專利名稱：一種基于自身特征參照的圓柱度儀基準(zhǔn)間誤差分離方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于精密儀器測量技術(shù)領(lǐng)域。特別是一種具有自身參照和自校準(zhǔn)特征的組合式圓柱度測量儀基準(zhǔn)間誤差分離方法。
背景技術(shù)：
圓柱度測量儀基準(zhǔn)間誤差是儀器基準(zhǔn)誤差中的主要部分，對儀器的測量精度影響最大，而且難以發(fā)現(xiàn)和清除。由于受工藝水平的限制，目前圓柱度測量儀導(dǎo)軌軸線與回轉(zhuǎn)軸線之間的平行度誤差僅能達(dá)到0.15μm/100mm左右的裝配精度，因此若要進(jìn)一步改善圓柱度測量儀的測量精度，僅靠提高基準(zhǔn)系統(tǒng)的制造精度是遠(yuǎn)不夠的。
在超精密測量時，被測工件的形狀誤差(錐度)與導(dǎo)軌相對主軸回轉(zhuǎn)軸線的傾斜量(平行度誤差)處于同一數(shù)量級，二者混迭在一起，無法區(qū)分。現(xiàn)有國內(nèi)外測量儀器對該項誤差的處理方法只能是調(diào)整，但這存在兩個問題，一是調(diào)整后的殘余量仍為0.1μm～0.3μm/100mm；二是調(diào)整后，直線基準(zhǔn)的位置不能保持，會在較長時間里漂移。
圍繞著圓柱度儀的基準(zhǔn)間誤差分離這一核心問題，近年來國內(nèi)的一些學(xué)者也提出了很多有價值的分離方法，如“反向法”基準(zhǔn)間誤差分離技術(shù)分離方法比較簡單，但存在著傳感器二次安裝帶來的前、后測量截面不重合誤差，使其降低了誤差分離精度。
針對這一問題，中國專利(申請公開號CN1645033)公開了“一種可分離圓柱度儀基準(zhǔn)誤差的圓柱度測量方法及裝置”，提出雙傳感器和轉(zhuǎn)位測量組合的基準(zhǔn)間誤差分離技術(shù)，能夠較好的分離出導(dǎo)軌與主軸回轉(zhuǎn)軸線的平行度誤差，但對于超精密測量來講，仍存在兩個不容忽視的問題，一是采用雙傳感器不可避免的帶來兩個傳感器特性不一致的問題；二是兩個傳感器對徑安裝時很難保證兩個測頭在同一測量輪廓上，導(dǎo)致測量線不重合，降低測量精度。
目前，在超精密測量技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)一直處于世界領(lǐng)先地位的英國Taylor Hobson公司，提出采用“雙傳感器”法來消除導(dǎo)軌軸線相對主軸回轉(zhuǎn)軸線的基準(zhǔn)間誤差，但也同樣存在兩個傳感器測量線不重合問題。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服已有基準(zhǔn)間誤差分離方法與技術(shù)存在的局限與不足，本發(fā)明提出一種具有自身參照和自校準(zhǔn)特征的組合式圓柱度測量儀基準(zhǔn)間誤差分離方法，可完全分離出導(dǎo)軌相對主軸回轉(zhuǎn)軸線的平行度誤差和被測工件的形狀誤差。
本發(fā)明的技術(shù)解決方案是一種具有自身參照和自校準(zhǔn)特征的組合式圓柱度儀基準(zhǔn)間誤差分離方法，包括以下步驟①被測工件正向放置，選定被測工件N個測量截面，N為自然數(shù)，傳感器(1)沿Z向進(jìn)行逐截面整周測量，信號中含導(dǎo)軌傾斜分量，依次得到N個測量截面圓輪廓綜合誤差值{V1j、V2j…Vij…VNj}；②被測工件倒向放置，傳感器(1)沿導(dǎo)軌移動，分別在與步驟①中各截面嚴(yán)格對應(yīng)的截面上測量圓輪廓，信號中含導(dǎo)軌傾斜分量，得到N個測量截面圓輪廓綜合誤差值{V′1j、V′2j…V′ij…V′Nj}；③利用和差法對{V1j、V2j…Vij…VNj}和{V′1j、V′2j…V′ij…V′Nj}進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，分別得到導(dǎo)軌在不同 