專利名稱：圖案評價方法、圖案對位方法及計算機可讀的媒介的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種圖案評價方法、圖案對位方法及程序。
背景技術(shù)：
在各種工業(yè)領(lǐng)域中，對作為評價對象的圖案(以下稱為評價對象圖案)的形狀，廣泛采用把與其基準圖形的差異用作指標進行評價的方法。例如，在半導(dǎo)體的器件圖案的評價中，作為圖案的檢查對象，使用SEM(掃描電子顯微鏡)圖像和作為其設(shè)計數(shù)據(jù)的CAD(計算機輔助設(shè)計)數(shù)據(jù)，計算器件圖案的加工形狀與其設(shè)計形狀的相似度，從而判定圖案的合格與否。以下，說明這種以往的評價方法的一例。
首先，從作為檢查對象的SEM圖像檢測評價對象圖案的輪廓。并且，作為設(shè)計圖案，在CAD圖形是利用GDSII(存儲了電路圖數(shù)據(jù)的二進制文件)等二進制文件生成的情況下，通過把其作為二值圖像進行展開，同樣可以檢測設(shè)計圖案的輪廓信息。
然后，通過上述SEM圖像和二值圖像的圖像對比，進行兩者的圖案的位置檢測。具體講，利用規(guī)定方式逐漸變更兩個圖案的相對位置，每次計算此時的差異度或相似度，檢測該值為最大或最小時的位置。作為差異度，一般使用把相互相關(guān)、圖像的明亮度等歸一化的歸一化相關(guān)等參數(shù)。通過上述的圖像匹配，使SEM圖像的輪廓和CAD圖形重合。
然后，對所重合的圖案設(shè)定一個或幾個ROI(重要區(qū)域Region ofinterest)，測定該ROI內(nèi)的兩個圖案的輪廓之間的尺寸。把這樣得到的一個或幾個尺寸值，與另外規(guī)定的標準對比，從而判定評價對象圖案的合格與否。
但是，上述的現(xiàn)有技術(shù)存在以下問題。
首先，評價對象圖案的輪廓與CAD圖形的重合與否依賴于圖案形狀，所以難以比較不同形狀的圖案之間的一致程度。并且，由于需要連續(xù)執(zhí)行圖像對比和圖案的差異度計算這兩種圖像處理，所以存在計算上花費時間，進而使得圖案形狀評價的成本上升的問題。另外，關(guān)于圖像匹配使用的閾值沒有明確的基準，目前的現(xiàn)狀是其設(shè)定依賴于作業(yè)者的經(jīng)驗。
發(fā)明內(nèi)容
一種圖案評價方法，包括以下步驟根據(jù)作為包括評價對象圖案的輪廓點的形狀數(shù)據(jù)的輪廓數(shù)據(jù)，生成第1陣列數(shù)據(jù)；根據(jù)包括成為所述評價對象圖案的檢查基準的基準圖案的輪廓點的所述基準圖案的輪廓數(shù)據(jù)，生成第2陣列數(shù)據(jù)；對所述第2陣列數(shù)據(jù)的各個構(gòu)成要素，執(zhí)行把所述第2陣列數(shù)據(jù)的構(gòu)成要素的值變換為從該構(gòu)成要素到最近輪廓點的距離的值的函數(shù)值的處理即陣列變換處理，從而生成第3陣列數(shù)據(jù)；在所述第1陣列數(shù)據(jù)和所述第3陣列數(shù)據(jù)之間執(zhí)行計算處理，生成第4陣列數(shù)據(jù)；以及使用所述第4陣列數(shù)據(jù)的構(gòu)成要素，計算表示所述評價對象圖案和所述基準圖案的關(guān)系的數(shù)值。
一種圖案評價方法，包括以下步驟獲取作為評價對象圖案的圖像的第1圖像，從所述第1圖像檢測作為包括所述評價對象圖案的輪廓點的形狀數(shù)據(jù)的輪廓數(shù)據(jù)，根據(jù)所檢測的所述輪廓數(shù)據(jù)生成第1陣列數(shù)據(jù)；根據(jù)包括成為所述評價對象圖案的檢查基準的基準圖案的輪廓點的形狀數(shù)據(jù)即輪廓數(shù)據(jù)，生成第2陣列數(shù)據(jù)；
對所述第2陣列數(shù)據(jù)的各個構(gòu)成要素，執(zhí)行把所述第2陣列數(shù)據(jù)的構(gòu)成要素的值變換為從該構(gòu)成要素到最近輪廓點的距離的值的函數(shù)值的處理即陣列變換處理，從而生成第3陣列數(shù)據(jù)；在所述第1陣列數(shù)據(jù)和所述第3陣列數(shù)據(jù)之間執(zhí)行計算處理，生成第4陣列數(shù)據(jù)；通過參照根據(jù)所述第4陣列數(shù)據(jù)的構(gòu)成要素的值的大小設(shè)定的色彩表，映射索引色彩，把所述第4陣列數(shù)據(jù)變換為第2圖像；以及把所述第2圖像重合顯示在所述第1圖像上。
一種圖案對位方法，包括以下步驟根據(jù)作為包括評價對象圖案的輪廓點的形狀數(shù)據(jù)的輪廓數(shù)據(jù)，生成第1陣列數(shù)據(jù)；根據(jù)包括成為所述評價對象圖案的檢查基準的基準圖案的輪廓點的所述基準圖案的輪廓數(shù)據(jù)，生成第2陣列數(shù)據(jù)；對所述第2陣列數(shù)據(jù)的各個構(gòu)成要素，執(zhí)行把所述第2陣列數(shù)據(jù)的構(gòu)成要素的值變換為從該構(gòu)成要素到最近輪廓點的距離的值的函數(shù)值的處理即陣列變換處理，從而生成第3陣列數(shù)據(jù)；在所述第1陣列數(shù)據(jù)和所述第3陣列數(shù)據(jù)之間執(zhí)行計算處理，生成第4陣列數(shù)據(jù)；使用所述第4陣列數(shù)據(jù)的構(gòu)成要素，計算表示所述評價對象圖案和所述基準圖案的關(guān)系的數(shù)值；以及根據(jù)計算的所述數(shù)值和所設(shè)定的基準，執(zhí)行所述評價對象圖案和所述基準圖案的對位。
一種圖案評價方法，包括以下步驟檢測評價對象圖案的輪廓；檢測被預(yù)先設(shè)定了表示所述評價對象圖案的允許度的參數(shù)的基準圖案的輪廓，該基準圖案是成為所述評價對象圖案的評價基準的基準圖案；根據(jù)所述基準圖案的參數(shù)和輪廓數(shù)據(jù)，生成所述評價對象圖案的允許范圍；
