專利名稱：坐標(biāo)檢測(cè)裝置及被檢測(cè)體檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種坐標(biāo)檢測(cè)裝置，其對(duì)例如用于平板顯示器的玻璃基板等各種被檢測(cè)體中存在的缺陷等特定部位的坐標(biāo)進(jìn)行檢測(cè)以及根據(jù)該坐標(biāo)數(shù)據(jù)對(duì)特定部位進(jìn)行觀察的被檢測(cè)體檢查裝置。
背景技術(shù)：
以往公知有用來檢查液晶顯示器等平板顯示器所使用的玻璃基板表面的缺陷的基板檢查裝置。這種基板檢查裝置進(jìn)行宏觀觀察和微觀觀察，所述宏觀觀察是將照明光照射到玻璃基板表面，通過目視觀察其反射光的光學(xué)變化，以檢測(cè)玻璃基板表面的損傷或膜不均勻、灰塵附著等缺陷；所述微觀觀察是將通過該宏觀觀察檢測(cè)到的缺陷放大進(jìn)行觀察。為了檢測(cè)出通過宏觀觀察檢測(cè)到的缺陷等特定部位的坐標(biāo)，該基板檢測(cè)裝置使用坐標(biāo)檢測(cè)裝置。
例如，在下述專利文獻(xiàn)1中，設(shè)置有可沿著保持架的對(duì)置的兩側(cè)緣在玻璃基板上移動(dòng)的桿狀投射部件，上述保持架上承載有作為被檢測(cè)體的玻璃基板，還設(shè)置有可沿著與該投射部件平行的保持架一側(cè)緣移動(dòng)的導(dǎo)向移動(dòng)部。在該導(dǎo)向移動(dòng)部上設(shè)置有反射鏡，該反射鏡反射從固定于保持架角部的激光光源射出的激光，并使其照射到投射部件上。并且，通過使投射部件與導(dǎo)向移動(dòng)部沿X-Y軸方向移動(dòng)，以使激光在投射部件上的照射位置與玻璃基板的缺陷位置一致，這樣，根據(jù)該各移動(dòng)量檢測(cè)出缺陷的坐標(biāo)位置。
另外，在專利文獻(xiàn)2中，設(shè)置有可在承載有作為被檢測(cè)體的玻璃基板的保持架上移動(dòng)的桿狀發(fā)光件，該發(fā)光件由沿其長(zhǎng)度方向排列的多個(gè)發(fā)光元件構(gòu)成。而且，使發(fā)光件沿著玻璃基板表面移動(dòng)以使發(fā)光件與缺陷對(duì)置，并且在將該發(fā)光件定位于玻璃基板上的缺陷位置的狀態(tài)下，順次點(diǎn)亮多個(gè)發(fā)光元件，在處于與缺陷對(duì)置的位置上的發(fā)光元件點(diǎn)亮的狀態(tài)下，根據(jù)發(fā)光件的移動(dòng)量和點(diǎn)亮的發(fā)光元件的位置來檢測(cè)出缺陷的坐標(biāo)位置。
專利文獻(xiàn)1特開2002-82067號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2國際公開WO03/002934號(hào)公報(bào)然而，該專利文獻(xiàn)1、2中記載的坐標(biāo)檢測(cè)裝置需要離開玻璃基板的上表面，以使確定缺陷的位置坐標(biāo)的投射部件或發(fā)光件不會(huì)與玻璃基板接觸。考慮到玻璃基板與投射部件或發(fā)光件彼此在上下方向上的振動(dòng)，玻璃基板與投射部件或發(fā)光件之間的間隙需要是數(shù)mm左右的間隙，因此導(dǎo)致缺陷指示為間接指示。為此，在作業(yè)者通過目視進(jìn)行缺陷位置與照射部或點(diǎn)亮的發(fā)光件的位置確定時(shí)，存在因作業(yè)者相對(duì)基板的觀察角度導(dǎo)致產(chǎn)生坐標(biāo)位置的讀取誤差的缺點(diǎn)。特別是作為檢查對(duì)象的液晶顯示器用玻璃基板(母玻璃基板)，出現(xiàn)了一邊超過2000mm的情況。在將該大型玻璃基板保持在保持架上、并使其傾斜給定角度(例如60°)地進(jìn)行宏觀觀察時(shí)，由于在大型玻璃基板的上方與下方觀察角度會(huì)產(chǎn)生大的變化，因此，對(duì)于大型玻璃基板上方的缺陷和下方的缺陷來說，在坐標(biāo)位置上會(huì)產(chǎn)生大的誤差。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是鑒于這種情況而提出的，其目的是提供一種坐標(biāo)檢測(cè)裝置及被檢測(cè)體檢查裝置，將點(diǎn)光直接照射到被檢測(cè)體上，并可穩(wěn)定地檢測(cè)出精度高的坐標(biāo)位置。
本發(fā)明的坐標(biāo)檢測(cè)裝置，其特征在于，包括用于保持被檢測(cè)體的保持架；可在所述被檢測(cè)體的表面上移動(dòng)的導(dǎo)向部件；指示裝置，設(shè)置在該導(dǎo)向部件上，并可使照射在所述被檢測(cè)體上的點(diǎn)光沿著與所述導(dǎo)向部件的移動(dòng)方向交叉的方向移動(dòng)；操作部，用于移動(dòng)所述被檢測(cè)體上的所述點(diǎn)光的照射位置；以及坐標(biāo)檢測(cè)部，用于根據(jù)與所述被檢測(cè)體上的所述點(diǎn)光的所述照射位置有關(guān)的位置信息求出坐標(biāo)數(shù)據(jù)。
根據(jù)本發(fā)明，對(duì)于被檢測(cè)體的特定位置，使導(dǎo)向部件以與被檢測(cè)體的表面對(duì)置的非接觸方式移動(dòng)，通過指示裝置使點(diǎn)光沿著與導(dǎo)向部件的移動(dòng)方向交叉的方向移動(dòng)，由此，可從與被檢測(cè)體對(duì)置的導(dǎo)向部件直接向被檢測(cè)體照射點(diǎn)光。并且，通過坐標(biāo)檢測(cè)部求出與被檢測(cè)體上點(diǎn)光照射位置有關(guān)的坐標(biāo)數(shù)據(jù)。在這種情況下，從在被檢測(cè)體的表面上移動(dòng)的導(dǎo)向部件的指示裝置直接向被檢測(cè)體的特定部位照射點(diǎn)光，從而能夠更穩(wěn)定地得到精度高的坐標(biāo)數(shù)據(jù)。
