專利名稱：表面聲波多重檢測(cè)元件的制作方法
表面聲波多重檢測(cè)元件技術(shù)領(lǐng)域?qū)嵤┓桨缚傮w上涉及傳感器設(shè)備、方法和系統(tǒng)。實(shí)施方案還涉及使用表面聲波(SAW)部件的檢測(cè)設(shè)備和系統(tǒng)及其使用方法和制造方 法。另外，實(shí)施方案涉及無(wú)線詢問(wèn)檢測(cè)方法和系統(tǒng)。實(shí)施方案還涉及 壓力傳感器。 發(fā)明背景近年來(lái)，在廣泛的各種應(yīng)用中作為測(cè)量物理和化學(xué)參數(shù)的工具， 安裝在表面的聲波傳感器、特別是表面聲波(SAW)傳感器已經(jīng)獲得充 分認(rèn)可。SAW傳感器技術(shù)提供了下列普通的優(yōu)點(diǎn)無(wú)源設(shè)備操作(無(wú)電 池)；被查詢時(shí)潛在作為傳感器和RF發(fā)射機(jī)使用，提供無(wú)線操作；小 尺寸、低成本、結(jié)構(gòu)結(jié)實(shí)、易于使用標(biāo)準(zhǔn)工藝設(shè)備大量生產(chǎn)。使用SAW 傳感器測(cè)量的一些物理參數(shù)包括溫度、壓力、張力、加速度和轉(zhuǎn)矩。 在文獻(xiàn)中已經(jīng)提及關(guān)于這些傳感器的大量潛在的應(yīng)用，其中之一是輪 胎中壓力和/或溫度的測(cè)量。傳統(tǒng)的SAW傳感器存在的問(wèn)題之一是有多個(gè)國(guó)際和國(guó)家政府規(guī)則 用于管理關(guān)于詢問(wèn)諸如SAW傳感器的無(wú)線傳感器的無(wú)線電頻率的使 用。因?yàn)槿澜绲囊?guī)則不同，傳感器供應(yīng)商被迫制造多種傳感器，它 們執(zhí)行相同功能但是其中傳感器被測(cè)量的方法或頻率不同的多種傳感 器，以便適應(yīng)全世界應(yīng)用。在此揭示的實(shí)施方案解決了這個(gè)問(wèn)題，它 提供了一種配置，其中多個(gè)檢測(cè)元件被安裝在一個(gè)單獨(dú)的傳感器上， 這樣相同的產(chǎn)品可以在國(guó)際上被使用。發(fā)明概述下面提供了本發(fā)明的概述以便于理解只有本發(fā)明才有的一些創(chuàng)新 的特性，不是旨在全面的描述。對(duì)于本發(fā)明各個(gè)方面全面的理解可以 通過(guò)作為一個(gè)整體的整個(gè)說(shuō)明書、權(quán)利要求書、附圖、以及摘要而被 獲得。因此，本發(fā)明的一個(gè)方面是提供了改進(jìn)的傳感器設(shè)備、方法和系統(tǒng)。本發(fā)明的另一個(gè)方面是提供了改進(jìn)的使用諸如SAW諧振器的表面
聲波(SAW)部件的檢測(cè)設(shè)備和系統(tǒng)。本發(fā)明的另一個(gè)方面是在傳感器設(shè)備的環(huán)境下，在基底上提供了 SAW諧振器的平行排列。本發(fā)明的另一個(gè)方面提供了無(wú)線詢問(wèn)檢測(cè)方法和系統(tǒng)。本發(fā)明的另一個(gè)方面是提供了諸如SAW諧振器的多個(gè)檢測(cè)元件， 它們被定位在和/或集成在一個(gè)傳感器設(shè)備上，這樣不論各國(guó)家和國(guó)際 頻率和無(wú)線規(guī)則的不同，相同的產(chǎn)品都可以在國(guó)際上被使用。如在此被描述的，可以得到本發(fā)明的上述方面和其它目的和優(yōu) 點(diǎn)。在此揭示了一種無(wú)線傳感器，它包括一個(gè)所述無(wú)線傳感器可以被 配置在它上面的基底。所述無(wú)線傳感器包括多個(gè)被配置在所述基底上 的表面聲波檢測(cè)元件，其中，所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件中的一個(gè)或 多個(gè)響應(yīng)于與所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件中的至少一個(gè)其它的表面聲 波檢測(cè)元件的無(wú)線頻率范圍不同的無(wú)線頻率范圍，以便不管其各不相 同的國(guó)際頻率標(biāo)準(zhǔn)，都允許所述無(wú)線傳感器的無(wú)線詢問(wèn)。