專利名稱：光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器，特別涉及其光量監(jiān)視信號的穩(wěn)定性。
背景技術(shù)：
一般，光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器具備光源；安裝在電機上，具有由用于把來自光源的光變換為脈沖光的光學(xué)狹縫組成的旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道的旋轉(zhuǎn)狹縫板；用于對經(jīng)過變換的脈沖光進行光電變換的旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光部。旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光部與光學(xué)狹縫的間距相應(yīng)地以一定的間距設(shè)置感光圖案，把用光學(xué)狹縫調(diào)制的來自光源的光變換為電信號，通過觀測該電信號檢測電機的旋轉(zhuǎn)角度。
在這種光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器中，以不增大旋轉(zhuǎn)狹縫板的外形，而且，不犧牲旋轉(zhuǎn)角度檢測信號的輸出，監(jiān)視光源的光量變化為目的，例如如專利文獻1「絕對式編碼器」所示的一種光學(xué)絕對式編碼器，具備具有由光學(xué)狹縫組成的旋轉(zhuǎn)位置檢測用軌道(旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道)的旋轉(zhuǎn)狹縫板；照射光的發(fā)光元件(光源)；具有與上述旋轉(zhuǎn)位置檢測用狹縫對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)位置檢測用狹縫以及上述發(fā)光元件的光量監(jiān)視用狹縫的固定狹縫板；與上述旋轉(zhuǎn)位置檢測用狹縫對應(yīng)配置的旋轉(zhuǎn)位置檢測用感光元件；與上述光量監(jiān)視用狹縫對應(yīng)配置的光量監(jiān)視用感光元件，在該絕對式編碼器中，上述固定狹縫板的光量監(jiān)視用狹縫與上述旋轉(zhuǎn)狹縫板的旋轉(zhuǎn)位置檢測用軌道對應(yīng)地沿著圓周方向形成，上述旋轉(zhuǎn)位置檢測用軌道兼作光量監(jiān)視用軌道。進而，公開了把光量監(jiān)視用狹縫的圓周方向的寬度(角度寬度)設(shè)置成兼作光量監(jiān)視用軌道的旋轉(zhuǎn)位置檢測用軌道的光學(xué)狹縫的間距(角度周期)的整數(shù)倍。
專利文獻1特開平6-294666號公報以往的光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器因為如上述那樣構(gòu)成，所以當(dāng)正確調(diào)整電機軸和旋轉(zhuǎn)狹縫的相對位置以及旋轉(zhuǎn)狹縫板上的光學(xué)狹縫和感光部的光量監(jiān)視用圖案的位置的情況下，通過把光量監(jiān)視用狹縫的圓周方向的寬度設(shè)置成旋轉(zhuǎn)位置檢測用軌道的光學(xué)狹縫的間距的整數(shù)倍，可以得到光量監(jiān)視信號沒有變化，相對旋轉(zhuǎn)狹縫板的旋轉(zhuǎn)始終一定的信號強度。
但是，當(dāng)存在電機軸和旋轉(zhuǎn)狹縫板的相對位置偏移(旋轉(zhuǎn)狹縫板的偏心)，和旋轉(zhuǎn)狹縫板上的光學(xué)狹縫的圖案和感光部的光量監(jiān)視用圖案的相對位置的偏移等的組裝·調(diào)整時等的誤差的情況下，因為光量監(jiān)視用狹縫的圓周方向的寬度以旋轉(zhuǎn)位置檢測用軌道的光學(xué)狹縫的間距的整數(shù)倍偏移，所以光量監(jiān)視信號伴隨旋轉(zhuǎn)狹縫板的旋轉(zhuǎn)而引起正弦波變化，不能得到穩(wěn)定的信號。因此，光量監(jiān)視信號的變化分辨不出是由于組裝·調(diào)整時等的誤差產(chǎn)生的還是由于光源的發(fā)光強度的變化產(chǎn)生的，其結(jié)果，光量監(jiān)視信號起不到其作用。
根據(jù)上述的(間距)×(整數(shù)倍)的偏差，用相對從旋轉(zhuǎn)狹縫板的旋轉(zhuǎn)軸到光量監(jiān)視用圖案的距離(旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道的半徑)的各相對位置的偏移量(誤差量)的比決定。因此，特別在要使編碼器小型化時，由于上述旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌跡的半徑變小，因而來自(間距)×(整數(shù)倍)的偏差的量增大，正弦波變化的影響明顯顯現(xiàn)。因而，如上述實施例所示，即使通過兼用光量監(jiān)視用軌道和旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道來謀求旋轉(zhuǎn)狹縫以及裝置整體的小型化，如果不針對上述組裝誤差采取對策，則不能得到始終穩(wěn)定的光量監(jiān)視信號。
本發(fā)明就是為了解決上述那樣的以往問題而提出的，其目的在于提供一種即使存在組裝·調(diào)整時等的誤差，也使光量監(jiān)視信號穩(wěn)定，并且小型、檢測精度好的光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器。
本發(fā)明的光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器具備具有由光學(xué)狹縫組成的旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道的旋轉(zhuǎn)狹縫板；向上述光學(xué)狹縫照射光的光源；與來自上述光源的光向著上述光學(xué)狹縫的照射位置對應(yīng)地配置，經(jīng)由上述光學(xué)狹縫接收來自上述光源的光的旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光元件；與來自上述光源的光向著上述光學(xué)狹縫的照射位置對應(yīng)地配置在圓周上的多處，經(jīng)由上述光學(xué)狹縫接收來自上述光源的光的光量監(jiān)視用感光元件，上述光量監(jiān)視用感光元件的角度寬度是經(jīng)由上述光學(xué)狹縫的來自上述光源的光的，在上述光量監(jiān)視用感光元件的表面上的強度分布的角度周期的整數(shù)倍。
