連接到端口38。端口103連接到端口48。端口105、106、107和108分別連接到第二校準器200的端口202。
第一連接單元110a將端口102連接到端口106，開關(guān)S11或第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120a。第一連接單元110b將端口104連接到端口108、開關(guān)S12或第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120b。第一連接單元110c將端口101連接到端口105、開關(guān)S13或第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120c。第一連接單元110d將端口103連接到端口107、開關(guān)S14或第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120d。
第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120a連接到第一連接單元110a和開關(guān)S1。第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120b連接到第一連接單元110b和開關(guān)S2。第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120c連接到第一連接單元110c和開關(guān)S3。第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120d連接到第一連接單元110d和開關(guān)S4。第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120a、120b、120c和120d的內(nèi)部配置與根據(jù)第一實施例的配置相同。
開關(guān)S1、S2、S3和S4連接到開關(guān)S11、S12、S13和S14。導(dǎo)通開關(guān)S1、S2、S3和S4中任何一個。如果開關(guān)S1導(dǎo)通，則開關(guān)S12、S13和S14中的任何一個導(dǎo)通。如果開關(guān)S2導(dǎo)通，則開關(guān)S11、S13和S14中的任意一個導(dǎo)通。如果開關(guān)S3導(dǎo)通，則開關(guān)S11、S12和S14中的任意一個導(dǎo)通。如果開關(guān)S4導(dǎo)通，則開關(guān)S11、S12和S13中的任意一個導(dǎo)通。
第二校準器200、纜線300以及DUT 400與第一實施例中的相同。要注意DUT400包括四個端口。
將對第二實施例的操作進行描述。第二實施例的操作基本與第一實施例相同，并且參照圖6中的流程圖給出描述。
首先將網(wǎng)絡(luò)分析器1和第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120a、120b、120c和120d相連(S10)。即，使得第一連接單元110a將端口18連接到第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120a，使得第一連接單元110b將端口28連接到第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120b，使得第一連接單元110c將端口38連接到第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120c，并且使得第一連接單元110d將端口48連接到第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120d。