本發(fā)明的坐標(biāo)檢測(cè)裝置，在以給定的傾斜角度保持被檢測(cè)體的狀態(tài)下，從上方照射宏觀照明光，目視觀察所述被檢測(cè)體上的缺陷，其特征在于，包括擺動(dòng)保持架，用于保持所述被檢測(cè)體，并可立起至所述給定傾斜角度；導(dǎo)向部件，其設(shè)置在所述擺動(dòng)保持架上，并可在所述被檢測(cè)體的表面上移動(dòng)；指示裝置，其設(shè)置在所述導(dǎo)向部件上，并使照射到所述被檢測(cè)體上的點(diǎn)光沿著與所述導(dǎo)向部件的移動(dòng)方向交叉的方向移動(dòng)；操作部，用于使所述導(dǎo)向部件和所述指示裝置分別移動(dòng)，并根據(jù)所述點(diǎn)光的照射位置指定所述被檢測(cè)體上的缺陷；以及坐標(biāo)檢測(cè)部，根據(jù)所述導(dǎo)向部件和所述點(diǎn)光的各位置的坐標(biāo)數(shù)據(jù)求出由所述指示裝置指定的缺陷位置的坐標(biāo)數(shù)據(jù)。
根據(jù)本發(fā)明，即使將擺動(dòng)保持架立起至觀察者容易進(jìn)行宏觀觀察的角度，由于在該擺動(dòng)保持架上一體地設(shè)置有導(dǎo)向部件與指示裝置，所以，無論擺動(dòng)保持架傾斜至何種角度，都能使指示裝置的點(diǎn)光準(zhǔn)確地對(duì)準(zhǔn)檢查者通過目視檢測(cè)出的缺陷。
本發(fā)明的被檢測(cè)體檢查裝置，可對(duì)被檢測(cè)體的特定部位進(jìn)行微觀觀察，其特征在于，包括用于保持所述被檢測(cè)體的保持架；可在所述被檢測(cè)體的表面上移動(dòng)的導(dǎo)向部件；指示裝置，設(shè)置在該導(dǎo)向部件上，并使照射到所述被檢測(cè)體上的點(diǎn)光沿著與所述導(dǎo)向部件的移動(dòng)方向交叉的方向移動(dòng)；操作部，用于移動(dòng)所述被檢測(cè)體上的所述點(diǎn)光的照射位置；坐標(biāo)檢測(cè)部，用于根據(jù)與所述被檢測(cè)體上的所述點(diǎn)光的所述照射位置有關(guān)的位置信息求出坐標(biāo)數(shù)據(jù)；以及微觀觀察部；通過向所述被檢測(cè)體的所述特定部位照射所述點(diǎn)光，來利用所述坐標(biāo)檢測(cè)部求出所述特定部位的坐標(biāo)數(shù)據(jù)，并使所述微觀觀察部相對(duì)移動(dòng)到該坐標(biāo)數(shù)據(jù)位置，以進(jìn)行顯微鏡觀察。
根據(jù)本發(fā)明，對(duì)于被檢測(cè)體的缺陷等特定部位，通過操作操作部來使導(dǎo)向部件以非接觸的方式在被檢測(cè)體的表面上移動(dòng)，通過指示裝置使點(diǎn)光沿著與導(dǎo)向部件的移動(dòng)方向交叉的方向移動(dòng)，由此，可從與被檢測(cè)體對(duì)置的導(dǎo)向部件直接向被檢測(cè)體的特定部位照射點(diǎn)光。并且，通過坐標(biāo)檢測(cè)部求出與特定部位的點(diǎn)光照射位置有關(guān)的坐標(biāo)數(shù)據(jù)，通過使微觀觀察部相對(duì)移動(dòng)到該坐標(biāo)數(shù)據(jù)的位置，可進(jìn)行缺陷等特定部位的顯微鏡觀察。
根據(jù)本發(fā)明的坐標(biāo)檢測(cè)裝置及被檢測(cè)體檢查裝置，對(duì)于被檢測(cè)體上的任意部位，可從與被檢測(cè)體對(duì)置的導(dǎo)向部件直接投射點(diǎn)光，并且可以使指示裝置與被檢測(cè)體的距離以及點(diǎn)光光束的投射角度固定，能使在投射點(diǎn)光的被檢測(cè)體上的坐標(biāo)的檢測(cè)精度提高，不管點(diǎn)光照射位置如何，都能得到穩(wěn)定的檢測(cè)精度。


圖1是本發(fā)明第一實(shí)施方式的被檢測(cè)體檢查裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖2是圖1中所示被檢測(cè)體檢查裝置的側(cè)視圖。
圖3是圖1中所示被檢測(cè)體檢查裝置的坐標(biāo)檢測(cè)裝置的局部立體圖。
圖4是安裝在第二帶上的激光頭的立體圖。
圖5是表示將點(diǎn)光照射在玻璃基板上的缺陷處的狀態(tài)的激光頭的側(cè)視圖。
圖6是表示坐標(biāo)檢查裝置的控制驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的方框圖。
圖7是第二實(shí)施方式的被檢測(cè)體檢查裝置的坐標(biāo)檢測(cè)裝置的局部立體圖。
標(biāo)號(hào)說明1被檢測(cè)體檢查裝置；3、70坐標(biāo)檢測(cè)裝置；5微觀觀察單元；8玻璃基板(被檢測(cè)體)；9擺動(dòng)保持架；18微觀觀察部；21物鏡；33、34導(dǎo)軌；35、36第一帶；40導(dǎo)向桿(導(dǎo)向部件)；40a遮光部件；42第二帶；44、72激光頭(點(diǎn)光源)；M1、M2、M3電動(dòng)機(jī)；k缺陷(特定部位)；s點(diǎn)光。
具體實(shí)施例方式
下面，根據(jù)附圖，對(duì)具有本發(fā)明實(shí)施方式的坐標(biāo)檢測(cè)裝置的被檢測(cè)體檢查裝置進(jìn)行說明。
圖1至圖6表示第一實(shí)施方式，圖1是被檢測(cè)體檢查裝置的概略立體圖，圖2是被檢測(cè)體檢查裝置的側(cè)視圖，圖3是坐標(biāo)檢測(cè)裝置主要部分的立體圖，圖4是激光頭的立體圖，圖5是激光頭的側(cè)視圖，圖6是控制驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的方框圖。
圖1及圖2中所示的被檢測(cè)體檢查裝置1具有裝置主體2和通過配線與裝置主體2連接的控制單元6，作為裝置主體2，具有坐標(biāo)檢測(cè)裝置3和設(shè)置在基座4上的微觀觀察單元5(觀察部)。
