專利名稱：一種可分離圓柱度儀基準(zhǔn)誤差的圓柱度測量方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于精密儀器制造及測量技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種可實時分離主軸空間回轉(zhuǎn)誤差、導(dǎo)軌直行運動誤差、導(dǎo)軌與回轉(zhuǎn)軸線間平行度誤差的圓柱度測量方法及裝置。
背景技術(shù)：
如圖1所示，圓柱度測量儀器主軸空間回轉(zhuǎn)誤差、立式導(dǎo)軌直行誤差B、導(dǎo)軌軸線A與回轉(zhuǎn)軸線C之間的平行度誤差是圓柱度測量儀器誤差的三大誤差源。由于受工藝水平的限制，目前儀器主軸的回轉(zhuǎn)精度僅能達(dá)到(0.015+0.0003H)μm(其中H為截面高度，單位為mm)的制造精度，立式導(dǎo)軌直線度僅能達(dá)到0.06μm/100mm的制造精度，導(dǎo)軌軸線A與回轉(zhuǎn)軸線C之間的平行度誤差也僅能達(dá)0.15μm/100mm的裝配精度。因此，若要進一步改善圓柱度測量儀的測量精度，僅靠提高基準(zhǔn)系統(tǒng)的制造精度是遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠的，除了采用硬技術(shù)進一步改善基準(zhǔn)系統(tǒng)的制造精度外，還應(yīng)采用誤差分離技術(shù)消除或抑制它。
為了消除或減小圓柱度測量儀的基準(zhǔn)誤差，英國Taylor Hobson公司提出了一種雙傳感器法用于消除超精密圓柱度測量儀的立式導(dǎo)軌直行誤差和導(dǎo)軌與回轉(zhuǎn)軸線之間的平行度誤差，其結(jié)構(gòu)如圖2所示，被測件3(標(biāo)準(zhǔn)圓柱)放在回轉(zhuǎn)工作臺4上，回轉(zhuǎn)工作臺4安裝在儀器基座5上，徑向?qū)ΨQ分布的傳感器1和傳感器2被固定在立式導(dǎo)軌套6上，傳感器1和傳感器2位于立式導(dǎo)軌7的同一高度上且可沿導(dǎo)軌7上下移動；將被測件3調(diào)心、調(diào)傾后，傳感器1和傳感器2與被測件3的第1個截面圓輪廓上對徑兩點相接觸，當(dāng)回轉(zhuǎn)工作臺帶動被測件整周旋轉(zhuǎn)時，傳感器1和傳感器2測量第1個截面圓輪廓并輸出兩組第1個截面圓輪廓的綜合誤差數(shù)列；第1個截面測量完畢后，雙傳感器沿導(dǎo)軌上移到被測件不同高度的截面圓輪廓處(i＝2，3，...，N)并測量，共測得N個截面圓輪廓的2N組綜合誤差數(shù)列；將傳感器2輸出的N組數(shù)列移相180°后和傳感器1輸出的N組數(shù)列做和差處理，這樣就可從測量結(jié)果中分離出立式導(dǎo)軌直行誤差和導(dǎo)軌與回轉(zhuǎn)軸線之間的平行度誤差。該誤差分離方法可以很好地消除圓柱度儀的立式導(dǎo)軌直行誤差和導(dǎo)軌與回轉(zhuǎn)軸線之間的平行度誤差對圓柱形狀測量的影響，但是它不能消除圓柱度儀的主軸空間回轉(zhuǎn)誤差對測量的影響。
