專利名稱：導(dǎo)電性接觸件保持器及導(dǎo)電性接觸件單元的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及至少收容對(duì)規(guī)定電路結(jié)構(gòu)進(jìn)行信號(hào)輸入輸出的信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件、和對(duì)該規(guī)定電路結(jié)構(gòu)進(jìn)行接地電位供給的接地用導(dǎo)電性接觸件的導(dǎo)電性接觸件保持器以及導(dǎo)電性接觸件單元。
背景技術(shù)：
以往，在與半導(dǎo)體集成電路的電特性檢查相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域中，已知一種關(guān)于導(dǎo)電性接觸件單元的技術(shù)，該導(dǎo)電性接觸件單元，以與半導(dǎo)體集成電路的外部接觸用電極相對(duì)應(yīng)的方式配置多個(gè)導(dǎo)電性接觸件。所述導(dǎo)電性接觸件單元具有以下結(jié)構(gòu)，其中包括多個(gè)導(dǎo)電性接觸件、形成有用于收容導(dǎo)電性接觸件的開(kāi)口部的導(dǎo)電性接觸件保持器、以及與導(dǎo)電性接觸件電連接的檢查電路(例如參考專利文獻(xiàn)1)。
該導(dǎo)電性接觸件單元所具有的多個(gè)導(dǎo)電性接觸件可大致分成三種類型信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件，其對(duì)作為檢查對(duì)象的半導(dǎo)體集成電路進(jìn)行規(guī)定信號(hào)的輸入輸出；接地用導(dǎo)電性接觸件，其對(duì)半導(dǎo)體集成電路供給接地電位；以及電力供給用導(dǎo)電性接觸件，其對(duì)半導(dǎo)體集成電路供給驅(qū)動(dòng)電力。這些導(dǎo)電性接觸件是分別通過(guò)與檢查電路內(nèi)所具有的信號(hào)產(chǎn)生電路等電連接，而實(shí)現(xiàn)上述功能的。
專利文獻(xiàn)1特開(kāi)2002-124552號(hào)公報(bào)(圖1)但近年來(lái)，隨著半導(dǎo)體集成電路的小型化以及動(dòng)作的高速化，要求導(dǎo)電性接觸件單元也采用可以實(shí)現(xiàn)小型且高速動(dòng)作的構(gòu)成，以往的導(dǎo)電性接觸件單元中存在無(wú)法充分滿足上述需要的問(wèn)題。
例如，隨著半導(dǎo)體集成電路的小型化，為了應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體集成電路所具有的多個(gè)外部連接用電極小型化，導(dǎo)電性接觸件的外徑也縮小至約1mm以下的程度，結(jié)果造成導(dǎo)電性接觸件與設(shè)置在導(dǎo)電性接觸件保持器下部的電路基板的電極之間的接觸面積減小。因此，例如對(duì)用于向半導(dǎo)體集成電路供給接地電位的接地用導(dǎo)電性接觸件來(lái)說(shuō)，產(chǎn)生難以進(jìn)行穩(wěn)定的接地電位供給的問(wèn)題。
即，為了對(duì)半導(dǎo)體集成電路供給穩(wěn)定的接地電位，需要接地用導(dǎo)電性接觸件自身具有穩(wěn)定的接地電位。但是，在接地用導(dǎo)電性接觸件與從對(duì)接地用導(dǎo)電性接觸件供給接地電位的電路結(jié)構(gòu)延伸出的電極間的接觸面積小的情況下，則難以得到充分的接地電位供給。
此外，隨著半導(dǎo)體集成電路的高速化，半導(dǎo)體集成電路與該信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件之間的阻抗匹配的精度也成為問(wèn)題。即，一般當(dāng)輸入輸出高頻電信號(hào)時(shí)，公知電信號(hào)的輸入效率會(huì)根據(jù)各個(gè)特性阻抗的差而減小，因此，為了穩(wěn)定地進(jìn)行檢查等，需要使用高精確地對(duì)特性阻抗進(jìn)行了匹配的信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件。但是，隨著半導(dǎo)體集成電路的小型化，信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件的外徑縮小至1mm以下的程度，從而造成難以調(diào)整所述微小的信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件自身的特性阻抗。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問(wèn)題而做出的發(fā)明，其目的在于提供一種使用時(shí)與可電接觸的半導(dǎo)體集成電路等的電路結(jié)構(gòu)小型化、高速化對(duì)應(yīng)的導(dǎo)電性接觸件保持器以及導(dǎo)電性接觸件單元。
為了解決上述的課題并達(dá)到目的，技術(shù)方案1所涉及的導(dǎo)電性接觸件保持器，其至少收容對(duì)規(guī)定電路結(jié)構(gòu)進(jìn)行信號(hào)輸入輸出的信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件、以及對(duì)該規(guī)定電路結(jié)構(gòu)進(jìn)行接地電位供給的接地用導(dǎo)電性接觸件，該導(dǎo)電性接觸件保持器具有保持器基板，其通過(guò)導(dǎo)電性材料形成，且形成有第一開(kāi)口部和第二開(kāi)口部，所述第一開(kāi)口部收容所述信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件，所述第二開(kāi)口部維持與所述接地用導(dǎo)電性接觸件之間的電連接的同時(shí)，收容所述接地用導(dǎo)電性接觸件；以及絕緣部件，其覆蓋所述第一開(kāi)口部的內(nèi)面。
根據(jù)該技術(shù)方案1的發(fā)明，由于使接地用導(dǎo)電性接觸件與保持器基板電連接，所以可以對(duì)規(guī)定電路結(jié)構(gòu)供給穩(wěn)定的接地電位。
另外，技術(shù)方案2所涉及的導(dǎo)電性接觸件保持器的特征在于，在上述的發(fā)明中，還具有導(dǎo)電性管部件，其被配置于所述第一開(kāi)口部?jī)?nèi)，以使其內(nèi)表面與所述接地用導(dǎo)電性接觸件接觸。
另外，技術(shù)方案3所涉及的導(dǎo)電性接觸件保持器，至少收容用于對(duì)規(guī)定電路結(jié)構(gòu)進(jìn)行信號(hào)輸入輸出的信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件，該導(dǎo)電性接觸件保持器具有保持器基板，其形成有收容所述信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件的開(kāi)口部；以及阻抗修正部件，其由電介質(zhì)材料形成，并且以位于所收容的所述信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件的外周上的方式形成，以修正所述信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件的特性阻抗。
根據(jù)該技術(shù)方案3的發(fā)明，由于具有對(duì)信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件的特性阻抗進(jìn)行修正的阻抗修正部件，所以不用改變信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件的結(jié)構(gòu)，便可修正特性阻抗的值。
另外，技術(shù)方案4所涉及的導(dǎo)電性接觸件保持器的特征在于，在上述的發(fā)明中，所述信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件具有圓柱狀的形狀，所述圓柱狀具有規(guī)定的外徑，所述阻抗修正部件具有與所述信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件同軸的圓筒形狀，通過(guò)調(diào)節(jié)該圓筒形狀的外徑以及所述電介質(zhì)材料的介電常數(shù)來(lái)修正所述特性阻抗。
另外，技術(shù)方案5所涉及的導(dǎo)電性接觸件保持器的特征在于，在上述的發(fā)明中，所述保持器基板具有導(dǎo)電性。
另外，技術(shù)方案6所涉及的導(dǎo)電性接觸件保持器的特征在于，在上述的發(fā)明中，所述保持器基板由與所述規(guī)定電路結(jié)構(gòu)的熱膨脹系數(shù)相適合的材料形成。
另外，技術(shù)方案7所涉及的導(dǎo)電性接觸件保持器的特征在于，在上述的發(fā)明中，所述保持器基板具有的結(jié)構(gòu)是，形成有收容對(duì)所述規(guī)定電路結(jié)構(gòu)進(jìn)行電力供給的供電用導(dǎo)電性接觸件的第三開(kāi)口部，還具備覆蓋所述第三開(kāi)口部的內(nèi)表面的絕緣部件。
另外，技術(shù)方案8所涉及的導(dǎo)電性接觸件保持器的特征在于，在上述的發(fā)明中，所述保持器基板具備第一基板，其由導(dǎo)電性材料形成，并形成有分別與所述第一開(kāi)口部以及第二開(kāi)口部對(duì)應(yīng)的第四開(kāi)口部以及第五開(kāi)口部；和第二基板，其由導(dǎo)電性材料形成，并形成有分別與所述第一開(kāi)口部以及第二開(kāi)口部對(duì)應(yīng)的第六開(kāi)口部以及第七開(kāi)口部，該第二基板相對(duì)于第一基板被固定成所述第六開(kāi)口部與所述第四開(kāi)口部連通，所述第七開(kāi)口部與所述第五開(kāi)口部連通，所述絕緣部件由被插入所述第四開(kāi)口部的第一絕緣性管部件、和被插入所述第六開(kāi)口部的第二絕緣性管部件形成。
另外，技術(shù)方案9所涉及的導(dǎo)電性接觸件保持器的特征在于，在上述的發(fā)明中，所述第一、第二絕緣性管部件分別在一方的端部上形成有防脫凸緣，以使該防脫凸緣位于所述第一基板與所述第二基板之間的交界側(cè)的方式將所述第一、第二絕緣性管部件分別插入所述第四、第六開(kāi)口部中。
另外，技術(shù)方案10所涉及的導(dǎo)電性接觸件保持器的特征在于，在上述的發(fā)明中，還具備第一導(dǎo)電性管部件，其在一端形成有防脫凸緣，并且以使該防脫凸緣位于所述第一基板與第二基板之間的交界側(cè)的方式插入所述第五開(kāi)口部中；以及第二導(dǎo)電性管部件，其在一端形成有防脫凸緣，并且以使該防脫凸緣位于所述第一基板與第二基板之間的交界側(cè)的方式插入所述第七開(kāi)口部中。
另外，技術(shù)方案11所涉及的導(dǎo)電性接觸件保持器的特征在于，在上述的發(fā)明中，所述第一導(dǎo)電性管部件具有與所述第一絕緣性管部件不同的外形，所述第二導(dǎo)電性管部件具有與所述第二絕緣性管部件不同的外形。
另外，技術(shù)方案12所涉及的導(dǎo)電性接觸件保持器的特征在于，在上述的發(fā)明中，所述第一導(dǎo)電性管部件具有比所述第一絕緣性管部件的外徑還大的外徑，所述第二導(dǎo)電性管部件具有比所述第二絕緣性管部件的外徑還大的外徑。
另外，技術(shù)方案13所涉及的導(dǎo)電性接觸件保持器的特征在于，在上述的發(fā)明中，所述第一導(dǎo)電性管部件的防脫凸緣具有比所述第一絕緣性管部件的防脫凸緣還大的外徑，所述第二導(dǎo)電性管部件的防脫凸緣具有比所述第二絕緣性管部件的防脫凸緣還大的外徑。
另外，技術(shù)方案14所涉及的導(dǎo)電性接觸件保持器的特征在于，在上述的發(fā)明中，所述第一導(dǎo)電性管部件的防脫凸緣具有比所述第一絕緣性管部件的插入方向長(zhǎng)度還長(zhǎng)的插入方向長(zhǎng)度，所述第二導(dǎo)電性管部件的防脫凸緣具有比所述第二絕緣性管部件的插入方向長(zhǎng)度還長(zhǎng)的插入方向長(zhǎng)度。
另外，技術(shù)方案15所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元，具備信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件，其對(duì)規(guī)定電路結(jié)構(gòu)進(jìn)行信號(hào)輸入輸出；接地用導(dǎo)電性接觸件，其對(duì)所述規(guī)定電路結(jié)構(gòu)進(jìn)行接地電位供給；導(dǎo)電性接觸件保持器，其包括保持器基板和絕緣部件，所述保持器基板由導(dǎo)電性材料形成，且形成有第一開(kāi)口部和第二開(kāi)口部，所述第一開(kāi)口部收容所述信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件，所述第二開(kāi)口部維持與所述接地用導(dǎo)電性接觸件之間的電連接的同時(shí)，收容所述接地用導(dǎo)電性接觸件，所述絕緣部件覆蓋該第一開(kāi)口部的內(nèi)面；和電路基板，其至少與所述信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件電連接，并生成向所述規(guī)定電路結(jié)構(gòu)輸入的信號(hào)。