如果采用本發(fā)明，則能夠用旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道兼作光量監(jiān)視用軌道，可以實線該部分裝置的小型化。而且，由于把光量監(jiān)視用感光元件的圓周方向的角度寬度，設(shè)置成經(jīng)由光學(xué)狹縫的來自上述光源的光在光量監(jiān)視用感光元件的表面上的強度分布的角度周期的整數(shù)倍(換句話說，使光量監(jiān)視用感光元件具有相當(dāng)于光學(xué)狹縫的間距的整數(shù)倍的角度寬度)，因而能夠抑制用光量監(jiān)視用感光元件得到的光量監(jiān)視信號的脈動。
進而，如果使裝置整體小型化，則受到組裝·調(diào)整時等的誤差產(chǎn)生的影響大，光量監(jiān)視信號強度的正弦波變化變大，但由于在圓周上的多處配置光量監(jiān)視用感光元件，因而能夠減輕由組裝·調(diào)整時等的誤差產(chǎn)生的影響。
因而，即使在存在組裝·調(diào)整時等的誤差的情況下，也能夠得到使光量監(jiān)視信號穩(wěn)定，并且小型、檢測精度好的光學(xué)回轉(zhuǎn)式編碼。


圖1是表示根據(jù)本發(fā)明的實施方式1的光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器的全體構(gòu)成的剖面圖。
圖2表示圖1的回轉(zhuǎn)狹縫板的構(gòu)成，(a)表示整體的平面圖，(b)表示放大(a)的一部分表示的平面圖。
圖3表示圖1的感光元件組的構(gòu)成，(a)表示整體的平面圖，(b)表示放大(a)的一部分表示的平面圖。
圖4涉及本發(fā)明的實施方式1，是表示相對光量監(jiān)視信號的正弦波變化的旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道的中心線的直徑的影響的特性圖。
圖5涉及本發(fā)明的實施方式1，是表示來自2個光量監(jiān)視用感光元件的光量監(jiān)視信號的特性圖。
圖6涉及本發(fā)明的實施方式2，是表示感光元件組的構(gòu)成的平面圖。
圖7是表示采用本發(fā)明的實施方式2的光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器的全體構(gòu)成的剖面圖。
圖8是表示采用本發(fā)明的實施方式2的另一光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器的全體構(gòu)成的剖面圖。
圖9涉及本發(fā)明的實施方式3，是表示感光元件組的構(gòu)成的平面圖。
圖10涉及本發(fā)明的實施方式3，是表示感光元件組的另一構(gòu)成的平面圖。
圖11是表示采用本發(fā)明的實施方式4的光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器的全體構(gòu)成的側(cè)視圖。
圖12是表示圖11的感光元件組的構(gòu)成的平面圖。
圖13涉及本發(fā)明的實施方式5，是表示感光元件組的構(gòu)成的平面圖。
圖14是表示本發(fā)明的實施方式6的光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器的全體構(gòu)成的剖面圖。
具體實施例方式
實施方式1圖1～圖3表示本發(fā)明的實施方式1的光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器的構(gòu)成，圖1是全體的剖面圖，圖2(a)是旋轉(zhuǎn)狹縫板的平面圖，圖2(b)是對圖2(a)的一部分(用圓包圍的部分)進行放大表示平面圖，圖3(a)是感光元件組的平面圖，圖3(b)是對圖3(a)的一部分(用圓包圍的部分)進行放大表示的平面圖。
旋轉(zhuǎn)狹縫板4安裝在電機軸6上，具有在圓周上配置了許多光透過部51以及光非透過部52的，由光學(xué)狹縫組成的旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道(圖2(a)中已剖面線表示)5。
把從光源1發(fā)出的光8用凹面鏡7變換為大致平行光束9，把大致平行光束9照射到設(shè)置在旋轉(zhuǎn)狹縫4上的旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道5的光學(xué)狹縫的全周，用設(shè)置在感光部3上的感光元件組2接收經(jīng)由此時的光學(xué)狹縫的光(從光學(xué)透過部51透過的透射光)并進行光電變換。此時，在感光部3的表面上形成與光學(xué)狹縫的角度周期對應(yīng)的周期性的光強度分布，如以下詳細說明的那樣，與該光強度分布的角度周期相對應(yīng)地配置感光元件組2。
如圖2(b)中放大其一部分表示的那樣，如果假設(shè)從旋轉(zhuǎn)狹縫板4的旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道圖案的中心點11在半徑R的距離上拉一條旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道5的中心線12，則光透過部51把軌道的中心線12作為中心在半徑方向上以寬度W1形成，光透過部51和光非透過部(在圖2(b)中實加剖面線表示)52在同一圓周(旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道5的中心線12)上以角度周期(間距)P周期性配置。即，光學(xué)狹縫的角度周期(間距)是P。
感光部3例如與旋轉(zhuǎn)狹縫板4的一方的主表面相對地配置感光元件組2和光源1.感光元件組2具有旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光元件31；光量監(jiān)視用感光元件23a、23b；位置監(jiān)視用感光元件21a～21d。旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光元件31配置在旋轉(zhuǎn)角度檢測用區(qū)域22a～22d上。
在本實施方式中，把配置在4個旋轉(zhuǎn)角度檢測用區(qū)域22a～22d上的旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光元件31、2個光量監(jiān)視用感光元件23a、23b、4個位置監(jiān)視用感光元件21a～21d配置在同一平面上的同一圓周上，構(gòu)成感光元件軌道。