求出所述評價對象圖案的所述輪廓和所述允許范圍的相對位置關(guān)系，從而判定所述評價對象圖案的所述輪廓和所述允許范圍的包含關(guān)系；根據(jù)所得到的判定結(jié)果，判定所述評價對象圖案合格與否。
一種圖案評價方法，包括以下步驟檢測評價對象圖案的輪廓；檢測被預(yù)先設(shè)定了表示所述評價對象圖案的允許度的參數(shù)的基準圖案的輪廓，該基準圖案是成為所述評價對象圖案的評價基準的基準圖案；進行所述評價對象圖案和所述基準圖案的對位；根據(jù)所述基準圖案的參數(shù)和輪廓數(shù)據(jù)，生成所述評價對象圖案的允許范圍；根據(jù)所述對位的結(jié)果，使所述評價對象圖案的所述輪廓和所述允許范圍重合，從而判定所述輪廓和所述允許范圍的包含關(guān)系；根據(jù)所得到的判定結(jié)果，判定所述評價對象圖案合格與否。
一種圖案評價方法，包括以下步驟檢測評價對象圖案的輪廓；檢測被預(yù)先設(shè)定了表示所述評價對象圖案的允許度的參數(shù)的基準圖案的輪廓，該基準圖案是成為所述評價對象圖案的評價基準的基準圖案；根據(jù)所檢測的所述評價對象圖案的輪廓數(shù)據(jù)，生成第1陣列數(shù)據(jù)；根據(jù)所檢測的所述基準圖案的輪廓數(shù)據(jù)，生成第2陣列數(shù)據(jù)；對所述第2陣列數(shù)據(jù)的各個構(gòu)成要素，執(zhí)行把所述第2陣列數(shù)據(jù)的構(gòu)成要素的值變換為從該構(gòu)成要素到最近輪廓點的距離的值的函數(shù)值的處理即陣列變換處理，從而生成第3陣列數(shù)據(jù)；在所述第1陣列數(shù)據(jù)和所述第3陣列數(shù)據(jù)之間執(zhí)行計算處理，生成第4陣列數(shù)據(jù)；使用所述第4陣列數(shù)據(jù)的構(gòu)成要素，計算表示所述評價對象圖案和所述基準圖案的關(guān)系的數(shù)值；根據(jù)所計算的所述數(shù)值和所設(shè)定的基準，執(zhí)行所述評價對象圖案和所述基準圖案的對位；
根據(jù)所述基準圖案的參數(shù)和輪廓數(shù)據(jù)，生成所述評價對象圖案的允許范圍；根據(jù)所述對位的結(jié)果，通過使所述評價對象圖案的所述輪廓和所述允許范圍重合，判定所述輪廓和所述允許范圍的包含關(guān)系，根據(jù)所得到的判定結(jié)果，判定所述評價對象圖案合格與否。
圖1是說明本發(fā)明的第1實施方式的概要步驟的方框流程圖。
圖2是表示圖1所示的圖案評價方法的評價對象即評價對象圖案的檢查圖像的輪廓的1例的圖。
圖3是表示作為圖2所示評價對象圖案的基準圖案的設(shè)計圖案的1例的圖。
圖4是圖3所示的設(shè)計圖案的陣列變換圖像。
圖5是表示根據(jù)本發(fā)明的第2實施方式得到的索引彩色圖像的一例的示意圖。
圖6是表示適用本發(fā)明的第5實施方式的檢查圖像的輪廓的1例的圖。
圖7是表示適用本發(fā)明的第5實施方式的設(shè)計圖案的1例的圖。
圖8是圖7所示的設(shè)計圖案的陣列變換圖像。
圖9是表示根據(jù)本發(fā)明的第5實施方式得到的距離輪廓的圖像的1例的圖。
圖10是表示評價對象圖案的一例的部分輪廓的圖。
圖11是表示圖10所示圖案的基準圖案的部分輪廓的圖。
圖12是表示利用基準圖案的輪廓和距基準圖案的距離確定的允許范圍的1例的圖。
圖13是表示利用基準圖案的輪廓和距基準圖案的距離確定的允許范圍的其他1例的圖。
圖14是表示對所生成的評價圖案的允許范圍，由于未包含評價圖案的輪廓而判定為不合格時的1例的圖。
圖15是表示對所生成的評價圖案的允許范圍，由于包含評價圖案的輪廓而判定為合格品時的1例的圖。
圖16是表示單位圖案的1例的圖。
圖17是表示根據(jù)本發(fā)明的第8實施方式，使用單位圖案生成允許范圍的方法的說明圖。
圖18是表示使用圖16所示的單位圖案生成的允許范圍的1例的圖。
圖19是表示單位圖案的其他1例的圖。
圖20是表示使用圖18所示的單位圖案生成的允許范圍的1例的圖。
圖21是說明本發(fā)明的第10實施方式的圖案評價方法的概要步驟的流程圖。
圖22是表示對橢圓形狀的評價對象圖案的一例檢測的輪廓形狀的圖。
圖23是同時表示圖22中的評價對象圖案的基準圖案的輪廓形狀和評價對象圖案的輪廓形狀的圖。
圖24是同時表示對圖22中的評價對象圖案定義的允許范圍的一例和評價對象圖案的輪廓形狀的圖。
具體實施例方式
以下，參照
本發(fā)明的實施方式。在以下說明中，適當提及通過光刻步驟、蝕刻步驟等的半導(dǎo)體制造步驟形成的細微圖案的形狀檢查。但是，請注意本發(fā)明不限于這些情況，也可以適用于其他各種產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域中的所有圖案評價。
(1)第1實施方式圖1是說明本發(fā)明的第1實施方式的概要步驟的方框流程圖。圖2是表示圖1所示的圖案評價方法的評價對象即評價對象圖案的檢查圖像的1例的圖。圖3是表示以作為圖2所示評價對象圖案的基準圖案的設(shè)計數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)的圖案(以下簡稱為“設(shè)計圖案”)的1例的圖。在本實施方式中，作為基準圖案使用設(shè)計數(shù)據(jù)，但基準圖案不限于此，例如也可以使用判定為合格品的產(chǎn)品圖案的圖像。該情況時，如后面所述，需要對檢查圖像進行檢測輪廓的處理(B14)。
以下，說明把圖2所示的檢查圖像的輪廓與圖3所示的設(shè)計圖案對比，并評價其圖案形狀的示例。此處，圖2所示的檢查圖像的位置利用某種手段以設(shè)計數(shù)據(jù)為基準進行設(shè)定。作為該對位方法，例如有使用評價對象圖案和設(shè)計圖案的相關(guān)對位的方法，更加簡單的使重心一致的方法等各種方法。不管采用哪一種對位方法，執(zhí)行適合于圖案評價目的的對位是非常重要的。
