專利名稱：加速度傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及加速度傳感器，更具體地，涉及一種改善了抗沖擊性的半導(dǎo)體加速度傳感器。
背景技術(shù)：
為了實現(xiàn)例如移動的物體(如汽車、輪船)以及機器人、機械制造裝置或由用戶控制和使用的移動裝置如筆記本個人電腦、便攜電話、PDA(個人數(shù)字助理)、DVC(數(shù)碼攝像機)、DSC(數(shù)碼照相機)中的各種控制，與控制目標(biāo)相一致地檢測作用在對象體(target body)的整體或局部上的壓力是必須的。通過感測基于作用在對象整體或局部上的加速度的應(yīng)力，可以感測加速度。
已開發(fā)出了多種用于檢測該壓力或加速度的常規(guī)裝置，其中的一種裝置是已知的，在該裝置內(nèi)部，在半導(dǎo)體基板上形成計量電阻(gaugeresistor)，作為檢測元件，其利用壓阻效應(yīng)，將外部提供的作用于其上的力產(chǎn)生的機械應(yīng)變(mechanical strain)轉(zhuǎn)換為電信號(參見inventionsociety于2003年9月發(fā)行的《invention》期刊第52頁至63頁的“development of three-weight sensor”)。
另外，在invention society于2003年9月發(fā)行的《invention》期刊第52頁至63頁的“development of three-weight sensor”中還解釋了這樣的事實可以使用與應(yīng)變對應(yīng)的靜電電容的變化代替計量電阻的壓阻效應(yīng)。
具體地，在invention society于2003年9月發(fā)行的《invention》期刊第52頁至63頁的“development of three-weight sensor”中所描述的發(fā)明的特征是這樣的事實可以利用一種裝置，借助于在半導(dǎo)體基板上形成的用于多個軸向的壓力傳感器來組成多種類型的傳感器(也就是，四種類型的傳感器)，即，三軸壓力傳感器、三軸加速度傳感器、三軸角速度傳感器和六軸運動傳感器。
針對與采用invention society于2003年9月發(fā)行的《invention》期刊第52頁至63頁的“development of three-weight sensor”中所說明的原理的半導(dǎo)體加速度傳感器相關(guān)的多種問題中的各個問題，已經(jīng)已經(jīng)提出許多建議。這些不同問題中的一個是由于使用加速度傳感器的環(huán)境(取決于加速度傳感器被用于哪種裝置)，其有時會被施加大量的無法預(yù)料的沖擊。在這種情況下，存在重物位移非常大、計量電阻因此被損壞的風(fēng)險。
為了消除這種不便，已經(jīng)提出了一種結(jié)構(gòu)，在該結(jié)構(gòu)中提供了限制重物位移的制動器(日本專利申請?zhí)亻_第2000-304762號)。
此處，如invention society于2003年9月發(fā)行的《invention》期刊第52頁至63頁的“development of three-weight sensor”和日本專利公報H8-7228中所指出的，已知一種加速度傳感器，其具有這樣的結(jié)構(gòu)，在該結(jié)構(gòu)中，重物和支撐部分之間的關(guān)系是相反的，即，在該結(jié)構(gòu)中，支撐部分被放置在加速度傳感器的中心，而利用支撐部分周圍的梁部分來懸掛重物。為了方便，在下面的描述中，將具有這種結(jié)構(gòu)的加速度傳感器稱為傘型加速度傳感器。
