專(zhuān)利名稱(chēng)：缺陷檢測(cè)方法與缺陷檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在液晶面板等顯示設(shè)備及作為其應(yīng)用產(chǎn)品的投影儀等的制造中的檢查步驟等各種產(chǎn)品的檢查步驟中，高精度自動(dòng)檢測(cè)出低對(duì)比度(contrast)的缺陷的缺陷檢測(cè)方法以及裝置。
背景技術(shù)：
TFT(Thin Film Transistor)面板等液晶面板檢查中，污跡、不均、亮點(diǎn)、黑點(diǎn)等缺陷，由于形狀不穩(wěn)定并且對(duì)比度也低，因此很難通過(guò)檢查裝置自動(dòng)檢測(cè)。所以，目前檢查還是通過(guò)檢查員的目視來(lái)進(jìn)行，為了削減制造成本，迫切需要檢查的自動(dòng)化。
另外，污跡或不均缺陷是指顯示畫(huà)面的某個(gè)區(qū)域與其他區(qū)域有亮度差的狀態(tài)，是在某個(gè)程度的范圍內(nèi)，與周?chē)啾?，有較亮部分或較暗部分的狀態(tài)。另外，通常多將缺陷面積較小的情況稱(chēng)作污跡缺陷，較大的情況稱(chēng)作不均缺陷。并且，將面積小的點(diǎn)狀缺陷稱(chēng)作亮點(diǎn)缺陷、黑點(diǎn)缺陷。
以前，作為讓液晶面板這樣的，將透光并點(diǎn)亮的像素部分與區(qū)分像素的黑底(black matrix)部分以相同的重復(fù)模式設(shè)置的被檢查物的缺陷檢測(cè)自動(dòng)化的方法，公知的有使用檢查對(duì)象點(diǎn)周?chē)?點(diǎn)的像素?cái)?shù)據(jù)進(jìn)行檢測(cè)的8鄰近點(diǎn)相鄰比較方式(例如參照文獻(xiàn)特開(kāi)2004-28836號(hào)公報(bào))。
該文獻(xiàn)中，將夾持檢查對(duì)象點(diǎn)而設(shè)置的左右、上下、傾斜方向的相鄰的8個(gè)點(diǎn)中，選擇用于與檢查對(duì)象點(diǎn)的比較中所使用的最佳的兩點(diǎn)(左右的兩點(diǎn)，或上下的兩點(diǎn)，或各個(gè)斜向的兩點(diǎn)中的任一個(gè))，將其平均值與檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，判斷缺陷的有無(wú)。另外，最適于比較的兩點(diǎn)的選擇，將兩點(diǎn)的亮度數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，在該兩點(diǎn)的亮度數(shù)據(jù)相等的情況下，判斷為最適于比較的兩點(diǎn)。
但是，上述文獻(xiàn)中，例如在液晶面板的4角部中，夾持檢查對(duì)象點(diǎn)而設(shè)置的兩點(diǎn)中的一方，設(shè)置在黑底部分中，另一方設(shè)置在像素部分中，因此存在亮度數(shù)據(jù)不等的兩點(diǎn)。因此，無(wú)法選擇最適于比較的兩點(diǎn)，產(chǎn)生疑似缺陷，存在判斷為檢查范圍對(duì)象外，無(wú)法高精度進(jìn)行角部的缺陷檢測(cè)的問(wèn)題。
另外，上述液晶面板中，檢查對(duì)象點(diǎn)與進(jìn)行比較的兩點(diǎn)這3個(gè)點(diǎn)，必須均設(shè)置在像素部分或黑底部分中的任一方中，因此檢查對(duì)象點(diǎn)與比較點(diǎn)的間距必須與像素的間距相一致，存在檢查作業(yè)變得復(fù)雜這一問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于以上問(wèn)題，主要目的在于，提供一種即使在被檢查物的角部，也能夠檢測(cè)出缺陷，并且能夠容易地檢測(cè)出缺陷的缺陷檢測(cè)方法與裝置。
本發(fā)明的缺陷檢測(cè)方法，包括拍攝具有同一重復(fù)圖案的被檢查物，取得圖像的圖像取得步驟，與對(duì)所取得的圖像進(jìn)行缺陷強(qiáng)調(diào)處理的缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟，其特征在于上述缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟具有在攝像圖像中依次選擇檢查對(duì)象點(diǎn)的檢查對(duì)象點(diǎn)選擇步驟；以及從所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值，減去設(shè)置在其周?chē)亩鄠€(gè)比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值，求出各個(gè)差，選擇各個(gè)亮度差數(shù)據(jù)中值最小者，作為上述檢查對(duì)象點(diǎn)的缺陷強(qiáng)調(diào)值的缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算步驟。
另外，檢查對(duì)象點(diǎn)與比較對(duì)象點(diǎn)，例如可以通過(guò)拍攝TFT面板等被檢查物的CCD照相機(jī)的攝像像素單位來(lái)設(shè)定。
本發(fā)明中，缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟中，從所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值中，減去設(shè)置在其周?chē)亩鄠€(gè)比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值，求出各個(gè)差，選擇各個(gè)亮度差數(shù)據(jù)中值最小者，作為上述檢查對(duì)象點(diǎn)的缺陷強(qiáng)調(diào)值，因此即使在角部也能夠檢測(cè)出缺陷特別是亮缺陷。
例如，在TFT面板之類(lèi)的TFT像素部分與黑底(black matrix)部分交互以同一圖案形成的被檢查物中，多個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)中，至少1個(gè)位于與檢查對(duì)象點(diǎn)相同的區(qū)域就可以，也即如果檢查對(duì)象點(diǎn)位于TFT像素部分中，任一個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)也位于TFT像素部分中就可以，如果檢查對(duì)象點(diǎn)位于黑底部分中，任一個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)也位于黑底部分中就可以，因此在TFT面板的角部等以前無(wú)法進(jìn)行缺陷檢查的部分中，也能夠可靠而高精度地檢查。
也即，如果檢查對(duì)象點(diǎn)中沒(méi)有缺陷，就變?yōu)榕c比較對(duì)象點(diǎn)大致相同的亮度值，作為從檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值減去比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值所得到的差的數(shù)據(jù)的缺陷強(qiáng)調(diào)值的值也變?yōu)檩^小的值，從而能夠判斷沒(méi)有缺陷。
另外，在檢查對(duì)象點(diǎn)中有缺陷(亮缺陷)的情況下，即使是值最小的差數(shù)據(jù)，與沒(méi)有亮缺陷的情況相比，也變?yōu)橹递^大的缺陷強(qiáng)調(diào)值，因此能夠判斷存在亮缺陷。
另外，以前必須將檢查對(duì)象點(diǎn)與夾持該檢查對(duì)象點(diǎn)設(shè)置的兩個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)設(shè)置在同一個(gè)區(qū)域中，需要進(jìn)行讓檢查對(duì)象點(diǎn)與各個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)間的配置間距，匹配例如TFT像素或黑底的配置間距等的調(diào)整，缺陷檢測(cè)作業(yè)變得復(fù)雜。與此相對(duì)，本發(fā)明中，由于只需要將檢查對(duì)象點(diǎn)與1個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)設(shè)置在同一個(gè)區(qū)域中即可，因此能夠容易地進(jìn)行調(diào)整作業(yè)，從而能夠簡(jiǎn)化缺陷檢測(cè)作業(yè)。
