專利名稱：外觀檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及外觀檢查裝置。此種外觀檢查裝置例如通過(guò)對(duì)被檢查體照射照明光、并利用肉眼觀察其圖像，檢測(cè)例如半導(dǎo)體晶片基板、液晶玻璃基板等中的表面的膜厚不均、污垢、圖案的瑕疵/散焦等能夠宏觀檢測(cè)出的缺陷。
本申請(qǐng)基于2005年4月21日提出的日本特愿2005-123944號(hào)而主張優(yōu)先權(quán)，此處引用其內(nèi)容。
背景技術(shù)：
以往，例如，在半導(dǎo)體晶片基板、液晶玻璃基板等的外觀檢查裝置中已知有如下的所謂的宏觀檢查裝置，其對(duì)被檢查體整體進(jìn)行照明，根據(jù)基于其反射光的圖像的錯(cuò)亂，例如由于瑕疵或塵埃等引起的光的散射等，檢測(cè)有無(wú)缺陷、缺陷的大致位置、缺陷的種類等。而且，作為外觀檢查裝置，已知有如下的所謂的微觀檢查裝置，其基于來(lái)自宏觀檢查裝置等的缺陷位置信息，為了檢測(cè)配線圖案的不良等局部缺陷而取得被檢查體表面的放大圖像，進(jìn)行缺陷檢查。
在自動(dòng)進(jìn)行缺陷檢測(cè)的自動(dòng)宏觀檢查裝置中，為了獲得由微小的布線圖案引起的衍射光的圖像，可通過(guò)移動(dòng)機(jī)構(gòu)使照明單元和攝像單元高精度地進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)。因此，在檢查前，預(yù)先存儲(chǔ)針對(duì)各被檢查體匯總了照明單元的照明條件和攝像單元的攝像位置等的檢查條件設(shè)定值的數(shù)據(jù)文件(所謂的處方)，進(jìn)行檢查條件的設(shè)定，根據(jù)該設(shè)定條件，按照如下步驟進(jìn)行自動(dòng)檢查，即，自動(dòng)驅(qū)動(dòng)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，利用攝像單元獲得圖像，對(duì)該圖像進(jìn)行圖像處理，檢測(cè)缺陷。
例如，日本再公表專利WO 01/071323號(hào)公報(bào)(第10～14頁(yè)、圖1～3)中記載了如下的缺陷檢測(cè)裝置，其由保持被檢查體的保持部、以預(yù)定角度拍攝被檢查體的攝像部以及進(jìn)行它們的控制和數(shù)據(jù)處理的主計(jì)算機(jī)構(gòu)成，根據(jù)圖表或計(jì)算自動(dòng)求出認(rèn)為最適合于攝像的條件，存儲(chǔ)到主計(jì)算機(jī)中。
并且，在主要以手動(dòng)進(jìn)行的目視宏觀檢查裝置中，由于照明的照射方式不同，缺陷的能見(jiàn)度變化大，難以高精度地預(yù)測(cè)容易檢測(cè)出缺陷的條件，所以將被檢查體保持在可三維地?fù)u動(dòng)移動(dòng)的搖動(dòng)單元上，能夠自由地改變照明的照射方式。
能看到缺陷的容易度例如也因檢查者的視力和熟練度等而不同，所以如日本特開(kāi)平9-186209號(hào)公報(bào)所記載，目視宏觀檢查一般是由各檢查者根據(jù)各自的經(jīng)驗(yàn)手動(dòng)操作搖動(dòng)單元來(lái)進(jìn)行的。
但是，上述的現(xiàn)有的外觀檢查裝置存在如下問(wèn)題。
現(xiàn)有的宏觀檢查裝置是手動(dòng)操作搖動(dòng)單元，或由各檢查者設(shè)定照明光的檢查設(shè)定條件。因此，存在作業(yè)工時(shí)增大的問(wèn)題。并且，檢查設(shè)定條件的設(shè)定方法取決于各檢查者的熟練度和個(gè)人的技能。因此，具有因檢查者的不同而容易出現(xiàn)看漏掉缺陷、或檢測(cè)耗時(shí)等問(wèn)題。
并且，在被檢查體的種類或制造工序涉及多種時(shí)，需要根據(jù)各種類或制造工序改變檢查設(shè)定條件。因此，若想要按照各種類或制造工序設(shè)定最佳的檢查設(shè)定條件，則在檢查設(shè)定條件的設(shè)定工序上耗費(fèi)相當(dāng)多的時(shí)間，所以存在檢查效率下降的問(wèn)題。
另一方面，雖然也可以考慮像上述再公表專利WO 01/071323號(hào)公報(bào)所記載的自動(dòng)宏觀檢查裝置那樣，存儲(chǔ)檢查設(shè)定條件(處方)，進(jìn)行自動(dòng)檢查，但是在目視宏觀檢查的情況下，難以理論地推測(cè)容易看出缺陷的檢查設(shè)定條件。因此，存在難以預(yù)先設(shè)定適當(dāng)?shù)臋z查設(shè)定條件的問(wèn)題。
相對(duì)于此，也可以考慮設(shè)定成使照明條件和搖動(dòng)條件具有某種程度的寬度，使檢查條件可在該寬度之內(nèi)自動(dòng)變化。該情況下，由于在某種程度的寬度內(nèi)決定檢查設(shè)定條件，所以能夠縮短檢查設(shè)定條件的設(shè)定工序的時(shí)間，但是必須在難以看到缺陷的條件下進(jìn)行無(wú)用的檢查，所以與熟練到某種程度的檢查者掌握要領(lǐng)地進(jìn)行手動(dòng)操作的情況相比，存在需要過(guò)多的檢查時(shí)間的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述的問(wèn)題而提出的，其目的在于，提供一種能夠迅速且高效地進(jìn)行外觀檢查的檢查的外觀檢查裝置。
為了達(dá)到該目的，本發(fā)明的外觀檢查裝置具備搖動(dòng)部，其可搖動(dòng)移動(dòng)地保持被檢查體；照明部，其向所述被檢查體照射照明光，以便用肉眼觀察所述被攝體的圖像；存儲(chǔ)部，其存儲(chǔ)用于進(jìn)行檢查工序的檢查工序設(shè)定信息；以及控制部，其根據(jù)所述檢查工序設(shè)定信息，進(jìn)行至少所述照明部和所述搖動(dòng)部的自動(dòng)控制。
通過(guò)這樣的結(jié)構(gòu)，根據(jù)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部中的檢查工序設(shè)定信息，能夠通過(guò)控制部進(jìn)行至少照明部和搖動(dòng)部的自動(dòng)控制，進(jìn)行檢查工序，所以能夠迅速且高效地進(jìn)行基于目視的外觀檢查。
并且，這樣的檢查條件設(shè)定值如何設(shè)定都可，但是優(yōu)選采用經(jīng)驗(yàn)設(shè)定值、例如熟練的檢查者進(jìn)行該檢查工序的檢查時(shí)的實(shí)際值等。這樣，即使在這些檢查條件設(shè)定值不一定是最佳的檢查條件設(shè)定值的情況下，檢查者也能夠通過(guò)在檢查條件設(shè)定值的附近進(jìn)行手動(dòng)操作來(lái)將檢查條件設(shè)定值最佳化，所以能夠縮短試行錯(cuò)誤所需的時(shí)間。
通過(guò)本發(fā)明的外觀檢查裝置，根據(jù)對(duì)應(yīng)于檢查工序而預(yù)先存儲(chǔ)到存儲(chǔ)部中的檢查工序設(shè)定信息，能夠?qū)z查條件設(shè)定值統(tǒng)一地設(shè)定到控制部。因此，檢查條件設(shè)定值的設(shè)定變得容易，能夠共通利用例如熟練的檢查者設(shè)定的高效的檢查條件設(shè)定值，能夠迅速且高效地進(jìn)行外觀檢查。


圖1是用于對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式的外觀檢查裝置的概要結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明的示意性立體說(shuō)明圖。
圖2是本發(fā)明的實(shí)施方式的外觀檢查裝置的控制方框圖。
圖3是用于對(duì)制作本發(fā)明的實(shí)施方式的外觀檢查裝置的處方的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的流程圖。