在裝置主體2中，在基座4上設(shè)置有用于保持作為被檢測(cè)體的玻璃基板8的擺動(dòng)保持架9。擺動(dòng)保持架9例如形成為四邊形框架形狀，其通過四邊的框架部來承載玻璃基板8。玻璃基板8用于液晶顯示器等平板顯示器，通過設(shè)置在擺動(dòng)保持架9的兩邊上的多個(gè)基準(zhǔn)銷9a和分別設(shè)置在另外兩邊上的按壓部件9b，來將玻璃基板8定位在基準(zhǔn)位置上。而且，在擺動(dòng)保持架9的周緣部上，沿全周設(shè)置有未圖示的多個(gè)孔(吸附墊)，通過這些孔來吸附玻璃基板8，從而將玻璃基板8吸附保持在擺動(dòng)保持架9上。
另外，如圖2所示，擺動(dòng)保持架9可以通過設(shè)置在基座4一端邊緣上的支軸10(擺動(dòng)軸)轉(zhuǎn)動(dòng)，從而從水平狀態(tài)立起到檢查者容易目視觀察的角度θ(例如45°～60°)。支軸10通過帶輪11和帶12與電動(dòng)機(jī)M1的旋轉(zhuǎn)軸13連接，并由電動(dòng)機(jī)M1旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。這樣構(gòu)成擺動(dòng)裝置。
在本實(shí)施方式中，示出了相對(duì)檢查者向前后方向擺動(dòng)的單軸擺動(dòng)保持架的一個(gè)示例，但是，也可以使用向前后左右擺動(dòng)的雙軸擺動(dòng)保持架、或向前后左右自由地轉(zhuǎn)動(dòng)擺動(dòng)的平行連桿(parallel link)、或者使用了多關(guān)節(jié)機(jī)器人的擺動(dòng)保持架。
在裝置主體2中，在基座4上，沿?cái)[動(dòng)保持架9的兩側(cè)，沿著Y軸方向?qū)χ门帕杏形⒂^觀察單元5用的第一導(dǎo)軌15、16，微觀觀察單元5可沿著該第一導(dǎo)軌15、16移動(dòng)。微觀觀察單元5具有門型支撐部17和微觀觀察部18。微觀觀察部18可沿著微觀觀察部用的第二導(dǎo)軌(未圖示)移動(dòng)，該第二導(dǎo)軌設(shè)置在支撐部17的沿X軸方向延伸的梁部17a上。
微觀觀察部18是例如顯微鏡頭，該顯微鏡頭由高倍率(例如20～100倍)的物鏡21和目鏡22以及未圖示的落射照明光源構(gòu)成。作為微觀觀察部，除了光學(xué)式顯微鏡之外，還有電子顯微鏡或掃描型探針顯微鏡等。此外，在微觀觀察部18上安裝有輔助物鏡23，該輔助物鏡23用于以極低倍率(例如0.5～2倍左右)觀察玻璃基板8上的缺陷位置。在微觀觀察部18的主體側(cè)面安裝有局部宏觀照明光源24，該局部宏觀照明光源24用于直接目視地對(duì)玻璃基板8的表面進(jìn)行宏觀觀察。
通過使支撐部17沿Y方向移動(dòng)、并且使微觀觀察部18沿X方向移動(dòng)，檢查者通過利用目鏡22經(jīng)由物鏡21進(jìn)行觀察，可以在玻璃基板8的整個(gè)面范圍內(nèi)觀察玻璃基板8表面的高倍率圖像。另外，通過切換物鏡21與輔助物鏡23的光路，通過目鏡22可以觀察由輔助物鏡23在廣視場(chǎng)內(nèi)取入的玻璃基板8表面的低倍率圖像。
另外，在微觀觀察部18的目鏡筒的上部連接有TV攝像機(jī)25。TV攝像機(jī)25對(duì)通過物鏡21、輔助物鏡23得到的玻璃基板8表面的觀察像(低倍率圖像)進(jìn)行攝像，并傳送給控制單元6中設(shè)置的控制部26。
此外，在微觀觀察單元5中，在支撐部17的下部，與物鏡21的移動(dòng)線對(duì)置地設(shè)置有透射線照明光源28。該透射線照明光源28沿X軸配設(shè)在支撐部17的襯板29上，該襯板29可以在保持為水平狀態(tài)的擺動(dòng)保持架9的下側(cè)移動(dòng)(參照?qǐng)D2)。透射線照明光源28用于從玻璃基板8的下方進(jìn)行線狀的透射照明，并可與支撐部17一體地沿Y軸方向移動(dòng)。
另一方面，在控制單元6中，利用TV攝像機(jī)25得到的觀察圖像通過控制部26顯示在TV監(jiān)視器30上。作為檢查者進(jìn)行動(dòng)作指示和數(shù)據(jù)輸入用的輸入部，鍵盤31連接在控制部26上。
此外，在裝置主體2的上方設(shè)置有未圖示的宏觀照明部，該宏觀照明部大范圍地照射擺動(dòng)保持架9上的玻璃基板8。該宏觀照明部由例如特開平5-232040號(hào)公報(bào)中記載的金屬鹵化物燈、反射鏡及菲涅爾透鏡構(gòu)成。該宏觀照明部在下述情況時(shí)使用在將擺動(dòng)保持架9傾斜成給定角度(45°～60°)的狀態(tài)下，從保持在該擺動(dòng)保持架9中的玻璃基板8的上方照射宏觀照明光，檢查者在該宏觀照明下直接目視玻璃基板8的表面，從而對(duì)玻璃基板8表面的缺陷進(jìn)行宏觀觀察。
下面根據(jù)圖3至圖5說明被檢測(cè)體檢查裝置1的坐標(biāo)檢測(cè)裝置3。在擺動(dòng)保持架9上，沿著玻璃基板8前后方向的兩側(cè)端部，對(duì)置地配設(shè)有坐標(biāo)檢測(cè)用的第三導(dǎo)軌33、34。各導(dǎo)軌33、34的外側(cè)排列有一對(duì)環(huán)狀的第一帶35、36。各帶35、36分別張緊在一對(duì)帶輪37a、37b及37c、37d上，對(duì)置的兩個(gè)帶輪37a、37c通過軸38連接。軸38通過傳動(dòng)帶39與步進(jìn)電動(dòng)機(jī)等電動(dòng)機(jī)M2的輸出軸連接，因而該軸38承受驅(qū)動(dòng)力的傳遞。作為電動(dòng)機(jī)M2也可使用雙軸電動(dòng)機(jī)，在軸38的中間分別通過聯(lián)軸器(coupling)配置該雙軸電動(dòng)機(jī)。