本發(fā)明的缺陷檢測(cè)方法，包括拍攝具有同一重復(fù)圖案的被檢查物，取得圖像的圖像取得步驟，與對(duì)所取得的圖像進(jìn)行缺陷強(qiáng)調(diào)處理的缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟，其特征在于，上述缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟具有在攝像圖像中依次選擇檢查對(duì)象點(diǎn)的檢查對(duì)象點(diǎn)選擇步驟；以及從所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)周?chē)O(shè)置的多個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值中，減去上述所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值，求出各個(gè)差，選擇各個(gè)亮度差數(shù)據(jù)中值最小者，作為上述檢查對(duì)象點(diǎn)的缺陷強(qiáng)調(diào)值的缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算步驟。
本發(fā)明中，缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟中，從所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)周?chē)O(shè)置的多個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值中，減去檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值，求出各個(gè)差，選擇各個(gè)亮度差數(shù)據(jù)中值最小者，作為上述檢查對(duì)象點(diǎn)的缺陷強(qiáng)調(diào)值，因此即使在角部也能夠檢測(cè)出缺陷特別是暗缺陷。
因此，在TFT面板的角部等以前無(wú)法進(jìn)行缺陷檢查的部分中，也能夠可靠而高精度地檢查。也即，如果檢查對(duì)象點(diǎn)中沒(méi)有缺陷，就變?yōu)榕c比較對(duì)象點(diǎn)大致相同的亮度值，從作為比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值中減去檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值所得到的差數(shù)據(jù)的缺陷強(qiáng)調(diào)值的值也變?yōu)檩^小的值，因此能夠判斷沒(méi)有缺陷。
另外，在檢查對(duì)象點(diǎn)中有缺陷(暗缺陷)的情況下，即使是值最小的差值數(shù)據(jù)，與沒(méi)有暗缺陷的情況相比，也變?yōu)橹递^大的缺陷強(qiáng)調(diào)值，因此能夠判斷存在暗缺陷。
本發(fā)明中，只需要將檢查對(duì)象點(diǎn)與1個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)設(shè)置在同一個(gè)區(qū)域中就可以，因此能夠容易地進(jìn)行調(diào)整作業(yè)，從而能夠簡(jiǎn)化缺陷檢測(cè)作業(yè)。
本發(fā)明的缺陷檢測(cè)方法，包括拍攝具有同一重復(fù)圖案的被檢查物，取得圖像的圖像取得步驟，與對(duì)所取得的圖像進(jìn)行缺陷強(qiáng)調(diào)處理的缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟，其特征在于，上述缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟具有在攝像圖像中依次選擇檢查對(duì)象點(diǎn)的檢查對(duì)象點(diǎn)選擇步驟；以及從所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值中，減去設(shè)置在其周?chē)亩鄠€(gè)比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值，求出各個(gè)差，選擇各個(gè)亮度差數(shù)據(jù)中值最小者，作為上述檢查對(duì)象點(diǎn)的亮缺陷用缺陷強(qiáng)調(diào)值，并且從所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)周?chē)O(shè)置的多個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值中，減去上述所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值，求出各個(gè)差，選擇各個(gè)亮度差數(shù)據(jù)中值最小者，作為上述檢查對(duì)象點(diǎn)的暗缺陷用缺陷強(qiáng)調(diào)值的缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算步驟。
本發(fā)明中，將檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值減去比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值所求出的各個(gè)亮度差數(shù)據(jù)的最小值，作為上述檢查對(duì)象點(diǎn)的亮缺陷用缺陷強(qiáng)調(diào)值，將比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值減去檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值所求出的各個(gè)亮度差數(shù)據(jù)的最小值，作為上述檢查對(duì)象點(diǎn)的暗缺陷用缺陷強(qiáng)調(diào)值，因此即使在角部也能夠高精度檢測(cè)出亮缺陷與暗缺陷。
本發(fā)明的缺陷檢測(cè)方法，包括拍攝具有同一重復(fù)圖案的被檢查物，取得圖像的圖像取得步驟，與對(duì)所取得的圖像進(jìn)行缺陷強(qiáng)調(diào)處理的缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟，其特征在于，上述缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟具有在攝像圖像中依次選擇檢查對(duì)象點(diǎn)的檢查對(duì)象點(diǎn)選擇步驟；以及分別求出所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值，與設(shè)置在其周?chē)亩鄠€(gè)比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值之間的差，選擇各個(gè)亮度差數(shù)據(jù)中絕對(duì)值最小者，作為上述檢查對(duì)象點(diǎn)的缺陷強(qiáng)調(diào)值的缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算步驟。
另外，檢查對(duì)象點(diǎn)與比較對(duì)象點(diǎn)，例如可以通過(guò)拍攝TFT面板等被檢查物的CCD(Charge Coupled Devices)照相機(jī)的攝像像素單位來(lái)設(shè)定。
本發(fā)明中，缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟中，分別求出檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值，與其周?chē)亩鄠€(gè)比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值之間的差，將絕對(duì)值最小的差值數(shù)據(jù)，作為該檢查對(duì)象點(diǎn)的缺陷強(qiáng)調(diào)值，因此即使在角部也能夠檢測(cè)出缺陷特別是亮缺陷。