每一個(gè)表面聲波檢測(cè)元件可以在所述基底上彼此平行定位。所述 多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件中的至少一個(gè)可以包括一個(gè)表面聲波諧振器。 所述無(wú)線傳感器可以充當(dāng)以延遲模式起作用的壓力傳感器，這樣所述 多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件根據(jù)被施加于所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件的張 力來(lái)檢測(cè)壓力。當(dāng)壓力被施加于所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件時(shí)，所述 多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件中的每一個(gè)接收等量的張力。
附圖簡(jiǎn)述附圖中相同的參考數(shù)字代表貫穿單獨(dú)的視圖的相同的或功能類似 的元件，它們被合并并且構(gòu)成說(shuō)明書的一部分，這些附圖還用來(lái)闡明 本發(fā)明，并且與本發(fā)明的詳細(xì)描述一起用來(lái)解釋本發(fā)明的原則。

圖1表示一個(gè)傳感器設(shè)備的側(cè)截面圖，包括傳感器封裝和里面的 內(nèi)容，它可以根據(jù)一個(gè)實(shí)施方案被實(shí)現(xiàn)；圖2表示根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方案，在圖1中被表示的SAW諧 振器的詳細(xì)的視圖；圖3表示一個(gè)傳感器系統(tǒng)的示意圖，它可以根據(jù)一個(gè)可替代的實(shí) 施方案被實(shí)現(xiàn)；圖4表示一個(gè)傳感器設(shè)備的框圖，它可以根據(jù)一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方案 被實(shí)現(xiàn)； 圖5表示一個(gè)傳感器系統(tǒng)的框圖，它可以根據(jù)一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方案 被實(shí)現(xiàn)。發(fā)明詳述在這些非限制的例子中討論的特殊值和配置可以被改變，被引用 僅僅是為了說(shuō)明至少一個(gè)實(shí)施方案，而不是旨在限制本發(fā)明的范圍。實(shí)施方案與諸如SAW諧振器的多個(gè)檢測(cè)元件有關(guān)，它們可以在一 個(gè)傳感器設(shè)備上被實(shí)現(xiàn)，這樣不管各國(guó)家和國(guó)際頻率和無(wú)線規(guī)則的不 同，相同的產(chǎn)品都可以在國(guó)際上被使用。圖1表示一個(gè)傳感器設(shè)備10的側(cè)截面圖，它可以根據(jù)一個(gè)實(shí)施方 案被實(shí)現(xiàn)。如圖1中指示的，傳感器設(shè)備10可以充當(dāng)壓力和/或溫度 傳感器，并且可以在汽車輪胎內(nèi)部被實(shí)現(xiàn)。傳感器設(shè)備10包括一個(gè)基 本上氣密密封的絕緣封裝。所述封裝可以被配置為一個(gè)陶瓷盒11,它 在其中具有一個(gè)井12和一個(gè)密封地被附加到盒11來(lái)覆蓋井12的蓋 13。盒l(wèi)l可以包括，例如，諸如可用于無(wú)線通信產(chǎn)品的SAW設(shè)備的標(biāo) 準(zhǔn)陶瓷封裝。這些封裝小巧、結(jié)實(shí)、便宜并且被廣泛使用。蓋13可以被配置為一種薄的膜狀金屬蓋，優(yōu)選的為鋼或柯伐鐵鎳 鈷合金(Kovar)，但是其它材料也可以被使用，具有大約2密耳厚度， 不過(guò)這些細(xì)節(jié)不是旨在限制的。蓋13的厚度要薄，以便將壓力變化傳 送到井12內(nèi)的傳感器元件。在一個(gè)實(shí)施方案中，蓋13可以被焊接到 盒11上，但是也可以使用包括縫焊的可替代的密封技術(shù)?；?4可以在井12內(nèi)被支撐，所述基底的厚度明顯大于蓋的厚 度。