然后獲得第一誤差因子(S12)。該步驟基本與第一實施例相同。即，從端口18、28、38和48中分別輸出信號。第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120a、120b、120c和120d的開路校準工具、短路校準工具以及標準負載校準工具依次連接到端口18、28、38和48。此外，端口18通過第一連接單元110a、第一狀態(tài)實現(xiàn)單元120a、開關(guān)S1、開關(guān)S12和第一連接單元110b而連接到端口28。類似地，端口18連接到端口38和48，端口28連接到端口38和48，端口38連接到端口48。然后基于各個情形下的接收器所測量的值而獲得第一誤差因子。
然后將網(wǎng)絡(luò)分析器1和第二校準器200相連(S14)。即，使得第一連接單元110a將端口18連接到第二校準器200，使得第一連接單元110b將端口28連接到第二校準器200，使得第一連接單元110c將端口38連接到第二校準器200，并且使得第一連接單元110d將端口48連接到第二校準器200。
進而將網(wǎng)絡(luò)分析器1和第二狀態(tài)實現(xiàn)單元220相連(S16)。即，使得第二連接單元210通過第一連接單元110a、110b、110c和110d將端口18、28、38和48分別連接到第二狀態(tài)實現(xiàn)單元220。
然后獲得第二誤差因子(S18)。該步驟與第一實施例基本相同。即，從端口18、28、38和48中分別輸出信號。第二狀態(tài)實現(xiàn)單元220的開路校準工具、短路校準工具以及標準負載校準工具依次連接到端口18、28、38和48。然后基于各個情形下的接收器所測量的值而獲得第二誤差因子。
然后將網(wǎng)絡(luò)分析器1和DUT 400相連(S20)。即，使得第二連接單元210分別通過第一連接單元110a、110b、110c和110d將端口18、28、38和48連接到DUT 400的各個端口上。
在該情形中，從端口18、28、38和48中任意一個輸出信號，并且電路參數(shù)測量單元40基于接收器所測量的值來實際測量DUT 400的S參數(shù)(S22)。
實際測量的值受到測量系統(tǒng)的誤差因子的影響。電路參數(shù)測量單元40讀取在測量系統(tǒng)誤差因子記錄單元30中記錄的測量系統(tǒng)誤差因子，將測量系統(tǒng)誤差因子的影響從實際測量的DUT400的S參數(shù)中去除，并且測量DUT 400的真實S參數(shù)(S24)。
根據(jù)第二實施例，即便是網(wǎng)絡(luò)分析器1和DUT 400的數(shù)量分別增加到四，還是可以提供與第一實施例相同的效果。
第三實施例根據(jù)第三實施例，DUT 400端口的數(shù)量(九)大于網(wǎng)絡(luò)分析器1的端口數(shù)量(四)，并且第三實施例與第二實施例不同在于誤差因子獲取器件還具備九端口測試組(支路連接裝置)500。
圖12是示出使用根據(jù)本發(fā)明第三實施例的誤差因子獲取器件的測量系統(tǒng)的配置圖。測量系統(tǒng)具備網(wǎng)絡(luò)分析器1、第一校準器100、第二校準器200、纜線300、DUT 400以及九端口測試組500。第一校準器100和第二校準器200構(gòu)成誤差因子獲取器件。在下面的部分中，類似的元件用第二實施例中相同的標號表示，并且不再詳細地描述。
網(wǎng)絡(luò)分析器1、第一校準器100、第二校準器200、纜線300以及DUT 400與第二實施例中的相同。
九端口測試組(支路連接裝置)500包括端口502、504、506、508、512、514、516、518、520、522、524、526和528。端口502、504、506和508分別連接到端口106、108、105和107。端口512、514、516、518、520、522、524、526和528分別連接到端口202。
九端口測試組500的內(nèi)部配置如圖13所示。端口502要連接端口512或514。端口504要連接端口514或516。要注意當(dāng)端口502連接到端口514時，則端口514要連接到端口516。端口506要連接到端口518、520或522。端口508要連接到端口524、526或528。在該方式中，第一校準器100的端口106、108、105和107分別連接到第二校準器200的端口202中的任何一個。