圓柱度儀主軸的空間回轉(zhuǎn)誤差通常由圖3所示的(a)徑向回轉(zhuǎn)誤差運動、(b)角回轉(zhuǎn)誤差運動、(c)軸向誤差運動、(d)扭動回轉(zhuǎn)誤差運動四種形式迭加而成，因此空間各輪廓截面間的誤差運動形式已無線性相似性，如圖4所示，很難通過線性關(guān)系，由兩個已知截面的軌跡輪廓求得第三個截面的軌跡輪廓。針對這一問題，中國專利圓柱度儀空間回轉(zhuǎn)誤差分離方法與裝置(專利申請公開號CN1527022，譚久彬、趙維謙等)提出單轉(zhuǎn)位逐截面分離圓柱度儀主軸空間回轉(zhuǎn)誤差，其結(jié)構(gòu)如圖5所示，其主要特點是被測件3和回轉(zhuǎn)工作臺4安裝在誤差分離轉(zhuǎn)臺8上，利用誤差分離轉(zhuǎn)臺8進行單次特定小角度α的轉(zhuǎn)位，單傳感器1沿導(dǎo)軌7移動并逐截面測量被測件3的截面圓輪廓，然后利用諧波分析的方法逐截面處理傳感器1輸出的測量數(shù)列，來實現(xiàn)主軸回轉(zhuǎn)誤差和被測件回轉(zhuǎn)誤差的逐截面分離。但該分離方法僅用于分離圓柱度儀主軸的空間回轉(zhuǎn)誤差，而不能分離圓柱度儀的立式導(dǎo)軌直行誤差和導(dǎo)軌與回轉(zhuǎn)軸線之間的平行度誤差。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述已有誤差分離方法與技術(shù)存在局限的不足，本發(fā)明提出一種可完全消除圓柱度儀基準(zhǔn)誤差的誤差分離方法及裝置，將直行誤差反向分離技術(shù)和回轉(zhuǎn)誤差逐截面反向分離技術(shù)有機地融合，用于同時分離導(dǎo)軌直行誤差、導(dǎo)軌與回轉(zhuǎn)軸線之間的平行度誤差以及主軸空間回轉(zhuǎn)誤差。
本發(fā)明的技術(shù)解決方案是一種可分離圓柱度儀基準(zhǔn)誤差的圓柱度測量方法，包括以下步驟①選定被測件N個測量截面，N為自然數(shù)，沿Z向進行逐截面整周測量，在初始位置(a)，傳感器1依次測量得到N個測量截面的圓輪廓綜合誤差值{Va1(θ)、Va2(θ)…Vai(θ)…VaN(θ)}，傳感器2同時也依次測得與N個測量截面的圓輪廓對應(yīng)的綜合誤差值{V’a1(θ)、V’a2(θ)…V’ai(θ)…V’aN(θ)}；②使被測件相對回轉(zhuǎn)主軸旋轉(zhuǎn)180°到達(dá)位置(b)，重復(fù)(a)位置的測量，傳感器1和傳感器2在(b)位置測量工件的N個截面輪廓和(a)位置的截面圓輪廓高度應(yīng)嚴(yán)格對應(yīng)，傳感器1依次得到圓輪廓的綜合誤差值為{Vb1(θ)、Vb2(θ)…Vbi(θ)…VbN(θ)}，傳感器2依次得到圓輪廓的綜合誤差值為{V’b1(θ)、V’b2(θ)…V’bi(θ)…V’bN(θ)}；③利用和差法對{Va1(θ)、Va2(θ)…Vai(θ)…VaN(θ)}、{V’a1(θ)、V’a2(θ)…V’ai(θ)…V’aN(θ)}、{Vb1(θ)、Vb2(θ)…Vbi(θ)…VbN(θ)}和{V’b1(θ)、V’b2(θ)…V’bi(θ)…V’bN(θ)}進行數(shù)據(jù)處理，得到Z向N個測量高度位置上剔除了立式導(dǎo)軌直行誤差、導(dǎo)軌與回轉(zhuǎn)軸線之間的平行度誤差以及回轉(zhuǎn)主軸空間誤差的被測件截面圓輪廓信號{W1(θ)、W2(θ)…Wi(θ)…WN(θ)}Wi(θ)=Vai(θ)+Vai′(θ+π)+Vbi′(θ)+Vbi(θ+π)4]]>④將Wi(θ)代入圓柱度測量評定系統(tǒng)中進行圓柱度評定，就得到剔除了立式導(dǎo)軌直行誤差、導(dǎo)軌與回轉(zhuǎn)軸線之間的平行度誤差以及回轉(zhuǎn)主軸空間誤差的被測件的圓柱度值。