另外，技術(shù)方案16所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元的特征在于，在上述的發(fā)明中，所述信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件具有圓柱形狀，所述圓柱形狀具有規(guī)定的外徑，所述絕緣部件具有與所述信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件同軸的圓筒形狀，通過(guò)調(diào)節(jié)該圓筒形狀的外徑以及所述絕緣部件的介電常數(shù)來(lái)修正所述信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件的特性阻抗。
另外，技術(shù)方案17所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元的特征在于，在上述的發(fā)明中，還具備供給接地電位的接地電位供給機(jī)構(gòu)、及對(duì)所述保持器基板和所述接地電位供給機(jī)構(gòu)之間進(jìn)行電連接的連接機(jī)構(gòu)。
本發(fā)明所涉及的導(dǎo)電性接觸件保持器以及導(dǎo)電性接觸件單元由于具有使接地用導(dǎo)電性接觸件與保持器基板電連接的結(jié)構(gòu)，所以可以對(duì)規(guī)定電路結(jié)構(gòu)供給穩(wěn)定的接地電位，即使在導(dǎo)電性接觸件保持器以及導(dǎo)電性接觸件單元被小型化的情況下，也可以起到能對(duì)規(guī)定電路結(jié)構(gòu)供給穩(wěn)定的接地電位的效果。
另外，本發(fā)明所涉及的導(dǎo)電性接觸件保持器以及導(dǎo)電性接觸件單元由于采用具有對(duì)信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件的特性阻抗進(jìn)行修正的阻抗修正部件的結(jié)構(gòu)，所以在不用改變信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件的結(jié)構(gòu)的情況下便可修正特性阻抗的值，起到可以實(shí)現(xiàn)能以高效率對(duì)小型且高速動(dòng)作的規(guī)定電路結(jié)構(gòu)輸入輸出電信號(hào)的導(dǎo)電性接觸件單元的效果。


圖1是表示實(shí)施方式1涉及的導(dǎo)電性接觸件單元的整體結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖2是表示構(gòu)成實(shí)施方式1涉及的導(dǎo)電性接觸件單元的導(dǎo)電性接觸件保持器以及導(dǎo)電性接觸件的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖3是用于對(duì)實(shí)施方式1涉及的導(dǎo)電性接觸件單元的優(yōu)點(diǎn)進(jìn)行說(shuō)明的示意圖。
圖4是表示實(shí)施方式1涉及的導(dǎo)電性接觸件單元的變形例的結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖5是表示實(shí)施方式1涉及的導(dǎo)電性接觸件單元的其他變形例的部分結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖6是表示實(shí)施方式1所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元的其他變形例的結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖7是表示實(shí)施方式2涉及的導(dǎo)電性接觸件單元的部分結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖8是表示實(shí)施方式2涉及的導(dǎo)電性接觸件單元的整體結(jié)構(gòu)的一個(gè)例子的示意圖。
圖9是表示實(shí)施方式3涉及的導(dǎo)電性接觸件單元的結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖10是表示實(shí)施方式3涉及的導(dǎo)電性接觸件單元的變形例的結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖11是表示實(shí)施方式3涉及的導(dǎo)電性接觸件單元的其他變形例的結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖12是表示實(shí)施方式3涉及的導(dǎo)電性接觸件單元的其他變形例的結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖13是表示實(shí)施方式3涉及的導(dǎo)電性接觸件單元的其他變形例的結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖14是表示實(shí)施方式3涉及的導(dǎo)電性接觸件單元的其他變形例的結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖中1-半導(dǎo)體集成電路；2-電路基板；3、54-導(dǎo)電性接觸件保持器；4-導(dǎo)電性接觸件；5-保持器部件；6、29、47、67、98-第一基板；7、30、48、68、99-第二基板；8、39、52、58-第一開(kāi)口部；9、40、59-第二開(kāi)口部；10、41、60-第三開(kāi)口部；11、28、49、61-保持器基板；13、14、50、51-絕緣部件；15、34、55、83-信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件；16、35、56、84-接地用導(dǎo)電性接觸件；17、36、57、85-供電用導(dǎo)電性接觸件；19、20、79a、79b、86、87、89、90、92、93-針狀部件；21、82-彈簧部件；22-電極；23-連接用電極；25-螺釘部件；26-連接電纜；27-接地電位供給裝置；31、32-導(dǎo)電性管部件；33-彈簧部件；38-保持器基板；44、45-阻抗修正部件；63、95-第一絕緣性管部件；64、96-第二絕緣性管部件；65-第一導(dǎo)電性管部件；66-第二導(dǎo)電性管部件；70a、70b-第四開(kāi)口部；72、100-第五開(kāi)口部；73a、73b、101-第六開(kāi)口部；74-第七開(kāi)口部；75、76、77、78-防脫凸緣；80、81-凸緣部；88、91、94-管體。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖，對(duì)用于實(shí)施本發(fā)明所涉及的導(dǎo)電性接觸件保持器及導(dǎo)電性接觸件單元的最佳方式(以下稱作“實(shí)施方式”)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。另外，應(yīng)留意的是，附圖為示意圖，各部分的厚度與寬度之間的關(guān)系、以及各個(gè)部分的厚度的比例等與實(shí)際不同，當(dāng)然也包括在附圖間互相的尺寸的關(guān)系或比例彼此不同的部份。
(實(shí)施方式1)首先，對(duì)實(shí)施方式1所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施方式1所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元是用于對(duì)半導(dǎo)體集成電路等的規(guī)定電路結(jié)構(gòu)進(jìn)行電信號(hào)輸入輸出、電力供給及接地電位供給的機(jī)構(gòu)，特別是為了進(jìn)行穩(wěn)定接地電位供給，導(dǎo)電性接觸件單元具有使進(jìn)行接地電位供給的接地用導(dǎo)電性接觸件與由導(dǎo)電性材料形成的導(dǎo)電性接觸件保持器彼此電連接的結(jié)構(gòu)。
圖1為表示本實(shí)施方式1所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元的結(jié)構(gòu)的示意圖。如圖1所示，本實(shí)施方式1所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元，包括具備進(jìn)行向半導(dǎo)體基板供給的信號(hào)的生成等的電路之電路基板2；被配置在電路基板2上，且具有規(guī)定的開(kāi)口部(在圖1中省略圖示)的導(dǎo)電性接觸件保持器3；以及收容在導(dǎo)電性接觸件保持器3的開(kāi)口部?jī)?nèi)的導(dǎo)電性接觸件4。另外，在電路基板2上且導(dǎo)電性接觸件保持器3的外周配置有保持器部件5，該保持器部件5在使用時(shí)用于抑制半導(dǎo)體集成電路1的位置偏差的產(chǎn)生。
電路基板2具有檢查電路，其用于檢查作為檢查對(duì)象的半導(dǎo)體集成電路1的電特性。另外，電路基板2具有如下的結(jié)構(gòu)，即在電路基板2與導(dǎo)電性接觸件保持器3的接觸面上配置電極(在圖1中省略圖示)，該電極用于將內(nèi)置的電路與導(dǎo)電性接觸件4電連接。
導(dǎo)電性接觸件保持器3是用于收容導(dǎo)電性接觸件4的裝置。具體而言，導(dǎo)電性接觸件保持器3包括由金屬等的導(dǎo)電性材料制成的保持器基板、以及覆蓋保持器基板表面的必要區(qū)域的絕緣部件。而且，保持器基板具有的結(jié)構(gòu)是在與導(dǎo)電性接觸件4的配置場(chǎng)所對(duì)應(yīng)的區(qū)域形成有開(kāi)口部，在該開(kāi)口部?jī)?nèi)收容導(dǎo)電性接觸件4。
導(dǎo)電性接觸件4用于電連接電路基板2內(nèi)具有的電路與半導(dǎo)體集成電路1之間。導(dǎo)電性接觸件4根據(jù)對(duì)半導(dǎo)體集成電路1供給的信號(hào)的種類而被劃分為三種類型，具體而言，導(dǎo)電性接觸件4包括用于對(duì)半導(dǎo)體集成電路1輸入輸出電信號(hào)的信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件；用于對(duì)半導(dǎo)體集成電路1供給接地電位的接地用導(dǎo)電性接觸件；以及用于對(duì)半導(dǎo)體集成電路1供給電力的供電用導(dǎo)電性接觸件。另外，在下述中，將信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件、接地用導(dǎo)電性接觸件、及供電用導(dǎo)電性接觸件統(tǒng)稱為導(dǎo)電性接觸件，而當(dāng)言及個(gè)別時(shí)則使用其各自的名稱。
圖2是表示導(dǎo)電性接觸件保持器3及導(dǎo)電性接觸件4的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的示意圖。導(dǎo)電性接觸件保持器3包括保持器基板11，其具有使用螺釘部件接合了由導(dǎo)電性材料形成的第一基板6以及第二基板7的結(jié)構(gòu)，并且形成有貫穿第一基板6及第二基板7的第一開(kāi)口部8、第二開(kāi)口部9及第三開(kāi)口部10；和絕緣部件13及絕緣部件14，它們覆蓋第一開(kāi)口部8及第三開(kāi)口部10的內(nèi)表面及保持器基板11的表面。
保持器基板11(第一基板6及第二基板7)由具有導(dǎo)電性的材料形成，且作為導(dǎo)電性接觸件保持器3的母材發(fā)揮作用。具體而言，保持器基板11由導(dǎo)電性金屬或?qū)щ娦詷?shù)脂形成，從有效發(fā)揮后述的接地功能及電場(chǎng)屏蔽功能觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選使用體積電阻系數(shù)在1010Ω·m以下的導(dǎo)電性材料，優(yōu)選使用砲銅(gunmetal，銅錫合金)或鈹(青)銅作為保持器基板11的具體材料。
第一開(kāi)口部8用于收容對(duì)半導(dǎo)體集成電路1所具有的連接用電極23a～23c進(jìn)行信號(hào)的輸入輸出的信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15；第二開(kāi)口部9用于收容供給接地電位的接地用導(dǎo)電性接觸件16；第三開(kāi)口部10用于收容進(jìn)行電力供給的供電用導(dǎo)電性接觸件17。這些開(kāi)口部分別被形成為圓柱狀且貫穿保持器基板11，通過(guò)形成為上述形狀，能發(fā)揮作為所收容的導(dǎo)電性接觸件的定位機(jī)構(gòu)以及引導(dǎo)機(jī)構(gòu)的功能。第一開(kāi)口部8等通過(guò)分別對(duì)第一基板6及第二基板7進(jìn)行蝕刻、沖壓成形而形成；或通過(guò)進(jìn)行使用了激光、電子束、離子束或?qū)Ь€放電等的加工而形成。
