專利名稱：旋轉(zhuǎn)速度傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種根據(jù)權(quán)利要求1前序部分的旋轉(zhuǎn)速度傳感器。
背景技術(shù)：
旋轉(zhuǎn)速度傳感器通常用來測定物件圍繞軸線的角速度。如果旋轉(zhuǎn)速度傳感器基于硅基板微機械地構(gòu)成，那么它相對于精密機械技術(shù)的回轉(zhuǎn)儀具有這樣的優(yōu)點，即它可以相對低的費用以非常小的尺寸構(gòu)成。此外有利的是較小的測量不確定性和在運行過程中較小的能量消耗。旋轉(zhuǎn)速度傳感器的一個重要的應(yīng)用領(lǐng)域是汽車技術(shù)，例如在行駛動力學(xué)調(diào)節(jié)系統(tǒng)如電子穩(wěn)定程序中。防車輛抱死系統(tǒng)、自動的制動力分配、傳動裝置滑轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)裝置和偏轉(zhuǎn)力矩調(diào)節(jié)裝置共同作用，使得汽車的橫向以及縱向穩(wěn)定通過有目的地剎止單個車輪實現(xiàn)。因此可以阻止汽車圍繞其豎軸轉(zhuǎn)動。旋轉(zhuǎn)速度傳感器的另外的應(yīng)用在于與安全氣囊控制單元和乘客的安全帶拉回系統(tǒng)一起進行所謂的汽車傾翻探測。此外旋轉(zhuǎn)速度傳感器用于導(dǎo)航目的以及用于確定所有類型的汽車的位置和運動狀況。其它的應(yīng)用領(lǐng)域例如是用于攝像機的圖像穩(wěn)定器、衛(wèi)星移入地球軌道時的動態(tài)調(diào)節(jié)或在備用位置調(diào)節(jié)系統(tǒng)時的民用飛行。
微機械制造的旋轉(zhuǎn)速度傳感器通常具有一個振動裝置，其經(jīng)由一個傳動裝置置于振動中。如果振動裝置在一個旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)中徑向向內(nèi)或向外運動，那么它的軌道速度發(fā)生改變。它因此經(jīng)歷通過科氏力引起的切向加速。振動裝置對于旋轉(zhuǎn)的反應(yīng)可以例如借助于一個其它的振動裝置或其它的讀取裝置探測。
由德國專利文獻DE19641284C1已知一種旋轉(zhuǎn)速度探測器，其具有一個第一振動裝置以及一個第二振動裝置的構(gòu)成為彈簧裝置的脫離聯(lián)系的傳動以及讀取結(jié)構(gòu)。這種傳感器構(gòu)造以及其它類似的由現(xiàn)有技術(shù)已知的與科氏力相關(guān)的傳感器的缺點在于，通過在此必需的脫離產(chǎn)生被動的振動質(zhì)量，其又減小測量靈敏度，因為科氏力對振動質(zhì)量不能產(chǎn)生影響。
國際公開文獻WO03/104823A1公開了一種多軸的整體式加速度傳感器，其具有直至四個振動質(zhì)量，它們構(gòu)成為漿形形狀并且經(jīng)由扭轉(zhuǎn)彈簧懸掛在一個框架上。利用這種傳感器可以測量各個主靈敏軸線方向上的加速度，然而不能測量旋轉(zhuǎn)速度。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于使得旋轉(zhuǎn)速度傳感器對起作用的科氏力的靈敏度最大化。特別是應(yīng)當(dāng)提供盡可能不相關(guān)的傳動以及讀取結(jié)構(gòu)。
根據(jù)本發(fā)明，上述目的通過如下旋轉(zhuǎn)速度傳感器實現(xiàn)，其具有一個基板；至少一個基礎(chǔ)元件，其包括一個框架、一個位于基板上的框架的懸掛裝置、至少一個振動裝置以及一個位于框架上的振動裝置的懸掛裝置；一個傳動裝置；以及一個讀取裝置，其中傳動裝置這樣構(gòu)成，使得它作用在基礎(chǔ)元件的框架上或經(jīng)由框架整個基礎(chǔ)單元被激勵成振動。