在invention society于2003年9月發(fā)行的《invention》期刊第52頁至63頁的“development of three-weight sensor”、日本專利申請?zhí)亻_第2000-304762號和日本專利公報H8-7228中說明了具有傘型加速度傳感器結(jié)構(gòu)(其中這種支座被放置在中心)的加速度傳感器。然而，沒有提出將日本專利申請?zhí)亻_第2000-304762號中示出的限制加速度傳感器的沖擊的結(jié)構(gòu)應(yīng)用于傘型加速度傳感器。
發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的是提出一種使支撐部分被放置在中心的加速度傳感器(即傘型加速度傳感器)具有較好抗沖擊性的結(jié)構(gòu)，從而即使在安裝了該加速度傳感器的產(chǎn)品跌落或受到了強烈的沖擊，也不會損壞該加速度傳感器。
根據(jù)本發(fā)明的目的的第一方面的加速度傳感器包括支撐部分，其下端固定到基板上；梁部分，在其上形成檢測元件，檢測元件與作用在檢測元件上的加速度導(dǎo)致的應(yīng)變相一致地將變化施加到輸出信號，梁部分的一端與支撐部分的頂部相連接；被懸起的重物，其與所述梁部分的另一端相連接；和制動器基板，其帶有窗孔部分，為了引導(dǎo)檢測元件的輸出信號通過形成在支撐部分上端面上的焊盤，與焊盤連接的導(dǎo)線經(jīng)過該窗孔部分，其中，利用粘合劑將制動器基板固定到圍繞支撐部分上端面的焊盤的區(qū)域，并利用該制動器基板限制重物向上過度擺動。
根據(jù)本發(fā)明的目的的第二方面的加速度傳感器包括支撐部分，其下端固定到基板上，其上端面包括焊盤；四個梁部分，其各自的一端在與中心的支撐部分相垂直的方向上與該支撐部分的上端部相連接，并在其上形成檢測元件，檢測元件與作用在檢測元件上的加速度導(dǎo)致的應(yīng)變相一致地將變化施加到輸出信號；被懸起的重物，其與該四個梁部分的另一端相連接；支撐部分的延伸部分，其布置在四個梁部分中的兩個相鄰的梁部分之間；和制動器基板，其帶有窗孔部分，為了引導(dǎo)檢測元件的輸出信號通過形成在支撐部分上端面上的焊盤，與焊盤連接的導(dǎo)線經(jīng)過該窗孔部分，其中，利用粘合劑將制動器基板固定到支撐部分的延伸部分，制動器基板限制了重物向上的過度擺動。
根據(jù)本發(fā)明目的的第三方面的加速度傳感器包括支撐部分，其下端固定到基板上，其上端面包括焊盤；四個梁部分，其各自的一端在與中心的支撐部分相垂直的方向上與該支撐部分的上端部相連接，并在其上形成檢測元件，檢測元件與作用在檢測元件上的加速度導(dǎo)致的應(yīng)變相一致地將變化施加到輸出信號；被懸起的重物，其與該四個梁部分的另一端相連接；支撐部分的延伸，其布置在四個梁部分中的兩個相鄰的梁部分之間；和制動器基板，其帶有窗孔部分，為了引導(dǎo)檢測元件的輸出信號通過形成在支撐部分的延伸上的焊盤，與焊盤連接的導(dǎo)線經(jīng)過該窗孔部分，其中，利用粘合劑將制動器基板固定到支撐部分的上端面，制動器基板限制了重物向上的過度擺動。