取決于設(shè)計(jì)考慮，基底14可以被實(shí)現(xiàn)為一種大致平坦的壓電石英 晶體材料，或者管芯(die)?；?4可以由被與基底14支撐關(guān)系定位的一個(gè)或多個(gè)，但是優(yōu) 選地兩個(gè)不連續(xù)的臺(tái)，并且優(yōu)選地兩行不連續(xù)的臺(tái)支撐。優(yōu)選地，所 述臺(tái)中的至少一些可以包括一個(gè)金臺(tái)16，也被稱為"凸起接合"，在所 述基底的底部17和井12的底部18之間延伸。金臺(tái)16也可以充當(dāng)電 連接器。其它凸起接合16，可以只提供機(jī)械支撐而不是電連接。凸起接 合16，也可以與不是金的封裝的區(qū)域接觸，因此可能連接不堅(jiān)固。在這 個(gè)實(shí)例中，凸起接合16，充當(dāng)管芯14和盒11之間的襯墊。根據(jù)設(shè)計(jì)考慮， 一個(gè)或多個(gè)SAW諧振器19-21可以被附到基底14 的底部17。 SAW諧振器19-21可以被配置為具有與稍微不同的標(biāo)稱頻
率的單端口的諧振器。例如，盡管在圖1中未被顯示，但是SAW諧振 器19-21可以被平行排列，諸如在這里的圖5-6中被描述的平行排列。圖2表示根據(jù)一個(gè)實(shí)施方案在圖1中被表示的SAW諧振器19、20、 21的詳細(xì)的視圖。在圖l-3中，相同的或類似的部分通常由相同的參 考數(shù)字指示。如圖2中所示，每個(gè)SAW諧振器19-21可以包括一對(duì)反 射器191、 192和位于它們之間的轉(zhuǎn)換器193、 195。如果需要，則SAW 諧振器19-21可以被實(shí)現(xiàn)以便嚴(yán)格地充當(dāng)壓力檢測(cè)SAW諧振器19-21. 在這種情況中，SAW諧振器19-21優(yōu)選地以一種延遲模式起作用。SAW 諧振器19-21被彼此平行排列。值得注意的是，SAW諧振器19-21的特殊設(shè)計(jì)不是本發(fā)明的限制 性特征。例如， 一種可替代的沒(méi)有反射器191、 192或其它的反射器的 實(shí)施方案可以被實(shí)現(xiàn)。而且，SAW諧振器19-21的形狀可以改變。在 圖l-2中，SAW諧振器19-21以矩形形狀被表示。然而，在可替代的 實(shí)施方案中，SAW諧振器19-21可以以圓形或橢圓形排列被實(shí)現(xiàn)。同 樣地，基底14的寬度可以隨同蓋12的形狀而改變，等等。如前面提到的，因?yàn)橛卸鄠€(gè)并且各不相同的國(guó)家和國(guó)際規(guī)則用于 管理關(guān)于詢問(wèn)無(wú)線傳感器的無(wú)線電頻率的使用，所以傳感器供應(yīng)商和 制造商被迫制造多種傳感器，它們執(zhí)行相同功能但是其中傳感器被測(cè) 量的方法或頻率不同，以便適應(yīng)全世界應(yīng)用。根據(jù)一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方案， 多個(gè)檢測(cè)元件可以被放置在傳感器設(shè)備10上，這樣相同的產(chǎn)品可以在 國(guó)際上被使用。壓力傳感器10利用SAW諧振器的兩個(gè)方面。多個(gè)SAW諧振器優(yōu)選地應(yīng)該互不干擾地平行定位，并且如果張力 被施加于它，則每個(gè)SAW諧振器將變化。因此，SAW諧振器19-21可 以被以一種全部三個(gè)SAW諧振器部件在被施壓時(shí)接收相同的壓力的方 式彼此平行放置。這樣做時(shí)，壓力傳感器IO可以為三個(gè)單獨(dú)的詢問(wèn)器 提供測(cè)量所述張力的能力。然而，在任何一個(gè)位置上，只有一種類型 的詢問(wèn)器將被使用，從而使得三個(gè)SAW諧振器19-21中的兩個(gè)無(wú)用， 但是不干擾這個(gè)有用的應(yīng)答諧振器。根據(jù)設(shè)計(jì)考慮，SAW諧振器19、 20可能經(jīng)歷由于溫度變化造成的 大致相同的，很小的變化。而且，這些SAW諧振器19、 20可以被配置 擁有大致相同的溫度系數(shù)。然而，SAW諧振器19、 20、 21優(yōu)選地被彼 此平行排列。