本發(fā)明還提供了一種可分離圓柱度儀基準(zhǔn)誤差的圓柱度測量裝置，包括傳感器1和和傳感器2、回轉(zhuǎn)工作臺4、基座5、導(dǎo)軌氣浮套6和立式導(dǎo)軌7組成的立式導(dǎo)軌系統(tǒng)，誤差分離轉(zhuǎn)臺8，誤差分離轉(zhuǎn)臺8置于回轉(zhuǎn)工作臺4上，被測件3置于誤差分離轉(zhuǎn)臺8上，其可分別隨回轉(zhuǎn)工作臺4和誤差分離轉(zhuǎn)臺8回轉(zhuǎn)，傳感器1和傳感器2隨導(dǎo)軌氣浮套6沿立式導(dǎo)軌7上下運動，且傳感器1和傳感器2在被測件3的兩側(cè)徑向?qū)ΨQ分布。
本發(fā)明具有以下特點及良好效果可同時分離圓柱度儀立式導(dǎo)軌直行誤差、導(dǎo)軌與回轉(zhuǎn)軸線之間的平行度誤差以及主軸空間回轉(zhuǎn)誤差，解決了已有誤差分離技術(shù)不能同時分離直行誤差、平行度誤差和主軸空間回轉(zhuǎn)誤差的不足，這是區(qū)別現(xiàn)有技術(shù)的創(chuàng)新點之一；將立式導(dǎo)軌直行誤差、導(dǎo)軌與回轉(zhuǎn)軸線之間的平行度誤差以及主軸空間回轉(zhuǎn)誤差的分離裝置融合在同一個分離裝置中，一次裝調(diào)兩次轉(zhuǎn)位逐截面測量，便可以將直行誤差、平行度誤差和主軸空間回轉(zhuǎn)誤差從圓柱度測量結(jié)果中分離出去，測量操作簡便，易于自動執(zhí)行，這是區(qū)別現(xiàn)有技術(shù)的創(chuàng)新點之二；本發(fā)明在分離過程中，工件相對工作臺僅需一次180°轉(zhuǎn)位，經(jīng)過簡單的和差法數(shù)據(jù)處理后，便可將三項圓柱度基準(zhǔn)誤差從測量結(jié)果中剔出，因此可完全去除上述三項誤差對圓柱形狀測量的影響，滿足提高超精密圓柱度測量儀測量精度的需要，而且測量步驟簡單，易于程序化自動執(zhí)行，數(shù)據(jù)處理簡捷易用。


圖1圓柱度測量儀三大誤差分析示意2為現(xiàn)有的雙傳感器結(jié)構(gòu)示意3為現(xiàn)有的主軸回轉(zhuǎn)誤差典型運動形式示意4為現(xiàn)有的空間回轉(zhuǎn)基準(zhǔn)運動誤差運動形式示意5為現(xiàn)有的空間回轉(zhuǎn)誤差分離系統(tǒng)示意6為本發(fā)明裝置雙傳感器縱向布置的結(jié)構(gòu)示意7為本發(fā)明裝置雙傳感器橫向布置的結(jié)構(gòu)示意8為本發(fā)明的直行誤差、平行度誤差分離原理9為(a)位置測量示意10為(b)位置測量示意11為本發(fā)明裝置的一個實施例的結(jié)構(gòu)示意12為分離前、后被測圓柱的形狀中1傳感器、2傳感器、3被測件、4回轉(zhuǎn)工作臺、5基座、6導(dǎo)軌氣浮套、7立式導(dǎo)軌、8誤差分離轉(zhuǎn)臺、9儀器主軸、10軸套、11導(dǎo)電滑環(huán)、12電機驅(qū)動系統(tǒng)、13編碼器、14導(dǎo)軌直行誤差與導(dǎo)軌和回轉(zhuǎn)軸線平行度誤差、15儀器主軸空間回轉(zhuǎn)誤差、16被測圓柱實際形狀、17分離前傳感器1測量得到的圓柱形狀、18分離前傳感器2測量得到的圓柱形狀、19分離后的圓柱形狀、20儀器測量起始零位、21工件起始零位。
具體實施例方式