根據(jù)本發(fā)明目的的第四方面的加速度傳感器包括支撐部分，其下端固定到基板上；梁部分，在其上形成檢測元件，檢測元件與作用在檢測元件上的加速度導(dǎo)致的應(yīng)變相一致地將變化施加到輸出信號，梁部分的一端與支撐部分的頂部相連接；被懸起的重物，其與所述梁部分的另一端相連接；制動器基板，其帶有窗孔部分，為了引導(dǎo)檢測元件的輸出信號通過形成在支撐部分上端面上的焊盤，與焊盤連接的導(dǎo)線經(jīng)過該窗孔部分，和框架部分，其圍繞所述重物，其中，利用粘合劑將制動器基板固定到所述框架部分的上端面，所述制動器基板限制了重物向上的過度擺動。
根據(jù)本發(fā)明目的的第五方面的加速度傳感器是根據(jù)第一到第三方面中任何一項的加速度傳感器，其中利用半導(dǎo)體基板一體地形成所述支撐部分、梁部分和重物。
根據(jù)本發(fā)明目的的第六方面的加速度傳感器是根據(jù)第四方面的加速度傳感器，其中利用半導(dǎo)體基板一體地形成所述支撐部分、梁部分和重物，利用連接部分將重物和框架連接在一起，并通過在安裝到封裝中之后，切掉連接部分，而使框架部分與重物分離。
根據(jù)本發(fā)明目的的第七方面的加速度傳感器是根據(jù)第二方面的加速度傳感器，還包括在支撐部分的延伸部分和形成在支撐部分上端面上的焊盤之間形成的凹槽。
根據(jù)本發(fā)明目的的第八方面的加速度傳感器是根據(jù)第一到第七方面的加速度傳感器，其中，重物和制動器基板之間的間隙是2～12um。
通過以下參照
的本發(fā)明的實施例，本發(fā)明的特征將變得更清楚。
根據(jù)本發(fā)明的特征，可以提供一種加速度傳感器，可以低成本地提高抗沖擊性，并表現(xiàn)出了高的連接可靠性。
圖1示出了傘型加速度傳感器芯片；圖2示出了本發(fā)明的第一實施例的結(jié)構(gòu)；
圖3示出了本發(fā)明的第二實施例的結(jié)構(gòu)；圖4示出了本發(fā)明的第三實施例的結(jié)構(gòu)；圖5示出了本發(fā)明的第四實施例的結(jié)構(gòu)；圖6示出了在圖5的實施例中的加速度傳感器芯片2和框架19的制作工藝的構(gòu)成；圖7是圖3所示的實施例的變型例；和圖8示出了各實施例通用的加速度傳感器的上制動器基板15和重物11之間的間隙G。
具體實施例方式
以下將參照附圖描述本發(fā)明的各實施例。
圖1示出了傘型加速度傳感器芯片。
圖1A是截面圖，圖1B是俯視圖。更進(jìn)一步說，圖1A的截面圖是沿圖1B中A-B線的截面圖。
在圖1中，加速度傳感器芯片包括支撐部分10，其被固定在基板16的中心；和重物11，其被布置在支撐部分10的周圍。
梁部分(檢測梁)12的一端與支撐部分10的頂部相連接，重物11懸起地與其另一端相連接。梁部分12是柔性的，在被施加了壓力或加速度時，梁部分12會產(chǎn)生應(yīng)變。通過顯微機械加工技術(shù)，利用半導(dǎo)體基板一體地形成支撐部分10、重物11和梁部分12。
檢測元件13形成在梁部分12的頂部，其與作用在重物11上的加速度導(dǎo)致的應(yīng)變相一致地將變化施加到輸出信號。
在此處，基板16起到了阻止重物11向下運動的制動器的作用。
在圖1B的俯視圖中，在支撐部分10的上端面上提供了多個連接焊盤14。連接焊盤14通過導(dǎo)線(未示出)與檢測元件13電連接。連接焊盤14通過金屬線5或類似的材料連接到形成在封裝側(cè)的外部引出端子(未示出)。
在圖1示出的加速度傳感器芯片的情況下，重物11的向下運動被基板16所限制，但重物11的向上運動是不受限制的。因而，當(dāng)加速度傳感器被施加了劇烈的沖擊時，如前面所描述的，梁部分12有被損壞的風(fēng)險。