在這些第三導(dǎo)軌33、34上可滑動(dòng)地安裝有導(dǎo)向桿40(導(dǎo)向部件)的兩端，導(dǎo)向桿40的兩端與各第一帶35、36連接。導(dǎo)向桿40配置在與擺動(dòng)保持架9的擺動(dòng)用支軸10正交的方向(Y軸方向)上，以使其長(zhǎng)邊方向沿著與從上方照射的宏觀照明的照明方向相同的方向。即，為了進(jìn)行宏觀觀察，在將擺動(dòng)保持架9立起至給定角度的狀態(tài)下，為了避免在檢查者檢測(cè)的缺陷上形成由于從上方照明的宏觀照明光而產(chǎn)生的影子，所以理想的是將該導(dǎo)向桿40配置成使其長(zhǎng)邊方向沿著與宏觀照明的照射方向相同的方向。此外，與電動(dòng)機(jī)M2的驅(qū)動(dòng)聯(lián)動(dòng)，通過軸38驅(qū)動(dòng)第一帶35、36，由此，導(dǎo)向桿40沿著擺動(dòng)保持架9的擺動(dòng)用支軸10的方向(X方向)，以非接觸的方式在玻璃基板8的表面上往返移動(dòng)。
而且，在圖3中，在導(dǎo)向桿40上沿著其長(zhǎng)度方向(Y軸方向)設(shè)置有環(huán)狀的第二帶42，第二帶42張緊在設(shè)置于導(dǎo)向桿40兩端的帶輪43a、43b上。一個(gè)帶輪43a與步進(jìn)電動(dòng)機(jī)等電動(dòng)機(jī)M3的輸出軸連接。第二帶42上連接有保持部45，該保持部45與作為激光光源的激光頭44設(shè)置成一體，通過電動(dòng)機(jī)M3的正反旋轉(zhuǎn)，激光頭44可在玻璃基板8的Y軸方向全長(zhǎng)范圍內(nèi)往返移動(dòng)。
圖4及圖5中所示的激光頭44(點(diǎn)光源)固定在保持部45上，并至少使照射部44a(在圖中為激光頭整體)朝向斜下方。因此，從激光頭44照射的點(diǎn)光s的光束相對(duì)玻璃基板8以所希望的角度α(例如30°～70°)投射。投射角度α最好取40°～60°的范圍。在本實(shí)施方式中，將投射角度α設(shè)定為45°。通過將激光頭44的投射角度設(shè)定成給定的角度(例如45°)，當(dāng)檢查者在使擺動(dòng)保持架9立起至容易進(jìn)行宏觀觀察的角度(例如45°)的狀態(tài)下目視玻璃基板8的點(diǎn)光s時(shí)，可以防止因觀察位置使導(dǎo)向桿40出現(xiàn)影子而不能目視點(diǎn)光s的情況發(fā)生。另外，從激光頭44射出的點(diǎn)光s被設(shè)定成檢查者可目視確認(rèn)程度的直徑，例如設(shè)定成2mm直徑的圓形，并且該點(diǎn)光s照射檢查者在宏觀照明下檢測(cè)出的玻璃基板8的缺陷k等。因此，檢查者通過間隙47，借助于從上方照射的宏觀照明光確認(rèn)玻璃基板8上的缺陷k，從而能準(zhǔn)確地使點(diǎn)光s與該缺陷k重合。
另外，導(dǎo)向桿40大致形成為板狀，在其長(zhǎng)度方向的一個(gè)邊上，隔著希望寬度的間隙47形成有例如板狀的遮光部件40a。如圖5所示，從激光頭44照射到玻璃基板8上的激光作為點(diǎn)光s照射到玻璃基板8的缺陷k上之后反射，并由遮光部件40a遮蔽。另外，激光由于是從與檢查者視線方向交叉的方向照射的，所以，激光不會(huì)直接反射向檢查者，在玻璃基板8上反射的激光也能被反射光路上的遮光部件40a可靠地遮蔽。
此外，遮光部件40a只要是激光不能透射的材質(zhì)即可，其可以是有色的也可以是透明的。另外，理想的是，遮光部件40a具有與反射的激光大致正交的遮光面，以遮蔽激光。另外，遮光部件不一定要與導(dǎo)向桿40設(shè)置成一體，例如也可以是在激光頭44上設(shè)置能夠充分遮蔽在玻璃基板8上反射的激光的大小(例如是激光點(diǎn)直徑的數(shù)倍)的遮光板，并使遮光板隨動(dòng)于該激光頭44。
接著，通過圖6說明坐標(biāo)檢測(cè)裝置3的激光頭44的控制驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)50。在該控制驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)50中，在上位個(gè)人計(jì)算機(jī)51上連接有驅(qū)動(dòng)脈沖發(fā)生器52。該驅(qū)動(dòng)脈沖發(fā)生器52通過操作部控制器53與控制桿(joy-stick)等操作部54連接。操作部54并不限于控制桿，只要是為了將點(diǎn)光s重疊地照射在玻璃基板8的缺陷k上而賦予指定的位置坐標(biāo)(X、Y)的指示的結(jié)構(gòu)即可，例如，可以是跟蹤球、十字鍵(cross)等二維坐標(biāo)指定開關(guān)。
另外，在操作部54上設(shè)置有缺陷位置坐標(biāo)登記開關(guān)55，該缺陷位置坐標(biāo)登記開關(guān)55用于登記以下兩個(gè)坐標(biāo)玻璃基板8表面上的沿著第一帶35、36長(zhǎng)度方向(X軸方向)的導(dǎo)向桿40的停止位置的X坐標(biāo)、及沿著導(dǎo)向桿40的長(zhǎng)度方向(Y軸方向)的激光頭44的停止位置的Y坐標(biāo)。作為登記開關(guān)，在本實(shí)施方式中，在控制桿的操縱桿附近設(shè)置有按鈕開關(guān)，但是，也可以在被檢測(cè)體檢查裝置1的檢查者進(jìn)行目視觀察的位置的底板上設(shè)置腳踏開關(guān)。
操作部控制器53具有下述功能輸入檢查者操作操作部54時(shí)產(chǎn)生的二維坐標(biāo)信息，根據(jù)該二維坐標(biāo)信息分離相對(duì)操作部54的X軸方向與Y軸方向兩個(gè)操作方向，并輸出該X軸方向的驅(qū)動(dòng)脈沖輸出指示和Y軸方向的驅(qū)動(dòng)脈沖輸出指示。
驅(qū)動(dòng)脈沖發(fā)生器52具有下述功能接收從操作部控制器53輸出的X軸方向的驅(qū)動(dòng)脈沖輸出指示和Y軸方向的驅(qū)動(dòng)脈沖輸出指示，根據(jù)X軸方向的驅(qū)動(dòng)脈沖輸出指示將X軸方向驅(qū)動(dòng)脈沖發(fā)送給電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器57，根據(jù)Y軸方向的驅(qū)動(dòng)脈沖輸出指示將Y軸方向驅(qū)動(dòng)脈沖發(fā)送給電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器58。