而且，在本實施例中，例如，所謂把光透過部51和光非透過部52配置在同一圓周上是指以光透過部51的半徑方向上的中心(中點)和非光透過部52的半徑方向上的中心(中點)位于同一圓周上的方式進行配置。另外，是指雖然光透過部51的半徑方向上的中心和非光透過部52的半徑方向上的中心不在同一圓周上，但光透過部51以及光非透過部52的一部分在同一圓周上的情況下，把光透過部51和光非透過部52配置在圓周上。這對于各感光元件也一樣。
如圖3所示，如果設(shè)置成在以感光元件軌道圖案的中心點20為中心的半徑R1’的距離拉一條感光元件軌道的中心線24，則感光元件組2把感光元件軌道的中心線24作為半徑方向上的中心(中點)形成在同一圓周上。
作為感光元件組2的構(gòu)成，旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光元件31在旋轉(zhuǎn)角度檢測用區(qū)域22a～22d內(nèi)，與光學(xué)狹縫(光透過部51)的角度周期(間距)P對應(yīng)地以一定的角度周期(間距)P’配置。換句話說，在旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光元件31的表面上形成與光學(xué)狹縫的角度周期對應(yīng)的周期性光強度分布，與該光強度分布的角度周期P’相應(yīng)地配置旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光元件31。而且，在本實施方式中，照射在旋轉(zhuǎn)狹縫板4上的光是平行光，4個旋轉(zhuǎn)角度檢測用區(qū)域22a～22d分別配置在同一圓周上。
另外，2個光量監(jiān)視用感光元件23a和23b分別具有同一形狀，并以感光元件軌道的中心線24為中心，按等間隔配置在和旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光元件31相同的圓周上。即，2個光量監(jiān)視用感光元件23a和23b夾著感光元件軌道圖案的中心點20配置在180度的相對位置上(換句話說，以中心點20為中心配置在角度為180度的位置上)。而且，感光元件軌道圖案的中心點20和配置有光量監(jiān)視用感光元件23a和23b的圓周的中心點相同。
另外，4個位置監(jiān)視用感光元件21a～21d分別具有相同形狀，以感光元件軌道的中心線24為中心，以等間隔配置在和旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光元件31相同的圓周上。即，4個位置監(jiān)視用感光元件21a～21d把感光元件軌道圖案的中心點20作為中心配置在相互的角度是90度的位置上。而且，感光元件軌道圖案的中心點20和形成配置有位置監(jiān)視用感光元件21a～21d的圓周的圓的中心(圓周的中心)相同。
旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光元件31以感光元件軌道的中心線24為中心以半徑方向的寬度W2形成。圖3中的W1’是來自光源1的通過了光學(xué)狹縫(光透過部51)的光的，在旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光元件31的配置表面上的照射區(qū)域的半徑方向的寬度。而且，在圖3中，網(wǎng)格部分表示來自光源1的通過了光學(xué)狹縫(光透過部51)的光的，在旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光元件31的配置表面上的照射區(qū)域。寬度W1’與圖2中的光透過部51的半徑方向的寬度W1對應(yīng)地確定，當(dāng)照射在旋轉(zhuǎn)狹縫板4上的光是平行光的情況下，W1＝W1’。此時，W2和W1’的關(guān)系由于以W1’＞W(wǎng)2的方式設(shè)定，因而即使存在組裝·調(diào)整時等的誤差，也能夠使旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光元件31的信號強度不下降。
另外，在照射在旋轉(zhuǎn)狹縫板4上的光是平行光的情況下，R1＝R1’。
在圖3中，因為和旋轉(zhuǎn)狹縫板4的旋轉(zhuǎn)沒有關(guān)系地始終得到一定強度的信號，所以光量監(jiān)視用感光元件23a、23b以及位置監(jiān)視用感光元件21a～21d相對旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光元件31的角度周期P’，把圓周方向的角度寬度設(shè)置成如下P’×(整數(shù))換句話說，光量監(jiān)視用感光元件23a、23b的角度寬度(是圓周方向的角度寬度，作為一例在圖3(b)中用Wθ表示。)是從光源1經(jīng)由光學(xué)狹縫(光透過部51)的光在光量監(jiān)視用感光元件23a、23b的表面上的強度分布的角度周期的整數(shù)倍，位置監(jiān)視用感光元件21a～21d的角度寬度(圓周方向的角度寬度)是從光源1經(jīng)由光學(xué)狹縫(光透過部51)的光在位置監(jiān)視用感光元件21a～21d的表面上的強度分布的角度周期的整數(shù)倍。
作為旋轉(zhuǎn)狹縫板4的理想配置，是旋轉(zhuǎn)狹縫板4上的旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道圖案的中心點11和感光元件軌道圖案的中心點20都在旋轉(zhuǎn)狹縫板4的旋轉(zhuǎn)軸10上，而由于組裝·調(diào)整時等的誤差的原因，產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)狹縫板的旋轉(zhuǎn)軸10和旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道圖案的中心點11的偏差(偏心)，以及旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道圖案的中心點11和感光元件軌道圖案的中心點20的位置偏差。此時，旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道5的中心線12和感光元件軌道的中心線24不一致，因為破壞了P’×(整數(shù))的條件，所以來自光量監(jiān)視用感光元件23a、23b的信號(監(jiān)視信號)相對旋轉(zhuǎn)狹縫板4的旋轉(zhuǎn)始終不一定，相對于旋轉(zhuǎn)角度以正弦波形變化。
