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動(dòng)態(tài)混合氣體流量計(jì)的制作方法

文檔序號(hào):6093062閱讀:164來(lái)源:國(guó)知局
專(zhuān)利名稱(chēng):動(dòng)態(tài)混合氣體流量計(jì)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及流量傳感器,更具體地涉及一種用于補(bǔ)償可變混合 氣體組分的熱擴(kuò)散式流量計(jì)。
背景技術(shù)
熱擴(kuò)散式流量計(jì)是商業(yè)和工業(yè)計(jì)量市場(chǎng)中通用的一種流量計(jì) 量裝置。用于這類(lèi)計(jì)量裝置中的一種典型的傳感元件是電阻式溫度
;險(xiǎn)測(cè)器(RTD),其電阻與元件自身的溫度相關(guān)。典型的傳感器至 少采用兩個(gè)RTD元件。 一個(gè)RTD元件用作參考元件(基準(zhǔn)元件), 通常不被加熱。第二個(gè)RTD用作被加熱的有源元件。在使用時(shí), 流量對(duì)熱的RTD元件的影響提供了對(duì)纟皮監(jiān)測(cè)的導(dǎo)管或管道中物質(zhì) 流速的測(cè)量。
在熱擴(kuò)散的工業(yè)中,通常^f吏用兩種不同的方法來(lái)確定管道中的 流量。一種技術(shù)是維持參考RTD和有源RTD間的恒定的溫差。這 種方法測(cè)量維持有源RTD高出參考RTD —恒定溫度所需的電壓或 電流,同時(shí)由于流動(dòng)介質(zhì)的物理性質(zhì)而,人有源RTD帶走熱量。另 一種方法是測(cè)量有源RTD和參考RTD的電壓差,同時(shí)用恒定電流 或恒定功率的熱源加熱有源RTD。在該測(cè)量過(guò)禾呈中,與前一方法類(lèi) 似,有源RTD的熱量是通過(guò)流動(dòng)介質(zhì)的物理性質(zhì)而散失的。
影響傳統(tǒng)流量計(jì)準(zhǔn)確性的 一個(gè)因素是流動(dòng)介質(zhì)的物理組成的 一致性。在很多應(yīng)用中,流動(dòng)介質(zhì)保持相同的常規(guī)組分,在這種情形下,傳統(tǒng)的流量計(jì)能提供足夠準(zhǔn)確的流速(流量)測(cè)量。然而, 在例如火炬氣和其它可變混合氣體組分的情形下,介質(zhì)的物理組分 不斷變化,4吏得要獲得4青確的流速十分困難。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的補(bǔ)償流量計(jì)包括適于插入管道內(nèi)的流動(dòng)介質(zhì)中的探 頭。探頭包括熱式流量傳感器和包括在4笨頭的無(wú)流動(dòng)室之中的補(bǔ)償 氣體性質(zhì)傳感器。熱式流量傳感器可以由有源傳感器與參考傳感器
構(gòu)成,這些傳感器相應(yīng)地提供與介質(zhì)流速相關(guān)的輸出信號(hào)。補(bǔ)償氣 體性質(zhì)傳感器可以由補(bǔ)償有源傳感器與參考傳感器構(gòu)成,這些傳感 器相應(yīng)地提供與介質(zhì)的熱傳遞相關(guān)的輸出信號(hào)。通常配置以合適的 處理器,用于調(diào)節(jié)由熱式流量傳感器檢測(cè)的實(shí)測(cè)流速,來(lái)補(bǔ)償由補(bǔ) 償氣體性質(zhì)傳感器測(cè)得的熱傳遞的變化。


通過(guò)以下結(jié)合附圖對(duì)優(yōu)選的實(shí)施方式的描述,本發(fā)明的上述和
其它方面、特征、以及優(yōu)點(diǎn)將變得更加顯而易見(jiàn),附圖中
圖1是根據(jù)本發(fā)明的包括流量和氣體性質(zhì)傳感器的流量計(jì)探頭 的側(cè)碎見(jiàn)圖。
圖2示出了置于管道中的圖1的流量計(jì)纟笨頭的示范性實(shí)施方式。
圖3是裝配的放大剖面圖,其示出才艮據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例包括 在圖1的流量計(jì)探頭的中間腔室部分內(nèi)的各個(gè)元件的更為詳細(xì)的視 圖。圖4是剖面圖,其示出圖1的流量計(jì)探頭中熱式流量傳感器部 分的更為詳細(xì)的一見(jiàn)圖。
圖5是筒化的示范性方塊圖,其示出可連接至流體和氣體性質(zhì) 傳感器的基本的電路元件。
圖6為示出AR與流體和氣體性質(zhì)傳感器各自的輸出之間的關(guān) 系的特定實(shí)例的曲線(xiàn)圖。
圖7為示出了相對(duì)于基線(xiàn)氣體混合物的變化組分的氣體混合物 的典型流量的曲線(xiàn)圖。
圖8和圖9為示出了相對(duì)于基線(xiàn)氣體混合物的不同組分的氣體 混合物可能的流量誤差率的曲線(xiàn)圖。
圖10是根據(jù)本發(fā)明可選實(shí)施例的具校準(zhǔn)和壓力傳感能力的流 量計(jì)探頭的側(cè)視圖。
圖11是根據(jù)本發(fā)明一替換實(shí)施例的具有壓力傳感能力的流量
計(jì):探頭的側(cè)^L圖。
具體實(shí)施例方式
在以下說(shuō)明中,將參照構(gòu)成本說(shuō)明書(shū) 一 部分的附圖并以舉例i兌 明的方式示出了本發(fā)明的具體實(shí)施方式
。本領(lǐng)于技術(shù)人員應(yīng)該理 解,可采用其它的具體實(shí)施方式
,并且可以進(jìn)4亍結(jié)構(gòu)、電^各以及禾呈 序上的變化而均不背離本發(fā)明的范圍。
