專利名稱：氣體流量計校準(zhǔn)臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種氣體流量試驗臺。
背景技術(shù)：
氣體計量被用于多種應(yīng)用中以測量和/或控制氣體體積.多種制造 和生產(chǎn)作業(yè)中包括氣體計量，其中一種或多種氣體在進(jìn)入制造工藝時 被計量或在排出生產(chǎn)工藝時被計量.質(zhì)量流量計可用于測量和/或計量 出精確量的氣體.質(zhì)量流量計的精確度因此非常重要.
質(zhì)量流量計的生產(chǎn)商通常在其計量表被運輸給消費者之前對所述 計量表進(jìn)行校準(zhǔn)。校準(zhǔn)可包括多種類型的校準(zhǔn)過程和設(shè)備。 一種通常 的校準(zhǔn)方法是將由進(jìn)行測試的計量表產(chǎn)生的氣體流量測量值與同樣的 流動氣體流的已知的經(jīng)過高度校準(zhǔn)的質(zhì)量流量測量值進(jìn)行比較。結(jié)果 是，進(jìn)行測試的計量表可與已知的測量標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行比較以實現(xiàn)校準(zhǔn)的目 的。 一種這樣的類型的校準(zhǔn)設(shè)備是氣體流量試驗臺.
圖1示出了現(xiàn)有技術(shù)的氣體流量試驗臺?，F(xiàn)有技術(shù)的氣體流量試 驗臺可包括氣體源、入口閥、進(jìn)行測試的計量表以及出口閥?，F(xiàn)有技
術(shù)的氣體源通常包括被連接至進(jìn)行測試的計量表的加壓罐或加壓瓶。 現(xiàn)有技術(shù)中的氣體源容器通常是單個大的氣體容器。在現(xiàn)有技術(shù)中，
對氣體源進(jìn)行稱重以獲得初始重量值，氣體源隨后被連接至進(jìn)行測試 的計量表并實施測試。隨后，氣體源與進(jìn)行測試的計量表脫開連接且 對氣體源進(jìn)行再次稱重以獲得最終的重量值。隨后利用該重量/質(zhì)量差 以對通過進(jìn)行測試的計量表測得的質(zhì)量流量測量值進(jìn)行校準(zhǔn)。經(jīng)過校
準(zhǔn)的計量表隨后可被運送給消費者。
現(xiàn)有技術(shù)的方法存在缺點。 一個缺點在于現(xiàn)有技術(shù)的方法僅對氣 體源進(jìn)行稱重而不是對整個氣體流量試驗臺進(jìn)行稱重?，F(xiàn)有技術(shù)的方 法在氣體源未被連接至氣體流量試驗臺時對所述氣體源進(jìn)行稱重。現(xiàn) 有技術(shù)的方法沒有準(zhǔn)確或完全地考慮氣體流量試驗臺中剩余的氣體。 例如，可測量的相當(dāng)量的氣體可能被保留在入口閥與出口閥之間的氣 體流量試驗臺中。現(xiàn)有技術(shù)設(shè)法通過大致估計而對氣體流量試驗臺中 的這種氣體進(jìn)行補償?，F(xiàn)有技術(shù)利用的是已知體積的氣體流量試驗臺 設(shè)備并利用測得的氣體溫度和壓力將該體積轉(zhuǎn)化成質(zhì)量。然而，這涉 及到了體積、溫度和壓力測量，且因此現(xiàn)有技術(shù)的方法引入了附加的 誤差和附加的不確定性?，F(xiàn)有技術(shù)并未對氣體流量試驗臺部件中保持 的氣體質(zhì)量進(jìn)行直接測量.
