專利名稱：載物臺(tái)裝置和圖像測(cè)量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及載物臺(tái)裝置和圖像測(cè)量裝置。例如，所涉及的載物臺(tái)裝置可通過透射照明來照明被測(cè)量物，其可用于圖像測(cè)量裝置中，該圖像測(cè)量裝置根據(jù)所拍攝到的被測(cè)量物的圖像數(shù)據(jù)來測(cè)量被測(cè)量物的形狀、尺寸等。
背景技術(shù)：
以往，人們知道有一種圖像測(cè)量裝置，它根據(jù)所拍攝到的被測(cè)量物的圖像來測(cè)量被測(cè)量物的形狀、尺寸(例如文獻(xiàn)日本專利公開公報(bào)特開2001-41711號(hào))。
例如如圖8所示，這種圖像測(cè)量裝置具有放置玻璃210，它作為載物臺(tái)來放置被測(cè)量物W；拍攝構(gòu)件514，它用于拍攝被測(cè)量物W；照明構(gòu)件700，它透過放置玻璃210對(duì)被測(cè)量物W進(jìn)行透射照明；移動(dòng)機(jī)構(gòu)600，它根據(jù)被測(cè)量物W的被測(cè)量部位來移動(dòng)拍攝構(gòu)件514和照明構(gòu)件700；分析部(未圖示)，它對(duì)由拍攝構(gòu)件514所拍攝到的圖像進(jìn)行分析處理。
放置玻璃210具有載物面211，其由沒有凹凸和起伏的平面形成，用于放置被測(cè)量物W。
移動(dòng)機(jī)構(gòu)600具有Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)610，它使拍攝構(gòu)件514和拍攝構(gòu)件700沿Y方向移動(dòng)，該Y方向與放置玻璃210的載物面211平行；X移動(dòng)機(jī)構(gòu)620，它使拍攝構(gòu)件514和拍攝構(gòu)件700沿X方向移動(dòng)，該X方向與放置玻璃210的載物面211平行，但與Y方向垂直。
Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)610具有Y軸導(dǎo)向部611、611，它們互相平行地配設(shè)于與載物面211平行的面內(nèi)，其間設(shè)置有放置玻璃210；Y滑動(dòng)器612、612，它們分別可在Y軸導(dǎo)向部611、611上滑動(dòng)。
X移動(dòng)機(jī)構(gòu)620具有第1X軸導(dǎo)向部621，其兩腳部固定設(shè)置于Y滑動(dòng)器612、612上，且其呈與放置玻璃210平行狀配置于放置玻璃210的載物面211側(cè)；第2X軸導(dǎo)向部622，其兩腳部固定設(shè)置于Y滑動(dòng)器612、612上，且其呈與放置玻璃210平行狀配置于與放置玻璃210的載物面211相反一側(cè)；第1X滑動(dòng)器623，它可在第1X軸導(dǎo)向部621上滑動(dòng)；第2X滑動(dòng)器624，它可在第2X軸導(dǎo)向部622上滑動(dòng)。
拍攝構(gòu)件514安裝于第1X滑動(dòng)器623上，照明構(gòu)件700安裝于第2X滑動(dòng)器624上。
在這種構(gòu)造中，在放置玻璃210的載物面211上作為被測(cè)量物W放置有例如顯示板。對(duì)應(yīng)被測(cè)量部位，通過Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)610和X移動(dòng)機(jī)構(gòu)620來移動(dòng)拍攝構(gòu)件514和照明構(gòu)件700。用照明機(jī)構(gòu)700進(jìn)行透射照明并用拍攝構(gòu)件514對(duì)被測(cè)量物W進(jìn)行拍攝。于是根據(jù)圖像數(shù)據(jù)，由分析部(未圖示)進(jìn)行圖像分析，從而測(cè)量出被測(cè)量物W的形狀、尺寸等。