考慮到當(dāng)壓力被施加到它時(shí)基底14彎曲的方向和方式，值得注意 的是，傳感器設(shè)備10可以被配置以便利用管芯14的一維支撐射束彎 曲，而不是二維板彎曲。 一維支撐射束彎曲在橫向尺寸中是均勻的， 并且允許以具有窄橫向尺寸的可預(yù)測(cè)的想要的方式偏轉(zhuǎn)的設(shè)備的實(shí) 現(xiàn)，這相對(duì)于利用板彎曲方式的設(shè)備減小了所述管芯的尺寸。另外， 因?yàn)楣苄?4的側(cè)面是無(wú)支撐的，所以一個(gè)給定的施加壓力造成的一維 彎曲動(dòng)作的最大偏轉(zhuǎn)可以大于施加相同的壓力造成支撐在全部四個(gè)側(cè) 面上的相同幾何形狀的板的最大偏轉(zhuǎn)，從而允許增加給定的管芯尺寸 的敏感度。基底14可以被以經(jīng)常稱為"倒裝芯片(flip-chip)"的方向被 安裝，其中，基底14擁有位于需要電連接的諧振器的接合墊23上的 電傳導(dǎo)凸起16。不是所有的"凸起"都被需要用于電連接； 一些凸起 16，只被用于機(jī)械支撐。所述管芯隨后可以被面朝下"翻轉(zhuǎn)"到所述 封裝中，并且根據(jù)設(shè)計(jì)考慮， 一種超聲波擦洗動(dòng)作可以被用于將凸起 16、 16，接合到基底14。凸起16、 16，優(yōu)選地可以被構(gòu)成為金的球狀凸起，并且接合墊23 可以包括各種不同的金屬，通常在封裝側(cè)是金，在管芯20側(cè)是鋁或者 參雜鈦或銅的鋁。這種安裝技術(shù)利用所述凸起接合用于機(jī)械附件和支 撐，并且還利用某些凸起接合來(lái)構(gòu)成基底14和所述封裝之間的電連 接。設(shè)備10隨后可以擁有在井12內(nèi)的接合墊23和封裝11外面的附 加的接合墊之間的內(nèi)部電連接，它可以被附加于一個(gè)天線(例如，見(jiàn) 圖3)或者使用一種想要的技術(shù)的另一個(gè)電路。這樣一種封裝技術(shù)非常嚴(yán)格并且易于大量生產(chǎn)，但并不是在此被 揭示的實(shí)施方案的限制性特征。如在現(xiàn)有技術(shù)中已知的標(biāo)準(zhǔn)陶瓷封裝 制造技術(shù)中，到管芯14的電連接可以氣密地從盒11的內(nèi)部傳送到外 部。在這個(gè)實(shí)施方案中，其每條引線可以和封裝ll共同構(gòu)成并且可以 包括一種金屬，諸如鴒或金，但這些都不是旨在限制的。為了在完成的設(shè)備10中測(cè)量壓力，在基底14的一側(cè)可能需要一 些參考?jí)毫?。通過(guò)在一個(gè)已知的壓力下和想要的氣氛中氣密密封設(shè)備 封裝ll，可以實(shí)現(xiàn)這個(gè)特征。這可以是一種真空，它導(dǎo)致一個(gè)設(shè)備能 夠測(cè)量絕對(duì)壓力，或者它可以是一種諸如但不限于干燥的氮的想要的 氣體的某個(gè)已知壓力。
一種用于將外部壓力傳輸?shù)奖粴饷苊芊獾姆庋b11、 13內(nèi)的基底14 的裝置應(yīng)該被實(shí)現(xiàn)，以便設(shè)備10正確地檢測(cè)壓力。這種傳輸機(jī)制不應(yīng) 該引入損耗；也就是，它應(yīng)該盡可能地直接和有效。根據(jù)一個(gè)實(shí)施方 案，封裝ll、 13可以被這樣設(shè)計(jì)，當(dāng)使用例如倒裝晶片結(jié)合技術(shù)將管 芯14附在封裝11、 13內(nèi)時(shí)，基底14的背面可以被定位在封裝11側(cè) 的上邊緣稍下的位置。蓋13隨后可以被放在封裝11的頂部?？梢酝ㄟ^(guò)諸如錫焊或熔接 的氣密密封工藝將蓋附加到盒l(wèi)l。因?yàn)樯w13非常薄，因此它很容易彎 曲并且不明顯減少基底14的彎曲度(一個(gè)更厚的蓋可能使所述彎曲結(jié) 構(gòu)實(shí)際上變厚，這導(dǎo)致壓力靈敏度降低)。圖3表示一個(gè)用于測(cè)量汽車輪胎41內(nèi)的壓力和溫度的典型的系統(tǒng) 40。系統(tǒng)40包括被附加到天線46的傳感器10，它可以被定位在輪胎 41的至少一個(gè)輪胎內(nèi)。另一個(gè)天線42定位在汽車43內(nèi)，用于發(fā)送一 個(gè)輸出電磁信號(hào)到傳感器天線46并且從傳感器天線46接收一個(gè)輸入 電磁信號(hào)。