區(qū)間段內(nèi)相對主軸回轉(zhuǎn)軸線的傾斜量{ΔS1、ΔS2…ΔSi…ΔSN-1}和工件上下兩截面半徑差{ΔR1、ΔR2…ΔRi…ΔRN-1}，并有如下關(guān)系式ΔSi=12[(1MΣj=1MV(i+1)j-1MΣj=1MVij)+(1MΣj=1MV′(i+1)j-1MΣj=1MV′ij)]ΔRi=12[(1MΣj=1MV(i+1)j-1MΣj=1MVij)-(1MΣj=1MV′(i+1)j-1MΣj=1MV′ij)]]]>H為被測工件測量高度；④根據(jù){ΔS1、ΔS2…ΔSi…ΔSN-1}求出導(dǎo)軌在H范圍內(nèi)相對主軸回轉(zhuǎn)軸線的傾斜量，即平行度誤差，根據(jù){ΔR1、ΔR2…ΔRi…ΔRN-1}計算出被測工件的形狀誤差。
本發(fā)明具有以下特點(diǎn)及良好效果基于自身參照原理的誤差分離技術(shù)基本思想是利用被測中介物指定截面輪廓與相對尺寸基準(zhǔn)位置的不變性(一個測量過程中)，以及在一個測量過程(兩個測回)中自身形狀特征比較的客觀性，實現(xiàn)基準(zhǔn)間誤差的完全分離，這是區(qū)別現(xiàn)有技術(shù)的創(chuàng)新點(diǎn)之一；基于自身參照原理的誤差分離技術(shù)具有自身校準(zhǔn)的特點(diǎn)，不需要上一級實物標(biāo)準(zhǔn)器校準(zhǔn)，這是區(qū)別現(xiàn)有技術(shù)的創(chuàng)新點(diǎn)之二；本發(fā)明在誤差分離過程中，工件僅需正向放置與倒向放置兩個測回，經(jīng)過簡單的數(shù)據(jù)處理，便可將被測件的形狀誤差與導(dǎo)軌相對主軸回轉(zhuǎn)軸線的傾斜量分離開，可完全去除傾斜量對圓柱形狀測量的影響，滿足提高超精密級和基標(biāo)準(zhǔn)級圓柱度測量精度的需要，這是區(qū)別現(xiàn)有技術(shù)的創(chuàng)新點(diǎn)之三；本發(fā)明采用單傳感器測量，克服了雙傳感器測量輪廓不重合的不足，并且通過多截面測量，極大的提高了基準(zhǔn)間誤差測量的重復(fù)性，這是區(qū)別現(xiàn)有技術(shù)的創(chuàng)新點(diǎn)之四；應(yīng)用自身參照法誤差分離技術(shù)，使圓柱形狀測量用空間運(yùn)動基準(zhǔn)精度水平較一般精密空間運(yùn)動基準(zhǔn)提高一個數(shù)量級以上。
下面結(jié)合實施例及附圖詳細(xì)說明本發(fā)明提供的方法。


圖1(a)為自身參照法誤差分離技術(shù)原理圖(被測工件正向放置)圖1(b)為自身參照法誤差分離技術(shù)原理圖(被測工件倒向放置)圖2為本發(fā)明實施例中所使用裝置的結(jié)構(gòu)示意3為本發(fā)明實施例標(biāo)準(zhǔn)圓柱正向放置示意4為本發(fā)明實施例標(biāo)準(zhǔn)圓柱倒向放置示意中1傳感器、2被測件、3回轉(zhuǎn)工作臺、4基座、5導(dǎo)軌滑套、6立式導(dǎo)軌、7儀器主軸、8軸套、9導(dǎo)電滑環(huán)、10電機(jī)驅(qū)動系統(tǒng)、11編碼器、H為被測工件測量高度、h為傳感器測頭距工件上、下端面距離。
具體實施例方式