近年來，被測(cè)量物W趨向于大型化，例如，作為被測(cè)量物W的顯示板大小為2500mm×2500mm。為了放置該大型被測(cè)量物W而致使放置玻璃210也不得不大型化。
然而，若單純?cè)龃蠓胖貌Ａ?10則會(huì)產(chǎn)生由自身重量引起的撓曲。例如，厚度25mm、2500mm×2500mm的玻璃由自身重量引起的撓曲為約0.8mm～1.8mm。由于像這樣放置玻璃210撓曲之后，被測(cè)量物也產(chǎn)生撓曲，所以無法進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量。
在這里，也考慮到為了調(diào)整這種放置玻璃210的撓曲而用支承件支承在放置玻璃210的下表面。然而在這種情況下，由于支承件的阻擋而導(dǎo)致照明構(gòu)件700無法移動(dòng)到某些部位，從而產(chǎn)生了無法照明的區(qū)域。
因此，人們迫切希望能有一種用于透射照明大型被測(cè)量物W的構(gòu)造。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于，提供一種載物臺(tái)裝置和圖像測(cè)量裝置，它能夠保證載物面的平面度且可大型化。
本發(fā)明的載物臺(tái)裝置的特征在于具有透光性板材，在其上表面上具有大致平面的載物面，在該載物面上放置有規(guī)定工件；面狀的面發(fā)光體，它設(shè)置在上述透光性板材的下表面的大致整面上，透過上述透光性板材而對(duì)上述工件進(jìn)行透射照明；平面度調(diào)整構(gòu)件，它支承上述面發(fā)光體下表面?zhèn)鹊亩鄠€(gè)點(diǎn)，并通過分別調(diào)整所支承各點(diǎn)的高度而調(diào)整上述載物面的平面度。
采用該構(gòu)造，能夠由平面度調(diào)整構(gòu)件來進(jìn)行載物面的平面調(diào)整。于是由于載物面一直維持為平面，所以例如在對(duì)放置于載物面上的工件進(jìn)行拍攝測(cè)量時(shí)能夠提高測(cè)量精度。
在現(xiàn)有技術(shù)中，由于為了透射照明而必須移動(dòng)照明構(gòu)件，所以必須在透光性板材的下表面?zhèn)仍O(shè)置移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
關(guān)于這一點(diǎn)，在本發(fā)明中，由于面發(fā)光體沿透光性板材的下表面的大致整個(gè)面設(shè)置，所以即使不移動(dòng)照明構(gòu)件也能從透光性板材的大致整面進(jìn)行透射照明。因而由于取消了移動(dòng)機(jī)構(gòu)所以能夠降低零件成本和組裝成本。
另外，由于具有面發(fā)光體而取消了移動(dòng)照明構(gòu)件的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所以可設(shè)置平面度調(diào)整構(gòu)件，用于從透光性板材的下表面?zhèn)日{(diào)整透光性板材的平面度。因此，即使在透光性板材大型化的情況下也能由平面度調(diào)整構(gòu)件來維持透光性板材的平面度。
例如，通過維持一邊長2500mm的大型透光性板材的平面度并可在大致整面上進(jìn)行透射性照明，所以非常適用于大型的顯示板等的透射照明。
另外通過設(shè)置平面度調(diào)整構(gòu)件，可不必由透光性板材自身的剛性來維持載物面的平面度，所以透光性板材為小的剛性即可，另外透光性板材的厚度也可減薄。從而降低了部件成本。