第二開(kāi)口部9具有如后述那樣與接地用導(dǎo)電性接觸件16電接觸的功能，所以優(yōu)選加工內(nèi)表面，以使與被收容的接地用導(dǎo)電性接觸件16對(duì)應(yīng)的電接觸電阻值減小，且相對(duì)于接地用導(dǎo)電性接觸件16的伸縮動(dòng)作具有耐磨損性。具體而言，通過(guò)對(duì)第二開(kāi)口部9的內(nèi)表面實(shí)施鍍金處理等，從而本實(shí)施方式1所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元，降低了第二開(kāi)口部9與接地用導(dǎo)電性接觸件16間的電接觸電阻值，提高了耐磨損性。
第一開(kāi)口部8及第三開(kāi)口部10被形成為，其內(nèi)徑比第二開(kāi)口部9的內(nèi)徑還大形成在內(nèi)面的絕緣部件13及絕緣部件14的厚度份。這是因?yàn)榈诙_(kāi)口部9為了發(fā)揮導(dǎo)引功能及接地功能，而被形成為幾乎與接地用導(dǎo)電性接觸件16外徑相等；另一方面，第一開(kāi)口部8及第三開(kāi)口部10具有經(jīng)由絕緣部件13及絕緣部件14來(lái)收容信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15及供電用導(dǎo)電性接觸件17的功能。
另外，第一開(kāi)口部8、第二開(kāi)口部9及第三開(kāi)口部10被形成為為了防止導(dǎo)電性接觸件的脫落，分別在保持器基板11的上下外表面附近，使其內(nèi)徑變小。如后面所述，因?qū)щ娦越佑|件具有用于防脫的突起部，所以采用使內(nèi)徑變小的結(jié)構(gòu)，以便在上下的表面附近，使該突起部與該開(kāi)口部抵接。另外，由于采用在上下兩方的表面附近使內(nèi)徑變小的結(jié)構(gòu)，所以為了在制造時(shí)可以將導(dǎo)電性接觸件收容于第一開(kāi)口部8等，保持器基板11采用通過(guò)使第一基板6及第二基板7彼此粘貼來(lái)形成的結(jié)構(gòu)。
絕緣部件13及14形成于第一開(kāi)口部8及第三開(kāi)口部10的內(nèi)面，從而其具有使信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15及供電用導(dǎo)電性接觸件17、與保持器基板11電絕緣的功能。另外，絕緣部件13及14也被形成于保持器基板11的外表面上，從而其具有使半導(dǎo)體集成電路1及電路基板2、與保持器基板11電性絕緣的功能。在本實(shí)施方式1中，對(duì)于構(gòu)成絕緣部件13及14的材料與絕緣部件13及14的厚度沒(méi)有特別限制，只要能充分發(fā)揮絕緣功能，就可以使用任意的材料以及具有任意厚度的材料來(lái)形成絕緣部件13、14。另外，絕緣部件13及14例如通過(guò)涂覆(coating)等形成為薄膜狀，作為涂覆的具體例子，可使用滾軋加工、擠塑、浸漬、噴涂(spray)、展開(kāi)涂覆(spread)及電沉積等。絕緣部件13及14也可使用CVD(化學(xué)氣相沉積)法等形成。此外，絕緣部件13及14也可由防蝕鋁(alumite)等的氧化膜來(lái)形成。
接著，對(duì)導(dǎo)電性接觸件的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15、接地用導(dǎo)電性接觸件16及供電用導(dǎo)電性接觸件17所實(shí)現(xiàn)的功能不同，但關(guān)于具體的結(jié)構(gòu)可以看作是相同的，因此下面，作為代表，對(duì)信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。
信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15具有用于與電路基板2所具有的電極電連接的針狀部件19；用于在使用時(shí)與半導(dǎo)體集成電路1所具有的連接用電極電連接的針狀部件20；和彈簧部件21，其被設(shè)置在針狀部件19和針狀部件20之間，用于電連接針狀部件19、20之間，并且使信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15在長(zhǎng)軸方向上伸縮。針狀部件19、針狀部件20及彈簧部件21被收容于第一開(kāi)口部8，以使各自的軸線與第一開(kāi)口部8的軸線一致，這三個(gè)構(gòu)件具有能沿所述軸線方向移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。
針狀部件19是用于與設(shè)置于電路基板2的表面上的電極電連接的部件。具體而言，針狀部件19在電路基板2側(cè)具有尖端，該尖端具有與電路基板2所具有的電極接觸的結(jié)構(gòu)。針狀部件19能在彈簧部件21的伸縮作用下沿軸線方向移動(dòng)，故針狀部件19可對(duì)應(yīng)于電路基板2所具有的電極的凹凸，在最佳狀態(tài)下與之接觸，且通過(guò)基于彈簧部件21的延伸方向的按壓力，在降低了接觸電阻的狀態(tài)下可與電極接觸。
另外，如圖2所示，針狀部件19具有在與軸線垂直的方向上突起的突起部。如上所述，在保持器基板11的下側(cè)表面附近，第一開(kāi)口部8以內(nèi)徑變小的方式形成，從而隨著針狀部件19向下移動(dòng)，上述突起部與設(shè)置在第一開(kāi)口部8內(nèi)面的絕緣部件13抵接，因而可防止針狀部件19脫落。
針狀部件20是用于在使用本實(shí)施方式1所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元時(shí)，與半導(dǎo)體集成電路1所具有的連接用電極電連接的部件。具體而言，針狀部件20在半導(dǎo)體集成電路1側(cè)的端部具有與連接用電極接觸的結(jié)構(gòu)。另外，針狀部件20與針狀部件19同樣具有如下的結(jié)構(gòu)，即可通過(guò)彈簧部件21的伸縮作用而在軸線方向上移動(dòng)，并且因具有在與軸線垂直的方向上突起的突起部而防止其脫落。通過(guò)具有以上結(jié)構(gòu)，導(dǎo)電性接觸件對(duì)電路基板2所具有的電極和半導(dǎo)體集成電路1所具有的連接用電極之間進(jìn)行電連接。
接著，對(duì)本實(shí)施方式1所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元的優(yōu)點(diǎn)進(jìn)行說(shuō)明。圖3是表示，在使用本實(shí)施方式1所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元時(shí)，導(dǎo)電性接觸件與導(dǎo)電性接觸件保持器間的電相互作用的示意圖。而且在圖3中，為了容易說(shuō)明導(dǎo)電性接觸件單元的優(yōu)點(diǎn)，示出信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15a及信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15b鄰接的結(jié)構(gòu)。
首先，對(duì)接地用導(dǎo)電性接觸件16的電作用進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施方式1中的接地用導(dǎo)電性接觸件16被構(gòu)成為經(jīng)由電極22c向半導(dǎo)體集成電路1供給來(lái)自電路基板2的電位，還接收來(lái)自保持器基板11的電位而對(duì)半導(dǎo)體集成電路1供給接地電位。即，如圖2所示，具有如下的結(jié)構(gòu)保持器基板11在收容接地用導(dǎo)電性接觸件16的第二開(kāi)口部9的內(nèi)面沒(méi)有形成絕緣部件，第二開(kāi)口部9的內(nèi)面直接接觸接地用導(dǎo)電性接觸件16的外周面，具體而言如圖3所示，與隨著收縮動(dòng)作而彎曲的彈簧部件21直接接觸。而且，如上所述，由于基板11通過(guò)導(dǎo)電性材料形成，所以接地用導(dǎo)電性接觸件16和保持器基板11成為電連接。由此，在接地用導(dǎo)電性接觸件16和保持器基板11之間，內(nèi)部電荷可以來(lái)去自由，所以接地用導(dǎo)電性接觸件16供給的電位和保持器基板11的電位成為相等的值。
接地用導(dǎo)電性接觸件16隨著半導(dǎo)體集成電路1的小型化而具有極為微小的結(jié)構(gòu)，另一方面，保持器基板11具有可收容數(shù)百個(gè)至數(shù)千個(gè)單位的導(dǎo)電性接觸件的程度的容積。由此，對(duì)于保持器基板11來(lái)說(shuō)，各個(gè)導(dǎo)電性接觸件只具有可以忽略的程度的大小，通過(guò)由該微小的導(dǎo)電性接觸件賦予的電荷而產(chǎn)生的保持器基板11的電位變動(dòng)值可以大致被看作為0。因此，在從半導(dǎo)體集成電路1向接地用導(dǎo)電性接觸件16流入規(guī)定的電荷時(shí)，該電荷迅速地向保持器基板11釋放·擴(kuò)散，接地用導(dǎo)電性接觸件16以及保持器基板11的電位被維持在接地電位。根據(jù)上述，通過(guò)使接地用導(dǎo)電性接觸件16與由導(dǎo)電材料形成的保持器基板11電連接，從而接地用導(dǎo)電性接觸件16的電位被穩(wěn)定地維持在接地電位。
另外，也存在由于具有接地用導(dǎo)電性接觸件16的外周面整體與形成在保持器基板11上的第二開(kāi)口部9接觸的結(jié)構(gòu)而帶來(lái)的優(yōu)點(diǎn)。即，如圖2等所示，接地用導(dǎo)電性接觸件16具有如下的結(jié)構(gòu)其整體被形成為圓柱狀，外周面的面積明顯比與軸線垂直的剖面的面積大。由此，通過(guò)采用接地用導(dǎo)電性接觸件16經(jīng)由外周面而受到接地電位的供給的結(jié)構(gòu)，從而可以使其與接地電位供給源(即，保持器基板11)的接觸面積增大。其結(jié)果，在本實(shí)施方式1所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元中，具有降低了接地電位供給源和接地用導(dǎo)電性接觸件16之間的電接觸電阻，能對(duì)接地用導(dǎo)電性接觸件16高效地進(jìn)行接地電位供給的優(yōu)點(diǎn)。
接著，對(duì)信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15a、15b以及它們附近的電作用進(jìn)行說(shuō)明。信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15a、15b分別從電極22a、22b接收電路基板2內(nèi)生成的電信號(hào)，并將所接收的電信號(hào)對(duì)半導(dǎo)體集成電路1進(jìn)行輸入輸出。在這里，當(dāng)電信號(hào)通過(guò)信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15a時(shí)，與通過(guò)的電信號(hào)對(duì)應(yīng)的電磁波在信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15a的內(nèi)部產(chǎn)生，并輻射到外部。當(dāng)該電磁波被輸入到信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15b時(shí)，由于存在信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15b輸入輸出的電信號(hào)的波形產(chǎn)生畸變等弊端，所以尤其在導(dǎo)電性接觸件間的間隔變窄的結(jié)構(gòu)的情況下，需要遮蔽該電磁波的機(jī)構(gòu)。
對(duì)此，在本實(shí)施方式1所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元中，具有的結(jié)構(gòu)是對(duì)信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15a及15b，分別隔著絕緣部件13及絕緣部件14而配置具有導(dǎo)電性的保持器基板11，從而能實(shí)現(xiàn)由該保持器基板11來(lái)遮蔽電磁波的功能。如上所述，保持器基板11的電位大致可以看作為被維持在接地電位，即恒定電位。由此，由信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15a及15b產(chǎn)生的電磁波都被保持器基板11吸收，從而可以抑制由信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15a及15b的任一方產(chǎn)生的電磁波被傳遞到另一方。由此，本實(shí)施方式1所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元即使在采用信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件間的間隔狹窄的結(jié)構(gòu)的情況下，也可以將一方的動(dòng)作受到另一方產(chǎn)生的電磁波的影響抑制到能容許的程度。