作為這種正弦波變化的具體例子，圖4以及圖5表示例如，旋轉(zhuǎn)狹縫板4上的旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道圖案的中心點11相對感光元件軌道圖案的中心點20偏移50μm時的監(jiān)視信號。在圖4以及圖5中，橫軸表示旋轉(zhuǎn)狹縫板的旋轉(zhuǎn)角度，縱軸表示監(jiān)視信號的強度。
在圖4中，虛線以及實線分別表示半徑R1＝R1’＝20mm以及半徑R1＝R1’＝3mm時的來自光量監(jiān)視用感光元件23a的監(jiān)視信號。這樣，如果旋轉(zhuǎn)狹縫板4的旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道的中心線12的直徑，即，旋轉(zhuǎn)狹縫板4的整體的直徑變小，則在有偏心和調(diào)整誤差時的光量監(jiān)視信號的正弦波變化變得非常大。
圖5表示R1＝R1’＝3mm時的來自光量監(jiān)視用感光元件23a、23b的監(jiān)視信號。在圖5中，實線表示來自一方的光量監(jiān)視用感光元件23a的監(jiān)視信號，點劃線表示來自另一方的光量監(jiān)視用感光元件23b的信號。這樣，來自相對感光元件軌道圖案的中心點20(配置有光量監(jiān)視用感光元件23a和23b的圓周的中心點)配置在180度相對的位置上的各光量監(jiān)視用感光元件23a、23b的信號，因為在有偏心和調(diào)整誤差時，相位變?yōu)槠?80度的正弦波，所以通過把這2個信號加在一起計算，能夠得到抑制了用圖5的虛線表示的正弦波變化的監(jiān)視信號。
在圖3中，光量監(jiān)視用感光元件23a、23b以感光元件的軌道的中心線24為中心以半徑方向的寬度W3形成，W3和W1’的關(guān)系如下W1’＞W(wǎng)3這樣，由于構(gòu)成是，光量監(jiān)視用感光元件23a、23b的半徑方向的兩端都在來自光源1的通過了光學(xué)狹縫(光透過部51)的光在光量監(jiān)視用感光元件23a、23b的配置表面上的照射區(qū)域(在圖3中用網(wǎng)格表示。)的半徑方向的寬度的范圍內(nèi)側(cè)，因而即使有組裝·調(diào)整時等的誤差時，也不受由旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道5的光透過部51之間以及光透過部51在半徑方向兩端部上的非透過部52的影響，能夠檢測出一定強度的監(jiān)視信號。
但是，由組裝·調(diào)整時等的誤差產(chǎn)生的，因旋轉(zhuǎn)狹縫板的旋轉(zhuǎn)軸10和旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道圖案的中心點11的偏差(偏心)，以及旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道圖案的中心點11和感光元件軌道圖案的中心點20的位置偏差等引起的總的誤差量ε為以下式子的情況下，ε＞(W1’-W3)/2受到了由在上述旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道5中的光非透過部52產(chǎn)生的影響。因而，因為在照射區(qū)域內(nèi)始終存在光量監(jiān)視用感光元件23a、23b，所以希望把組裝·調(diào)整時等的上述誤差量ε調(diào)整到下式的范圍內(nèi)。
ε≤(W1’-W3)/2另外，光量監(jiān)視用感光元件23a、23b的配置方法說明了，以配置有光量監(jiān)視用感光元件23a、23b的圓周的中心20為中心，配置在角度為180度的位置上的情況，對由光量監(jiān)視信號的組裝·調(diào)整時等的誤差產(chǎn)生的正弦波變化的抑制效果最高。這樣，只要至少在180度相對位置上配置2處即可，但如果看用圖5中的虛線表示的把光量監(jiān)視用感光元件23a和23b的監(jiān)視信號加在一起計算的曲線則知道，雖然正弦波變化得到大大抑制，但殘留有稍許正弦波成分。在圖5中表示旋轉(zhuǎn)狹縫板4(旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道5)和感光部3(感光元件軌道)的偏移是50μm的情況，但如果偏移量進一步增大，則把光量監(jiān)視用感光元件23a和23b的監(jiān)視信號加在一起計算后的曲線的正弦波成分(圖5中用虛線表示)也變大。這種情況下，如果設(shè)置許多180度相對的組，則能夠得到更高的正弦波變化的抑制效果。
在圖3中，位置監(jiān)視用感光元件21a～21d以感光元件軌道的中心線24為中心以半徑方向的寬度W1’形成。但是，在照射到旋轉(zhuǎn)狹縫板4上的光是平行光的情況下，W1’＝W1。這樣，通過設(shè)置成位置監(jiān)視用感光元件21a～21d的半徑方向的寬度，和經(jīng)由光學(xué)狹縫(光透過部51)的來自光源1的光的，在位置監(jiān)視用感光元件21a～21d的表面上的分布中的半徑方向的寬度W1’相同，當(dāng)在旋轉(zhuǎn)狹縫板4和位置監(jiān)視用感光元件21a～21d(感光元件組2)偏移的情況下，旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道5的光非透過部52來到位置監(jiān)視用感光元件21a～21d上，信號強度下降。
因而，如果能夠進行位置調(diào)整，使得來自配置在同一圓周上的4個位置上的位置監(jiān)視用感光元件21a～21d的輸出的和變位最大，則能夠高精度地調(diào)整旋轉(zhuǎn)狹縫板4(旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道5)和感光部3(感光元件軌道)的位置。
而且，不把來自以中心點20為中心配置在角度為90度的4個位置上的各位置監(jiān)視用感光元件21a～21d的輸出加在一起計算，也能夠用各位置監(jiān)視用感光元件21a～21d檢測各個信號的輸出。這種情況下，因為能夠知道旋轉(zhuǎn)狹縫板4相對位置監(jiān)視用感光元件21a～21d(感光元件組2)在X，Y的哪個方向上偏移，所以能夠更簡單地進行精度良好的位置調(diào)整。
具體地說，例如，在來自圖3的各位置監(jiān)視用感光元件21a～21d的信號中，當(dāng)位置監(jiān)視用感光元件21b和21d的信號強度和位置監(jiān)視用感光元件21a和21c的信號強度相比下降的情況下，判斷旋轉(zhuǎn)狹縫板4相對感光部3向X方向偏移。這樣，對X方向以及Y方向稍作調(diào)整，如果來自各位置監(jiān)視用感光元件21a～21d的信號輸出最大并且變得相等，則旋轉(zhuǎn)狹縫板4和感光部3的位置調(diào)整結(jié)束。