因而，本發(fā)明提出了解決此問題的結(jié)構(gòu)。
圖2示出了本發(fā)明的加速度傳感器的第一實施例的結(jié)構(gòu)。在圖2中，圖2A是第一實施例的截面圖；圖2B是去掉了上制動器基板15(圖2C)的俯視圖，在圖中示出了封閉在封裝中的加速度傳感器芯片(圖2A中虛線部分2包圍的部分)；圖2D是上制動器基板15被蓋上時的俯視圖。而且，圖2A是沿圖2B中的虛線A-B的截面圖。
在圖2A中，用陶瓷材料以多層(在此實施例中有三層)形成封裝。
加速度傳感器芯片2被封閉在封裝中，加速度傳感器芯片2包括被固定到基板16中心的支撐部分10和布置在支撐部分10周圍的重物11。梁部分(檢測梁)12的一端與支撐部分10的頂部相連接，重物11懸起連接到其另一端。通過顯微機械加工技術(shù)，利用半導(dǎo)體基板一體地形成支撐部分10、重物11和梁部分12。
檢測元件13形成在梁部分12的頂部，與作用在重物11上的加速度導(dǎo)致的應(yīng)變相一致地將變化施加到輸出信號。
在此處，基板16起到了阻止重物11向下運動的制動器的作用。還利用粘合劑17將基板16固定到封裝的內(nèi)底面上。
在圖2B的俯視圖中，在支撐部分10的上端面上提供了多個連接焊盤14。連接焊盤14通過導(dǎo)線(未示出)與檢測元件13電連接。
另外，連接焊盤14通過金屬線5或類似的材料連接到形成在封裝側(cè)的外部引出線端子4(未示出)。
外部引出線端子4還與電極端子18相連接，電極端子18通過沿封裝壁形成的導(dǎo)電薄膜形成在封裝底面上。當(dāng)在電路基板上安裝加速度傳感器時，電極端子18被焊接到該基板所要求的電路部分上。
此處，本發(fā)明的特征是還包括上制動器基板15，其起到了阻止重物11的向上運動的制動器的作用。利用形成在該多個連接焊盤14周圍的粘合劑15b，將上制動器基板15連接到支撐部分10的上端面。
圖2C是起到了阻止重物11向上的過度擺動的制動器作用的上制動器基板15的平面圖。上制動器基板15包括在其中心的窗孔部分15a。因而，連接線5能夠經(jīng)過上制動器基板15的窗孔部分15a連接連接焊盤14和外部引出線端子4。
圖3示出了本發(fā)明的第二實施例的結(jié)構(gòu)。在圖3中，圖3A是第二實施例的截面圖；圖3B是去掉了上制動器基板15(圖2C)的俯視圖，在圖中示出了封閉在封裝中的加速度傳感器芯片(圖2A中虛線部分2包圍的部分)；圖3D是上制動器基板15被蓋上時的俯視圖。而且，圖3A是沿圖3B中的虛線A-B的截面圖。
在圖3A中，與圖2中的例子類似，利用陶瓷材料三層地形成封裝。
加速度傳感器芯片2被封閉在封裝中，加速度傳感器芯片2包括被固定到基板16中心的支撐部分10和排列在支撐部分10周圍的重物11。梁部分(檢測梁)12的一端與支撐部分10的頂部相連接，重物11懸起連接到其另一端。通過顯微機械加工技術(shù)，利用半導(dǎo)體基板一體地形成支撐部分10、重物11和梁部分12。
檢測元件13形成在梁部分12的頂部，與作用在重物11上的加速度導(dǎo)致的應(yīng)變相一致地將變化施加到輸出信號。
基板16起到了阻止重物11向下運動的制動器的作用。還利用粘合劑17將基板16固定到封裝空間的內(nèi)底面上。
在圖3B的俯視圖中，在支撐部分10的上端面上提供了多個連接焊盤14。連接焊盤14通過導(dǎo)線(未示出)與檢測元件13電連接。
連接焊盤14通過金屬線5或類似的材料連接到形成在封裝側(cè)上的外部引出線端子4。