以工作臺回轉(zhuǎn)式的圓柱度測量儀為例，來說明分離主軸回轉(zhuǎn)軸線與導(dǎo)軌間的平行度誤差和工件自身形狀誤差的方法與過程。參見圖2，為本發(fā)明所使用裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，包括傳感器1、回轉(zhuǎn)軸系A(chǔ)和工作臺3、基座4、導(dǎo)軌滑套5和立式導(dǎo)軌6組成的立式導(dǎo)軌系統(tǒng)、導(dǎo)電滑環(huán)9、電機(jī)驅(qū)動系統(tǒng)10、編碼器11。被測件2安裝在回轉(zhuǎn)工作臺3上，被測件2可在回轉(zhuǎn)工作臺3上回轉(zhuǎn)，回轉(zhuǎn)工作臺3安裝在儀器基座4上且和儀器主軸7相連接，儀器主軸7與軸套8構(gòu)成了氣浮回轉(zhuǎn)軸系，回轉(zhuǎn)工作臺3與儀器主軸7同軸；傳感器1安裝在導(dǎo)軌滑套5和立式導(dǎo)軌6構(gòu)成的立式導(dǎo)軌系統(tǒng)上；測量前，先對被測件2和回轉(zhuǎn)工作臺3調(diào)心、調(diào)平行，使它們的回轉(zhuǎn)軸線和儀器主軸7同軸。在本實施例中，被測件2為標(biāo)準(zhǔn)圓柱。
本發(fā)明提供的自身參照法誤差分離技術(shù)的一個測量過程中包括兩個測回，即正向位置與倒向位置。
實施例1選兩測量截面。
選75×300的標(biāo)準(zhǔn)圓柱，取測量截面數(shù)N＝2，一周采樣點(diǎn)數(shù)M＝1024，取測量高度H＝250mm，傳感器測頭分別距離上、下端面h＝25mm。
在第一測回，試件即標(biāo)準(zhǔn)圓柱2正向放置，參見圖3、圖1(a)。傳感器1沿導(dǎo)軌移動，分別測量上、下兩截面的圓輪廓，得測量截面圓輪廓綜合誤差值，有測量序列{V1j}和{V2j}(j＝1、2…j…M)并有如下關(guān)系式V1j＝S1+R1j+E1·cos(θj-α1) (1)V2j＝S2+R2j+E2·cos(θj-α2) (2)其中S1和S2分別為導(dǎo)軌在上、下兩測量截面的傾斜量；R1j和R2j分別為試件上、下兩測量截面上輪廓到回轉(zhuǎn)軸線的極徑；E1和E2分別為試件上、下兩截面相對回轉(zhuǎn)軸線的偏心量；α1和α2分別為試件上、下兩截面圓輪廓理想軸線相對回轉(zhuǎn)軸線的偏心角；θj為采樣角。
對以上二式作均值處理，有
1MΣj=1MV1j=S1+1MΣj=1MR1j+E1·1MΣj=1Mcos(θj-α1)---(3)]]>1MΣj=1MV2j=S2+1MΣj=1MR2j+E2·1MΣj=1Mcos(θj-α2)---(4)]]>考慮到如下關(guān)系式R1=1MΣj=1MR1jR2=1MΣj=1MR2jΣj=1Mcos(θj-α1)=0Σj=1Mcos(θj-α2)=0---(5)]]>有1MΣj=1MV1j=S1+R1---(6)]]>1MΣj=1MV2j=S2+R2---(7)]]>在第二測回，標(biāo)準(zhǔn)圓柱倒向放置，參見圖4、圖1(b)，傳感器1沿導(dǎo)軌移動，分別在原上、下兩截面上測量圓輪廓，信號中仍含導(dǎo)軌傾斜分量，得測量截面圓輪廓綜合誤差值，有測量序列{V′1j}和{V′2j}，并有如下關(guān)系式V′1j＝S′1+R′1j+E′1·cos(θj-α′1)(8)V′2j＝S′2+R′2j+E′2·cos(θj-α′2)(9)其中S′1和S′2分別為試件倒置后導(dǎo)軌在上、下兩測量截面的傾斜量；R′1j和R′2j分別為試件倒置后上、下兩測量截面上輪廓到回轉(zhuǎn)軸線的極徑；E′1和E′2分別為試件倒置后上、下兩截面相對回轉(zhuǎn)軸線的偏心量；α′1和α′2分別為試件倒置后上、下兩截面圓輪廓理想軸線相對回轉(zhuǎn)軸線的偏心角。