另一缺點在于，現(xiàn)有技術(shù)的方法并未對當(dāng)氣體源脫開連接時被釋 放到大氣中的氣體進(jìn)行直接測量或準(zhǔn)確地考慮所述氣體。現(xiàn)有技術(shù)假 設(shè)存在重量差別的所有氣體都流動通過進(jìn)行測試的計量表。由于僅測 量了氣體源且忽略了氣體流量試驗臺部件中的氣體和被釋放氣體，因 此現(xiàn)有技術(shù)沒有獲得令人滿意的精確度水平。

發(fā)明內(nèi)容
通過提供一種氣體流量試驗臺、 一種操作氣體流量試驗臺的方法 以及一種形成氣體流量試驗臺的方法而解決了上述及其它問題并且在 本領(lǐng)域中取得了進(jìn)展。
根據(jù)本發(fā)明的實施例，提供了一種氣體流量試驗臺，所述氣體流 量試驗臺包括稱重裝置和被放置在所述稱重裝置上的進(jìn)行測試的計量 表。所述氣體流量試驗臺進(jìn)一步包括被放置在所述稱重裝置上的氣體 源.所述氣體流量試驗臺進(jìn)一步包括將所述氣體源與所述進(jìn)行測試的 計量表連接起來的導(dǎo)管。所述稱重裝置產(chǎn)生了所述進(jìn)行測試的計量表、 所述氣體源和所述導(dǎo)管的重量測量值。
根據(jù)本發(fā)明的實施例，提供了一種操作氣體流量試驗臺的方法. 所述方法包括將氣體源連接至所述氣體流量試驗臺，且所述氣體源被 放置在稱重裝置上.所述方法進(jìn)一步包括將進(jìn)行測試的計量表連接至 所述氣體流量試驗臺，且所述進(jìn)行測試的計量表被放置在所述稱重裝 置上。所述方法進(jìn)一步包括在進(jìn)行測試前對所述氣體流量試驗臺和所 述氣體源進(jìn)行稱重以便獲得初始重量。所述方法進(jìn)一步包括在進(jìn)行所 述測試后對所述氣體流量試驗臺和所述氣體源進(jìn)行稱重以便獲得最終 重量。
根據(jù)本發(fā)明的實施例，提供了 一種形成氣體流量試驗臺的方法， 所述方法包括提供稱重裝置并提供被放置在所述稱重裝置上的進(jìn)行測 試的計量表。所述方法進(jìn)一步包括提供被放置在所述稱重裝置上的氣
體源。所述方法進(jìn)一步包括提供將所述氣體源與所述進(jìn)行測試的計量 表連接起來的導(dǎo)管。所述稱重裝置產(chǎn)生了所述進(jìn)行測試的計量表、所 述氣體源和所述導(dǎo)管的重量測量值。
在所述氣體流量試驗臺的一方面中，所述進(jìn)行測試的計量表包括
科里奧利(Coriolis)流量計。
在所述氣體流量試驗臺的另一方面中，所述氣體源包括一個或多 個氣體容器.
在所述氣體流量試驗臺的又一方面中，所述氣體源包括兩個或更 多個氣體容器且所述氣體流量試驗臺進(jìn)一步包括被聯(lián)接至所述兩個或 更多個氣體容器的歧管，其中所述歧管將來自所述兩個或更多個氣體 容器的氣體流結(jié)合起來并使其進(jìn)入所述導(dǎo)管內(nèi)。
在所述氣體流量試驗臺的又一方面中，所述氣體流量試驗臺進(jìn)一 步包括熱交換器.
在所述氣體流量試驗臺的又一方面中，所述氣體流量試驗臺進(jìn)一 步包括壓力調(diào)節(jié)器。
在所述氣體流量試驗臺的又一方面中，所述重量測量值包括初始 重量且包括最終重量，所述初始重量包括進(jìn)行測試前所述氣體流量試 驗臺中的初始?xì)怏w量，所述最終重量包括進(jìn)行所述測試后所述氣體流 量試驗臺中的最終氣體量。
在所述氣體流量試驗臺的又一方面中，所述氣體流量試驗臺進(jìn)一 步包括被放置在所述稱重裝置上且被聯(lián)接至所述進(jìn)行測試的計量表的 入口的入口閥以及被放置在所述稱重裝置上且被聯(lián)接至所述進(jìn)行測試 的計量表的出口的出口閥，其中所述導(dǎo)管將所述氣體源、所述入口閥、 所述進(jìn)行測試的計量表和所述出口閥連接起來。
在所述操作所述氣體流量試驗臺的方法的又一方面中，所述進(jìn)行
測試的計量表包括科里奧利流量計。
在所述操作所述氣體流量試驗臺的方法的又一方面中，所述氣體 源包括一個或多個氣體容器。
在所述操作所述氣體流量試驗臺的方法的又一方面中，所述氣體 源包括兩個或更多個氣體容器且所述氣體流量試驗臺進(jìn)一步包括被聯(lián) 接至所述兩個或更多個氣體容器的歧管，其中所述歧管將來自所述兩 個或更多個氣體容器的氣體流結(jié)合起來并使其進(jìn)入所述氣體流量試驗 臺的導(dǎo)管內(nèi)。
在所述操作所述氣體流量試驗臺的方法的又一方面中，所述方法 進(jìn)一步包括在所述測試過程中在所述氣體流量試驗臺中實施熱補償.
