專(zhuān)利名稱：利用全內(nèi)反射的光學(xué)編碼的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及利用全內(nèi)反射的光學(xué)編碼。
背景技術(shù)：
例如，光學(xué)編碼器被用來(lái)監(jiān)控諸如曲軸之類(lèi)的軸的運(yùn)動(dòng)。光學(xué)編碼器可以按照軸的位置和/或轉(zhuǎn)數(shù)來(lái)監(jiān)控軸的運(yùn)動(dòng)。其通常使用安裝到軸上的碼盤(pán)而隨著軸和碼盤(pán)的旋轉(zhuǎn)來(lái)調(diào)制光。光在其經(jīng)過(guò)碼盤(pán)上的軌道時(shí)被調(diào)制，該碼盤(pán)包括透明和不透明部分的圖案。當(dāng)響應(yīng)于碼盤(pán)的旋轉(zhuǎn)來(lái)調(diào)制光時(shí)，從接收調(diào)制光的光電檢測(cè)器陣列產(chǎn)生電信號(hào)流。使用電信號(hào)來(lái)確定軸的位置和/或轉(zhuǎn)數(shù)。
圖1A圖示了一個(gè)示例光學(xué)編碼系統(tǒng)，其包括碼盤(pán)10、光源12和光電檢測(cè)器陣列14。碼盤(pán)具有交替通過(guò)和阻止來(lái)自光源的光20的透明部分16和不透明部分18的圖案。該光學(xué)編碼系統(tǒng)被配置成使得光穿過(guò)碼盤(pán)的透明部分并被位于碼盤(pán)另一側(cè)上的光電檢測(cè)器陣列檢測(cè)到。因?yàn)楣獯┻^(guò)碼盤(pán)的透明部分，所以這種光學(xué)編碼系統(tǒng)被稱為“透射”光學(xué)編碼系統(tǒng)。透射光學(xué)編碼器能夠產(chǎn)生在亮和暗之間具有良好對(duì)比的輸出信號(hào)，由此能夠在相對(duì)較高的精度下高速工作。雖然透射光學(xué)編碼系統(tǒng)提供高質(zhì)量的輸出，但是透射配置要求光源和光電檢測(cè)器陣列位于碼盤(pán)的相對(duì)兩側(cè)上，由此對(duì)編碼系統(tǒng)的外形尺寸有了一定限制。
還有利用反射來(lái)代替透射的光學(xué)編碼系統(tǒng)，其被稱為“反射”光學(xué)編碼系統(tǒng)。圖1B圖示了一個(gè)包括這樣的碼盤(pán)10的示例反射光學(xué)編碼系統(tǒng)，該碼盤(pán)10具有交替反射和吸收(或散射或通過(guò)等)來(lái)自光源12的光的反射部分22和非反射部分24的圖案。隨后由光電檢測(cè)器陣列14檢測(cè)到被反射的光。因?yàn)榇a盤(pán)的多個(gè)部分是反射性的，所以光源和光電檢測(cè)器陣列可以位于碼盤(pán)的相同側(cè)上，由此允許緊湊的外形尺寸。雖然反射光學(xué)編碼系統(tǒng)有利于緊湊的外形，但是其受到相對(duì)較低信號(hào)對(duì)比度的困擾，這限制了這些編碼系統(tǒng)的速度和精度。

發(fā)明內(nèi)容
一種諸如碼盤(pán)之類(lèi)的編碼元件包括第一和第二表面，這兩個(gè)表面相對(duì)于彼此并相對(duì)于光束被配置成這樣，即使得利用全內(nèi)反射的光學(xué)現(xiàn)象而使光束在兩個(gè)表面處反射。編碼元件還包括在光束從這兩個(gè)表面反射之后所述光束的光路中對(duì)齊的編碼圖案。在一個(gè)實(shí)施例中，編碼元件是具有內(nèi)表面和外表面的透明環(huán)結(jié)構(gòu)，這兩個(gè)表面彼此結(jié)合作用來(lái)將光反射到編碼圖案。
可以在這樣的編碼系統(tǒng)中利用具有通過(guò)全內(nèi)反射來(lái)反射光束的表面的編碼元件，該系統(tǒng)在透射下工作，同時(shí)光源和光電檢測(cè)器陣列位于編碼元件的相同側(cè)。使光學(xué)編碼系統(tǒng)在透射下工作產(chǎn)生在亮和暗之間具有良好對(duì)比的輸出信號(hào)，而使光源和光電檢測(cè)器陣列位于編碼元件的相同側(cè)允許編碼系統(tǒng)比傳統(tǒng)透射編碼系統(tǒng)具有更小的外形尺寸。