同理，有1MΣj=1MV′1j=S′1+R′1---(10)]]>1MΣj=1MV′2j=S′2+R′2---(11)]]>分別令式(7)-(6)、(11)-(10)有1MΣj=1MV2j-1MΣj=1MV1j=(S2-S1)+(R2-R1)---(12)]]>1MΣj=1MV′2j-1MΣj=1MV′1j=(S′2-S′1)+(R′2-R′1)---(13)]]>這里記ΔS=S2-S1ΔR=R2-R1ΔS′=S′2-S′1ΔR′=R′2-R′1---(14)]]>則有1MΣj=1MV2j-1MΣj=1MV1j=ΔS+ΔR---(15)]]>1MΣj=1MV′2j-1MΣj=1MV′1j=ΔS′+ΔR′---(16)]]>由于存在關(guān)系ΔS=ΔS′ΔR=-ΔR′---(17)]]>則式(16)可寫為1MΣj=1MV′2j-1MΣj=1MV′1j=ΔS-ΔR---(18)]]>
經(jīng)推導(dǎo)與處理有ΔS=12[(1MΣj=1MV2j-1MΣj=1MV1j)+(1MΣj=1MV′2j-1MΣj=1MV′1j)]ΔR=12[(1MΣj=1MV2j-1MΣj=1MV1j)-(1MΣj=1MV′2j-1MΣj=1MV′1j)]---(19)]]>其中，ΔS為導(dǎo)軌在H范圍內(nèi)相對主軸回轉(zhuǎn)軸線的傾斜量，可作為導(dǎo)軌相對主軸回轉(zhuǎn)軸線的平行度誤差；ΔR為標(biāo)準(zhǔn)圓柱上、下兩截面的半徑差。由于M＝1024，故有ΔS=12[(11024Σj=11024V2j-11024Σj=11024V1j)+(11024Σj=11024V′2j-11024Σj=11024V′1j)]ΔR=12[(11024Σj=11024V2j-11024Σj=11024V1j)-(11024Σj=11024V′2j-11024Σj=11024V′1j)]---(20)]]>兩截面測量方法比較簡單，但由于測量截面較少，則只能粗略的描繪標(biāo)準(zhǔn)圓柱的形狀誤差，并且也無法準(zhǔn)確的反映出導(dǎo)軌的直線度誤差。
實施例2取多測量截面。
選75×300的標(biāo)準(zhǔn)圓柱，取測量截面數(shù)N＝30，一周采樣點(diǎn)數(shù)M＝1024，取測量高度H＝250mm，傳感器測頭分別距離上、下端面h＝25mm。
其步驟如下在第一測回，標(biāo)準(zhǔn)圓柱正向放置。參見圖3，傳感器1沿導(dǎo)軌移動，逐截面測量標(biāo)準(zhǔn)圓柱在1、2…i…N高度處的截面圓輪廓，則得測量截面圓輪廓綜合誤差值，有正向測量序列{Vij}(i＝1、2…i…N，j＝1、2…j…M)，并有如下關(guān)系式V1j=S1+R1j+E1·cos(θj-α1)MVij=Si+Rij+Ei·cos(θj-αi)V(i+1)j=Si+1+R(i+1)j+Ei+1·cos(θj-αi+1)MVNj=SN+RNj+EN·cos(θj-αN)---(21)]]>
其中Si為導(dǎo)軌在第i個測量截面的傾斜量；Rij為試件第i個測量截面上輪廓到回轉(zhuǎn)軸線的極徑；Ei為試件第i個截面相對回轉(zhuǎn)軸線的偏心量；αi為試件第i個截面圓輪廓理想軸線相對回轉(zhuǎn)軸線的偏心角；θj為采樣角。
對第i和第i+1兩個截面的關(guān)系式進(jìn)行均值處理，有1MΣj=1MVij=Si+1MΣj=1MRij+Ei·1MΣj=1Mcos(θj-αi)---(22)]]>1MΣj=1MV(i+1)j=Si+1+1MΣj=1MR(i+1)j+Ei+1·1MΣj=1Mcos(θj-αi+1)---(23)]]>考慮到如下關(guān)系式Ri=1MΣj=1MRijRi+1=1MΣj=1MR(i+1)jΣj=1Mcos(θj-αi)=0Σj=1Mcos(θj-αi+1)=0---(24)]]>有1MΣj=1MVij=Si+Ri---(25)]]>1MΣj=1MV(i+1)j=Si+1+Ri+1---(26)]]>在第二測回，標(biāo)準(zhǔn)圓柱倒向放置，參見圖4。傳感器1沿導(dǎo)軌移動，分別在原第1、2…i…N高度處的截面上測量圓輪廓，信號中仍含導(dǎo)軌傾斜分量，得測量截面圓輪廓綜合誤差值，有測量序列{V′ij}，并有如下關(guān)系式