在所述操作所述氣體流量試驗臺的方法的又一方面中，所述方法 進(jìn)一步包括在所述氣體流量試驗臺中實施壓力調(diào)節(jié)。
在所述操作所述氣體流量試驗臺的方法的又一方面中，所述初始 重量包括進(jìn)行所述測試前所述氣體流量試驗臺中的初始?xì)怏w量，且所 述最終重量包括進(jìn)行所述測試后所述氣體流量試驗臺中的最終氣體 量.
在所述操作所述氣體流量試驗臺的方法的又一方面中，所述方法 進(jìn)一步包括由所述初始重量和所述最終重量確定校準(zhǔn)因子。
在所述操作所述氣體流量試驗臺的方法的又一方面中，所述方法 進(jìn)一步包括在所述測試過程中在所述進(jìn)行測試的計量表中實施質(zhì)量流 量測量，且校準(zhǔn)因子是由所述初始重量、所述最終重量和所述質(zhì)量流 量測量值確定出來的。
在所述操作所述氣體流量試驗臺的方法的又一方面中，所述方法 進(jìn)一步包括在進(jìn)行所述測試前利用來自所述氣體源的氣體對所述流量 試驗臺進(jìn)行加壓。
在所述形成所述氣體流量試驗臺的方法的又一方面中，提供所述 進(jìn)行測試的計量表進(jìn)一步包括提供科里奧利流量計。
在所述形成所述氣體流量試驗臺的方法的又一方面中，提供所述 氣體源進(jìn)一步包括提供一個或多個氣體容器.
在所述形成所述氣體流量試驗臺的方法的又一方面中，提供所述
氣體源進(jìn)一步包括提供兩個或更多個氣體容器和提供被聯(lián)接至所述兩
個或更多個氣體容器的歧管，其中所述歧管將來自所述兩個或更多個 氣體容器的氣體流結(jié)合起來并使其進(jìn)入所述導(dǎo)管內(nèi)。
在所述形成所述氣體流量試驗臺的方法的又一方面中，所述方法 進(jìn)一步包括在所述導(dǎo)管中設(shè)置熱交換器。
在所述形成所述氣體流量試驗臺的方法的又一方面中，所述方法 進(jìn)一步包括在所述導(dǎo)管中設(shè)置壓力調(diào)節(jié)器。
在所述形成所述氣體流量試驗臺的方法的又一方面中，所述重量
測量值包括初始重量且包括最終重量，所述初始重量包括進(jìn)行測試前 所述氣體流量試驗臺中的初始?xì)怏w量，所述最終重量包括進(jìn)行所述測 試后所述氣體流量試驗臺中的最終氣體量。
在所述形成所述氣體流量試驗臺的方法的又一方面中，所述方法 進(jìn)一步包括提供被放置在所述稱重裝置上且被聯(lián)接至所述進(jìn)行測試的 計量表的出口的出口閥以及提供被放置在所述稱重裝置上且被聯(lián)接至 所述進(jìn)行測試的計量表的入口的入口閥，其中所述導(dǎo)管將所述氣體源、 所述入口閥、所述進(jìn)行測試的計量表和所述出口閥連接起來，且其中 所述稱重裝置產(chǎn)生了所述進(jìn)行測試的計量表、所述入口閥、所述出口 閥、所述氣體源和所述導(dǎo)管的重量測量值。


在所有附圖中，使用相同的附圖標(biāo)記表示相同的元件。
圖1示出了一種現(xiàn)有技術(shù)的氣體流量試驗臺； 圖2示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的氣體流量試驗臺； 圖3示出了根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的氣體流量試驗臺；和 圖4是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的操作氣體流量試驗臺的方法的 流程圖.