其中作為形成透光性板材的材料例舉了例如無機(jī)玻璃，但除此以外，其材料也可以是例如由透光性樹脂制成的有機(jī)玻璃(例如丙烯樹脂)。
在本發(fā)明中，上述平面度調(diào)整構(gòu)件最好為具有支柱的支柱構(gòu)件，該支柱配設(shè)在上述面發(fā)光體下表面?zhèn)鹊囊?guī)定的多個(gè)位置上且可上下進(jìn)退。
采用該構(gòu)造，可通過支柱構(gòu)件來使面發(fā)光體的下表面?zhèn)鹊母叨扰c規(guī)定的多個(gè)點(diǎn)相一致，由此使載物面的高度相一致，從而進(jìn)行載物面的平面調(diào)整。
在本發(fā)明中，上述平面度調(diào)整構(gòu)件最好具有高度檢測(cè)構(gòu)件，用于檢測(cè)上述面發(fā)光體下表面?zhèn)鹊囊?guī)定多個(gè)點(diǎn)的高度；控制構(gòu)件，它根據(jù)上述高度檢測(cè)構(gòu)件的檢測(cè)結(jié)果，對(duì)支承上述面發(fā)光體下表面?zhèn)鹊囊?guī)定多個(gè)點(diǎn)的高度進(jìn)行控制。
采用該構(gòu)造，可根據(jù)高度檢測(cè)構(gòu)件的檢測(cè)結(jié)果，由控制構(gòu)件來進(jìn)行控制，使得規(guī)定的多個(gè)點(diǎn)的高度相一致。因而可一直自動(dòng)維持載物面的平行度。
本發(fā)明的載物臺(tái)裝置的特征在于具有透光性板材，在其上表面上具有大致平面的載物面，在該載物面上放置有規(guī)定工件；面狀的面發(fā)光體，它設(shè)置在上述透光性板材的下表面的大致整面上，透過上述透光性板材而對(duì)上述工件進(jìn)行透射照明；基板，它具有規(guī)定的剛度，并與上述透光性板材夾著上述面發(fā)光體而設(shè)置于上述透光性板材的相對(duì)側(cè)。
采用該構(gòu)造，可由基板的剛性來向透光性板材提供剛性，從而維持載物面的平面度。
另外，若由基板來向透光性板材提供剛性，則由于可均一地對(duì)剛體表面進(jìn)行加工，所以可將載物面加工成高精度的平面。
在本發(fā)明中，上述面發(fā)光體最好分為多個(gè)零件并對(duì)其中每個(gè)零件都進(jìn)行發(fā)光控制。
采用該構(gòu)造，可只使需要發(fā)光的部分(零件)發(fā)光。由此可比整面照明的情況節(jié)省所消耗的電力。例如與2500mm×2500mm的整面整體發(fā)光的情況相比，由于可只使必要部分發(fā)光，所以可有效削減所消耗的電力。特別是作為面發(fā)光體使用例如EL等時(shí)，由于在得到同等亮度的前提下，面積越小、電壓越低越好，所以通過減少發(fā)光面積可有效謀求省電力化。
另外，由于通過減少發(fā)光面積可減少面發(fā)光體的發(fā)熱量，所以能夠降低載物臺(tái)裝置以及該載物臺(tái)裝置上所放置的工件(例如被測(cè)量物)所受的熱影響。于是可抑制透光性板材和工件的熱變形，例如，當(dāng)在測(cè)量裝置中使用這種載物臺(tái)裝置時(shí)能夠提高測(cè)量精度。
另外，通過只使必要部分發(fā)光，與大面積整體發(fā)光的情況相比可抑制光亮刺激眼部，當(dāng)使用該載物臺(tái)裝置時(shí)操作容易。
在本發(fā)明中，最好是具有光反射板，且其與上述透光性板材夾著上述面發(fā)光體而設(shè)置于上述透光性板材的相對(duì)側(cè)。
采用該構(gòu)造，反射到與透光性板材相反一側(cè)的光也可被反射板反射，可使從面發(fā)光體發(fā)射出的光都朝向透光性板材。由此，由于透射照明的亮度高，所以例如放置于透光性板材上的工件的細(xì)微的形狀也可照得清楚。