現(xiàn)在參照?qǐng)D1,示出了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的探頭10的側(cè)#見(jiàn) 圖。探頭10通常包括熱式流量傳感器15和氣體性質(zhì)傳感器20。流 量傳感器可配置有一對(duì)諸如電阻式溫度檢測(cè)器(RTD)的熱裝置。如圖所示,流量傳感器包括一個(gè)一皮加熱并且是有源傳感元件25的 RTD,而另外一個(gè)RTD是相對(duì)或基本上不被加熱的參考傳感元件 30。
在運(yùn)4亍中,氣體混合物流過(guò)管道中傳感器15的有源和無(wú)源元 件,導(dǎo)致熱從有源傳感器耗散,與參考傳感元件的熱耗散相比。通 常的流速在約0.5至約300標(biāo)準(zhǔn)英尺每秒(SFPS )之間的任何區(qū)域 變化。溫差(AT)的變化反映為電阻差(AR)的變化。AT和AR 值可與管道中氣體混合物的瞬間流速相關(guān)聯(lián)。使用AR是計(jì)算流速 的多種可能的才支術(shù)中的一種。這里將對(duì)其它技術(shù)作更詳細(xì)地描述。
與流量傳感器15類(lèi)似,氣體性質(zhì)傳感器20 (虛線(xiàn)所示)可包 括有源RTD傳感元件35和參考RTD傳感元件40。如圖所示,這 些元件包含在中間腔室45之內(nèi),并安置于近端4笨頭元件50和遠(yuǎn)端 探頭元件55之間。在運(yùn)行中,氣體混合物流入中間腔室的無(wú)流動(dòng) 室內(nèi),并與暴露的有源傳感元件35和無(wú)源傳感元件40 4妄觸。電阻 差反映出中間腔室內(nèi)氣體混合物的熱傳遞。電阻差(AR)的變化可 與氣體混合物熱傳遞的變化相關(guān)聯(lián),因而與氣體混合物的氣體組成 的變化相關(guān)Jf關(guān)。
以上典型的說(shuō)明通常W支定有源傳感元件和參考傳感元件是基 于熱差的,首選的例子是RTD。然而,可以使用其它的基于熱的傳 感器,除了別的之外還,包括熱電耦、熱電堆、熱敏電阻、晶體管、 以及二才及管。
圖2示出了設(shè)置在管道65的壁60上的探頭10的典型實(shí)例。 在使用時(shí),氣體性質(zhì)傳感器20利用具有不同組成的氣體呈現(xiàn)出不 同熱傳遞水平的原理。考慮例如氣體混合物以恒速流過(guò)管道的情 況。如果氣體混合物的組分發(fā)生變化,則氣體混合物的熱傳遞也發(fā) 生變化。熱傳遞的變化影響了流量傳感器中有源傳感器的散熱速率,因而影響了流速。這意味著實(shí)際流量可以是恒定的,但氣體組 分的變化將反映為流速的變化??梢詫?shí)際的和測(cè)得的流速間的偏 差稱(chēng)作流量誤差。
對(duì)于任何流量誤差,即使氣體混合物的實(shí)際流速維持恒定,測(cè) 得的流速也可能變化(更高或更低)。例如,當(dāng)氣體混合物的熱傳 遞升高時(shí),測(cè)得的(不是實(shí)際的)流速將會(huì)增加。相反地,當(dāng)氣體 混合物的熱傳遞下降時(shí),測(cè)量的流速將會(huì)減小。
可通過(guò)補(bǔ)償氣體混合物的熱傳遞來(lái)實(shí)現(xiàn)因氣體混合物物理性 質(zhì)的變化而引起的流量誤差的校正。也就是說(shuō),如果可以確定氣體 混合物的熱傳遞,就可獲得更準(zhǔn)確的氣體混合物的流速。流量誤差 的校正在可變混合氣體組分的測(cè)量應(yīng)用中可能是非常重要的。
才艮據(jù)本發(fā)明,氣體性質(zhì)傳感器20 ^皮設(shè)計(jì)成省爭(zhēng)止的腔室(still well)來(lái)才全測(cè)管道中流動(dòng)的氣體介質(zhì)的熱傳遞,并和流量傳感器15 耳關(guān)合使用。在運(yùn)行中,流量傳感器將測(cè)量管道65中氣體混合物的 流速,同時(shí)氣體性質(zhì)傳感器測(cè)量氣體的熱傳遞。這里將作更詳細(xì)描 述,必要時(shí)調(diào)節(jié)纟皮測(cè)量的流量,以補(bǔ)償氣體混合物熱傳遞的任〗可變 化。
圖3是裝配的放大的剖面圖,示出了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的 包含在流量計(jì)探頭的中間腔室之內(nèi)的各個(gè)元件的更為詳細(xì)的視圖。 如圖所示,中間腔室45具有端板85和87,以密封其內(nèi)部而與探頭 的其它部分隔開(kāi)。為確保流量不是傳感器35和40的影響因素,下 游的孔80允許氣體進(jìn)入無(wú)流動(dòng)室75。這些氣孔允許足量的氣體進(jìn) 入無(wú)流動(dòng)室,并連4妄至擋4反卯,與有源傳感器35和無(wú)源傳感器40 相接觸。通常中間腔室設(shè)置有一個(gè)或多個(gè)孔,但其它設(shè)計(jì)也是可行 的。管95具有另外的功能,將在隨后的圖中描述。為優(yōu)化由氣體性質(zhì)傳感器20進(jìn)行的熱傳遞測(cè)量,期望使得無(wú) 流動(dòng)室內(nèi)的氣體流量最小化。如圖所示的中間腔室的構(gòu)造的本質(zhì)是 允許有源和參考傳感器能在靜止的或"無(wú)流動(dòng),,的環(huán)境中進(jìn)行流動(dòng)
氣體的采才羊。通常^f吏用擋^反90以進(jìn)一步減小該室內(nèi)的氣體流量。 在中間腔室45內(nèi)產(chǎn)生的無(wú)流動(dòng)環(huán)境的特殊設(shè)計(jì),并不是關(guān)4建的或 必需的,允許通過(guò)傳感器20進(jìn)行足夠準(zhǔn)確的熱傳遞測(cè)量的其它任 何合適的設(shè)計(jì)都可以使用。
圖4是剖面圖,示出了熱式流量傳感器15的更為詳細(xì)的視圖。 可以使用合適的裝置(例如基板105 )將有源傳感器25和參考傳感 器30連接至該遠(yuǎn)端元件。如圖所示,遠(yuǎn)端元件55具有空腔110, 可用于布置連4妻傳感器和電^"所需的配線(xiàn)。
