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發(fā)光器件的制作方法

文檔序號(hào):6099867閱讀:147來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:發(fā)光器件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種其發(fā)光元件由夾在電極之件的發(fā)光材料組成的器件(以下稱發(fā)光元件)和制造這種發(fā)光器件的方法。具體地說(shuō),本發(fā)明涉及一種采用能電致發(fā)光(EL)的發(fā)光材料(以下稱EL材料)的發(fā)光材料。
背景技術(shù)
近幾年來(lái),采用利用發(fā)光材料的EL現(xiàn)象的發(fā)光元件(以下稱EL元件)的發(fā)光器件(EL顯示器件)的開(kāi)發(fā)研究在進(jìn)行中。EL顯示器件是采用具有發(fā)光能力(即自行發(fā)光)的發(fā)光元件的顯示器件,因而不像液晶顯示器件那樣,EL顯示器件不需要背景光。此外,EL顯示器件具有例如視野寬、重量輕和耗電量小的優(yōu)點(diǎn)。
這類(lèi)EL顯示器件通常構(gòu)制成EL元件由一個(gè)陽(yáng)極、一個(gè)陰極和夾在極之間的EL材料構(gòu)成的結(jié)構(gòu)。陽(yáng)極和陰極之間加上電壓,使電流流經(jīng)EL材料,各載流子就重新結(jié)合,從而使EL元件發(fā)光。這種驅(qū)動(dòng)方法叫做電流驅(qū)動(dòng)。然而,電流驅(qū)動(dòng)的EL顯示器件有產(chǎn)生布線電阻引起電壓降(也叫做IR降)的現(xiàn)象問(wèn)題。這種現(xiàn)象是電壓,即使是同一個(gè)布線的電壓,會(huì)隨著其與電源之間間距的變大而下降。這個(gè)問(wèn)題當(dāng)布線長(zhǎng)度長(zhǎng)時(shí)特別明顯,從而成了擴(kuò)大EL顯示器件屏幕的一大障礙。
布線由諸如鉭、鎢或硅之類(lèi)的材料制成時(shí),EL顯示器件易受布線電阻的影響,從而大大降低圖像質(zhì)量的均勻性。此外,在采用象鋁或銅之類(lèi)的低電阻材料的情況下,當(dāng)繞制距離長(zhǎng)時(shí),就會(huì)看到同樣的現(xiàn)象,即出現(xiàn)上述現(xiàn)象。
這里參看圖2說(shuō)明上述問(wèn)題。圖2中示出了有源矩陣EL顯示器件的一部分像素部分。N個(gè)像素A1、A2、...An沿圖面的上下方向(垂直方向)排列。編號(hào)201表示柵極布線,202表示源極布線,203表示電流供應(yīng)線。此外,柵極布線201、源極布線202和電流供應(yīng)線203所環(huán)繞的部位中形成有開(kāi)關(guān)TFT(薄膜晶體管)204、存儲(chǔ)電容器205、電流控制TFT206和EL元件207。
在這個(gè)部分,由于電壓降的影響,電流供應(yīng)線205的電壓隨著電流供應(yīng)線臨近圖2的底部而下降。就是說(shuō),原先在像素部分上部分的電壓V1成為像素部分下部分的電壓V2,變成V1>V2的關(guān)系。這個(gè)影響隨著像素部分(圖像顯示區(qū))的擴(kuò)大而更加突出。
結(jié)果,在制造各像素發(fā)光亮度相等的EL元件的情況下,像素A1和像素A2發(fā)光的亮度大致相等,但像素An的發(fā)光亮度比起像素A1和像素A2來(lái)有所下降,原因在于,加到像素An的EL元件上的電壓因電壓降而下降所致。
此外,這種電壓降不僅影響電流供應(yīng)線203,而且也影響柵極布線201和源極布線202。就是說(shuō),可能影響到柵極布線201由于電壓降而不能使開(kāi)關(guān)TFT204的柵極斷開(kāi)。此外,源極布線202因電壓降而變得不能將所要求的電壓加到電流控制TFT206的柵極,從而恐怕使EL元件的亮度發(fā)生變化,或使EL元件不發(fā)光。
這樣,所要求的電壓由于布線電阻引起的電壓降而變得不可能傳過(guò)去,從而產(chǎn)生了像素部分大幅度失去了圖像質(zhì)量均勻性的缺點(diǎn)。為解決上述問(wèn)題,有人試圖設(shè)法給布線兩端加上電壓,但由于布線較長(zhǎng),從而不能忽視電壓降的影響。
在制造驅(qū)動(dòng)電路部分(一般包括柵極驅(qū)動(dòng)電路和源極驅(qū)動(dòng)電路)在同一個(gè)襯底上集成的整體式發(fā)光器件的情況下,繞驅(qū)動(dòng)電路部分與電信號(hào)輸入端子之間敷設(shè)在布線的布線電阻是個(gè)問(wèn)題。布線電阻使電信號(hào)延遲,從而可能降低柵極驅(qū)動(dòng)電路和源極驅(qū)動(dòng)電路的工作速度。
因此,產(chǎn)生了這樣一些缺點(diǎn),例如圖像質(zhì)量的均勻性大幅度喪失,驅(qū)動(dòng)電路部分的工作速度大幅度下降,這些都是布線電阻和信號(hào)延遲引起的電壓降引起的。這個(gè)問(wèn)題在對(duì)角線幾十英寸大屏幕的發(fā)光器件中特別突出。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問(wèn)題而提出的,因此本發(fā)明的目的是提供一種通過(guò)抑制上述布線電阻引起的電壓降的影響使圖像的質(zhì)量均勻的發(fā)光器件。此外,本發(fā)明還有另一個(gè)目的,即抑制電連接驅(qū)動(dòng)電路部分和輸入/輸出部分的布線的延遲,從而提高驅(qū)動(dòng)電路部分的工作速度。
本發(fā)明的發(fā)光器件由一個(gè)上面形成有一個(gè)發(fā)光元件的襯底(以下稱形成有元件的襯底或第一襯底)和一個(gè)硬質(zhì)大型印刷布線板(PWB印刷布線板),兩者用導(dǎo)體(各向異性導(dǎo)電膜或凸塊)電連接起來(lái)構(gòu)成,其特征在于,第一襯底上形成的各布線(第一布線群)的電阻減小。