另外，因?qū)щ娦越佑|件以外的原因而產(chǎn)生電磁波的情況也同樣。例如，即使在本實(shí)施方式1所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元的附近存在移動(dòng)電話等的電磁波產(chǎn)生源的情況下，通過(guò)位于導(dǎo)電性接觸件周圍的保持器基板11，可以抑制電磁波流入導(dǎo)電性接觸件的發(fā)生。
另外，關(guān)于該電磁波的遮蔽功能，不僅對(duì)信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15，對(duì)供電用導(dǎo)電性接觸件17也具有同樣的功能。即，即使在由于通過(guò)供電用導(dǎo)電性接觸件17內(nèi)的電力而產(chǎn)生電磁波的情況下，通過(guò)保持器基板11的遮蔽功能，可以抑制不良影響波及到其他的導(dǎo)電性接觸件，另一方面，即使對(duì)于供電用導(dǎo)電性接觸件17以外產(chǎn)生的電磁波，通過(guò)保持器基板11的遮蔽功能，也可以抑制不良影響波及到供電用導(dǎo)電性接觸件17。
再者，也存在由金屬材料來(lái)形成保持器基板11帶來(lái)的優(yōu)點(diǎn)。首先，如以往那樣，當(dāng)通過(guò)絕緣性樹(shù)脂來(lái)形成保持器基板時(shí)，存在如下問(wèn)題半導(dǎo)體集成電路1的熱膨脹系數(shù)和保持器基板11的熱膨脹系數(shù)不一定一致，根據(jù)溫度變化，半導(dǎo)體集成電路1所具有的連接用電極和被收容在保持器基板11中的導(dǎo)電性接觸件之間的位置關(guān)系產(chǎn)生偏差。
但是，在使用金屬材料、例如不脹鋼(invar)材料、科瓦鐵鎳鈷合金(kovar)材料(注冊(cè)商標(biāo))等的材料來(lái)形成保持器基板11的情況下，可以使保持器基板11的熱膨脹系數(shù)近似于作為半導(dǎo)體集成電路1的母材的硅的熱膨脹系數(shù)。即，通過(guò)使用適當(dāng)?shù)慕饘俨牧蟻?lái)形成與半導(dǎo)體集成電路1等的規(guī)定電路結(jié)構(gòu)的熱膨脹系數(shù)相適應(yīng)的保持器基板11，從而具有如下的優(yōu)點(diǎn)，即可以實(shí)現(xiàn)與溫度變化無(wú)關(guān)而可以穩(wěn)定使用的導(dǎo)電性接觸件保持器以及導(dǎo)電性接觸件單元。
另外，在使用金屬材料來(lái)形成保持器基板11的情況下，具有可以抑制由于大氣的影響而帶來(lái)的形狀變化的優(yōu)點(diǎn)。即，當(dāng)使用金屬材料時(shí)，除了可以抑制由于大氣中存在的水分的吸收而使保持器基板11伸縮以外，還可以抑制與大氣中的規(guī)定成分間產(chǎn)生的化學(xué)反應(yīng)而導(dǎo)致的永久性的尺寸變化的發(fā)生。由此，本實(shí)施方式1所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元具有的優(yōu)點(diǎn)是抑制由于大氣的影響而導(dǎo)致的形狀變化，可以防止在連接用電極和導(dǎo)電性接觸件之間的位置關(guān)系上產(chǎn)生偏差。
再者，通過(guò)使用金屬材料，可以提高保持器基板11的強(qiáng)度。通過(guò)提高該強(qiáng)度，具有如下的優(yōu)點(diǎn)，即本實(shí)施方式1中的導(dǎo)電性接觸件即使當(dāng)在保持器基板11上設(shè)置多個(gè)開(kāi)口部來(lái)收容導(dǎo)電性接觸件的情況，也可以防止因?qū)щ娦越佑|件的反作用力而在保持器基板11上產(chǎn)生翹曲。
如上所述，在本實(shí)施方式1中的導(dǎo)電性接觸件單元中，通過(guò)用由導(dǎo)電材料形成的保持器基板來(lái)作為收容導(dǎo)電性接觸件的導(dǎo)電性接觸件保持器3的母材，從而實(shí)現(xiàn)由接地用導(dǎo)電性接觸件16供給接地電位的功能的高效化、以及與信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15和供電用導(dǎo)電性接觸件17相關(guān)的電磁波的遮蔽功能。由于這些功能主要取決于保持器基板11的電位穩(wěn)定性，所以通過(guò)提高保持器基板11的電位穩(wěn)定性，從而可以進(jìn)一步提高接地電位供給功能以及電磁波的遮蔽功能。
圖4是表示以進(jìn)一步提高保持器基板11的電位穩(wěn)定性為目的的導(dǎo)電性接觸件單元的變形例的示意圖。在圖4所示的變形例中，保持器基板11具有通過(guò)螺釘部件25而使其與連接電纜26的一端電連接的結(jié)構(gòu)，連接電纜26的另一端與接地電位供給裝置27連接。
接地電位供給裝置27在內(nèi)部具有恒定電位源等，并具有經(jīng)由連接電纜26而對(duì)保持器基板11供給接地電位的結(jié)構(gòu)。由此，保持器基板11的電位通過(guò)接地電位供給裝置27而從外部被強(qiáng)制地維持在接地電位，從而可進(jìn)一步使電位穩(wěn)定。由此，圖4所示的變形例具有可以進(jìn)一步提高上述的接地用導(dǎo)電性接觸件16的接地電位供給功能以及電磁波的遮蔽功能的優(yōu)點(diǎn)。
另外，為了提高接地用導(dǎo)電性接觸件16的接地電位供給功能，即使采用如下的結(jié)構(gòu)也是有效的，即在接地用導(dǎo)電性接觸件16的外周面上配置與接地用導(dǎo)電性接觸件16的接觸面平滑的導(dǎo)電部件。圖5是表示對(duì)實(shí)施方式1所涉及的導(dǎo)電性接觸件實(shí)施該變更的變形例的部分結(jié)構(gòu)的示意圖。在圖5所示的變形例中，在構(gòu)成保持器基板28的第一基板29以及第二基板30上形成的第二開(kāi)口部被形成為其內(nèi)徑比實(shí)施方式1中的第二開(kāi)口部9還大。而且，具有在該第二開(kāi)口部的內(nèi)面和接地用導(dǎo)電性接觸件16的外周面之間插入導(dǎo)電性管部件31、32的結(jié)構(gòu)。
導(dǎo)電性管部件31、32各自都具有圓筒形狀且被同軸配置，并被配置成該圓筒形狀的內(nèi)面與接地用導(dǎo)電性接觸件16的外周面接觸，外面與第二開(kāi)口部的內(nèi)面接觸。即，導(dǎo)電性管部件31、32具有如下的功能通過(guò)與第二開(kāi)口部的內(nèi)面接觸來(lái)供給保持器基板28的電位即接地電位，并且通過(guò)與接地用導(dǎo)電性接觸件16的外周面接觸，而對(duì)接地用導(dǎo)電性接觸件16供給接地電位。
導(dǎo)電性管部件31、32以由例如銅鎳、磷青銅、黃銅或不銹鋼等形成的管結(jié)構(gòu)作為母材，并具有使金的薄板粘貼在該管結(jié)構(gòu)的內(nèi)面的結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)通過(guò)下述步驟形成預(yù)先將金的薄板粘貼在銅鎳等的板狀體上之后，以使金的薄板成為內(nèi)側(cè)的方式，將該板拉伸成具有小的直徑的圓管。另外，除了上述的構(gòu)成方法外，也可以通過(guò)在管結(jié)構(gòu)的內(nèi)面實(shí)施鍍金等來(lái)形成導(dǎo)電性管部件31、32。
對(duì)在圖5所示的變形例中使用導(dǎo)電性管部件31、32的理由進(jìn)行說(shuō)明。如上所述的那樣，在實(shí)施方式1所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元中采用的結(jié)構(gòu)是接地用導(dǎo)電性接觸件16通過(guò)與在保持器基板上形成的第二開(kāi)口部的內(nèi)面電連接來(lái)接受接地電位供給。由此，在實(shí)施方式1中，如圖2所示，接地用導(dǎo)電性接觸件16在與第二開(kāi)口部9的內(nèi)面物理接觸的狀態(tài)下被收容，經(jīng)由與第二開(kāi)口部9的內(nèi)面的接觸部分接受接地電位的供給，并且接地用導(dǎo)電性接觸件16維持與第二開(kāi)口部9的內(nèi)面接觸的狀態(tài)的同時(shí)，進(jìn)行伸縮動(dòng)作。
但是，近年來(lái)隨著半導(dǎo)體集成電路1的小型化，導(dǎo)電性接觸件也微小化，從而開(kāi)口部的直徑的值變?yōu)闃O小的值，所以開(kāi)口部的形成變得困難。另外，即使在形成該小徑的開(kāi)口部的情況，也難以防止在開(kāi)口部的內(nèi)面產(chǎn)生細(xì)微的凹凸。由此，當(dāng)采用使導(dǎo)電性接觸件直接與開(kāi)口部的內(nèi)面接觸的結(jié)構(gòu)時(shí)，存在導(dǎo)電性接觸件伸縮動(dòng)作所對(duì)應(yīng)的阻力以及導(dǎo)電性接觸件的外周面和開(kāi)口部的內(nèi)面之間的電接觸電阻增加的危險(xiǎn)。
為此，在圖5所示的變形例中，在第二開(kāi)口部和接地用導(dǎo)電性接觸件16之間插入具有平滑的內(nèi)面的導(dǎo)電性管部件31、32。通過(guò)具有該結(jié)構(gòu)，在本變形例中，具有如下的優(yōu)點(diǎn)，即降低了接地用導(dǎo)電性接觸件16的伸縮動(dòng)作的阻力，并且降低接地用導(dǎo)電性接觸件16的外周面上的電接觸電阻。
另外，作為其他的變形例，簡(jiǎn)化導(dǎo)電性接觸件以及保持器基板的結(jié)構(gòu)也是有效的。圖6是表示該變形例的結(jié)構(gòu)的示意圖。在圖6所示的變形例中具有如下的結(jié)構(gòu)信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件34、接地用導(dǎo)電性接觸件35及供電用導(dǎo)電性接觸件36分別具有由彈簧部件33及針狀部件20形成的結(jié)構(gòu)。具體而言，本變形例中的導(dǎo)電性接觸件具有省略了位于與電路基板2接觸一側(cè)的針狀部件的結(jié)構(gòu)，并通過(guò)彈簧部件33進(jìn)行與電路基板2所具有的電極22之間的電接觸。
在本變形例中，關(guān)于導(dǎo)電性接觸件采用省略了與圖2的針狀部件19相當(dāng)?shù)牟考慕Y(jié)構(gòu)的理由如下所述。即，在圖2的結(jié)構(gòu)中，針狀部件19不僅發(fā)揮用于與電路基板2所具有的電極結(jié)構(gòu)電連接的功能，由于在與軸線方向垂直的方向上具有突起部，從而還發(fā)揮防止導(dǎo)電性接觸件向下方脫落的功能。對(duì)此，通過(guò)使導(dǎo)電性接觸件保持器與電路基板2貼緊，從而可以防止導(dǎo)電性接觸件的脫落，所以在圖6所示的變形例中，具有省略了與針狀部件19相當(dāng)?shù)牟考慕Y(jié)構(gòu)。由此，在本變形例中具有如下的優(yōu)點(diǎn)，即可以減少導(dǎo)電性接觸件的構(gòu)成部件的數(shù)量，并且可以使結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化。
另外，本變形例所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元由于采用省略了針狀部件19的結(jié)構(gòu)，從而也有能通過(guò)單一的板狀體來(lái)形成保持器基板38的優(yōu)點(diǎn)。即，形成在保持器基板38上的各開(kāi)口部在下側(cè)表面附近，為了防脫而需要使內(nèi)徑變小。由此，如圖2的結(jié)構(gòu)那樣，在開(kāi)口部?jī)?nèi)收容導(dǎo)電性接觸件時(shí)產(chǎn)生困難性的問(wèn)題沒(méi)有了，可以從保持器基板38的下面?zhèn)热菀椎厥杖輰?dǎo)電性接觸件，從而不需要通過(guò)2張基板來(lái)形成保持器基板。由此，在本變形例中，可以通過(guò)單一的板狀體來(lái)構(gòu)成保持器基板38，可以減輕制造上的負(fù)擔(dān)。
(實(shí)施方式2)接著，對(duì)實(shí)施方式2所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施方式2所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元具有的結(jié)構(gòu)是至少包括信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件。而且，在本實(shí)施方式2中具有如下的結(jié)構(gòu)，即形成在保持器基板上且用于收容信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件的第一開(kāi)口部的內(nèi)面、和信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件的外周面之間配置阻抗修正部件，其用于對(duì)信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件的特性阻抗的值進(jìn)行修正。