圖4是用于對(duì)制作本發(fā)明的實(shí)施方式的外觀檢查裝置的處方時(shí)的操作畫(huà)面的一例進(jìn)行說(shuō)明的示意說(shuō)明圖。
圖5是用于對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式的外觀檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的流程圖。
圖6是用于對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式的外觀檢查裝置檢查時(shí)的操作畫(huà)面的一例進(jìn)行說(shuō)明的示意說(shuō)明圖。
圖7是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的外觀檢查裝置的結(jié)果顯示/分析模式的執(zhí)行例的圖表。
圖8是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的外觀檢查裝置的結(jié)果顯示/分析模式的執(zhí)行例的圖表。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。所有的圖中，即使不同的實(shí)施方式，對(duì)于相同或相當(dāng)?shù)牟考x予相同符號(hào)，并省略共同的說(shuō)明。
對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式的外觀檢查裝置進(jìn)行說(shuō)明。
圖1是用于對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式的外觀檢查裝置的概要結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明的示意性立體說(shuō)明圖。圖2是本發(fā)明的實(shí)施方式的外觀檢查裝置的控制方框圖。
本實(shí)施方式的外觀檢查裝置1是通過(guò)對(duì)被檢查體進(jìn)行照明、肉眼觀察其反射光的圖像，來(lái)進(jìn)行用于檢測(cè)被檢查體的表面缺陷的外觀檢查的裝置。如圖1所示，其概要結(jié)構(gòu)為由搖動(dòng)機(jī)構(gòu)12(搖動(dòng)部)、光源部8、照明光調(diào)整部5、廣域照明部2(照明機(jī)構(gòu))、狹縫照明部3(照明機(jī)構(gòu))、點(diǎn)照明部4(照明機(jī)構(gòu))、控制單元9、監(jiān)視器部10、鍵盤(pán)16(檢查條檢輸入部)、以及鼠標(biāo)17(檢查條件輸入部)構(gòu)成。
搖動(dòng)機(jī)構(gòu)12是保持作為被檢查體的晶片13、并能夠根據(jù)適宜的控制信號(hào)來(lái)改變晶片13的位置、姿勢(shì)的機(jī)構(gòu)。并且，由放置晶片13的旋轉(zhuǎn)臺(tái)、以及以與晶片13的面平行的且相互垂直的2個(gè)軸為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)構(gòu)成。旋轉(zhuǎn)臺(tái)通過(guò)吸附來(lái)保持晶片13。雖未圖示，但可以采用具備例如具有多個(gè)電動(dòng)機(jī)作為驅(qū)動(dòng)源的3軸方向的移動(dòng)臺(tái)、繞3軸旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)等的結(jié)構(gòu)。并且，具備將適宜的控制信號(hào)轉(zhuǎn)換為這些驅(qū)動(dòng)源的驅(qū)動(dòng)信號(hào)用的搖動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)控制部40(參照?qǐng)D2)。
光源部8是由例如金屬鹵化物燈或鹵素?zé)舻葮?gòu)成的、產(chǎn)生大致白色光并能夠?qū)⑵渖涑龉饨Y(jié)合進(jìn)光纖14中進(jìn)行導(dǎo)光的光源，并構(gòu)成為能夠通過(guò)光源驅(qū)動(dòng)部42(參照?qǐng)D2)來(lái)控制亮燈、滅燈。
照明光調(diào)整部5是用于在適當(dāng)?shù)剞D(zhuǎn)換、調(diào)整了由光纖14導(dǎo)光的光的光學(xué)特性后的狀態(tài)下把光向預(yù)定的照明機(jī)構(gòu)射出的機(jī)構(gòu)。本實(shí)施方式中，其構(gòu)成為具備濾光器轉(zhuǎn)盤(pán)6、調(diào)光轉(zhuǎn)盤(pán)7，分別通過(guò)濾光器轉(zhuǎn)盤(pán)6、調(diào)光轉(zhuǎn)盤(pán)7轉(zhuǎn)換波長(zhǎng)特性，并能夠通過(guò)照明光調(diào)整控制部41(參照?qǐng)D2)調(diào)整光強(qiáng)度。
從照明光調(diào)整部5射出的光通過(guò)多個(gè)光纖15被選擇性地導(dǎo)光到廣域照明部2、狹縫照明部3、點(diǎn)照明部4中的任意一個(gè)照明機(jī)構(gòu)。該切換動(dòng)作也通過(guò)照明光調(diào)整控制部41來(lái)控制。
濾光器轉(zhuǎn)盤(pán)6在旋轉(zhuǎn)圓板6a的外周部排列了特性不同的光學(xué)濾光器6b…，該旋轉(zhuǎn)圓板6a被設(shè)置成可通過(guò)例如步進(jìn)電動(dòng)機(jī)等旋轉(zhuǎn)單元(未圖示)而旋轉(zhuǎn)。并且，構(gòu)成為通過(guò)照明光調(diào)整控制部41驅(qū)動(dòng)定角旋轉(zhuǎn)單元，并能夠選擇性地將光學(xué)濾光器6b中的一個(gè)移動(dòng)到光纖14的射出口。
作為光學(xué)濾光器6b的例子，有容易觀察被檢查體的膜不均的波長(zhǎng)選擇濾光器?？梢耘e出為了觀察膜不均而具有便于容易觀察膜不均引起的干涉的適當(dāng)波長(zhǎng)間隔的多個(gè)帶通濾光器等。
調(diào)光轉(zhuǎn)盤(pán)7在旋轉(zhuǎn)圓板的外周部設(shè)置了光透射率不同的調(diào)光帶，該旋轉(zhuǎn)圓板被設(shè)置成可通過(guò)例如步進(jìn)電動(dòng)機(jī)等旋轉(zhuǎn)單元(未圖示)而旋轉(zhuǎn)。并且，構(gòu)成為通過(guò)照明光調(diào)整控制部41驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)單元，能夠使適宜的光透射率的區(qū)域移動(dòng)到光纖14的射出口。
調(diào)光帶也可以由例如透射率連續(xù)或不連續(xù)變化的ND濾光器(neutral density filter，中性密度濾光器)等構(gòu)成，本實(shí)施方式中，由能夠改變網(wǎng)眼的粗細(xì)的網(wǎng)狀物構(gòu)成。
廣域照明部2是由從光纖15射出的光來(lái)形成照射晶片13的大致整個(gè)面的廣域照明光的照明機(jī)構(gòu)。其大致結(jié)構(gòu)包括射出口2a，其將通過(guò)光纖15導(dǎo)光的光作為擴(kuò)散光射出；反射鏡2b，其使來(lái)自射出口2a的射出光偏向；菲涅耳透鏡11A，其用于將反射鏡2b的反射光聚光、成為平行光或會(huì)聚光，具有正放大率；以及液晶散射板11B，其根據(jù)需要，將透過(guò)菲涅耳透鏡11A的光變成適當(dāng)?shù)纳⑸錉顟B(tài)。
晶片13配置在菲涅耳透鏡11A的焦點(diǎn)位置的物體側(cè)，從液晶散射板11B射出的光能夠照射晶片13上的廣范圍的區(qū)域，例如晶片13的整個(gè)面、整個(gè)面的一半、整個(gè)面的四分之一等廣范圍的區(qū)域。
射出口2a被設(shè)置成在光軸上相對(duì)于菲涅耳透鏡11A可改變相對(duì)位置，由此，能夠在包括無(wú)限遠(yuǎn)的范圍內(nèi)改變從菲涅耳透鏡11A射出的光的會(huì)聚位置。因此，根據(jù)相對(duì)位置的改變，能夠從廣域照明部2切換地照射會(huì)聚光和平行光。