以下為了進行一般說明，把圖像數(shù)據(jù)作為陣列數(shù)據(jù)使用。在灰度圖像的情況下，圖像數(shù)據(jù)的像素坐標對應(yīng)于陣列數(shù)據(jù)的指針地址，圖像數(shù)據(jù)的灰度值對應(yīng)于陣列數(shù)據(jù)的要素值。圖像數(shù)據(jù)和陣列數(shù)據(jù)的差異在于，圖像數(shù)據(jù)的灰度值只允許是標準化的0和自然數(shù)的值，而陣列數(shù)據(jù)的要素值允許是包括負數(shù)、小數(shù)等的所有數(shù)值。在本說明書中，在單純地稱為“陣列”時，指陣列數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)，一般采用二維陣列。但是，也可以根據(jù)位元平面(bit plane)方式的二維陣列、一維陣列等執(zhí)行計算的編程語言、計算機系統(tǒng)等，采用最合適的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)。
首先，如圖1所示，把檢查圖像和設(shè)計數(shù)據(jù)讀入計算機(B2、B12)。然后，在檢查圖像中指定對應(yīng)評價對象圖案的ROI，沿評價對象圖案的全周檢測輪廓Es2。輪廓Es2(參照圖2)的檢測可以使用閾值發(fā)或直線近似法及其他任何方法。輪廓點需要利用子像素的分辨率檢測，如果把圖2中的圖像尺寸設(shè)為100×100像素，則利用1/10像素的取樣分辨率檢測的輪廓數(shù)據(jù)，作為輪廓點位置具有數(shù)值1、除此以外的位置具有數(shù)值0的1000×1000的陣列A，存儲在計算機的存儲裝置中。
在設(shè)計數(shù)據(jù)(參照圖3的設(shè)計圖案Er2)是二進制數(shù)據(jù)時，把其實現(xiàn)為圖形，作為輪廓點位置具有數(shù)值1、除此以外的位置具有數(shù)值0的陣列B，求出設(shè)計圖案的輪廓數(shù)據(jù)(圖1中的B16)。此時，以檢查圖像的倍率為基礎(chǔ)，確定設(shè)計數(shù)據(jù)Er2的縮小比例。在以子像素精度實施后述的圖案評價時，采用對應(yīng)陣列A的輪廓點檢測的取樣分辨率，需要例如作為1000×1000的陣列，把陣列B存儲在計算機的存儲裝置中。但是，未必一定要對應(yīng)陣列A的尺寸，例如陣列B的尺寸也可以是500×500。當然，為了提高計算速度，陣列A、陣列B均需要選擇合適的取樣分辨率。
然后，對陣列B執(zhí)行陣列變換處理并生成陣列C(圖1中的B18)。在本實施方式中，所說陣列變換處理指把從陣列B的各個要素到具有數(shù)值1的要素的最短距離設(shè)為距離值并代入該要素的值的變換處理。在本實施方式中，把歐幾里得距離定義為距離值，執(zhí)行陣列變換處理。距離值可以定義為各種值，除歐幾里得距離外，例如可以使用4鄰近距離(CityBlock)、8鄰近距離(chessboard)、八角形距離、準歐幾里得距離。距離值不是整數(shù)，所以不能直接作為圖像使用，但是，例如可以把距離值標準化為8位值并生成陣列變換圖像。圖4示意表示對圖3所示的設(shè)計圖案Er2執(zhí)行這種圖像變換處理后的陣列C。該圖中，明亮部位表示距離值為0即輪廓。在圖4中，表示隨著越接近暗灰度就越遠離輪廓線、即距離值越大的狀態(tài)。在不怎么要求圖案評價精度的情況下，通過使用該陣列變換圖像進行以后的處理，從而可以期望縮短計算時間。但是，在要求高精度的圖案評價時，在該階段把陣列變換處理的結(jié)果作為陣列數(shù)據(jù)C使用。
返回圖1，在陣列A和陣列C的取樣分辨率不同時，需要根據(jù)分辨率較小的陣列，把分辨率較大的陣列分割為子陣列(B22)，但在本實施方式中，取樣分辨率相同。并且，在陣列A的尺寸大于陣列B的尺寸時，需要使陣列A的尺寸與陣列B的尺寸一致(B22)，在本實施方式中，陣列尺寸也相同。在以上條件下，在陣列A和陣列C的彼此對應(yīng)的指針位置的要素之間獲取積，把其結(jié)果轉(zhuǎn)移到相同尺寸的陣列D的相同指針位置(B24)。這樣生成的陣列D作為陣列數(shù)據(jù)保持包括正負符號的數(shù)值。
然后，求出陣列D的要素的合計S(B26)。該合計值S是評價對象圖案形狀距設(shè)計圖案的距離的總和，表示兩者的圖案一致程度。例如，如果評價對象圖案形狀與設(shè)計圖案完全相同，則S的值為0，隨著偏離設(shè)計圖案，S的值增大。
根據(jù)上述步驟，例如，可以定量判定兩個不同的評價對象圖案中哪一個接近所設(shè)計的圖案。并且，可以設(shè)定S的閾值，并根據(jù)評價對象圖案形狀與設(shè)計圖案的一致程度，判定評價對象圖案合格與否(B28)。
根據(jù)本實施方式，可以在極短的時間內(nèi)進行上述評價和對位，所以能夠提高處理中使用的CPU(中央處理器)資源的效率。
(2)第2實施方式在前述的第1實施方式中，計算評價對象圖案和基準圖案的一致程度S，但在本實施方式中說明的方法，除計算上述一致程度S外，還把陣列D變換為圖像并重疊顯示在檢查對象上，由此從視覺上顯示評價對象圖案與其設(shè)計圖案的一致程度以及如何一致(不一致)。
如在上述第1實施方式中說明的那樣，陣列數(shù)據(jù)D作為要素被代入距離值，所以不能直接顯示為圖像。并且，由于利用1/10像素的精度檢測輪廓，所以不能直接與檢查圖像簡單重合。因此，把10×10的區(qū)域作為單位來分割陣列并定義像素，把該區(qū)域的合計再變換為8位整數(shù)值，執(zhí)行把該值作為像素值的圖像變換處理。為了能夠更加容易地目視掌握情況，參照合適的色彩表，把8位灰度變換為索引彩色圖像，并與檢查圖像重合顯示。圖5示意表示使進行了這種變換處理的索引彩色圖像和檢查圖像重合的圖像的一例。在該圖所示的表現(xiàn)方式中，由于輪廓點把1像素作為單位，所以不能表現(xiàn)正確的輪廓位置，但能夠容易把握輪廓的哪個部分從設(shè)計數(shù)據(jù)偏離何種程度。在圖5所示的重合圖像Img4中具體表現(xiàn)為，利用符號R(紅色)表示的部分接近設(shè)計圖案，隨著以從Y(黃色)→G(黃綠色)的方式變?yōu)楸硎静ㄩL較短的顏色的符號，越來越偏離設(shè)計圖案。