例如，在TFT面板之類(lèi)的TFT像素部分與黑底部分交互以同一圖案形成的被檢查物中，多個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)中，至少1個(gè)位于與檢查對(duì)象點(diǎn)相同的區(qū)域就可以，也即如果檢查對(duì)象點(diǎn)位于TFT像素部分中，任一個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)也位于TFT像素部分中就可以，如果檢查對(duì)象點(diǎn)位于黑底部分中，任一個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)也位于黑底部分中就可以，因此在TFT面板的角部等以前無(wú)法進(jìn)行缺陷檢查的部分中，也能夠可靠而高精度地進(jìn)行檢查。
也即，如果檢查對(duì)象點(diǎn)中沒(méi)有缺陷，就變?yōu)榕c比較對(duì)象點(diǎn)大致相同的亮度值，作為其差數(shù)據(jù)的缺陷強(qiáng)調(diào)值的值也變?yōu)檩^小的值，能夠判斷沒(méi)有缺陷。
另外，在檢查對(duì)象點(diǎn)中有缺陷(亮缺陷或暗缺陷)的情況下，即使是絕對(duì)值最小的差數(shù)據(jù)，與沒(méi)有缺陷的情況相比，也變?yōu)榻^對(duì)值較大的缺陷強(qiáng)調(diào)值，因此能夠判斷存在缺陷。
另外，以前必須將檢查對(duì)象點(diǎn)與夾持該檢查對(duì)象點(diǎn)設(shè)置的兩個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)設(shè)置在同一個(gè)區(qū)域中，需要進(jìn)行讓檢查對(duì)象點(diǎn)與各個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)間的配置間距，匹配例如TFT像素或黑底的配置間距等的調(diào)整，缺陷檢測(cè)作業(yè)變得復(fù)雜。與此相對(duì)，本發(fā)明中，由于只需要將檢查對(duì)象點(diǎn)與1個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)設(shè)置在同一個(gè)區(qū)域中就可以，因此能夠容易地進(jìn)行調(diào)整作業(yè)，從而能夠簡(jiǎn)化缺陷檢測(cè)作業(yè)。
本發(fā)明中，最好還具有對(duì)通過(guò)上述缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算步驟所得到的缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果使用中值濾波器，進(jìn)行噪聲成分的去除處理的噪聲去除步驟；將通過(guò)噪聲去除步驟去除了噪聲成分的缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果的各個(gè)缺陷強(qiáng)調(diào)值，與給定的閾值進(jìn)行比較，提取缺陷部分的缺陷提取步驟；以及取得包括由缺陷提取步驟所提取的缺陷部分的面積與位置的缺陷信息，判斷缺陷內(nèi)容的缺陷判斷步驟。
噪聲去除步驟中，中值濾波器，例如可以使用例如將3×3的9像素的各個(gè)缺陷強(qiáng)調(diào)值的中值(中央值)設(shè)為位于3×3的中心處的對(duì)象點(diǎn)的缺陷強(qiáng)調(diào)值的中值濾波器。
通過(guò)使用這樣的中值濾波器，能夠去除缺陷以外的噪聲，從而能夠更加高精度地檢測(cè)出缺陷。
并且，缺陷提取步驟中，將去除了噪聲的缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果的缺陷強(qiáng)調(diào)值與給定的閾值進(jìn)行比較，提取缺陷部分。
例如，在從檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值減去比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值求出差值的情況下，如果比較對(duì)象點(diǎn)是比其他部分亮的亮缺陷，缺陷強(qiáng)調(diào)值就變?yōu)檎?，如果是較暗的暗缺陷就變?yōu)樨?fù)值。這種情況下，在預(yù)先設(shè)定的亮缺陷閾值以上的區(qū)域中提取亮缺陷部分，在暗缺陷閾值以下的區(qū)域中提取暗缺陷部分，適當(dāng)設(shè)定閾值，通過(guò)這樣能夠高精度檢測(cè)出缺陷部分。另外，在檢測(cè)缺陷部分時(shí)，求出了比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值減去檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值的差值的情況下，暗缺陷的強(qiáng)調(diào)值也變?yōu)檎?，因此可以將預(yù)先設(shè)定的暗缺陷用閾值以上的區(qū)域作為暗缺陷部分提取。
進(jìn)而，缺陷判斷步驟中，取得缺陷部分的面積或位置等缺陷信息，根據(jù)該信息評(píng)價(jià)判斷缺陷內(nèi)容，因此能夠客觀地評(píng)價(jià)缺陷，還能夠進(jìn)行分級(jí)，因此能夠容易地判斷不良品。
本發(fā)明中，最好讓上述缺陷強(qiáng)調(diào)步驟，使得從檢查對(duì)象點(diǎn)到各個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)的距離不同，進(jìn)行缺陷強(qiáng)調(diào)處理，并進(jìn)行將所得到的缺陷強(qiáng)調(diào)值中最大者作為該檢查對(duì)象點(diǎn)的缺陷強(qiáng)調(diào)值的合成處理，輸出1個(gè)缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果。
本發(fā)明中，如果檢查對(duì)象點(diǎn)與周?chē)母鱾€(gè)比較對(duì)象點(diǎn)均進(jìn)入到1個(gè)缺陷區(qū)域內(nèi)，則由于各個(gè)對(duì)象點(diǎn)的亮度值的差值也較小，因此無(wú)法檢測(cè)出缺陷。另外，如果檢查對(duì)象點(diǎn)與比較對(duì)象點(diǎn)間的距離過(guò)大，則在檢查對(duì)象點(diǎn)與比較對(duì)象點(diǎn)存在于不同的缺陷區(qū)域中等情況下，無(wú)法準(zhǔn)確檢測(cè)出缺陷。也即，本發(fā)明中，對(duì)應(yīng)于檢查對(duì)象點(diǎn)與比較對(duì)象點(diǎn)間的距離，使得能夠檢測(cè)出的缺陷的大小不同。
因此，如果使得檢查對(duì)象點(diǎn)與比較對(duì)象點(diǎn)間的距離不同，依次進(jìn)行缺陷強(qiáng)調(diào)處理，就能夠?qū)?duì)應(yīng)于該距離的缺陷分別進(jìn)行強(qiáng)調(diào)。因此，如果將各個(gè)缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果進(jìn)行合成處理，就能夠通過(guò)該合成處理結(jié)果，容易地檢測(cè)出尺寸不同的缺陷的產(chǎn)生位置及其大小。
本發(fā)明中，最好讓上述比較對(duì)象點(diǎn)，夾持檢查對(duì)象點(diǎn)分別設(shè)置在左右、上下、斜方向，總計(jì)設(shè)有8個(gè)。
比較對(duì)象點(diǎn)，通常在檢查對(duì)象點(diǎn)的周?chē)O(shè)置4個(gè)以上就可以了，但如果在檢查對(duì)象點(diǎn)的左右、上下、斜方向總計(jì)設(shè)置8個(gè)，就能夠高精度并高效率檢測(cè)出缺陷。也即，檢查對(duì)象點(diǎn)較多，雖然能夠提高缺陷檢測(cè)精度，但增加了差值處理數(shù)，處理效率降低。與此相對(duì)，如果像本發(fā)明這樣，設(shè)置8個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)，就能夠?qū)崿F(xiàn)檢測(cè)精度與處理效率的兩全。