本實(shí)施方式中，液晶散射板11B的散射程度、以及射出口2a和菲涅耳透鏡11A的相對(duì)位置能夠通過(guò)廣域照明光控制部45來(lái)改變。即，廣域照明光控制部45能夠通過(guò)改變液晶散射板11B的驅(qū)動(dòng)電壓，來(lái)改變液晶散射板11B的光散射特性。具體講，通過(guò)接通電源、施加電壓，使其作為透明板發(fā)揮作用，使會(huì)聚光透過(guò)照射到基板上。并且，通過(guò)切斷電源、截止電壓的施加，使其變得不透明，將白色光照射到基板上。并且，構(gòu)成為利用例如未圖示的電動(dòng)機(jī)等使射出口2a移動(dòng)，以便能夠改變與菲涅耳透鏡11A之間的距離。
狹縫照明部3是將經(jīng)過(guò)照明光調(diào)整部5、由光纖15導(dǎo)光的光轉(zhuǎn)換為沿一個(gè)方向延伸的狹縫狀的照明光的照明機(jī)構(gòu)。狹縫照明部3例如可以通過(guò)將多個(gè)光纖并列排列在端面為狹縫狀的細(xì)長(zhǎng)的矩形區(qū)域上來(lái)構(gòu)成。并且，雖未圖示，但在射出口設(shè)置有與液晶散射板11B相同的液晶散射板。
而且，通過(guò)由狹縫照明控制部43控制位置、姿勢(shì)的未圖示的移動(dòng)機(jī)構(gòu)支承，能夠以適當(dāng)?shù)慕嵌葘ⅹM縫狀的照明光照射到晶片13上的適當(dāng)位置。而且，能夠通過(guò)狹縫照明控制部43改變狹縫照明的散射程度。
點(diǎn)照明部4是將經(jīng)過(guò)照明光調(diào)整部5、由光纖15導(dǎo)光的光轉(zhuǎn)換為在晶片13上形成預(yù)定光束直徑的點(diǎn)狀的照明光的照明機(jī)構(gòu)。點(diǎn)照明部4例如可以由將從光纖15射出的擴(kuò)散光會(huì)聚的透鏡等光學(xué)元件構(gòu)成。并且，雖未圖示，但在射出口設(shè)置有與液晶散射板11B相同的液晶散射板。
并且，通過(guò)由點(diǎn)照明控制部44控制位置、姿勢(shì)的未圖示的移動(dòng)機(jī)構(gòu)支承，能夠以適當(dāng)?shù)慕嵌葘Ⅻc(diǎn)狀的照明光照射到晶片13上的適當(dāng)位置。而且，能夠通過(guò)點(diǎn)照明控制部44改變點(diǎn)照明的散射程度。
以上說(shuō)明的光源部8、照明光調(diào)整部5、光纖14、15以及多個(gè)照明機(jī)構(gòu)即廣域照明部2、狹縫照明部3、點(diǎn)照明部4，在外觀檢查裝置1中構(gòu)成對(duì)被檢查體進(jìn)行照明的照明部。
控制單元9用于進(jìn)行外觀檢查裝置1的整體控制，如圖2所示，其大致結(jié)構(gòu)由控制部35、存儲(chǔ)器36、存儲(chǔ)部37、輸入輸出控制部38、以及外部控制部39(控制部)構(gòu)成。
控制部35能夠根據(jù)裝載到存儲(chǔ)器36中的控制程序，與輸入輸出控制部38和外部控制部39之間收發(fā)控制信號(hào)、檢查條件設(shè)定值、按照檢查工序的各種類將它們匯總后的檢查工序設(shè)定信息、缺陷信息等數(shù)據(jù)等。并且，將多個(gè)數(shù)據(jù)作為適當(dāng)?shù)奈募却鎯?chǔ)到由例如硬盤(pán)等存儲(chǔ)介質(zhì)構(gòu)成的存儲(chǔ)部37中，并能夠根據(jù)需要從存儲(chǔ)部37中讀出。
這樣，存儲(chǔ)部37兼作為存儲(chǔ)多個(gè)檢查條件設(shè)定值、檢查工序設(shè)定信息的存儲(chǔ)部，和存儲(chǔ)缺陷信息的缺陷信息存儲(chǔ)部。
并且，控制部35構(gòu)成設(shè)定信息選擇部，其選擇檢查工序設(shè)定信息，對(duì)外部控制部39設(shè)定檢查條件設(shè)定值。
并且，控制部35通過(guò)將適當(dāng)?shù)姆治龀绦蜓b載到存儲(chǔ)器36中，對(duì)存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部37中的數(shù)據(jù)進(jìn)行適當(dāng)分析，并能夠?qū)⑵浣Y(jié)果顯示于監(jiān)視器部10上。該情況下，控制部35和監(jiān)視器部10構(gòu)成分析顯示部。
輸入輸出控制部38是如下所述的設(shè)備與監(jiān)視器部10、輸入檢查條件設(shè)定值等的鍵盤(pán)16、以及操作設(shè)定輸入畫(huà)面來(lái)選擇輸入檢查條件設(shè)定值的鼠標(biāo)17電連接，其中監(jiān)視器部10是形成用于輸入檢查條件設(shè)定值的輸入畫(huà)面(以下簡(jiǎn)稱為設(shè)定輸入畫(huà)面)、或顯示缺陷信息或缺陷信息的分析結(jié)果的裝置，并且該輸入輸出控制部38將它們的輸入信號(hào)轉(zhuǎn)換為內(nèi)部數(shù)據(jù)、發(fā)送到控制部35。
此處，檢查條件設(shè)定值是指用于選擇為了通過(guò)外觀檢查裝置1進(jìn)行外觀檢查所使用的選擇性機(jī)構(gòu)例如廣域照明部2、狹縫照明部3、點(diǎn)照明部4等機(jī)構(gòu)，或選擇包括這些所有機(jī)構(gòu)在內(nèi)的動(dòng)作模式的選擇信息，或用于設(shè)定這些機(jī)構(gòu)的動(dòng)作的控制信息和數(shù)值信息。它們可以用數(shù)值來(lái)表示，也可以是字符、記號(hào)或通過(guò)鼠標(biāo)點(diǎn)擊等輸入的其它種類的值。
外部控制部39與設(shè)置于控制單元9的外部的作為驅(qū)動(dòng)控制部的搖動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)控制部40、照明光調(diào)整控制部41、光源驅(qū)動(dòng)部42、狹縫照明控制部43、點(diǎn)照明控制部44、以及廣域照明光控制部45電連接。并且，能夠?qū)妮斎胼敵隹刂撇?8輸入、并通過(guò)控制部35匯總成與檢查工序?qū)?yīng)的檢查工序設(shè)定信息的多個(gè)檢查條件設(shè)定值作為針對(duì)各相應(yīng)的外部驅(qū)動(dòng)控制部的控制信號(hào)而發(fā)送。
檢查工序設(shè)定信息是被賦予了能夠相互予以識(shí)別的名稱，以例如文件等適當(dāng)?shù)膯挝淮鎯?chǔ)到存儲(chǔ)部37中的數(shù)據(jù)集合體。下面，將檢查工序設(shè)定信息簡(jiǎn)稱為處方。
接著，對(duì)本實(shí)施方式的外觀檢查裝置1的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
圖3是用于對(duì)制作本發(fā)明的實(shí)施方式的外觀檢查裝置的處方的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的流程圖。圖4是用于對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式的外觀檢查裝置制作處方時(shí)的操作畫(huà)面的一例進(jìn)行說(shuō)明的示意說(shuō)明圖。圖5是用于對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式的外觀檢查裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的流程圖。圖6是用于對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式的外觀檢查裝置檢查時(shí)的操作畫(huà)面的一例進(jìn)行說(shuō)明的示意說(shuō)明圖。
當(dāng)外觀檢查裝置1被接通電源時(shí)，控制部35被初始化，裝載用于進(jìn)行外觀檢查的控制程序，自動(dòng)執(zhí)行。并且，在監(jiān)視器部10上顯示例如選擇菜單形式的菜單畫(huà)面(未圖示)，可以通過(guò)借助鍵盤(pán)16、鼠標(biāo)17等的輸入進(jìn)行菜單選擇。