在這里，本發(fā)明中特別是具有光反射板，且其與上述透光性板材夾著上述面發(fā)光體而設(shè)置于上述透光性板材的相對(duì)側(cè)，上述面發(fā)光體最好是分為多個(gè)零件并對(duì)其中每個(gè)上述零件都進(jìn)行發(fā)光控制。
采用該構(gòu)造，面發(fā)光體的零件連接點(diǎn)的部分也可由反射板的反射光得到透射照明光。因此，通過將面發(fā)光體分成零件，可獲得以下效果，即不但能省電化、抑制發(fā)熱，而且照明部分不會(huì)出現(xiàn)暗部，能對(duì)放置于透光性板材上的工件的必要部位進(jìn)行有效照明。
本發(fā)明的圖像測(cè)量裝置的特征在于具有上述本發(fā)明的載物臺(tái)裝置；拍攝構(gòu)件，它可對(duì)放置于上述載物臺(tái)裝置的上述載物面上的上述工件進(jìn)行拍攝；移動(dòng)機(jī)構(gòu)，它可使上述工件與上述拍攝構(gòu)件進(jìn)行三個(gè)坐標(biāo)方向的移動(dòng)；分析部，它可根據(jù)上述拍攝構(gòu)件所拍攝到的圖像數(shù)據(jù)來分析上述工件的形狀或尺寸。
采用該構(gòu)造，可根據(jù)上述拍攝構(gòu)件所拍攝到的圖像數(shù)據(jù)，由分析部來分析工件的形狀或尺寸。
在本圖像測(cè)量裝置中，可實(shí)現(xiàn)載物臺(tái)裝置大型化且維持載物面的平面度，所以可有效適用于大型的工件例如大型顯示板的圖像測(cè)量。而且通過將載物面維持為高精度的平面，不但提高了測(cè)量精度，而且例如只需進(jìn)行一次對(duì)焦，所以提高了測(cè)量效率。


圖1是本發(fā)明的載物臺(tái)裝置的第1實(shí)施方式的剖視圖。
圖2是上述第1實(shí)施方式的立體圖。
圖3是本發(fā)明的載物臺(tái)裝置的第2實(shí)施方式的剖視圖。
圖4是本發(fā)明的載物臺(tái)裝置的第3實(shí)施方式的剖視圖。
圖5是本發(fā)明的改型例1的構(gòu)造圖。
圖6是在上述改型例1中，用于使梁支承體滑動(dòng)的內(nèi)部構(gòu)造圖。
圖7是表示作為本發(fā)明的改型例，將面發(fā)光體分成多個(gè)零件的載物臺(tái)裝置的圖。
圖8是表示現(xiàn)有技術(shù)的圖像測(cè)量裝置的一部分的圖。
具體實(shí)施例方式
以下圖示了本發(fā)明的實(shí)施方式，并參照對(duì)圖中各要素標(biāo)注的符號(hào)對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。
(第1實(shí)施方式)對(duì)本發(fā)明的載物臺(tái)裝置的第1實(shí)施方式進(jìn)行說明。
圖1是載物臺(tái)裝置的剖視圖，圖2是載物臺(tái)裝置的立體圖。
載物臺(tái)裝置100具有臺(tái)部200，它放置規(guī)定的工件W并從下表面?zhèn)葘?duì)該工件W進(jìn)行照明；支承部(平面度調(diào)整構(gòu)件)300，它支承臺(tái)部200并調(diào)整臺(tái)部200的平面度。
臺(tái)部200具有放置玻璃(透光性板材)210，其上表面具有加工成平面的載物面211；面發(fā)光體220，它沿放置玻璃210的大致整面貼設(shè)其下表面上；反射板230，它貼設(shè)于面發(fā)光體220的下表面上。
放置玻璃210為面積較大的大型板狀玻璃，例如具有2500mm×2500mm的尺寸。其中厚度不必太厚，例如約10mm～25mm即可。