在本實施方式中，把陣列數(shù)據(jù)D最終變換為圖像并顯示為圖像，但在不怎么要求較高的形狀評價精度的情況下，如果把評價對象圖案和設(shè)計圖案的輪廓及陣列變換處理結(jié)果作為圖像使用，則陣列數(shù)據(jù)D可以從一開始就被設(shè)定為距離輪廓的圖像。
(3)第3實施方式把圖像數(shù)據(jù)作為陣列數(shù)據(jù)，容易做到通用化。以下為了簡化說明，把陣列數(shù)據(jù)作為圖像數(shù)據(jù)使用。因此，陣列的指針坐標被表述為圖像的像素坐標，陣列值被表述為圖像的灰度值。并且，設(shè)計數(shù)據(jù)被事前實現(xiàn)為設(shè)計圖案。
在上述的第1和第2實施方式中，評價對象圖案和設(shè)計圖案的相對位置利用歸一化相關(guān)法等確定，并評價其位置關(guān)系的形狀一致程度，但是，例如也可以把陣列D的要素的合計S等所得到的一個或多個數(shù)值與一定基準對比，從而求出最合適的位置關(guān)系。因此，掃描評價對象圖案和設(shè)計圖案的相對位置，重復(fù)在上述第1實施方式中敘述的步驟，按照每個相對位置求出1)要素值的合計2)要素值的離散3)要素值為0的要素數(shù)等數(shù)值。由此，例如求出使要素值的合計為最小的相對位置，即可實施評價對象圖案和設(shè)計圖案的對位。該對位結(jié)果有時與通常的相關(guān)對位的結(jié)果不同，但有時根據(jù)檢查目的優(yōu)選基于本實施方式的方法的對位結(jié)果。如果適應(yīng)其他規(guī)則，還可以滿足更多種要求。
(4)第4實施方式在本實施方式中，說明設(shè)計數(shù)據(jù)被導(dǎo)入加權(quán)的情況。該加權(quán)可以在檢查時由操作者輸入，也可以預(yù)先輸入到設(shè)計數(shù)據(jù)中，還可以在把其實現(xiàn)為圖案時由計算機讀取。無論哪種情況，通過以所指定的加權(quán)接受所指定的設(shè)計圖案中例如邊或角等圖案構(gòu)成要素的陣列變換處理的影響并計算，可以獲得不同的結(jié)果。
(5)第5實施方式在本實施方式中，說明設(shè)計數(shù)據(jù)被導(dǎo)入允許尺寸的最小值和最大值的情況。具體步驟實質(zhì)上與上述的第1實施方式相同，處理結(jié)果如圖6～圖9所示。即，圖6表示與圖2所示檢查圖像相同的檢查圖像，圖7表示包括允許尺寸的最小值(Er4a)和最大值(Er4b)的設(shè)計圖案。這些最小值(Er4a)和最大值(Er4b)例如分別與上限值對應(yīng)陣列數(shù)據(jù)和下限值對應(yīng)陣列數(shù)據(jù)對應(yīng)。圖8是表示對圖7所示設(shè)計圖案執(zhí)行圖像變換處理得到的陣列的圖。圖9示意表示使圖7所示陣列的索引彩色圖像和檢查圖像重合后的圖像的一例。
(6)第6實施方式本實施方式的特征在于，在上述的第3實施方式中，把表示某位置關(guān)系的評價對象圖案和設(shè)計圖案的形狀的一致程度的一個或多個數(shù)值(例如陣列D的要素的合計S)，與一定基準對比并求出最合適的位置關(guān)系時，把可以使用函數(shù)算式計算的值用作新的距離值。
除評價對象圖案的形狀復(fù)雜的情況外，在把判定為合格品的產(chǎn)品圖案作為基準圖案的情況下，在產(chǎn)品圖案的攝像圖像的倍率較小時，基準圖案的輪廓密度變大，因此通過陣列變換處理生成的陣列數(shù)據(jù)的要素幾乎相同。結(jié)果，產(chǎn)生對位精度降低的問題。本實施方式在這種情況下，夸大明確基準圖案中的形狀差異，把利用下述算式計算的值定義為新的距離值，并生成陣列數(shù)據(jù)。
A×exp(-C×D) ……算式(1)其中，A是任意值，C是作為指數(shù)函數(shù)的衰減參數(shù)的常數(shù)，D是評價對象圖案形狀距設(shè)計圖案的距離。該情況下，通過作為常數(shù)C選擇與評價對象圖案的粗密適合的值，例如如果是較密的圖案則設(shè)定較大的C值，可以獲得正確的圖案對位結(jié)果。
(7)第7實施方式參照圖10～圖15說明本發(fā)明的第7實施方式。本實施方式的特征在于，預(yù)先準備作為提供評價對象圖案的評價基準的圖案的基準圖案和被稱為允許值的參數(shù)，使用它們生成評價對象圖案的允許范圍(也可以稱為“評價圖案形狀的允許范圍”)，根據(jù)所得到的允許范圍和評價對象圖案的包含關(guān)系，判定評價對象圖案的合格與否。
圖10是表示評價對象圖案的一例即圖案P2的部分輪廓的圖，圖11是表示圖10所示圖案P2的基準圖案RP2的部分輪廓的圖。在本實施方式中，基準圖案RP2是以評價對象圖案P2的設(shè)計數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)的設(shè)計圖案。作為基準圖案，如果提供評價對象圖案的評價基準，則不限于設(shè)計圖案，可以是任意的圖案，例如可以使用模擬結(jié)果的數(shù)據(jù)。
在本實施方式中，把距基準圖案RP2的輪廓的距離L設(shè)定為作為參數(shù)的允許值。因此，評價圖案P2的允許范圍作為從圖11所示的基準圖案RP2的輪廓僅離開距離L的所有點的集合而生成的。除把這些點集合特定為允許范圍的方法外，還可以采用對圖11所示的圖案RP2執(zhí)行距離變換處理，由其結(jié)果在圖案RP2的內(nèi)側(cè)和外側(cè)求出距離L的等高線，把由這兩個等高線夾持的區(qū)域確定為允許范圍的方法等任何方法。在本實施方式中的著重點是，利用距基準圖案RP2的輪廓的距離L確定評價圖案P2的允許范圍，該距離L是在進行圖案P2的評價時作為允許值預(yù)先設(shè)定的值。即，該距離L是作為形狀判定的規(guī)格根據(jù)評價對象圖案確定的值。圖12表示這樣生成的允許范圍的一例。允許值是對于圖案的內(nèi)側(cè)和外側(cè)均相同的距離L，所以圖12所示的允許范圍AS2生成為形成寬度為2L的帶。允許值不必在圖案的內(nèi)側(cè)和外側(cè)都相同，例如圖13所示的允許范圍AS4所示，可以在圖案的內(nèi)側(cè)和外側(cè)設(shè)定不同的允許值，以便生成在圖案內(nèi)側(cè)具有2L的允許值、在圖案外側(cè)具有L的允許值的整體上寬度為3L的帶狀區(qū)域。另外，不限于圖案的內(nèi)側(cè)和外側(cè)，也可以根據(jù)圖案的要求規(guī)格，對圖案的每個構(gòu)成要素設(shè)定不同的允許值。