圖7是表示，在本實(shí)施方式2所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元中構(gòu)信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15的附近部分的部分結(jié)構(gòu)的示意圖。另外，在本實(shí)施方式2所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元中，除了導(dǎo)電性接觸件保持器以外的各構(gòu)成要素，例如電路基板2、保持器部件5等，只要在下面沒(méi)有特別提及的，都具有與實(shí)施方式1中的部件相同的結(jié)構(gòu)，并同樣地進(jìn)行動(dòng)作。
如圖7所示，本實(shí)施方式2所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元具有保持器基板49，其由形成有用于收容信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15的第一開(kāi)口部52的第一基板47以及第二基板48構(gòu)成。而且，本實(shí)施方式2所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元在保持器基板49的上下外表面上具有絕緣部件50、51，并且具有在第一開(kāi)口部52的內(nèi)面和信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15之間具備阻抗修正部件44、45的結(jié)構(gòu)。
阻抗修正部件44、45將具有規(guī)定的介電常數(shù)的電介質(zhì)材料形成為圓筒形狀，是用于對(duì)信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15的特性阻抗的值進(jìn)行修正的部件。具體而言，阻抗修正部件44、45通過(guò)對(duì)電介質(zhì)材料具有的介電常數(shù)和圓筒形狀的外徑進(jìn)行調(diào)整，從而將信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15的特性阻抗修正成例如與半導(dǎo)體集成電路1的特性阻抗一致。
對(duì)阻抗修正部件44、45的結(jié)構(gòu)和信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15的特性阻抗之間的具體關(guān)系進(jìn)行說(shuō)明。信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15的特性阻抗Z0的值利用構(gòu)成阻抗修正部件44、45的電介質(zhì)材料的介電常數(shù)εr、圓筒形狀的外徑d2、和信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15的外徑d1，由(數(shù)學(xué)式1)Z0=138ϵrlog10d2d1...(1)]]>而得到。
例如，使用聚乙烯來(lái)作為阻抗修正部件44、45的電介質(zhì)材料，將信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15的外徑設(shè)為0.4mm，將信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15的特性阻抗設(shè)為50Ω，關(guān)于這樣的結(jié)構(gòu)，考慮使信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15的特性阻抗的值與半導(dǎo)體集成電路1一致的情況。由于聚乙烯的介電常數(shù)為0.23，所以通過(guò)將這些值代入數(shù)學(xué)式1，從而可以導(dǎo)出阻抗修正部件44、45的外徑為1.4mm即可。由此，通過(guò)實(shí)現(xiàn)以上的結(jié)構(gòu)，可以將信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15的特性阻抗的值修正為50Ω。
接著，在本實(shí)施方式2中，對(duì)使用阻抗修正部件44、45來(lái)進(jìn)行信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15的特性阻抗的修正帶來(lái)的優(yōu)點(diǎn)進(jìn)行說(shuō)明。一般公知在處理交流信號(hào)的電子電路中，在阻抗不同的布線彼此連接的地方，信號(hào)僅反射與不同阻抗間的比對(duì)應(yīng)的量，信號(hào)的傳送受到阻礙。這在所使用的半導(dǎo)體集成電路1和信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15之間的關(guān)系中也一樣，在半導(dǎo)體集成電路1的特性阻抗和信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15的特性阻抗具有較大不同的值的情況下，雖然相互電連接，但還會(huì)產(chǎn)生難以進(jìn)行電信號(hào)的輸入輸出的問(wèn)題。
另外公知，因特性阻抗不同而在連接處產(chǎn)生的信號(hào)反射的程度隨著信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15的電長(zhǎng)度(相對(duì)于電信號(hào)的周期的傳送路徑的長(zhǎng)度)變大而變得更為顯著。即，在本實(shí)施方式2所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元的情況下，隨著半導(dǎo)體集成電路1的高速化、即高頻化，電信號(hào)的反射程度變得更為顯著。由此，在制作與由高頻驅(qū)動(dòng)的半導(dǎo)體集成電路1對(duì)應(yīng)的導(dǎo)電性接觸件單元時(shí)，進(jìn)行使信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15的特性阻抗的值與半導(dǎo)體集成電路1的特性阻抗一致，即所謂的高精度的阻抗匹配是重要的。
但是，從進(jìn)行阻抗匹配的觀點(diǎn)出發(fā)，使信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15的形狀等變化是不容易的。信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15其外徑被抑制在1mm以下，并且具有由針狀部件19、20以及彈簧部件21構(gòu)成的復(fù)雜的形狀等，這些限制本來(lái)就存在，所以從設(shè)計(jì)上以及制造上的觀點(diǎn)出發(fā)，難以改變成與阻抗匹配相適合的形狀。
由此，在本實(shí)施方式2中，不改變信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15的結(jié)構(gòu)，而采用通過(guò)在信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15的周圍配置由電介質(zhì)材料形成的阻抗修正部件44、45來(lái)修正特性阻抗的值的結(jié)構(gòu)。通過(guò)采用該結(jié)構(gòu)，對(duì)于信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15的結(jié)構(gòu)可以繼續(xù)沿用以往的部件，并可以防止設(shè)計(jì)上以及制造上的增加。
另外，通過(guò)新設(shè)置阻抗修正部件44、45，不會(huì)增大設(shè)計(jì)上以及制造上的負(fù)擔(dān)。阻抗修正部件44、45具有在第一開(kāi)口部52的內(nèi)面上形成有圓筒形狀的部件的結(jié)構(gòu)，并例如在形成了第一開(kāi)口部52后，使用CVD法等堆積電介質(zhì)材料而形成阻抗修正部件44、45。由CVD法等進(jìn)行的電介質(zhì)膜的堆積在細(xì)微加工領(lǐng)域已被廣泛利用，并已確立了正確的膜厚控制等的技術(shù)，所以可以容易地制作阻抗修正部件44、45。
根據(jù)以上所述，本實(shí)施方式2所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元通過(guò)具有阻抗修正部件44、45，從而可以在所使用的半導(dǎo)體集成電路1之間進(jìn)行高精度的阻抗匹配，可以實(shí)現(xiàn)與今后預(yù)想的半導(dǎo)體集成電路1的進(jìn)一步高速化對(duì)應(yīng)的導(dǎo)電性接觸件單元。另外，由于阻抗修正部件44、45通過(guò)簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)便能實(shí)現(xiàn)，所以本實(shí)施方式對(duì)所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元不用提高制造成本便可以實(shí)現(xiàn)出色的特性。
圖8是表示本實(shí)施方式2所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元的整體結(jié)構(gòu)的一個(gè)例子的示意圖。作為簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)，如圖8所示，優(yōu)選采用同一結(jié)構(gòu)來(lái)構(gòu)成分別收容信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15、接地用導(dǎo)電性接觸件16以及供電用導(dǎo)電性接觸件17的開(kāi)口部附近的結(jié)構(gòu)。即，在各個(gè)開(kāi)口部中，不采用根據(jù)導(dǎo)電性接觸件的功能的不同而設(shè)計(jì)成不同規(guī)格的方式，而是全部設(shè)計(jì)成相同的規(guī)格，從而可以減輕制造上的負(fù)擔(dān)。即使在采用該結(jié)構(gòu)的情況下，也可以對(duì)信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件15的特性阻抗進(jìn)行修正。
(實(shí)施方式3)接著，對(duì)實(shí)施方式3所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施方式3所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元同樣具有實(shí)施方式1、2中說(shuō)明了的優(yōu)點(diǎn)，而且還采用在基于批量生產(chǎn)以及制造誤差來(lái)防止弊端等方面具有優(yōu)點(diǎn)的結(jié)構(gòu)。
圖9是表示實(shí)施方式3所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元的結(jié)構(gòu)的示意圖。本實(shí)施方式3所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元如圖9所示，具有導(dǎo)電性接觸件保持器54、收容在導(dǎo)電性接觸件保持器54內(nèi)的信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件55、接地用導(dǎo)電性接觸件56以及供電用導(dǎo)電性接觸件57。另外，在圖9中，雖然省略了電路基板2以及保持器部件5的圖示，但本實(shí)施方式3所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元當(dāng)然也與實(shí)施方式1、2同樣具有這些構(gòu)成要素。
導(dǎo)電性接觸件保持器54是用于收容接地用導(dǎo)電性接觸件56等的部件。具體而言，導(dǎo)電性接觸件保持器54具有形成有第一開(kāi)口部58、第二開(kāi)口部59以及第三開(kāi)口部60的保持器基板61；分別插入第一開(kāi)口部58、第三開(kāi)口部60這二者中的第一絕緣性管部件63以及第二絕緣性管部件64；插入第二開(kāi)口部59中的第一導(dǎo)電性管部件65以及第二導(dǎo)電性管部件66。
保持器基板61由導(dǎo)電性材料形成，并且在所形成的開(kāi)口部?jī)?nèi)收容導(dǎo)電性接觸件。具體而言，保持器基板61在第一開(kāi)口部58內(nèi)收容信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件55，在第二開(kāi)口部59內(nèi)收容接地用導(dǎo)電性接觸件56，由第三開(kāi)口部60收容供電用導(dǎo)電性接觸件57。