面發(fā)光體220由面狀發(fā)光體構(gòu)成，該發(fā)光體通過被加載規(guī)定電壓而發(fā)光。作為這種面發(fā)光體220，例如可使用有機(jī)EL或無機(jī)EL(電發(fā)光electroluminescence元件)等。其中，由控制這種面發(fā)光體220發(fā)光的規(guī)定驅(qū)動(dòng)回路(未圖示)來向面發(fā)光體220加載電壓。
反射板230為反射光的薄板，從面發(fā)光體220發(fā)出的光反射后朝向放置玻璃210一方。
支承部300具有多個(gè)支承件(支柱構(gòu)件)310，它們均勻配設(shè)于反射板230的下表面上。例如在圖2中，在臺(tái)部200的四角與中央配設(shè)有支承件310。支承件310具有桿(支柱)311，它與反射板230的下表面抵接并支承著臺(tái)部200；筒狀的保持部312，它保持桿311，使其可上下移動(dòng)。
其中，載物臺(tái)裝置100設(shè)置于規(guī)定的固定面900上。
接下來對(duì)具有這種構(gòu)造的第1實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說明。
在對(duì)規(guī)定的工件W進(jìn)行透射照明時(shí)，首先要確認(rèn)載物面211的平面度。然后，例如當(dāng)因放置玻璃210的撓曲而引起中央部凹陷等，載物面211的平面度處于允許范圍以外時(shí)，使支承件310的桿311上下移動(dòng)從而調(diào)整放置玻璃210的平面度。
載物面211被調(diào)整為沒有凹凸或起伏的平面，將工件W放置于載物面211上，使面發(fā)光體220發(fā)光。于是工件W經(jīng)放置玻璃210而被透射照明。
根據(jù)該第1實(shí)施方式，可達(dá)到以下效果。
(1)由于可通過支承部300的支承件310來進(jìn)行載物面211的平面調(diào)整，所以載物面211恒維持為平面。于是即使放置玻璃210大型化，也能通過支承件310來調(diào)整平面度，從而維持載物面211的平面度。
(2)由于面發(fā)光體220沿放置玻璃210下表面的整個(gè)表面設(shè)置，所以例如即使不移動(dòng)照明構(gòu)件也能從放置玻璃210的大致整個(gè)面進(jìn)行透射照明。由此可通過取消移動(dòng)機(jī)構(gòu)來降低零件成本或組裝成本。
接下來對(duì)本發(fā)明的載物臺(tái)裝置的第2實(shí)施方式進(jìn)行說明。
第2實(shí)施方式的基本構(gòu)造與第1實(shí)施方式同樣其特征部分在于作為平面度調(diào)整構(gòu)件的支承部構(gòu)造。
圖3是第2實(shí)施方式的剖視圖。在圖3中，支承部400具有多個(gè)支承件410，它配設(shè)于規(guī)定位置上；位移檢測(cè)構(gòu)件(高度檢測(cè)構(gòu)件)420，它配設(shè)于臺(tái)部200的下表面上，從而檢測(cè)臺(tái)部200的撓曲量；控制構(gòu)件430，它根據(jù)位移檢測(cè)構(gòu)件420的檢測(cè)結(jié)果來控制支承件410的上下移動(dòng)。
支承件410具有桿411，它在規(guī)定位置支承臺(tái)部200；驅(qū)動(dòng)部412，它上下驅(qū)動(dòng)桿。驅(qū)動(dòng)部412例如由電動(dòng)機(jī)構(gòu)成。
位移檢測(cè)構(gòu)件420例如由電動(dòng)測(cè)微儀構(gòu)成，在臺(tái)部200的下表面上的預(yù)定位置上配設(shè)有多個(gè)。
在這種構(gòu)造中，由位移檢測(cè)構(gòu)件420來檢測(cè)臺(tái)部200的撓曲等后，控制構(gòu)件430根據(jù)位移檢測(cè)構(gòu)件420的檢測(cè)結(jié)果而使支承件410的桿411上下移動(dòng)，從而控制載物面211成為沒有凹凸或撓曲的平面。