本發(fā)明的缺陷檢測(cè)裝置，包括拍攝具有同一重復(fù)圖案的被檢查物，取得圖像的圖像取得機(jī)構(gòu)，與對(duì)所取得的圖像進(jìn)行缺陷強(qiáng)調(diào)處理的缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)，其特征在于，上述缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)具有在攝像圖像中依次選擇檢查對(duì)象點(diǎn)的檢查對(duì)象點(diǎn)選擇部；以及從所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值中，減去設(shè)置在其周?chē)亩鄠€(gè)比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值，求出各個(gè)差，選擇各個(gè)亮度差數(shù)據(jù)中值最小者，作為上述檢查對(duì)象點(diǎn)的缺陷強(qiáng)調(diào)值的缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算部。
本發(fā)明的缺陷檢測(cè)裝置，包括拍攝具有同一重復(fù)圖案的被檢查物，取得圖像的圖像取得機(jī)構(gòu)，與對(duì)所取得的圖像進(jìn)行缺陷強(qiáng)調(diào)處理的缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)，其特征在于，上述缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)具有在攝像圖像中依次選擇檢查對(duì)象點(diǎn)的檢查對(duì)象點(diǎn)選擇部；以及從所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)周?chē)O(shè)置的多個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值中，減去上述所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值，求出各個(gè)差，選擇各個(gè)亮度差數(shù)據(jù)中值最小者，作為上述檢查對(duì)象點(diǎn)的缺陷強(qiáng)調(diào)值的缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算部。
本發(fā)明的缺陷檢測(cè)裝置，包括拍攝具有同一重復(fù)圖案的被檢查物，取得圖像的圖像取得機(jī)構(gòu)，與對(duì)所取得的圖像進(jìn)行缺陷強(qiáng)調(diào)處理的缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)，其特征在于，上述缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)具有在攝像圖像中依次選擇檢查對(duì)象點(diǎn)的檢查對(duì)象點(diǎn)選擇部；以及從所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值中，減去設(shè)置在其周?chē)亩鄠€(gè)比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值，求出各個(gè)差，選擇各個(gè)亮度差數(shù)據(jù)中值最小者，作為上述檢查對(duì)象點(diǎn)的亮缺陷用缺陷強(qiáng)調(diào)值，并且從所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)周?chē)O(shè)置的多個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值中，減去上述所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值，求出各個(gè)差，選擇各個(gè)亮度差數(shù)據(jù)中值最小者，作為上述檢查對(duì)象點(diǎn)的暗缺陷用缺陷強(qiáng)調(diào)值的缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算部。
本發(fā)明的缺陷檢測(cè)裝置，包括拍攝具有同一重復(fù)圖案的被檢查物，取得圖像的圖像取得機(jī)構(gòu)，與對(duì)所取得的圖像進(jìn)行缺陷強(qiáng)調(diào)處理的缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)，其特征在于，上述缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)具有在攝像圖像中依次選擇檢查對(duì)象點(diǎn)的檢查對(duì)象點(diǎn)選擇部；以及分別求出所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值，與設(shè)置在其周?chē)亩鄠€(gè)比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值之間的差，選擇各個(gè)亮度差數(shù)據(jù)中絕對(duì)值最小者，作為上述檢查對(duì)象點(diǎn)的缺陷強(qiáng)調(diào)值的缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算部。
本發(fā)明的缺陷檢查裝置，最好還具有對(duì)通過(guò)上述缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算步驟所得到的缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果使用中值濾波器，進(jìn)行噪聲成分的去除處理的噪聲去除機(jī)構(gòu)；將通過(guò)噪聲去除機(jī)構(gòu)去除了噪聲成分的缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果的各個(gè)缺陷強(qiáng)調(diào)值，與給定的閾值進(jìn)行比較，提取缺陷部分的缺陷提取機(jī)構(gòu)；以及取得包括由缺陷提取機(jī)構(gòu)所提取的缺陷部分的面積與位置的缺陷信息，判斷缺陷內(nèi)容的缺陷判斷機(jī)構(gòu)。
以上的各個(gè)缺陷檢測(cè)裝置，也能夠起到與上述缺陷檢測(cè)方法同樣的作用效果。


圖1為本發(fā)明的實(shí)施方式的畫(huà)面缺陷檢測(cè)裝置的方框結(jié)構(gòu)圖。
圖2為說(shuō)明該缺陷檢測(cè)裝置的動(dòng)作的流程圖。
圖3為說(shuō)明缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟的動(dòng)作的流程圖。
圖4為表示對(duì)攝像圖像的檢查對(duì)象點(diǎn)與比較對(duì)象點(diǎn)的配置例子的圖。
圖5為表示本實(shí)施方式中所檢測(cè)出的缺陷的例子的圖。
圖6為表示本實(shí)施方式中沒(méi)有檢測(cè)出的污跡缺陷的例子的圖。
圖7為表示檢查對(duì)象點(diǎn)與比較對(duì)象點(diǎn)的另一配置例子的圖。
圖8為表示檢查對(duì)象點(diǎn)與比較對(duì)象點(diǎn)的另一配置例子的圖。
圖9為表示缺陷檢測(cè)結(jié)果的圖。
圖10為表示本實(shí)施方式中所檢測(cè)出的缺陷的例子的圖。
圖11為表示通過(guò)第2實(shí)施方式檢測(cè)出圖10所示的缺陷的結(jié)果的圖。
圖12為表示通過(guò)第1實(shí)施方式檢測(cè)出圖10所示的缺陷的結(jié)果的圖。
圖13為表示檢查對(duì)象點(diǎn)與比較對(duì)象點(diǎn)的配置的變形例的圖。
具體實(shí)施例方式圖1為表示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的相關(guān)缺陷檢測(cè)裝置之構(gòu)成的框圖。
圖1中，1為作為檢查對(duì)象的液晶面板(TFT面板)，2為光源。3為作為給液晶面板1輸出各種圖案的圖案生成裝置的圖案發(fā)生器，5為作為攝影液晶面板1的攝影機(jī)構(gòu)的CCD照相機(jī)，搭載了具有液晶面板1的分辨率以上的分辨率的CCD。6為作為控制圖案發(fā)生器3與CCD照相機(jī)5，檢測(cè)出液晶面板1的缺陷的圖像處理機(jī)構(gòu)的計(jì)算機(jī)裝置，7為與計(jì)算機(jī)裝置6相連接的顯示裝置。
計(jì)算機(jī)裝置6，由圖像輸入機(jī)構(gòu)60、缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)61、噪聲去除機(jī)構(gòu)62、缺陷提取機(jī)構(gòu)63、以及缺陷判斷機(jī)構(gòu)64構(gòu)成。