因此根據(jù)本發(fā)明所有運動的結(jié)構(gòu)在傳動方向上被激勵成振動，其中也包括對科氏力靈敏的振動裝置，其然而還具有一個其它的運動自由度。與現(xiàn)有技術(shù)相比因此不存在靜止的或惰性的(passive)質(zhì)量，其減小旋轉(zhuǎn)速度傳感器的靈敏度，因為科氏力不能作用在靜止的或惰性的質(zhì)量上。
優(yōu)選基礎(chǔ)元件的框架構(gòu)成為基本上僅可以在一個通過基板張開的平面內(nèi)運動。在與之垂直的方向上，框架基本上是剛性的。振動裝置這樣構(gòu)成，即它優(yōu)選實施垂直于傳動方向的運動。傳動運動可以通過選擇合適的振動裝置的懸掛裝置盡可能不激勵沿其自由度的運動。振動裝置的運動同樣不干擾傳動運動。換句話說，振動裝置的感應(yīng)運動與框架的傳動運動是脫離聯(lián)系的。這是本發(fā)明的優(yōu)選的實施方式。特別有利的是，讀取裝置的靈敏度方向基本上垂直于傳動裝置的作用方向。
特別是每個基礎(chǔ)元件具有一個單獨的傳動裝置，從而每個基礎(chǔ)元件可以彼此獨立地被驅(qū)動或激勵成振動。位于各個基礎(chǔ)元件之間的耦合單元因此不再是必需的。
優(yōu)選傳動裝置構(gòu)成為具有一個電容性激勵裝置的傳動齒梳(Antriebskamm)。激勵裝置或傳動裝置例如可以通過電氣的、熱學(xué)的、磁性的、壓電的或其它合適的方式和方法實現(xiàn)。
振動裝置優(yōu)選構(gòu)成為特別是漿形狀的振動質(zhì)量。優(yōu)選設(shè)置彈簧用于將振動裝置懸掛在框架上并且用于將框架懸掛在基板上。振動裝置的懸掛裝置在此通過扭轉(zhuǎn)梁或彎曲梁構(gòu)成。
特別有利的是，框架和振動裝置的(共振)頻率可以通過彈簧彼此不相關(guān)地調(diào)節(jié)，因為彈簧彼此不相關(guān)并且基本上不相互影響。
特別有利的是，旋轉(zhuǎn)速度傳感器具有至少兩個基礎(chǔ)元件，它們借助于一耦合單元相互連接。所述耦合構(gòu)成為使得各個基礎(chǔ)元件的運動只受到很小的影響。各基礎(chǔ)元件優(yōu)選彼此轉(zhuǎn)動180°(在兩個基礎(chǔ)元件的情況下)或90°(在四個基礎(chǔ)元件的情況下)，從而它們可以被激勵成反相的振動，由此系統(tǒng)的整個重心保持靜止。各基礎(chǔ)元件通過耦合具有一個共同的共振頻率。
盡管基礎(chǔ)元件的運動原則上只受到很小的影響，但是有利的是，耦合單元在對置的逆相振動的基礎(chǔ)元件的情況下將相對于所述基礎(chǔ)元件分別轉(zhuǎn)動90°設(shè)置的基礎(chǔ)元件激勵或強迫成逆相振動。
優(yōu)選耦合單元環(huán)形或圓形構(gòu)成并且在基礎(chǔ)元件的共同的重心附近懸掛。
特別有利的是，存在至少兩個讀取裝置，從而在不同方向上的兩個旋轉(zhuǎn)運動可以被感應(yīng)或探測。一個讀取裝置優(yōu)選探測框架在通過基板張開的平面內(nèi)垂直于傳動裝置的作用方向的運動，并且另外一個讀取裝置探測振動裝置垂直于通過基板張開的平面的運動。
在本發(fā)明的一個有利的方案中，也可以在每個框架上彼此轉(zhuǎn)動180°地設(shè)置兩個讀取裝置。


在下面的說明中借助于附圖和實施例詳細闡述本發(fā)明的特征和細節(jié)。在各單個方案中描述的特征和關(guān)聯(lián)原則上可以轉(zhuǎn)移到所有的實施例中。其中圖1示意示出本發(fā)明的第一實施例，其分別具有一個基礎(chǔ)元件，所述基礎(chǔ)元件具有一個振動裝置(圖1a和1b)或兩個振動裝置(圖1c)；圖2根據(jù)本發(fā)明的另外一個實施例的本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)速度傳感器的一部分的示意圖，該旋轉(zhuǎn)速度傳感器具有兩個耦合的基礎(chǔ)元件；圖3本發(fā)明的第三實施例的示意圖，其具有四個耦合的基礎(chǔ)元件；圖4本發(fā)明的第四實施例的示意圖，其具有兩個耦合的基礎(chǔ)元件；圖5一個按電容方式工作的讀取裝置的示意圖。
