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大型平板顯示器的檢測系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:6111933閱讀:236來源:國知局
專利名稱:大型平板顯示器的檢測系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種平板顯示器,其對安裝在平臺上的面板進行檢測,更具體地,本發(fā)明涉及一種大型平板顯示器的檢測系統(tǒng)。
背景技術(shù)
對于本領(lǐng)域技術(shù)已經(jīng)熟知,平板顯示器(FPD)是一種新型顯示器,已將其開發(fā)用來替代電視機或計算機的監(jiān)控器所用的陰極射線管(CRT)。FPD具有許多優(yōu)點,例如重量輕、外形結(jié)構(gòu)薄、屏幕質(zhì)量高、以及耗電率低,因此在工業(yè)上得到廣泛使用。
近年來,已經(jīng)生產(chǎn)出各種各樣的顯示器。例如液晶顯示器(LCD)或等離子顯示面板(PDP)。這些顯示器的制造過程包括對面板的外部和電子缺陷進行檢測的步驟。
傳統(tǒng)的平板顯示器檢測系統(tǒng)存在著平臺的穩(wěn)定性不夠,平臺移動時的精度和平穩(wěn)性達不到設(shè)計要求,而且被測部件不是全部放置在平臺上,在搬運過程中存在著損壞的可能。另外樣品在觀察測量中需要移動,由于移動不當(dāng),會出現(xiàn)劃傷的情況。目前的檢測系統(tǒng)還無法實現(xiàn)大尺寸顯微鏡高倍觀察和小尺寸測量。

發(fā)明內(nèi)容
因此,考慮到上述問題作出了本發(fā)明,本發(fā)明的目的在于提供一種大型平板顯示器的檢測系統(tǒng),以解決現(xiàn)有平板顯示器存在的不足之處。
本發(fā)明的目的可以通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)大型平板顯示器的檢測系統(tǒng),包括一機座,一固定在機座上并向上伸展出去的機頭,其中還包括一安裝在機座平臺上的移動臺,所述移動臺可以沿X-Y方向移動;一安裝在機頭上的顯微鏡檢測裝置,所述顯微鏡檢測裝置可以進行升降。
上述檢測系統(tǒng)還可以作如下改進在機座的底部安裝有萬向輪和定位調(diào)整輪,萬向輪可以使機座方便地移動,定位調(diào)整輪可以使移動到位的機座定位并以調(diào)整機座的水平位置。一般來說,定位調(diào)整輪采用旋鈕的方式安裝在機座的底部。
所述移動臺通過一能夠?qū)崿F(xiàn)X-Y方向移動的移動裝置安裝在機座平臺上。
所述移動裝置包括設(shè)置在機座平臺上的橫移導(dǎo)軌安裝在橫移導(dǎo)軌上的橫移滑塊安裝在橫移滑塊上的橫移平臺;安裝在機座平臺上并可驅(qū)動橫移平臺移動的橫移絲桿滾珠機構(gòu),其中橫移絲桿滾珠機構(gòu)中的滾珠套與橫移平臺的底面固定連接;設(shè)置在橫移平臺上的縱移導(dǎo)軌;安裝在縱移導(dǎo)軌上的縱移滑塊;移動臺安裝在縱移滑塊上安裝在移動臺上并可驅(qū)移動臺移動的縱移絲桿滾珠機構(gòu),其中縱移絲桿滾珠機構(gòu)中的滾珠套與移動臺的底面固定連接。
所述顯微鏡檢測裝置通過一能夠?qū)崿F(xiàn)上下升降的升降裝置安裝在機頭上。