從以下結(jié)合附圖作為示例來(lái)解釋本發(fā)明原理的詳細(xì)說(shuō)明，本發(fā)明的其他方面和優(yōu)點(diǎn)將變得清楚。


圖1A圖示了現(xiàn)有技術(shù)已知的一個(gè)示例透射光學(xué)編碼系統(tǒng)，其包括碼盤(pán)、光源和光電檢測(cè)器。
圖1B圖示了現(xiàn)有技術(shù)已知的包括這樣的碼盤(pán)的一個(gè)示例反射光學(xué)編碼系統(tǒng)，該碼盤(pán)具有交替反射和吸收來(lái)自光源的光的反射部分和非反射部分的圖案。
圖2圖示了當(dāng)光從低密度介質(zhì)行進(jìn)到高密度介質(zhì)時(shí)光向著交點(diǎn)的法平面折射。
圖3圖示了當(dāng)光退出聚碳酸酯而進(jìn)入空氣時(shí)光折射離開(kāi)法平面。
圖4圖示了在臨界角c下光從聚碳酸酯到空氣的折射。
圖5圖示了當(dāng)超過(guò)高密度介質(zhì)的臨界角c時(shí)光的反射。
圖6圖示了根據(jù)本發(fā)明利用全內(nèi)反射現(xiàn)象的透明環(huán)結(jié)構(gòu)的一個(gè)示例。
圖7是圖6的透明環(huán)結(jié)構(gòu)的等軸測(cè)視圖。
圖8圖示了包括參考圖6和7所描述的透明環(huán)結(jié)構(gòu)和編碼圖案的碼盤(pán)。
圖9圖示了圖8的碼盤(pán)的仰視圖，其示出了透明和不透明部分相對(duì)于內(nèi)外全內(nèi)反射表面的交替圖案。
圖10圖示了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的編碼系統(tǒng)，其包括光源、光電檢測(cè)器陣列以及與參考圖6-9所述碼盤(pán)相似的碼盤(pán)。
圖11A圖示了具有梯形橫截面的線性編碼元件70的橫截面視圖。
圖11B圖示了圖11A的線性編碼元件的等軸測(cè)視圖。
圖11C圖示了圖11A和11B中所示線性編碼元件的仰視圖。
在整個(gè)說(shuō)明書(shū)中相似的標(biāo)號(hào)可以用來(lái)表示相似的元件。
具體實(shí)施例方式
全內(nèi)反射(TIR)是光折射中的特殊現(xiàn)象。當(dāng)光從低密度介質(zhì)行進(jìn)到高密度介質(zhì)時(shí)，例如從空氣到聚碳酸酯時(shí)，其將向著交點(diǎn)的法平面折射。圖2圖示了當(dāng)光從低密度介質(zhì)34(例如折射率為1的空氣)行進(jìn)到高密度介質(zhì)36(例如折射率為n的聚碳酸酯)時(shí)光30向著交點(diǎn)的法平面32的折射。在圖2中，光在空氣中以相對(duì)于法向?yàn)閕的角度行進(jìn)，然后在聚碳酸酯中以相對(duì)于法向?yàn)閞的角度行進(jìn)。這兩個(gè)角度i和r之間的關(guān)系遵循斯涅耳定律sinisinr=n]]>當(dāng)光相反地從高密度介質(zhì)36(例如聚碳酸酯)行進(jìn)到低密度介質(zhì)34(例如空氣)時(shí)光30折射離開(kāi)法平面。圖3圖示了當(dāng)光退出聚碳酸酯而進(jìn)入空氣時(shí)光折射離開(kāi)法平面。此時(shí)，斯涅耳定律表示為sinisinr=1n]]>在此情況下，注意r＞i，并且r隨i的增大而增大。在某個(gè)時(shí)候，入射角i的增大將使得折射角等于90度(r＝90度)。產(chǎn)生90折射的入射角稱為“臨界角”c。圖4圖示了在臨界角c下光從聚碳酸酯到空氣的折射。在此情況下，斯涅耳定律表示為sincsin90=sinc=1n]]>如果入射角大于臨界角，i＞c，則發(fā)生全內(nèi)反射，并且入射光30在聚碳酸酯36內(nèi)全部反射回來(lái)，而不是折射進(jìn)入空氣34。