圖5是簡(jiǎn)化的方塊圖的實(shí)例,示出了可連4妾至流體傳感器15 和氣體性質(zhì)傳感器20的基本電路元件。將參考圖1和圖2所示的 探頭元件描述該圖。應(yīng)當(dāng)理解,該圖中所示的元件是代表性的,許 多其它的構(gòu)件也是可4亍的??梢詫⑦@些元件安置于外殼115中,該 外殼通常靠近管道65的外側(cè)。作為變化形式,如圖5所示的部分 或全部的非傳感元件可位于中央、較遠(yuǎn)的位置。
如圖所示,電源120向流量計(jì)提供必需的電能,同時(shí)信號(hào)調(diào)節(jié) 器125產(chǎn)生流量計(jì)中各元件所需的功率水平和信號(hào)格式。在使用中, 將由流量傳感器15和氣體性質(zhì)傳感器20產(chǎn)生的信號(hào)輸出發(fā)送至信 號(hào)調(diào)節(jié)器,最終到達(dá)信號(hào)處理器130。利用許多已知技術(shù)中的任何 —種,信號(hào)處理器基于流量傳感器的輸出確定流速,并基于氣體性 質(zhì)傳感器的輸出確定流動(dòng)氣體的熱傳遞。根據(jù)本發(fā)明,信號(hào)處理器 進(jìn)一步提供補(bǔ)償?shù)牧魉伲湔f(shuō)明了流動(dòng)氣體混合物的熱傳遞的任何 變化。將參照?qǐng)D6-9更詳細(xì)地描述這一特征。電源能向流量計(jì)提供由信號(hào)調(diào)節(jié)器確定的任何適當(dāng)?shù)墓β仕?br> 平和格式。通常地,電源將向功率和熱傳感器15和20提供20-42 伏特的可變直流電壓(VDC),并向數(shù)字邏輯電路提供調(diào)制的5伏 特直流電壓(VDC)。 5伏特直流電壓是現(xiàn)4亍標(biāo)準(zhǔn),^f旦是可才艮據(jù)需求 和期望調(diào)整才是供給流量計(jì)元件的功率。電源自身可以由具有115伏 特或23(H犬特的交流電壓(VAC)、或24Y犬特直流電壓(VDC )的
豐lr入電源供電。
可以使用許多不同技術(shù)中任何一種來(lái)控制流量傳感器15以確 定流速,以及控制氣體性質(zhì)傳感器20來(lái)確定流動(dòng)氣體的熱傳遞。 例如, 一種技術(shù)是,設(shè)置信號(hào)調(diào)節(jié)器125以將20-42伏特直流電 (VDC )轉(zhuǎn)換為0.5mA的恒定電流供電給參考傳感器30和40,以 及轉(zhuǎn)換為20mA的恒定電流,以加熱有源傳感器25和35。
在運(yùn)行中,對(duì)于流量傳感器,信號(hào)調(diào)節(jié)器感應(yīng)通過(guò)傳感器25 和30的電壓,以確定電壓差(AV)。電壓差A(yù)V產(chǎn)生自在恒定電流 下的電阻變化(AR),其與溫度差A(yù)T成比例,為計(jì)算根據(jù)現(xiàn)有技術(shù) 所涉及的介質(zhì)的流量提供了依據(jù)。信號(hào)調(diào)節(jié)器以類(lèi)似的方式感應(yīng)通 過(guò)傳感器35和40的電壓,以測(cè)定該特定傳感器的AR, /人而為計(jì)算 氣體的熱傳遞提供了依據(jù)。20mA的加熱電流僅4又是示例,可以采 用能產(chǎn)生期望結(jié)果的任何激勵(lì)。
另一技術(shù)可以是,其中信號(hào)調(diào)節(jié)器.125對(duì)于有源傳感器25和 參考傳感器30作為恒定電源工作,流向這些傳感器的電流和跨過(guò) 它們的電壓降可變化。在這種構(gòu)造中,信號(hào)調(diào)節(jié)器通常包括乘法電 路,該電路為這些傳感器中的每一個(gè)監(jiān)測(cè)功率(Vxl),并維持該功 率恒定。流向有源傳感器的電流或^,過(guò)它的電壓降的變化,與電阻 變化(AR)相關(guān)(并因此與溫度變化(AT)相關(guān)),并由此用于計(jì) 算介質(zhì)的流速??梢杂妙?lèi)似的方法控制有源傳感器35和參考傳感器40,以使得流向有源傳感器35的電流或跨過(guò)它的電壓降的變化 與AR和AT相關(guān),其可用于測(cè)定熱4專(zhuān)遞。
還有一種獲得必需的測(cè)量的可4于的方法,即^f呆持有源RTD和 參考RTD的溫差A(yù)T恒定。才艮據(jù)這個(gè)方案,功率作為流速或熱傳遞 的函數(shù)而變化。就是說(shuō),當(dāng)流速增力p (或熱傳遞增加)時(shí),必須向 力口熱的RTD傳感器施加額外的功率,以4呆持溫度恒定。
在本技術(shù)中,信號(hào)調(diào)節(jié)器維持恒定的AT。由于對(duì)于RTD來(lái)說(shuō), 電阻和溫度的關(guān)系是固定的,所以AR也是恒定的。為維持AT或AR 恒定,可以檢測(cè)AV和AI二者或A功率,以便為計(jì)算流速提供依據(jù), 或者對(duì)氣體性質(zhì)傳感器的情況為計(jì)算熱傳遞提供依據(jù)。通過(guò)將任何 特定的工藝溫度用作維持恒定溫差所需的功率的函數(shù),可以得到這
些計(jì)算。。
還有一種可供選^奪的方法,可維持電壓恒定,這與上述恒定電 流的方案相反。當(dāng)維持AV恒定時(shí),電流隨著溫度的改變而改變。 AI為測(cè)定流速(傳感器15)或熱傳遞(傳感器20) l是供了依據(jù)。
上述用于測(cè)定流動(dòng)氣體流速以及測(cè)量流動(dòng)氣體的無(wú)流動(dòng)樣品
的。不管4專(zhuān)感器25、 30、 35、和40是以恒定電;克、恒定功率、恒 定溫差或恒定電壓下工作,都可以調(diào)換傳感器的作用,而向曾經(jīng)的 參考傳感器提供加熱激勵(lì),向曾經(jīng)的有源傳感器提供較低的非加熱 激勵(lì)。通常將同樣的測(cè)量技術(shù)用于流量傳感器和氣體性質(zhì)傳感器, 但這并不是必要的,如果需要也可使用不同的測(cè)量技術(shù)。