所述升降裝置包括安裝在機頭上的升降導(dǎo)軌;安裝在升降導(dǎo)軌上的升降滑塊;安裝在升降滑塊上的升降座;安裝在機頭上并可驅(qū)動升降座上下升降的升降絲桿滾珠機構(gòu),其中升降絲桿滾珠機構(gòu)中的滾珠套與升降座固定連接;一鎖緊升降座進行定位的鎖緊裝置。
所述機座平臺采用花崗石制造而成,這樣可以提高穩(wěn)定性。
將需要檢測的大型平板顯示器全部安裝的放置在移動臺上,分別操縱橫移絲桿滾珠機構(gòu)和縱移絲桿滾珠機構(gòu),使移動臺作X軸和Y軸方向的移動,達到檢查的目的。由于采用了橫移絲桿滾珠機構(gòu)和縱移絲桿滾珠機構(gòu),提高了移動的精度和平穩(wěn)性。同時樣品在觀察測量的過程中本身不需要移動,因而減少了損壞和劃傷的可能性。顯微鏡測量裝置可以上下移動,實現(xiàn)了大尺寸下顯微鏡高倍觀察和小尺寸測量。當(dāng)顯微鏡測量裝置升降到位后,可以通過鎖緊鎖緊定位。本發(fā)明的顯微鏡測量裝置可部分使用全電動裝置并具有獨立的影象和測量系統(tǒng)。本發(fā)明比較適合大型液晶基板的檢測。
以下結(jié)合附圖對本發(fā)明詳細描述,以更清楚地理解本發(fā)明的上述和其它目的、特征、以及其它優(yōu)點。


圖1為本發(fā)明的一個實施例的大型平板顯示器檢測系統(tǒng)的主視圖。
圖2為本發(fā)明的一個實施例的大型平板顯示器檢測系統(tǒng)的俯視圖。
圖3為本發(fā)明的一個實施例的大型平板顯示器檢測系統(tǒng)的右視圖。
具體實施例方式
參看圖1和圖2,大型平板顯示器檢測系統(tǒng),包括機座1,機座1的機座平臺11采用花崗石制造而成,在機座1的底部安裝有萬向輪12和定位調(diào)整輪13,萬向輪12可以使機座1方便地移動,當(dāng)機座1移動到指定位置時,旋轉(zhuǎn)定位調(diào)整輪13就可以使移動到位機座1定位并以調(diào)整機座1的水平位置。這樣可以減少檢測過程中機座1的搖晃。當(dāng)然定位調(diào)整輪13還可以采用伸縮方式進行調(diào)整等。
在機座1的后側(cè)通過緊固件固定安裝有向上伸展出去的反L形的機頭2。
移動臺3通過一能夠?qū)崿F(xiàn)X-Y方向移動的移動裝置4安裝在機座平臺11上。移動裝置4包括固定安裝在機座平臺11上的兩條橫移導(dǎo)軌41,在兩條橫移導(dǎo)軌41上各安裝有兩塊橫移滑塊42橫移平臺43固定在四塊橫移滑塊42上。這樣橫移平臺43就可以在橫移導(dǎo)軌41上進行橫向移動。
為了驅(qū)動橫移平臺43橫向移動,在機座平臺11上安裝有可驅(qū)動橫移平臺43移動的橫移絲桿滾珠機構(gòu),橫移絲桿滾珠機構(gòu)包括一手搖輪441,一通過兩軸承座442支承在機座平臺11上的轉(zhuǎn)軸443,一通過兩軸承座444支承在機座平臺11上的絲桿445,一套在絲桿445上的滾珠套446,手搖輪441固定在轉(zhuǎn)軸443的外端上,在轉(zhuǎn)軸443的內(nèi)端鍵設(shè)并固定有一傘型齒輪447,在絲桿445的一端鍵設(shè)并固定有另一傘型齒輪448,傘型齒輪448與傘型齒輪447嚙合,滾珠套446與橫移平臺43的底面固定連接。
當(dāng)轉(zhuǎn)動手搖輪441,轉(zhuǎn)軸443旋轉(zhuǎn),通過傘型齒輪448與傘型齒輪447的嚙合,絲桿445隨之轉(zhuǎn)動,滾珠套446就可沿絲桿445來回移動,從來帶動橫移平臺43在橫移導(dǎo)軌41上移動。