V′1j=S′1+R′1j+E′1·cos(θj-α′1)MV′ij=S′i+R′ij+E′i·cos(θj-α′i)V′(i+1)j=S′i+1+R′(i+1)j+E′i+1·cos(θj-α′i+1)MV′Nj=S′N+R′Nj+E′N·cos(θj-α′N)---(27)]]>其中S′i為標(biāo)準(zhǔn)圓柱倒置后導(dǎo)軌在第i個測量截面的傾斜量；R′ij為標(biāo)準(zhǔn)圓柱倒置后第i個測量截面上輪廓到回轉(zhuǎn)軸線的極徑；E′i為試件標(biāo)準(zhǔn)圓柱倒置后第i個截面相對回轉(zhuǎn)軸線的偏心量；α′i為標(biāo)準(zhǔn)圓柱倒置后第i個截面圓輪廓理想軸線相對回轉(zhuǎn)軸線的偏心角；θj為采樣角。
對第i和第i+1兩個截面的關(guān)系式進(jìn)行均值處理，有1MΣj=1MV′ij=S′i+1MΣj=1MR′ij+E′i·1MΣj=1Mcos(θj-α′i)---(28)]]>1MΣj=1MV′(i+1)j=S′i+1+1MΣj=1MR′(i+1)j+Ei+1·1MΣj=1Mcos(θj-α′i+1)---(29)]]>考慮到如下關(guān)系式R′i=1MΣj=1MR′ijR′i+1=1MΣj=1MR′(i+1)jΣj=1Mcos(θj-α′i)=0Σj=1Mcos(θj-α′i+1)=0---(30)]]>有1MΣj=1MV′ij=S′i+R′i---(31)]]>1MΣj=1MV′(i+1)j=S′i+1+R′i+1---(32)]]>
分別令式(26)-(25)、(32)-(31)有1MΣj=1MV(i+1)j-1MΣj=1MVij=(Si+1-Si)+(Ri+1-Ri)---(33)]]>1MΣj=1MV′(i+1)j-1MΣj=1MV′ij=(S′i+1-S′i)+(R′i+1-R′i)---(34)]]>這里記ΔSi=Si+1-SiΔRi=Ri+1-RiΔSi′=S′i+1-S′iΔRi′=R′i+1-R′i---(35)]]>則有1MΣj=1MV(i+1)j-1MΣj=1MVij=ΔSi+ΔRi---(36)]]>1MΣj=1MV′(i+1)j-1MΣj=1MV′ij=ΔSi′+ΔRi′---(37)]]>由于存在關(guān)系ΔSi=ΔSi′ΔRi=-ΔRi′---(38)]]>則式(37)可寫為1MΣj=1MV′(i+1)j-1MΣj=1MV′ij=ΔSi-ΔRi---(39)]]>經(jīng)推導(dǎo)與處理有ΔSi=12[(1MΣj=1MV(i+1)j-1MΣj=1MVij)+(1MΣj=1MV′(i+1)j-1MΣj=1MV′ij)]ΔRi=12[(1MΣj=1MV(i+1)j-1MΣj=1MVij)-(1MΣj=1MV′(i+1)j-1MΣj=1MV′ij)]---(40)]]>
這里，i＝1、2L iL N-1由于取測量截面數(shù)N＝30，故可以分別求出在每個小區(qū)間段HN-1=25029]]>內(nèi)導(dǎo)軌相對主軸回轉(zhuǎn)軸線的傾斜量(平行度誤差)ΔSiΔSi=12[(11024Σj=11024V(i+1)j-11024Σj=11024Vij)+(11024Σj=11024V′(i+1)j-11024Σj=11024V′ij)]---(41)]]>和被測工件的形狀誤差ΔRiΔRi=12[(11024Σj=11024V(i+1)j-11024Σj=11024Vij)-(11024Σj=11024V′(i+1)j-11024Σj=11024V′ij)---(42)]]>因此，將{ΔS1、ΔS2…ΔSi…ΔS29}代入圓柱度測量程序，可求出導(dǎo)軌在整個H范圍內(nèi)相對主軸回轉(zhuǎn)軸線的傾斜量，并且由于采用多截面測量，也可計算出導(dǎo)軌的直線度誤差。根據(jù){ΔR1、ΔR2…ΔRi…ΔR29}可計算出標(biāo)準(zhǔn)圓柱的形狀誤差。