保持器基板61具有重疊了多個(gè)基板的結(jié)構(gòu)，所述多個(gè)基板與實(shí)施方式1、2同樣由導(dǎo)電性材料形成。具體而言，保持器基板61通過(guò)分別由導(dǎo)電性材料形成的第一基板67以及第二基板68形成。第一基板67在與形成第一開(kāi)口部58、第三開(kāi)口部60的區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域上形成第四開(kāi)口部70a、70b，在與形成第二開(kāi)口部59的區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域上形成第五開(kāi)口部72。另外，第二基板68在與形成第一開(kāi)口部58、第三開(kāi)口部60的區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域上形成第六開(kāi)口部73a、73b，在與形成第二開(kāi)口部59的區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域上形成第七開(kāi)口部74。而且，按照分別以同軸狀連通第四開(kāi)口部70a和第六開(kāi)口部73a、第四開(kāi)口部70b和第六開(kāi)口部73b、以及第五開(kāi)口部72和第七開(kāi)口部74的方式，使第一基板67和第二基板68在互相接觸的狀態(tài)下固定，由此形成保持器基板61。
另外，由第一基板67以及第二基板68構(gòu)成的保持器基板61由于與實(shí)施方式1、2同樣也具有供給接地電位的功能，所以優(yōu)選第一基板67和第二基板68之間的電接觸電阻盡可能低。為此，關(guān)于第一基板67和第二基板68相互接觸的接觸面，優(yōu)選對(duì)表面進(jìn)行平滑的加工，或進(jìn)行鍍鎳+鍍金等的表面處理。
第一絕緣性管部件63以及第二絕緣性管部件64是通過(guò)特氟隆(注冊(cè)商標(biāo))等的絕緣性材料形成的管部件，其用于確保信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件55以及供電用導(dǎo)電性接觸件57和保持器基板61之間的電絕緣性。具體而言，第一絕緣性管部件63被插入第四開(kāi)口部70a、70b，第二絕緣性管部件64被插入第六開(kāi)口部73a、73b。而且，在各自的中空部分收容信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件55以及供電用導(dǎo)電性接觸件57，以此來(lái)確保信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件55以及供電用導(dǎo)電性接觸件57和保持器基板61之間的電絕緣性。
另外，關(guān)于第一絕緣性管部件63以及第二絕緣性管部件64，當(dāng)以特氟隆(注冊(cè)商標(biāo))作為材料來(lái)形成時(shí)，可以具有各種優(yōu)點(diǎn)。即，特氟隆(注冊(cè)商標(biāo))的加工容易，并且介電常數(shù)εr的值較低，為2.1。由此，與使用其他的材料的情況相比，在實(shí)現(xiàn)相同的特性阻抗的結(jié)構(gòu)中，如(1)式所示，可以增大信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件55的外徑d1的值。即，一般在傳送高頻電信號(hào)時(shí)要求特性阻抗接近于50Ω，即使在該要求下，以特氟隆(注冊(cè)商標(biāo))作為材料來(lái)形成第一絕緣性管部件63等時(shí)，也可以增大信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件55的外徑。而且，通過(guò)增大信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件55的外徑，可以減小信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件55的電阻，所以通過(guò)以特氟隆(注冊(cè)商標(biāo))作為材料來(lái)形成第一絕緣性管部件63等，具有能抑制傳送信號(hào)的衰減的優(yōu)點(diǎn)。
另外，通過(guò)特氟隆(注冊(cè)商標(biāo))形成的第一絕緣性管部件63等由于能通過(guò)平滑的面來(lái)構(gòu)成內(nèi)面，所以可以進(jìn)一步降低在信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件55以及供電用導(dǎo)電性接觸件57的伸縮動(dòng)作時(shí)而產(chǎn)生的滑動(dòng)阻力。另外，關(guān)于供電用導(dǎo)電性接觸件57，由于沒(méi)有(1)式的制約，所以可以在能確保與保持器基板61之間的絕緣性的范圍內(nèi)增大其內(nèi)徑，以此使外形變大，從而可以供給大容量的驅(qū)動(dòng)電力。
另外，在第一絕緣性管部件63的一端形成具有比其他部分大的外徑的防脫凸緣75，并在防脫凸緣75位于第一基板67和第二基板68的交界側(cè)的狀態(tài)下，第一絕緣性管部件63被插入第一基板67。同樣，在第二絕緣性管部件64的一端也形成防脫凸緣76，并在防脫凸緣76位于第一基板67和第二基板68的交界側(cè)的狀態(tài)下，第二絕緣性管部件64被插入第二基板68。
另外，第一絕緣性管部件63以及第二絕緣性管部件64在形成有防脫凸緣75、76的端部的相反側(cè)的端部，具有內(nèi)徑變小的形狀。這是與實(shí)施方式1、2同樣，用于防止所收容的信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件55以及供電用導(dǎo)電性接觸件57的脫落。
第一導(dǎo)電性管部件65以及第二導(dǎo)電性管部件66是用于良好地保持接地用導(dǎo)電性接觸件56和保持器基板61之間的電接觸的部件。具體而言，第一導(dǎo)電性管部件65以及第二導(dǎo)電性管部件66由導(dǎo)電性材料形成，并以外面與保持器基板61接觸、內(nèi)面與接地用導(dǎo)電性接觸件56的至少一部分接觸的方式而被插入保持器基板61中。
另外，第一導(dǎo)電性管部件65以及第二導(dǎo)電性管部件66與第一絕緣性管部件63等同樣，在一方的端部形成有具有比其他部分大的外徑的防脫凸緣77、78。而且，第一導(dǎo)電性管部件65在防脫凸緣77位于第一基板67和第二基板68的交界側(cè)的狀態(tài)下被插入第一基板67，第二導(dǎo)電性管部件66在防脫凸緣78位于第一基板67和第二基板68的交界側(cè)的狀態(tài)下被插入第二基板68。另外，為了防止接地用導(dǎo)電性接觸件56的脫落，第一導(dǎo)電性管部件65以及第二導(dǎo)電性管部件66在形成有防脫凸緣77、78的端部的相反側(cè)的端部具有內(nèi)徑變小的形狀。
另外，在本實(shí)施方式3中，第一絕緣性管部件63和第一導(dǎo)電性管部件65、以及第二絕緣性管部件64和第二導(dǎo)電性管部件66，具有相互不同的外形。即，第一絕緣性管部件63和第一導(dǎo)電性管部件65等如圖9所示，防脫凸緣75、76的外徑d3、d4被形成為d4＞d3，管部分的外徑d5、d6被形成為d6＞d5。通過(guò)采用該結(jié)構(gòu)，第一導(dǎo)電性管部件65、第二導(dǎo)電性管部件66分別可以插入第五開(kāi)口部72、第七開(kāi)口部74，而難以插入第四開(kāi)口部70a、第六開(kāi)口部73a。
接著，對(duì)信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件55、接地用導(dǎo)電性接觸件56以及供電用導(dǎo)電性接觸件57簡(jiǎn)單地進(jìn)行說(shuō)明。這些導(dǎo)電性接觸件雖然也可以具有與實(shí)施方式1、2同樣的結(jié)構(gòu)，但在實(shí)施方式3中，尤其關(guān)于接地用導(dǎo)電性接觸件56，具有使接地特性提高的結(jié)構(gòu)。
具體而言，如圖9所示具有如下的結(jié)構(gòu)，即形成有已決定了外徑的凸緣部80、81，以使針狀部件79a、79b分別與第一導(dǎo)電性管部件65、第二導(dǎo)電性管部件66接觸。即，在本實(shí)施方式3中，采用如下的結(jié)構(gòu)為了實(shí)現(xiàn)第一導(dǎo)電性管部件65、第二導(dǎo)電性管部件66之間的電接觸而新設(shè)置凸緣部80、81，經(jīng)由凸緣部80、81，對(duì)半導(dǎo)體集成電路1供給保持器基板61的電位，以作為接地電位。
另外，從減小接地用導(dǎo)電性接觸件56和第一導(dǎo)電性管部件65、第二導(dǎo)電性管部件66之間的電接觸電阻的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選增大二者的接觸面積。為此，在本實(shí)施方式3中，盡可能地增大凸緣部80、81的外徑，并且以對(duì)接地用導(dǎo)電性接觸件56的伸縮動(dòng)作不帶來(lái)不良影響的程度來(lái)增大凸緣部80、81的收縮方向長(zhǎng)度(圖9的縱方向)。通過(guò)實(shí)施該措施，本實(shí)施方式3所涉及的接地用導(dǎo)電性接觸件56能以高效率對(duì)半導(dǎo)體集成電路1供給來(lái)自保持器基板61的接地電位，可以使半導(dǎo)體集成電路1的接地電位穩(wěn)定。另外，在接地用導(dǎo)電性接觸件56的外表面上，例如凸緣部80、81的外周面上，涂覆觸點(diǎn)恢復(fù)劑等用于降低電接觸電阻的材料，并在該狀態(tài)下插入也是有效的。通過(guò)采用這些結(jié)構(gòu)，即使在對(duì)半導(dǎo)體集成電路1供給的信號(hào)為高頻的情況下，也可以實(shí)現(xiàn)信號(hào)傳送損失不增大的導(dǎo)電性接觸件單元。
接著，對(duì)本實(shí)施方式3所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元的優(yōu)點(diǎn)進(jìn)行說(shuō)明。首先，在本實(shí)施方式3中具有如下的結(jié)構(gòu)，即包括插入第一基板67的第一絕緣性管部件63和第一導(dǎo)電性管部件65、以及插入第二基板68的第二絕緣性管部件64和第二導(dǎo)電性管部件66。通過(guò)采用具有這些管部件并將導(dǎo)電性接觸件插入管部件的中空部的結(jié)構(gòu)，從而實(shí)現(xiàn)信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件55、供電用導(dǎo)電性接觸件57與保持器基板61(第一基板67、第二基板68)之間良好的絕緣性，可以實(shí)現(xiàn)接地用導(dǎo)電性接觸件56與保持器基板61之間的良好的電接觸。
另外，這些管部件由于能由平滑的面來(lái)形成內(nèi)面，所以也具有可以降低隨著導(dǎo)電性接觸件的伸縮動(dòng)作而帶來(lái)的滑動(dòng)阻力的優(yōu)點(diǎn)。即，例如關(guān)于信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件55，與隔著絕緣表層膜而插入第一開(kāi)口部58(第四開(kāi)口部70a、第六開(kāi)口部73a)內(nèi)的結(jié)構(gòu)相比，通過(guò)使用管部件可以降低與信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件55之間的物理性的接觸阻力，可以降低隨著伸縮動(dòng)作帶來(lái)的滑動(dòng)阻力。
再者，在本實(shí)施方式3中，由于具有將第一絕緣性管部件63等的管部件插入構(gòu)成保持器基板61的第一基板67以及第二基板68中的結(jié)構(gòu)，所以具有提高導(dǎo)電性接觸件單元的批量生產(chǎn)性的優(yōu)點(diǎn)。即，在圖9所示的結(jié)構(gòu)的情況，導(dǎo)電性接觸件單元的組裝如下述進(jìn)行。
首先，在形成于第一基板67、第二基板68上的第四開(kāi)口部70a等的開(kāi)口部中分別插入對(duì)應(yīng)的管部件。然后，在將其中例如插有管部件的第一基板67配置成使半導(dǎo)體集成電路1一側(cè)成為鉛垂下側(cè)(即，與第二基板68的接觸面成為鉛垂上側(cè))的狀態(tài)下，在管部件的中空部分收容信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件55等導(dǎo)電性接觸件。進(jìn)而，以使導(dǎo)電性接觸件插入管部件的中空部分的方式，在從鉛垂上側(cè)覆蓋第二基板68的狀態(tài)下使第二基板68和收容了導(dǎo)電性接觸件的狀態(tài)的第一基板67重合，相互固定第一基板67和第二基板68。其后，通過(guò)組合電路基板2、保持器部件5等必要的部件，從而完成導(dǎo)電性接觸件單元。
這樣，本實(shí)施方式3所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元具有提高了批量生產(chǎn)組裝性的結(jié)構(gòu)。另外，由于通過(guò)防脫凸緣來(lái)防止管部件的脫落，所以通過(guò)解除固定了第一基板67、第二基板68的狀態(tài)而能容易地從開(kāi)口部卸下管部件。而且，由于通過(guò)解除固定了第一基板67、第二基板68的狀態(tài)而能容易地卸下管部件，所以也具有容易進(jìn)行維修等的優(yōu)點(diǎn)。