將這種可完全分離圓柱度儀基準(zhǔn)誤差的圓柱形狀測量方法與裝置結(jié)合實施例及附圖詳細(xì)說明如下參見圖6、圖7，被測件3安裝在誤差分離轉(zhuǎn)臺8上，誤差分離轉(zhuǎn)臺8放置在回轉(zhuǎn)工作臺4上，設(shè)計時，誤差分離轉(zhuǎn)臺8既可隨回轉(zhuǎn)工作臺4轉(zhuǎn)動，又可帶動被測件3進行自轉(zhuǎn)；回轉(zhuǎn)工作臺4安裝在儀器基座5上且和儀器主軸9相連接，儀器主軸9與軸套10構(gòu)成了氣浮回轉(zhuǎn)軸系，設(shè)計制造時要保證回轉(zhuǎn)工作臺4與儀器主軸9同軸；傳感器1和傳感器2安裝在導(dǎo)軌氣浮(滑)套6和立式導(dǎo)軌7構(gòu)成的立式導(dǎo)軌系統(tǒng)的同一高度上，且傳感器1和傳感器2在被測件3的兩側(cè)徑向?qū)ΨQ分布，可以縱向?qū)ΨQ設(shè)置，也可以橫向?qū)ΨQ設(shè)置，傳感器1和傳感器2可依被測件3的直徑在Y向做調(diào)整；測量前，先對被測件3和誤差分離轉(zhuǎn)臺8調(diào)心、調(diào)平行，使它們的回轉(zhuǎn)軸線和回轉(zhuǎn)工作臺4的回轉(zhuǎn)軸線同軸。在本實施例中被測件3為標(biāo)準(zhǔn)圓柱。
當(dāng)傳感器1和傳感器2處于圖8所示的被測件3的第i個測量截面時，設(shè)圓柱在第i截面的形狀誤差為Wi(θ)，儀器主軸在第i截面的回轉(zhuǎn)誤差為ei(θ)，導(dǎo)軌在第i高度的直行誤差為G(i)，導(dǎo)軌和回轉(zhuǎn)軸線在第i高度的平行度誤差為S(i)。當(dāng)被測件3位于如圖9所示的位置(a)時，傳感器1測得的圓柱第i截面輪廓的綜合誤差為Vai(θ)，傳感器2測得的圓柱第i截面輪廓綜合誤差為V’ai(θ)；當(dāng)圓柱3隨誤差分離轉(zhuǎn)臺8相對于主軸9轉(zhuǎn)過180°到達(dá)圖10所示的位置(b)時，在此位置上傳感器1測得的圓柱第i截面輪廓綜合誤差為Vbi(θ)，傳感器2測得的圓柱第i截面輪廓綜合誤差為V’bi(θ)。
分離的基本原理如下如圖9所示，將被測件3置于回轉(zhuǎn)工作臺4的初始位置(a)處，回轉(zhuǎn)工作臺4帶動誤差分離轉(zhuǎn)臺8和被測件3整周旋轉(zhuǎn)，傳感器1和2沿立式導(dǎo)軌移動，并逐截面對徑測量被測件3在1，2，…，i，…，N高度處的截面圓輪廓；設(shè)壓縮傳感器測頭的方向為傳感器正向，則被測圓柱形狀和儀器主軸形狀向外凸起的方向分別為Wi(θ)和ei(θ)的正向。對任意測量截面i，傳感器1和2測得的輪廓綜合誤差信號{Vai(θ)}和{V′ai(θ)}(i＝1，2，…，i，…，N)分別為Vai(θ)＝Wi(θ)+G(i)+S(i)+ei(θ)(1)V’ai(θ)＝Wi(θ+π)-G(i)-S(i)-ei(θ) (2)完成(a)位置的測量后，誤差分離轉(zhuǎn)臺帶動被測圓柱相對主軸旋轉(zhuǎn)180°到達(dá)圖10所示的位置(b)，重復(fù)(a)位置的測量步驟，并且傳感器1和傳感器2測量被測件3的截面位置依次與(a)位置截面嚴(yán)格對應(yīng)，則對任意測量截面i，傳感器1和2測得的輪廓綜合誤差信號{Vbi(θ)}和{V′bi(θ)}(i＝1，2，…，i，…，N)分別為Vbi(θ)＝Wi(θ+π)+G(i)+S(i)+ei(θ) (3)V′bi(θ)＝Wi(θ)-G(i)-S(i)-ei(θ) (4)將式(1)+(4)、式(3)+(2)，可以分別得到分離后的兩組第i截面輪廓的形狀信號Wi(θ)和Wi(θ+π)Wi(θ)=Vai(θ)+Vbi′(θ)2---(5)]]>Wi(θ+π)=Vai′(θ)+Vbi(θ)2---(6)]]>將式(1)+(3)-(2)-(4)，可以得到分離后的第i高度上的立式導(dǎo)軌直行誤差、導(dǎo)軌與回轉(zhuǎn)軸線之間的平行度誤差以及主軸空間回轉(zhuǎn)誤差的綜合信號G(i)+S(i)+ei(θ)=Vai(θ)+Vbi(θ)-Vai′(θ)-Vbi′(θ)4---(7)]]>
