專利名稱：離子控制傳感器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及能夠檢測除電裝置產(chǎn)生的正負離子量的離子平衡和被除電 物的帶電電位雙方的離子控制傳感器。
現(xiàn)有技術
以往，例如在(日本國)特開平11-345697號公報(
~
、
閣1等)記載了一種除電裝置，該除電裝置對應被除電物的靜電電容的大 小及表面電位對于施加在放電電極針的電壓進行可變控制。
該除電裝置的結構如下，具有至少一根放電電極針，其供給電壓， 對于被除電物產(chǎn)生電暈放電；表面電位計，其連續(xù)地測定被除電物的表面 電位；運算處理單元，其根據(jù)所測定的表面電位計算使被除電物的表面電 位收斂至零的施加電壓；以及電壓輸出單元，其向放電電極針輸出利用計 算所求得的施加電壓，其中，向運算處理單元反饋表面電位計的測定結果， 使對放電電極針的施加電壓可變。此外，運算處理單元也具備根據(jù)表面電 位測定值的變化計算被除電物的靜電電容的功能。
按照上述(日本國)特開平11-345697號公報記載的現(xiàn)有技術，始終測 定被除電物的表面電位及基于該表面電位的靜電電容，向運算處理單元反 饋這些測定值，控制對放電電極針的施加電壓，大致能夠高精度低進行除 電。
此外，在(日本國)特許第3522586號公報(
~
、圖1等)
記載有一種液晶面板的制造裝置，使離子發(fā)生器(除電裝置)產(chǎn)生的離子 之中只有除電所需量的離子到達液晶基板(被除電物)，在失去離子平衡的 情況下，使液晶基板反向帶電。
該液晶面板制造裝置具有除電裝置，其利用電暈放電產(chǎn)生離子；及 柵電極板等電極部件，其根據(jù)除電對象物的帶電量調整往除電對象物的離 子量，其中，除電裝置包括屏蔽殼體，其在放電側開口；放電電極，其 設置于屏蔽殼體內；以及高壓電源，其向該;故電電籾—施加電暈放電所需的
高電壓。
就其作用而言，著眼于液晶基板和電極部件之間的電場按照液晶基板 的帶電量變化，在帶電量小的情況所述電場變弱，從而使得從除電裝置產(chǎn) 生的離子的大部分自電極部件流向接地側，使往液晶基板的到達離子量減 少，而在帶電量大的情況所述電場變強，使從除電裝置產(chǎn)生的離子的大部 分到達液晶基板，提高除電效果。
然而，(日本國)特開平11-345697號公報所記載的現(xiàn)有技術，基本上 根據(jù)被除電物的表面電位控制除電裝置，而沒有考慮從除電裝置產(chǎn)生的正 負離子的離子平衡。因而，也有自除電裝置產(chǎn)生的正負的離子量沒有形成
離子平衡的情況，從而由于離子發(fā)生器可能使原本未帶電的被除電物帶某 一方的極性。在這樣被除電物帶電的情況下，雖然利用基于其表面電位的 除電裝置的控制可進行除電，但是進行了本來不需要的除電動作，從而浪 費時間及電力。
此外，(日本國)特許第3522586號公報記載的現(xiàn)有技術，由于根據(jù)基 于液晶基板的帶電量的電場強度控制離子往液晶基板的到達量，因此，在 提高除電精度上受到限制，例如難以將液晶基板準確地保持在士0[V]。
進而，由于需要具備大型的柵電極板等，以能夠覆蓋在除電裝置所配 置的多個放電電極針與液晶基板之間的空間，因此，存在構成部件大型化 而導致裝置整體大型化及成本上升的問題。

發(fā)明內容
本發(fā)明的課題在于，提供一種低成本的離子控制傳感器，其利用極簡 單的結構，能夠檢測離子平衡及檢測被除電物的帶電電位，提高除電裝置
的性能。
為解決上述的課題，在技術方案1記載的發(fā)明是一種離子控制傳感器， 其特征在于，在向被除電物供給正負離子而進行除電并具備用于測定被除 電物的表面電位的表面電位測定用探針的除電裝置中，包括電位檢測部， 其構成表面電位測定用探針；以及導電性的蓋，其經(jīng)由絕緣部件配置成包 圍該電位4全測部。
此外，在技術方案2記載的發(fā)明是在技術方案1的離子控制傳感器中，
子而在所述蓋上產(chǎn)生的電位，并作為反饋信號向除電裝置內的控制電路送出。
根據(jù)本發(fā)明的上述結構，可利用單一的離子控制傳感器檢測除電裝置 產(chǎn)生的正負離子的離子平衡和被除電物的表面電位，可實現(xiàn)高精度且高效 率的除電裝置。
此外，本發(fā)明只是在既有的表面電位測定用探針的電位檢測部經(jīng)由絕 緣部件安裝導電性的蓋就可實現(xiàn)，構造極簡單，能以低成本提供。


圖1是表示本發(fā)明的優(yōu)選實施方式的離子控制傳感器的立體圖。
圖2是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式的使用狀態(tài)的說明圖。 圖3是圖2的除電裝置的概略結構圖。
以下，根據(jù)