根據(jù)該第2實(shí)施方式，除上述實(shí)施方式的效果外還可達(dá)到以下效果。
(3)根據(jù)位移檢測(cè)構(gòu)件420的檢測(cè)結(jié)果，由控制構(gòu)件430來控制桿411的上下移動(dòng)，使得臺(tái)部200的多個(gè)點(diǎn)的高度相一致。因此一直能自動(dòng)維持載物面211的平面度。
另外，例如在一邊為2500mm的放置玻璃210上，其中央部的凹陷量為約0.8～1.8mm，所以手動(dòng)調(diào)整支承件較為困難，而由控制構(gòu)件430對(duì)支承件410進(jìn)行自動(dòng)控制則可實(shí)現(xiàn)對(duì)載物面211的高精度的平面調(diào)整。
接下來對(duì)本發(fā)明的載物臺(tái)裝置的第3實(shí)施方式進(jìn)行說明。
第3實(shí)施方式的基本構(gòu)造與第1實(shí)施方式同樣，但其特征部分在于平面度調(diào)整構(gòu)件的構(gòu)造上。
在圖4中，載物臺(tái)裝置100具有放置玻璃210；面發(fā)光體220，它貼設(shè)于放置玻璃210的下表面上；基板240，它貼設(shè)于面發(fā)光體220的下表面上。
基板240為硬質(zhì)板材，例如使用石板等。而且基板240既可作為反射板反射來自面發(fā)光體220的光，使其朝向放置玻璃210側(cè)，又可作為平面度調(diào)整構(gòu)件用于維持放置玻璃210的平面度。
根據(jù)該第3實(shí)施方式，除上述實(shí)施方式的效果外還可達(dá)到以下效果。
(4)由基板240的剛性向放置玻璃210提供剛性，從而維持載物面211的平面度。于是由于基板240向放置玻璃210提供剛性，所以可將載物面211加工成為高精度的平面。
(改型例1)接下來，作為本發(fā)明的改型例1，對(duì)使用載物臺(tái)裝置的圖像測(cè)量裝置進(jìn)行說明。
圖5是表示了作為圖像測(cè)量裝置的圖像測(cè)量系統(tǒng)500的構(gòu)造。
圖像測(cè)量系統(tǒng)500具有圖像測(cè)量機(jī)510、控制部520、輸入構(gòu)件530、輸出構(gòu)件540。
圖像測(cè)量機(jī)510具有成為基板的架臺(tái)511；放置部512，它配設(shè)于架臺(tái)511上，用于放置工件W；拍攝構(gòu)件514，它對(duì)工件W進(jìn)行拍攝；移動(dòng)機(jī)構(gòu)515，它使拍攝構(gòu)件514和工件W可沿三個(gè)方向移動(dòng)。
放置部512具有基臺(tái)部513，它具有朝向上方開口的收納空間；載物臺(tái)裝置100，它配設(shè)于基臺(tái)部513的收納空間中。
載物臺(tái)裝置100可使用上述第1、第2、第3實(shí)施方式中說明的載物臺(tái)裝置。
拍攝構(gòu)件514例如可使用CCD照相機(jī)。
移動(dòng)機(jī)構(gòu)515具有梁支承體516、516，它立設(shè)于基臺(tái)部513的兩端邊并可前后自由移動(dòng)；X梁517，它被梁支承體516、516的上端所支承；Z滑動(dòng)器518，它設(shè)置于X梁517上并可相對(duì)于該X梁517自由滑動(dòng)。
拍攝構(gòu)件514以從Z滑動(dòng)器518上垂下的狀態(tài)安裝于Z滑動(dòng)器518的前端。