為了充分利用所有的測量信息，可以利用測量輪廓的封閉性對式(6)做移相處理，則式(6)變?yōu)槭?8)Wi(θ)=Vai′(θ+π)+Vbi(θ+π)2---(8)]]>則式(5)+(8)后，可以獲得新的分離后的第i截面輪廓的形狀信號Wi(θ)Wi(θ)=Vai(θ)+Vai′(θ+π)+Vbi′(θ)+Vbi(θ+π)4---(9)]]>由式(9)和(7)可以看到，將圓柱在測量位置(a)和(b)的所有測量信息融合處理后，可以利用其統(tǒng)計特性降低隨機誤差和漂移對形狀測量的影響。
依此類推，可以得到Z向N個測量高度位置上剔除了立式導(dǎo)軌直行誤差、導(dǎo)軌與回轉(zhuǎn)軸線之間的平行度誤差以及主軸空間回轉(zhuǎn)誤差的被測圓柱截面輪廓的形狀信號{W1(θ)，W2(θ)，…，Wi(θ)，…，WN(θ)}；將{Wi(θ)}(i＝1，2，…，i，…，N)代入圓柱度測量評定系統(tǒng)中進行圓柱度評定，就可得到剔除了立式導(dǎo)軌直行誤差、導(dǎo)軌與回轉(zhuǎn)軸線之間的平行度誤差以及主軸空間回轉(zhuǎn)誤差的被測圓柱的圓柱度值。
可完全分離圓柱度儀基準(zhǔn)誤差的圓柱形狀測量方法的有效性在圖12中得到證明。在圖12(a)中，14為立式導(dǎo)軌直行誤差和導(dǎo)軌與回轉(zhuǎn)軸線之間的平行度誤差迭加圖、15為主軸空間回轉(zhuǎn)誤差圖，16為被測圓柱實際形狀圖；當(dāng)上述三項誤差(14和15)和被測圓柱實際形狀16迭加后，從傳感器1和傳感器2測量得到的被測圓柱形狀17和18與被測圓柱實際形狀16完全不同，如圖12(b)所示；經(jīng)過雙傳感器逐截面誤差分離后得到的被測圓柱形狀19和圓柱實際形狀16完全相同，如圖12(c)所示。
因此采用上述發(fā)明，不僅可以有效地分離超精密圓柱度儀的三大系統(tǒng)誤差，消除這三大系統(tǒng)誤差對圓柱形狀測量的影響，而且還可以降低儀器和環(huán)境產(chǎn)生的測量隨機誤差和漂移對圓柱形狀測量的影響。該發(fā)明可以大幅降低超精密圓柱度儀的測量不確定度，顯著提高圓柱度的測量精度。
以上結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實施方式
作了說明，但這些說明不能被理解為限制了本發(fā)明的范圍，本發(fā)明的保護范圍由隨附的權(quán)利要求書限定，任何在本發(fā)明權(quán)利要求基礎(chǔ)上進行的改動都是本發(fā)明的保護范圍。
權(quán)利要求
1.一種可分離圓柱度儀基準(zhǔn)誤差的圓柱度測量方法，其特征在于該方法包括以下步驟①選定被測工件N個測量截面，N為自然數(shù)，沿Z向進行逐截面整周測量，在初始位置(a)，傳感器(1)依次測量得到N個測量截面的圓輪廓綜合誤差值{Va1(θ)、Va2(θ)…Vai(θ)…VaN(θ)}，傳感器(2)同時也依次測得與N個測量截面的圓輪廓對應(yīng)的綜合誤差值{V’a1(θ)、V’a2(θ)…V’ai(θ)…V’aN(θ)}；②使被測工件相對回轉(zhuǎn)主軸旋轉(zhuǎn)180°到達(dá)位置(b)，重復(fù)(a)位置的測量，傳感器(1)和傳感器(2)在(b)位置測量工件的N個截面輪廓和(a)位置的截面圓輪廓高度應(yīng)嚴(yán)格對應(yīng)，傳感器1依次得到圓輪廓的綜合誤差值為{Vb1(θ)、Vb2(θ)…Vbi(θ)…VbN(θ)}，傳感器2依次得到圓輪廓的綜合誤差值為{V’b1(θ)、V’b2(θ)…V’bi(θ)…V’bN(θ)}；③利用和