第三實施例的操作近似于第二實施例。但是，網(wǎng)絡(luò)分析器1的端口18、28、38和48通過九端口測試組500連接到第二校準器200中的任何一個。
根據(jù)第三實施例，即便DUT 400的端口數(shù)量(九)大于網(wǎng)絡(luò)分析器1的端口數(shù)量(四)，但還是提供了與第一實施例相同的效果。要注意即便是DUT 400的端口數(shù)量進一步增加，通過使用類似于九端口測試組500的測試頭可取得相同效果。
第四實施例第四實施例使用晶片410和晶片探針420來代替根據(jù)第一實施例的DUT 400。
圖14是示出使用本發(fā)明第四實施例的誤差因子獲取器件的測量系統(tǒng)配置的圖。測量系統(tǒng)具備網(wǎng)絡(luò)分析器1、第一校準器100、第二校準器200、纜線300、晶片410、以及晶片探針420。第一校準器100和第二校準器200構(gòu)成了誤差因子獲取器件。要注意網(wǎng)絡(luò)分析器1、第一校準器100、第二校準器200和纜線300是與第一實施例中的相同。
晶片410是要經(jīng)過網(wǎng)絡(luò)分析器1測量的對象。晶片探針420與晶片410相接觸，并且通過端口402分別連接到各個第二校準器200。
圖15示出當(dāng)?shù)谝贿B接單元110a(110b)將端口18(28)連接到第二校準器200，以及第二連接單元210將端口202連接到晶片探針420時的信號流圖表。要注意圖15(a)是當(dāng)端口18為輸出端口、端口28為接收端口時的信號流圖表，而圖15(b)是當(dāng)端口18為接收端口、端口28為輸出端口時的信號流圖表。
雖然圖15所示的信號流圖表幾乎與第一實施例中的(參照圖5)相同，但是不同點在于又添加了晶片探針420的誤差因子P11、P12、P21和P22。晶片探針420是精密地生產(chǎn)出的，并且在電特征上具有細微的個體差異。因此，如果晶片探針420的誤差因子P11、P12、P21和P22都預(yù)先記錄在測量系統(tǒng)誤差因子記錄單元30中時，就有可能從DUT 400的實際測量S參數(shù)上將誤差因子P11、P12、P21和P22的影響去除，藉此測量出DUT 400的真實S參數(shù)。
第四實施例的操作幾乎與第一實施例的(參照圖6)相同。要注意在測量系統(tǒng)誤差因子記錄單元30中記錄的測量系統(tǒng)誤差因子包括晶片探針420的誤差因子P11、P12、P21和P22。結(jié)果，電路參數(shù)測量單元40讀取在測量系統(tǒng)誤差因子記錄單元30中記錄的測量系統(tǒng)誤差因子(第一誤差因子、第二誤差因子以及誤差因子P11、P12、P21和P22)，將測量系統(tǒng)誤差因子的影響從DUT 400的實際測量S參數(shù)中去除，藉此測量DUT 400的真實S參數(shù)(S24)。
此外，還可以下面的方式來實現(xiàn)上述的實施例。即，計算機具備CPU、硬盤、以及介質(zhì)(諸如floppy disk(注冊商標)以及CD-ROM)閱讀器，并且使得媒體閱讀器讀取記錄了實現(xiàn)上述各個部分的程序的介質(zhì)(諸如測量系統(tǒng)誤差因子記錄單元30、電路參數(shù)測量單元40、測量系統(tǒng)誤差因子獲取單元50以及接收端測量系統(tǒng)誤差因子記錄單元70)，藉此將程序安裝在硬盤上。該方法也可以實現(xiàn)上述的功能。
權(quán)利要求