應(yīng)該指出的是,硬質(zhì)大型印刷布線板(以下稱印刷布線板或第二襯底)表示硬度等級(jí)達(dá)到不會(huì)因受到一定量的沖擊而彎曲的印刷線路布線板。一般說(shuō)來(lái),硬質(zhì)大型印刷布線板是指由選自玻璃布環(huán)氧樹(shù)脂、玻璃布耐熱環(huán)氧樹(shù)脂、陶瓷、氧化鋁、紙質(zhì)酚或紙質(zhì)環(huán)氧樹(shù)脂的材料制成。此外,還可以采用透明的玻璃襯底、石英襯底塑料襯底。


從下面結(jié)合附圖所作的說(shuō)明可以更清楚地理解本發(fā)明的上述和其它目的和特點(diǎn)。
圖1A和1B分別為發(fā)光器件剖面結(jié)構(gòu)和頂部結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖2是像素亮度變化的示意圖。
圖3A和3B是發(fā)光器件頂部結(jié)構(gòu)的示意圖,圖3C是發(fā)光器件剖面結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖4A和4B分別為EL顯示器件頂部結(jié)構(gòu)和剖面結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖5A和5B分別為EL顯示器件的頂部結(jié)構(gòu)和剖面結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖6是EL顯示器件剖面結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖7是EL顯示器件剖面結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖8A至8F是本發(fā)明電氣設(shè)備的示意圖。
圖9A和9B是本發(fā)明電氣設(shè)備的示意圖。
具體實(shí)施例方式
圖1A示出了本發(fā)明發(fā)光器件的剖面圖,圖1B示出了發(fā)光器件的頂視圖。應(yīng)該指出,圖1A即相當(dāng)于沿圖1B的A-A’線截取的剖視圖。
圖1A中,編號(hào)101表示上面形成有發(fā)光元件102(一般為EL元件或半導(dǎo)體二極管元件)。布線103和104在襯底101上形成,供給發(fā)光元件102傳送電信號(hào)用(以下稱元件側(cè)布線)。這些組成部分相當(dāng)于上述第一襯底。應(yīng)該指示的是,襯底101也可采用玻璃襯底、石英襯底、塑料襯底、硅襯底、陶瓷襯底或金屬襯底。
印刷布線板107通過(guò)設(shè)在第一襯底布線103和104上的導(dǎo)體105a和105b與襯底101電連接。應(yīng)該指出的是,編號(hào)106a和106b表示密封劑,供將第一襯底101和印刷布線板107粘結(jié)在一起。
此外,印刷布線板107的前表面、后表面或內(nèi)部形成有一布組群(第二布線群)。在本說(shuō)明書(shū)中,布線是在兩個(gè)或多個(gè)不同層面形成時(shí)叫做多層布線(或疊層布線)。另一方面,一層布線在前表面、后表面或內(nèi)部形成時(shí),在本說(shuō)明書(shū)中叫做單層布線。在本發(fā)明中,印刷布線板107可以是多層布線,也可以是單層布線。第二布線群由選自銅、銀、金、鋁和鎳組成的組的金屬膜制成,或由其主要成分的材料選自銅、銀、金、鋁和鎳組成的組的合金膜制成。此外,第二布線群形成由兩種或多種選自銅、銀、金、鋁和鎳的不同元素制成的金屬膜的層狀結(jié)構(gòu)。
在這方面,各向異性導(dǎo)電膜、導(dǎo)電膏或凸塊都可用作導(dǎo)體105a和105b。作為凸塊,一般可采用釬焊凸塊、金屬凸塊、鎳凸塊或銅凸塊。此外,導(dǎo)電膏可采用里面擴(kuò)散有諸如銀和鎳之類(lèi)金屬粒料的樹(shù)脂。
FPC(柔質(zhì)印刷電路)108附在印刷布線板107的端部。此外,布線110制成1和20微米之間厚(以下稱PWB側(cè)布線或第二布線群),供將原光傳送給各向異性導(dǎo)電膜109的電信號(hào)傳送給導(dǎo)體105a和105b。一般說(shuō)來(lái),銅箔、金箔、銀箔、鎳箔或鋁箔制成的布線圖案用作PWB側(cè)布線110。應(yīng)該指出的是,F(xiàn)PC雖然在板的意義上講是個(gè)印刷布線板但并不包括在本發(fā)明所述印刷布線板中。
在本發(fā)明的具有上述結(jié)構(gòu)的發(fā)光器件中,傳送給FPC108的電信號(hào)是由PWB側(cè)布線110傳送線導(dǎo)體105a和105b的,接著,信號(hào)可通過(guò)元件側(cè)布線103和104傳送給發(fā)光元件102。這里,由于PWB側(cè)布線110是由電阻極小的布線制成的,因而可以大幅度抑制布線電阻產(chǎn)生的電壓降,從而可以給元件側(cè)布線103和104傳送幾乎等效的電信號(hào)。同樣,PWB側(cè)的布線110的布線電阻小,因而信號(hào)的延遲大部分受到抑制,從而可以改善驅(qū)動(dòng)電路工作速度降低的不足之處。
此外,本發(fā)明的一個(gè)特點(diǎn)是印刷布線板107采用選自玻璃布環(huán)氧樹(shù)脂、玻璃布耐熱環(huán)氧樹(shù)脂、陶瓷、氧化鋁、紙質(zhì)酚或紙質(zhì)環(huán)氧樹(shù)脂的材料,因而具有耐沖擊的性能。因此,可以保護(hù)發(fā)光元件不致因受外力的沖擊而損壞,從而可以制取高度可靠的發(fā)光器件。
現(xiàn)在就本發(fā)明的實(shí)施例說(shuō)明應(yīng)用本發(fā)明制造EL顯示器件的例子。圖3A和3B示出了應(yīng)用本發(fā)明制造的EL顯示器件的頂視圖。