電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器57具有下述功能接收來自驅(qū)動(dòng)脈沖發(fā)生器52的X軸方向驅(qū)動(dòng)脈沖，從而旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)M2，使導(dǎo)向桿40沿X軸方向僅移動(dòng)與該脈沖數(shù)對(duì)應(yīng)的距離。電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器58具有下述功能接收來自驅(qū)動(dòng)脈沖發(fā)生器52的Y軸方向驅(qū)動(dòng)脈沖，從而旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)M3，使激光頭44沿Y軸方向僅移動(dòng)與該脈沖數(shù)對(duì)應(yīng)的距離。
上位個(gè)人計(jì)算機(jī)51具有坐標(biāo)檢測(cè)裝置60、原點(diǎn)可變裝置61的各種功能。坐標(biāo)檢測(cè)裝置60根據(jù)操作設(shè)置于操作部54上的缺陷位置坐標(biāo)登記開關(guān)55時(shí)來自驅(qū)動(dòng)脈沖發(fā)生器52的X軸方向的驅(qū)動(dòng)脈沖數(shù)和Y軸方向的驅(qū)動(dòng)脈沖數(shù)，計(jì)算出點(diǎn)光s所照射的缺陷k的X、Y坐標(biāo)數(shù)據(jù)(二維坐標(biāo)數(shù)據(jù))。
原點(diǎn)可變裝置61具有使激光頭44的點(diǎn)光照射位置的坐標(biāo)原點(diǎn)與玻璃基板8的X、Y坐標(biāo)基準(zhǔn)位置一致的功能。例如，如果玻璃基板8的X、Y坐標(biāo)基準(zhǔn)位置是玻璃基板8的左端或右端的角部，則將點(diǎn)光s的坐標(biāo)原點(diǎn)設(shè)定在點(diǎn)光s對(duì)該玻璃基板8的左端或右端的角部進(jìn)行照射的激光頭44的位置上。當(dāng)在玻璃基板8上發(fā)現(xiàn)缺陷k、并對(duì)該位置照射點(diǎn)光s時(shí)，將坐標(biāo)原點(diǎn)設(shè)為X坐標(biāo)的0點(diǎn)、Y坐標(biāo)的0點(diǎn)，從該坐標(biāo)原點(diǎn)(0，0)對(duì)各電動(dòng)機(jī)M2、M3的脈沖數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，從而求出坐標(biāo)(X，Y)。
此外，該坐標(biāo)原點(diǎn)并不限于玻璃基板8的左端或右端的角部，可以設(shè)定成任意位置。
另外，如圖3所示，在擺動(dòng)保持架9上設(shè)置有使導(dǎo)向桿40退避的退避區(qū)域，以便防止在與導(dǎo)向桿40平行的玻璃基板8的一個(gè)側(cè)緣部與微觀觀察部18的物鏡21產(chǎn)生干涉。退避區(qū)域只要是至少能離開玻璃基板8就可以，在玻璃基板8的外側(cè)，在微觀觀察部18的物鏡21掃描的掃描區(qū)域之外，可以使導(dǎo)向桿40從擺動(dòng)保持架9的上面向下方退避。
本實(shí)施方式的被檢測(cè)體檢查裝置1具有上述結(jié)構(gòu)，下面，作為其作用，對(duì)缺陷k的坐標(biāo)檢測(cè)方法及觀察方法進(jìn)行說明。
首先，為了檢查作為被檢測(cè)體的玻璃基板8的缺陷，通過目視進(jìn)行宏觀觀察。
在將玻璃基板8承載于擺動(dòng)保持架9上、并固定在基準(zhǔn)位置上的狀態(tài)下，為了進(jìn)行宏觀觀察而旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)M1。通過電動(dòng)機(jī)M1的驅(qū)動(dòng)，帶輪11的支軸10通過旋轉(zhuǎn)軸13和帶12而旋轉(zhuǎn)。這樣，擺動(dòng)保持架9從水平狀態(tài)繞支軸10轉(zhuǎn)動(dòng)到適于檢查者目視觀察的角度θ。檢查者進(jìn)行宏觀觀察時(shí)，使擺動(dòng)保持架9停止在容易看到缺陷k的角度θ(例如45°)，或者使擺動(dòng)保持架9在缺陷k出現(xiàn)的給定角度范圍(例如45°±5°～10°)內(nèi)擺動(dòng)。此時(shí)，宏觀照明光從擺動(dòng)保持架9的上方投射到玻璃基板8的整個(gè)面或一部分上，從而通過檢查者眼睛直接目視來進(jìn)行玻璃基板8的宏觀觀察。
在該宏觀觀察中，當(dāng)使擺動(dòng)保持架9在給定角度范圍內(nèi)擺動(dòng)時(shí)，對(duì)電動(dòng)機(jī)M1的旋轉(zhuǎn)方向周期性地進(jìn)行正反切換。
通過宏觀觀察，當(dāng)由檢查者在玻璃基板8的表面上檢測(cè)出缺陷k時(shí)，在使擺動(dòng)保持架9停止在能夠看到缺陷的角度的狀態(tài)下，操作操作部54，使導(dǎo)向桿40與激光頭44進(jìn)行X-Y軸移動(dòng)，使點(diǎn)光s的照射位置與缺陷位置一致。該操作按照下述方式進(jìn)行。
即，為了使激光頭44的點(diǎn)光照射位置與缺陷位置一致，檢查者操作控制桿等操作部54。這樣，來自操作部54的二維坐標(biāo)信息被輸入到操作部控制器53中，并根據(jù)該二維坐標(biāo)信息分別輸出X軸方向的驅(qū)動(dòng)脈沖輸出指示和Y軸方向的驅(qū)動(dòng)脈沖輸出指示。