計(jì)算機(jī)裝置6的圖像輸入機(jī)構(gòu)60中，被輸入由CCD照相機(jī)5所拍攝的取入圖像的圖像數(shù)據(jù)。該取入圖像存儲(chǔ)在未圖示的存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)中。因此，實(shí)施通過(guò)圖像輸入機(jī)構(gòu)60使用CCD照相機(jī)5拍攝檢查對(duì)象的圖像取得步驟(攝影步驟)。
缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)61，實(shí)施對(duì)所取得的圖像進(jìn)行缺陷強(qiáng)調(diào)處理的缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟，具有實(shí)施在攝像圖像中依次選擇檢查對(duì)象點(diǎn)的檢查對(duì)象點(diǎn)選擇步驟的檢查對(duì)象點(diǎn)選擇部611；和缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算部612，其實(shí)施分別求出所選定的檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值與多個(gè)設(shè)置在其周?chē)谋容^對(duì)象點(diǎn)的亮度值的差，選擇各個(gè)亮度差數(shù)據(jù)中值最小的，作為上述檢查對(duì)象點(diǎn)的缺陷強(qiáng)調(diào)值的缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算步驟。
另外，缺陷中包括相對(duì)其他像素部分亮度值高的亮缺陷，和亮度值低的暗缺陷。因此，本實(shí)施方式的缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算部612，分別計(jì)算出亮缺陷用缺陷強(qiáng)調(diào)值與暗缺陷用缺陷強(qiáng)調(diào)值。
噪聲去除機(jī)構(gòu)62，實(shí)施對(duì)缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)61所得到的結(jié)果(亮缺陷用缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果與暗缺陷用缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果)，分別使用中值濾波器，去除噪聲的噪聲去除步驟。
缺陷提取機(jī)構(gòu)63，將噪聲去除機(jī)構(gòu)62所處理的結(jié)果與給定的閾值進(jìn)行比較，提取缺陷候補(bǔ)。另外，閾值設(shè)定有亮缺陷閾值與暗缺陷閾值，通過(guò)將去除了噪聲的亮缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果與亮缺陷閾值進(jìn)行比較，提取亮缺陷區(qū)域，通過(guò)將去除了噪聲的暗缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果與暗缺陷閾值進(jìn)行比較，提取暗缺陷區(qū)域。
缺陷判斷機(jī)構(gòu)64，根據(jù)所提取的各個(gè)缺陷區(qū)域的面積、位置等，評(píng)價(jià)缺陷的等級(jí)，對(duì)此次的檢查對(duì)象相當(dāng)于哪一個(gè)缺陷等級(jí)進(jìn)行分類(lèi)。
接下來(lái)，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式的缺陷檢測(cè)裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
圖2為說(shuō)明本實(shí)施方式的缺陷檢測(cè)裝置的動(dòng)作的流程圖。圖2所示的動(dòng)作，通過(guò)在計(jì)算機(jī)裝置6上所執(zhí)行的程序來(lái)實(shí)現(xiàn)。
首先，如果設(shè)置了檢查對(duì)象的液晶面板1，便通過(guò)計(jì)算機(jī)裝置6控制圖案發(fā)生器3，在液晶面板1上顯示特定的圖像圖案(步驟1，以下將步驟簡(jiǎn)稱(chēng)作“ST”)。
另外，通過(guò)圖案發(fā)生器3所顯示的圖像圖案，例如有為了容易檢測(cè)出暗缺陷而將全畫(huà)面顯示為白色的全白畫(huà)面圖案、為了容易檢測(cè)出亮缺陷而將全畫(huà)面顯示為黑色的全黑畫(huà)面圖案、以及中間色調(diào)的畫(huà)面圖案等，對(duì)應(yīng)于要檢測(cè)出的缺陷種類(lèi)，適當(dāng)設(shè)定。
接下來(lái)，圖像輸入機(jī)構(gòu)60進(jìn)行通過(guò)CCD照相機(jī)5拍攝液晶面板1的圖像，并獲取該拍攝數(shù)據(jù)的圖像的圖像取得步驟(攝影步驟)(ST2)。此時(shí)，攝影數(shù)據(jù)通過(guò)未圖示的A/D變換器，作為4096灰度(12位)的數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)，輸出給計(jì)算機(jī)裝置6。
接下來(lái)，缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)61，進(jìn)行對(duì)所取得的圖像強(qiáng)調(diào)缺陷的缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟(ST3)。該缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟ST3，是由于低對(duì)比度的缺陷很難直接檢測(cè)出來(lái)，而進(jìn)行只對(duì)圖像中的缺陷進(jìn)行強(qiáng)調(diào)的處理。缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟ST3，通過(guò)圖3所示的處理流程實(shí)施。
缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)61，首先，通過(guò)檢查對(duì)象點(diǎn)選擇部611選定成為檢查對(duì)象的檢查對(duì)象點(diǎn)(ST31)。由于檢查對(duì)象點(diǎn)與比較對(duì)象點(diǎn)的相對(duì)位置(方向與距離)被預(yù)先設(shè)定，因此如果選擇檢查對(duì)象點(diǎn)，便同時(shí)選擇比較對(duì)象點(diǎn)。
本實(shí)施方式中，如圖4所示，通過(guò)與液晶面板1的TFT像素11相比分辨率高(尺寸小)的CCD照相機(jī)5的各個(gè)攝像像素單位選定對(duì)象點(diǎn)。另外，圖4中，被矩形所包圍的部分是液晶面板1的TFT像素11的部分，其之間是黑底12部分。
本實(shí)施方式中，夾持檢查對(duì)象點(diǎn)O上下(縱向)設(shè)置比較對(duì)象點(diǎn)S1、S5，夾持檢查對(duì)象點(diǎn)O左右(橫向)設(shè)置比較對(duì)象點(diǎn)S7、S3。另外，夾持檢查對(duì)象點(diǎn)O斜向(從右斜上向左斜下方向)設(shè)置比較對(duì)象點(diǎn)S2、S6，夾持檢查對(duì)象點(diǎn)O斜向(從左斜上向右斜下方向)設(shè)置比較對(duì)象點(diǎn)S8、S4。
并且，各個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)S1與S5、比較對(duì)象點(diǎn)S2與S6、比較對(duì)象點(diǎn)S3與S7、比較對(duì)象點(diǎn)S4與S8設(shè)置在以檢查對(duì)象點(diǎn)O為中心的點(diǎn)對(duì)稱(chēng)的位置上。
另外，各個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)S1、檢查對(duì)象點(diǎn)O、比較對(duì)象點(diǎn)S5，與比較對(duì)象點(diǎn)S2、S3、S4，與比較對(duì)象點(diǎn)S8、S7、S6，分別在縱向上對(duì)齊設(shè)置。
同樣，各個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)S2、S1、S8，與比較對(duì)象點(diǎn)S3、檢查對(duì)象點(diǎn)O、比較對(duì)象點(diǎn)S7，與比較對(duì)象點(diǎn)S4、S5、S6，分別在橫向上對(duì)齊設(shè)置。