如上所述,流量傳感器和氣體性質(zhì)傳感器通常各自配置有兩個(gè) 截然不同的傳感器有源傳感器和參考傳感器。然而,其它配置也 是可行的。例如,單個(gè)元件傳感器可4要分時(shí)方式工作,其中,在預(yù)定的一個(gè)較短的時(shí)間段內(nèi),其用作(被加)熱傳感器。然后,使傳
感器降溫(通常為20-40秒)而用作基本上不熱的參考傳感器。之 后可獲得參考測(cè)量值,并且可以根據(jù)需要或希望在連續(xù)的或周期性 的基礎(chǔ)上重復(fù)該加熱-冷卻循環(huán)。
信號(hào)處理器130可以是微處理器、硬件連接狀態(tài)機(jī)(hard wired state machine )、 ^t字信號(hào)處理器、《效控制器、專(zhuān)用集成電3各(ASIC )、 嵌入式處理器、或任何其它合適的控制或處理裝置。信號(hào)處理器通 常配置有適當(dāng)?shù)拇鎯?chǔ)器135,用于處理、記錄和存儲(chǔ)與流量計(jì)的操 作相關(guān)的數(shù)據(jù)。可使用任何類(lèi)型(或組合)的合適的易失或非易失 存儲(chǔ)器或儲(chǔ)存裝置實(shí)現(xiàn)存儲(chǔ)單元,包括隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(RAM)、 靜態(tài)隨才幾存耳又存儲(chǔ)器(SRAM)、電可纟察除可編程只讀存4渚器 (EEPROM)、可纟察除可編禾呈只讀存4諸器(EPROM)、可編,呈只讀 存儲(chǔ)器(PROM)、只讀存儲(chǔ)器(ROM)、磁存儲(chǔ)器、閃速存儲(chǔ)器、 萬(wàn)茲盤(pán)或光盤(pán)、或其它類(lèi)似的存儲(chǔ)器或數(shù)據(jù)存儲(chǔ)裝置。
信號(hào)處理器的主要功能是計(jì)算由流量傳感器15輸出的氣體介 質(zhì)的初始、未4交正的流速,以及計(jì)算由氣體性質(zhì)傳感器20輸出的 氣體的無(wú)流動(dòng)樣品的熱傳遞。信號(hào)處理器基于未才交正的流速進(jìn)一步 提供氣體介質(zhì)經(jīng)校正的流速,用于補(bǔ)償氣體熱傳遞的任何變化。
此外,初始的、未校正的流速和熱傳遞可以基于AR、 AT、 AI、 △V、或者任何其它合適的測(cè)量4支術(shù)而測(cè)得??赏ㄟ^(guò)合適的^T入裝置 (例如小鍵盤(pán)140)向信號(hào)處理器提供流量計(jì)操作指令。從流量計(jì) 的本地輸出可在顯示器145上顯示,該顯示器可以是CRT、 LCD、 LED顯示屏、或打印機(jī)、或其它顯示裝置??捎刹⑿薪涌诨虼薪?口 150提供另外的輸出,該接口能夠驅(qū)動(dòng)外部操作,如為計(jì)量計(jì)或 為了調(diào)整監(jiān)控程序的控制??舍娪幂敵鲵?qū)動(dòng)器155來(lái)驅(qū)動(dòng)外部指示 器,例如附加顯示器、打印^L、或者可浮見(jiàn)或聽(tīng)見(jiàn)的警凈艮器。流量計(jì)的操作可進(jìn)行如下。首先,附圖5所示的流量計(jì)向有源
RTD傳感器25供能,提供恒定的電流,以將其加熱至預(yù)定的溫度, 以及施加小得多的恒定電流來(lái)激勵(lì)或啟動(dòng)參考RTD傳感器30,但 不會(huì)^f吏其溫度明顯升高。于此同時(shí),以同樣方法激勵(lì)氣體性質(zhì)傳感 器20的有源傳感器35和參考RTD傳感器40。
當(dāng)氣體混合物流經(jīng)流量傳感器15的有源傳感器25和參考傳感 器30時(shí),熱量將從有源傳感器25散失,且溫差將減小。溫差(AT) 的變化反映為電阻差的變化(AR)。在任何時(shí)候信號(hào)處理器130都 將AR轉(zhuǎn)譯為管道65中流動(dòng)的氣體介質(zhì)的具體流速,并且流量計(jì)提 供適當(dāng)?shù)妮敵觥.?dāng)AR降低時(shí),流量計(jì)顯示流速增加,因?yàn)榕c相對(duì) 不熱的參考傳感器相比,熱量更易于通過(guò)氣體介質(zhì)從熱的有源傳感 器散去。附圖6中曲線(xiàn)215, 220和225描述了與AR值相關(guān)的流速 的實(shí)例。
計(jì)算的流速通常相當(dāng)準(zhǔn)確。然而,當(dāng)氣體混合物組成發(fā)生變化 時(shí),計(jì)算的流速可能含有明顯程度的誤差。產(chǎn)生這種誤差的一個(gè)原 因在于流經(jīng)流量傳感器15的氣體混合物的熱傳導(dǎo)率或熱傳遞發(fā)生 了變化。火炬氣流(flare gas stream )就是一個(gè)實(shí)例,其中就存在氣 體組成的可變混合物。例如,通常的火炬氣流可能含有4軍發(fā)性石友氫 化合物氣體的混合物,其中除了別的,包括曱烷、丁烷、乙烷、以 及戊烷。也可能存在諸如氧氣、氮?dú)狻⒍趸?、硫化氬、氫氣?禾口丙纟希的氣體。
氣體性質(zhì)傳感器20的輸出用于補(bǔ)償初始測(cè)量的流速的任何不 準(zhǔn)確性。例如,當(dāng)可才全測(cè)量的流動(dòng)氣體混合物進(jìn)入中間腔室75中 的無(wú)流動(dòng)室時(shí),氣體性質(zhì)傳感器20的有源傳感器35和無(wú)源傳感器 40就暴露于該氣體混合物中。與流量傳感器類(lèi)似,熱量將從有源傳 感器35上散失,與氣體混合物熱傳遞相關(guān)的溫差將下降。此外, 溫差(AT)的變〗t反映為電阻差(AR)的變4匕。由于氣體性質(zhì)傳感器位于無(wú)流動(dòng)的環(huán)境中,因此AR數(shù)據(jù)與氣 體混合物熱傳遞相關(guān),與流速無(wú)關(guān)。在氣體混合物熱傳遞增加的情