輸出信號(hào)46可以由汽車43中的信號(hào)發(fā)生器44生成，輸出 信號(hào)處于與所述三個(gè)SAW檢測(cè)元件或SAW諧振器19-21諧振的一個(gè)頻 率范圍。位于汽車43內(nèi)的信號(hào)處理器44可以被用于將由天線42接收的輸 入電磁信號(hào)47翻譯成一個(gè)內(nèi)部輪胎壓力值和一個(gè)內(nèi)部輪胎溫度值。處 理器44與一個(gè)占有者可存取的讀出器45電連通用于顯示汽車43內(nèi)的 輪胎41里面的壓力值和溫度值。圖4表示一個(gè)傳感器設(shè)備400的框圖，它可以根據(jù)一個(gè)優(yōu)選實(shí)施 方案被實(shí)現(xiàn)。傳感器設(shè)備400通常由多個(gè)檢測(cè)元件或SAW諧振器419、 420和421構(gòu)成，它們對(duì)不同的頻率起反應(yīng)，從而允許傳感器設(shè)備400 在國(guó)際上起作用。傳感器設(shè)備400可以充當(dāng)無(wú)線傳感器，它包括所述 無(wú)線傳感器被配置在它上面的基底414。所述無(wú)線傳感器或傳感器設(shè)備 10包括多個(gè)被配置在基底414上的表面聲波檢測(cè)元件419、 420、 421， 其中，所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件419、 420、 421中的一個(gè)或多個(gè)響 應(yīng)于與在所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件419、 420、 421中的至少一個(gè)其 它的表面聲波檢測(cè)元件419、 420、 421的無(wú)線頻率范圍不同的無(wú)線頻 率范圍，以便不管其各不相同的國(guó)際頻率標(biāo)準(zhǔn)，都允許所述傳感器設(shè) 備400的無(wú)線詢問(wèn)。每個(gè)表面聲波檢測(cè)元件419、 420、 421可以被彼此平行地位于基 底414上。傳感器設(shè)備414可以充當(dāng)一個(gè)以一種延遲模式起作用的壓 力傳感器，這樣所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件419、 420、 421根據(jù)被施 加于所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件的張力來(lái)檢測(cè)壓力。當(dāng)壓力被施加到 所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件419、 420、 421時(shí)，所述多個(gè)表面聲波檢 測(cè)元件419、 420、 421中的每一個(gè)接收一個(gè)等量的^力。傳感器設(shè)備400類似于較早被描述的傳感器設(shè)備10，但是與這個(gè) 設(shè)備不同的是，傳感器設(shè)備400包括平行檢測(cè)元件或SAW諧振器419、 420、 421。正是這種平行允許全部三個(gè)SAW諧振器419、 420、 421在 壓力被施加于傳感器設(shè)備400時(shí)接收相等的張力。這樣做時(shí)，傳感器 設(shè)備400為三個(gè)單獨(dú)的詢問(wèn)器提供測(cè)量所述張力的能力。然而，在任 何一個(gè)位置，只有一種類型的詢問(wèn)器將被使用，使得三個(gè)SAW諧振器 419、 420、 421中的兩個(gè)無(wú)用，但是不干擾所述一個(gè)有用的諧振器。 盡管在圖4中表示了三個(gè)諧振器419、 420、 421，但是可以理解，根 據(jù)一個(gè)可替代的實(shí)施方案，三個(gè)以上的諧振器也可以被實(shí)現(xiàn)。同樣地， 根據(jù)設(shè)計(jì)考慮，只有兩個(gè)SAW諧振器也可以被實(shí)現(xiàn)。圖5表示一個(gè)傳感器系統(tǒng)500的框圖，它可以根據(jù)一個(gè)優(yōu)選實(shí)施 方案被實(shí)現(xiàn)。注意，在圖4-5中，相同的或類似的部分通常由相同的 參考數(shù)字指示。