在實(shí)施例中,圖3A示出的是EL顯示器件的頂視圖,圖3C示出的是顯示器件的剖視圖。圖3C是沿圖3A和3B頂視圖中的A-A’線截取的剖面圖。此外,實(shí)施例中的印刷布線板是按雙層結(jié)構(gòu)構(gòu)成的,圖3A和3B中示出了相應(yīng)的各層面。
圖3A中,編號(hào)300表示第一印刷布線板,布線板300上形成有布線301供輔助電流供應(yīng)線之用(以下稱電流供應(yīng)輔助線)。在本說(shuō)明書(shū)中,電流供應(yīng)線是供應(yīng)流經(jīng)EL元件、流到各EL元件的電流的布線,輔助電流供應(yīng)線的布線是與電流供應(yīng)線并聯(lián)連接以減小電流供應(yīng)線視在布線電阻的布線。
此外,以編號(hào)302標(biāo)出的虛線為源極驅(qū)動(dòng)電路,以編號(hào)303a和303b標(biāo)出的虛線為柵極驅(qū)動(dòng)電路,以編號(hào)304標(biāo)出的虛線為像素部分。這些驅(qū)動(dòng)電路和像素部分在第一襯底330(參看圖3C)上形成。此外,以編號(hào)305標(biāo)出的粗虛線為電流供應(yīng)線,在第一襯底330上形成。這里在接觸部分306中,電流供應(yīng)輔助線301與導(dǎo)體307電連接,再通過(guò)導(dǎo)體307與電流供應(yīng)線305電連接。
這樣,象銅箔之類(lèi)的低電阻材料制成的電流供應(yīng)輔助線301在第一印刷布線板300上形成。電流供應(yīng)輔助線301通過(guò)接觸部分306與在第一襯底300上形成的電流供應(yīng)線305電連接。這樣,可以使電流供應(yīng)線305任何位置的電位相等,因而可以大致抑制電流供應(yīng)線305的電壓降。
圖3B中,編號(hào)310表示第二印刷布線板,上面形成有布線311供輔助柵控制布線之用(以下稱柵控制輔助線)。在本說(shuō)明書(shū)中,柵控制布線是供傳送柵驅(qū)動(dòng)電路的電源信號(hào)、時(shí)鐘信號(hào)或啟動(dòng)信號(hào),輔助柵控制布線的布線是與柵控制布線并聯(lián)連接以減小柵控制布線的視在布線電阻的布線。
此外,以編號(hào)312標(biāo)出的粗虛線是在第一襯底上形成的柵控制布線。這里,柵控制輔助線311通過(guò)接觸部分313與導(dǎo)體314電連接,再通過(guò)導(dǎo)體314與柵控制布線315電連接。
這樣,第二印刷布線板310上形成有諸如銅箔之類(lèi)的低電阻材料制成的柵控制輔助線311。柵控制輔助線311通過(guò)接觸部分313與在第一襯底330上形成的柵控制布線312電連接。因此,可以使電位在柵控制布線312的任何位置都相等,從而可以大致抑制柵控制布線312的電壓降。
在本發(fā)明的實(shí)施例中,先是將第一印刷布線板300和第二印刷布線板310彼此粘結(jié)在一起(以印制布線板320表示),再用密封劑331將粘結(jié)好的板與第一襯底330粘結(jié)起來(lái)。不是第一印刷布線板300就是第二印刷布線板310通過(guò)導(dǎo)體307或314與第一襯底330電連接。應(yīng)該指出的是,設(shè)置導(dǎo)體307和314的位置是沒(méi)有限制的。
在實(shí)施例中,印刷布線板320和第一襯底330之間的間隙視乎各向異性導(dǎo)電膜、導(dǎo)電膏或凸塊的高度而定。間隙最好取5微米和1毫米之間(最好在10和100微米之間)。若間隙過(guò)窄,則印刷布線板320和發(fā)光元件可能彼此接觸。另一方面,若間隙過(guò)寬,則各向異性導(dǎo)電膜、導(dǎo)電膏或凸塊難以緊閉間隙。這里可以用隔片或填料來(lái)緊閉間隙。
此外,在第一襯底330與印刷布線板320之間的密封間隙321中還可充以惰性氣體(最好是氬氣、氖氣、氮?dú)饣蚝?或樹(shù)脂。樹(shù)脂可采用紫外線固化處理過(guò)的樹(shù)脂、熱固性樹(shù)脂、硅樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂、丙烯酸樹(shù)脂、聚酰亞胺樹(shù)脂、酚醛樹(shù)脂、PVC(聚氯乙烯)樹(shù)脂、PVB(聚乙烯醇縮丁醛)或EVA(乙烯-醋酸乙烯共聚物)。
可以在密封間隙321內(nèi)連周惰性氣體或樹(shù)脂一起加入吸潮材料(一般為氧化鋇或氧化銫)。
本發(fā)明實(shí)施例重要的一點(diǎn)是將設(shè)在印刷布線板中的低電阻布線圖案與易引起布線電阻問(wèn)題的電流供應(yīng)線305及柵控制布線312電連接,這樣就可以抑制電流供應(yīng)線305和柵控制布線312引起的電壓降出現(xiàn),從而可制造出能均勻顯示出圖像的EL顯示器件。
實(shí)施例1在實(shí)施例1中,參看圖4A和4B說(shuō)明用本發(fā)明制造的發(fā)光矩陣EL顯示器件。圖4A是上面形成有EL元件的第一襯底(圖4B中用編號(hào)400標(biāo)出)的頂視圖。編號(hào)401的虛線表示源極驅(qū)動(dòng)電路,402表示柵極驅(qū)動(dòng)電路,403表示像素部分。
此外,編號(hào)404表示印刷布線板,上面形成有PWB側(cè)布線405。編號(hào)406標(biāo)出的虛線表示第一密封件,在第一密封件406所環(huán)繞的內(nèi)側(cè),在印刷布線板404與第一襯底400之間加有樹(shù)脂(圖4B中用編號(hào)407表示)。應(yīng)該指出的是,摻入樹(shù)脂407中的吸潮劑材料采用氧化鋇(圖4B中以編號(hào)408標(biāo)出)。
編號(hào)409表示接觸部分,其作用是將第一襯底400上形成的PWB側(cè)布線405和連接布線410a至410c連接起來(lái)。象視頻信號(hào)或時(shí)鐘信號(hào)之類(lèi)從用作與外部器件的連接端子的FPC(柔質(zhì)印刷電路)411輸入的電信號(hào)傳送給PWB側(cè)布線405,再通過(guò)接觸部分409傳送給電流供應(yīng)線。