差法對{Va1(θ)、Va2(θ)…Vai(θ)…VaN(θ)}、{V’a1(θ)、V’a2(θ)…V’ai(θ)…V’aN(θ)}、{Vb1(θ)、Vb2(θ)…Vbi(θ)…VbN(θ)}和{V’b1(θ)、V’b2(θ)…V’bi(θ)…V’bN(θ)}進行數(shù)據(jù)處理，得到Z向N個測量高度位置上剔除了立式導(dǎo)軌直行誤差、導(dǎo)軌與回轉(zhuǎn)軸線之間的平行度誤差以及回轉(zhuǎn)主軸空間誤差的被測件截面圓輪廓信號{W1(θ)、W2(θ)…Wi(θ)…WN(θ)}Wi(θ)=Vai(θ)+Vai′(θ+π)+Vbi′(θ)+Vbi(θ+π)4]]>④將Wi(θ)代入圓柱度測量評定系統(tǒng)中進行圓柱度評定，就得到剔除了立式導(dǎo)軌直行誤差、導(dǎo)軌與回轉(zhuǎn)軸線之間的平行度誤差以及回轉(zhuǎn)主軸空間誤差的被測件的圓柱度值。
2.一種可分離圓柱度儀基準(zhǔn)誤差的圓柱度測量裝置，包括傳感器(1)和傳感器(2)、回轉(zhuǎn)工作臺(4)、基座(5)、導(dǎo)軌氣浮套(6)和立式導(dǎo)軌(7)組成的立式導(dǎo)軌系統(tǒng)，誤差分離轉(zhuǎn)臺(8)，其特征在于誤差分離轉(zhuǎn)臺(8)置于回轉(zhuǎn)工作臺(4)上，被測件(3)置于誤差分離轉(zhuǎn)臺(8)上，其可分別隨回轉(zhuǎn)工作臺(4)和誤差分離轉(zhuǎn)臺(8)回轉(zhuǎn)，傳感器(1)和傳感器(2)隨導(dǎo)軌氣浮套(6)沿立式導(dǎo)軌(7)上下運動，且傳感器(1)和傳感器(2)在被測件(3)的兩側(cè)徑向?qū)ΨQ分布。
3.根據(jù)權(quán)力要求2所述的可分離圓柱度儀基準(zhǔn)誤差的圓柱度測量裝置，其特征在于傳感器(1)和傳感器(2)縱向?qū)ΨQ設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)力要求2所述的可分離圓柱度儀基準(zhǔn)誤差的圓柱度測量裝置，其特征在于傳感器(1)和傳感器(2)橫向?qū)ΨQ設(shè)置。
全文摘要
本發(fā)明屬于精密儀器制造及測量技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種可實時分離主軸空間回轉(zhuǎn)誤差、導(dǎo)軌直行運動誤差、導(dǎo)軌與回轉(zhuǎn)軸線間平行度誤差的圓柱度測量方法及裝置。本發(fā)明的裝置包括傳感器(1)和傳感器(2)、回轉(zhuǎn)工作臺(4)、基座(5)、導(dǎo)軌氣浮套(6)和立式導(dǎo)軌(7)組成的立式導(dǎo)軌系統(tǒng)，誤差分離轉(zhuǎn)臺(8)，其特征在于誤差分離轉(zhuǎn)臺(8)置于回轉(zhuǎn)工作臺(4)上，被測件(3)置于誤差分離轉(zhuǎn)臺(8)上，其可分別隨回轉(zhuǎn)工作臺(4)和誤差分離轉(zhuǎn)臺(8)回轉(zhuǎn)，傳感器(1)和傳感器(2)隨導(dǎo)軌氣浮套(6)沿立式導(dǎo)軌(7)上下運動，且傳感器(1)和傳感器(2)在被測件(3)的兩側(cè)徑向?qū)ΨQ分布。
文檔編號G01B5/20GK1645033SQ20051000721
公開日2005年7月27日 申請日期2005年2月4日 優(yōu)先權(quán)日2005年2月4日
發(fā)明者譚久彬, 薛梓, 趙維謙, 楊文國, 金國良 申請人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)