具體實施例方式
圖1包含三個單個的附圖1a至1c，在圖1中示出基礎(chǔ)元件1的不同的實施方式，它們可以應(yīng)用在本發(fā)明中。一個微機械制造的旋轉(zhuǎn)速度傳感器通常包括多個元件。一個在附圖中未示出的基板特別是具有一個平的表面，所述基板例如可以是一個硅晶片。
在基板上或內(nèi)構(gòu)成至少一個基礎(chǔ)元件1，其包括一個或多個振動裝置3。根據(jù)本發(fā)明，振動裝置優(yōu)選構(gòu)成為振動質(zhì)量3，其懸掛在一個框架2內(nèi)。這個懸掛裝置例如可以經(jīng)由扭轉(zhuǎn)梁5或彎曲梁4實現(xiàn)。彎曲梁4具有一個線性的彈簧特征曲線，然而本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)速度傳感器的振動質(zhì)量3優(yōu)選經(jīng)由扭轉(zhuǎn)梁5固定在框架2上。根據(jù)圖1c，基礎(chǔ)元件1具有一個或多個振動質(zhì)量3，例如兩個具有對置的懸掛裝置5的漿3。
懸掛裝置4、5允許振動質(zhì)量3的重心僅僅沿z方向垂直于框架2的平面運動?？蚣?的平面平行于基板或通過基板張開的平面(x/y平面)。
如圖1c所示，基礎(chǔ)元件1經(jīng)由一個或多個其它的懸掛裝置7固定在未示出的基板上。懸掛裝置7優(yōu)選由彈簧構(gòu)成。這允許基礎(chǔ)元件1沿第一軸線(y軸)方向y平行于基板運動。在這個實施例中彈簧7在垂直于第一軸線(y軸)的方向x、z上基本上剛性構(gòu)成。根據(jù)下面描述的實施例，也可以的是，懸掛裝置7僅僅在方向z上是剛性的。根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選的實施形式，基礎(chǔ)元件1的框架2在任何情況下僅僅在通過基板張開的平面(x/y平面)內(nèi)是可以運動的。
旋轉(zhuǎn)速度傳感器此外具有至少一個在圖1中未示出的激勵裝置或傳動裝置。傳動裝置是一個可以將基礎(chǔ)元件1激勵成沿著第一軸線(y軸)振動的裝置。傳動裝置例如可以通過電氣的、熱學(xué)的、磁性的、壓電的或其它合適的方式和方法實現(xiàn)。
旋轉(zhuǎn)速度傳感器最后還包括至少一個讀取裝置(在圖1a至圖1c中未示出)，它測量振動裝置或振動質(zhì)量3在z方向上、即在垂直于框架2的平面(x/y平面)的方向上的偏轉(zhuǎn)。讀取裝置例如可以涉及電容的、壓阻的、磁性的、壓電的或光學(xué)的測量原理。
下面簡述旋轉(zhuǎn)速度傳感器的工作原理?；A(chǔ)元件1或框架2被激勵成沿第一軸線(y軸)周期性振動。在振動裝置或振動質(zhì)量3圍繞第二軸線(x軸，在基板平面內(nèi)并且垂直于第一軸線)作旋轉(zhuǎn)運動時，出現(xiàn)一個垂直于第一以及第二軸線、即在第三軸線的方向z上的科氏力?？剖狭Σ粌H作用在框架2上，而且作用在懸掛裝置在那兒的振動裝置或振動裝置3上。框架2然而在方向z上是剛性的，從而僅僅振動質(zhì)量3沿著這個軸線偏轉(zhuǎn)。這個偏轉(zhuǎn)通過探測或讀取裝置探測并且是所出現(xiàn)的旋轉(zhuǎn)速度的量度。