圖4B示出了相當(dāng)于沿圖4A的A-A’線截取的剖面的剖視圖。應(yīng)該指出的是,在圖4A和4B中同樣的組成部分用同樣的編號(hào)表示。如圖4B中所示,像素部分403和源極側(cè)驅(qū)動(dòng)電路401在襯底400上形成。像素部分403由多個(gè)像素構(gòu)成,各像素包括一個(gè)TFT431和一個(gè)像素電極432,TFT431供控制流向EL元件的電流(以下稱電流控制TFT),像素電極432與電流控制TFT431漏極電連接。此外,源極側(cè)驅(qū)動(dòng)電路401用一個(gè)CMOS電路構(gòu)成,CMOS電路中的一個(gè)N構(gòu)道TFT433和一個(gè)P溝道TFT434以互補(bǔ)的形式結(jié)合。
像素電極432由透明的導(dǎo)電膜(實(shí)施例1中為氧化銦和氧化錫的化合物構(gòu)成的薄膜)制成,其作用是作為EL元件的陽(yáng)極。絕緣膜435在像素電極432的兩端形成,在該兩端還形成有發(fā)紅光的發(fā)光層436a、發(fā)綠光的發(fā)光層436b和發(fā)藍(lán)光的發(fā)光層(圖中未示出)。在該上面還形成的EL元件陰極437用遮光膜(在實(shí)施例1中為鋰和鋁的合金膜)。
至于發(fā)光層436a和436b的淀積方法,可以采用任何現(xiàn)有的方法,形成發(fā)光層的材料可以采用有機(jī)材料或無(wú)機(jī)材料。發(fā)光層的結(jié)構(gòu)不僅必須是發(fā)光層,而且還要是電子注入層、電子位移層、空穴位移層和空穴注入層組合成的疊層結(jié)構(gòu)。
在實(shí)施例1的情況下,陰極437還起公用布線的作用,為所有的像素共同享用,與連接部件410a至410c電連接。連接布線410a至410c通過(guò)各向異性導(dǎo)電膜440a至440c與PWB側(cè)布線405電連接。此外,由于PWB側(cè)布線與FPC411電連接,因而連接布線410a至410c與FPC411電連接。
這里在實(shí)施例1中,第一密封件406是采用調(diào)合劑之類(lèi)制成的,并噴上隔離層料(圖中未示出),使第一密封件406粘結(jié)到印刷布線板404上。接著,往第一襯底400、印刷布線板404和第一密封件406所包圍的空間中充填樹(shù)脂407。雖然實(shí)施例1中采用摻氧化鋇的樹(shù)脂作為吸潮材料,但氧化鋇同樣可以大量分散的方式在內(nèi)部密封。此外,圖中未示出的隔離層的材料可以采用吸潮材料。
接著,樹(shù)脂407通過(guò)紫外線或加熱固化處理之后,將第一密封件406中形成的孔口部分(圖中未示出)封閉起來(lái)。接下去,裝上第二密封件412,使其覆蓋住第一密封件406、印刷布線板404和FPC411的一部分。第二密封件412可以用第一密封件406同樣的材料制成。
通過(guò)用上述方法將EL元件密封在樹(shù)脂407內(nèi),EL元件就完全與外部環(huán)境隔絕開(kāi)來(lái),從而可以避免潮氣和氧之類(lèi)加速有機(jī)材料氧化降物質(zhì)從外面入侵,這樣就可以制造出高度可靠的EL顯示器件。
此外,通過(guò)采用本發(fā)明可以抑制第一襯底上電流供應(yīng)線和柵控制布線的布線電阻引起的電壓降,從而可以制造出能將圖像均勻顯示出來(lái)的EL顯示器件。
實(shí)施例2現(xiàn)在參看圖5A和5B說(shuō)明實(shí)施例2中采用本發(fā)明制造的無(wú)源矩陣EL顯示器件。這里圖5A為顯示器件的頂視圖,圖5B為顯示器件沿圖5A的A-A’線截取的剖視圖。
圖5B中,編號(hào)501表示塑料制成的第一襯底。編號(hào)502表示氧化銦和氧化鋅的化合物制成的正極。實(shí)施例2中,正極502是用蒸發(fā)法制取的。雖然圖5A和5B中沒(méi)有示出,但這里的多個(gè)陽(yáng)極呈條狀沿平行方向按一定間距排列的。
絕緣膜503與多個(gè)呈條狀排列的陽(yáng)極502正交配置。此外,各陽(yáng)極502的間隙還加上絕緣膜503,將各陽(yáng)極502分別絕緣起來(lái)。因此,絕緣膜503從上面看去時(shí)是形成一定圖案的矩陣。
此外,觸排504由樹(shù)脂制成,在絕緣膜503上形成。觸排504在空間中在垂直方向形成,與各正極502正交。觸排504的形狀加工成倒立的三角形(倒立的錐形)。這里,這種結(jié)構(gòu)可以是雙層結(jié)構(gòu),呈檐形的上層在下層之上。
這之后,依次形成鋁合金制成的發(fā)光層505和負(fù)極。發(fā)光層505是易受潮氣和氧的影響的,所以發(fā)光層505和負(fù)極506最好都在真空或惰性氛圍中依次形成。發(fā)光層505可由任何現(xiàn)行材料制取,但從薄膜淀積的簡(jiǎn)易上看,最好還是采用聚合物為基料的有機(jī)材料。此外,負(fù)極506最好用蒸發(fā)法制取。發(fā)光層505和負(fù)極506都在觸排504構(gòu)成的槽中形成,兩者都呈條狀沿垂直方向按一定間距配置。
雖然圖中沒(méi)有示出,在發(fā)光層505和負(fù)極506之間加上空穴轉(zhuǎn)移層或空穴注入層作為緩沖層還是有用的??昭ㄗ⑷雽涌刹捎弥T如酞花青銅、聚硫苯或PEDOT的材料。
這樣,用上述方法在第一襯底501上形成EL元件。這里由于底部電極在實(shí)施例2中用作透明正極,因而發(fā)光層505中產(chǎn)生的光在既定的空間中沿朝向底部表面的方向(朝第一襯底501的方向)射出。