也即，比較對(duì)象點(diǎn)S1與比較對(duì)象點(diǎn)S2、S8間的尺寸，或比較對(duì)象點(diǎn)S5與比較對(duì)象點(diǎn)S4、S6間的尺寸，設(shè)為與檢查對(duì)象點(diǎn)O和比較對(duì)象點(diǎn)S3、S7間的尺寸(橫間距尺寸)L1相同的尺寸。
另外，比較對(duì)象點(diǎn)S3與比較對(duì)象點(diǎn)S2、S4間的尺寸，或比較對(duì)象點(diǎn)S7與比較對(duì)象點(diǎn)S6、S8間的尺寸，設(shè)為與檢查對(duì)象點(diǎn)O和比較對(duì)象點(diǎn)S1、S5間的尺寸(縱間距尺寸)L2相同的尺寸。
上述橫間距尺寸L1，設(shè)為與液晶面板1的像素11的橫間距尺寸，也即像素11的中心點(diǎn)和與其橫向相鄰的像素11的中心點(diǎn)之間的間距尺寸(黑底12的中心點(diǎn)與夾持像素11的黑底12的中心點(diǎn)的間距也一樣)不同的尺寸。本實(shí)施方式中，橫間距尺寸L1，與像素11的間距尺寸相比設(shè)置地較大。
同樣，上述縱間距尺寸L2，設(shè)為與液晶面板1的像素11的縱間距尺寸，也即像素11的中心點(diǎn)和與其上下相鄰的像素11的中心點(diǎn)之間的間距尺寸(黑底12的中心點(diǎn)與夾持像素11的黑底12的中心點(diǎn)的間距也一樣)不同的尺寸。本實(shí)施方式中，縱間距尺寸L2，與像素11的間距尺寸相比也設(shè)置地較大。
本發(fā)明中，只要比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8中的任一個(gè)處于與檢查對(duì)象點(diǎn)O相同的區(qū)域就可以，也即在檢查對(duì)象點(diǎn)O位于像素11部分中的情況下，只要比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8中的任一個(gè)處于像素11部分中就可以，不需要像以前那樣，將檢查對(duì)象點(diǎn)O與夾持其的2個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)這3個(gè)點(diǎn)設(shè)置在同一個(gè)區(qū)域中。因此，各個(gè)間距尺寸L1、L2，不需要符合像素11的間距尺寸。
另外，根據(jù)同樣的理由，橫間距尺寸L1與縱間距尺寸L2，既可以是相同的尺寸，又可以是不同的尺寸。
如圖3所示，如果進(jìn)行了檢查對(duì)象點(diǎn)O以及比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8的選擇步驟(ST31)，則缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)61便執(zhí)行缺陷強(qiáng)調(diào)值的計(jì)算步驟(ST32)。具體地說(shuō)，缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)61的缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算部612，進(jìn)行亮缺陷的缺陷強(qiáng)調(diào)值的計(jì)算與暗缺陷強(qiáng)調(diào)值的計(jì)算。
缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算部612，首先為了計(jì)算出亮缺陷的缺陷強(qiáng)調(diào)值，而求出檢查對(duì)象點(diǎn)O的亮度值減去各個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)S 1～S8的亮度值之后的差F。也即，在設(shè)檢查對(duì)象點(diǎn)O的亮度值為“O”，比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8各自的亮度值為“S1～S8”時(shí)，使用下式1～8，計(jì)算出差F1～F8。
F1＝O-S1(式1)F2＝O-S2(式2)F3＝O-S3(式3)F4＝O-S4(式4)F5＝O-S5(式5)F6＝O-S6(式6)F7＝O-S7(式7)F8＝O-S8(式8)缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算部612進(jìn)行過(guò)以上的計(jì)算之后，選擇F1～F8的各個(gè)值中最小的值，將該值作為檢查對(duì)象點(diǎn)O中的亮缺陷用缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果。
例如，在比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8所包圍的區(qū)域內(nèi)不存在缺陷的情況下，變?yōu)闄z查對(duì)象點(diǎn)O的亮度值與各個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8的亮度值幾乎沒(méi)有差別的狀態(tài)。因此，上述F1至F8均為比較小的值。
另外，如圖5所示，在比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8所包圍的區(qū)域內(nèi)，存在與其他部分相比較亮的缺陷70，檢查對(duì)象點(diǎn)O為其一部分的情況下，與檢查對(duì)象點(diǎn)O相比，各個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8的亮度值變低。因此，上述F1至F8與沒(méi)有缺陷70的情況相比，變?yōu)檩^大的值。
另外，如圖6所示，在一部分比較對(duì)象點(diǎn)S5、S6、S7與檢查對(duì)象點(diǎn)O一起，包括在缺陷70內(nèi)的情況下，包括在缺陷70中的比較對(duì)象點(diǎn)S5～S7的亮度值與檢查對(duì)象點(diǎn)O的亮度值的差變小。
也即，如圖5所示，在比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8所包圍的區(qū)域內(nèi)存在亮缺陷70的情況下，上述F1至F8均變?yōu)檩^大的值。另外，在沒(méi)有亮缺陷的情況下，或如圖6所示，在缺陷70沒(méi)有被包括在比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8所包圍的區(qū)域內(nèi)的情況下，上述F1至F8的至少1個(gè)變?yōu)檩^小的值。因此，如果選擇上述F1至F8中的最小值，就能夠檢測(cè)出是否存在包括檢查對(duì)象點(diǎn)O，并且容納在被比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8所包圍的區(qū)域內(nèi)的亮缺陷70，因此可以將該最小值作為各個(gè)檢查對(duì)象點(diǎn)O的缺陷強(qiáng)調(diào)值存儲(chǔ)。
接下來(lái)，缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算部612，為了計(jì)算出暗缺陷的缺陷強(qiáng)調(diào)值，而求出各個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8的亮度值減去檢查對(duì)象點(diǎn)O的亮度值之后的差F。也即，使用下式9～16，計(jì)算出差F9～F16。
F9＝S1-O(式9)F10＝S2-O(式10)F11＝S3-O(式11)F12＝S4-O(式12)F13＝S5-O(式13)F14＝S6-O(式14)F15＝S7-O(式15)F16＝S8-O(式16)缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算部612進(jìn)行過(guò)以上的計(jì)算之后，選擇F9～F16的各個(gè)值中最小的值，將該值作為檢查對(duì)象點(diǎn)O中的暗缺陷用缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果。