形下,AR出現(xiàn)相應(yīng)的減小。相反地,當(dāng)氣體混合物的熱傳遞降4氐 時(shí),才企測(cè)到AR相應(yīng)的增加。如果需要,本發(fā)明的流量計(jì)可以配置 有壓力傳感器315、或標(biāo)定校驗(yàn)氣源310、或兩者皆有。在隨后的 附圖中將更為詳細(xì)地描述這些可選的特征。
附圖6為示出了 AR與流量傳感器15和氣體性質(zhì)傳感器20各 自輸出之間的關(guān)系的具體實(shí)例的曲線(xiàn)圖。在該曲線(xiàn)圖靠近頂端的部 分有三條較直曲線(xiàn),其與氣體性質(zhì)傳感器產(chǎn)生的輸出相關(guān)聯(lián)。線(xiàn)200 表示從100%丙烷的氣體混合物中獲得的讀數(shù),該氣體混合物在本 實(shí)例中作為基線(xiàn)氣體。線(xiàn)205和210表示分別,人95%丙烷和5%氳 氣、以及85%丙烷和15%氫氣的氣體混合物中獲得的讀數(shù)。如本圖 所示,每種特定氣體混合物的AR保持基本上不受流速的影響。這 是因?yàn)闅怏w性質(zhì)傳感器是在無(wú)流動(dòng)環(huán)境中獲得的這些測(cè)量值。
線(xiàn)205和210中的AR值低于線(xiàn)200中的AR值,這是因?yàn)楫?dāng)通 過(guò)增加氫氣的含量來(lái)代替100%丙烷的基線(xiàn)混合物時(shí),其具有相對(duì) 較高水平的熱傳導(dǎo)率和熱傳遞(能力),AR值自然將會(huì)降低。描述 這種關(guān)系的一個(gè)方法是4吏得特定氣體組成與和基線(xiàn)氣體混合物(例 ^口丙》克)相關(guān)的ARj直相關(guān)耳關(guān)。
流量曲線(xiàn)215表示乂人流動(dòng)的100%丙烷氣體混合物的流量傳感 器15中獲得的讀數(shù),而流量曲線(xiàn)220和225是分別從95%丙烷和 5%氫氣、以及85%丙烷和15%氫氣的氣體混合物中獲得的讀數(shù)。 該圖中曲線(xiàn)和直線(xiàn)可如下;也相關(guān)耳關(guān)直線(xiàn)200和曲線(xiàn)215;直線(xiàn)205 和曲線(xiàn)220;以及直線(xiàn)210和曲線(xiàn)225。 3口前所述,AR^直的減小可 與;危速的增力口才目關(guān)耳關(guān)。各種流量曲線(xiàn)明顯地示出當(dāng)氣體混合物的組成發(fā)生變化時(shí), AR值也發(fā)生變化,因而這些氣體的流量讀lt也發(fā)生變化。傳統(tǒng)的 傳感器不能容易地補(bǔ)償氣體組成的變化,因而易出現(xiàn)流量計(jì)算的誤 差。克服可變混合氣體組分的流量測(cè)量誤差的一種方法是利用 一種 具有代表性的氣體混合物來(lái)校準(zhǔn)流量傳感器。然而,如圖7所示, 這并不總是可行的解決方案,這是由于當(dāng)被測(cè)量的氣體混合物偏離 基線(xiàn)混合物時(shí),在計(jì)算的流速中誤差的可能性。
圖7為示出了相對(duì)于基線(xiàn)氣體混合物,可變組成的氣體混合物 的流速的曲線(xiàn)圖。在該圖中,X-軸表示在給定流速下的100%丙烷 基線(xiàn)混合物,Y-軸表示基線(xiàn)氣體和兩種單獨(dú)的氣體混合物之間相對(duì) 偏差。
流量曲線(xiàn)240A反映出從95%丙》克和5%氫氣的氣體混合物中 獲得的誤差量,而流量曲線(xiàn)245A為從85%丙烷和15%氫氣的氣體 混合物中獲得的誤差量。該圖表明,只要?dú)怏w組成從100%丙烷基 線(xiàn)組成發(fā)生變化時(shí),就會(huì)產(chǎn)生計(jì)算流量的顯著誤差。
才艮據(jù)本發(fā)明,氣體性質(zhì)傳感器20適于檢測(cè)與基線(xiàn)氣體相關(guān)的 熱傳遞的變化。再次,流動(dòng)氣體熱傳遞的變化影響測(cè)量的流速的準(zhǔn) 確性。因此,如果檢測(cè)到熱傳遞的變化,測(cè)得的流速被調(diào)節(jié)以補(bǔ)償 這種變化。
圖7中還示出了才交正過(guò)的流量的實(shí)例。具體來(lái)i兌,流量曲線(xiàn) 240B表示95%丙》克和5%氫氣的氣體混合物的流量計(jì)算的4交正,曲 線(xiàn)245B表示85%丙烷和15%氫氣的氣體混合物的流量計(jì)算的校正。 圖7示出一個(gè)實(shí)例,其說(shuō)明補(bǔ)償氣體混合物熱傳遞的變化是如何顯 著提高計(jì)算流速的準(zhǔn)確性。在這里已經(jīng)4吏用了 100%丙烷作為基線(xiàn)氣體,作為可能用于才交 準(zhǔn)流量計(jì)的可能氣體中的 一個(gè)具體實(shí)例,^f旦是也可以使用任何其它 合適的氣體或氣體混合物組成。通常選l奪基線(xiàn)氣體混合物作為具體 應(yīng)用中要遇到的氣體組成的代表,^旦并不要求單一的氣體組成。
圖8和圖9示出不同組成的氣體混合物相對(duì)于基準(zhǔn)氣體混合物 的可能的流速誤差。例如,圖8示出了〗吏用流量傳感器15 乂人不同 氣體混合物中獲得的原始的、未經(jīng)校正的流量數(shù)據(jù),圖9示出了在
補(bǔ)償氣體混合物的熱傳遞變化(由氣體性質(zhì)傳感器20檢測(cè))之后 的校正的流量數(shù)據(jù)。
在這些圖中,曲線(xiàn)250表示從70。/。N2、 10%C4H1()、 6%CH4、以 及14%C02的基線(xiàn)氣體混合物中獲得的流量讀數(shù)。曲線(xiàn)255描述了 從50%CH4和50%N2的氣體混合物中獲得的讀數(shù),曲線(xiàn)260表示從 50。/。C02和50。/。N2的氣體混合物中獲得的讀數(shù)。圖8表明,只要被 測(cè)量的氣體混合物偏離基線(xiàn)組成,由流量傳感器15輸出產(chǎn)生的初 始流速就會(huì)出現(xiàn)很大的誤差。圖9示出了初始流量值相對(duì)于基線(xiàn)混 合物的4交正量的實(shí)例,該才交正可通過(guò)補(bǔ)償氣體混合物熱傳遞的變化 而實(shí)現(xiàn)。在這個(gè)具體實(shí)例中,原來(lái)的流量誤差率大約為10-20% (圖 8),后來(lái)一皮4交正至平均只有百分之幾級(jí)別的誤差率(附圖9)。