陽(yáng)極502通過(guò)設(shè)在第一密封件內(nèi)的各向異性性導(dǎo)電膜508a和508b與印刷布線板510上形成的PWB側(cè)布線511電連接。在實(shí)施例2中,PWB側(cè)面線511是個(gè)三層結(jié)構(gòu),由設(shè)在印刷布線板510前表面上的布線511a、設(shè)在布線板510內(nèi)的布線511b和設(shè)在布線板510后表面的布線511c組成。說(shuō)明圖1時(shí)提到的材料可用作制取印刷布線板510的材料。
這里,如圖5A中所示,印刷布線板510前表面上的布線511a和印刷布線板510內(nèi)的布線511b彼此正交形成。印刷布線板510前表面上的布線511a與正極502電連接,印刷布線板510后表面上的布線511c與負(fù)極506電連接。此外,印刷布線板510前表面上的布線511a與FPC512電連接,從而傳送外部設(shè)備來(lái)的信號(hào)。
在實(shí)施例2中,第一襯底501與印刷布線板510之間的間隙加有樹(shù)脂513和摻入樹(shù)脂513中的吸潮劑材料514,從而保護(hù)EL元件使其受潮氣和氧的影響。當(dāng)然,間隙中也可不充以樹(shù)脂而充以惰性氣體。此外,為防止EL元件變質(zhì),配備了第二密封件515將整個(gè)印刷布線板510覆蓋住。
通過(guò)用上述方法將EL元件密封入樹(shù)脂513中,EL元件就完全與外部環(huán)境隔絕,從而可以防止象潮氣和氧之類(lèi)加速有機(jī)材料氧化降解的物質(zhì)從外面入侵,這樣可以制造出高度可靠的EL顯示器件。
此外,通過(guò)采用本發(fā)明可以抑制第一襯底上正極和負(fù)極的布線電阻引起的電壓降,從而可以制造出能將圖像均勻顯示出來(lái)的EL顯示器件。
實(shí)施例3實(shí)施例3中示出了實(shí)施例1中所述EL顯示器件結(jié)構(gòu)經(jīng)修改的一個(gè)實(shí)例。這里參看圖6說(shuō)明實(shí)施例3。第一襯底400上形成的TFT和EL元件,其結(jié)構(gòu)與圖4A和4B的相同,因而只有那些不同的組成部分用編號(hào)標(biāo)出進(jìn)行說(shuō)明。
形成實(shí)施例1類(lèi)似的結(jié)構(gòu)直到形成負(fù)極437之后,再形成厚50至500納米(最好在300和400納米之間)的鈍化膜601將負(fù)極437覆蓋住。鈍化膜601可采用氧化鉭膜、氮化硅膜、氧化硅膜氮化氧化硅膜或這些膜組成的層疊膜。為使EL元件不致變質(zhì),薄膜淀程過(guò)程最好用汽相淀積法在150℃的溫度下進(jìn)行。
EL元件的密封在實(shí)施例3由鈍化膜601完成。就是說(shuō),EL元件由鈍化膜601加以保護(hù)使其不受潮氣和氧之類(lèi)外來(lái)物質(zhì)的影響,因而實(shí)施例3的特點(diǎn)是EL顯示器件的可靠性提高了。因此,雖然圖4A和4B中看到的結(jié)構(gòu)是EL元件用防外來(lái)物質(zhì)影響的樹(shù)脂407加以保護(hù),但在實(shí)施例3中則無(wú)需特意如此進(jìn)行密封,從而簡(jiǎn)化了EL顯示器件的結(jié)構(gòu)。
這里,各向異性導(dǎo)電膜602a和602b不僅僅和連接布線410a至410c及印刷布線板603上形成的PWB側(cè)布線604電連接,而且還起確定第一襯底400與印刷布線板603之間間隙的作用。當(dāng)然,可以配備分立的隔離層。
通過(guò)用上述方法將EL元件用鈍化膜601密封起來(lái),EL元件就完全與外部環(huán)境隔絕,從而可以避免受外來(lái)的諸如潮氣和氧之類(lèi)加速有機(jī)材料氧化降解的物質(zhì)的入侵,從而可以制造出高度可靠的EL顯示器件。
此外,通過(guò)采用本發(fā)明可以抑制設(shè)在第一襯底上的電流供應(yīng)線和柵控制布線的布線電阻引起的電壓降的產(chǎn)生,從而可以制造出可均勻顯示出圖像的EL顯示器件。
這里可以把實(shí)施例3的結(jié)構(gòu)和實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)結(jié)合起來(lái)使用。
實(shí)施例4實(shí)施例4中示出了實(shí)施例1所述EL顯示器件結(jié)構(gòu)的一個(gè)修改實(shí)例。現(xiàn)在參看圖7說(shuō)明實(shí)施例4。第一襯底400上形成的TFT和EL元件具結(jié)構(gòu)基本上與圖4A和4B的相同。因此,只有那些不同的組成部分用編號(hào)標(biāo)出并加以說(shuō)明。
實(shí)施例4中,EL元件的結(jié)構(gòu)與圖4A和4B的相反。像素電極(陰極)701采用遮光導(dǎo)電膜,陽(yáng)極702采用透明導(dǎo)電膜(在實(shí)施例4中為氧化甸和氧化鋅的化合物膜)。因此,光發(fā)出的方向是朝圖面的上部分(箭頭所示的方向)。
EL元件完工時(shí),覆蓋件704與第一密封件703粘結(jié),覆蓋件704內(nèi)部加有摻以吸潮材料的樹(shù)脂706。覆蓋件704可采用透光材料,可采用樹(shù)脂膜、樹(shù)脂襯底、塑料襯底、玻璃襯底或石英襯底。
接著,從第一襯底400的后表面開(kāi)一個(gè)通孔,從而形成連接布線707a和707b。連接布線707a和707b再通過(guò)金、釬焊料或鎳制成的凸塊708a和708b與印刷布線板709上形成的PWB側(cè)布線710電連接。PWB側(cè)布線710與FPC711電連接。這里編號(hào)712表示將第一襯底400與印刷布線板709粘結(jié)起來(lái)的樹(shù)脂,但結(jié)構(gòu)也可不加樹(shù)脂712。
通過(guò)采用實(shí)施例4可以抑制設(shè)在第一襯底上電流供應(yīng)線和柵控制布線的布線電阻引起的電壓降的產(chǎn)生,從而可以制造出能均勻顯示出圖像的EL顯示器件。