外部引出線端子4也被連接到電極端子18，電極端子18利用沿封裝壁形成的導(dǎo)電薄膜形成在封裝底面。當(dāng)在電路基板上安裝加速度傳感器時，電極端子18被連接在基板所要求的電路部分上。
此處，也適合第二實施例，本發(fā)明的特征是還包括上制動器基板15，其起到了阻止重物11向上運動制動器的作用。在第二實施例中，重物11形成具有四個側(cè)面的基本上為正方形的框架形，四個側(cè)面的各個側(cè)面的中央連接到梁部分(檢測梁)12的另一端從而連接到中間的支撐部分10。另外，與圖2中的第一實施例相比較，在第三實施例的情況下，中間的支撐部分10包括支撐部分的延伸部分11a到11d，其在與梁部分(檢測梁)12成夾角的傾斜方向延伸。
此外，該實施例的特征是上制動器基板15通過粘合劑15b連接到支撐部分10的延伸部分11a到11d。圖3C圖是用作阻止重物11向上運動的制動器的上制動器基板15的平面圖。與第一實施例相似，上制動器基板15包括在其中心的窗孔部分15a。因而，連接線5能夠通過上制動器基板15的窗孔部分15a連接連接焊盤14和外部引出線端子4。
與第一實施例比較，圖3中示出的第二實施例有如下結(jié)構(gòu)上制動基板15在與該多個連接焊盤14隔開的四個點連接，由此加強了連接強度，并能防止粘合劑15b向連接焊盤14流動，因而能防止電連接的損壞。
圖4示出了本發(fā)明的第三實施例的結(jié)構(gòu)。在圖4中，圖4A是第三實施例的截面圖；圖4B是去掉了上制動器基板15(圖4C)的俯視圖，在圖中示出了封閉在封裝中的加速度傳感器芯片(圖4A中虛線2包圍的部分)；圖4D是上制動器基板15被蓋上時的俯視圖。此外，圖4A是沿圖4B中的虛線A-B的截面圖。
在圖4A中，與前面圖2和圖3中的實施例類似，利用陶瓷材料三層地形成封裝。
加速度傳感器芯片2被封閉在封裝中，加速度傳感器芯片2包括被固定在基板16的中心的支撐部分10和排列在支撐部分10周圍的重物11。梁部分(檢測梁)12的一端連接到支撐部分10的頂部，重物11被懸起連接到其另一端。利用顯微機械加工技術(shù)，通過半導(dǎo)體基板一體地形成支撐部分10、重物11和梁部分12。
檢測元件13形成在梁部分12的頂部，其與作用在檢測元件上的加速度導(dǎo)致的應(yīng)變相一致地將變化施加到輸出信號。
基板16起到了阻止重物11向下過度擺動的制動器的作用。還利用粘合劑17將基板16固定到封裝的內(nèi)底面上。
此處，也適合第三實施例，與上面的實施例類似，本發(fā)明的特征是還包括上制動器基板15，其起到了阻止重物11向上運動的制動器的作用。類似于圖3的第二實施例，重物11形成具有四個側(cè)面的基本上為正方形的框架形，四個側(cè)面的各個側(cè)面的中央連接到梁部分(檢測梁)12的另一端從而連接到中間的支撐部分10。另外，中間的支撐部分10包括支撐部分的延伸部分11a到11d，其在與梁部分(檢測梁)12成夾角的傾斜方向延伸。
第三實施例與圖3所示的第二實施例的不同在于該多個連接焊盤14的位置。即，在圖4所示的實施例中，該多個連接焊盤14排列在延伸的支撐部分的延伸部分11a到11d上。因而，上制動器基板15包括四個窗孔部分15a，用于將引出線(如金屬線5)連接到分別與四個延伸部分11a到11d相對應(yīng)的連接焊盤14。
此外，利用在支撐部分10的上端形成的粘合劑15b，將上制動器基板15連接到支撐部分10。
在第三實施例中，連接焊盤14處于與中心隔開的位置，因而，用于連接外部引出線端子4的引出線(如金屬線5)的長度可以被做得比第一和第二實施例中的短，由此能提高可靠性。