在這里，如圖6的內(nèi)部構(gòu)造圖所示，作為沿基臺(tái)部513的邊(沿Y方向)以可滑動(dòng)的方式設(shè)置梁支承體516、516的構(gòu)造，有以下結(jié)構(gòu)為例，即在架臺(tái)511的兩邊上，由導(dǎo)軌519A支承梁支承體516并通過與進(jìn)給絲杠519B之間的螺合而移動(dòng)。其中也可以是梁支承體516、516固定于基臺(tái)部513上，載物臺(tái)裝置100在收納空間內(nèi)(沿Y方向)滑動(dòng)。
控制部520具有運(yùn)動(dòng)控制器521，它控制移動(dòng)機(jī)構(gòu)515的移動(dòng)；主機(jī)522，它根據(jù)拍攝構(gòu)件514所拍攝到的圖像數(shù)據(jù)來分析工件W的形狀、尺寸。
其中運(yùn)動(dòng)控制器521也可以控制載物臺(tái)裝置100的支承件(310、410)從而進(jìn)行載物面211的平面度調(diào)整，或?qū)虞d于面發(fā)光體220上的電壓進(jìn)行控制從而來控制面發(fā)光體220的發(fā)光。
作為輸入構(gòu)件530例示有鍵盤等，作為輸出構(gòu)件例示有顯示器或打印機(jī)等。
接下來說明由該構(gòu)造構(gòu)成的改型例1的動(dòng)作。
首先在載物臺(tái)裝置100的載物面211上放置工件。此時(shí)由平面度調(diào)整構(gòu)件(支承部)對(duì)載物面211進(jìn)行平面調(diào)整，使其成為沒有凹凸或起伏的平面。
在該狀態(tài)下，利用面發(fā)光體220的發(fā)光，從工件W的下表面透過放置玻璃210進(jìn)行透射照明。
由運(yùn)動(dòng)控制器521的動(dòng)作控制來驅(qū)動(dòng)移動(dòng)機(jī)構(gòu)515，攝像構(gòu)件514對(duì)應(yīng)工件W的測(cè)量部位而移動(dòng)。于是由拍攝構(gòu)件514對(duì)工件W進(jìn)行拍攝。
由主機(jī)522的分析部(未圖示)對(duì)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，然后由輸出構(gòu)件540輸出工件W的形狀、尺寸。
采用具有該構(gòu)造的改型例1，除上述實(shí)施方式的效果外還能夠達(dá)到以下效果。
(5)由于載物臺(tái)裝置100可大型化且能維持載物面211的平面度，所以可進(jìn)行大型的工件W例如大型顯示板的圖像測(cè)量。而且由于可維持載物面211為高精度平面，所以不僅提高了測(cè)量精度，而且只進(jìn)行一次拍攝構(gòu)件514的對(duì)焦即可。因此提高了測(cè)量效率。
本發(fā)明并不僅限于上述實(shí)施方式，本發(fā)明還包括在可實(shí)現(xiàn)本發(fā)明目的的范圍內(nèi)的改型和改良。
例如除無機(jī)玻璃外，也可以由有機(jī)玻璃制成透光性板材。
另外，也可以是放置玻璃、面發(fā)光體以及反射板被分成瓦片狀的多個(gè)部分，逐個(gè)部分地進(jìn)行面發(fā)光體的發(fā)光控制、以及由支承件進(jìn)行的高度調(diào)整等。而且如圖7所示，若面發(fā)光體分割為多個(gè)零件，則為了防止零件的連接點(diǎn)部分產(chǎn)生暗部，最好在與放置玻璃的相對(duì)側(cè)設(shè)置反射板，使該光反射板與放置玻璃夾著面發(fā)光體狀。
作為改型例展示了將載物臺(tái)裝置組裝入圖像測(cè)量裝置中的例子，當(dāng)然也可以將載物臺(tái)裝置組裝入例如顯微鏡等光學(xué)測(cè)量裝置中。
權(quán)利要求