1.一種獲取被測器件和網(wǎng)絡(luò)分析器之間誤差因子的誤差因子獲取器件，所述網(wǎng)絡(luò)分析器具有信號輸出單元、輸出所述信號輸出單元所提供信號的輸出端口、以及接收所述信號的接收端口，所述誤差因子獲取器件包括第一校準裝置，包括對網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口實現(xiàn)第一狀態(tài)的第一狀態(tài)實現(xiàn)單元，并且連接到所述輸出端口和接收端口；以及第二校準裝置，包括對網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口實現(xiàn)第二狀態(tài)的第二狀態(tài)實現(xiàn)單元，并且連接到所述第一校準裝置和所述被測器件，其中所述第一校準裝置包括將所述輸出端口和接收端口連接到所述第一狀態(tài)實現(xiàn)單元或所述第二校準裝置的第一連接單元；以及所述第二校準裝置包括將所述輸出端口和接收端口連接到所述第二狀態(tài)實現(xiàn)單元或所述被測器件的第二連接單元。
2.如權(quán)利要求1所述的誤差因子獲取器件，其特征在于所述第一狀態(tài)實現(xiàn)單元包括實現(xiàn)開路狀態(tài)的開路校準工具；實現(xiàn)短路狀態(tài)的短路校準工具；實現(xiàn)標準負載狀態(tài)的標準負載校準工具；使所述輸出端口和接收端口短路的短路單元；將所述開路校準工具、所述短路校準工具、所述標準負載校準工具以及所述短路單元中的任何一個連接到所述輸出端口的輸出端口連接單元；以及將所述開路校準工具、所述短路校準工具、所述標準負載校準工具以及所述短路單元中的任何一個連接到所述接收端口的接收端口連接單元。
3.如權(quán)利要求1所述的誤差因子獲取器件，其特征在于所述第二狀態(tài)實現(xiàn)單元包括實現(xiàn)開路狀態(tài)的開路校準工具；實現(xiàn)短路狀態(tài)的短路校準工具；實現(xiàn)標準負載狀態(tài)的標準負載校準工具；以及將所述開路校準工具、所述短路校準工具以及所述標準負載校準工具中的任一個連接到所述網(wǎng)絡(luò)分析器的校準工具連接單元。
4.如權(quán)利要求1到3任意一項所述的誤差因子獲取器件，其特征在于，所述被測器件的端口數(shù)量大于所述網(wǎng)絡(luò)分析器的端口數(shù)量；所述誤差因子獲取器件包括將所述第一校準裝置的一端口連接到所述第二校準裝置的任一個端口的支路連接裝置。
5.如權(quán)利要求1到4任意一項所述的誤差因子獲取器件，其特征在于，所述被測器件包括晶片和與晶片相接觸的晶片探針，并且連接到所述第二校準裝置。
6.一種通過使用誤差因子獲取器件來獲得誤差因子的誤差因子獲取方法，所述誤差因子獲取器件獲取被測器件和網(wǎng)絡(luò)分析器之間的誤差因子，其中所述網(wǎng)絡(luò)分析器具有信號輸出單元、輸出所述信號輸出單元所提供信號的輸出端口、以及接收所述信號的接收端口，所述誤差因子獲取器件包括(i)第一校準裝置，包括對所述網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口實現(xiàn)第一狀態(tài)的第一狀態(tài)實現(xiàn)單元、并且連接到所述輸出端口和所述接收端口；以及(ii)第二校準裝置，包括對所述網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口實現(xiàn)第二狀態(tài)的第二狀態(tài)實現(xiàn)單元、并且連接到第所述一校準裝置和所述被測器件；其中(iii)所述第一校準裝置包括將所述輸出端口和接收端口連接到所述第一狀態(tài)實現(xiàn)單元或所述第二校準裝置的第一連接單元；并且(iv)所述第二校準裝置包括將所述輸出端口和接收端口連接到所述第二狀態(tài)實現(xiàn)單元或被測器件的第二連接單元，所述誤差因子獲取方法包括第一誤差因子獲取步驟，基于在所述網(wǎng)絡(luò)分析器一連接到第一狀態(tài)實現(xiàn)單元時對從所述輸出端口輸出之前的信號、從所述第一狀態(tài)實現(xiàn)單元反射回輸出端口的信號、以及由所述接收端口接收到的信號所測量的預(yù)定參數(shù)，來獲取所述網(wǎng)絡(luò)分析器和所述第一校準裝置之間的第一誤差因子；以及第二誤差因子獲取步驟，基于在所述網(wǎng)絡(luò)分析器一連接到所述第二狀態(tài)實現(xiàn)單元時從所述輸出端口輸出之前的信號以及從所述第二狀態(tài)實現(xiàn)單元反射回輸出端口的信號，來獲取所述被測器件和所述第一校準裝置之間的第二誤差因子。