用于實施本發(fā)明的優(yōu)選實施方式。首先，圖1是 本實施方式的離子控制傳感器10的立體圖。
在圖1中，11是方棒形的表面電位測定用探針，是所謂的音叉型或音 片型表面電位測定裝置等的探針，其能夠以非接觸方式測定被除電物的表 面電位。此外，該探針11的表面電位的測定原理沒有特別限定。該探針ll 經(jīng)由電纜21與后述的除電裝置20連接。
在表面電位測定用探針11的長度方向的大致中央部固接有由合成樹脂 等構成的口字形的絕緣部件12，而且用螺釘14安裝由有底方筒形的導電材 料構成的蓋13,使得包圍本絕緣部件12和探針11的前端部。此外，上述 的才笨針11的前端部構成具有4全測孔(未圖示)的電位4全測部lla,本電位 檢測部lla和蓋13的內面由于所述絕緣部件12及空間而保持非接觸狀態(tài)。
其次，圖2是本實施方式的使用狀態(tài)的說明圖，圖3是除電裝置20的 概略結構圖。
如圖3所示，除電裝置20包括多個放電電極22,其通過電暈(corona ) 放電而產(chǎn)生正負離子；高電壓電源電^各23，其用于向這些》文電電極22施力口 可變的高電壓；以及控制電路24，其根據(jù)所述表面電位測定用探針11的輸
此外，該除電裝置20可以是向》文電電4及22 ;^加交流電壓的交流式除 電裝置或者施加給放電電極22直流電壓的直流式除電裝置，也可以根據(jù)需200580049885.3
說明書第4/4頁
要而具備向被除電物方向強制送出所產(chǎn)生的離子的風扇。 接著，參照圖2說明本實施方式的作用。
在圖2中，離子控制傳感器10配置成接近應除電的被除電物30的表 面。在此，被除電物30是半導體晶片或液晶基板等的各種除電對象物。
當被運送至離子控制傳感器10的正下的被除電物30例如帶有正電位 時，由于靜電感應而使離子控制傳感器10的蓋也帶有正電位。利用表面電 位測定用探針11的電位檢測部1 la檢測該正電位，其檢測信號作為反饋信 號被輸入除電裝置20內的控制電路24。
由此，在控制電^各24中，為了除去(中和)^皮除電物30的正電位， 使高電壓電源電路23動作，而從放電電極22大量地產(chǎn)生負離子。例如， 進行使施加給放電電極22的交流或直流的負電壓的振幅比正電壓的振幅更 大等控制動作。
通過上述動作，由于向被除電物30供給自放電電極22產(chǎn)生的大量的 負離子，因此，中和被除電物30的正電位而除電。
此外，在檢測自放電電極22產(chǎn)生的正負離子量的平衡即所謂的離子平 衡的情況下，在離子控制傳感器10的正下不存在被除電物30的狀態(tài)或者 即使存在被除電物30也沒有正負帶電的狀態(tài)下，使除電裝置20動作。
在此情況，離子控制傳感器10的蓋13與從放電電極22產(chǎn)生的正負離 子量的平衡對應地帶有正電位或負電位，此外，若取得離子平衡，就變成O 電位
即，當所產(chǎn)生的正離子比負離子多時，因蓋13帶有正電位，則表面電 位測定用探針11的電位檢測部lla檢測到正電位，該檢測信號作為反饋信 號被輸入除電裝置20內的控制電路24。因而，在控制電路24中，進行控 制動作，使高電壓電源電路23動作，使得自放電電極22大量產(chǎn)生負離子。
在從放電電極22產(chǎn)生的負離子比正離子多的情況下，進行與上述相反 的動作。
此外，上述的實施方式僅僅是一例，對本發(fā)明的離子控制傳感器或表 面電位測定用探針的形狀、結構沒有任何限定，可以進行各種變形。
此外，對除電裝置的結構、形狀也不特別限定，其可用作天花板等的 安裝型、桌上型、空調型等各種形式的除電裝置。
權利要求
1.一種離子控制傳感器，其特征在于，在向被除電物供給正負離子而進行除電并具備用于測定被除電物的表面電位的表面電位測定用探針的除電裝置中，包括電位檢測部，其構成表面電位測定用探針；以及導電性的蓋，其經(jīng)由絕緣部件配置成包圍該電位檢測部。
2. 如權利要求1所述的離子控制傳感器，其特征在于， 利用所述電位檢測部檢測因被除電物的帶電電荷或從除電裝置所供給的離子而在所述蓋上產(chǎn)生的電位，并作為反饋信號向除電裝置內的控制電 路送出。
全文摘要
提供一種離子控制傳感器，在向被除電物供給正負離子進行除電并具備用于測定被除電物的表面電位的表面電位測定用探針的除電裝置中，包括電位檢測部(11a)，其構成表面電位測定用探針(11)；及導電性的蓋(13)，其配置成以非接觸狀態(tài)包圍該電位檢測部(11a)，利用電位檢測部(11a)檢測因被除電物(30)的帶電電荷或自除電裝置(20)所供給的離子而在蓋(13)產(chǎn)生的電位，并作為反饋信號向除電裝置(20)內的控制電路(24)送出。按照本發(fā)明，能夠以極簡單的構造檢測離子平衡及被除電物的帶電電位，可提高離子發(fā)生器的除電性能。
文檔編號G01R29/24GK101180547SQ20058004988
公開日2008年5月14日 申請日期2005年6月13日 優(yōu)先權日2005年5月27日
發(fā)明者中島用松 申請人:修谷魯電子機器股份有限公司