在橫移平臺43上安裝有兩條縱移導(dǎo)軌45,在兩條橫移導(dǎo)軌41上各安裝有兩塊縱移滑塊46;移動臺3固定在四塊縱移滑塊42上。這樣;移動臺3就可以在縱移導(dǎo)軌45上進行縱向移動。
為了驅(qū)動移動臺3縱向移動,在橫移平臺43上安裝有可驅(qū)動移動臺3移動的縱移絲桿滾珠機構(gòu),縱移絲桿滾珠機構(gòu)包括一手搖輪471,一通過兩軸承座472支承在橫移平臺43上的絲桿473,一套在絲桿473上的滾珠套474,手搖輪471固定在絲桿473的外端上,滾珠套474與移動臺3固定連接。
當(dāng)轉(zhuǎn)動手搖輪471,絲桿473隨之轉(zhuǎn)動,滾珠套474就可沿絲桿473來回移動,從來帶動移動臺3在縱移導(dǎo)軌45上移動。
通過橫移絲桿滾珠機構(gòu)和縱移絲桿滾珠機構(gòu)的共同操縱,即可實現(xiàn)移動臺3的X軸和Y軸的移動。
本發(fā)明的橫移絲桿滾珠機構(gòu)和縱移絲桿滾珠機構(gòu)還可以用別的傳動機構(gòu)來替換,這對本領(lǐng)域的技術(shù)人員來水是很容易就能實現(xiàn)了的。
顯微鏡檢測裝置5部分使用全電動裝置并具有獨立的影象和測量系統(tǒng)。通過一能夠?qū)崿F(xiàn)上下升降的升降裝置安裝在機頭2上。顯微鏡檢測裝置5包括光源(未示出)和探測裝置(未示出),用于對安裝在移動臺3上的大型平板顯示器進行檢測,以及多個調(diào)準(zhǔn)裝置,用以調(diào)準(zhǔn)(對齊)安裝在移動臺3上的大型平板顯示器的位置。
升降裝置包括安裝在機頭2上的兩條升降導(dǎo)軌61,在兩條升降導(dǎo)軌61上各安裝有兩塊升降滑塊62,固定安裝在升降滑塊62上的升降座63;這樣;升降座63就可以在升降導(dǎo)軌61上進行升降。
為了驅(qū)動升降座63升降,在機頭2上安裝有可驅(qū)動升降座63升降的升降絲桿滾珠機構(gòu),升降絲桿滾珠機構(gòu)64的結(jié)構(gòu)基本上同橫移絲桿滾珠機構(gòu),在此不再作詳細描述,滾珠套642與移動臺3固定連接。
在機頭2上安裝有一鎖緊裝置7,轉(zhuǎn)動鎖緊裝置7就可以將升降座63鎖緊定位。
當(dāng)轉(zhuǎn)動手搖輪641,絲桿隨之轉(zhuǎn)動,滾珠套就可沿絲桿上下移動,從來帶動升降座63在升降導(dǎo)軌61上升降,顯微鏡檢測裝置5同時升降,升降到位后,轉(zhuǎn)動鎖緊裝置7就可以將升降座63鎖緊定位。實現(xiàn)了大尺寸下顯微鏡高倍觀察和小尺寸測量。
當(dāng)然,對于本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員,不花費創(chuàng)造性的勞動,在上述實施例的基礎(chǔ)上能夠作多種變化,同樣能夠?qū)崿F(xiàn)本發(fā)明的目的。但是,這種變化顯然應(yīng)該在本發(fā)明的權(quán)利要求書的保護范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.大型平板顯示器的檢測系統(tǒng),包括一機座,一固定在機座上并向上伸展出去的機頭,其中還包括一安裝在機座平臺上的移動臺,所述移動臺可以沿X-Y方向移動;一安裝在機頭上的顯微鏡檢測裝置,所述顯微鏡檢測裝置可以進行升降。