圖5圖示了當(dāng)超過(guò)高密度介質(zhì)的臨界角c時(shí)光的反射。諸如聚碳酸酯之類(lèi)的透明材料的臨界角約為41度(c≈41度)。全內(nèi)反射的另一個(gè)特性是光在表面處的反射角與光的入射角相同。在這種關(guān)系下，i＝r，如圖5所示。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，諸如碼盤(pán)之類(lèi)的編碼元件被配置成利用全內(nèi)反射現(xiàn)象。圖6圖示了形成利用全內(nèi)反射現(xiàn)象的碼盤(pán)一部分的透明環(huán)結(jié)構(gòu)50的一個(gè)示例。透明環(huán)結(jié)構(gòu)具有內(nèi)TIR表面52和外TIR表面54，這兩個(gè)表面彼此結(jié)合作用來(lái)以有利于光學(xué)編碼的方式反射光。具體而言，內(nèi)TIR表面52形成為相對(duì)于透明環(huán)結(jié)構(gòu)的中心軸56成第一角度。內(nèi)TIR表面52的角度稱為錐角，因?yàn)閮?nèi)TIR表面的延長(zhǎng)線58相交而形成錐形(這里稱為“內(nèi)錐”)。在圖6的示例中，內(nèi)錐相對(duì)于透明環(huán)結(jié)構(gòu)中心軸的錐角是45度。外TIR表面54形成為相對(duì)于透明環(huán)結(jié)構(gòu)的中心軸56成第二角度。外TIR表面的延長(zhǎng)線60也相交而形成錐形(這里稱為“外錐”)。在圖6的示例中，外錐相對(duì)于透明環(huán)結(jié)構(gòu)中心軸56的錐角也是45度。如圖6所示，由內(nèi)TIR表面和外TIR表面的延長(zhǎng)線形成的內(nèi)錐和外錐相對(duì)于彼此是翻轉(zhuǎn)的。如下面將更詳細(xì)描述的那樣，選擇內(nèi)TIR表面和外TIR表面的角度，以使得這些表面反射作為光學(xué)編碼系統(tǒng)一部分的光束。例如，聚碳酸酯的臨界角約為41度，因此內(nèi)TIR表面和外TIR表面的角度相對(duì)于入射光束路徑的角度必須至少等于41度。除了是反射性的之外，還選擇TIR表面的角度，以在有利于光學(xué)編碼系統(tǒng)中使用的角度下反射光束。
圖6所示的透明環(huán)結(jié)構(gòu)50還包括頂表面62和底表面64。在該示例中，頂表面和底表面垂直于碼盤(pán)的中心軸(即縱軸)。
圖7是圖6的透明環(huán)結(jié)構(gòu)50的等軸測(cè)視圖。該等軸測(cè)視圖示出了參考圖6所述的內(nèi)TIR表面52和外TIR表面54。在圖6和7的示例中，透明環(huán)結(jié)構(gòu)是由諸如塑料或玻璃之類(lèi)的透明材料制成的單體結(jié)構(gòu)。透明塑料材料的示例包括聚碳酸酯、丙烯酸以及環(huán)烯烴共聚物(COC)。
碼盤(pán)需要編碼圖案來(lái)調(diào)制光束。圖8圖示了包括參考圖6和7所描述的透明環(huán)結(jié)構(gòu)50和編碼圖案72的碼盤(pán)70。在圖8的示例中，編碼圖案位于透明環(huán)結(jié)構(gòu)的底表面64處。編碼圖案包括圍繞底表面外緣的交替的透明和不透明部分?？梢允褂迷S多不同的技術(shù)來(lái)產(chǎn)生編碼圖案，所實(shí)現(xiàn)的具體技術(shù)對(duì)本發(fā)明并不重要。在一個(gè)實(shí)施例中，編碼圖案被直接模制到透明環(huán)結(jié)構(gòu)上。在另一個(gè)實(shí)施例中，將已有編碼圖案的薄外形碼盤(pán)安裝(例如通過(guò)粘結(jié)劑)到透明環(huán)結(jié)構(gòu)的底表面上。