與圖2相聯(lián)系并且換句話說，一個盡可能剛性的框架2在傳動裝置8的方向y上被激勵并且優(yōu)選僅僅在方向y上是可以運動的。這個運動被轉(zhuǎn)移到振動質(zhì)量3上，其僅僅在讀取方向z(垂直于激勵方向y)上柔軟地懸掛裝置。由此振動質(zhì)量3盡可能在單純的傳動運動中保持靜止?？剖狭H僅移動振動質(zhì)量3，被移動的框架2在這個方向上盡可能剛性。傳動運動由此基本上不受干擾。傳動運動反之也盡可能不影響讀取裝置(在圖2中未示出)的信號讀取，讀取運動原則上對傳動運動沒有反饋。
優(yōu)選通過構(gòu)成為傳動裝置8的電容性的齒梳結(jié)構(gòu)(圖2)實現(xiàn)激勵，它例如也可以通過振動質(zhì)量3的懸掛裝置中的壓阻實現(xiàn)(未示出)，其中測量在一個偏轉(zhuǎn)過程中懸掛裝置5中的應(yīng)力。讀取例如通過對應(yīng)電極電容性地實現(xiàn)，其與振動質(zhì)量3隔開設(shè)定的距離設(shè)置。
根據(jù)本發(fā)明，傳動裝置8直接或間接作用在基礎(chǔ)元件1的框架2上，或整個基礎(chǔ)元件1經(jīng)由框架2被激勵成振動。因此所有的運動的結(jié)構(gòu)在傳動方向y上被激勵成振動，其中也包括對科氏力靈敏的振動裝置3，其然而還具有一個其它的運動自由度。與現(xiàn)有技術(shù)相比因此不存在靜止的或惰性的質(zhì)量，其減小旋轉(zhuǎn)速度傳感器的靈敏度，因為科氏力不能作用在靜止的或惰性的質(zhì)量上。
圖2示出了本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)速度傳感器的一個實施例，其具有兩個耦合的轉(zhuǎn)動180°的基礎(chǔ)元件1，所述基礎(chǔ)元件分別具有兩個振動質(zhì)量3，它們被激勵成逆相的振動。這具有下面的優(yōu)點。通過兩個對稱設(shè)置的基礎(chǔ)元件1的逆相的振動，系統(tǒng)的整個重心保持靜止，以理想的方式不在芯片構(gòu)造上作用能量。沿z軸方向的線性加速度(例如振動)可以通過差異的信號評價消除。在x方向上的振動由于所使用的懸掛裝置的高剛性對旋轉(zhuǎn)速度傳感器的運行不產(chǎn)生影響。一個位于各基礎(chǔ)元件1之間的耦合單元6促成兩個基礎(chǔ)元件1在y方向上逆相運動的共同的共振頻率。
圖3示出了本發(fā)明的多軸的x/y-旋轉(zhuǎn)速度傳感器的實施例。這意味著，在x和y方向上的旋轉(zhuǎn)方向因此可以被探測。在此，四個彼此轉(zhuǎn)動90°的基礎(chǔ)元件11、12、13、14彼此耦合，使得各兩個基礎(chǔ)元件11、13或12、14可以在x方向或y方向上逆相振動。兩個振動方向x、y位于一個平面內(nèi)并且相互垂直。所選擇的耦合單元6支持振動裝置或振動質(zhì)量3的逆相振動特性。在這種設(shè)置的情況下，沿著方向y設(shè)置的基礎(chǔ)元件12、14不僅彼此之間而且與在方向y上設(shè)置的基礎(chǔ)元件11、13相位移動180°。由于未示出的讀取裝置相對于傳動裝置8的信號的相位關(guān)系，也可以探測和區(qū)別位于基片平面內(nèi)和位于精確的x方向和y方向之間的旋轉(zhuǎn)方向。
特別是每個基礎(chǔ)元件11、12、13、14具有一個單獨的傳動裝置8，從而每個基礎(chǔ)元件11、12、13、14可以彼此獨立地被驅(qū)動或激勵成振動。位于各個基礎(chǔ)元件11、12、13、14之間的耦合單元6因此不再是必需的，但是仍然具有上述的優(yōu)點。
優(yōu)選耦合單元6環(huán)形或圓形構(gòu)成并且與基礎(chǔ)元件11、12、13、14共同的重心鄰近地懸掛。
作為本發(fā)明的另外一個實施例，在圖4中示出一個多軸的x/z旋轉(zhuǎn)速度傳感器?；谠趫D2中描述的單軸的旋轉(zhuǎn)速度傳感器，通過這個實施例可以實現(xiàn)一個具有靈敏度方向x和z的兩軸的旋轉(zhuǎn)速度傳感器。兩個基礎(chǔ)元件1在此利用一個構(gòu)成為彈簧的懸掛裝置7的系統(tǒng)這樣懸掛，使得它們不僅在y方向上而且在x方向上可以運動?；A(chǔ)元件1沿著方向y經(jīng)由構(gòu)成為電容性結(jié)構(gòu)或傳動齒梳的傳動裝置8被激勵成逆相的振動。