而且，在上述說明中，以中心點20為中心把位置監(jiān)視用感光元件21a～21d配置在角度為90度的4個位置上。換句話說，以中心點20為中心把位置監(jiān)視用感光元件21a和21c配置在角度為180度的位置上，以中心點20為中心把位置監(jiān)視用感光元件21b和21d配置在角度為180度的位置上。這樣，位置監(jiān)視用感光元件因為把配置有位置監(jiān)視用感光元件的圓周的中心點20作為中心配置在180度的位置上，所以，可以得到和在光量監(jiān)視用感光元件23a、23b的說明中敘述的結(jié)果同樣的效果。即，在進行旋轉(zhuǎn)狹縫板4和感光部3的位置調(diào)整時，抑制由于旋轉(zhuǎn)角度檢測軌道5兼作光量監(jiān)視用或者位置監(jiān)視用和旋轉(zhuǎn)角度檢測用而引起的，由旋轉(zhuǎn)狹縫板4的旋轉(zhuǎn)位置產(chǎn)生的位置監(jiān)視信號強度的變化，能夠得到相對裝置的小型化而穩(wěn)定的信號。特別是在旋轉(zhuǎn)狹縫板4和感光部3的位置調(diào)整時，因為相當(dāng)于產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道圖案的中心點11和感光元件軌道圖案的中心點20的位置偏移的狀態(tài)，所以，把光量監(jiān)視用感光元件23a和23b配置在角度為180度的位置上的必要性提高。
而且，在圖2中，表示了旋轉(zhuǎn)狹縫板4的光學(xué)狹縫在同一圓周上把矩形(更正確的說是扇形)的光透過部51和光非透過部52交替配置構(gòu)成的情況，但光學(xué)狹縫的形狀并不限于此。例如，非光透過部52不完全遮光也可以，也可以是光透過部51和光非透過部51以一定周期，增加一定比例的強度調(diào)制那樣的狹縫形狀，例如，可以是具有以正弦波形狀連續(xù)的開口的狹縫。這在以下的各實施方式中雖然沒有特別講明，但是一樣的。
實施方式2圖6表示采用本發(fā)明的實施方式2的光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器的構(gòu)成，更具體地說是感光元件的平面圖。因為其他的構(gòu)成和實施方式1相同，所以以下主要說明和實施方式1的不同之處。
在實施方式1中把光量監(jiān)視元件23a、23b和旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光元件31以等間隔配置在同一圓周上的2處，位置監(jiān)視用感光元件21a～21d和旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光元件31以等間隔配置在同一圓周上的4處，而在本實施方式中，光量監(jiān)視用感光元件23a～23d以及位置監(jiān)視用感光元件21a～21d都和旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光元件31配置在同一圓周上的4處。另外，光量監(jiān)視用感光元件，以及位置監(jiān)視用感光元件各自不是等間隔，例如光量監(jiān)視用感光元件23a和23c，以及23b和23d夾著感光元件軌道圖案的中心點20配置在180度的相對位置上，而23a和23b，以及23b和23d的間隔不是90度，把m作為整數(shù)空出(m+1/2)P’的間隔進行配置。即，23a和23b，以及23b和23d以(奇數(shù)/2)P’的間隔配置。另外，位置監(jiān)視用感光元件也一樣，21a和21c，以及21b和21d夾著感光元件軌道圖案的中心點配置在180度的相對位置上，而21a和21b，以及21b和21d的間隔不是90度，把n作為整數(shù)空出(n+1/2)P’的間隔進行配置。即，21a和21b，以及21b和21d以(奇數(shù)/2)P’的間隔配置。
以下，表示本實施方式的效果。在作為光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器的整體構(gòu)成圖的圖1中，在凹面鏡7上反射的光線9變?yōu)榇笾缕叫泄馐丈湓谛D(zhuǎn)狹縫板4上。在這種構(gòu)成中，當(dāng)正確地組裝旋轉(zhuǎn)狹縫板4和感光部3的情況下，通過把光量監(jiān)視用感光元件以及位置監(jiān)視用感光元件的圓周方向上的角度寬度，相對于旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光元件的角度周期P’，設(shè)置成下式，P’×(整數(shù))能夠得到?jīng)]有正弦波變化的監(jiān)視信號，另外，即使在未正確組裝旋轉(zhuǎn)狹縫板4和感光部3的情況下，也能夠得到如實施方式1所示那樣抑制了正弦波變化的監(jiān)視信號。
但是，當(dāng)沒有正確進行光源1和凹面鏡7的位置調(diào)整的情況下，例如如圖7所示，來自凹面鏡7的反射光線9不是大致平行光，變成具有擴散的光線。這種情況下，形成在感光元件組4的表面上的光強度分布的角度周期雖然相同，但與角度周期對應(yīng)的圓周方向上的寬度擴大。另一方面，因為感光元件組的檢測區(qū)域沒有擴大，所以如圖7所示，在檢測信號時發(fā)生缺失部分。上述缺失部分的信號成分因為因旋轉(zhuǎn)而隨時間變化，所以監(jiān)視信號具有正弦波振動成分。
這在實施方式1中的圖3中的感光元件配置中也一樣，因為從配置在180度間隔上的光量監(jiān)視用感光元件23a、23b，以及配置在90度間隔上的位置監(jiān)視用感光元件21a～21d的各感光元件中得到具有同一相位的正弦波成分，所以即使把來自許多位置的感光元件的信號加在一起計算，也不能抑制監(jiān)視信號的正弦波成分。
在本實施方式中的感光元件配置中，例如因為光量監(jiān)視用感光元件23a和光量監(jiān)視用感光元件23b配置成和(m+1/2)P’偏移半周期的位置關(guān)系，所以即使光源1和凹面鏡7的位置調(diào)整未正確進行，來自凹面鏡7的反射光線9變?yōu)榫哂袛U散的光線的情況下，從光量監(jiān)視用感光元件23a輸出的信號和從光量監(jiān)視用感光元件23b輸出的信號也變成具有180度相位差的反相的信號，把來自光量監(jiān)視用感光元件23a和光量監(jiān)視用感光元件23b的信號加在一起計算后的監(jiān)視信號變成正弦波成分得到抑制的穩(wěn)定的信號。
另外，例如因為光量監(jiān)視用感光元件23a和光量監(jiān)視用感光元件23c配置在180度的相對位置上，所以由于和實施方式1同樣的效果，即使對于旋轉(zhuǎn)狹縫板4和感光部3的組裝誤差也能夠得到穩(wěn)定的監(jiān)視信號。