在驅(qū)動(dòng)脈沖發(fā)生器52中，接收從操作部控制器53輸出的X軸方向的驅(qū)動(dòng)脈沖輸出指示和Y軸方向的驅(qū)動(dòng)脈沖輸出指示，將X軸方向驅(qū)動(dòng)脈沖發(fā)送到電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器57，將Y軸方向驅(qū)動(dòng)脈沖發(fā)送到電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器58。在電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器57中，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)M2，使導(dǎo)向桿40沿X軸方向僅移動(dòng)與從驅(qū)動(dòng)脈沖發(fā)生器52輸出的脈沖數(shù)對(duì)應(yīng)的距離。在電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器58中，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)M3，使激光頭44沿Y軸方向僅移動(dòng)與上述脈沖數(shù)對(duì)應(yīng)的距離。
電動(dòng)機(jī)M2的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，從軸38經(jīng)帶輪37a、37c傳遞給第一帶35、36，從而使第一帶35、36同步移動(dòng)，這樣，導(dǎo)向桿40沿著第三導(dǎo)軌33、34在X軸方向上僅移動(dòng)所需要的量。與此同時(shí)，電動(dòng)機(jī)M3的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)從帶輪43a傳遞給第二帶42，從而使第二帶42移動(dòng)，這樣，激光頭44與第二帶42一體地沿Y軸方向僅移動(dòng)所需要的量。
這樣，通過由檢查者對(duì)操作部54進(jìn)行操作調(diào)整，來使導(dǎo)向桿40與激光頭44沿X軸和Y軸方向移動(dòng)，在從激光頭44射出的點(diǎn)光s與玻璃基板8上的缺陷k重疊時(shí)，停止操作部54的操作。
此時(shí)，由于來自激光頭44的照射部44a的激光以相對(duì)玻璃基板8傾斜一定角度α的狀態(tài)射出，并使點(diǎn)光s與缺陷k重疊地進(jìn)行照射，因此，對(duì)于檢查者來說，點(diǎn)光s及缺陷k不會(huì)成為導(dǎo)向桿40的主體的影子，因而能通過間隙47可靠地目視確認(rèn)點(diǎn)光s。
另外，在操作操作部54從而通過點(diǎn)光s指定缺陷k之后，通過缺陷位置登記坐標(biāo)開關(guān)55登記該缺陷k，此時(shí)，利用上位個(gè)人計(jì)算機(jī)51，根據(jù)來自驅(qū)動(dòng)脈沖發(fā)生器52的X軸方向的驅(qū)動(dòng)脈沖數(shù)和Y軸方向的驅(qū)動(dòng)脈沖數(shù)，計(jì)算出點(diǎn)光s重疊的缺陷k的坐標(biāo)Q(X，Y)。坐標(biāo)Q(X，Y)的計(jì)算是針對(duì)玻璃基板8表面上的每一缺陷k進(jìn)行的，并分別存儲(chǔ)在上位個(gè)人計(jì)算機(jī)51的存儲(chǔ)器中。
這樣，當(dāng)宏觀觀察結(jié)束時(shí)，電動(dòng)機(jī)M1反轉(zhuǎn)，擺動(dòng)保持架9返回到原來的水平狀態(tài)，導(dǎo)向桿40移動(dòng)到退避區(qū)域。
另外，在操作部54中，通過指定微觀觀察模式，擺動(dòng)保持架9自動(dòng)地恢復(fù)到水平狀態(tài)，并使導(dǎo)向桿40自動(dòng)地退避到退避區(qū)域。
在進(jìn)行微觀觀察時(shí)，由上位個(gè)人計(jì)算機(jī)51讀出宏觀觀察中檢測(cè)出的各缺陷部分的坐標(biāo)Q(X，Y)。根據(jù)該坐標(biāo)Q(X，Y)，微觀觀察單元5的支撐部17在各導(dǎo)軌15、16上沿Y軸方向移動(dòng)，與此同時(shí)，微觀觀察部18沿梁部17a的未圖示的導(dǎo)軌在X軸方向上移動(dòng)。由此，微觀觀察部18的物鏡21的觀察軸被配置在坐標(biāo)Q(X，Y)上。
此時(shí)，由于導(dǎo)向桿40退避到退避區(qū)域內(nèi)，所以，微觀觀察部18的物鏡21不會(huì)與導(dǎo)向桿40碰撞。另外，物鏡21隔著玻璃基板8和擺動(dòng)保持架9與透射線照明光源28對(duì)置，可觀察到該光源28透射照明的缺陷k。
檢查者通過窺視目鏡22，可以經(jīng)由物鏡21利用顯微鏡對(duì)玻璃基板8上的缺陷k進(jìn)行微觀觀察(高倍率觀察)。另外，TV攝像機(jī)25對(duì)通過物鏡21得到的玻璃基板8的缺陷k進(jìn)行拍攝。檢查者通過觀察TV監(jiān)視器30上所顯示的缺陷k的圖像，來進(jìn)行微觀觀察。
如上所述，在宏觀觀察中，本實(shí)施方式的坐標(biāo)檢測(cè)裝置3和被檢測(cè)體檢查裝置1，由于利用激光頭44的激光點(diǎn)光s直接照射玻璃基板8表面的缺陷k，所以，不會(huì)像現(xiàn)有坐標(biāo)檢測(cè)裝置那樣在由發(fā)光體等指示的坐標(biāo)位置與缺陷k的位置之間產(chǎn)生偏差，而是能夠高精度地檢測(cè)出缺陷k的坐標(biāo)Q(X，Y)。另外，通過將坐標(biāo)檢測(cè)裝置3與擺動(dòng)保持架9設(shè)置成一體，即使擺動(dòng)保持架9的傾斜角度發(fā)生變化，激光頭44的點(diǎn)光s的照射角度α相對(duì)玻璃基板8也始終固定，而且，由于從玻璃基板8的上方以很短的給定距離進(jìn)行照射，所以，不管玻璃基板8上的缺陷k的位置如何，都能夠容易且可靠地進(jìn)行檢查者對(duì)點(diǎn)光照射位置的目視確認(rèn)，可提高缺陷k的位置的檢測(cè)精度。