菜單畫(huà)面的選擇項(xiàng)包括“處方制作模式”，制作基于晶片13的品種和工序、以及要檢查的缺陷的種類的處方；“處方顯示/編輯模式”，從存儲(chǔ)部37調(diào)出已制作完成的處方，確認(rèn)內(nèi)容或進(jìn)行編輯來(lái)制作新的處方；“檢查模式”，進(jìn)行外觀檢查，將缺陷信息存儲(chǔ)到存儲(chǔ)部37中；以及“結(jié)果顯示/分析模式”，顯示存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部37中的缺陷信息，或進(jìn)行分析。
此處，晶片13的品種是指基于在晶片上構(gòu)筑的電路圖案或晶片直徑的差異的種類。并且，晶片13的工序是指基于同一品種的制造工序階段的差異的種類。
可以是品種、工序相同，把僅檢查一個(gè)缺陷種類的情況與一個(gè)檢查工序相對(duì)應(yīng)來(lái)制作處方，也可以是品種、工序相同，針對(duì)依次檢查多個(gè)缺陷種類的多個(gè)檢查工序來(lái)制作一個(gè)處方。該情況下，可以依次自動(dòng)執(zhí)行多個(gè)檢查工序，或從多個(gè)檢查工序中選擇性地執(zhí)行各個(gè)檢查工序。
下面，對(duì)包括多個(gè)檢查工序的處方的情況進(jìn)行說(shuō)明。
若選擇了處方制作模式，則進(jìn)行圖3所示的動(dòng)作。
本實(shí)施方式的處方制作模式是為了找出合適的檢查條件設(shè)定值而進(jìn)行試驗(yàn)檢查的同時(shí)，支援處方制作的模式。若選擇了處方制作模式，則存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部37中的處方制作支援程序啟動(dòng)。
步驟S1中，根據(jù)預(yù)定規(guī)則通過(guò)例如鍵盤(pán)16輸入制作處方名。例如，輸入為recipe 1。該名稱用于與其它的處方相識(shí)別，也用作存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部37中的文件名。
步驟S2中，監(jiān)視器部10的畫(huà)面切換為如圖4所示的操作畫(huà)面100。操作畫(huà)面100由具有多個(gè)操作輸入部的GUI畫(huà)面構(gòu)成。該畫(huà)面中構(gòu)成為成為必要的操作輸入部可按照下面的步驟進(jìn)行輸入的狀態(tài)。在具有設(shè)定的前后關(guān)系的情況下，后設(shè)定的設(shè)定值的輸入被鎖定。
處方名顯示輸入部48中顯示在步驟S1中輸入的處方名。
此處，雖未圖示，若所輸入的處方名和已存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部37中的處方名一致，則發(fā)出存在同名的處方名的警告，顯示詢問(wèn)是否重新輸入或基于已有的處方來(lái)制作新處方的畫(huà)面。例如，在由于輸入錯(cuò)誤等而需要重新輸入時(shí)，若響應(yīng)重新輸入，則處方名顯示輸入部48成為可輸入的狀態(tài)。然后，變更為合適的名稱后，轉(zhuǎn)移到步驟S3。
而且，外觀檢查裝置1中，能夠在處方制作模式中調(diào)出已有的處方。即，可以根據(jù)詢問(wèn)，選擇基于已有的處方來(lái)制作新處方，進(jìn)入以下的步驟。該動(dòng)作將在后面敘述，下面對(duì)制作新處方的情況進(jìn)行說(shuō)明。
步驟S3中，通過(guò)未圖示的機(jī)械手等，將晶片13放置到搖動(dòng)機(jī)構(gòu)12上。此時(shí)，檢查者在品種顯示部20、工序顯示部21中輸入各自的名稱。例如，使用鍵盤(pán)16分別輸入10001、P0001。
但是，在通過(guò)自動(dòng)搬送晶片13的系統(tǒng)等自動(dòng)譯解這些名稱的情況下，也可以由該系統(tǒng)自動(dòng)輸入。
此處，對(duì)于為了制作處方而使用的晶片13，使用預(yù)先檢測(cè)出缺陷、并判斷出其缺陷種類的晶片。并且，優(yōu)選的是晶片13在1片晶片上具有多個(gè)缺陷。并且，也可以有意地在晶片13上制作缺陷。
并且，利用鼠標(biāo)17操作由例如下拉菜單構(gòu)成的檢查條件選擇輸入部28，選擇要檢查的缺陷種類的名稱。例如選擇“缺陷A”。在決定了最佳的檢查條件時(shí)，該名稱用作登記處方的名稱。
作為缺陷種類，可以舉出例如灰塵、瑕疵、異物附著、元件缺陷、膜不均、切邊異常、邊緣欠缺、邊緣異物附著等基本種類，或根據(jù)需要按照形狀、大小或形成原因等將它們細(xì)分后得到的種類。
當(dāng)以上的輸入結(jié)束時(shí)，可以進(jìn)行照明種類選擇部29的輸入，轉(zhuǎn)移到步驟S4。
步驟S4中，通過(guò)處方制作支援程序自動(dòng)選擇要制作處方的照明的種類。并且，可以根據(jù)需要，通過(guò)照明種類選擇部29選擇照明的種類。照明種類選擇部29由例如下拉菜單構(gòu)成，可通過(guò)鼠標(biāo)17等操作。
本實(shí)施方式中，首先選擇會(huì)聚光照明、即由廣域照明部2向晶片13照射會(huì)聚光的模式?？刂撇?5從存儲(chǔ)部37中調(diào)出會(huì)聚光照明模式時(shí)的照明條件的默認(rèn)值，發(fā)送到外部控制部39。
外部控制部39根據(jù)接收的默認(rèn)值，向光源驅(qū)動(dòng)部42、照明光調(diào)整控制部41、廣域照明光控制部45發(fā)送控制信號(hào)，使它們執(zhí)行基于默認(rèn)設(shè)定的動(dòng)作。
例如，使光源部8亮燈，旋轉(zhuǎn)照明光調(diào)整部5的調(diào)光轉(zhuǎn)盤(pán)7、濾光器轉(zhuǎn)盤(pán)6的位置，以使照明光成為預(yù)定光量(例如，全部輸出的50％)的白色光(無(wú)濾光器)。并且，通過(guò)施加電壓，使液晶散射板11B成為透明。并且，調(diào)整射出口2a與菲涅耳透鏡11A的相對(duì)位置，將會(huì)聚光照明照射到晶片13的預(yù)定范圍、例如整個(gè)面上。此處，主要進(jìn)行異物或瑕疵等引起的散射光的觀察。
此處，由于在決定搖動(dòng)條件時(shí)，存在受濾光器的影響導(dǎo)致難以進(jìn)行觀察的情況，所以為了避免這種情況，而將濾光器的默認(rèn)值設(shè)定為無(wú)濾光器。使用帶通濾光器時(shí)，由于相同的理由，優(yōu)選使用作為默認(rèn)值、半值寬度足夠?qū)拸V的濾光器。
被默認(rèn)設(shè)定的這些檢查條件設(shè)定值作為已設(shè)定值，如圖4所示，顯示在操作畫(huà)面100上的已設(shè)定值顯示部47。并且，為了簡(jiǎn)單起見(jiàn)，圖示中僅示意性地示出了顯示和輸入界面的一部分。
與已設(shè)定值相鄰地設(shè)置有用于變更這些設(shè)定值的照明種類選擇部29、光量調(diào)整部30、波長(zhǎng)輸入部31等。這些可以根據(jù)需要采用適宜的輸入形式。例如，波長(zhǎng)輸入部31為從下拉菜單中選擇的形式，光量調(diào)整部30為通過(guò)滑動(dòng)條輸入的形式。作為其它的形式，可以適宜地采用在空欄內(nèi)輸入數(shù)值的形式、或通過(guò)單選按鈕選擇的形式等眾所周知的GUI(圖形用戶界面)。在通過(guò)照明種類選擇部29選擇了種類的情況下，轉(zhuǎn)移到后述的與各照明對(duì)應(yīng)的步驟。
當(dāng)這樣的會(huì)聚光照射到晶片13上時(shí)，由于晶片13在宏觀上為大致平滑的反射面，所以使照明光偏向。即，使反射光會(huì)聚到空間的大致1點(diǎn)處。