另外，位置監(jiān)視用感光元件也一樣，21a和21c，以及21b和21d夾著感光元件軌道圖案的中心點20配置在180度的相對位置上，21a和21b，以及21b和21d因為把n設(shè)置成整數(shù)按空出(n+1/2)P’的間隔進行配置，所以能夠得到穩(wěn)定的監(jiān)視信號。
而且，在上述實施方式中，以180度間隔配置的光量監(jiān)視用感光元件的組是2組，變成各組空出(m+1/2)P’的間隔進行配置的結(jié)構(gòu)，但也可以是把這種2組的光量監(jiān)視用感光元件設(shè)置成1組，設(shè)置許多組光量監(jiān)視用感光元件。位置監(jiān)視用感光元件也一樣，可以決定設(shè)置多組。無論在哪種情況下，各組間的感光元件的間隔主要以任意間隔設(shè)置即可。
而且，在上述實施方式中，說明了來自凹面鏡7的反射光線9具有擴散的情況，但即使在發(fā)射光線9變?yōu)榭s小的光線的情況下，感光元件也取入多余的信號，監(jiān)視信號具有正弦波振動成分。即使在這種情況下，通過設(shè)置成和上述實施方式同樣的構(gòu)成，從光量監(jiān)視用感光元件23a輸出的信號和從光量監(jiān)視用感光元件23b輸出的信號變成具有180度相位差的反相信號，把來自光量監(jiān)視用感光元件23a和光量監(jiān)視用感光元件23b的信號加在一起計算后的監(jiān)視信號變成正弦波成分得到抑制的穩(wěn)定的信號，具有和上述實施方式同樣的效果。
另外，當(dāng)來自設(shè)計狀態(tài)中的凹面鏡7的反射光線9不是大致平行光束的情況下，例如如圖8所示以減小感光元件面積為目的，也可以在設(shè)計時使反射光線9變成縮小的光線，而這種情況下，不僅是光源1和凹面鏡7的組裝誤差，即使在凹面鏡7和旋轉(zhuǎn)狹縫板4的間隔偏移的情況下，對感光元件的輸入信號也不同。本實施方式在上述的情況下也有效。
實施方式3圖9表示本發(fā)明的實施方式3的光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器的構(gòu)成，更具體地說，是感光元件組的平面圖。其他的構(gòu)成因為和實施方式1相同，所以以下主要說明和實施方式1的不同之處。
在實施方式1中說明了光量監(jiān)視用感光元件23a、23b的半徑方向上的兩端與經(jīng)由光學(xué)狹縫的來自光源1的光的，在光量監(jiān)視用感光元件23a、23b的表面上的分布中的半徑方向上的寬度的范圍相比都設(shè)置在內(nèi)側(cè)(W1’＞W(wǎng)3)的情況，而在本實施方式中，光量監(jiān)視用感光元件23a、23b的半徑方向上的兩端與經(jīng)由光學(xué)狹縫的來自光源1的光在光量監(jiān)視用感光元件23a、23b的表面上的分布中的半徑方向上的寬度的范圍相比都設(shè)置在外側(cè)(W1’＜W3)。
即使在本實施方式中，也和實施方式1的情況一樣，能夠不受在旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道5上的由光非透過部52產(chǎn)生的影響而輸出監(jiān)視信號。當(dāng)在來自光源1的照射光中有強度不均勻的情況下，在旋轉(zhuǎn)狹縫板4上有偏心時因為該不均勻的部分監(jiān)視信號變化，所以實施方式3的構(gòu)成一方監(jiān)視信號的穩(wěn)定性更高，而當(dāng)在外側(cè)有同樣構(gòu)成的許多軌道的情況下，因為有來自其他的軌道的影響，所以實施方式1的構(gòu)成的一方監(jiān)視信號的穩(wěn)定性更高。
另外，光量監(jiān)視用感光元件23a、23b的半徑方向以及圓周方向的寬度也可以對每個配置位置(各光量監(jiān)視用感光元件23a、23b的每個)設(shè)定成各自不同的值。這種情況下，在運算檢測出的監(jiān)視信號時，通過加入面積比的補正，可以得到和實施方式1相同的效果。
另外，如在實施方式1中說明的那樣，當(dāng)用各位置監(jiān)視用感光元件21a～21d檢測各個信號輸出的情況下，也可以取各位置監(jiān)視用感光元件21a～21d的半徑方向的寬度W4如圖9所示比W1’寬。
例如，在圖9中是W4＞W(wǎng)1’并且設(shè)置成，各位置監(jiān)視用感光元件21a～21d的內(nèi)周側(cè)，和經(jīng)由光學(xué)狹縫(光透過部51)的來自光源1的光的，在位置監(jiān)視用感光元件21a～21d表面上的照射區(qū)域(圖9中用網(wǎng)格表示)上的內(nèi)周25(圖9中用虛線表示的圓)吻合。即，各位置監(jiān)視用感光元件21a～21d分別在同一圓周上，而位置監(jiān)視用感光元件21a～21d和旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光元件(旋轉(zhuǎn)角度檢測用區(qū)域22a～22d)不在同一圓周上。
在這樣的構(gòu)成中，例如當(dāng)旋轉(zhuǎn)狹縫板4相對位置監(jiān)視用感光元件21a～21d(感光元件組2)在Y軸箭頭方向上偏移的情況下，因為相對位置監(jiān)視用感光元件21a，來自位置監(jiān)視用感光元件21c的信號強度下降，所以能夠監(jiān)視旋轉(zhuǎn)狹縫板4向Y軸方向的偏移，可以進行位置調(diào)整。
而且，在圖9中，表示各位置監(jiān)視用感光元件21a～21d的內(nèi)周側(cè)和內(nèi)周25吻合的情況，但即使在W4＞W(wǎng)1’，并且各位置監(jiān)視用感光元件21a～21d的外周側(cè)，和經(jīng)由光學(xué)狹縫(光透過部51)的來自光源1的光的，在位置監(jiān)視用感光元件21a～21d表面上的照射區(qū)域(圖9中用網(wǎng)格表示)中的外周(圖9中用虛線表示的圓)吻合的情況下，也可以得到同樣的效果。
另外，也可以取位置監(jiān)視用感光元件21a～21d的半徑方向的寬度W4比W1’窄。這種情況下也和上述一樣，由于使位置監(jiān)視用感光元件21a～21d的外周側(cè)或者內(nèi)周側(cè)與經(jīng)由光學(xué)狹縫的來自光源的光的，在位置監(jiān)視用感光元件21a～21d表面上的照射區(qū)域中的外周26或者內(nèi)周25吻合，因而能夠得到同樣的效果。
另外，也可以把位置監(jiān)視用感光元件21a～21d的半徑方向以及圓周方向的寬度在多個位置上設(shè)置成分別不同的值。這種情況下，在計算從位置監(jiān)視用感光元件21a～21d檢測出的信號時，通過加入面積比的補正，能夠得到和實施方式1同樣的效果。