實(shí)施例5實(shí)施例1至4中說(shuō)明了采用EL元件的發(fā)光器件。然而,本發(fā)明還可應(yīng)用于EC(電致變色)顯示器件、場(chǎng)致發(fā)光顯示(FED)或采用半導(dǎo)體具發(fā)光二極管的發(fā)光器件。
實(shí)施例6采用本發(fā)明制造出來(lái)的發(fā)光器件是自行發(fā)光式的器件,而且其視角寬廣,因而比起液晶顯示器件來(lái),在光亮部位的可見(jiàn)度優(yōu)異,因此可用作各種電子設(shè)備的顯示部分。舉例說(shuō),欣賞大屏幕電視廣播悍,適宜采用本發(fā)明外殼裝置有發(fā)光器件、對(duì)角線等于20至50英的顯示部分。
這里外殼裝有發(fā)光器件的顯示部分包括所有象個(gè)人計(jì)算機(jī)顯示部分。電視廣播接收顯示部分之類(lèi)顯示信息的顯示部分,或廣告顯示部分。此外,本發(fā)明的發(fā)光器件還可用作其它各種電子設(shè)備的顯示部分。
下面舉這類(lèi)電子設(shè)備的例子電視攝像機(jī),數(shù)碼攝像機(jī),防護(hù)鏡式顯示器(頭戴式顯示器),汽車(chē)導(dǎo)航系統(tǒng),音響播放裝置(例如汽車(chē)音響系統(tǒng),音響組件系統(tǒng)),筆記本個(gè)人計(jì)算機(jī),游戲設(shè)備,便攜式信息終端(例如手提計(jì)算機(jī),移動(dòng)電話機(jī),移動(dòng)游戲機(jī)或電子本)和配備有記錄媒體(具體地說(shuō),播放記錄媒體配備有能顯示這些圖像的顯示部分的器件,例如數(shù)碼視頻盤(pán)(DVD))。具體地說(shuō),由于便攜式信息終端經(jīng)常是從對(duì)角線方向觀賞的,因而認(rèn)為視角的寬度非常重要。因此,最好采用EL顯示器件。圖8和9示出了這些電子設(shè)備的一些例子。
圖8A是外殼上裝有發(fā)光器件的顯示器,包括外殼2001、支座2002和顯示部分2003。本發(fā)明可用于顯示部分2003中。鑒于這類(lèi)顯示器是無(wú)需背景光自行發(fā)光式的顯示器,因而其顯示部分可以制造得比液晶顯示器薄。
圖8B是電視攝像機(jī),包括主體2101、顯示部分2102、音響輸入部分2103、操作開(kāi)關(guān)2104、電池2105和圖像接收部分2106。本發(fā)明的發(fā)光器件可用于顯示部分2102中。
圖8C是頭戴式EL顯示器(右側(cè))的一部分,包括主體2201、信號(hào)電纜2202、頭上固定帶2203、顯示部分2204、光學(xué)系統(tǒng)2205和發(fā)光器件2206。本發(fā)明可用于發(fā)光器件2206中。
圖8D是圖像播放機(jī)(具體地說(shuō),DVD播放機(jī)),配備有記錄媒體,包括主體2301、記錄媒體(例如DVD)2302、操作開(kāi)關(guān)2303、顯示部分(a)2304和顯示部分(b)2305。顯示部分(a)主要用來(lái)顯示圖像信息,圖像部分(b)主要用來(lái)顯示字符信息,本發(fā)明的發(fā)光器件可用于這些圖像部分(a)和(b)中。這里家庭游戲機(jī)屬于配備有記錄媒體的圖像播放機(jī)。
圖8E是手提計(jì)算機(jī),包括主體2401、攝影部分2402、圖像接收部分2403、操作開(kāi)關(guān)2404和顯示部分2405。本發(fā)明的發(fā)光器件可用在顯示部分2405中。
圖8F是個(gè)人計(jì)算機(jī),包括主體2501、外殼2502、顯示部分2503和鍵盤(pán)2504。本發(fā)明的發(fā)光器件可用于顯示部分2503中。
應(yīng)該指出的是,將來(lái)若發(fā)光率提高,含輸出圖像的投射光可用透鏡、光纖等諸如此類(lèi)加以放大,那時(shí)有可能將發(fā)光器件用在正面式投影機(jī)或后面式投影機(jī)中。
發(fā)光器件的發(fā)光部分消耗功率,因此最好顯示信息,使發(fā)光部分盡可能小。這樣,當(dāng)在主要顯示字符信息的顯示部分(例如便攜式終端,特別是手提電話機(jī)和音響播放裝置)中使用發(fā)光器件時(shí),最好取不發(fā)光部分作為背景,在發(fā)光部分形成字符信息進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。
圖9A是手提電話機(jī),包括主體2601、話音輸出部分2602、話音輸入部分2603、顯示部分2604、操作開(kāi)關(guān)2605和天線2506。本發(fā)明的發(fā)光器件可用在顯示部分2604中。這里顯示部分2604黑色背景上顯示的字符采用白色字符可以降低手提電話機(jī)的耗電量。
圖9B是音響播放機(jī),具體地說(shuō),汽車(chē)的音響系統(tǒng),它包括主體2701、顯示部分2702和操作開(kāi)關(guān)2703和2704。本發(fā)明的發(fā)光器件可用于顯示部分2702中。此外,實(shí)施例6中還示出了汽車(chē)的音響播放裝置,但它也可用作移動(dòng)式和家庭式的音響播放裝置。這里顯示部分2704黑色背景上顯示的字符采用白色字符可以降低耗電量。這在移動(dòng)式音響播放裝置中特別有效。
因此,本發(fā)明的應(yīng)用范圍特別廣,本發(fā)明可應(yīng)用到所有領(lǐng)域的電子設(shè)備。此外,實(shí)施例1至6中所示發(fā)光器件的任何結(jié)構(gòu)可應(yīng)用于本實(shí)施例的電子設(shè)備中。
實(shí)施例7在室外使用顯示部分采用本發(fā)明發(fā)光器件的電氣設(shè)備的情況下,當(dāng)然有時(shí)候要在光線不足、有時(shí)候要在光線充足的環(huán)境下觀看顯示部分的。然而,當(dāng)光線不足時(shí),即使亮度不太高也能充分辨認(rèn)出所顯示的內(nèi)容,當(dāng)光線充足時(shí),若亮度不高就辨認(rèn)不了所顯示的內(nèi)容。