圖5還示出了本發(fā)明的第四實施例。在圖5中，圖5A是第四實施例的截面圖；圖5B是去掉了上制動器基板15(圖5C)的俯視圖，在圖中示出了封閉在封裝中的加速度傳感器芯片(圖5A中虛線2包圍的部分)；圖5D是上制動器基板15被蓋上時的俯視圖。此外，圖5A是沿圖5B中的虛線A-B的截面圖。
該實施例有如下結(jié)構(gòu)在其中，提供了獨立于加速度傳感器芯片2的用于支撐上制動器基板15的框架19。如圖5C所示，上制動器基板15包括窗孔部分15a，與其它實施例一樣，用于連接連接焊盤14和外部引出端子4的引出線(如金屬線5)穿過窗口部分15a。
在本實施例中，窗口部分15a形成為正方形，當(dāng)也可以形成為其他的形狀，例如圓形。此外，類似于第二和第三實施例，在圖5中，在支撐部分10的端面上形成多個焊盤14。然而，連接焊盤14也可根據(jù)第四實施例形成在四個延伸部分11a到11d中的各個延伸部分上。
圖6示出了在圖5的實施例中的加速度傳感器芯片2和框架19的制作工序的構(gòu)成。利用顯微機械加工技術(shù)切割半導(dǎo)體基板，能夠制造加速度傳感器芯片2和框架19。因此，機械加工完成，留下連接框架19和加速度傳感器芯片2部分的部分20a到20d。
其后，框架19被提供了這樣的結(jié)構(gòu)，通過焊接(bonding)將框架19固定到上制動器基板15或基板16上，然后利用激光從加速度傳感器芯片體上切割框架19而制成該結(jié)構(gòu)。因此，可以集總地模制焊接(die-bonding)封裝1的外部引出線端子4和傳感器芯片的焊盤14，并且可以提供易制造的抗沖擊性較好的傳感器。
圖7是圖3所示實施例的變型例。該變型例的特征是在粘合劑15b和連接焊盤14之間形成凹槽21。粘合劑15b形成在四個延伸部分11a到11d上，用于固定上制動器基板15。形成這些凹槽21的結(jié)果是避免了粘合劑15b流到連接焊盤14的部分的風(fēng)險。因而，能提供抗沖擊性較好、電連接可靠性高的加速度傳感器。
圖8示出了各個實施例中通用的加速度傳感器的上制動器基板15和重物11之間的間隙G。通過利用粘合劑15b或插入間隔體(spacer)制作大約2到12微米的間隙G，可以限制重物11的向上運動。因此，可以提高抗沖擊性的可靠性。
本發(fā)明可以借助簡單的結(jié)構(gòu)提供具有較好抗沖擊性的加速度傳感器。因而，通過安裝根據(jù)本發(fā)明的加速度傳感器，可以提供高可靠性的電設(shè)備。
權(quán)利要求
1.一種加速度傳感器，包括支撐部分，其下端固定到基板上；梁部分，在其上形成檢測元件，檢測元件與作用在檢測元件上的加速度導(dǎo)致的應(yīng)變相一致地將變化施加到輸出信號，梁部分的一端與支撐部分的頂部相連接；被懸起的重物，其與所述梁部分的另一端相連接；和制動器基板，其帶有窗孔部分，為了引導(dǎo)檢測元件的輸出信號通過形成在支撐部分上端面上的焊盤，與焊盤連接的導(dǎo)線經(jīng)過該窗孔部分，其中，利用粘合劑將制動器基板固定到圍繞支撐部分上端面的焊盤的區(qū)域，并利用該制動器基板限制重物向上的過度擺動。
2.一種加速度傳感器，包括支撐部分，其下端固定到基板上，其上端面包括焊盤；四個梁部分，其各自的一端在與中心的支撐部分相垂直的方向上與該支撐部分的上端部相連接，并在其上形成檢測元件，檢測元件與作用在檢測元件上的加速度導(dǎo)致的應(yīng)變相一致地將變化施加到輸出信號；被懸起的重物，其與該四個梁部分的另一端相連接；支撐部分的延伸部分，其布置在四個梁部分中的兩個相鄰的梁部分之間；和制動器基板，其帶有窗孔部分，為了引導(dǎo)檢測元件的輸出信號通過形成在支撐部分上端面上的焊盤，與焊盤連接的導(dǎo)線經(jīng)過該窗孔部分，其中，利用粘合劑將制動器基板固定到支撐部分的延伸部分，制動器基板限制了重物向上的過度擺動。