圖9圖示了圖8的碼盤(pán)的仰視圖。該仰視圖示出了透明部分74和不透明部分76相對(duì)于內(nèi)TIR表面和外TIR表面的交替圖案。如圖8和9所示，編碼圖案并不覆蓋透明環(huán)結(jié)構(gòu)的整個(gè)底表面。就是說(shuō)，編碼圖案圍繞著底表面的外緣，留下透明環(huán)結(jié)構(gòu)的底表面的某些部分沒(méi)有編碼圖案。具體地，編碼圖案72在水平方向上與外TIR表面54對(duì)齊。就是說(shuō)，對(duì)齊編碼圖案，以使得由外TIR表面反射的光入射在編碼圖案上。在另一個(gè)實(shí)施例中，編碼圖案可以在水平方向上與內(nèi)TIR表面52對(duì)齊，而非外TIR表面。此外，在圖9的示例中，編碼圖案始終圍繞著碼盤(pán)延伸，雖然在其他實(shí)施例中編碼圖案并不始終圍繞著碼盤(pán)延伸。例如，可以使用編碼圖案的一小部分來(lái)指示碼盤(pán)的旋轉(zhuǎn)。
回來(lái)參考圖8，通過(guò)碼盤(pán)70的示例光路78相對(duì)于內(nèi)TIR表面52和外TIR表面54以及編碼圖案72被示出。示例光路在這樣的路徑上進(jìn)入透明環(huán)結(jié)構(gòu)的底部，該路徑在水平方向上與內(nèi)TIR表面對(duì)齊并相對(duì)于底表面64的平面成90度。在進(jìn)入透明環(huán)結(jié)構(gòu)時(shí)，光路以45度角入射在內(nèi)TIR表面上。因?yàn)楣饴芬?5度角(即超過(guò)臨界角的角度)與內(nèi)TIR表面相交，所以全內(nèi)反射使得光被反射。光路的總的反射角是入射角的兩倍，這在圖8的示例中等于90度。外TIR表面沿著由內(nèi)TIR表面反射的光的路徑對(duì)齊。光路以相對(duì)于外TIR表面成45度角而與外TIR表面相交，全內(nèi)反射使得光以相同的角度被反射。同樣相對(duì)于外TIR表面的入射角為45度，總的反射角等于90度。兩次反射的最終結(jié)果是從透明環(huán)結(jié)構(gòu)出來(lái)的光在平行于進(jìn)入透明環(huán)結(jié)構(gòu)的光路并與其相反的方向上行進(jìn)。
可以在這樣的編碼系統(tǒng)中利用圖8的編碼元件，該系統(tǒng)在透射下工作，同時(shí)光源和光電檢測(cè)器陣列位于編碼元件的相同側(cè)。圖10圖示了編碼系統(tǒng)80，其包括光源12、光電檢測(cè)器陣列14以及與參考圖6-9所述碼盤(pán)相似的碼盤(pán)70。如圖10所示，光78穿過(guò)碼盤(pán)的編碼圖案的透明部分，同時(shí)光源和光電檢測(cè)器陣列位于碼盤(pán)的相同側(cè)。在圖10的實(shí)施例中，光源和光電檢測(cè)器陣列形成在相同的基體13上。在工作時(shí)，碼盤(pán)繞其中心軸56旋轉(zhuǎn)，同時(shí)光束從光源輸出。例如準(zhǔn)直光束的光束在底表面64處進(jìn)入碼盤(pán)，并在水平方向上與內(nèi)TIR表面52對(duì)齊。在此示例中，光束平行于碼盤(pán)的中心軸并相對(duì)于內(nèi)TIR表面成45度角行進(jìn)。在到達(dá)內(nèi)TIR表面時(shí)，光束向著外TIR表面54被反射(由于全內(nèi)反射現(xiàn)象)。具體而言，光束相對(duì)于光束的初始路徑成90度被反射。在到達(dá)外TIR表面時(shí)，光束向著碼盤(pán)的底表面和編碼圖案72被反射(由于全內(nèi)反射現(xiàn)象)。具體而言，光束相對(duì)于光束的初始路徑成90度被反射。取決于編碼圖案的透明和不透明部分的位置，被反射的光穿過(guò)編碼圖案的透明部分或者被編碼圖案的不透明部分阻擋。穿過(guò)編碼圖案的光被光電檢測(cè)器陣列14檢測(cè)到。處理來(lái)自光電檢測(cè)器陣列的輸出信號(hào)以產(chǎn)生數(shù)字波形。使用數(shù)字波形來(lái)提供與碼盤(pán)相關(guān)的位置、速度和/或加速度信息。對(duì)于光學(xué)編碼系統(tǒng)的操作的更完整的描述參見(jiàn)美國(guó)專(zhuān)利4,451,731、4,691,101和5,241,172，其通過(guò)引用而包含于此。