另外，在圖9中，是位置監(jiān)視用感光元件21a～21d的外周側(cè)或者內(nèi)周側(cè)和外周26或者內(nèi)周25一致，但如圖10所示，位置監(jiān)視用感光元件21a～21d的外周側(cè)以及內(nèi)周側(cè)的任何一個都能夠取和上述外周26以及內(nèi)周25的哪個都不一致的配置。即，和圖9的情況一樣，各位置監(jiān)視用感光元件21a～21d分別在同一圓周上，而位置監(jiān)視用感光元件21a～21d和旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光元件(旋轉(zhuǎn)角度檢測用區(qū)域22a～22d)不在同一圓周上。
這種情況下，例如通過進行調(diào)整，使得來自光量監(jiān)視用感光元件23a、23b的信號強度和來自位置監(jiān)視用感光元件21a～21d的信號強度的比成為某一設(shè)定值，由此與和外周26以及內(nèi)周25之一一致的配置相比，靈敏度稍有降低，但能夠得到和實施方式1大致相同的效果。
實施方式4圖11以及圖12表示本發(fā)明的實施方式4的光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器的構(gòu)成，圖11是全體的側(cè)視圖，圖12是感光元件組的平面圖。其他的構(gòu)成因為和實施方式1相同，所以以下主要說明和實施方式1的不同之處。
照射在旋轉(zhuǎn)狹縫板4的光學(xué)狹縫上的光線也可以不照射在光學(xué)狹縫的全周上。例如，如圖11所示把來自配置在許多位置(圖11中是4處)上的光源1a～1d的光8a～8d照射在分別設(shè)置在旋轉(zhuǎn)狹縫板4上的光學(xué)狹縫的一部分上，也可以用設(shè)置在感光部3上的感光元件組2檢測該透射光，能夠得到和實施方式1一樣的效果。
另外，如在圖12中表示感光元件組2的配置方法的一例所示，在本實施方式中，具有旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光元件(在圖12中表示配置有旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光元件的旋轉(zhuǎn)角度檢測用區(qū)域22a～22d)、位置監(jiān)視用感光元件21a～21d、光量監(jiān)視用感光元件23a～23d的感光元件單元2a～2d與向著光學(xué)狹縫的來自光源1a、1b、1c、1d的光的照射位置(照射區(qū)域102a、102b、102c、102d)對應(yīng)地配置在圓周上的多處(圖12中在等間隔的4處)。這樣，通過使用和各單元2a～2d同樣形狀的感光元件，能夠制成更適宜量產(chǎn)的感光元件組。
希望配置成各感光元件單元2a、2b、c、2d收納在各光源1a、1b、1c、1d的照射區(qū)域102a、102b、102c、102d中。另外，希望來自各光源1a、1b、1c、1d的光量均勻，而當(dāng)各個光源1a、1b、1c、1d存在差異的情況下，分別檢測在各照射區(qū)域102a、102b、102c、102d上配置1處或者1處以上的來自光量監(jiān)視用感光元件(在圖12中在各照射區(qū)域102a、102b、102c、102d上各配置1處)23a～23d的輸出，通過控制成來自各光源1a、1b、1c、1d的光量變得均勻，能夠得到穩(wěn)定的信號。
而且，在圖12中對于位置監(jiān)視用感光元件21a～21d，和實施方式1一樣配置在同一圓周上的4處，而希望與來自光源1a～1d的照射區(qū)域相應(yīng)適宜地配置在許多位置上。
而且，對于位置監(jiān)視用感光元件21a～21d和光量監(jiān)視用感光元件23a～23d的半徑方向的寬度以及半徑方向的位置，并不限于圖12所示的位置，也可以用在實施方式3中說明的位置。
實施方式5圖13表示本發(fā)明的實施方式5的光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器的構(gòu)成，更具體地說，是感光元件組的平面圖。其他的構(gòu)成因為和實施方式1一樣，所以以下主要說明和實施方式1的不同之處。
在本實施方式中，把具有旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光元件(在圖13中表示配置有旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光元件的旋轉(zhuǎn)角度檢測用區(qū)域22a～22c)、位置監(jiān)視用感光元件21a～21c、光量監(jiān)視用感光元件23a～23c的感光元件單元2a～2c與來自光源的對光學(xué)狹縫的光的照射位置對應(yīng)地配置在圓周上的多個位置上(在圖13中等間隔地配置在3處)。各旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光元件(旋轉(zhuǎn)角度檢測用區(qū)域22a～22c)在同一圓周上以等間隔(把配置有旋轉(zhuǎn)角度檢測用區(qū)域22a～22c的圓周的中心點20作為中心在角度120度的位置上)配置3處。另外，各位置監(jiān)視用感光元件21a～21c在同一圓周上以等間隔(把配置有位置監(jiān)視用感光元件21a～21c的圓周的中心點20作為中心在角度120度的位置上)配置3處。另外，各光源監(jiān)視用感光元件23a～23c在同一圓周上以等間隔(把配置有光量監(jiān)視用感光元件23a～23c的圓周的中心點20作為中心在角度120度的位置上)配置3處。
這樣，即使未在180度相對位置上的許多位置上配置了光量監(jiān)視用感光元件23a～23c的情況下，如果與在1處監(jiān)視的情況相比，則光量監(jiān)視信號因組裝·調(diào)整時等的誤差引起的正弦波變化變小。
另外，即使對于位置監(jiān)視用感光元件21a～21c，也通過設(shè)置在圓周上的多個位置上而能夠得到同樣的效果。即，不僅旋轉(zhuǎn)狹縫板的半徑方向(圖3的Y軸方向)，而且對圓周方向(圖3的X軸方向)的位置調(diào)制也容易精確地進行。因而，能夠極大減小組裝時的旋轉(zhuǎn)狹縫板和感光元件的位置偏移，可以得到小型且檢測角度良好的光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器。
但是，與配置在接近圓周上的許多位置上相比，例如如圖13所示的120度間隔的3個位置那樣，在圓周上以等間隔配置的一方能夠容易精確地檢測到旋轉(zhuǎn)狹縫板4(旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道5)和感光部3(感光元件軌道)的所有方向的偏移。