然后，例如對利用上述方法生成的評價對象圖案的允許范圍，確認是否包含評價圖案的輪廓，從而判定評價對象圖案的形狀合格與否。更具體地講，例如對允許范圍AS2，掃描評價對象圖案P2的輪廓的相對位置，計算評價對象圖案P2的輪廓全部收容在允許范圍AS2內(nèi)的相對位置。如圖14所示，在某相對位置評價對象圖案P2收容在允許范圍AS2內(nèi)時，評價對象圖案P2合格并判定為合格品。另一方面，如圖15所示，在求不出該相對位置時，評價對象圖案P2不合格并判定為不合格品。
(8)第8實施方式參照圖16～圖20，說明本發(fā)明的第8實施方式。本實施方式的特征在于，把預(yù)先定義的單位圖案疊加在基準圖案的輪廓上，從而生成允許范圍。
圖16表示單位圖案的一例。該圖所示的單位圖案UP2是一邊長度為a的正方形。關(guān)于單位圖案UP2，除一邊長度為a外，也設(shè)定了位于正方形內(nèi)側(cè)的任意點并且與基準圖案的輪廓交叉的點P的坐標，長度a的值和點P的坐標位置成為允許值。然后，如圖17所示，利用點P使單位圖案UP2吻合在基準圖案RP2上，以使點P重疊在基準圖案RP2的輪廓上，然后以使點P沿著基準圖案RP2的輪廓的方式，使單位圖案UP2沿著基準圖案RP2的輪廓移動。通過記錄此時的單位圖案UP2的輪廓描畫的軌跡，生成圖18所示的包含寬度a的帶狀區(qū)域的允許范圍AS6。圖18所示的允許范圍AS6，其角部的形狀有棱角，這一點和圖12中的允許范圍AS2明顯不同。
然后，對這樣生成的允許范圍AS6，利用在第7實施方式敘述的方法，判定評價對象圖案的形狀合格與否。
在上述說明中，作為單位圖案示例了正方形圖案，當然其形狀不限于正方形，也可以使用長方形及其他圓形、橢圓形。圖19表示長方形的單位圖案的一例，圖20表示使用圖19中的單位圖案UP4生成的允許范圍。另外，如果采用圓形、橢圓形狀等的單位圖案，與圖12中的允許范圍AS2相同，可以生成在角部有圓弧的允許范圍。
(9)第9實施方式在上述實施方式中，通過不預(yù)先進行評價對象圖案和基準圖案的對位，掃描從基準圖案生成的允許范圍和評價對象圖案的相對位置，來驗證處于某位置關(guān)系的兩者的包含關(guān)系。與此相對，本實施方式的特征在于，在生成允許范圍之前，在評價對象圖案和基準圖案之間預(yù)先進行對位。由此，僅確認處于預(yù)先進行了對位的位置的包含關(guān)系，即可判定評價對象圖案的合格與否。該情況下，作為基準圖案，例如可以使用評價圖案的設(shè)計數(shù)據(jù)。
(10)第10實施方式在本實施方式中，說明對利用上述的第1實施方式進行了與基準圖案的對位的評價對象圖案，進行基于第7實施方式的合格與否判定的方法。
圖21是表示本實施方式的圖案評價方法的概要步驟的流程圖。
首先，利用CD-SEM等獲取評價對象圖案的SEM圖像(步驟S1)，檢測其輪廓(步驟S2)。圖22表示所檢測的輪廓的一例。在該圖的示例中，橢圓形狀的評價對象圖案P12的輪廓Es12顯示于檢查圖像Img12內(nèi)。輪廓的檢測可以使用任何方法，但優(yōu)選US10/252,521中提出的無需指定ROI即能夠以子像素精度檢測圖案的全周輪廓的方法。由于進行了該參照，所以在本申請說明書中引用了上述美國申請的所有內(nèi)容。
然后，對于評價對象圖案P12，按照上述的第1實施方式所述進行與基準圖案的對位(步驟S3)。作為基準圖案，此處使用通過評價對象圖案的模擬預(yù)測的形狀。圖23中的輪廓Er12表示通過模擬得到的評價對象圖案12的基準圖案。
然后，使用上述的第7實施方式所述的步驟，對評價對象圖案P12定義允許范圍，并與評價對象圖案P12比較(步驟S4)，判定評價對象圖案P12合格與否(步驟S5)。圖24中的符號AS12表示對評價對象圖案P12定義的允許范圍的一例。根據(jù)該允許范圍AS12內(nèi)是否包含評價對象圖案P12，可以判定評價對象圖案P12合格與否。
作為評價對象圖案的允許范圍，可以采用不同的單位圖案定義不同的允許范圍。由此，能夠以不同的判定基準進行評價對象圖案的合格與否判定。例如，在定義圖24所示的允許范圍AS12時，把半徑25nm的圓用作單位圖案，但如果把半徑比其大的圓用作單位圖案，可以執(zhí)行更加寬松的判定，而如果把半徑比其小的圓用作單位圖案，可以執(zhí)行更加嚴格的判定。
這樣，根據(jù)本實施方式，可以根據(jù)有無開路或短路等缺陷高精度地判定圖案形狀的合格與否。
(11)程序上述的圖案評價方法和圖案對位方法的一系列步驟，也可以安裝到程序中，作為處方(recipe)文件讀入計算機并執(zhí)行。由此，可以使用通用計算機實現(xiàn)上述的圖案評價方法和圖案對位方法。并且，作為使計算機執(zhí)行上述的圖案評價方法和圖案對位方法的一系列步驟的程序，也可以存儲在軟盤、CD-ROM等記錄介質(zhì)中，使計算機讀入并執(zhí)行。
記錄介質(zhì)不限于磁盤、光盤等可攜帶的介質(zhì)，也可以是硬盤裝置、存儲器等固定式記錄介質(zhì)。并且，還可以通過因特網(wǎng)等通信線路(包括無線通信)發(fā)行編入有上述的圖案評價方法和圖案對位方法的一系列步驟的程序。另外，也可以在將編入有上述的圖案評價方法和圖案對位方法的一系列步驟的程序加密、調(diào)制、壓縮的狀態(tài)下，通過因特網(wǎng)等有線線路和無線線路發(fā)行，或者存儲在記錄介質(zhì)中發(fā)行。