雖然圖10的示例中所述的光學(xué)編碼系統(tǒng)的光束在內(nèi)TIR表面之下進(jìn)入碼盤(pán)并在外TIR表面之下離開(kāi)碼盤(pán)，但是該配置也可以倒過(guò)來(lái)，包括使編碼圖案與內(nèi)TIR表面對(duì)齊并且光束從外TIR表面之下進(jìn)入碼盤(pán)。
可以利用具有除圓形之外的其他幾何形狀的編碼元件來(lái)實(shí)現(xiàn)光學(xué)編碼。例如，相同的全內(nèi)反射原理可以應(yīng)用到線性編碼元件。例如，圖11A圖示了具有梯形橫截面的線性編碼元件70的橫截面視圖。圖11B圖示了圖11A的線性編碼元件的等軸測(cè)視圖。圖11C圖示了圖11A和11B中所示線性編碼元件的仰視圖。該仰視圖還圖示了編碼圖案72的透明部分74和不透明部分76。
雖然TIR表面傾斜45度，但是應(yīng)該理解在此應(yīng)用中正負(fù)約2度的公差是可以接受的。此外，其他實(shí)現(xiàn)可以使用具有相對(duì)于入射光的光路成其他角度的TIR表面。
雖然編碼圖案被描述為與透明環(huán)結(jié)構(gòu)一體或安裝到其上。但是這并不是必要的。例如，編碼圖案可以相對(duì)于透明環(huán)結(jié)構(gòu)定向成這樣，即在光束已經(jīng)反射通過(guò)透明環(huán)結(jié)構(gòu)之后接收該光束。
雖然已經(jīng)描述并解釋了本發(fā)明的具體實(shí)施例，但是本發(fā)明并不限于所描述和解釋的具體形式或布置。本發(fā)明的范圍應(yīng)由所附權(quán)利要求及其等同方案所限定。
權(quán)利要求
1.一種編碼元件，包括透明結(jié)構(gòu)，其具有用于反射光束的第一全內(nèi)反射表面；第二全內(nèi)反射表面，相對(duì)于所述第一全內(nèi)反射表面定向成接收從所述第一全內(nèi)反射表面反射的所述光束并反射所述光束；和在所述光束從所述第一全內(nèi)反射表面和所述第二全內(nèi)反射表面反射之后所述光束的光路中對(duì)齊的編碼圖案。
2.如權(quán)利要求1所述的編碼元件，其中所述第一全內(nèi)反射表面和所述第二全內(nèi)反射表面兩者都相對(duì)于相同的軸成45度角。
3.如權(quán)利要求1所述的編碼元件，其中所述第一全內(nèi)反射表面和所述第二全內(nèi)反射表面兩者都相對(duì)于這樣的軸成45度角，所述軸與所述光束到達(dá)所述第一全內(nèi)反射表面之前所述光束的光路平行。
4.如權(quán)利要求1所述的編碼元件，其中所述透明結(jié)構(gòu)是環(huán)形結(jié)構(gòu)。
5.如權(quán)利要求1所述的編碼元件，其中所述透明結(jié)構(gòu)是梯形結(jié)構(gòu)。
6.如權(quán)利要求1所述的編碼元件，其中所述透明結(jié)構(gòu)用透明塑料形成。
7.如權(quán)利要求1所述的編碼元件，其中所述編碼圖案模制在所述透明結(jié)構(gòu)上。
8.如權(quán)利要求1所述的編碼元件，其中所述編碼圖案安裝到所述透明結(jié)構(gòu)上。
9.一種碼盤(pán)，包括透明環(huán)結(jié)構(gòu)，其具有用于反射光束的內(nèi)全內(nèi)反射表面和外全內(nèi)反射表面，其中所述內(nèi)全內(nèi)反射表面和所述外全內(nèi)反射表面彼此相對(duì)定位成使得所述光束從所述全內(nèi)反射表面中的一個(gè)反射到另一個(gè)全內(nèi)反射表面；和在所述光束從所述內(nèi)全內(nèi)反射表面和所述外全內(nèi)反射表面兩者反射之后所述光束的光路中對(duì)齊的編碼圖案。