具體實施例方式
圖2-圖4和下面的描述對特定實施例進(jìn)行了說明以便為本領(lǐng)域技 術(shù)人員提供如何制造和利用本發(fā)明的最佳模式的教導(dǎo)。為了提供關(guān)于 本發(fā)明原理的教導(dǎo)起見， 一些慣常的方面已被簡化或省略。本領(lǐng)域技 術(shù)人員將意識到這些實例的變型落入了本發(fā)明的范圍內(nèi)，本領(lǐng)域技術(shù) 人員將意識到，下面描迷的特征可以多種方式組合以形成本發(fā)明的多 種變型。結(jié)果是，本發(fā)明不限于下面所述的特定實例，而是僅由權(quán)利 要求書及其等效方式限定。
圖2示出了根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的氣體流量試驗臺200.如圖 所示的實施例中的氣體流量試驗臺200包括氣體源201、入口岡202、 進(jìn)行測試的計量表203、出口閥204和導(dǎo)管205。導(dǎo)管205將各個部件 連接起來。氣體源201、入口閥202、進(jìn)行測試的計量表203、出口閥 204和導(dǎo)管205都^皮放置在稱重裝置210上。此外，稱重裝置210可被
放置在一些形式的支承結(jié)構(gòu)如貨盤、臺架、托架等上。
氣體流量試驗臺200可被用于對進(jìn)行測試的計量表203進(jìn)行校準(zhǔn)。 在一個實施例中，氣體流量試驗臺200包括初級氣體流量試驗臺200。 氣體流量試驗臺200使測試氣體流動通過進(jìn)行測試的計量表203，其中 進(jìn)行測試的計量表203在測試過程中產(chǎn)生質(zhì)量流量測量值且稱重裝置 210產(chǎn)生初始和最終的重量/質(zhì)量測量值。初始重量可包括進(jìn)行測試前 氣體流量試驗臺200中的初始?xì)怏w量且最終重量可包括進(jìn)行該測試后 氣體流量試驗臺200中的最終氣體量。初始和最終質(zhì)量測量值可被用 于確定質(zhì)量差測量值?？蓪⒃撡|(zhì)量差測量值與由進(jìn)行測試的計量表203 產(chǎn)生的質(zhì)量流量測量值進(jìn)行比較.隨后可由該初始重量、最終重量和 質(zhì)量流量測量值確定校準(zhǔn)因子.稱重裝置210因此可提供可被用于對 進(jìn)行測試的計量表203進(jìn)行校準(zhǔn)的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。結(jié)果是，可改進(jìn)進(jìn)行測 試的計量表203的精確度且可根據(jù)由稱重裝置210產(chǎn)生的質(zhì)量測量值 對進(jìn)行測試的計量表203進(jìn)行校準(zhǔn)。
氣體流量試驗臺200與現(xiàn)有技術(shù)的不同之處在于，由稱重裝置210 測得的重量包括整個氣體流量試驗臺的重量，所述整個氣體流量試驗 臺的重量包括導(dǎo)管205以及各個氣體流量試驗臺部件中的氣體重量。 由于氣體可被加壓，因此氣體質(zhì)量可遠(yuǎn)高于裝置中的自由空氣。現(xiàn)有 技術(shù)并未對氣體流量試驗臺部件內(nèi)的氣體進(jìn)行稱重。盡管系統(tǒng)中的這 種氣體質(zhì)量例如與例如氣體源容器相比相對較小，但忽視該質(zhì)量卻將 使最終結(jié)果的精確度下降或降低.現(xiàn)有技術(shù)忽視了該系統(tǒng)中的氣體質(zhì) 量，且因此現(xiàn)有技術(shù)并不如原本可能地那樣準(zhǔn)確.