7.一種通過使用誤差因子獲取器件來獲得誤差因子的誤差因子獲取方法，所述誤差因子獲取器件獲取被測器件和網(wǎng)絡(luò)分析器之間的誤差因子，其中所述網(wǎng)絡(luò)分析器具有信號輸出單元、輸出所述信號輸出單元所提供信號的輸出端口、以及接收所述信號的接收端口，所述誤差因子獲取器件包括(i)第一校準裝置，包括對所述網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口實現(xiàn)第一狀態(tài)的第一狀態(tài)實現(xiàn)單元、并且連接到所述輸出端口和接收端口；以及(ii)第二校準裝置，包括對所述網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口實現(xiàn)第二狀態(tài)的第二狀態(tài)實現(xiàn)單元、并且連接到所述第一校準裝置和所述被測器件；其中(iii)所述第一校準裝置包括將所述輸出端口和接收端口連接到所述第一狀態(tài)實現(xiàn)單元或所述第二校準裝置的第一連接單元；(iv)所述第二校準裝置包括將所述輸出端口和接收端口連接到所述第二狀態(tài)實現(xiàn)單元或被測器件的第二連接單元；以及(v)所述被測器件包括一晶片和與所述晶片相接觸的晶片探針，并且被連接到第二校準裝置，所述誤差因子獲取方法包括第一誤差因子獲取步驟，基于在所述網(wǎng)絡(luò)分析器一連接到所述第一狀態(tài)實現(xiàn)單元時對從所述輸出端口輸出之前的信號、從所述第一狀態(tài)實現(xiàn)單元反射回所述輸出端口的信號、以及由所述接收端口接收到的信號所測量的預(yù)定參數(shù)，來獲取所述網(wǎng)絡(luò)分析器和所述第一校準裝置之間的第一誤差因子；第二誤差因子獲取步驟，基于在所述網(wǎng)絡(luò)分析器一連接到所述第二狀態(tài)實現(xiàn)單元時從所述輸出端口輸出之前的信號以及從所述第二狀態(tài)實現(xiàn)單元反射回所述輸出端口的信號，來獲取所述被測器件和所述第一校準裝置之間的第二誤差因子；以及晶片測量步驟，基于所述第一誤差因子、第二誤差因子以及所述晶片探針的誤差因子來對晶片測量預(yù)定的參數(shù)。
8.一種通過計算機執(zhí)行使用誤差因子獲取器件獲取誤差因子的誤差因子獲取過程的指令程序，所述誤差因子獲取器件獲取被測器件和網(wǎng)絡(luò)分析器之間的誤差因子，其中所述網(wǎng)絡(luò)分析器具有信號輸出單元、輸出所述信號輸出單元所提供信號的輸出端口、以及接收所述信號的接收端口，所述誤差因子獲取器件包括(i)第一校準裝置，包括對所述網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口實現(xiàn)第一狀態(tài)的第一狀態(tài)實現(xiàn)單元、并且連接到所述輸出端口和接收端口；以及(ii)第二校準裝置，包括對所述網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口實現(xiàn)第二狀態(tài)的第二狀態(tài)實現(xiàn)單元、并且連接到所述第一校準裝置和所述被測器件；其中(iii)所述第一校準裝置包括將所述輸出端口和接收端口連接到所述第一狀態(tài)實現(xiàn)單元或第二校準裝置的第一連接單元；以及(iv)所述第二校準裝置包括將所述輸出端口和接收端口連接到所述第二狀態(tài)實現(xiàn)單元或被測器件的第二連接單元，所述誤差因子獲取過程包括第一誤差因子獲取步驟，基于在所述網(wǎng)絡(luò)分析器一連接到所述第一狀態(tài)實現(xiàn)單元時對從所述輸出端口輸出之前的信號、從所述第一狀態(tài)實現(xiàn)單元反射回所述輸出端口的信號、以及由所述接收端口接收到的信號所測量的預(yù)定參數(shù)，來獲取所述網(wǎng)絡(luò)分析器和所述第一校準裝置之間的第一誤差因子；以及第二誤差因子獲取步驟，基于在所述網(wǎng)絡(luò)分析器一連接到所述第二狀態(tài)實現(xiàn)單元時從所述輸出端口輸出之前的信號以及從所述第二狀態(tài)實現(xiàn)單元反射回所述輸出端口的信號，來獲取所述被測器件和所述第一校準裝置之間的第二誤差因子。