2.如權(quán)利要求1所述的大型平板顯示器的檢測系統(tǒng),其特征在于在所述機座的底部安裝有萬向輪。
3.如權(quán)利要求1或2所述的大型平板顯示器的檢測系統(tǒng),其特征在于在所述機座的底部安裝有定位調(diào)整輪。
4.如權(quán)利要求3所述的大型平板顯示器的檢測系統(tǒng),其特征在于所述定位調(diào)整輪采用旋鈕的方式安裝在機座的底部。
5.如權(quán)利要求1所述的大型平板顯示器的檢測系統(tǒng),其特征在于所述移動臺通過一能夠?qū)崿F(xiàn)X-Y方向移動的移動裝置安裝在機座平臺上。
6.如權(quán)利要求5所述的大型平板顯示器的檢測系統(tǒng),其特征在于所述移動裝置包括設(shè)置在機座平臺上的橫移導(dǎo)軌;安裝在橫移導(dǎo)軌上的橫移滑塊;安裝在橫移滑塊上的橫移平臺;安裝在機座平臺上并可驅(qū)動橫移平臺移動的橫移絲桿滾珠機構(gòu),其中橫移絲桿滾珠機構(gòu)中的滾珠套與橫移平臺的底面固定連接;設(shè)置在橫移平臺上的縱移導(dǎo)軌;安裝在縱移導(dǎo)軌上的縱移滑塊;移動臺安裝在縱移滑塊上;安裝在移動臺上并可驅(qū)移動臺移動的縱移絲桿滾珠機構(gòu),其中縱移絲桿滾珠機構(gòu)中的滾珠套與移動臺的底面固定連接。
7.如權(quán)利要求1所述的大型平板顯示器的檢測系統(tǒng),其特征在于所述顯微鏡檢測裝置通過一能夠?qū)崿F(xiàn)上下升降的升降裝置安裝在機頭上。
8.如權(quán)利要求7所述的大型平板顯示器的檢測系統(tǒng),其特征在于所述升降裝置包括安裝在機頭上的升降導(dǎo)軌;安裝在升降導(dǎo)軌上的升降滑塊;安裝在升降滑塊上的升降座;安裝在機頭上并可驅(qū)動升降座上下升降的升降絲桿滾珠機構(gòu),其中升降絲桿滾珠機構(gòu)中的滾珠套與升降座固定連接;一鎖緊升降座進行定位的鎖緊裝置。
9.如權(quán)利要求1所述的大型平板顯示器的檢測系統(tǒng),其特征在于所述機座平臺采用花崗石制造而成。
全文摘要
大型平板顯示器的檢測系統(tǒng),包括機座,固定在機座上并向上伸展出去的機頭,還包括安裝在機座平臺上的移動臺,所述移動臺可以沿X-Y方向移動;安裝在機頭上的顯微鏡檢測裝置,所述顯微鏡檢測裝置可以進行升降。將需要檢測的大型平板顯示器全部安裝的放置在移動臺上,移動臺通過橫移絲桿滾珠機構(gòu)和縱移絲桿滾珠機構(gòu)實現(xiàn)X-Y方向移動。達到檢查的目的。本發(fā)明提高了移動的精度和平穩(wěn)性。同時樣品在觀察測量的過程中本身不需要移動,因而減少了損壞和劃傷的可能性。顯微鏡測量裝置可以上下移動,實現(xiàn)了大尺寸下顯微鏡高倍觀察和小尺寸測量。本發(fā)明的顯微鏡測量裝置可部分使用全電動裝置并具有獨立的影象和測量系統(tǒng)。本發(fā)明比較適合大型液晶基板的檢測。
文檔編號G01M99/00GK1995986SQ20061002312
公開日2007年7月11日 申請日期2006年1月5日 優(yōu)先權(quán)日2006年1月5日
發(fā)明者金剛 申請人:元中光學(xué)儀器國際貿(mào)易(上海)有限公司
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