x傳感器按照下面的方式工作。在出現(xiàn)x方向上的旋轉(zhuǎn)速度時，對在基礎(chǔ)元件1內(nèi)移動地懸掛的振動質(zhì)量或漿3施加一個在z方向上力。在此出現(xiàn)的圍繞懸掛裝置或扭轉(zhuǎn)梁5的翻轉(zhuǎn)借助于一個在圖4中未示出的讀取裝置被探測為電容變化，所述讀取裝置例如可以借助于位于上方的電極構(gòu)成。
在圖5中示出例如一個這種類型的讀取裝置10，其可以通過電容變化測定振動質(zhì)量3的運動。在此存在一個固定在基板上的對應(yīng)電極。
再參考圖4，在圖4中z傳感器按照如下方式工作。z方向上的旋轉(zhuǎn)速度引起基礎(chǔ)元件1在x方向上的移動。這種移動借助于一個構(gòu)成為電容性齒梳結(jié)構(gòu)的讀取裝置9探測。特別有利的是，在每個基礎(chǔ)元件1上轉(zhuǎn)動180度地固定兩個讀取裝置9。因此在每個基礎(chǔ)元件1上可以評測信號差。
本發(fā)明根據(jù)圖4的實施方式的特別的優(yōu)點如下所述。通過所示的設(shè)置，可以同時測量在x方向上的旋轉(zhuǎn)速度和在z方向上的旋轉(zhuǎn)速度。讀取裝置9、10在這兩個軸線上盡可能脫離耦合。通過使用差異的讀取原理可以盡可能抑制或補償沿著x或z軸線的線性加速度。本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)速度傳感器的兩軸的實施方式也可以相對較小，因為對于讀取裝置9、10的兩個探測軸線或靈敏度方向u、w而言可以使用同一個基礎(chǔ)元件1。
在所有的實施例中懸掛裝置或彈簧4、5、7盡可能彼此不相關(guān)地構(gòu)成，它們確定框架2的激勵運動和振動質(zhì)量或振動裝置3的讀取運動的共振頻率。特別是有利的是，頻率因此也可以彼此不相關(guān)地調(diào)節(jié)。
在具有至少兩個基礎(chǔ)元件1的實施例中，振動質(zhì)量3和框架2的懸掛裝置4、5、7優(yōu)選也可以這樣選擇，使得第一基礎(chǔ)元件1中的振動質(zhì)量或振動裝置3的運動對第二基礎(chǔ)元件1中的振動裝置3的運動有較小的耦合。因此兩個振動質(zhì)量3不是完全彼此不相關(guān)，從而產(chǎn)生兩個基礎(chǔ)元件的兩個共同的共振頻率。在一個通過作用的科氏力激勵的使用模式中，基礎(chǔ)元件1的各振動質(zhì)量3相位彼此偏移180度地振動。一個其表示為振動質(zhì)量或振動裝置3的同相振動(零相偏移)的寄生模式存在于一個另外的頻率帶內(nèi)并且可以通過合適的過濾消除。由此可以抑制通過這樣耦合的基礎(chǔ)元件1的較小不對稱引起的信號。
權(quán)利要求
1.旋轉(zhuǎn)速度傳感器，包括一個基板；至少一個基礎(chǔ)元件(1、11、12、13、14)，其包括一個框架(2)、一個位于基板上的框架(2)的懸掛裝置(7)、至少一個振動裝置(3)以及一個位于框架(2)上的振動裝置(3)的懸掛裝置(4、5)；一個傳動裝置(8)；以及一個讀取裝置(9、10)，其中傳動裝置(8)這樣構(gòu)成，使得它作用在基礎(chǔ)元件(1、11、12、13、14)的框架(2)上。
2.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)速度傳感器，其特征在于，基礎(chǔ)元件(1、11、12、13、14)的框架(2)基本上僅僅可以在一個通過基板張開的平面(x/y平面)內(nèi)運動。