并且，若晶片13上存在灰塵、瑕疵、異物附著、元件缺陷等使光散射的缺陷，則一部分的照明光被散射，到達(dá)偏移了會(huì)聚點(diǎn)的位置。當(dāng)在這樣的位置觀察晶片13時(shí)，能夠獲得與暗視野照明相同的效果，不觀察晶片13上的反射光，而代之觀察由這種缺陷引起的散射光，所以能夠通過(guò)肉眼觀察檢測(cè)出缺陷。
步驟S5中，為了找到從檢查者的位置能夠最好地觀察由缺陷引起的散射光的位置，移動(dòng)搖動(dòng)機(jī)構(gòu)12的位置、姿勢(shì)，研究它們的最佳的設(shè)定值。
在接通電源的同時(shí)對(duì)搖動(dòng)機(jī)構(gòu)12的位置設(shè)定初始值，并作為已設(shè)定值顯示于圖4所示的操作畫(huà)面100上的已設(shè)定值顯示部47。本實(shí)施方式中，顯示了從預(yù)定軸的傾斜度為45度、搖動(dòng)機(jī)構(gòu)12的支承面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)位置為0度、晶片13的中心位置距基準(zhǔn)位置為10cm等條件。
為了改變搖動(dòng)機(jī)構(gòu)12的位置、姿勢(shì)，例如，將鼠標(biāo)17的光標(biāo)移動(dòng)到傾斜度輸入部32、旋轉(zhuǎn)輸入部33、高度輸入部34等，操作箭頭鍵或鼠標(biāo)滾輪等，使設(shè)定值滾動(dòng)。當(dāng)控制部35檢測(cè)到它們的輸入值時(shí)，將這些值發(fā)送到外部控制部39，外部控制部39將它們轉(zhuǎn)換成控制信號(hào)，發(fā)送至搖動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)控制部40。
下面同樣，通過(guò)控制部35對(duì)操作輸入進(jìn)行處理，傳遞給外部控制部39，為簡(jiǎn)便起見(jiàn)，不重復(fù)說(shuō)明該過(guò)程。
搖動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)控制部40根據(jù)這些控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)移動(dòng)臺(tái)、旋轉(zhuǎn)臺(tái)，變更搖動(dòng)機(jī)構(gòu)12的位置、姿勢(shì)，研究能最佳地看到缺陷的條件。一旦發(fā)現(xiàn)最佳的條件，則通過(guò)登記按鈕27A進(jìn)行登記，通過(guò)按下NEXT按鈕35，轉(zhuǎn)移到步驟S6。
并且，該操作也可以使用例如控制手柄、操作桿、操作盤(pán)等其它的檢查條件輸入部來(lái)進(jìn)行。并且，即使沒(méi)有按下NEXT按鈕35，在按下登記按鈕27A后經(jīng)過(guò)了一定時(shí)間也沒(méi)有進(jìn)行下一輸入操作等的情況下，也可以通過(guò)處方制作支援程序自動(dòng)轉(zhuǎn)移到下一個(gè)照明種類。
步驟S6中，由于要進(jìn)行膜厚不均(以下稱為膜不均)的檢查，將廣域照明部2從會(huì)聚光照明變更為散射光照明。操作圖4中未圖示的用于改變散射狀態(tài)的輸入界面，輸入散射狀態(tài)設(shè)定值，從廣域照明光控制部45將控制信號(hào)發(fā)送到液晶散射板11B，變更液晶散射板11B的散射程度，使其作為散射板來(lái)發(fā)揮作用。通常，通過(guò)切斷液晶散射板的施加電壓來(lái)使其變?yōu)樯⑸浒?。然后，轉(zhuǎn)移到步驟S7。
步驟S7中，研究為了得到更良好的膜不均的檢查條件的濾光器的種類。即，操作波長(zhǎng)輸入部31，向照明光調(diào)整控制部41發(fā)送控制信號(hào)，通過(guò)濾光器轉(zhuǎn)盤(pán)6切換由波長(zhǎng)選擇濾光器等構(gòu)成的光學(xué)濾光器6b，研究最佳地看到膜不均缺陷的條件。另外，除了操作波長(zhǎng)輸入部31的方法以外，也可以采用每隔一定時(shí)間自動(dòng)切換濾光器的方法。
一旦找到最佳的條件，就通過(guò)登記按鈕27A進(jìn)行登記，轉(zhuǎn)移到步驟S8。
步驟S8中，研究為了得到更良好的檢查條件的散射光的光量。即，利用鼠標(biāo)17操作光量調(diào)整部30的滑動(dòng)條，變更光量的設(shè)定值。
由此，將基于設(shè)定值的控制信號(hào)從外部控制部39發(fā)送到照明光調(diào)整控制部41，驅(qū)動(dòng)調(diào)光轉(zhuǎn)盤(pán)7，控制透射率。然后，變更光量，研究能最佳地看到膜不均缺陷的條件。一旦找到最佳的條件，就利用鼠標(biāo)17按下登記按鈕27A進(jìn)行登記。
步驟S4～S8中設(shè)定的檢查條件設(shè)定值分別被登記為異物或膜不均缺陷用，作為數(shù)據(jù)集合體存儲(chǔ)到存儲(chǔ)部37內(nèi)，作為處方。例如，作為被賦予了適宜的名稱的數(shù)據(jù)文件而存儲(chǔ)，并作為品種10001、工序P0001中的缺陷A的處方部分，可通過(guò)控制部35調(diào)出。
然后，為了構(gòu)筑下一個(gè)照明種類的處方部分，通過(guò)按下NEXT按鈕35，轉(zhuǎn)移到步驟S9。
步驟S9中，通過(guò)檢查條件選擇輸入部28選擇要檢查的缺陷種類。處方制作支援程序選擇狹縫照明模式。這樣，外部控制部39向照明光調(diào)整控制部41發(fā)送控制信號(hào)，將照明光調(diào)整部5的射出光的導(dǎo)光目的地從廣域照明部2切換為狹縫照明部3。即，使廣域照明部2滅燈，使狹縫照明亮燈。
利用狹縫照明進(jìn)行的檢查是從相對(duì)于晶片13傾斜的方向照射狹縫狀的光，并移動(dòng)以在晶片13上掃過(guò)，從而來(lái)檢測(cè)灰塵、瑕疵、異物附著等缺陷。該情況下，由于這些缺陷而產(chǎn)生散射光，所以若從與來(lái)自晶片13的正反射光前進(jìn)的方向不同的方向觀察，僅觀察到散射光，能夠檢測(cè)出缺陷的位置。由于狹縫照明對(duì)狹窄的范圍進(jìn)行照射，所以能夠提高單位面積的光量，因此，能夠檢測(cè)出用廣域照明光難以觀察的更小的缺陷。
步驟S10～S13中，與步驟S5～S8相同，改變搖動(dòng)位置、狹縫照明光的散射狀態(tài)、濾光器種類、光量，依次研究能最佳地看到缺陷的條件。一旦找到最佳的條件，就分別按下登記按鈕27A，登記處方，轉(zhuǎn)移到步驟S14。
步驟S14中，通過(guò)檢查條件選擇輸入部28選擇要檢查的缺陷的種類，通過(guò)照明種類選擇部的NEXT按鈕35切換到點(diǎn)照明模式。這樣，外部控制部39向照明光調(diào)整控制部41發(fā)送控制信號(hào)，將照明光調(diào)整部5的射出光的導(dǎo)光目的地從狹縫照明部3切換為點(diǎn)照明部4。即，使狹縫照明滅燈，使點(diǎn)照明亮燈。
利用點(diǎn)照明進(jìn)行的檢查是利用點(diǎn)狀的光對(duì)晶片13的一部分進(jìn)行明亮的照明，適合于例如照射晶片13的外周部，使晶片13旋轉(zhuǎn)等，對(duì)晶片13的外周部檢查特有的缺陷等。例如，能夠檢測(cè)出晶片13的切邊異常、邊緣欠缺、邊緣異物附著等缺陷。
步驟S15～S18中，與步驟S5～S8相同，改變搖動(dòng)位置、點(diǎn)照明光的散射狀態(tài)、濾光器種類、光量，依次研究能最佳地看到缺陷的條件。一旦找到最佳的條件，分別按下登記按鈕27A，登記處方。
不進(jìn)行晶片13的其它檢查的情況下，通過(guò)按下結(jié)束按鈕27B，進(jìn)行處方制作模式結(jié)束處理。即，使晶片13的位置返回到初始狀態(tài)，從外觀檢查裝置1取下晶片13，進(jìn)入檢查待機(jī)狀態(tài)。監(jiān)視器部10的畫(huà)面切換為未圖示的菜單畫(huà)面。
這樣，可以在進(jìn)行基于宏觀檢查的工序的同時(shí)，針對(duì)各照明種類、缺陷種類制作將各自的檢查條件設(shè)定值最佳化的新處方。