3.一種加速度傳感器，包括支撐部分，其下端固定到基板上；四個梁部分，其各自的一端在與中心的支撐部分相垂直的方向上與該支撐部分的上端部相連接，并在其上形成檢測元件，檢測元件與作用在檢測元件上的加速度導(dǎo)致的應(yīng)變相一致地將變化施加到輸出信號；被懸起的重物，其與該四個梁部分的另一端相連接；支撐部分的延伸部分，其布置在四個梁部分中的兩個相鄰的梁部分之間；和制動器基板，其帶有窗孔部分，為了引導(dǎo)檢測元件的輸出信號通過形成在支撐部分的延伸上的焊盤，與焊盤連接的導(dǎo)線經(jīng)過該窗孔部分，其中，利用粘合劑將制動器基板固定到支撐部分的上端面，制動器基板限制了重物向上的過度擺動。
4.一種加速度傳感器，包括支撐部分，其下端固定到基板上；梁部分，在其上形成檢測元件，檢測元件與作用在檢測元件上的加速度導(dǎo)致的應(yīng)變相一致地將變化施加到輸出信號，梁部分的一端與支撐部分的頂部相連接；被懸起的重物，其與所述梁部分的另一端相連接；制動器基板，其帶有窗孔部分，為了引導(dǎo)檢測元件的輸出信號通過形成在支撐部分上端面上的焊盤，與焊盤連接的導(dǎo)線經(jīng)過該窗孔部分，和框架部分，其圍繞所述重物，其中，利用粘合劑將制動器基板固定到所述框架部分的上端面，所述制動器基板限制了重物向上的過度擺動。
5.根據(jù)權(quán)利要求1到3任一項所述的加速度傳感器，其中，利用半導(dǎo)體基板一體地形成所述支撐部分、梁部分和重物。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的加速度傳感器，其中，利用半導(dǎo)體基板一體地形成所述支撐部分、梁部分和重物，利用連接部分將重物和框架連接在一起，并通過在安裝到封裝中之后，切掉連接部分，而使框架部分與重物分離。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加速度傳感器，還包括在支撐部分的延伸和形成在支撐部分上端面上的焊盤之間的凹槽。
8.根據(jù)權(quán)利要求1到7任一項所述的加速度傳感器，其中，重物和制動器基板之間的間隙是2～12μm。
全文摘要
加速度傳感器。具有較好抗沖擊性的結(jié)構(gòu)被提出用于傘型加速度傳感器。該加速度傳感器，包括支撐部分，其下端固定到基板上；梁部分，在其上形成檢測元件，檢測元件與作用在檢測元件上的加速度導(dǎo)致的應(yīng)變相一致地將變化施加到輸出信號，梁部分的一端與支撐部分的頂部相連接；被懸起的重物，其與所述梁部分的另一端相連接；和制動器基板，其帶有窗孔部分，為了引導(dǎo)檢測元件的輸出信號通過形成在支撐部分上端面上的焊盤，與焊盤連接的導(dǎo)線經(jīng)過該窗孔部分。該制動器基板限制了重物向上的過度擺動。
文檔編號G01P15/02GK1790029SQ200510102738
公開日2006年6月21日 申請日期2005年9月9日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月16日
發(fā)明者小野正明, 石川寬, 田中浩, 山田澄夫 申請人:富士通媒體部品株式會社, 富士通株式會社