1.一種載物臺(tái)裝置，其特征在于，具有透光性板材，在其上表面上具有大致為平面的載物面，在該載物面上放置規(guī)定工件；面狀的面發(fā)光體，其設(shè)置在上述透光性板材的下表面的大致整個(gè)表面上，透過上述透光性板材對(duì)上述工件進(jìn)行透射照明；平面度調(diào)整構(gòu)件，它支承上述面發(fā)光體下表面?zhèn)鹊亩鄠€(gè)點(diǎn)，并通過分別調(diào)整所支承各點(diǎn)的高度而調(diào)整上述載物面的平面度。
2.如權(quán)利要求1所述的載物臺(tái)裝置，其特征在于，上述平面度調(diào)整構(gòu)件為具有支柱的支柱構(gòu)件，該支柱配設(shè)在上述面發(fā)光體下表面?zhèn)鹊囊?guī)定的多個(gè)位置上且可上下進(jìn)退。
3.如權(quán)利要求1所述的載物臺(tái)裝置，其特征在于，上述平面度調(diào)整構(gòu)件具有高度檢測(cè)構(gòu)件，用于檢測(cè)上述面發(fā)光體下表面?zhèn)鹊囊?guī)定的多個(gè)點(diǎn)的高度；控制構(gòu)件，它根據(jù)上述高度檢測(cè)構(gòu)件的檢測(cè)結(jié)果，對(duì)支承上述面發(fā)光體下表面?zhèn)鹊囊?guī)定的多個(gè)點(diǎn)的高度進(jìn)行控制。
4.一種載物臺(tái)裝置，其特征在于，具有透光性板材，在其上表面上具有大致平面的載物面，在該載物面上放置規(guī)定工件；面狀的面發(fā)光體，它設(shè)置在上述透光性板材的下表面的大致整個(gè)表面上，來自上述發(fā)光體的光從上述透光性板材透射而對(duì)上述工件進(jìn)行透射照明；基板，它具有規(guī)定的剛度，并與上述透光性板材夾著上述面發(fā)光體而設(shè)置于上述透光性板材的相對(duì)側(cè)。
5.如權(quán)利要求1至權(quán)利要求4中任一項(xiàng)所述的載物臺(tái)裝置，其特征在于，上述面發(fā)光體分為多個(gè)部件并對(duì)其中每個(gè)部件都進(jìn)行發(fā)光控制。
6.如權(quán)利要求1至權(quán)利要求4中任一項(xiàng)所述的載物臺(tái)裝置，其特征在于，具有光反射板，該光反射板與上述透光性板材夾著上述面發(fā)光體而設(shè)置于上述透光性板材的相對(duì)側(cè)。
7.一種圖像測(cè)量裝置，其特征在于，具有如權(quán)利要求1至權(quán)利要求6中任一項(xiàng)所述的載物臺(tái)裝置；拍攝構(gòu)件，它可對(duì)放置于上述載物臺(tái)裝置的上述載物面上的上述工件進(jìn)行拍攝；移動(dòng)機(jī)構(gòu)，它可使上述工件與上述拍攝構(gòu)件進(jìn)行三維坐標(biāo)方向上的移動(dòng)；分析部，它可根據(jù)上述拍攝構(gòu)件所拍攝到的圖像數(shù)據(jù)來分析上述工件的形狀或尺寸。
全文摘要
一種載物臺(tái)裝置，它具有放置玻璃(210)，在其上表面上具有大致平面的載物面(211)，在該載物面(211)上放置有規(guī)定工件(W)；面狀的面發(fā)光體(220)，它設(shè)置在放置玻璃(210)的下表面的大致整面上，透過放置玻璃(210)而對(duì)工件(W)進(jìn)行透射照明；支承部(300)，它支承面發(fā)光體(220)下表面?zhèn)鹊亩鄠€(gè)點(diǎn)，并通過分別調(diào)整所支承各點(diǎn)的高度而調(diào)整載物面(211)的平面度。
文檔編號(hào)G01B11/00GK1707248SQ20051007667
公開日2005年12月14日 申請(qǐng)日期2005年6月13日 優(yōu)先權(quán)日2004年6月11日
發(fā)明者上山修一, 西辻豐 申請(qǐng)人:株式會(huì)社三豐