另外，本實(shí)施方式3所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元具有能防止第一導(dǎo)電性管部件65以及第二導(dǎo)電性管部件66的插入位置的錯(cuò)誤發(fā)生的優(yōu)點(diǎn)。即，在本實(shí)施方式3中，在第一絕緣性管部件63及第二絕緣性管部件64上形成的防脫凸緣75、76的外徑d3被形成為比在第一導(dǎo)電性管部件65及第二導(dǎo)電性管部件66上形成的防脫凸緣77、78的外徑d4小的值。另外，第一絕緣性管部件63等的管部分的外徑d5被形成為比第一導(dǎo)電性管部件65等的管部分的外徑d6小的值。
通過(guò)采用該結(jié)構(gòu)，而防止第一導(dǎo)電性管部件65及第二導(dǎo)電性管部件66插入第四開(kāi)口部70a及第六開(kāi)口部73a，所述第四開(kāi)口部70a及第六開(kāi)口部73a中本來(lái)應(yīng)插入第一絕緣性管部件63及第二絕緣性管部件64。即，在由于某種錯(cuò)誤而欲將第一導(dǎo)電性管部件65等插入第四開(kāi)口部70a的情況下，由于與第一絕緣性管部件63等的結(jié)構(gòu)上的差異，所以在物理上難以插入第四開(kāi)口部70a，從而事先防止第一導(dǎo)電性管部件65等被插入錯(cuò)誤的開(kāi)口部。
從防止與信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件55或供電用導(dǎo)電性接觸件57、尤其與供電用導(dǎo)電性接觸件57的電接觸的電路基板2以及作為檢查對(duì)象的半導(dǎo)體集成電路1的損傷的觀點(diǎn)出發(fā)，防止第一導(dǎo)電性管部件65以及第二導(dǎo)電性管部件66的插入地點(diǎn)的錯(cuò)誤是非常重要的。即，假設(shè)當(dāng)?shù)谝粚?dǎo)電性管部件65等被插入用于收容信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件55或供電用導(dǎo)電性接觸件57的開(kāi)口部的情況下，供電用導(dǎo)電性接觸件57等經(jīng)由第一導(dǎo)電性管部件65而與保持器基板61電連接。由于保持器基板61的電位被保持在接地電位，所以供電用導(dǎo)電性接觸件57等與保持器基板61電連接，因此半導(dǎo)體集成電路1或電路基板2的供電用的輸出端子成為直接接地，從而大電流經(jīng)由導(dǎo)電性接觸件流過(guò)，存在使承載于電路基板2上的電路被破壞直至不能使用的程度為止的危險(xiǎn)。為此，在本實(shí)施方式3中，當(dāng)管部件等被插入錯(cuò)誤的開(kāi)口部時(shí)，由于具有物理性插入不可能的形狀的第一導(dǎo)電性管部件65以及第二導(dǎo)電性管部件66，來(lái)防止所述錯(cuò)誤的發(fā)生。
另外，從抑制第一導(dǎo)電性管部件65等的插入位置錯(cuò)誤發(fā)生的觀點(diǎn)出發(fā)，圖10所示的結(jié)構(gòu)也是有效的。圖10是表示本實(shí)施方式3的變形例的一方式的圖，如圖10所示，在變形例中，在第一絕緣性管部件63及第二絕緣性管部件64上形成的防脫凸緣75、76的管插入方向長(zhǎng)度(圖10中的縱方向的長(zhǎng)度)d7和在第一導(dǎo)電性管部件65及第二導(dǎo)電性管部件66上形成的防脫凸緣77、78的管插入方向長(zhǎng)度d8被形成為d8＞d7。
對(duì)于圖10所示的變形例的優(yōu)點(diǎn)，以將第一導(dǎo)電性管部件65插入錯(cuò)誤的開(kāi)口部即第四開(kāi)口部70a的情況為例進(jìn)行說(shuō)明。在第一絕緣性管部件63等和防脫凸緣75的外徑相同且管部分的外徑相同的情況下，即使對(duì)錯(cuò)誤的開(kāi)口部也能插入第一導(dǎo)電性管部件65。但是，由于防脫凸緣75的插入方向長(zhǎng)度具有d8＞d7的關(guān)系，所以在第四開(kāi)口部70a中插入的第一導(dǎo)電性管部件65成為防脫凸緣75的至少一部分突出到第一基板67相對(duì)于第二基板68的接觸面上的狀態(tài)。為此，在該情況下，當(dāng)插入管部件后將第二基板68固定于第一基板67時(shí)，接觸面的一部分上留有突起，在使相互的接觸面接觸的狀態(tài)下難以進(jìn)行固定。由此，根據(jù)圖10所示的結(jié)構(gòu)，可以防止制造第一導(dǎo)電性管部件65被誤插入第四開(kāi)口部70a的導(dǎo)電性接觸件單元，可以避免對(duì)半導(dǎo)體集成電路1以及電路基板2帶來(lái)嚴(yán)重?fù)p傷。
另外，從防止管部件插入位置的錯(cuò)誤發(fā)生的觀點(diǎn)出發(fā)，作為管部件的結(jié)構(gòu)，并不限定于圖9和圖10所示的結(jié)構(gòu)，這一點(diǎn)無(wú)需解釋，只要第一絕緣性管部件63等和第一導(dǎo)電性管部件65等具有相互不同的外形即可。由此，例如在圖10的結(jié)構(gòu)中，可以是滿足d4＞d3或d6＞d5中的任一方的結(jié)構(gòu)，另外，不用因外徑等而設(shè)置差異，例如也可以是具有不同的剖面形狀的結(jié)構(gòu)。
而且，在本實(shí)施方式3中，采用第一導(dǎo)電性管部件65以及第二導(dǎo)電性管部件66介于接地用導(dǎo)電性接觸件56和保持器基板61之間的結(jié)構(gòu)。由此，如上所述，由于可以減小接地用導(dǎo)電性接觸件56和保持器基板61之間的電阻值，并且能由平滑面來(lái)形成管部件的內(nèi)面，所以可以減小接地用導(dǎo)電性接觸件56的伸縮動(dòng)作時(shí)的滑動(dòng)阻力。
另外，在本實(shí)施方式3中，關(guān)于接地用導(dǎo)電性接觸件56，如上所述，由于經(jīng)由凸緣部80、81來(lái)實(shí)現(xiàn)與保持器基板61之間的電接觸，所以彈簧部件82不發(fā)揮維持與第一導(dǎo)電性管部件65等之間的電接觸的功能也可以。因此，彈簧部件82不需要具有從增大接觸面積等的觀點(diǎn)出發(fā)而被設(shè)置的緊密的卷曲部分，僅通過(guò)稀疏的卷曲部分來(lái)形成彈簧部件即可。在采用該結(jié)構(gòu)的情況下，由彈簧部件82對(duì)針狀部件79a、79b供給的彈力增加的同時(shí)，也能擴(kuò)大彈簧部件82的伸縮范圍。
另外，由于凸緣部80、81的外徑被設(shè)定為使得第一導(dǎo)電性管部件65以及第二導(dǎo)電性管部件66物理性接觸，所以具有提高了接地用導(dǎo)電性接觸件的定位精度的優(yōu)點(diǎn)。即，在實(shí)施方式3中，被插入第二開(kāi)口部59的接地用導(dǎo)電性接觸件56成為凸緣部80、81的外面一直與第一導(dǎo)電性管部件65等的內(nèi)面接觸的狀態(tài)。由此，在本實(shí)施方式3中，接地用導(dǎo)電性接觸件56的位置被唯一固定，從而可以防止位置偏差的產(chǎn)生。
接著，對(duì)本實(shí)施方式3的其他的變形例進(jìn)行說(shuō)明。圖11至圖13是表示其他變形例所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元的結(jié)構(gòu)的示意圖，本實(shí)施例具體而言，在導(dǎo)電性接觸件的至少一部分使用內(nèi)置彈簧部件等的所謂桶類型。
具體而言，例如如圖11所示，信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件83具有的結(jié)構(gòu)是包括具有與實(shí)施方式1等相同的形狀的針狀部件86、87；被形成覆蓋針狀部件86、87的基端側(cè)的一部分以及省略了圖示的彈簧部件，且外面形狀被形成為圓筒狀的管體88。同樣，接地用導(dǎo)電性接觸件84具有針狀部件89、90和管體91，供電用導(dǎo)電性接觸件85具有針狀部件92、93和管體94。下面，以導(dǎo)電性接觸件為代表，以接地用導(dǎo)電性接觸件84為例，對(duì)桶類型的導(dǎo)電性接觸件進(jìn)行說(shuō)明。
管體91被形成為在以空洞狀形成的內(nèi)部包括針狀部件89、90的基端側(cè)的至少一部分；被配置在針狀部件89、90之間，用于對(duì)二者施加彈力的彈簧部件。另外，管體91由于具有例如與針狀部件89、90的外徑大致相等的內(nèi)徑，從而維持與針狀部件89、90電接觸的狀態(tài)。即，管體91具有如下的結(jié)構(gòu)，即與針狀部件89、90的滑動(dòng)動(dòng)作無(wú)關(guān)，而一直維持與針狀部件89、90的電接觸的狀態(tài)。
使用具有該管體的桶類型的導(dǎo)電性接觸件尤其對(duì)接地用導(dǎo)電性接觸件84是有效的。即，如圖11所示，管體91由于具有插入方向長(zhǎng)度大的圓筒狀的形狀，所以管體91、和形成在第一基板98上的第五開(kāi)口部100以及形成在第二基板99上的第七開(kāi)口部101之間的接觸面積較大，具有降低電接觸電阻的結(jié)構(gòu)。由此，在圖11所示的變形例中，接地用導(dǎo)電性接觸件84可以采用如下的結(jié)構(gòu)，即不用在其間插入導(dǎo)電性管部件，而使第一基板98以及第二基板99直接物理性接觸。
另外，通過(guò)桶類型的導(dǎo)電性接觸件來(lái)構(gòu)成信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件83以及供電用導(dǎo)電性接觸件85也存在優(yōu)點(diǎn)。即，即使在針狀部件86等進(jìn)行滑動(dòng)動(dòng)作時(shí)，管體88、94的位置、形狀等也不會(huì)發(fā)生變化，所以第一絕緣性管部件95、第二絕緣性管部件96的內(nèi)面不需要具有平滑性。由此，在本變形例中也具有如下的優(yōu)點(diǎn)，即第一絕緣性管部件95的形狀以及材料的選擇自由度得到提高。
另外，如圖11所示，不需要所有的導(dǎo)電性接觸件都采用桶類型的結(jié)構(gòu)，只要至少一部分采用桶類型便能享有上述的優(yōu)點(diǎn)。即，如圖12所示，也可以是具有接地用導(dǎo)電性接觸件84、信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件55以及供電用導(dǎo)電性接觸件57的結(jié)構(gòu)，所述接地用導(dǎo)電性接觸件84為桶類型，所述信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件55以及供電用導(dǎo)電性接觸件57具有與實(shí)施方式3同樣的結(jié)構(gòu)，如圖13所示，也可以是具有桶類型的信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件83、供電用導(dǎo)電性接觸件85、和與實(shí)施方式3同樣的結(jié)構(gòu)的接地用導(dǎo)電性接觸件56的結(jié)構(gòu)。
以上，雖然通過(guò)實(shí)施方式1～3以及這些變形例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明并不限于上述結(jié)構(gòu)，這一點(diǎn)不必解釋，只要是本領(lǐng)域的技術(shù)人員便可以想到各種變形例和實(shí)施例等。例如，可以構(gòu)成組合了實(shí)施方式1和實(shí)施方式2的導(dǎo)電性接觸件保持器以及導(dǎo)電性接觸件單元。即，也可以是關(guān)于接地用導(dǎo)電性接觸件15采用實(shí)施方式2的結(jié)構(gòu)，而關(guān)于接地用導(dǎo)電性接觸件16采用實(shí)施方式1的結(jié)構(gòu)。此外，也可以實(shí)現(xiàn)適宜地組合了實(shí)施方式1～3以及各變形例所示結(jié)構(gòu)而構(gòu)成的導(dǎo)電性接觸件保持器以及導(dǎo)電性接觸件單元。
另外，在實(shí)施方式1中，由保持器部件5的形狀可明了，雖然設(shè)想對(duì)半導(dǎo)體芯片等的集成電路而使用的方式，但并不限定于該方式，這一點(diǎn)無(wú)需解釋，例如也可以在檢測(cè)液晶面板的特性的裝置中使用本發(fā)明。而且，關(guān)于導(dǎo)電性接觸件的結(jié)構(gòu)也不限定于實(shí)施方式1等所示的結(jié)構(gòu)，在本發(fā)明中，可以使用任意的構(gòu)成。
而且，關(guān)于實(shí)施方式1所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元，雖然對(duì)于輸入輸出信號(hào)的傳送方式?jīng)]有特別明示，但可以使用單端傳送以及差動(dòng)傳送中的任意一種。即，實(shí)施方式1等所涉及的導(dǎo)電性接觸件單元具有如下的優(yōu)點(diǎn)，即與傳送方式的種類無(wú)關(guān)，而能提高高頻電信號(hào)的傳送特性。
另外，在實(shí)施方式3中，與實(shí)施方式1、2同樣，通過(guò)相同的外形來(lái)構(gòu)成第一絕緣性管部件63等和第一導(dǎo)電性管部件65等是有效的。當(dāng)采用該結(jié)構(gòu)時(shí)，由于可以容易地替換各管部件，所以具有容易進(jìn)行插腳分配(pinassignment)更換的優(yōu)點(diǎn)。即，關(guān)于已決定了插腳分配并進(jìn)行批量生產(chǎn)的導(dǎo)電性接觸件單元，優(yōu)選管部件的外形不同，但在其前階段，例如在決定插腳分配時(shí)，優(yōu)選由相同外形來(lái)構(gòu)成第一絕緣性管部件63等和第一導(dǎo)電性管部件65等。另外，即使在對(duì)電路結(jié)構(gòu)不同的多個(gè)種類的半導(dǎo)體集成電路1進(jìn)行檢查時(shí)，由于能容易地更換插腳分配，所以是優(yōu)選的。