氣體源201可包括可!^存任何形式的一種或多種氣體的容器.所 述氣體可被加壓。氣體源201可包括多個氣體容器(參見圖3)。氣體 源201可包含特定氣體，例如將在最終應(yīng)用時被用于進(jìn)行測試的計量 表203中的氣體。例如，如果進(jìn)行測試的計量表203將最終用于對氮 進(jìn)行計量，則可利用來自氣體源201的氮對進(jìn)行測試的計量表203進(jìn) 行校準(zhǔn)。另一種可選方式是，可使多種不同氣體流動通過氣體流量試 驗臺200且因此可獲得用于進(jìn)行測試的計量表203的多個校準(zhǔn)因子。 因此，在一個實施例中，可利用多個校準(zhǔn)因子對進(jìn)行測試的計量表203 進(jìn)行編程以便適用于多個領(lǐng)域。
入口閥202可對氣體進(jìn)入進(jìn)行測試的計量表203的進(jìn)氣量進(jìn)行調(diào)節(jié)。入口閥202例如在停置-開始-結(jié)束(standing-start-finish)的 測試情況下(下面將要對所述情況進(jìn)行討論)可被打開以便利用來自 氣體源201的氣體對氣體流量試驗臺200進(jìn)行加壓。另一種可選方式 是，入口閥202可被打開以便開始進(jìn)行測試。應(yīng)該理解，盡管如圖所 示的入口閥202為獨立部件，但入口閥202可與氣體流量試驗臺200 的另一部件結(jié)合，即入口閥可包括例如氣體源容器的閥。
進(jìn)行測試的計量表203可包括測量氣體的質(zhì)量流量的任何形式的 流量計。在一個實施例中，進(jìn)行測試的計量表203包括科里奧利流量 計。進(jìn)行測試的計量表203可產(chǎn)生表示通過進(jìn)行測試的計量表203的 質(zhì)量流速的質(zhì)量流量測量信號。
出口閥204可對氣體排出進(jìn)行測試的計量表203的排氣過程進(jìn)行 調(diào)節(jié)。出口閥204可打開和關(guān)閉以便開始和停止測試。在入口閥202 打開且出口閥204關(guān)閉的情況下，可利用來自氣體源201的氣體對氣 體流量試驗臺200進(jìn)行加壓。
在一些實施例中，出口閥204可包括一個以上的閥。例如，出口 閥204可包括與截流閥串聯(lián)的速率閥。在這種構(gòu)型中，速率閥可控制 氣體的流速，而截流閥可啟動和停止氣體流.
如果進(jìn)行測試的計量表203包括科里奧利流量計，則測試可包括 停置-開始-結(jié)束測試。在停置-開始-結(jié)束測試情況下，首先利用來自 氣體源201的氣體對氣體流量試驗臺200進(jìn)行加壓。氣體源201已被 連接至氣體流量試驗臺200。通過稱重裝置210對整個氣體流量試驗臺 200進(jìn)行稱重以便獲得初始重量.該重量測量值中包括了對整個氣體流 量試驗臺200進(jìn)行加壓的所有氣體。在這一點上，當(dāng)氣體開始流動時， 被測試的科里奧利計量表203可立即開始測量氣體的質(zhì)量流量.在開 始測試前無需使起動流或初始流流過，原因在于被測試的科里奧利流 量計203無需為了測量質(zhì)量流量而產(chǎn)生交錯上升。在完成測試后(即 當(dāng)出口閥204被關(guān)閉時)，則通過稱重裝置210對整個氣體流量試驗 臺200再次稱重以便獲得最終重量。該過程的實施是在測試結(jié)束后未 使氣體源201與氣體流量試驗臺200脫開連接且未允許任何氣體溢出 系統(tǒng)的情況下進(jìn)行的.初始重量與最終重量之間的差別包括質(zhì)量差且 因此包括通過氣體流量試驗臺200的氣體的質(zhì)量流量。
應(yīng)該注意到，在進(jìn)行最終的稱重操作之前，氣體源201未與氣體
流量試驗臺200脫開連接.因此，最終的重量包括仍位于導(dǎo)管205和 各個氣體流量試驗臺部件中的所有氣體。因此有利地改進(jìn)了校準(zhǔn)的精 確度。
在一種測試情況下，出口閥204可首先被打開，隨后打開入口閥 202。結(jié)果是，來自氣體源201的氣體自由地流動通過進(jìn)行測試的計量 表203。隨后，出口閥204被關(guān)閉，其中氣體源201對氣體流量試驗臺 200進(jìn)行加壓。通過這種方式，可從氣體流量試驗臺200中吹掃出所有 的大氣空氣。氣體流量試驗臺200可隨后被稱重以便獲得初始重量且 可開始進(jìn)行測試.