(12)半導(dǎo)體器件的制造方法通過把上述的圖案評價方法和圖案對位方法適用于半導(dǎo)體器件的制造步驟，能夠以較高的生產(chǎn)率和成品率制造半導(dǎo)體器件。
權(quán)利要求
1.一種圖案評價方法，包括以下步驟根據(jù)作為包括評價對象圖案的輪廓點的形狀數(shù)據(jù)的輪廓數(shù)據(jù)，生成第1陣列數(shù)據(jù)；根據(jù)包括成為所述評價對象圖案的檢查基準的基準圖案的輪廓點的所述基準圖案的輪廓數(shù)據(jù)，生成第2陣列數(shù)據(jù)；對所述第2陣列數(shù)據(jù)的各個構(gòu)成要素，執(zhí)行把所述第2陣列數(shù)據(jù)的構(gòu)成要素的值變換為從該構(gòu)成要素到最近輪廓點的距離的值的函數(shù)值的處理即陣列變換處理，從而生成第3陣列數(shù)據(jù)；在所述第1陣列數(shù)據(jù)和所述第3陣列數(shù)據(jù)之間執(zhí)行計算處理，生成第4陣列數(shù)據(jù)；以及使用所述第4陣列數(shù)據(jù)的構(gòu)成要素，計算表示所述評價對象圖案和所述基準圖案的關(guān)系的數(shù)值。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖案評價方法，其中，通過所述陣列變換處理得到的所述函數(shù)值是與所述基準圖案的輪廓的內(nèi)側(cè)對應(yīng)的值和與外側(cè)對應(yīng)的值，且正負符號不同。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖案評價方法，其中，所述基準圖案使用設(shè)計數(shù)據(jù)生成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖案評價方法，其中，把A設(shè)為任意值、把C設(shè)為作為指數(shù)函數(shù)的衰減參數(shù)的常數(shù)、把D設(shè)為評價對象圖案形狀距所述基準圖案的距離時，所述函數(shù)值利用下述算式計算，A×exp(-|C×距離值|)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的圖案評價方法，其中，所述設(shè)計數(shù)據(jù)包括對于按照基準圖案的每個構(gòu)成要素設(shè)定的所述陣列變換的加權(quán)，所述陣列變換處理包括使用所述加權(quán)執(zhí)行陣列變換的步驟。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖案評價方法，其中，所述基準圖案是包括設(shè)計允許值的上限信息和下限信息的設(shè)計數(shù)據(jù)，所述第2陣列數(shù)據(jù)包括與所述上限的設(shè)計允許值對應(yīng)的上限值對應(yīng)陣列數(shù)據(jù)、和與所述下限的設(shè)計允許值對應(yīng)的下限值對應(yīng)陣列數(shù)據(jù)，所述第3陣列數(shù)據(jù)的值，只歸屬于利用所述上限值對應(yīng)陣列數(shù)據(jù)和所述下限值對應(yīng)陣列數(shù)據(jù)確定的范圍內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖案評價方法，其中，所述基準圖案是包括設(shè)計允許值的上限信息和下限信息的設(shè)計數(shù)據(jù)，所述第2陣列數(shù)據(jù)包括與所述上限的設(shè)計允許值對應(yīng)的上限值對應(yīng)陣列數(shù)據(jù)、和與所述下限的設(shè)計允許值對應(yīng)的下限值對應(yīng)陣列數(shù)據(jù)，所述第3陣列數(shù)據(jù)由在利用所述上限值對應(yīng)陣列數(shù)據(jù)和所述下限值對應(yīng)陣列數(shù)據(jù)確定的范圍內(nèi)外正負符號不同的值構(gòu)成。
8.一種圖案評價方法，包括以下步驟獲取作為評價對象圖案的圖像的第1圖像，從所述第1圖像檢測作為包括所述評價對象圖案的輪廓點的形狀數(shù)據(jù)的輪廓數(shù)據(jù)，根據(jù)所檢測的所述輪廓數(shù)據(jù)生成第1陣列數(shù)據(jù)；根據(jù)包括成為所述評價對象圖案的檢查基準的基準圖案的輪廓點的形狀數(shù)據(jù)即輪廓數(shù)據(jù)，生成第2陣列數(shù)據(jù)；對所述第2陣列數(shù)據(jù)的各個構(gòu)成要素，執(zhí)行把所述第2陣列數(shù)據(jù)的構(gòu)成要素的值變換為從該構(gòu)成要素到最近輪廓點的距離的值的函數(shù)值的處理即陣列變換處理，從而生成第3陣列數(shù)據(jù)；在所述第1陣列數(shù)據(jù)和所述第3陣列數(shù)據(jù)之間執(zhí)行計算處理，生成第4陣列數(shù)據(jù)；通過參照根據(jù)所述第4陣列數(shù)據(jù)的構(gòu)成要素的值的大小設(shè)定的色彩表，映射索引色彩，把所述第4陣列數(shù)據(jù)變換為第2圖像；以及把所述第2圖像重合顯示在所述第1圖像上。
9.一種圖案對位方法，包括以下步驟根據(jù)作為包括評價對象圖案的輪廓點的形狀數(shù)據(jù)的輪廓數(shù)據(jù)，生成第1陣列數(shù)據(jù)；根據(jù)包括成為所述評價對象圖案的檢查基準的基準圖案的輪廓點的所述基準圖案的輪廓數(shù)據(jù)，生成第2陣列數(shù)據(jù)；對所述第2陣列數(shù)據(jù)的各個構(gòu)成要素，執(zhí)行把所述第2陣列數(shù)據(jù)的構(gòu)成要素的值變換為從該構(gòu)成要素到最近輪廓點的距離的值的函數(shù)值的處理即陣列變換處理，從而生成第3陣列數(shù)據(jù)；在所述第1陣列數(shù)據(jù)和所述第3陣列數(shù)據(jù)之間執(zhí)行計算處理，生成第4陣列數(shù)據(jù)；使用所述第4陣列數(shù)據(jù)的構(gòu)成要素，計算表示所述評價對象圖案和所述基準圖案的關(guān)系的數(shù)值；以及根據(jù)計算的所述數(shù)值和所設(shè)定的基準，執(zhí)行所述評價對象圖案和所述基準圖案的對位。