就發(fā)光器件而論,由于亮度與元件的工作電流或工作電壓成正比,因而需要提高亮度時(shí),必須相應(yīng)增加耗電量。然而,若發(fā)光率調(diào)得很高,則當(dāng)光線不足時(shí),在耗電量大到不必要程度的情況下,顯示亮度比要求的還高。
為應(yīng)付這種情況,應(yīng)該給本發(fā)明的發(fā)光器件配備用傳感器檢測(cè)環(huán)境亮度、再根據(jù)亮度的大小調(diào)節(jié)發(fā)光率的功能,這樣做還是有用的。更具體地說(shuō),光線充足時(shí)將發(fā)光率調(diào)高,光線不足時(shí),將發(fā)光率調(diào)低。這樣,就可制造出一種能避免耗電量提高又能使用戶不感到疲勞的發(fā)光器件。
這里,檢測(cè)環(huán)境亮度的傳感器可采用CMOS傳感器或CCD(電荷耦合器件)。這類(lèi)CMOS傳感器一般可集成在形成有發(fā)光元件的襯底上,或者在外面附上一個(gè)半導(dǎo)體芯片。此外,還可以將上面形成有這類(lèi)CCD的半導(dǎo)體芯片附在形成有發(fā)光元件的襯底上,或者給顯示部分采用發(fā)光器件的電氣設(shè)備的部分配備CCD或CMOS傳感器。
這里配備了一個(gè)控制電路供根據(jù)檢測(cè)環(huán)境亮度的傳感器獲得的信號(hào)改變發(fā)光元件的工作電流或工作電壓,用這個(gè)控制電路可以根據(jù)環(huán)境的亮度調(diào)節(jié)發(fā)光元件的發(fā)光率。應(yīng)該指出的調(diào)節(jié)可以自動(dòng)進(jìn)行或手動(dòng)進(jìn)行。
應(yīng)該指出,本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)可應(yīng)用在實(shí)施例6所述的任何電氣設(shè)備中。
在有源矩陣式或無(wú)源式發(fā)光器件中,因布線電阻引起的信號(hào)延遲和電壓降減少了,從而提高驅(qū)動(dòng)電路部分的工作速度,改進(jìn)了像素部分圖像質(zhì)量的均勻性。
權(quán)利要求
1.一種顯示器件,包括第一襯底;形成在所述第一襯底上的一個(gè)發(fā)光元件;形成在所述第一襯底上的電流供應(yīng)線,與所述發(fā)光元件電相連;第二襯底;以及與所述第二襯底相鄰的輔助布線;其中所述輔助布線與所述電流供應(yīng)線在第一連接部分電連接,并且其中所述輔助布線與所述電流供應(yīng)線在第二連接部分電連接。
2.一種顯示器件,包括第一襯底;形成在所述第一襯底上的一個(gè)發(fā)光元件;形成在所述第一襯底上的電流供應(yīng)線,與所述發(fā)光元件電相連;所述發(fā)光元件上的絕緣層;第二襯底;以及與所述第二襯底相鄰的輔助布線;其中所述輔助布線與所述電流供應(yīng)線電連接,并且其中所述絕緣層位于所述電流供應(yīng)線和所述輔助布線之間。
3.一種顯示器件,包括第一襯底;形成在所述第一襯底上的一個(gè)發(fā)光元件;形成在所述第一襯底上的電流供應(yīng)線,與所述發(fā)光元件電相連;所述發(fā)光元件上的絕緣層;第二襯底;以及與所述第二襯底相鄰的輔助布線;其中所述輔助布線與所述電流供應(yīng)線電連接,并且其中所述第一襯底位于所述電流供應(yīng)線和所述輔助布線之間。
4.如權(quán)利要求1至3之一所述的顯示器件,其中所述輔助布線包括選自銅、銀、金、鋁和鎳組成的組的金屬。
5.如權(quán)利要求1至3之一所述的顯示器件,其中所述輔助布線的一部分位于所述第二襯底中。
6.如權(quán)利要求1至3之一所述的顯示器件,其中所述輔助布線通過(guò)一種導(dǎo)電材料與所述電流供應(yīng)線電連接。
7.如權(quán)利要求2或3所述的顯示器件,其中所述絕緣層是一種樹(shù)脂材料。
8.如權(quán)利要求7所述的顯示器件,其中所述樹(shù)脂材料包括一種吸潮材料。
9.如權(quán)利要求2或3所述的顯示器件,其中所述絕緣層是鈍化膜。
10.一種包括顯示器件的攝像機(jī),所述顯示器件包括第一襯底;形成在所述第一襯底上的一個(gè)發(fā)光元件;形成在所述第一襯底上的電流供應(yīng)線,與所述發(fā)光元件電相連;第二襯底;以及與所述第二襯底相鄰的輔助布線;其中所述輔助布線與所述電流供應(yīng)線在第一連接部分電連接,并且其中所述輔助布線與所述電流供應(yīng)線在第二連接部分電連接。
11.一種包括顯示器件的攝像機(jī),所述顯示器件包括第一襯底;形成在所述第一襯底上的一個(gè)發(fā)光元件;形成在所述第一襯底上的電流供應(yīng)線,與所述發(fā)光元件電相連;所述發(fā)光元件上的絕緣層;第二襯底;以及與所述第二襯底相鄰的輔助布線;其中所述輔助布線與所述電流供應(yīng)線電連接,并且其中所述絕緣層位于所述電流供應(yīng)線和所述輔助布線之間。
12.一種包括顯示器件的攝像機(jī),所述顯示器件包括第一襯底;形成在所述第一襯底上的一個(gè)發(fā)光元件;形成在所述第一襯底上的電流供應(yīng)線,與所述發(fā)光元件電相連;所述發(fā)光元件上的絕緣層;第二襯底;以及與所述第二襯底相鄰的輔助布線;其中所述輔助布線與所述電流供應(yīng)線電連接,并且其中所述第一襯底位于所述電流供應(yīng)線和所述輔助布線之間。
13.如權(quán)利要求10至12之一所述的包括顯示器件的攝像機(jī),其中所述輔助布線包括選自銅、銀、金、鋁和鎳組成的組的金屬。
14.如權(quán)利要求10至12之一所述的包括顯示器件的攝像機(jī),其中所述輔助布線的一部分位于所述第二襯底中。
15.如權(quán)利要求10至12之一所述的包括顯示器件的攝像機(jī),其中所述輔助布線通過(guò)一種導(dǎo)電材料與所述電流供應(yīng)線電連接。
16.如權(quán)利要求11或12所述的包括顯示器件的攝像機(jī),其中所述絕緣層是一種樹(shù)脂材料。