以上的說(shuō)明中，對(duì)將檢查條件設(shè)定值分別設(shè)定為最佳的一個(gè)值的例子進(jìn)行了說(shuō)明，但也可以按如下所述來(lái)制作處方，即考慮被檢查體的參差不一，設(shè)定成在最佳值的附近具有一定寬度，實(shí)際檢查時(shí)，使檢查條件設(shè)定值在該寬度內(nèi)改變，進(jìn)行多個(gè)檢查工序。該情況下，輸入了最佳值之后，按下范圍設(shè)定按鈕46。這樣，顯現(xiàn)用于進(jìn)行范圍設(shè)定的畫(huà)面，進(jìn)行范圍的上下限或在范圍內(nèi)變化的步長(zhǎng)寬度等的輸入。
作為這樣的范圍設(shè)定有效的檢查條件設(shè)定值，可以舉出例如搖動(dòng)條件。
并且，處方制作模式中，在步驟S2，輸入已有的處方名，按照詢問(wèn)，可選擇基于已有處方制作新處方。該情況下，會(huì)顯示督促輸入新處方名的畫(huà)面，因此，輸入新處方名。之后，與上述大致相同，能進(jìn)入各步驟，但不同之處是上述的已設(shè)定值不是默認(rèn)值，而是被設(shè)定為最初調(diào)出的已有的處方中的檢查條件設(shè)定值。然后，可以在基于這些值進(jìn)行實(shí)際檢查的同時(shí)，試著變更設(shè)定值，輸入新的檢查條件設(shè)定值。
特別是，也可以原樣使用已有的處方的檢查條件設(shè)定值。該情況下，通過(guò)按下跳過(guò)按鈕27C，可以省略該設(shè)定值上的檢查，跳到設(shè)定下一個(gè)檢查條件設(shè)定值的步驟。
然后，當(dāng)按下結(jié)束按鈕27B時(shí)，新處方被存儲(chǔ)到存儲(chǔ)部37中。
下面，對(duì)處方顯示/編輯模式進(jìn)行說(shuō)明。
若從操作畫(huà)面(未圖示)中選擇了處方/編輯模式，則監(jiān)視器部10中切換為與處方制作模式相同的、圖4所示的操作畫(huà)面100。與處方制作模式不同之處在于，顯示或編輯結(jié)果不被立即反映到外觀檢查裝置1的動(dòng)作中，能夠離線地進(jìn)行編輯。因此，可以僅僅確認(rèn)已有處方的內(nèi)容，或?qū)o(wú)需試行檢查就能夠編輯的事項(xiàng)進(jìn)行編輯或復(fù)制。
下面，對(duì)使用已制作的處方進(jìn)行檢查的檢查模式的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
本實(shí)施方式的檢查模式是使用存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部37中的處方，依次檢查被檢查體，判斷被檢查體的良否的模式。并且，可以將這些缺陷信息全部存儲(chǔ)，用于后述的學(xué)習(xí)功能。
當(dāng)從操作畫(huà)面(未圖示)中選擇了檢查模式時(shí)，進(jìn)行如圖5所示的動(dòng)作。
步驟S100中，從未圖示的操作畫(huà)面中選擇檢查中要使用的處方。
在步驟S110中，在監(jiān)視器部10上顯示圖6所示的操作畫(huà)面110。然后，當(dāng)按下檢查開(kāi)始按鈕24時(shí)，開(kāi)始檢查。
操作畫(huà)面上設(shè)置有分別顯示作為被檢查體的晶片13的品種名、工序名的品種顯示部20、工序顯示部21、顯示與缺陷種類對(duì)應(yīng)的檢查條件名的檢查條件顯示部22、以及顯示缺陷信息的結(jié)果顯示部23等顯示部。
并且，還設(shè)置有用于手動(dòng)切換檢查條件的條件切換按鈕26、用于針對(duì)各缺陷種類來(lái)累計(jì)數(shù)量的缺陷累計(jì)按鈕25等輸入部。
步驟S120中，通過(guò)未圖示的機(jī)械手等將晶片13保持在搖動(dòng)機(jī)構(gòu)12上。此時(shí)，從通過(guò)自動(dòng)搬送系統(tǒng)搬送的盒中取出收納在預(yù)定的槽中的晶片13。然后，根據(jù)該槽編號(hào)讀取晶片13的品種名、工序名，自動(dòng)輸入到外觀檢查裝置1中。并且，顯示在品種顯示部20、工序顯示部21中。
步驟S130中，按照基于處方的檢查工序執(zhí)行檢查。此時(shí)，處方中存儲(chǔ)有在處方制作模式下所設(shè)定的對(duì)應(yīng)于缺陷種類的檢查條件設(shè)定值，所以按預(yù)定的順序，按照各缺陷種類來(lái)執(zhí)行檢查。例如，按缺陷A、缺陷B…等的順序依次執(zhí)行檢查。
步驟S140中，檢查者判斷缺陷的有無(wú)和種類，通過(guò)缺陷累計(jì)按鈕25輸入種類。此時(shí)，在檢測(cè)出與檢查條件名不同的缺陷的情況下，也通過(guò)按下相應(yīng)的缺陷累計(jì)按鈕25，將檢測(cè)出的缺陷全部輸入。這些缺陷信息全部存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部37中。即，存儲(chǔ)部37兼作為缺陷信息存儲(chǔ)部，能夠存儲(chǔ)例如檢查條件設(shè)定值與檢測(cè)出的缺陷的對(duì)應(yīng)等。
然后，判斷有無(wú)未檢查品，在沒(méi)有未檢查品時(shí)，結(jié)束檢查模式。在有未檢查品時(shí)，轉(zhuǎn)移到步驟S150。
步驟S150中，裝載未檢查的晶片13，重復(fù)步驟S120到步驟S140。
例如，在顯示于結(jié)果顯示部23中的例子中，槽編號(hào)001的晶片13針對(duì)所有的缺陷都被判斷為良品。并且，槽編號(hào)002的晶片13根據(jù)缺陷B的檢查條件被判斷為次品?，F(xiàn)在，正根據(jù)缺陷A的檢查條件檢查槽編號(hào)003的晶片13。
上述中，說(shuō)明了自動(dòng)切換存儲(chǔ)于處方中的多個(gè)檢查工序設(shè)定信息，根據(jù)缺陷種類依次進(jìn)行檢查的例子。該情況下，通過(guò)作為設(shè)定信息選擇部的控制部35，按照存儲(chǔ)于處方中的順序選擇多個(gè)檢查工序設(shè)定信息。另一方面，通過(guò)由檢查者進(jìn)行圖6的條件切換按鈕26的按下輸入，也能夠?qū)刂撇?5進(jìn)行手動(dòng)設(shè)定，以選擇與該條件切換按鈕26對(duì)應(yīng)的檢查工序信息。
接著，對(duì)結(jié)果顯示/分析模式進(jìn)行說(shuō)明。
圖7、8是分別表示本發(fā)明的實(shí)施方式的外觀檢查裝置的結(jié)果顯示/分析模式的執(zhí)行例的圖表。橫軸分別表示缺陷種類、檢查條件，縱軸表示頻度。
外觀檢查裝置1具備通過(guò)分析存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部37中的缺陷信息來(lái)進(jìn)行處方制作支援以及處方學(xué)習(xí)的功能。即使在之前的檢查模式的中途，也可以切換該結(jié)果顯示/分析模式，還可以根據(jù)需要，變更處方。
若選擇了結(jié)果顯示/分析模式，則把分析程序裝載到存儲(chǔ)器36中，通過(guò)控制部35執(zhí)行分析。然后，可以將分析結(jié)果作為圖表或表等顯示于監(jiān)視器部10中。
作為分析的例子，可以舉出存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部37中的缺陷信息的數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)分析。
例如，圖7所示的圖表是表示根據(jù)按照缺陷B的缺陷種類所制作的處方來(lái)進(jìn)行檢查時(shí)實(shí)際檢測(cè)出的各缺陷種類的頻度的直方圖。本例中，雖然檢測(cè)出缺陷B的頻度最高，但檢測(cè)出缺陷A的頻度也有缺陷B的一半左右。因此，檢查者能夠知道該處方被設(shè)定成也能夠較容易地檢測(cè)出缺陷A的條件，所以能夠根據(jù)需要修改處方?；蛘?，獲得可以在使用該處方時(shí)也關(guān)注缺陷A來(lái)進(jìn)行檢查的技能。