10.一種存儲有使計算機執(zhí)行圖案評價方法的程序的計算機可讀的介質(zhì)，所述圖案評價方法包括以下步驟根據(jù)作為包括評價對象圖案的輪廓點的形狀數(shù)據(jù)的輪廓數(shù)據(jù)，生成第1陣列數(shù)據(jù)；根據(jù)包括成為所述評價對象圖案的檢查基準的基準圖案的輪廓點的所述基準圖案的輪廓數(shù)據(jù)，生成第2陣列數(shù)據(jù)；對所述第2陣列數(shù)據(jù)的各個構(gòu)成要素，執(zhí)行把所述第2陣列數(shù)據(jù)的構(gòu)成要素的值變換為從該構(gòu)成要素到最近輪廓點的距離的值的函數(shù)值的處理即陣列變換處理，從而生成第3陣列數(shù)據(jù)；在所述第1陣列數(shù)據(jù)和所述第3陣列數(shù)據(jù)之間執(zhí)行計算處理，生成第4陣列數(shù)據(jù)；以及使用所述第4陣列數(shù)據(jù)的構(gòu)成要素，計算表示所述評價對象圖案和所述基準圖案的關(guān)系的數(shù)值。
11.一種存儲有使計算機執(zhí)行圖案評價方法的程序的計算機可讀的介質(zhì)，所述圖案評價方法包括以下步驟獲取作為評價對象圖案的圖像的第1圖像，從所述第1圖像檢測作為包括所述評價對象圖案的輪廓點的形狀數(shù)據(jù)的輪廓數(shù)據(jù)，根據(jù)所檢測的所述輪廓數(shù)據(jù)生成第1陣列數(shù)據(jù)；根據(jù)包括成為所述評價對象圖案的檢查基準的基準圖案的輪廓點的形狀數(shù)據(jù)即輪廓數(shù)據(jù)，生成第2陣列數(shù)據(jù)；對所述第2陣列數(shù)據(jù)的各個構(gòu)成要素，執(zhí)行把所述第2陣列數(shù)據(jù)的構(gòu)成要素的值變換為從該構(gòu)成要素到最近輪廓點的距離的值的函數(shù)值的處理即陣列變換處理，從而生成第3陣列數(shù)據(jù)；在所述第1陣列數(shù)據(jù)和所述第3陣列數(shù)據(jù)之間執(zhí)行計算處理，生成第4陣列數(shù)據(jù)；通過參照根據(jù)所述第4陣列數(shù)據(jù)的構(gòu)成要素的值的大小設(shè)定的色彩表，映射色彩，把所述第4陣列數(shù)據(jù)變換為第2圖像；以及把所述第2圖像重合顯示在所述第1圖像上。
12.一種存儲使計算機執(zhí)行圖案對位方法的程序的計算機可讀的介質(zhì)，所述圖案對位方法包括以下步驟根據(jù)作為包括評價對象圖案的輪廓點的形狀數(shù)據(jù)的輪廓數(shù)據(jù)，生成第1陣列數(shù)據(jù)；根據(jù)包括成為所述評價對象圖案的檢查基準的基準圖案的輪廓點的所述基準圖案的輪廓數(shù)據(jù)，生成第2陣列數(shù)據(jù)；對所述第2陣列數(shù)據(jù)的各個構(gòu)成要素，執(zhí)行把所述第2陣列數(shù)據(jù)的構(gòu)成要素的值變換為從該構(gòu)成要素到最近輪廓點的距離的值的函數(shù)值的處理即陣列變換處理，從而生成第3陣列數(shù)據(jù)；在所述第1陣列數(shù)據(jù)和所述第3陣列數(shù)據(jù)之間執(zhí)行計算處理，生成第4陣列數(shù)據(jù)；使用所述第4陣列數(shù)據(jù)的構(gòu)成要素，計算表示所述評價對象圖案和所述基準圖案的關(guān)系的數(shù)值；以及根據(jù)所計算的所述數(shù)值和所設(shè)定的基準，執(zhí)行所述評價對象圖案和所述基準圖案的對位。
13.一種圖案評價方法，包括以下步驟檢測評價對象圖案的輪廓；檢測被預(yù)先設(shè)定了表示所述評價對象圖案的允許度的參數(shù)的基準圖案的輪廓，該基準圖案是成為所述評價對象圖案的評價基準的基準圖案；根據(jù)所述基準圖案的參數(shù)和輪廓數(shù)據(jù)，生成所述評價對象圖案的允許范圍；求出所述評價對象圖案的所述輪廓和所述允許范圍的相對位置關(guān)系，從而判定所述評價對象圖案的所述輪廓和所述允許范圍的包含關(guān)系；以及根據(jù)所得到的判定結(jié)果，判定所述評價對象圖案合格與否。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的圖案評價方法，其中，所述參數(shù)是對于所述基準圖案的構(gòu)成要素的至少一個，在從所述基準圖案的輪廓點到內(nèi)側(cè)和外側(cè)中至少任一側(cè)共同的任意值的距離，所述允許范圍通過設(shè)定從所述基準圖案的輪廓點朝向所述基準圖案的內(nèi)側(cè)和外側(cè)僅離開所述任意距離的范圍而生成。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的圖案評價方法，其中，所述參數(shù)是確定任意形狀的單位圖案的所述形狀的值、以及所述形狀內(nèi)的任意點的位置坐標，所述允許范圍通過以使所述單位圖案的所述任意點沿著所述基準圖案的輪廓的方式，將所述單位圖案疊加在所述基準圖案的輪廓上而生成。
16.一種圖案評價方法，包括以下步驟檢測評價對象圖案的輪廓；檢測被預(yù)先設(shè)定了表示所述評價對象圖案的允許度的參數(shù)的基準圖案的輪廓，該基準圖案是成為所述評價對象圖案的評價基準的基準圖案；進行所述評價對象圖案和所述基準圖案的對位；根據(jù)所述基準圖案的參數(shù)和輪廓數(shù)據(jù)，生成所述評價對象圖案的允許范圍；根據(jù)所述對位的結(jié)果，使所述評價對象圖案的所述輪廓和所述允許范圍重合，從而判定所述輪廓和所述允許范圍的包含關(guān)系；根據(jù)所得到的判定結(jié)果，判定所述評價對象圖案合格與否。