另外，玻璃基板8表面上的缺陷k的坐標(biāo)Q(X，Y)的確定是通過下述的簡(jiǎn)單的操作來得到的操作控制桿等操作部54，以使導(dǎo)向桿40沿X軸方向移動(dòng)、使激光頭44沿Y軸方向移動(dòng)，然后按下缺陷位置坐標(biāo)登記開關(guān)55。在微觀觀察時(shí)以及玻璃基板的搬出、搬入時(shí)，由于導(dǎo)向桿40退避到退避區(qū)域，所以，導(dǎo)向桿40不會(huì)與微觀觀察部18的物鏡21或搬出、搬入玻璃基板8的基板搬送機(jī)器人發(fā)生碰撞。
接下來，通過圖7說明本發(fā)明第二實(shí)施方式的被檢測(cè)體檢查裝置1的坐標(biāo)檢測(cè)裝置70，對(duì)于與上述實(shí)施方式相同或等同的部分、部件，使用相同的標(biāo)號(hào)，并省略其說明。
在圖7所示的坐標(biāo)檢測(cè)裝置70中，在第二帶42上，代替在第一實(shí)施方式中使用的激光頭44和保持部45，而安裝有反射鏡71(指示裝置)。此外，在導(dǎo)向桿40上的一個(gè)端部固定有激光頭72(點(diǎn)光源)。反射鏡71反射從激光頭72射出的激光，并且朝向玻璃基板8傾斜，然后，反射后的激光按照與上述實(shí)施方式相同的形式傾斜，以便相對(duì)玻璃基板8以傾斜角α且以給定距離到達(dá)玻璃基板8的缺陷k。
根據(jù)該第二實(shí)施方式，為了檢測(cè)缺陷k，由于只需移動(dòng)反射鏡71即可，因此，與移動(dòng)激光頭44和保持部45的第一實(shí)施方式相比較，可以減小第二帶42的驅(qū)動(dòng)力，作為電動(dòng)機(jī)M3，可以采用低輸出的小型電動(dòng)機(jī)。
此外，在該第二實(shí)施方式的情況下，也可以采用下述結(jié)構(gòu)在導(dǎo)向桿40的端部，與第一反射鏡71對(duì)置地配置第二反射鏡，并將激光頭72一體地設(shè)置在沿著第三導(dǎo)軌33的擺動(dòng)保持架9上，來自激光頭72的激光通過第二反射鏡與第一反射鏡71反射，并到達(dá)玻璃基板8的缺陷k。
另外，點(diǎn)光s并不限于圓形，也可以是十字形或環(huán)形。電動(dòng)機(jī)M1、M2、M3并不限于步進(jìn)電動(dòng)機(jī)，還可以采用伺服電動(dòng)機(jī)等適當(dāng)?shù)尿?qū)動(dòng)源。
此外，本發(fā)明雖然對(duì)例如液晶顯示器或有機(jī)電致發(fā)光(EL)顯示器等平板顯示器(FPD)中使用的玻璃基板等半導(dǎo)體玻璃基板的表面缺陷檢查時(shí)采用的被檢測(cè)體檢查裝置及包含在該裝置中的坐標(biāo)檢測(cè)裝置進(jìn)行了說明，但是，也可以用于其他適當(dāng)?shù)谋粰z測(cè)體的任意部位檢測(cè)用的坐標(biāo)檢測(cè)裝置或被檢測(cè)體檢查裝置。
另外，例如，在上述實(shí)施方式中，對(duì)設(shè)置有進(jìn)行微觀觀察的微觀觀察單元的一個(gè)例子進(jìn)行了說明，但是，也可以省略該微觀觀察單元，從而在具有擺動(dòng)保持架與宏觀照明部的宏觀檢查裝置中使用本發(fā)明的坐標(biāo)檢測(cè)裝置。
以上雖然參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但是，這些實(shí)施方式只不過是本發(fā)明的例示而已，很顯然本發(fā)明并不限于這些實(shí)施方式。因此，在不脫離本發(fā)明精神及范圍的范圍內(nèi)，可以進(jìn)行結(jié)構(gòu)要素的添加、省略、置換及其他變更。即，本發(fā)明并不限定于上述說明，僅由權(quán)利要求的范圍來限定。
權(quán)利要求
1.一種坐標(biāo)檢測(cè)裝置，其特征在于，包括用于保持被檢測(cè)體的保持架；可在所述被檢測(cè)體的表面上移動(dòng)的導(dǎo)向部件；指示裝置，其設(shè)置在該導(dǎo)向部件上，并可使照射在所述被檢測(cè)體上的點(diǎn)光沿著與所述導(dǎo)向部件的移動(dòng)方向交叉的方向移動(dòng)；操作部，用于移動(dòng)所述被檢測(cè)體上的所述點(diǎn)光的照射位置；以及坐標(biāo)檢測(cè)部，用于根據(jù)與所述被檢測(cè)體上的所述點(diǎn)光的所述照射位置有關(guān)的位置信息求出坐標(biāo)數(shù)據(jù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的坐標(biāo)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述指示裝置是可沿所述導(dǎo)向部件移動(dòng)的點(diǎn)光源。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的坐標(biāo)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述指示裝置是可沿所述導(dǎo)向部件移動(dòng)的反射部件，在該反射部件上設(shè)置有射出所述點(diǎn)光的點(diǎn)光源。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的坐標(biāo)檢測(cè)裝置，其特征在于，照射到所述被檢測(cè)體上的所述點(diǎn)光的光束相對(duì)所述被檢測(cè)體傾斜給定角度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的坐標(biāo)檢測(cè)裝置，其特征在于，在由所述被檢測(cè)體反射的點(diǎn)光的反射光路上設(shè)置有遮光部件。