9.一種通過計算機執(zhí)行使用誤差因子獲取器件獲取誤差因子的誤差因子獲取過程的指令程序，所述誤差因子獲取器件獲取被測器件和網(wǎng)絡(luò)分析器之間的誤差因子，其中所述網(wǎng)絡(luò)分析器具有信號輸出單元、輸出所述信號輸出單元所提供信號的輸出端口、以及接收所述信號的接收端口，所述誤差因子獲取器件包括(i)第一校準裝置，包括對所述網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口實現(xiàn)第一狀態(tài)的第一狀態(tài)實現(xiàn)單元、并且連接到所述輸出端口和接收端口；以及(ii)第二校準裝置，包括對所述網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口實現(xiàn)第二狀態(tài)的第二狀態(tài)實現(xiàn)單元、并且連接到所述第一校準裝置和所述被測器件；其中(iii)所述第一校準裝置包括將所述輸出端口和接收端口連接到所述第一狀態(tài)實現(xiàn)單元或是第二校準裝置的第一連接單元；以及(iv)所述第二校準裝置包括將所述輸出端口和接收端口連接到所述第二狀態(tài)實現(xiàn)單元或被測器件的第二連接單元，以及(v)所述被測器件包括一晶片和與所述晶片相接觸的晶片探針，并且被連接到所述第二校準裝置，所述誤差因子獲取過程包括第一誤差因子獲取步驟，基于在所述網(wǎng)絡(luò)分析器一連接到所述第一狀態(tài)實現(xiàn)單元時對從所述輸出端口輸出之前的信號、從所述第一狀態(tài)實現(xiàn)單元反射回所述輸出端口的信號、以及由所述接收端口接收到的信號所測量的預(yù)定參數(shù)，來獲取所述網(wǎng)絡(luò)分析器和所述第一校準裝置之間的第一誤差因子；第二誤差因子獲取步驟，基于在所述網(wǎng)絡(luò)分析器一連接到所述第二狀態(tài)實現(xiàn)單元時從所述輸出端口輸出之前的信號以及從所述第二狀態(tài)實現(xiàn)單元反射回所述輸出端口的信號，來獲取所述被測器件和所述第一校準裝置之間的第二誤差因子；以及晶片測量步驟，基于第一誤差因子、第二誤差因子和晶片探針的誤差因子，對晶片測量預(yù)定參數(shù)。
10.一種具有通過計算機執(zhí)行使用誤差因子獲取器件獲取誤差因子的誤差因子獲取過程的指令程序的計算機可讀介質(zhì)，所述誤差因子獲取器件獲取被測器件和網(wǎng)絡(luò)分析器之間的誤差因子，其中所述網(wǎng)絡(luò)分析器具有信號輸出單元、輸出所述信號輸出單元所提供信號的輸出端口、以及接收所述信號的接收端口，所述誤差因子獲取器件包括(i)第一校準裝置，包括對所述網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口實現(xiàn)第一狀態(tài)的第一狀態(tài)實現(xiàn)單元、并且連接到所述輸出端口和接收端口；以及(ii)第二校準裝置，包括對所述網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口實現(xiàn)第二狀態(tài)的第二狀態(tài)實現(xiàn)單元、并且連接到所述第一校準裝置和所述被測器件的第二校準裝置；其中(iii)所述第一校準裝置包括將所述輸出端口和接收端口連接到所述第一狀態(tài)實現(xiàn)單元或所述第二校準裝置的第一連接單元；以及(iv)所述第二校準裝置包括將所述輸出端口和接收端口連接到所述第二狀態(tài)實現(xiàn)單元或被測器件的第二連接單元，所述誤差因子獲取過程包括第一誤差因子獲取步驟，基于在網(wǎng)絡(luò)分析器一連接到所述第一狀態(tài)實現(xiàn)單元時對從所述輸出端口輸出之前的信號、從所述第一狀態(tài)實現(xiàn)單元反射回所述輸出端口的信號、以及由所述接收端口接收到的信號所測量的預(yù)定參數(shù)，來獲取所述網(wǎng)絡(luò)分析器和所述第一校準裝置之間的第一誤差因子；以及第二誤差因子獲取步驟，基于在所述網(wǎng)絡(luò)分析器一連接到所述第二狀態(tài)實現(xiàn)單元時從所述輸出端口輸出之前的信號以及從所述第二狀態(tài)實現(xiàn)單元反射回所述輸出端口的信號，來獲取所述被測器件和所述第一校準裝置之間的第二誤差因子。