根據(jù)任何實施例的氣體流量試驗臺能夠?qū)τ糜跉饬骰芈分械母?的參考計量表(reference meter)進(jìn)行校準(zhǔn)。此外，根據(jù)任何實施例 的氣體流量試驗臺能夠?qū)τ糜诖_定氣流回路系統(tǒng)的不確定性特征的遷 移標(biāo)準(zhǔn)計量表(transfer standard meter)進(jìn)行校準(zhǔn)。
圖3示出了根據(jù)本發(fā)明的另一實施例的氣體流量試驗臺300。與其 它實施例一樣的部件共用相同的附圖標(biāo)記.除了前述部件以外，該實 施例中的氣體流量試驗臺300包括歧管302、熱交換器303和壓力調(diào)節(jié) 器304。此外，該圖示出了包括氣體源201的兩個或更多個容器201a 和201b,
應(yīng)該理解，可根據(jù)需要改變各個部件的次序。例如，氣體流量試 驗臺300可包括為每個氣體源201a、 201b等設(shè)置的熱交換器，其中這 些多個熱交換器可位于相應(yīng)的氣體源容器與歧管302之間。
歧管302被連接至每個氣體源容器201a、 201b等且將流動氣體流 結(jié)合起來使其進(jìn)入導(dǎo)管205內(nèi)，由于包括了歧管302而使得能夠利用 多個氣體源容器，使得氣體流量試驗臺300可獲得寬速率的質(zhì)量流速 和流壓力.
熱交換器303可在測試過程中在氣體流量試驗臺300中實施熱補 償。在氣體被高度加壓的情況下，這種熱補償可能是希望的(或甚至 是必要的)。熱交換器303可被放置在產(chǎn)生最大壓力變化的位置處， 即將要發(fā)生最大程度的氣體冷卻的位置處。可實施熱補償以便避免在 氣體流量試驗臺300的各個部件上出現(xiàn)冷凝和結(jié)霜現(xiàn)象。附加的大量 濕氣積聚在各個部件的外表面上是不希望出現(xiàn)的情況。另一種可選方 式是，可允許在進(jìn)行測試后對氣體流量試驗臺300進(jìn)行加熱，其中任
何積聚的霜/濕氣將基本上被蒸發(fā)。因此，采取在獲得最終重量之前允
許消耗一段時間的方式可實現(xiàn)與包括有熱交換器303所實現(xiàn)的結(jié)果相 同的結(jié)果。在另一可選方式中，氣體流量試驗臺300可包括防止和/或 去除積聚的濕氣/霜的風(fēng)機或加熱器。
壓力調(diào)節(jié)器304可調(diào)節(jié)導(dǎo)管205中的氣體壓力。例如，壓力調(diào)節(jié) 器304可將進(jìn)行測試的計量表203中的壓力設(shè)定為低于可從氣體源201 中獲得的壓力。此外，即使當(dāng)氣體源201中的壓力隨著氣體流出氣體 源201而產(chǎn)生變化，壓力調(diào)節(jié)器304仍可在進(jìn)行測試的計量表203中 提供大體上恒定的壓力。
應(yīng)該理解，上面的附加部件中的任何部件或所有部件還可被包括 在圖2所示的實施例中。結(jié)合圖3示出該附加部件的目的是為了進(jìn)行 清楚的說明。
圖4是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的一種操作氣體流量試驗臺的方 法的流程圖400。該方法包括停置-開始-結(jié)束測試過程，其中在測試開 始前利用測試氣體對氣體流量試驗臺設(shè)備進(jìn)行加壓.在步驟401中， 氣體源201被連接至氣體流量試驗臺。例如，氣體源201可被連接至 入口閥202。另一種可選方式是，氣體源201可被連接至另一部件如被 連接至歧管302，在所述情況下使用了多個氣體源容器。
在步驟402中，進(jìn)行測試的計量表203被連接至氣體流量試驗臺.