本發(fā)明的流量計(jì)提供了可變混合氣體混合物的高度準(zhǔn)確的流 量測(cè)量。如果需要,流量計(jì)可以根據(jù)需要或希望配置有與許多不同 的零件。通過(guò)舉例,if見(jiàn)在來(lái)描述本發(fā)明的可選的具有標(biāo)定4交-驗(yàn)、或 才僉-驗(yàn)功能(verification capacities )、以及壓力4專(zhuān)感裝置的實(shí)施例。
圖10為探頭300的側(cè)視圖,示出了設(shè)置有標(biāo)定校驗(yàn)功能的流 量計(jì)的典型實(shí)施例。纟罙頭300在^艮多方面與圖l和圖2所述的纟果頭 10相似。主要區(qū)別在于,探頭300設(shè)置有組合式校準(zhǔn)/壓力管95。 所示的這個(gè)管連接至標(biāo)定校驗(yàn)氣源310以及壓力傳感器315。校準(zhǔn)功能使用戶(hù)能夠校驗(yàn)流量傳感器15的功能。探頭300可 這樣才全-驗(yàn)該才交準(zhǔn),即以預(yù)定的速率將標(biāo)定4交-驗(yàn)氣體320引入管95 中,以沖擊有源傳感器25和無(wú)源傳感器30的側(cè)面。標(biāo)定4交^瞼氣源 能放出空氣或任何適宜的氣體(如千燥的氮?dú)?。
隨后將有源傳感器和無(wú)源傳感器的輸出與存儲(chǔ)的校正數(shù)據(jù)進(jìn) 行比較來(lái)確定傳感器的準(zhǔn)確性??梢詫?biāo)定校驗(yàn)氣源設(shè)置為在多個(gè) 不同流速下工作,每個(gè)流速與某一特定傳感器輸出相關(guān)聯(lián)??赏ㄟ^(guò) 用標(biāo)定才交-險(xiǎn)氣體在兩種或更多種不同流速下激勵(lì)有源傳感元件,然 后比較各種傳感器輸出,來(lái)完成校準(zhǔn)確認(rèn)。
一種特定標(biāo)定一交-驗(yàn)過(guò)程可按如下方式進(jìn)^f于。首先,例如,可以 由用戶(hù)激活標(biāo)定校驗(yàn)氣源310來(lái)提供適合的5 PSI的校驗(yàn)氣體320, 可測(cè)量流量傳感器15的輸出來(lái)得到例如AR。如果測(cè)量的AR值屬于 預(yù)期的AR值的某些預(yù)定范圍中,則i人為傳感器才喿作適當(dāng)。該才交準(zhǔn) 程序可在適合于具體應(yīng)用的氣壓范圍內(nèi)(例如,10PSI, 50PSI, 100 PSI,以及其它期望值)重復(fù)。本發(fā)明的流量計(jì)的標(biāo)定校驗(yàn)功能使 用方便并且非常準(zhǔn)確。另外的好處是不需要為測(cè)試的目的而往流量 計(jì)上臨時(shí)連接另外的元件,也不需要拆卸任何元件,這二者都是現(xiàn) 有技術(shù)裝置中的常見(jiàn)的情況。
只要需要流動(dòng)氣體介質(zhì)的壓力讀數(shù),都可以采用壓力傳感器 315。通常的壓力讀凄t范圍大約為1-500 psi。如圖所示,壓力傳感 器與終止于探頭末端、靠近傳感器15處的管95耦合。在運(yùn)行中, 當(dāng)氣體混合物流經(jīng)管道時(shí),氣體混合物的壓力也存在于氣體傳感器 測(cè)量該壓力的管中??蓪⒈硎竟艿乐辛鲃?dòng)氣體壓力的信號(hào)輸出傳送 至信號(hào)處理器130 (圖5 )。當(dāng)然,校準(zhǔn)和壓力傳感器功能是獨(dú)立運(yùn) 行的,并可通過(guò)位于管95遠(yuǎn)端的適當(dāng)?shù)拈y將其分開(kāi)。也可以-使用 合適的閥機(jī)構(gòu)來(lái)防止流動(dòng)氣體混合物進(jìn)入校準(zhǔn)氣源310。由于氣體性質(zhì)傳感器20位于無(wú)流動(dòng)室中,因此它對(duì)壓力壽丈感。 因而,當(dāng)壓力偏離校準(zhǔn)壓力時(shí),氣體性質(zhì)傳感器的準(zhǔn)確性會(huì)降低。 為補(bǔ)償這種與壓力相關(guān)的不準(zhǔn)確性,可以基于由壓力傳感器產(chǎn)生的 壓力讀數(shù)來(lái)校正由氣體性質(zhì)傳感器產(chǎn)生的信號(hào)。
雖然標(biāo)定校驗(yàn)氣源和壓力傳感器共享同一根管,但這不是必要 的,如果需要,這些裝置中的每一種都可以獨(dú)立地配置有單獨(dú)的管。
如圖所示,探頭300既具有才交正功能也具有壓力傳感器,4旦當(dāng)只有 這些功能中的一種^皮安裝時(shí),才存在其它可能性。圖11描述了配 置有壓力傳感器的探頭的實(shí)例。在該圖中,所示探頭350具有壓力 傳感器315,但是不執(zhí)行探頭300的校正功能。另一個(gè)區(qū)別在于管 95終止于中間腔室45的無(wú)流動(dòng)室之內(nèi),靠近氣體性質(zhì)傳感器20中 的有源傳感器和參考傳感器。流動(dòng)氣體介質(zhì)的壓力讀數(shù)可從進(jìn)入中 間月空室的無(wú)流動(dòng)室內(nèi)的氣體獲得。
如圖所示,流量和氣體性質(zhì)傳感器與外殼115內(nèi)的流量計(jì)控制 器和電子設(shè)備相對(duì)臨近。然而,任何或所有流量計(jì)元件同樣可能位 于離管道和傳感器或與流動(dòng)介質(zhì)有密切關(guān)系的其它信號(hào)產(chǎn)生元件 較遠(yuǎn)的位置。由各種傳感元件產(chǎn)生的信號(hào)可通過(guò)電線(xiàn)連接或這些元 件可無(wú)線(xiàn)合。