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的坐標(biāo)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述遮光部件配置成通過所述導(dǎo)向部件和所述遮光部件形成使檢查者能夠目視所述被檢測(cè)體上的缺陷的間隙。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的坐標(biāo)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述遮光部件設(shè)置成跟蹤所述指示裝置的點(diǎn)光。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的坐標(biāo)檢測(cè)裝置，其特征在于，還設(shè)置有改變所述保持架姿態(tài)的擺動(dòng)裝置和從所述保持架上方照射宏觀照明光的宏觀照明部，所述導(dǎo)向部件安裝成在所述保持架立起至給定角度的狀態(tài)下，所述導(dǎo)向部件的長(zhǎng)邊方向沿著與宏觀照明光的照射方向相同的方向。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的坐標(biāo)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述點(diǎn)光是激光。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的坐標(biāo)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述導(dǎo)向部件具有使檢查者能夠目視照射在所述被檢測(cè)體上的所述點(diǎn)光的間隙。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的坐標(biāo)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述操作部通過使所述導(dǎo)向部件與所述點(diǎn)光分別移動(dòng)，來指定所述被檢測(cè)體上的缺陷位置。
12.一種被檢測(cè)體檢查裝置，在以給定的傾斜角度保持被檢測(cè)體的狀態(tài)下，從上方照射宏觀照明光，目視觀察所述被檢測(cè)體上的缺陷，其特征在于，包括擺動(dòng)保持架，用于保持所述被檢測(cè)體，并可立起至所述給定的傾斜角度；導(dǎo)向部件，其設(shè)置在所述擺動(dòng)保持架上，并可在所述被檢測(cè)體的表面上移動(dòng)；指示裝置，其設(shè)置在所述導(dǎo)向部件上，并使照射到所述被檢測(cè)體上的點(diǎn)光沿著與所述導(dǎo)向部件的移動(dòng)方向交叉的方向移動(dòng)；操作部，其使所述導(dǎo)向部件和所述指示裝置分別移動(dòng)，并根據(jù)所述點(diǎn)光的照射位置指定所述被檢測(cè)體上的缺陷；以及坐標(biāo)檢測(cè)部，根據(jù)所述導(dǎo)向部件和所述點(diǎn)光的各位置的坐標(biāo)數(shù)據(jù)求出由所述指示裝置指定的缺陷位置的坐標(biāo)數(shù)據(jù)。
13.一種被檢測(cè)體檢查裝置，可對(duì)被檢測(cè)體的特定部位進(jìn)行微觀觀察，其特征在于，包括用于保持所述被檢測(cè)體的保持架；可在所述被檢測(cè)體的表面上移動(dòng)的導(dǎo)向部件；指示裝置，其設(shè)置在該導(dǎo)向部件上，并使照射到所述被檢測(cè)體上的點(diǎn)光沿著與所述導(dǎo)向部件的移動(dòng)方向交叉的方向移動(dòng)；操作部，用于移動(dòng)所述被檢測(cè)體上的所述點(diǎn)光的照射位置；坐標(biāo)檢測(cè)部，用于根據(jù)與所述被檢測(cè)體上的所述點(diǎn)光的所述照射位置有關(guān)的位置信息求出坐標(biāo)數(shù)據(jù)；以及微觀觀察部，通過向所述被檢測(cè)體的所述特定部位照射所述點(diǎn)光，來利用所述坐標(biāo)檢測(cè)部求出所述特定部位的坐標(biāo)數(shù)據(jù)，并使所述微觀觀察部相對(duì)移動(dòng)到該坐標(biāo)數(shù)據(jù)位置，以進(jìn)行顯微鏡觀察。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的被檢測(cè)體檢查裝置，其特征在于，所述保持架具有退避區(qū)域，該退避區(qū)域用于使所述導(dǎo)向部件退避，以防止其與所述微觀觀察部干涉。
全文摘要
本發(fā)明將點(diǎn)光直接照射在被檢測(cè)體上，穩(wěn)定地檢測(cè)出高精度的坐標(biāo)位置。在被檢測(cè)體檢查裝置的擺動(dòng)保持架(9)上承載玻璃基板(8)，并設(shè)置有可在該玻璃基板(8)的表面上沿X軸方向移動(dòng)的導(dǎo)向桿(40)。在導(dǎo)向桿(40)上設(shè)置有用于向玻璃基板(8)的缺陷照射點(diǎn)光的激光頭(44)，并使該激光頭(44)可通過第二帶(42)沿Y軸方向移動(dòng)。點(diǎn)光的光束以角度α照射。在進(jìn)行宏觀觀察時(shí)，通過操作部使導(dǎo)向桿(40)與激光頭(44)沿X軸和Y軸方向移動(dòng)，從而使玻璃基板(8)上的點(diǎn)光移動(dòng)到缺陷上。以此時(shí)各電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)量作為位置信息，通過坐標(biāo)檢測(cè)部求出坐標(biāo)數(shù)據(jù)。使具有顯微鏡功能的觀察部移動(dòng)到坐標(biāo)位置，以進(jìn)行缺陷的微觀觀察。
文檔編號(hào)G01B11/03GK1808055SQ20061000107
公開日2006年7月26日 申請(qǐng)日期2006年1月16日 優(yōu)先權(quán)日2005年1月18日
發(fā)明者加藤洋 申請(qǐng)人:奧林巴斯株式會(huì)社