因此，系統(tǒng)500包括傳感器設(shè)備400。然而，在這個(gè)實(shí) 例中，發(fā)射機(jī)和/或接收機(jī)432通常與傳感器設(shè)備400相聯(lián)系并且通過(guò) 擴(kuò)展，與所述表面聲波檢測(cè)元件或SAW諧振器419、 420和421相聯(lián)系。 發(fā)射機(jī)和/或接收機(jī)432可以發(fā)送和/或接收來(lái)自位于傳感器設(shè)備400 外部的發(fā)射機(jī)和/或接收機(jī)534的數(shù)據(jù)和指令。處理器430也可以與傳 感器設(shè)備400相聯(lián)系，并且可以處理由發(fā)射機(jī)和/或接收機(jī)534發(fā)送到 發(fā)射機(jī)和/或接收機(jī)432的指令。在系統(tǒng)500中，SAW諧振器419、 420和421中的一個(gè)或多個(gè)響應(yīng) 于與在所述一組諧振器419、 420和421中至少一個(gè)其它的SAW諧振器 的無(wú)線頻率范圍不同的一個(gè)無(wú)線頻率范圍，以便不管其各不相同的國(guó) 際頻率標(biāo)準(zhǔn)，都允許無(wú)線傳感器設(shè)備400的無(wú)線詢問(wèn)。處理器420可以被實(shí)現(xiàn)為一個(gè)微處理器，即， 一個(gè)包括一個(gè)CPU (中央處理單元)的硅芯片。處理器420可以控制系統(tǒng)500和/或傳感 器設(shè)備400的功能。這些功能包括指令的邏輯處理和由傳感器設(shè)備400
執(zhí)行的檢測(cè)操作的控制和定時(shí)。注意，在此被利用的術(shù)語(yǔ)"處理器" 和"微處理器"可以被交換使用來(lái)指示相同的設(shè)備。例如， 一個(gè)典型的微處理器可以在包括所述CPU的硅芯片的情況下被構(gòu)成。在此陳述的實(shí)施方案和例子被提出以便最好地解釋本發(fā)明以及它 的實(shí)際應(yīng)用，并且從而使本領(lǐng)域的技術(shù)人員實(shí)現(xiàn)并且利用本發(fā)明。然 而，本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該認(rèn)識(shí)到，已經(jīng)被提出的前面的描述和例子 目的僅僅在于說(shuō)明和舉例。本發(fā)明的其它變化和修改對(duì)于本領(lǐng)域的技 術(shù)人員應(yīng)該是顯而易見(jiàn)的，并且它是這些變化和修改被覆蓋的附加權(quán) 利要求的意圖。所陳述的說(shuō)明書不是旨在窮舉或者限制本發(fā)明的范圍。在不違背 所附權(quán)利要求范圍的情況下，根據(jù)上述教導(dǎo)，很多修改和變化都是可 能的。預(yù)期本發(fā)明的使用可以包括具有不同特征的部件，本發(fā)明的范 圍旨在由所附的權(quán)利要求定義，給予對(duì)于所有方面的等同物的全面認(rèn)識(shí)。
權(quán)利要求
其中要求了專有的特性或權(quán)利的本發(fā)明的實(shí)施方案定義如下。因此，已經(jīng)被描述了本發(fā)明，權(quán)利要求是
1. 一種傳感器設(shè)備，包括一個(gè)包括多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件的無(wú)線傳感器，其中，所述多個(gè) 表面聲波檢測(cè)元件中的至少一個(gè)響應(yīng)于與所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件 中的至少一個(gè)其它的表面聲波檢測(cè)元件的無(wú)線頻率范圍不同的無(wú)線頻 率范圍，以便不管其各不相同的頻率標(biāo)準(zhǔn)，都允許所述無(wú)線傳感器的 無(wú)線詢問(wèn)。
2. 如權(quán)利要求1中所述的設(shè)備，其中，所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件 中的每一個(gè)彼此平行地位于一個(gè)基底上。
3. 如權(quán)利要求2中所述的設(shè)備，其中，所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件 中的至少 一個(gè)包括一個(gè)表面聲波諧振器。