在步驟403中，利用來自氣體源201的氣體對氣體流量試驗臺進(jìn) 行加壓。該步驟并不是必要的，且另一種可選方式是，可在不用首先 對氣體流量試驗臺部件進(jìn)行加壓的情況下啟動測試。
在步驟404中，例如通過稱重裝置210對整個氣體流量試驗臺進(jìn) 行稱重。該稱重步驟被實施以便獲得初始重量.如果步驟403已被實 施，則在該稱重步驟中將對各個氣體流量試驗臺部件中的氣體進(jìn)行稱 重，即初始重量將包括進(jìn)行測試前氣體流量試驗臺中的初始?xì)怏w量。
在步驟405中實施測試.來自氣體源201的氣體流動通過氣體流 量試驗臺且該流動過程持續(xù)預(yù)定時期(或直至氣體源被耗盡)。當(dāng)氣 體流動通過氣體流量試驗臺時，進(jìn)行測試的計量表203可產(chǎn)生所述氣 體的質(zhì)量流量測量值。
在步驟406中，氣體流量試驗臺被再次稱重以便獲得最終重量。 最終重量將包括進(jìn)行測試后氣體流量試驗臺中的最終氣體量。初始重 量值與最終重量值的質(zhì)量差包括通過氣體流量試驗臺(和通過進(jìn)行測
試的計量表203 )的質(zhì)量流量。
在步驟407中，被確定的質(zhì)量流量可被用于對進(jìn)行測試的計量表 203進(jìn)行校準(zhǔn).因此可將被確定的質(zhì)量流量與來自進(jìn)行測試的計量表203 的質(zhì)量流量測量值進(jìn)行比較，且可利用所述被確定的質(zhì)量流量產(chǎn)生適 當(dāng)?shù)男?zhǔn)因子.校準(zhǔn)因子是通過初始重量、最終重量和質(zhì)量流量測量 值確定出來的。此外，如前所述，(具有不同成分的)多種氣體可流 動通過進(jìn)行測試的計量表203且可獲得用于進(jìn)行測試的計量表203的 多個校準(zhǔn)因子。
權(quán)利要求
1、一種氣體流量試驗臺(200)，所述氣體流量試驗臺包括稱重裝置(210)；被放置在所述稱重裝置(210)上的進(jìn)行測試的計量表(203)；被放置在所述稱重裝置(210)上的氣體源(201)；和將所述氣體源(201)與所述進(jìn)行測試的計量表(203)連接起來的導(dǎo)管(205)；其中所述稱重裝置(210)產(chǎn)生了所述進(jìn)行測試的計量表(203)、所述氣體源(201)和所述導(dǎo)管(205)的重量測量值。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體流量試驗臺(200)，其中所述進(jìn) 行測試的計量表(203 )包括科里奧利流量計。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體流量試驗臺(200 )，其中所述氣 體源(201)包括一個或多個氣體容器。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體流量試驗臺(200 )，其中所述氣 體源(201)包括兩個或更多個氣體容器且所述氣體流量試驗臺(200 ) 進(jìn)一步包括被聯(lián)接至所述兩個或更多個氣體容器的歧管(302 )，其中 所述歧管(302 )將來自所述兩個或更多個氣體容器的氣體流結(jié)合起來 并使其進(jìn)入所述導(dǎo)管(205 )內(nèi)。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體流量試驗臺(200)，其中所述氣 體流量試驗臺(200)進(jìn)一步包括熱交換器(303 )。
6、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體流量試驗臺(200 )，其中所述氣 體流量試驗臺(200)進(jìn)一步包括壓力調(diào)節(jié)器(304 )。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體流量試驗臺(200 ),其中所述重 量測量值包括初始重量且包括最終重量，所述初始重量包括進(jìn)行測試 前所述氣體流量試驗臺(200)中的初始?xì)怏w量，所述最終重量包括進(jìn) 行所述測試后所述氣體流量試驗臺(200)中的最終氣體量。
8、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的氣體流量試驗臺(200 )，進(jìn)一步包括 被放置在所述稱重裝置(210)上且被聯(lián)接至所述進(jìn)行測試的計量表(203 )的入口的入口閥(202 );和被放置在所述稱重裝置(210)上且被聯(lián)接至所述進(jìn)行測試的計量 表(203 )的出口的出口閥(204 );其中所述導(dǎo)管(205 )將所述氣體源(201)、所述入口閥(202 )、 所述進(jìn)行測試的計量表(203 )和所述出口閥(204 )連接起來。
9、 一種操作氣體流量試驗臺的方法，所述方法包括 將氣體源連接至所述氣體流量試驗臺，且所述氣體源被放置在稱重裝置上；將進(jìn)行測試的計量表連接至所述氣體流量試驗臺，且所述進(jìn)行測 試的計量表被放置在所述稱重裝置上；在進(jìn)行測試前對所述氣體流量試驗臺和所述氣體源進(jìn)行稱重以便 獲得初始重量；在進(jìn)行所述測試后對所述氣體流量試驗臺和所述氣體源進(jìn)行稱重 以便獲得最終重量。
10、 根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中所述進(jìn)行測試的計量表包 括科里奧利流量計。
11、 根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中所述氣體源包括一個或多 個氣體容器.