17.如權(quán)利要求16所述的包括顯示器件的攝像機(jī),其中所述樹(shù)脂材料包括一種吸潮材料。
18.如權(quán)利要求11或12所述的包括顯示器件的攝像機(jī),其中所述絕緣層是鈍化膜。
19.一種包括顯示器件的個(gè)人計(jì)算機(jī),所述顯示器件包括第一襯底;形成在所述第一襯底上的一個(gè)發(fā)光元件;形成在所述第一襯底上的電流供應(yīng)線,與所述發(fā)光元件電相連;第二襯底;以及與所述第二襯底相鄰的輔助布線;其中所述輔助布線與所述電流供應(yīng)線在第一連接部分電連接,并且其中所述輔助布線與所述電流供應(yīng)線在第二連接部分電連接。
20.一種包括顯示器件的個(gè)人計(jì)算機(jī),所述顯示器件包括第一襯底;形成在所述第一襯底上的一個(gè)發(fā)光元件;形成在所述第一襯底上的電流供應(yīng)線,與所述發(fā)光元件電相連;所述發(fā)光元件上的絕緣層;第二襯底;以及與所述第二襯底相鄰的輔助布線;其中所述輔助布線與所述電流供應(yīng)線電連接,并且其中所述絕緣層位于所述電流供應(yīng)線和所述輔助布線之間。
21.一種包括顯示器件的個(gè)人計(jì)算機(jī),所述顯示器件包括第一襯底;形成在所述第一襯底上的一個(gè)發(fā)光元件;形成在所述第一襯底上的電流供應(yīng)線,與所述發(fā)光元件電相連;所述發(fā)光元件上的絕緣層;第二襯底;以及與所述第二襯底相鄰的輔助布線;其中所述輔助布線與所述電流供應(yīng)線電連接,并且其中所述第一襯底位于所述電流供應(yīng)線和所述輔助布線之間。
22.如權(quán)利要求19至21之一所述的包括顯示器件的個(gè)人計(jì)算機(jī),其中所述輔助布線包括選自銅、銀、金、鋁和鎳組成的組的金屬。
23.如權(quán)利要求19至21之一所述的包括顯示器件的個(gè)人計(jì)算機(jī),其中所述輔助布線的一部分位于所述第二襯底中。
24.如權(quán)利要求19至21之一所述的包括顯示器件的個(gè)人計(jì)算機(jī),其中所述輔助布線通過(guò)一種導(dǎo)電材料與所述電流供應(yīng)線電連接。
25.如權(quán)利要求20或21所述的包括顯示器件的個(gè)人計(jì)算機(jī),其中所述絕緣層是一種樹(shù)脂材料。
26.如權(quán)利要求25所述的包括顯示器件的個(gè)人計(jì)算機(jī),其中所述樹(shù)脂材料包括一種吸潮材料。
27.如權(quán)利要求20或21所述的包括顯示器件的個(gè)人計(jì)算機(jī),其中所述絕緣層是鈍化膜。
28.一種包括顯示器件的便攜式電話,所述顯示器件包括第一襯底;形成在所述第一襯底上的一個(gè)發(fā)光元件;形成在所述第一襯底上的電流供應(yīng)線,與所述發(fā)光元件電相連;第二襯底;以及與所述第二襯底相鄰的輔助布線;其中所述輔助布線與所述電流供應(yīng)線在第一連接部分電連接,并且其中所述輔助布線與所述電流供應(yīng)線在第二連接部分電連接。
29.一種包括顯示器件的便攜式電話,所述顯示器件包括第一襯底;形成在所述第一襯底上的一個(gè)發(fā)光元件;形成在所述第一襯底上的電流供應(yīng)線,與所述發(fā)光元件電相連;所述發(fā)光元件上的絕緣層;第二襯底;以及與所述第二襯底相鄰的輔助布線;其中所述輔助布線與所述電流供應(yīng)線電連接,并且其中所述絕緣層位于所述電流供應(yīng)線和所述輔助布線之間。
30.一種包括顯示器件的便攜式電話,所述顯示器件包括第一襯底;形成在所述第一襯底上的一個(gè)發(fā)光元件;形成在所述第一襯底上的電流供應(yīng)線,與所述發(fā)光元件電相連;所述發(fā)光元件上的絕緣層;第二襯底;以及與所述第二襯底相鄰的輔助布線;其中所述輔助布線與所述電流供應(yīng)線電連接,并且其中所述第一襯底位于所述電流供應(yīng)線和所述輔助布線之間。
31.如權(quán)利要求28至30之一所述的包括顯示器件的便攜式電話,其中所述輔助布線包括選自銅、銀、金、鋁和鎳組成的組的金屬。
32.如權(quán)利要求28至30之一所述的包括顯示器件的便攜式電話,其中所述輔助布線的一部分位于所述第二襯底中。
33.如權(quán)利要求28至30之一所述的包括顯示器件的便攜式電話,其中所述輔助布線通過(guò)一種導(dǎo)電材料與所述電流供應(yīng)線電連接。
34.如權(quán)利要求29或30所述的包括顯示器件的便攜式電話,其中所述絕緣層是一種樹(shù)脂材料。
35.如權(quán)利要求34所述的包括顯示器件的便攜式電話,其中所述樹(shù)脂材料包括一種吸潮材料。
36.如權(quán)利要求29或30所述的包括顯示器件的便攜式電話,其中所述絕緣層是鈍化膜。
全文摘要
一種發(fā)光器件,顯示出來(lái)的圖像高度均勻。這種發(fā)光器件配備有一個(gè)印刷布線板(第二襯底)面對(duì)著上面形成有一個(gè)發(fā)光元件(102)的一個(gè)襯底(第一襯底)(107)配置。印刷布線板(107)上的PWB側(cè)布線(第二布線群)通過(guò)各向異性導(dǎo)電膜(105a,105b)與元件側(cè)布線(第一布線群)電連接。這里,由于用低電阻的銅箔形成PWB側(cè)布線(110),因而減少了元件側(cè)布線(103,104)的電壓降和信號(hào)的延遲,從而提高了圖像質(zhì)量的均勻性和驅(qū)動(dòng)電路部分的工作速度。
文檔編號(hào)G01N33/497GK1662107SQ20051005943
公開(kāi)日2005年8月31日 申請(qǐng)日期2000年12月15日 優(yōu)先權(quán)日1999年12月15日
發(fā)明者山崎舜平, 福永健司 申請(qǐng)人:株式會(huì)社半導(dǎo)體能源研究所
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