4. 如權(quán)利要求2中所述的設(shè)備，其中，所述無(wú)線傳感器包括一個(gè)壓 力傳感器，其中，所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件根據(jù)被施加于所述多個(gè) 表面聲波檢測(cè)元件的張力來(lái)檢測(cè)壓力。
5. 如權(quán)利要求4中所述的設(shè)備，其中，當(dāng)壓力被施加于所述多個(gè)表 面聲波檢測(cè)元件時(shí)，所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件中的每一個(gè)接收等量 的張力。
6. 如權(quán)利要求1中所述的設(shè)備，其中，所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件 包括至少兩個(gè)表面聲波檢測(cè)元件。
7. 如權(quán)利要求1中所述的設(shè)備，其中，所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件 包括至少三個(gè)表面聲波檢測(cè)元件。
8. 如權(quán)利要求l中所述的設(shè)備，其中，所述無(wú)線傳感器以一種延 遲模式測(cè)量壓力。
9. 一種表面聲波檢測(cè)系統(tǒng)，包括 一個(gè)無(wú)線傳感器被配置在其上的基底；一個(gè)包括被配置在所述基底上的多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件的無(wú)線傳 感器；一個(gè)用于傳輸無(wú)線數(shù)據(jù)到所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件的發(fā)射機(jī)， 其中，所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件中的至少一個(gè)響應(yīng)于與所述多個(gè)表 面聲波檢測(cè)元件中的至少一個(gè)其它的表面聲波檢測(cè)元件的無(wú)線頻率范 圍不同的無(wú)線頻率范圍，以便不管其各不相同的頻率標(biāo)準(zhǔn)，都允許所 述無(wú)線傳感器的無(wú)線詢問(wèn)。
10. 如權(quán)利要求9中所述的系統(tǒng)，還包括一個(gè)與所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件相聯(lián)系的發(fā)射機(jī)，這樣，所述 發(fā)射機(jī)發(fā)送數(shù)據(jù)到位于所述無(wú)線傳感器外部的接收機(jī)。
11. 如權(quán)利要求9中所述的系統(tǒng)，還包括一個(gè)與所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件相聯(lián)系的接收機(jī)，其中，所述 接收機(jī)接收所述發(fā)射機(jī)發(fā)送的數(shù)據(jù)；以及一個(gè)與所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件相聯(lián)系的處理器，其中，所述 處理器指示所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件根據(jù)從所述發(fā)射機(jī)傳送到所述 接收機(jī)的數(shù)據(jù)來(lái)執(zhí)行檢測(cè)功能。
12. 如權(quán)利要求9中所述的系統(tǒng)，還包括一個(gè)與所述無(wú)線傳感器相 聯(lián)系的處理器，其中，所述處理器指示所述無(wú)線傳感器根據(jù)從所述發(fā) 射機(jī)發(fā)送的數(shù)據(jù)起作用，其中，所述發(fā)射機(jī)位于所述無(wú)線傳感器的外 部。
13. 如權(quán)利要求9中所述的系統(tǒng)，其中，所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元 件中的每一個(gè)彼此平行地位于所述基底上，并且其中所述多個(gè)表面聲 波檢測(cè)元件中的至少 一個(gè)包括一個(gè)表面聲波諧振器。