并且，如果如圖7所示的圖表是根據(jù)用于檢測(cè)缺陷A的處方來(lái)顯示時(shí)，則可知道該處方對(duì)于缺陷A并不適合。該情況下，可以將該處方的缺陷種類變更為缺陷B。例如，還可進(jìn)行如下管理定期執(zhí)行這樣的分析，對(duì)于已有的處方，僅將缺陷的檢測(cè)頻度最高的處方作為用于檢查該缺陷種類的處方來(lái)保留、或變更。
圖8所示的圖表是表示各處方的檢測(cè)出特定的缺陷種類例如缺陷A的頻度的直方圖。例如，用條件c的處方檢測(cè)出的頻度最大。該圖表中，能夠驗(yàn)證處方和檢測(cè)出的缺陷種類的關(guān)系。
對(duì)于這樣的分析結(jié)果，檢查者通過(guò)觀察圖表等，能夠容易地定量/定性地掌握處方的有效性等，即使是不熟練的檢查者，也能夠提高處方制作的精度。并且，直方圖顯示是分析結(jié)果的顯示的一例，也可采用其它的顯示形式。例如，可以采用應(yīng)用了表示相關(guān)性的散點(diǎn)圖或曲線的圖表等適宜的圖表顯示。并且，也可對(duì)平均、分散等統(tǒng)計(jì)性代表值進(jìn)行數(shù)值顯示。
作為其它的分析例，可以舉出使用多變量分析等統(tǒng)計(jì)分析手法，求得檢查條件設(shè)定值的最佳值的分析等。
并且，使用處方制作模式，制作用于決定檢查條件設(shè)定值的實(shí)驗(yàn)性處方，由此蓄積缺陷信息，如果通過(guò)結(jié)果顯示/分析模式來(lái)分析各檢查條件設(shè)定值的最佳值，則可以實(shí)驗(yàn)性地自動(dòng)制作處方。
如上述說(shuō)明，根據(jù)本實(shí)施方式的外觀檢查裝置1，能夠通過(guò)處方制作模式進(jìn)行檢查的同時(shí)制作處方，能夠存儲(chǔ)該處方利用于外觀檢查。因此，即使是不熟練的檢查者，也能夠迅速且高效地進(jìn)行外觀檢查。并且，通過(guò)共通利用一次制作的處方，能夠在重復(fù)相同的檢查工序時(shí)，正確且迅速地進(jìn)行檢查條件設(shè)定值的設(shè)定。
并且，通過(guò)顯示/編輯模式以及結(jié)果顯示/分析模式將這些處方轉(zhuǎn)用于其它處方的制作或改良，能夠高效地進(jìn)行處方制作。
并且，在上述的說(shuō)明中，作為廣域照明部2的照明的種類，對(duì)會(huì)聚光的情況進(jìn)行了說(shuō)明，當(dāng)然也可以將平行光用于照明。平行光與會(huì)聚光同樣，能夠用于灰塵、瑕疵、異物附著、元件欠缺等的檢測(cè)，尤其與會(huì)聚光的情況相比，具有能夠?qū)Ω蟮谋粰z查體進(jìn)行寬范圍的照射的優(yōu)點(diǎn)。
并且，說(shuō)明了在宏觀檢查中通過(guò)肉眼看來(lái)直接觀察被檢查體進(jìn)行檢查，但通過(guò)攝像裝置顯示于監(jiān)視器上，再通過(guò)對(duì)其肉眼觀察來(lái)進(jìn)行檢查也屬于目視宏觀檢查。并且，也可以通過(guò)以顯示于監(jiān)視器上的圖像為基礎(chǔ)，與其它圖像進(jìn)行比較，自動(dòng)進(jìn)行缺陷提取以及缺陷分類。
并且，在上述的說(shuō)明中，作為檢查條件設(shè)定值，對(duì)包括照明條件的設(shè)定值和搖動(dòng)條件的設(shè)定值的情況的例子進(jìn)行了說(shuō)明，但根據(jù)檢查對(duì)象的不同，也可以僅為任意一方的設(shè)定值，在具有其它檢查單元的情況下，也可以將其檢查條件設(shè)定值包括在內(nèi)。
并且，在上述的說(shuō)明中，假定檢查者為多人，分析所有檢查者的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，將處方變更為更佳的處方，但也可以輸入個(gè)人名以獲得每個(gè)人的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，變更為每個(gè)人的最佳的處方。
如上述的本發(fā)明的實(shí)施例中所說(shuō)明的那樣，本發(fā)明的外觀檢查裝置中，優(yōu)選具備設(shè)定條件輸入部，其輸入用于進(jìn)行檢查工序的檢查條件設(shè)定值；以及設(shè)定信息選擇部，通過(guò)該設(shè)定條件輸入部輸入的所述檢查條件設(shè)定值作為所述檢查工序設(shè)定信息存儲(chǔ)于所述存儲(chǔ)部中，該設(shè)定信息選擇部從存儲(chǔ)的所述檢查工序設(shè)定信息中選擇檢查工序設(shè)定信息，對(duì)所述控制部設(shè)定檢查條件設(shè)定值。
該情況下，可以通過(guò)設(shè)定條件輸入部輸入用于進(jìn)行檢查工序的檢查條件設(shè)定值，將這些檢查條件設(shè)定值作為各檢查工序的檢查工序設(shè)定信息而存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部中，通過(guò)設(shè)定信息選擇部從其中選擇檢查工序設(shè)定信息，對(duì)控制部設(shè)定該檢查工序設(shè)定信息的檢查條件設(shè)定值。因此，當(dāng)一次存儲(chǔ)了檢查工序設(shè)定信息時(shí)，下一次開(kāi)始只要選擇檢查工序設(shè)定信息，即能夠讀出所需的全部檢查條件設(shè)定值，所以使檢查條件設(shè)定值的設(shè)定變得容易。
并且，本發(fā)明的外觀檢查裝置中，優(yōu)選所述照明部具備多個(gè)種類的照明機(jī)構(gòu)，通過(guò)利用存儲(chǔ)于所述存儲(chǔ)部中的制作支援程序自動(dòng)選擇所述多個(gè)種類的照明機(jī)構(gòu)，來(lái)制作所述檢查工序設(shè)定信息。
該情況下，由于利用存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部中的制作支援程序來(lái)自動(dòng)選擇多個(gè)種類的照明機(jī)構(gòu)，由此來(lái)制作檢查工序設(shè)定信息，所以能夠迅速且高效地制作基于照明機(jī)構(gòu)的種類的檢查工序設(shè)定信息。
并且，本發(fā)明的外觀檢查裝置中，優(yōu)選所述設(shè)定信息選擇部構(gòu)成為，根據(jù)預(yù)先設(shè)定的順序自動(dòng)切換選擇所述多個(gè)檢查工序設(shè)定信息，從而能夠依次進(jìn)行基于多個(gè)檢查工序設(shè)定信息的多個(gè)檢查工序。
該情況下，由于通過(guò)設(shè)定信息選擇部能夠根據(jù)預(yù)先設(shè)定的順序依次進(jìn)行多個(gè)檢查工序，所以能夠提高檢查效率。
并且，通過(guò)設(shè)定多個(gè)檢查工序設(shè)定信息并自動(dòng)切換執(zhí)行，以使檢查條件設(shè)定值針對(duì)特定的檢查條件在預(yù)定范圍內(nèi)變化，能夠防止看漏掉缺陷。
并且，本發(fā)明的外觀檢查裝置中，優(yōu)選所述設(shè)定條件輸入部構(gòu)成為能夠在所述外觀檢查過(guò)程中輸入所述檢查條件設(shè)定值，更新所述檢查工序設(shè)定信息。
該情況下，由于在外觀檢查過(guò)程中發(fā)現(xiàn)了更優(yōu)選的檢查條件設(shè)定值時(shí)等，能夠立即將該條件反映到檢查工序設(shè)定信息中，所以使得檢查工序設(shè)定信息的改進(jìn)和修改變得容易。
并且，本發(fā)明的外觀檢查裝置中，優(yōu)選具備可針對(duì)所述各檢查工序輸入所述外觀檢查的缺陷信息的缺陷信息輸入部，具備缺陷信息存儲(chǔ)部，其將輸入到該缺陷信息輸入部中的缺陷信息與進(jìn)行所述檢查工序的檢查工序設(shè)定信息對(duì)應(yīng)起來(lái)存儲(chǔ)。
該情況下，能夠從缺陷信息輸入部針對(duì)各檢查工序輸入缺陷信息，并將該缺陷信息與檢查工序設(shè)定信息對(duì)應(yīng)起來(lái)存儲(chǔ)于缺陷信息存儲(chǔ)部中。因此，能夠存儲(chǔ)把檢查設(shè)定條件和缺陷信息對(duì)應(yīng)起來(lái)得到的數(shù)據(jù)，并將它們調(diào)出。