10.如權(quán)利要求9所述的碼盤(pán)，其中所述內(nèi)全內(nèi)反射表面和所述外全內(nèi)反射表面以錐角傾斜，其中由所述錐角形成的錐形彼此相對(duì)翻轉(zhuǎn)。
11.如權(quán)利要求10所述的碼盤(pán)，其中所述錐角相對(duì)于所述透明環(huán)結(jié)構(gòu)的中心軸為45度。
12.如權(quán)利要求9所述的碼盤(pán)，其中所述內(nèi)全內(nèi)反射表面和所述外全內(nèi)反射表面兩者都相對(duì)于所述透明環(huán)結(jié)構(gòu)的中心軸成45度角。
13.如權(quán)利要求9所述的碼盤(pán)，其中所述內(nèi)全內(nèi)反射表面和所述外全內(nèi)反射表面兩者都相對(duì)于這樣的軸成45度角，所述軸與所述光束首先到達(dá)所述內(nèi)全內(nèi)反射表面或所述外全內(nèi)反射表面之一以前所述光束的光路平行。
14.如權(quán)利要求9所述的碼盤(pán)，其中所述編碼圖案模制在所述透明環(huán)結(jié)構(gòu)上。
15.如權(quán)利要求9所述的碼盤(pán)，其中所述編碼圖案安裝到所述透明環(huán)結(jié)構(gòu)上。
16.一種光學(xué)編碼系統(tǒng)，包括具有透明結(jié)構(gòu)和編碼圖案的編碼元件；所述透明結(jié)構(gòu)具有用于反射光束的第一全內(nèi)反射表面；第二全內(nèi)反射表面，相對(duì)于所述第一全內(nèi)反射表面定向成接收從所述第一全內(nèi)反射表面反射的所述光束并反射所述光束；在所述光束從所述第一全內(nèi)反射表面和所述第二全內(nèi)反射表面反射之后所述光束的光路中對(duì)齊的編碼圖案；光源，相對(duì)于所述編碼元件配置成向著所述編碼元件的所述第一全內(nèi)反射表面引導(dǎo)光束；和光電檢測(cè)器陣列，相對(duì)于所述編碼元件配置成這樣，即在所述光束從所述第一全內(nèi)反射表面和所述第二全內(nèi)反射表面兩者反射并穿過(guò)所述編碼圖案之后檢測(cè)來(lái)自所述光源的所述光束。
17.如權(quán)利要求16所述的光學(xué)編碼系統(tǒng)，其中所述光源輸出準(zhǔn)直光束。
18.如權(quán)利要求16所述的光學(xué)編碼系統(tǒng)，其中所述第一全內(nèi)反射表面和所述第二全內(nèi)反射表面兩者都相對(duì)于這樣的軸成45度角，所述軸與所述光束到達(dá)所述第一全內(nèi)反射表面之前所述光束的光路平行。
19.如權(quán)利要求16所述的光學(xué)編碼系統(tǒng)，其中所述透明結(jié)構(gòu)是環(huán)形結(jié)構(gòu)。
20.如權(quán)利要求16所述的光學(xué)編碼系統(tǒng)，其中所述透明結(jié)構(gòu)是梯形結(jié)構(gòu)。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種諸如碼盤(pán)之類(lèi)的編碼元件，其包括第一和第二表面，這兩個(gè)表面相對(duì)于彼此并相對(duì)于光束被配置成這樣，即使得利用全內(nèi)反射的光學(xué)現(xiàn)象而使光束在兩個(gè)表面處反射。編碼元件還包括在光束從這兩個(gè)表面反射之后所述光束的光路中對(duì)齊的編碼圖案?？梢栽谶@樣的編碼系統(tǒng)中利用具有通過(guò)全內(nèi)反射來(lái)反射光束的表面的編碼元件，該系統(tǒng)在透射下工作，同時(shí)光源和光電檢測(cè)器陣列位于編碼元件的相同側(cè)。
文檔編號(hào)G01D5/347GK1740752SQ20051007218
公開(kāi)日2006年3月1日 申請(qǐng)日期2005年5月23日 優(yōu)先權(quán)日2004年8月25日
發(fā)明者陳日隆, 傅相隆, 重赤孔 申請(qǐng)人:安捷倫科技有限公司