也即，與上述亮缺陷的情況下相同，在比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8所包圍的區(qū)域內(nèi)存在暗缺陷的情況下，上述F9至F16均為比較大的值。另外，在不存在暗缺陷的情況下，或在缺陷70沒(méi)有被包括在比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8所包圍的區(qū)域內(nèi)的情況下，上述F9至F16的至少1個(gè)變?yōu)檩^小的值。因此，如果選擇上述F9至F16中的最小值，就能夠檢測(cè)出是否存在包括檢查對(duì)象點(diǎn)O，并且容納在被比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8所包圍的區(qū)域內(nèi)的亮缺陷70，因此可以將該最小值作為各個(gè)檢查對(duì)象點(diǎn)O的缺陷強(qiáng)調(diào)值存儲(chǔ)。
缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)61，如圖3所示，判斷所取得的所有圖像是否完成了亮缺陷與暗缺陷的缺陷強(qiáng)調(diào)處理(ST33)，在處理未完成的情況下，移動(dòng)檢查對(duì)象點(diǎn)O(ST31)，進(jìn)行缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算步驟ST32。也即，在將檢查對(duì)象點(diǎn)O設(shè)定為CCD照相機(jī)5的攝像像素單位的情況下，可以每攝像像素依次移動(dòng)檢查對(duì)象點(diǎn)O，進(jìn)行缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算步驟ST32。
另外，在ST33中處理完成的情況下，判斷是否需要缺陷檢查尺寸的變更(ST34)。
缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)61的缺陷強(qiáng)調(diào)處理，適于比由比較對(duì)象點(diǎn)S 1～S8所包圍的面積小一圈的面積的缺陷的提取。也即，如圖6所示，無(wú)法進(jìn)行面積大于比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8所包圍的面積的缺陷的檢測(cè)，另外，面積大幅小于比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8所包圍的面積的缺陷中，比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8的任一個(gè)中設(shè)有其他缺陷的可能性較高，檢測(cè)精度降低。
因此，在要強(qiáng)調(diào)的缺陷的尺寸有多個(gè)的情況下，可以對(duì)應(yīng)于該尺寸設(shè)定檢查對(duì)象點(diǎn)O與比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8之間的距離，進(jìn)行上述檢查對(duì)象點(diǎn)選擇步驟ST31與缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算步驟ST32。
因此，缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)61，在ST34中設(shè)為檢測(cè)其他尺寸的缺陷的情況下，變更檢查對(duì)象點(diǎn)O與比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8的距離(ST35)，再次重復(fù)執(zhí)行檢查對(duì)象點(diǎn)選擇步驟ST31與缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算步驟ST32。
本實(shí)施方式中，如圖7與圖8所示，使得從檢查對(duì)象點(diǎn)O到比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8之間的距離不同，對(duì)檢查對(duì)象圖像全體進(jìn)行缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算步驟ST32，通過(guò)圖7的設(shè)定檢測(cè)出比圖5的缺陷小一圈的缺陷，并通過(guò)圖8的設(shè)定檢測(cè)出更小的缺陷。
缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)61，重復(fù)ST31～ST35的處理，在預(yù)先指定的尺寸的缺陷的檢測(cè)結(jié)束，ST34中判斷為“否”的情況下，合成各個(gè)尺寸的亮缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果作為1個(gè)亮缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果，合成各個(gè)尺寸的暗缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果作為1個(gè)暗缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果，分別輸出各個(gè)結(jié)果(ST36)。
例如，在將檢查對(duì)象點(diǎn)O與比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8間的距離，變更為圖4、7、8所示的3種，并進(jìn)行了缺陷強(qiáng)調(diào)計(jì)算步驟ST32的情況下，能夠得到亮缺陷用與暗缺陷用各3個(gè)的缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果，因此，最后合成各自的缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果。各個(gè)缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果，存儲(chǔ)在檢查對(duì)象點(diǎn)O的排列也即對(duì)應(yīng)于CCD照相機(jī)5的攝像像素的排列中，因此通過(guò)將各個(gè)缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果相同的點(diǎn)(攝像像素)的缺陷強(qiáng)調(diào)值之間進(jìn)行比較，將最大值作為該檢查對(duì)象點(diǎn)O的缺陷強(qiáng)調(diào)值，就能夠合成缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果。
像這樣合成處理強(qiáng)調(diào)結(jié)果，是為了提高檢測(cè)精度。也即，通過(guò)讓檢查對(duì)象點(diǎn)O與比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8的距離不同，能夠高精度檢測(cè)出大小不同的各種缺陷。并且，在從各個(gè)強(qiáng)調(diào)結(jié)果中提取缺陷并分別評(píng)價(jià)的情況下，1個(gè)缺陷有時(shí)被分為大小不同的強(qiáng)調(diào)結(jié)果檢測(cè)出來(lái)，從而使得實(shí)際的缺陷與強(qiáng)調(diào)結(jié)果不一致。因此，為了讓結(jié)果相一致而合成多個(gè)強(qiáng)調(diào)結(jié)果，通過(guò)這樣將分離的缺陷合成為1個(gè)，提高檢測(cè)精度。
缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟ST3結(jié)束之后，如圖2所示，噪聲去除機(jī)構(gòu)62，實(shí)施對(duì)上述缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟ST3的結(jié)果也即亮缺陷檢測(cè)圖像與暗缺陷檢測(cè)圖像，分別作用中值濾波器，將因噪聲而分離的缺陷成分連接起來(lái)并平滑化，去除缺陷以外的噪聲的噪聲去除步驟(ST4)。中值濾波器，例如可以使用例如將3×3的9像素的各個(gè)亮度值的中值(中央值)設(shè)為位于3×3的中心處的對(duì)象點(diǎn)的亮度值的中值濾波器。