圖中未示出常M^的^言號(hào)和電源線(xiàn),它們從外殼115穿過(guò)探頭到 達(dá)傳感元件。在4罙頭(附圖3, 10, 11)內(nèi)具有管的實(shí)施例中,可 以將這些電線(xiàn)》文置在這個(gè)管中。
盡管已結(jié)合所披露的實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作了詳細(xì)描述,在本發(fā)明 范圍內(nèi)的許多4務(wù)改對(duì)于本領(lǐng)域普通沖支術(shù)人員來(lái)it是顯而易見(jiàn)的。應(yīng) 該明了 ,對(duì)于一個(gè)實(shí)施例所描述的典型的特征還可以用于其它實(shí)施 例。因此,本發(fā)明應(yīng)該由權(quán)利要求來(lái)合理解釋。
權(quán)利要求
1. 一種用于管道(65)中的流動(dòng)介質(zhì)的補(bǔ)償流量計(jì),所述流量計(jì)包括探頭(10),適合于插入所述管道中的所述介質(zhì)中;熱擴(kuò)散式傳感器(15),安裝在所述探頭之上,適用于提供與所述介質(zhì)的流速相關(guān)的輸出信號(hào);補(bǔ)償氣體性質(zhì)傳感器(20),安裝于所述探頭的無(wú)流動(dòng)室(75)之內(nèi),適用于提供與所述介質(zhì)的熱傳遞相關(guān)的輸出信號(hào);以及處理器(130),用于調(diào)節(jié)由所述熱擴(kuò)散式傳感器檢測(cè)到的所述流速,以補(bǔ)償由所述補(bǔ)償氣體性質(zhì)傳感器檢測(cè)到的熱傳遞變化。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的流量計(jì),其中,所述介質(zhì)包括混合氣體 組分。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的流量計(jì),其中,所迷介質(zhì)包括可變的混 合氣體組分。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的流量計(jì),其中,所述介質(zhì)包括具有變化 熱傳遞范圍的可變混合氣體組分。
5. 才艮據(jù)^又利要求1所述的流量計(jì),其中,所述無(wú)流動(dòng)室形成于所 述探頭的中間腔室部分(45 )內(nèi);所述中間腔室部分包括至少 一個(gè)孔(80),允許所述介質(zhì)進(jìn)入所述無(wú)流動(dòng)室、并與所述補(bǔ) 償氣體性質(zhì)傳感器接觸。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的流量計(jì),其中,所述中間腔室部分包括 擋板(90),用來(lái)進(jìn)一步限制所述介質(zhì)在所述無(wú)流動(dòng)室中的流 動(dòng)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的流量計(jì),進(jìn)一步包括標(biāo)定校驗(yàn)氣源(310),與所述探頭連通;以及導(dǎo)氣管(95),與所述標(biāo)定校驗(yàn)氣源連接,并且具有相對(duì) 于所述熱擴(kuò)散式傳感器定位的開(kāi)口端,并且其中,所述標(biāo)定才交 驗(yàn)氣源適于以預(yù)定流速將標(biāo)定才交-驗(yàn)氣體(320)引入所述導(dǎo)氣 管,以4吏所述標(biāo)定校-驗(yàn)氣乂人所述開(kāi)口端流出,并沖擊所述熱擴(kuò) 散式傳感器。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的流量計(jì),進(jìn)一步包括壓力傳感器(315),與所述探頭通信,并與所述導(dǎo)氣管 連接,并且其中所述導(dǎo)氣管與所述流動(dòng)介質(zhì)連通,所述流動(dòng)介 質(zhì)的壓力通過(guò)所述壓力傳感器測(cè)定。
9. 4艮據(jù)權(quán)利要求1所述的流量計(jì),進(jìn)一步包才舌壓力傳感器(315),與所述探頭通信;以及導(dǎo)氣管(95),與所述壓力傳感器連接,所述導(dǎo)氣管具有 相對(duì)于所述熱擴(kuò)散式傳感器定位的開(kāi)口端,并且其中所述導(dǎo)氣 管與所述流動(dòng)介質(zhì)連通,由所述壓力傳感器測(cè)定所述流動(dòng)介質(zhì) 的壓力。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的流量計(jì),其中所述熱擴(kuò)散式傳感器包括 以分時(shí)模式運(yùn)行的一體式有源/參考傳感元件(25、 30),以致 所述一體式有源/參考傳感元件在一預(yù)定時(shí)間|史內(nèi)為加熱的有 源傳感器,在被降溫之后,所述一體式有源/參考傳感元件作 為基本上不加熱的參考傳感器。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的流量計(jì),其中,所述熱擴(kuò)散式傳感器包括有源傳感元件(25)和參考傳感元件(30)。
12. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的流量計(jì),其中,所述補(bǔ)償氣體性質(zhì)傳感 器包括以分時(shí)模式運(yùn)行的一體式的有源/參考傳感元件(35、 40 ),以致所述一體式有源/參考傳感元件在一預(yù)定時(shí)間^:內(nèi)為 :帔加熱的有源傳感器,在^皮降溫之后,所述一體式有源/參考 傳感元件又作為基本上不加熱的參考傳感器。
13. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的流量計(jì),其中,所述補(bǔ)償氣體性質(zhì)傳感 器包括補(bǔ)償有源傳感元件(35)和補(bǔ)償參考傳感元件(40)。
14. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的流量計(jì),其中所述熱擴(kuò)散式傳感器包括有源傳感元件(25)和參考傳 感元件(30),以及所述補(bǔ)償氣體性質(zhì)傳感器包^^補(bǔ)償有源傳感元件(35 ) 和補(bǔ)償參考傳感元件Uo)。
15. 才艮據(jù)權(quán)利要求14所述的流量計(jì),其中,所述熱擴(kuò)散式傳感器 的所述有源傳感元件和所述參考傳感元件,以及所述補(bǔ)償氣體 性質(zhì)傳感器的所述補(bǔ)償有源傳感元件和所述補(bǔ)償參考傳感元 件都包括電阻式溫度才全測(cè)器(RTD )。
16. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的流量計(jì),其中,所述熱擴(kuò)散式傳感器 中的所述有源傳感器和參考傳感器,以及所述補(bǔ)償氣體性質(zhì)傳 感器中的所述補(bǔ)償有源傳感器和所述補(bǔ)償參考傳感器包括選 自于由熱電井馬、熱電堆、熱,敏電阻、晶體管和二才及管組成的組 中的4專(zhuān)感元<牛。
17. —種用于測(cè)定管道(65)中流動(dòng)介質(zhì)的補(bǔ)償流量的方法,所述 方法包括在適于監(jiān)測(cè)所述管道中所述介質(zhì)的流量的探頭(10)上 安裝熱擴(kuò)散式傳感器(15),其中,所述熱擴(kuò)散式傳感器相應(yīng) 地提供與所述介質(zhì)的流速相關(guān)的輸出信號(hào);在所述探頭的無(wú)流動(dòng)室(75)內(nèi)安裝補(bǔ)償氣體性質(zhì)傳感 器(20),其中,所述補(bǔ)償氣體性質(zhì)傳感器相應(yīng)地-提供與所述 介質(zhì)的熱傳遞相關(guān)的輸出信號(hào);以及調(diào)節(jié)由所述熱式流量傳感器才企測(cè)的所述流速,以補(bǔ)償由 所述補(bǔ)償氣體性質(zhì)傳感器4僉測(cè)的熱傳遞的變化。
18. 根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法,所述方法進(jìn)一步包括使用與所述探頭通信且與導(dǎo)氣管(95)相連接的壓力傳 感器(315)測(cè)量所述流動(dòng)介質(zhì)的壓力,其中,所述導(dǎo)氣管允 許所述流動(dòng)介質(zhì)流入所述導(dǎo)氣管的開(kāi)口端,所述壓力傳感器在 所述開(kāi)口端處4妻"欠并測(cè)量所迷流動(dòng)介質(zhì)。
19. 一種用于管道(65 )中流動(dòng)介質(zhì)的補(bǔ)償流量計(jì),所述流量計(jì)包 括_探頭(10),適于插入所述管道中的所述介質(zhì)中;熱式流量傳感器(15),安裝于所述探頭上,并與裝置 (130)相連接,以測(cè)定所述介質(zhì)的流速;補(bǔ)償氣體性質(zhì)傳感器(20),安裝于所述探頭的無(wú)流動(dòng)室 (75)之內(nèi),并與裝置(130)相連接,以測(cè)定所述介質(zhì)的熱 傳遞;以及裝置(130),用于調(diào)節(jié)所述流速以補(bǔ)償所述熱傳遞的變化。
20. —種用于測(cè)定管道(65 )中流動(dòng)介質(zhì)的補(bǔ)償流量的方法,所述 方法包4舌使用安裝于所述探頭之上的熱式流量傳感器(15)來(lái)測(cè) 定所述介質(zhì)的初始流速;使用安裝于所述探頭的無(wú)流動(dòng)室(75)之內(nèi)的補(bǔ)償氣體 性質(zhì)傳感器(20)來(lái)測(cè)定所述介質(zhì)的熱^f專(zhuān)遞;以及才艮據(jù)所述初始流速計(jì)算所述介質(zhì)的調(diào)節(jié)流速,補(bǔ)償所述 熱傳遞的任何變化。
21. —種用于測(cè)定管道(65)中動(dòng)態(tài)變化的混合氣體流動(dòng)介質(zhì)的補(bǔ) 償流量的方法,所述方法包4舌通過(guò)熱傳感裝置(15)測(cè)量所述流動(dòng)介質(zhì)的流速;通過(guò)熱卩專(zhuān)感裝置(20)測(cè)量戶(hù)斤述流動(dòng)介質(zhì)的熱4專(zhuān)遞;以及補(bǔ)償所述流速用于所述流動(dòng)介質(zhì)的熱傳遞。
全文摘要
一種帶有適于插入管道(65)內(nèi)流動(dòng)介質(zhì)中的探頭(10)的補(bǔ)償流量計(jì)。所述探頭包括熱擴(kuò)散式傳感器(15)和包含在探頭的無(wú)流動(dòng)室(75)之中的補(bǔ)償氣體性質(zhì)傳感器(20)。所述熱式流量傳感器包括有源和參考傳感元件(25、30),它們相應(yīng)地提供與介質(zhì)流量相關(guān)的輸出信號(hào)。所述補(bǔ)償氣體性質(zhì)傳感器具有補(bǔ)償有源和參考傳感元件(35、40),它們相應(yīng)地提供與介質(zhì)的熱傳遞相關(guān)的輸出信號(hào)。通常配置合適的處理器(130),用于調(diào)節(jié)由熱擴(kuò)散式傳感器測(cè)得的流量,來(lái)補(bǔ)償由補(bǔ)償氣體性質(zhì)傳感器檢測(cè)到的熱傳遞的變化。
文檔編號(hào)G01F25/00GK101421592SQ200480029858
公開(kāi)日2009年4月29日 申請(qǐng)日期2004年7月29日 優(yōu)先權(quán)日2003年8月14日
發(fā)明者埃里克·J·威布爾 申請(qǐng)人:流體元件國(guó)際公司
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