14. 如權(quán)利要求13中所述的設(shè)備，還包括其中，所述無(wú)線傳感器包括一個(gè)壓力傳感器，其中，所述多個(gè)表 面聲波檢測(cè)元件根據(jù)被施加于所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件的張力來(lái)檢 測(cè)壓力；以及其中，當(dāng)壓力被施加于所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件時(shí)，所述多個(gè) 表面聲波檢測(cè)元件中的每一個(gè)接收等量的張力。
15. —種傳感器方法，包括步驟 在一個(gè)基底上構(gòu)成一個(gè)無(wú)線傳感器；以及配置所述無(wú)線傳感器以便包括被定位在所述基底上的多個(gè)表面聲 波檢測(cè)元件，其中，所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件中的至少一個(gè)響應(yīng)于 與所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件中的至少一個(gè)其它的表面聲波檢測(cè)元件 的無(wú)線頻率范圍不同的無(wú)線頻率范圍，以便不管其各不相同的頻率標(biāo) 準(zhǔn)，都允許所述無(wú)線傳感器的無(wú)線詢問(wèn)。
16. 如權(quán)利要求15中所述的方法，還包括步驟將所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件中的每一個(gè)彼此平行地放置在所述基底上。
17. 如權(quán)利要求15中所述的方法，還包括步驟配置所述多個(gè)表 面聲波檢測(cè)元件中的至少一個(gè)以便包括一個(gè)表面聲波諧振器。
18. 如權(quán)利要求15中所述的方法，還包括配置所述無(wú)線傳感器以 便包括一個(gè)壓力傳感器的步驟，其中，所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件根 據(jù)被施加于所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件的張力來(lái)檢測(cè)壓力。
19. 如權(quán)利要求18中所述的方法，其中，當(dāng)壓力被施加于所述多 個(gè)表面聲波檢測(cè)元件時(shí)，所述多個(gè)表面聲波檢測(cè)元件中的每一個(gè)接收 等量的張力。
20. 如權(quán)利要求18中所述的方法，其中，所述無(wú)線傳感器以一種 延遲模式測(cè)量壓力。
全文摘要
公開了一種無(wú)線傳感器，它包括一個(gè)所述無(wú)線傳感器可以被配置在其上的基底。所述無(wú)線傳感器包括彼此平行被配置在所述基底上的多個(gè)表面聲波(SAW)檢測(cè)元件，其中，一個(gè)或多個(gè)SAW檢測(cè)元件響應(yīng)于與所述多個(gè)SAW檢測(cè)元件中的至少一個(gè)其它的SAW檢測(cè)元件的無(wú)線頻率范圍不同的無(wú)線頻率范圍。正是這種平行，允許全部SAW檢測(cè)元件當(dāng)壓力被施加于其上時(shí)接收相同的張力。這樣做時(shí)，為三個(gè)單獨(dú)的詢問(wèn)器提供了測(cè)量張力的能力。然而，在任一位置，只有一種類型的詢問(wèn)器可以被使用，使得三個(gè)SAW檢測(cè)元件中的兩個(gè)無(wú)用，而不干擾一個(gè)有用的SAW檢測(cè)元件，以便不論其中各不相同的頻率標(biāo)準(zhǔn)，都允許所述無(wú)線傳感器的無(wú)線詢問(wèn)。
文檔編號(hào)G01L1/16GK101124466SQ200580048312
公開日2008年2月13日 申請(qǐng)日期2005年12月12日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月15日
發(fā)明者B·J·馬什 申請(qǐng)人:霍尼韋爾國(guó)際公司