而且，對于位置監(jiān)視用感光元件21a～21c和光量監(jiān)視用感光元件23a～23c的半徑方向的寬度以及半徑方向的位置，并不限于圖13所示的位置，也可以是在實施方式3中說明的位置。
而且，在上述各實施方式中，說明了把位置監(jiān)視用感光元件配置在許多位置上的情況，但只要至少配置在一處上就能夠監(jiān)視旋轉(zhuǎn)狹縫板的位置。
實施方式6圖14是表示本發(fā)明的實施方式6的光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器的整體構(gòu)成的剖面圖。在實施方式1中，如圖1所示說明了具有使用了透過式的光學(xué)狹縫的折返型光線系統(tǒng)的情況，但在本實施方式中，設(shè)置成使用反射式的光學(xué)狹縫，在旋轉(zhuǎn)狹縫板4上的反射部53上反射從光源1發(fā)出的光8，用感光元件組2接收該反射光201進行光電變換那樣的折返型的光線系統(tǒng)。
即使在具有這種光線系統(tǒng)的光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器中，由于和上述各實施方式一樣地配置旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光元件、位置監(jiān)視用感光元件，以及光量監(jiān)視用感光元件，因而能夠得到同樣的效果。
而且，在上述各實施方式中，以經(jīng)由光學(xué)狹縫接收來自光源的光的方式，把位置監(jiān)視用感光元件與來自光源的對著光學(xué)狹縫的光的照射位置對應(yīng)地配置，把旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道兼作位置監(jiān)視用軌道，但也可以把位置監(jiān)視用的光學(xué)狹縫和旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道分開設(shè)置。進而，不設(shè)置位置監(jiān)視用感光元件而用使用了顯微鏡的光學(xué)方式也可以進行旋轉(zhuǎn)狹縫板和感光部的對位。
權(quán)利要求
1.一種光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于，包括旋轉(zhuǎn)狹縫板，具有由光學(xué)狹縫構(gòu)成的旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道；光源，向上述光學(xué)狹縫照射光；旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光元件，與來自上述光源的光向上述光學(xué)狹縫的照射位置對應(yīng)配置、且經(jīng)由上述光學(xué)狹縫接收來自上述光源的光；光量監(jiān)視用感光元件，與來自上述光源的光向上述光學(xué)狹縫的照射位置相對應(yīng)地配置在圓周上的多個位置上，并經(jīng)由上述光學(xué)狹縫接收來自上述光源的光，其中，上述光量監(jiān)視用感光元件的角度寬度是經(jīng)由上述光學(xué)狹縫的來自上述光源的光在上述光量監(jiān)視用感光元件的表面上的強度分布的角度周期的整數(shù)倍。
2.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于兩個上述光量監(jiān)視用感光元件與從上述光源射出的光向上述光學(xué)狹縫的照射位置相對應(yīng)地配置在圓周上，并且上述兩個光量監(jiān)視用感光元件以上述圓周的中心點為中心配置在角度為180度的位置上。
3.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于兩個上述光量監(jiān)視用感光元件與從上述光源射出的光向上述光學(xué)狹縫的照射位置相對應(yīng)地配置在圓周上，并且按照經(jīng)由上述光學(xué)狹縫的來自上述光源的光在上述光量監(jiān)視用感光元件的表面上的強度分布的角度周期的(奇數(shù)/2)為間隔進行配置。
4.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于兩組上述光量監(jiān)視用感光元件與從上述光源射出的光向上述光學(xué)狹縫的照射位置相對應(yīng)地配置在圓周上，并且對于各組光量監(jiān)視用感光元件，以上述圓周的中心點為中心在角度為180度的位置上配置兩個光量監(jiān)視用感光元件，并且兩組光量監(jiān)視用感光元件按照經(jīng)由上述光學(xué)狹縫的來自上述光源的光在上述光量監(jiān)視用感光元件的表面上的強度分布的角度周期的(奇數(shù)/2)為間隔進行配置。
5.如權(quán)利要求1所述的光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器，其特征在于上述光量監(jiān)視用感光元件在半徑方向上的兩端與經(jīng)由上述光學(xué)狹縫的來自上述光源的光在上述光量監(jiān)視用感光元件的表面上的分布中的半徑方向上的寬度范圍相比，都在內(nèi)側(cè)或者外側(cè)。
全文摘要
提供一種即使存在組裝·調(diào)整時等的誤差的情況下，也使光量監(jiān)視信號穩(wěn)定，小型且檢測精度好的光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器。在本發(fā)明的光學(xué)旋轉(zhuǎn)編碼器中，具備具有由光學(xué)狹縫組成的旋轉(zhuǎn)角度檢測用軌道的旋轉(zhuǎn)狹縫板；向上述光學(xué)狹縫照射光的光源；與來自上述光源的光向著上述光學(xué)狹縫的照射位置對應(yīng)地配置，經(jīng)由上述光學(xué)狹縫接收來自上述光源的光的旋轉(zhuǎn)角度檢測用感光元件；與來自上述光源的光向著上述光學(xué)狹縫的照射位置對應(yīng)地配置在圓周上的多個位置上，經(jīng)由上述光學(xué)狹縫接收來自上述光源的光的光量監(jiān)視用感光元件，上述光量監(jiān)視用感光元件的角度寬度是經(jīng)由上述光學(xué)狹縫的來自上述光源的光在上述光量監(jiān)視用感光元件的表面上的強度分布的角度周期的整數(shù)倍。
文檔編號G01D5/36GK1938565SQ20058001025
公開日2007年3月28日 申請日期2005年3月29日 優(yōu)先權(quán)日2004年3月31日
發(fā)明者武舍武史, 岡徹, 大村陽一 申請人:三菱電機株式會社