因此采用上述發(fā)明，可以有效地分離出導(dǎo)軌相對主軸回轉(zhuǎn)軸線的傾斜量和被測工件的形狀誤差，降低超精密圓柱度儀的測量不確定度，顯著提高圓柱度測量的檢測精度。
以上結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實施方式
做了說明，但這些說明不能被理解為限制了本發(fā)明的范圍，本發(fā)明的保護(hù)范圍由隨附的權(quán)利要求書限定，任何在本發(fā)明權(quán)利要求基礎(chǔ)上進(jìn)行的改動都是本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種具有自身參照和自校準(zhǔn)特征的組合式圓柱度測量儀基準(zhǔn)間誤差分離方法，其特征在于該方法包括以下步驟①被測工件正向放置，選定被測工件N個測量截面，N為自然數(shù)，傳感器(1)沿Z向進(jìn)行逐截面整周測量，信號中含導(dǎo)軌傾斜分量，依次得到N個測量截面圓輪廓綜合誤差值{V1j、V2j…Vij…VNj}；②被測工件倒向放置，傳感器(1)沿導(dǎo)軌移動，分別在與步驟①中各截面高度嚴(yán)格對應(yīng)的截面上測量圓輪廓，信號中含導(dǎo)軌傾斜分量，得到N個測量截面圓輪廓綜合誤差值{V′1j、V′2j…V′ij…V′Nj}；③利用和差法對{V1j、V2j…Vij…VNj}和{V′1j、V′2j…V′ij…V′Nj}進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，分別得到導(dǎo)軌在不同 區(qū)間段內(nèi)相對主軸回轉(zhuǎn)軸線的傾斜量{ΔS1、ΔS2…ΔSi…ΔSN-1}和工件上下兩截面半徑差{ΔR1、ΔR2…ΔRi…ΔRN-1}，并有如下關(guān)系式ΔSi=12[(1MΣj=1MV(i+1)j-1MΣj=1MVij)+(1MΣj=1MV(i+1)j′-1MΣj=1MVij′)]ΔRi=12[(1MΣj=1MV(i+1)j-1MΣj=1MVij)-(1MΣj=1MV(i+1)j′-1MΣj=1MVij′)]]>H為被測工件測量高度；④根據(jù){ΔS1、ΔS2…ΔSi…ΔSN-1}求出導(dǎo)軌在H范圍內(nèi)相對主軸回轉(zhuǎn)軸線的傾斜量，即平行度誤差，根據(jù){ΔR1、ΔR2…ΔRi…ΔRN-1}計算出被測工件的形狀誤差。
全文摘要
本發(fā)明屬于精密儀器測量技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種具有自身參照和自校準(zhǔn)特征的圓柱度測量儀組合式基準(zhǔn)間誤差分離方法。本發(fā)明的方法采用單傳感器測量，通過對被測工件進(jìn)行正向放置與倒向放置兩個測回，經(jīng)過簡單的數(shù)據(jù)處理，便可分離出被測工件自身的形狀誤差與導(dǎo)軌相對主軸回轉(zhuǎn)軸線的傾斜量，可完全去除傾斜量對圓柱形狀超精密測量的影響，使圓柱形狀測量用空間運(yùn)動基準(zhǔn)精度水平較一般精密空間運(yùn)動基準(zhǔn)提高一個數(shù)量級以上。
文檔編號G01B21/20GK1811332SQ20061005695
公開日2006年8月2日 申請日期2006年3月8日 優(yōu)先權(quán)日2006年3月8日
發(fā)明者譚久彬, 黃景志, 薛梓, 楊文國, 金國良, 王雷, 趙維謙 申請人:哈爾濱工業(yè)大學(xué)