11.一種具有通過計算機執(zhí)行使用誤差因子獲取器件獲取誤差因子的誤差因子獲取過程的指令程序的計算機可讀介質(zhì)，所述誤差因子獲取器件獲取被測器件和網(wǎng)絡(luò)分析器之間的誤差因子，其中所述網(wǎng)絡(luò)分析器具有信號輸出單元、輸出所述信號輸出單元所提供信號的輸出端口、以及接收所述信號的接收端口，所述誤差因子獲取器件包括(i)第一校準裝置，包括對所述網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口實現(xiàn)第一狀態(tài)的第一狀態(tài)實現(xiàn)單元、并且連接到所述輸出端口和接收端口第一校準裝置；以及(ii)第二校準裝置，包括對所述網(wǎng)絡(luò)分析器的輸出端口和接收端口實現(xiàn)第二狀態(tài)的第二狀態(tài)實現(xiàn)單元、并且連接到所述第一校準裝置和所述被測器件的第二校準裝置；其中(iii)所述第一校準裝置包括將所述輸出端口和接收端口連接到所述第一狀態(tài)實現(xiàn)單元或所述第二校準裝置的第一連接單元；(iv)所述第二校準裝置包括將所述輸出端口和接收端口連接到所述第二狀態(tài)實現(xiàn)單元或被測器件的第二連接單元，以及(v)所述被測器件包括一晶片和與所述晶片相接觸的晶片探針，并且連接到所述第二校準裝置，所述誤差因子獲取過程包括第一誤差因子獲取步驟，基于在所述網(wǎng)絡(luò)分析器一連接到所述第一狀態(tài)實現(xiàn)單元時對從所述輸出端口輸出之前的信號、從所述第一狀態(tài)實現(xiàn)單元反射回所述輸出端口的信號、以及由所述接收端口接收到的信號所測量的預(yù)定參數(shù)，來獲取所述網(wǎng)絡(luò)分析器和所述第一校準裝置之間的第一誤差因子；第二誤差因子獲取步驟，基于在所述網(wǎng)絡(luò)分析器一連接到所述第二狀態(tài)實現(xiàn)單元時從所述輸出端口輸出之前的信號以及從所述第二狀態(tài)實現(xiàn)單元反射回到所述輸出端口的信號，來獲取所述被測器件和所述第一校準裝置之間的第二誤差因子；以及晶片測量步驟，基于第一誤差因子、第二誤差因子和晶片探針的誤差因子，對晶片測量預(yù)定參數(shù)。
全文摘要
通過減少校準配件連接和分離的次數(shù)來校準DUT(被測器件)電路參數(shù)的測量系統(tǒng)是可能的。一種誤差因子獲取器件包括第一校準器(100)，連接到端口(18，28)，并且具有對網(wǎng)絡(luò)分析器的端口(18，28)實現(xiàn)開路、短路和標準負載或使端口(18，28)短路的第一狀態(tài)實現(xiàn)單元(120)；以及第二校準器(200)，連接到第一校準器(100)和DUT 400，并且具有對端口(18，28)實現(xiàn)開路、短路和標準負載的第二狀態(tài)實現(xiàn)單元(220)。第一校準器(100)包括將端口(18，28)連接到第一狀態(tài)實現(xiàn)單元(120)或第二校準器(200)的第一連接單元(110a，110b)，同時第二校準器(200)包括將端口(18，28)連接到第二狀態(tài)實現(xiàn)單元(220)或DUT 400的第二連接單元(210)。
文檔編號G01R35/00GK1853109SQ20048002700
公開日2006年10月25日 申請日期2004年9月14日 優(yōu)先權(quán)日2003年9月18日
發(fā)明者春田將人, 佐藤浩行, 田邊武, 中山喜和 申請人:株式會社愛德萬測試