并且，在本發(fā)明的外觀檢查裝置中的具備所述缺陷信息輸入部和所述缺陷信息存儲(chǔ)部的裝置中，優(yōu)選構(gòu)成為具備分析顯示部，其對(duì)存儲(chǔ)于所述缺陷信息存儲(chǔ)部中的缺陷信息和所述檢查工序設(shè)定信息的關(guān)系進(jìn)行分析并顯示。
該情況下，由于能夠通過(guò)分析顯示部對(duì)缺陷信息和進(jìn)行了該檢查的檢查工序設(shè)定信息的關(guān)系進(jìn)行分析、顯示其分析結(jié)果，所以能夠容易地判斷檢查工序設(shè)定信息的有效性。即，能夠作為具備用于設(shè)定檢查工序信息的支援功能的裝置。
此處，作為分析顯示部的分析內(nèi)容，可以舉出例如檢測(cè)出的缺陷種類和檢查條件設(shè)定值的統(tǒng)計(jì)處理或統(tǒng)計(jì)分析。即，可以舉出在特定的檢查條件下檢測(cè)出的缺陷種類的直方圖、檢測(cè)出特定的缺陷種類的檢查條件種類的直方圖、以及檢測(cè)出特定缺陷的特定檢查條件的檢查條件設(shè)定值的平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差等。
并且，在本發(fā)明的外觀檢查裝置中的具備所述缺陷信息輸入部和所述缺陷信息存儲(chǔ)部的裝置中，或者具備所述缺陷信息輸入部、所述缺陷信息存儲(chǔ)部和所述分析顯示部的裝置中，優(yōu)選構(gòu)成為能夠分析存儲(chǔ)于所述缺陷信息存儲(chǔ)部中的缺陷信息和所述檢查工序設(shè)定信息的關(guān)系，根據(jù)其分析結(jié)果新生成所述檢查工序設(shè)定信息，并存儲(chǔ)于所述存儲(chǔ)部中。
該情況下，由于能夠分析存儲(chǔ)于缺陷信息存儲(chǔ)部中的缺陷信息和檢查工序設(shè)定信息的關(guān)系，根據(jù)其分析結(jié)果新生成所述檢查工序設(shè)定信息，并存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部中，所以例如在分析檢查條件設(shè)定值和特定缺陷的檢測(cè)率的情況下，能夠?qū)⒂糜跈z測(cè)特定缺陷的檢查條件更新為當(dāng)前為止的檢查條件設(shè)定值中檢測(cè)率最高的條件。因此，能夠具備檢查的學(xué)習(xí)功能。
權(quán)利要求
1.一種外觀檢查裝置，具備搖動(dòng)部，其可搖動(dòng)移動(dòng)地保持被檢查體；照明部，其向所述被檢查體照射照明光，以便用肉眼觀察所述被攝體的圖像；存儲(chǔ)部，其存儲(chǔ)用于進(jìn)行檢查工序的檢查工序設(shè)定信息；以及控制部，其根據(jù)所述檢查工序設(shè)定信息，至少進(jìn)行所述照明部和所述搖動(dòng)部的自動(dòng)控制。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外觀檢查裝置，還具備設(shè)定條件輸入部，其用于輸入進(jìn)行檢查工序用的檢查條件設(shè)定值；以及設(shè)定信息選擇部，通過(guò)所述設(shè)定條件輸入部輸入的所述檢查條件設(shè)定值作為所述檢查工序設(shè)定信息存儲(chǔ)于所述存儲(chǔ)部中，該設(shè)定信息選擇部從存儲(chǔ)的所述檢查工序設(shè)定信息中選擇檢查工序設(shè)定信息，對(duì)所述控制部設(shè)定檢查條件設(shè)定值。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的外觀檢查裝置，所述檢查條件設(shè)定值設(shè)定成在一個(gè)值的附近具有寬度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外觀檢查裝置，所述照明部具備多個(gè)種類的照明機(jī)構(gòu)，所述檢查工序設(shè)定信息是通過(guò)利用存儲(chǔ)于所述存儲(chǔ)部中的制作支援程序自動(dòng)選擇所述多個(gè)種類的照明機(jī)構(gòu)而制作的。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的外觀檢查裝置，所述設(shè)定信息選擇部通過(guò)根據(jù)預(yù)先設(shè)定的順序，自動(dòng)切換選擇所述多個(gè)檢查工序設(shè)定信息，來(lái)依次進(jìn)行基于多個(gè)檢查工序設(shè)定信息的多個(gè)檢查工序。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的外觀檢查裝置，在依次進(jìn)行所述多個(gè)檢查工序時(shí)，所述設(shè)定信息選擇部每隔一定時(shí)間切換所述照明部的多個(gè)種類的照明機(jī)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的外觀檢查裝置，所述設(shè)定條件輸入部在所述外觀檢查過(guò)程中輸入所述檢查條件設(shè)定值，更新所述檢查工序設(shè)定信息。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外觀檢查裝置，具備可針對(duì)所述各檢查工序輸入所述外觀檢查的缺陷信息的缺陷信息輸入部，并具備缺陷信息存儲(chǔ)部，其把輸入到所述缺陷信息輸入部中的缺陷信息與進(jìn)行所述檢查工序的檢查工序設(shè)定信息對(duì)應(yīng)起來(lái)存儲(chǔ)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的外觀檢查裝置，輸入到所述缺陷信息輸入部中的缺陷信息包括各缺陷種類的數(shù)量的信息。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的外觀檢查裝置，具備分析顯示部，其對(duì)存儲(chǔ)于所述缺陷信息存儲(chǔ)部中的缺陷信息和所述檢查工序設(shè)定信息的關(guān)系進(jìn)行分析并顯示。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的外觀檢查裝置，所述分析顯示部顯示各缺陷種類的頻度的直方圖。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的外觀檢查裝置，所述分析顯示部顯示檢測(cè)出缺陷的各檢查工序設(shè)定信息的頻度的直方圖。
13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的外觀檢查裝置，分析存儲(chǔ)于所述缺陷信息存儲(chǔ)部中的缺陷信息和所述檢查工序設(shè)定信息的關(guān)系，根據(jù)其分析結(jié)果新生成所述檢查工序設(shè)定信息，并存儲(chǔ)于所述存儲(chǔ)部中。
全文摘要
外觀檢查裝置。本發(fā)明的外觀檢查裝置具備向晶片(13)照射照明光的廣域照明部(2)、狹縫照明部(3)、點(diǎn)照明部(4)等照明部；搖動(dòng)機(jī)構(gòu)(12)，其可搖動(dòng)移動(dòng)地保持晶片(13)；以及控制單元(9)，其進(jìn)行這些照明部以及搖動(dòng)機(jī)構(gòu)(12)的控制。該外觀檢查裝置通過(guò)鍵盤(pán)(16)、鼠標(biāo)(17)等輸入檢查條件設(shè)定值，將它們作為針對(duì)各檢查工序種類匯總后得到的檢查工序設(shè)定信息存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部中，通過(guò)控制單元(9)中的設(shè)定信息選擇部選擇檢查工序設(shè)定信息，進(jìn)行檢查。
文檔編號(hào)G01N21/958GK1854718SQ200610066698
公開(kāi)日2006年11月1日 申請(qǐng)日期2006年4月19日 優(yōu)先權(quán)日2005年4月21日
發(fā)明者辻治之, 菅義明, 內(nèi)木裕 申請(qǐng)人:奧林巴斯株式會(huì)社