而且，在實(shí)施方式1中，雖然采用形成接地用導(dǎo)電性接觸件的針狀部件的凸緣部的外徑、和第二開(kāi)口部(導(dǎo)電性管部件被插入第二開(kāi)口部時(shí)的導(dǎo)電性管部件)的內(nèi)徑大致一致而形成的結(jié)構(gòu)，但并不限定于該結(jié)構(gòu)，這一點(diǎn)無(wú)需解釋。例如也優(yōu)選按照如下方式來(lái)構(gòu)成接地用導(dǎo)電性接觸件通過(guò)把凸緣部的外徑設(shè)為比第二開(kāi)口部等的內(nèi)徑小一些的值，以此來(lái)降低接地用導(dǎo)電性接觸件和第二開(kāi)口部等之間的滑動(dòng)阻力，另一方面，在第二開(kāi)口部?jī)?nèi)針狀部件偏心。
圖14是用于對(duì)包括針狀部件偏心了的接地用導(dǎo)電性接觸件的導(dǎo)電性接觸件單元進(jìn)行說(shuō)明的示意圖。另外，在圖14中，雖然對(duì)與實(shí)施方式3的結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)的導(dǎo)電性接觸件單元進(jìn)行了圖示，但當(dāng)然也可以適用于實(shí)施方式1等。
在圖14中，構(gòu)成接地用導(dǎo)電性接觸件87的針狀部件88、89各自的凸緣部90、91的外徑被形成為比第一導(dǎo)電性管部件65以及第二導(dǎo)電性管部件66的內(nèi)徑小某種程度。另外，配置于這樣的結(jié)構(gòu)的針狀部件88、89之間的彈簧部件92具有省略了密圈部分以及安裝定位圈部分的結(jié)構(gòu)。
通過(guò)省略密圈部分以及安裝定位圈部分，降低了保持彈簧部件92的保持針狀部件88、89的姿勢(shì)的力，其結(jié)果，針狀部件88、89相對(duì)于第二開(kāi)口部59的中心軸，其自身的中心軸僅傾斜規(guī)定角度，凸緣部90、91的各自一部分與第一導(dǎo)電性管部件65、第二導(dǎo)電性管部件66的內(nèi)表面接觸的狀態(tài)下而將凸緣部保持在第二開(kāi)口部59的內(nèi)部。例如，在圖14的例子中，通過(guò)朝向縱向箭頭的方向偏心，針狀部件88的中心軸相對(duì)于第二開(kāi)口部59的中心軸，在順時(shí)針?lè)较蛏蟽H以規(guī)定角度傾斜，針狀部件89的中心軸相對(duì)于第二開(kāi)口部59的中心軸，在逆時(shí)針?lè)较蛏蟽H以規(guī)定角度傾斜。而且，在該狀態(tài)下通過(guò)針狀部件88、89的中心軸傾斜，針狀部件88、89其凸緣部90、91和第一導(dǎo)電性管部件65等在圖14中的橫向箭頭所述的區(qū)域電導(dǎo)通。即，在圖14所示的導(dǎo)電性接觸件單元中，與凸緣部90、91的外徑是相對(duì)于第一導(dǎo)電性管部件65等的內(nèi)徑小某種程度的值無(wú)關(guān)，凸緣部90、91的外表面的一部分確實(shí)可靠地與第一導(dǎo)電性管部件65等接觸，從而可以確保二者間的電導(dǎo)通，充分發(fā)揮作為接地用導(dǎo)電性接觸件的功能。
(工業(yè)上的可利用性)如上所述，本發(fā)明所涉及的導(dǎo)電性接觸件保持器以及導(dǎo)電性接觸件單元例如適用于半導(dǎo)體集成電路等的電路結(jié)構(gòu)的電特性的檢查。
權(quán)利要求
1.一種導(dǎo)電性接觸件保持器，其至少收容對(duì)規(guī)定電路結(jié)構(gòu)進(jìn)行信號(hào)輸入輸出的信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件、以及對(duì)該規(guī)定電路結(jié)構(gòu)進(jìn)行接地電位供給的接地用導(dǎo)電性接觸件，該導(dǎo)電性接觸件保持器具有保持器基板，其通過(guò)導(dǎo)電性材料形成，且形成有第一開(kāi)口部和第二開(kāi)口部，所述第一開(kāi)口部收容所述信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件，所述第二開(kāi)口部維持與所述接地用導(dǎo)電性接觸件之間的電連接的同時(shí)，收容所述接地用導(dǎo)電性接觸件；以及絕緣部件，其覆蓋所述第一開(kāi)口部的內(nèi)面。
2.如權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電性接觸件保持器，其特征在于，還具有導(dǎo)電性管部件，其被配置于所述第一開(kāi)口部?jī)?nèi)，以使其內(nèi)表面與所述接地用導(dǎo)電性接觸件接觸。
3.一種導(dǎo)電性接觸件保持器，至少收容用于對(duì)規(guī)定電路結(jié)構(gòu)進(jìn)行信號(hào)輸入輸出的信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件，該導(dǎo)電性接觸件保持器具有保持器基板，其形成有收容所述信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件的開(kāi)口部；以及阻抗修正部件，其由電介質(zhì)材料形成，并且以位于所收容的所述信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件的外周上的方式形成，以修正所述信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件的特性阻抗。
4.如權(quán)利要求3所述的導(dǎo)電性接觸件保持器，其特征在于，所述信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件具有圓柱狀的形狀，所述圓柱狀具有規(guī)定的外徑，所述阻抗修正部件具有與所述信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件同軸的圓筒形狀，通過(guò)調(diào)節(jié)該圓筒形狀的外徑以及所述電介質(zhì)材料的介電常數(shù)來(lái)修正所述特性阻抗。
5.如權(quán)利要求3所述的導(dǎo)電性接觸件保持器，其特征在于，所述保持器基板具有導(dǎo)電性。
6.如權(quán)利要求1或3所述的導(dǎo)電性接觸件保持器，其特征在于，所述保持器基板由與所述規(guī)定電路結(jié)構(gòu)的熱膨脹系數(shù)相適合的材料形成。
7.如權(quán)利要求1或3所述的導(dǎo)電性接觸件保持器，其特征在于，所述保持器基板具有的結(jié)構(gòu)是，形成有收容對(duì)所述規(guī)定電路結(jié)構(gòu)進(jìn)行電力供給的供電用導(dǎo)電性接觸件的第三開(kāi)口部，還具備覆蓋所述第三開(kāi)口部的內(nèi)表面的絕緣部件。
8.如權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電性接觸件保持器，其特征在于，所述保持器基板具備第一基板，其由導(dǎo)電性材料形成，并形成有分別與所述第一開(kāi)口部以及第二開(kāi)口部對(duì)應(yīng)的第四開(kāi)口部以及第五開(kāi)口部；和第二基板，其由導(dǎo)電性材料形成，并形成有分別與所述第一開(kāi)口部以及第二開(kāi)口部對(duì)應(yīng)的第六開(kāi)口部以及第七開(kāi)口部，該第二基板相對(duì)于第一基板被固定成所述第六開(kāi)口部與所述第四開(kāi)口部連通，所述第七開(kāi)口部與所述第五開(kāi)口部連通，所述絕緣部件由被插入所述第四開(kāi)口部的第一絕緣性管部件、和被插入所述第六開(kāi)口部的第二絕緣性管部件形成。
9.如權(quán)利要求8所述的導(dǎo)電性接觸件保持器，其特征在于，所述第一、第二絕緣性管部件分別在一方的端部上形成有防脫凸緣，以使該防脫凸緣位于所述第一基板與所述第二基板之間的交界側(cè)的方式將所述第一、第二絕緣性管部件分別插入所述第四、第六開(kāi)口部中。
10.如權(quán)利要求8所述的導(dǎo)電性接觸件保持器，其特征在于，還具備第一導(dǎo)電性管部件，其在一端形成有防脫凸緣，并且以使該防脫凸緣位于所述第一基板與第二基板之間的交界側(cè)的方式插入所述第五開(kāi)口部中；以及第二導(dǎo)電性管部件，其在一端形成有防脫凸緣，并且以使該防脫凸緣位于所述第一基板與第二基板之間的交界側(cè)的方式插入所述第七開(kāi)口部中。
11.如權(quán)利要求8所述的導(dǎo)電性接觸件保持器，其特征在于，所述第一導(dǎo)電性管部件具有與所述第一絕緣性管部件不同的外形，所述第二導(dǎo)電性管部件具有與所述第二絕緣性管部件不同的外形。
12.如權(quán)利要求11所述的導(dǎo)電性接觸件保持器，其特征在于，所述第一導(dǎo)電性管部件具有比所述第一絕緣性管部件的外徑還大的外徑，所述第二導(dǎo)電性管部件具有比所述第二絕緣性管部件的外徑還大的外徑。
13.如權(quán)利要求11所述的導(dǎo)電性接觸件保持器，其特征在于，所述第一導(dǎo)電性管部件的防脫凸緣具有比所述第一絕緣性管部件的防脫凸緣還大的外徑，所述第二導(dǎo)電性管部件的防脫凸緣具有比所述第二絕緣性管部件的防脫凸緣還大的外徑。
14.如權(quán)利要求11所述的導(dǎo)電性接觸件保持器，其特征在于，所述第一導(dǎo)電性管部件的防脫凸緣具有比所述第一絕緣性管部件的插入方向長(zhǎng)度還長(zhǎng)的插入方向長(zhǎng)度，所述第二導(dǎo)電性管部件的防脫凸緣具有比所述第二絕緣性管部件的插入方向長(zhǎng)度還長(zhǎng)的插入方向長(zhǎng)度。
15.一種導(dǎo)電性接觸件單元，具備信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件，其對(duì)規(guī)定電路結(jié)構(gòu)進(jìn)行信號(hào)輸入輸出；接地用導(dǎo)電性接觸件，其對(duì)所述規(guī)定電路結(jié)構(gòu)進(jìn)行接地電位供給；導(dǎo)電性接觸件保持器，其包括保持器基板和絕緣部件，所述保持器基板由導(dǎo)電性材料形成，且形成有第一開(kāi)口部和第二開(kāi)口部，所述第一開(kāi)口部收容所述信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件，所述第二開(kāi)口部維持與所述接地用導(dǎo)電性接觸件之間的電連接的同時(shí)，收容所述接地用導(dǎo)電性接觸件，所述絕緣部件覆蓋該第一開(kāi)口部的內(nèi)面；和電路基板，其至少與所述信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件電連接，并生成向所述規(guī)定電路結(jié)構(gòu)輸入的信號(hào)。
16.如權(quán)利要求15所述的導(dǎo)電性接觸件單元，其特征在于，所述信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件具有圓柱形狀，所述圓柱形狀具有規(guī)定的外徑，所述絕緣部件具有與所述信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件同軸的圓筒形狀，通過(guò)調(diào)節(jié)正該圓筒形狀的外徑以及所述絕緣部件的介電常數(shù)來(lái)修正所述信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件的特性阻抗。
17.如權(quán)利要求15所述的導(dǎo)電性接觸件單元，其特征在于，還具備供給接地電位的接地電位供給機(jī)構(gòu)、及對(duì)所述保持器基板和所述接地電位供給機(jī)構(gòu)之間進(jìn)行電連接的連接機(jī)構(gòu)。
全文摘要
一種導(dǎo)電性接觸件保持器，其具有的結(jié)構(gòu)是包括具有導(dǎo)電性的保持器基板(11)，該保持器基板(11)形成有收容接地用導(dǎo)電性接觸件(16)的第二開(kāi)口部(9)；第一開(kāi)口部(8)的內(nèi)面、信號(hào)用導(dǎo)電性接觸件(15)及第三開(kāi)口部(10)的內(nèi)面、和供電用導(dǎo)電性接觸件(17)被電絕緣，而第二開(kāi)口部(9)的內(nèi)面和接地用導(dǎo)電性接觸件(16)的外周面直接接觸。因此，接地用導(dǎo)電性接觸件(16)可以從保持器基板(11)接受接地電位的供給，可以對(duì)使用的半導(dǎo)體集成電路等供給穩(wěn)定的接地電位。
文檔編號(hào)G01R31/26GK1875281SQ20048003256
公開(kāi)日2006年12月6日 申請(qǐng)日期2004年11月4日 優(yōu)先權(quán)日2003年11月5日
發(fā)明者風(fēng)間俊男, 中山浩志 申請(qǐng)人:日本發(fā)條株式會(huì)社