12、 根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中所述氣體源包括兩個或更 多個氣體容器且所述氣體流量試驗臺進(jìn)一步包括被聯(lián)接至所述兩個或 更多個氣體容器的歧管，其中所述歧管將來自所述兩個或更多個氣體 容器的氣體流結(jié)合起來并使其進(jìn)入所述氣體流量試驗臺的導(dǎo)管內(nèi)，
13、 根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，進(jìn)一步包括在所述測試過程中 在所述氣體流量試驗臺中實施熱補償。
14、 根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，進(jìn)一步包括在所述氣體流量試 驗臺中實施壓力調(diào)節(jié)。
15、 根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中所述初始重量包括進(jìn)行所 述測試前所述氣體流量試驗臺中的初始?xì)怏w量，且所述最終重量包括 進(jìn)行所述測試后所述氣體流量試驗臺中的最終氣體量。
16、 根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，進(jìn)一步包括由所述初始重量和 所述最終重量確定校準(zhǔn)因子。
17、 根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，進(jìn)一步包括在所述測試過程中 在所述進(jìn)行測試的計量表中實施質(zhì)量流量測量，且校準(zhǔn)因子是由所述 初始重量、所述最終重量和所述質(zhì)量流量測量值確定出來的。
18、 根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，進(jìn)一步包括在進(jìn)行所述測試前 利用來自所述氣體源的氣體對所述流量試驗臺進(jìn)行加壓。
19、 一種形成氣體流量試驗臺的方法，所述方法包括 提供稱重裝置；提供被放置在所述稱重裝置上的進(jìn)行測試的計量表； 提供被放置在所述稱重裝置上的氣體源；并且 提供將所述氣體源與所述進(jìn)行測試的計量表連接起來的導(dǎo)管； 其中所述稱重裝置產(chǎn)生了所述進(jìn)行測試的計量表、所述氣體源和 所述導(dǎo)管的重量測量值。
20、 根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中提供所述進(jìn)行測試的計量 表進(jìn)一 步包括提供科里奧利流量計.
21、 根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中提供所述氣體源進(jìn)一步包 括提供一個或多個氣體容器.
22、 根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中提供所述氣體源進(jìn)一步包 括提供兩個或更多個氣體容器和提供被聯(lián)接至所述兩個或更多個氣體 容器的歧管，其中所述歧管將來自所述兩個或更多個氣體容器的氣體 流結(jié)合起來并使其進(jìn)入所述導(dǎo)管內(nèi).
23、 根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，進(jìn)一步包括在所述導(dǎo)管中設(shè)置 熱交換器。
24、 根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，進(jìn)一步包括在所述導(dǎo)管中設(shè)置 壓力調(diào)節(jié)器。
25、 根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中所述重量測量值包括初始 重量且包括最終重量，所述初始重量包括進(jìn)行測試前所述氣體流量試 驗臺中的初始?xì)怏w量，所述最終重量包括進(jìn)行所述測試后所述氣體流 量試驗臺中的最終氣體量。
26、 根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，進(jìn)一步包括 提供被放置在所述稱重裝置上且被聯(lián)接至所述進(jìn)行測試的計量表的出口的出口閥；提供被放置在所述稱重裝置上且被聯(lián)接至所述進(jìn)行測試的計量表 的入口的入口閥；其中所述導(dǎo)管將所述氣體源、所述入口閥、所述進(jìn)行測試的計量 表和所述出口閥連接起來，且其中所述稱重裝置產(chǎn)生了所述進(jìn)行測試 的計量表、所述入口閥、所述出口閥、所述氣體源和所述導(dǎo)管的重量 測量值。
全文摘要
根據(jù)本發(fā)明的實施例，提供了一種氣體流量試驗臺(200)。所述氣體流量試驗臺(200)包括稱重裝置(210)和被放置在所述稱重裝置(210)上的進(jìn)行測試的計量表(203)。所述氣體流量試驗臺(200)進(jìn)一步包括被放置在所述稱重裝置(210)上的氣體源(201)和將所述氣體源(201)與所述進(jìn)行測試的計量表(203)連接起來的導(dǎo)管(205)。所述稱重裝置(210)產(chǎn)生了所述進(jìn)行測試的計量表(203)、所述氣體源(201)和所述導(dǎo)管(205)的重量測量值。
文檔編號G01F25/00GK101099078SQ200580046379
公開日2008年1月2日 申請日期2005年1月12日 優(yōu)先權(quán)日2005年1月12日
發(fā)明者D·M·斯坦迪福德 申請人:微動公司