17.一種圖案評價方法，包括以下步驟檢測評價對象圖案的輪廓；檢測被預(yù)先設(shè)定了表示所述評價對象圖案的允許度的參數(shù)的基準圖案的輪廓，該基準圖案是成為所述評價對象圖案的評價基準的基準圖案；根據(jù)所檢測的所述評價對象圖案的輪廓數(shù)據(jù)，生成第1陣列數(shù)據(jù)；根據(jù)所檢測的所述基準圖案的輪廓數(shù)據(jù)，生成第2陣列數(shù)據(jù)；對所述第2陣列數(shù)據(jù)的各個構(gòu)成要素，執(zhí)行把所述第2陣列數(shù)據(jù)的構(gòu)成要素的值變換為從該構(gòu)成要素到最近輪廓點的距離的值的函數(shù)值的處理即陣列變換處理，從而生成第3陣列數(shù)據(jù)；在所述第1陣列數(shù)據(jù)和所述第3陣列數(shù)據(jù)之間執(zhí)行計算處理，生成第4陣列數(shù)據(jù)；使用所述第4陣列數(shù)據(jù)的構(gòu)成要素，計算表示所述評價對象圖案和所述基準圖案的關(guān)系的數(shù)值；根據(jù)所計算的所述數(shù)值和所設(shè)定的基準，執(zhí)行所述評價對象圖案和所述基準圖案的對位；根據(jù)所述基準圖案的參數(shù)和輪廓數(shù)據(jù)，生成所述評價對象圖案的允許范圍；根據(jù)所述對位的結(jié)果，通過使所述評價對象圖案的所述輪廓和所述允許范圍重合，判定所述輪廓和所述允許范圍的包含關(guān)系，根據(jù)所得到的判定結(jié)果，判定所述評價對象圖案合格與否。
18.一種存儲有使計算機執(zhí)行圖案評價方法的程序的計算機可讀的介質(zhì)，所述圖案評價方法包括以下步驟檢測評價對象圖案的輪廓；檢測被預(yù)先設(shè)定了表示所述評價對象圖案的允許度的參數(shù)的基準圖案的輪廓，該基準圖案是成為所述評價對象圖案的評價基準的基準圖案；根據(jù)所述基準圖案的參數(shù)和輪廓的數(shù)據(jù)，生成所述評價對象圖案的允許范圍；通過求出所述評價對象圖案的所述輪廓和所述允許范圍的相對位置關(guān)系，判定所述評價對象圖案的所述輪廓和所述允許范圍的包含關(guān)系；根據(jù)所得到的判定結(jié)果，判定所述評價對象圖案合格與否。
19.一種存儲有使計算機執(zhí)行圖案評價方法的程序的計算機可讀的介質(zhì)，所述圖案評價方法包括以下步驟檢測評價對象圖案的輪廓；檢測被預(yù)先設(shè)定了表示所述評價對象圖案的允許度的參數(shù)的基準圖案的輪廓，該基準圖案是成為所述評價對象圖案的評價基準的基準圖案；進行所述評價對象圖案和所述基準圖案的對位；根據(jù)所述基準圖案的參數(shù)和輪廓數(shù)據(jù)，生成所述評價對象圖案的允許范圍；根據(jù)所述對位的結(jié)果，通過使所述評價對象圖案的所述輪廓和所述允許范圍重合，判定所述輪廓和所述允許范圍的包含關(guān)系；根據(jù)所得到的判定結(jié)果，判定所述評價對象圖案合格與否。
20.一種存儲有使計算機執(zhí)行圖案評價方法的程序的計算機可讀的介質(zhì)，所述圖案評價方法包括以下步驟檢測評價對象圖案的輪廓；檢測被預(yù)先設(shè)定了表示所述評價對象圖案的允許度的參數(shù)的基準圖案的輪廓，該基準圖案是成為所述評價對象圖案的評價基準的基準圖案；根據(jù)所檢測的所述評價對象圖案的輪廓數(shù)據(jù)，生成第1陣列數(shù)據(jù)；根據(jù)所檢測的所述基準圖案的輪廓數(shù)據(jù)，生成第2陣列數(shù)據(jù)；通過對所述第2陣列數(shù)據(jù)的各個構(gòu)成要素，執(zhí)行把所述第2陣列數(shù)據(jù)的構(gòu)成要素的值變換為從該構(gòu)成要素到最近輪廓點的距離的值的函數(shù)值的處理即陣列變換處理，生成第3陣列數(shù)據(jù)；在所述第1陣列數(shù)據(jù)和所述第3陣列數(shù)據(jù)之間執(zhí)行計算處理，生成第4陣列數(shù)據(jù)；使用所述第4陣列數(shù)據(jù)的構(gòu)成要素，計算表示所述評價對象圖案和所述基準圖案的關(guān)系的數(shù)值；根據(jù)所計算的所述數(shù)值和所設(shè)定的基準，執(zhí)行所述評價對象圖案和所述基準圖案的對位；根據(jù)所述基準圖案的參數(shù)和輪廓數(shù)據(jù)，生成所述評價對象圖案的允許范圍；通過根據(jù)所述對位的結(jié)果，使所述評價對象圖案的所述輪廓和所述允許范圍重合，判定所述輪廓和所述允許范圍的包含關(guān)系；根據(jù)所得到的判定結(jié)果，判定所述評價對象圖案合格與否。
全文摘要
一種圖案評價方法，包括根據(jù)作為包括評價對象圖案的輪廓點的形狀數(shù)據(jù)的輪廓數(shù)據(jù)，生成第1陣列數(shù)據(jù)；根據(jù)包括成為所述評價對象圖案的檢查基準的基準圖案的輪廓點的所述基準圖案的輪廓數(shù)據(jù)，生成第2陣列數(shù)據(jù)；通過對所述第2陣列數(shù)據(jù)的各個構(gòu)成要素，執(zhí)行把所述第2陣列數(shù)據(jù)的構(gòu)成要素的值變換為從該構(gòu)成要素到最近輪廓點的距離的值的函數(shù)值的處理即陣列變換處理，生成第3陣列數(shù)據(jù)；在所述第1陣列數(shù)據(jù)和所述第3陣列數(shù)據(jù)之間執(zhí)行計算處理，生成第4陣列數(shù)據(jù)；使用所述第4陣列數(shù)據(jù)的構(gòu)成要素，計算表示所述評價對象圖案和所述基準圖案的一致程度的數(shù)值。
文檔編號G01B21/20GK1841015SQ20061006696
公開日2006年10月4日 申請日期2006年3月30日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月30日
發(fā)明者三井正 申請人:株式會社東芝