3.如權(quán)利要求1或2所述的旋轉(zhuǎn)速度傳感器，其特征在于，每個基礎(chǔ)元件(1、11、12、13、14)具有一個單獨的傳動裝置(8)。
4.如上述權(quán)利要求之一所述的旋轉(zhuǎn)速度傳感器，其特征在于，傳動裝置(8)構(gòu)成為具有一個電容性激勵裝置的傳動齒梳。
5.如上述權(quán)利要求之一所述的旋轉(zhuǎn)速度傳感器，其特征在于，振動裝置(3)構(gòu)成為特別是漿形狀的振動質(zhì)量。
6.如上述權(quán)利要求之一所述的旋轉(zhuǎn)速度傳感器，其特征在于，讀取裝置(9、10)的靈敏度方向(u、w)基本上垂直于傳動裝置(8)的作用方向(v)。
7.如上述權(quán)利要求之一所述的旋轉(zhuǎn)速度傳感器，其特征在于，振動裝置(3)的懸掛裝置(4、5)以及框架(2)的懸掛裝置(7)構(gòu)成為彈簧。
8.如權(quán)利要求7所述的旋轉(zhuǎn)速度傳感器，其特征在于，框架(2)和振動裝置(3)的共振頻率可以通過彈簧(4、5、7)彼此不相關(guān)地調(diào)節(jié)。
9.如上述權(quán)利要求之一所述的旋轉(zhuǎn)速度傳感器，其特征在于，旋轉(zhuǎn)速度傳感器具有至少兩個基礎(chǔ)元件(1、11、12、13、14)，它們借助于一耦合單元(6)彼此連接。
10.如權(quán)利要求9所述的旋轉(zhuǎn)速度傳感器，其特征在于，基礎(chǔ)元件(1、11、12、13、14)具有一共同的共振頻率。
11.如權(quán)利要求9或10所述的旋轉(zhuǎn)速度傳感器，其特征在于，旋轉(zhuǎn)速度傳感器具有四個彼此轉(zhuǎn)動90度的基礎(chǔ)元件(11、12、13、14)。
12.如權(quán)利要求11所述的旋轉(zhuǎn)速度傳感器，其特征在于，耦合單元(6)在對置的逆相振動的基礎(chǔ)元件(11、13)的情況下將相對于所述基礎(chǔ)元件分別轉(zhuǎn)動90°設(shè)置的基礎(chǔ)元件(12、14)激勵成逆相振動。
13.如權(quán)利要求9至12之一所述的旋轉(zhuǎn)速度傳感器，其特征在于，耦合單元(6)環(huán)形或圓形地構(gòu)成并且在基礎(chǔ)元件(1、11、12、13、14)的共同的重心附近懸掛。
14.如權(quán)利要求9至13之一所述的旋轉(zhuǎn)速度傳感器，其特征在于，在旋轉(zhuǎn)速度傳感器上設(shè)置至少兩個讀取裝置(9、10)。
15.如權(quán)利要求14所述的旋轉(zhuǎn)速度傳感器，其特征在于，一個讀取裝置(9)探測框架(2)在通過基板張開的平面內(nèi)垂直于傳動裝置(8)的作用方向(v)的運動，并且另外一個讀取裝置(10)探測振動裝置(3)垂直于通過基板張開的平面的運動(w)。
16.如權(quán)利要求14或15所述的旋轉(zhuǎn)速度傳感器，其特征在于，在每個框架(2)上彼此轉(zhuǎn)動180°地設(shè)置兩個讀取裝置(9)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種旋轉(zhuǎn)速度傳感器，包括一個基板；至少一個基礎(chǔ)元件(1)，其包括一個框架(2)、一個位于基板上的框架(2)的懸掛裝置(7)、至少一個振動裝置(3)以及一個位于框架(2)上的振動裝置(3)的懸掛裝置(4、5)；一個傳動裝置(8)；以及一個讀取裝置(9、10)。根據(jù)本發(fā)明，傳動裝置這樣構(gòu)成，使得它作用在基礎(chǔ)元件(1)的框架(2)上。
文檔編號G01C19/56GK101027536SQ200580032548
公開日2007年8月29日 申請日期2005年9月27日 優(yōu)先權(quán)日2004年9月27日
發(fā)明者B·哈特曼, K·卡普塞, R·格廷格, S·京特納 申請人:康蒂特米克微電子有限公司