接下來(lái)，缺陷提取機(jī)構(gòu)63，實(shí)施對(duì)去除了噪聲后的各個(gè)缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果，設(shè)定切出亮缺陷的閾值與切出暗缺陷的閾值，切出各個(gè)缺陷候補(bǔ)的區(qū)域的缺陷提取步驟(ST5)。也即，缺陷提取機(jī)構(gòu)63，對(duì)亮缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果，將亮缺陷閾值以上的區(qū)域作為亮缺陷區(qū)域檢測(cè)出來(lái)，對(duì)暗缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果，將暗缺陷閾值以上的區(qū)域作為暗缺陷區(qū)域檢測(cè)出來(lái)。
這里，各個(gè)閾值可以對(duì)應(yīng)于圖像的狀況，設(shè)定最佳的值。例如可以求出缺陷強(qiáng)調(diào)值(亮度值)的平均值及其標(biāo)準(zhǔn)偏差，通過(guò)以下公式設(shè)定閾值。
亮缺陷閾值 wslevel＝avr+α1·σ+β1暗缺陷閾值 bslevel＝avr+α2·σ+β2這里，avr是各個(gè)缺陷強(qiáng)調(diào)值的平均值，σ是各個(gè)缺陷強(qiáng)調(diào)值的標(biāo)準(zhǔn)偏差，α1、α2、β1、β2是任意的數(shù)，根據(jù)成為檢查對(duì)象的圖像的狀況適當(dāng)決定。
這里，噪聲去除機(jī)構(gòu)62處理后的結(jié)果通過(guò)給定的缺陷閾值進(jìn)行2值化之后的結(jié)果，如圖9所示。圖9示出了通過(guò)亮缺陷閾值切出亮缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果，顯示為黑色的區(qū)域，表示所提取的亮缺陷區(qū)域。另外，雖然未圖示，但缺陷提取機(jī)構(gòu)63，還利用暗缺陷閾值，將噪聲去除機(jī)構(gòu)62處理過(guò)的暗缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果2值化，提取暗缺陷區(qū)域。
接下來(lái)，缺陷判斷機(jī)構(gòu)64，實(shí)施對(duì)亮缺陷提取圖像與暗缺陷提取圖像求出缺陷區(qū)域的面積或位置，通過(guò)所計(jì)算出的缺陷區(qū)域的面積或位置，分類(lèi)該圖像中的缺陷的等級(jí)的缺陷判斷步驟(ST6)。
缺陷判斷機(jī)構(gòu)64所求出的缺陷等級(jí)，顯示在顯示裝置7中，檢查員能夠容易地掌握檢查對(duì)象的液晶面板1的缺陷等級(jí)。
根據(jù)本實(shí)施方式，具有以下效果。
(1)缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)61，求出對(duì)所拍攝的圖像所設(shè)定的檢查對(duì)象點(diǎn)O的亮度值，與設(shè)定在其周?chē)?個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)S 1～S8的亮度值之間的差，將該值中最小的值作為檢查對(duì)象點(diǎn)O的缺陷強(qiáng)調(diào)值，因此如果8個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8中至少1個(gè)，位于與檢查對(duì)象點(diǎn)O相同的區(qū)域(被檢查物的同樣圖案)中，就能夠強(qiáng)調(diào)該缺陷并檢測(cè)出來(lái)。因此，即使液晶面板1的角部中有缺陷，也能夠高精度檢測(cè)出來(lái)，即使低對(duì)比度的缺陷存在于同一重復(fù)圖案內(nèi)，也能夠高精度檢測(cè)出來(lái)。
(2)不需要像以前那樣，將夾持檢查對(duì)象點(diǎn)設(shè)置的兩個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)設(shè)置在同一個(gè)區(qū)域內(nèi)，因此檢查對(duì)象點(diǎn)O以及各個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8間的距離，不需要對(duì)應(yīng)TFT像素11或黑底12等相同圖案的設(shè)置間距，能夠容易地進(jìn)行檢查對(duì)象點(diǎn)O或比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8的設(shè)定作業(yè)，從而能夠簡(jiǎn)化缺陷檢測(cè)作業(yè)。
(3)進(jìn)而，通過(guò)適當(dāng)設(shè)定檢查對(duì)象點(diǎn)O與比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8的距離，能夠設(shè)定可強(qiáng)調(diào)的缺陷的大小，因此能夠容易地且高精度檢測(cè)出要檢測(cè)的尺寸的缺陷。
另外，缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟ST3中，在使得檢查對(duì)象點(diǎn)O與比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8的距離不同，并進(jìn)行缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算步驟ST32，對(duì)各種尺寸的缺陷進(jìn)行了強(qiáng)調(diào)處理之后，在缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果合成步驟ST36中合成缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果，因此只通過(guò)評(píng)價(jià)該合成結(jié)果，就能夠集中各個(gè)尺寸的缺陷并容易地檢測(cè)出來(lái)。
(4)本實(shí)施方式中，缺陷強(qiáng)調(diào)值通過(guò)檢查對(duì)象點(diǎn)O的亮度值與比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8的亮度值之間的差計(jì)算出來(lái)，不使用位于檢查對(duì)象點(diǎn)O與比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8間的點(diǎn)的亮度值。因此，如果缺陷小于被比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8所包圍的區(qū)域，并且包含有檢查對(duì)象點(diǎn)，則即使缺陷的大小發(fā)生了某個(gè)程度的變化，也能夠與以前的根據(jù)檢查員的目視的判斷一樣，檢測(cè)出缺陷。因此，不需要將檢查對(duì)象點(diǎn)O以及比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8的距離尺寸設(shè)置地太小，從而相應(yīng)能夠減少變更上述距離的缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算步驟ST32的次數(shù)，也能縮短檢查時(shí)間。
(5)亮缺陷強(qiáng)調(diào)值通過(guò)上述F1～F8的最小值計(jì)算出來(lái)，暗缺陷強(qiáng)調(diào)值通過(guò)上述F9～F16的計(jì)算值計(jì)算出來(lái)，因此能夠分別高精度強(qiáng)調(diào)亮缺陷或暗缺陷的缺陷部分，通過(guò)由缺陷提取機(jī)構(gòu)63分別通過(guò)亮缺陷用閾值與暗缺陷用閾值提取，就能夠簡(jiǎn)單并高精度地檢測(cè)出亮缺陷與暗缺陷雙方。因此，能夠通過(guò)簡(jiǎn)單的處理高效檢測(cè)出各種缺陷。
(6)由于能夠通過(guò)缺陷判斷機(jī)構(gòu)64，對(duì)所提取的缺陷的等級(jí)進(jìn)行分類(lèi)，因此能夠短時(shí)間進(jìn)行缺陷的客觀分級(jí)，檢查者能夠容易地判斷缺陷的程度，從而能夠短時(shí)間容易地判斷是否是佳品。
接下來(lái)，對(duì)本發(fā)明的第2實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
本實(shí)施方式中，只有缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算部612中的缺陷強(qiáng)調(diào)值的計(jì)算步驟ST32的具體處理方法不同，其他處理與上述第1實(shí)施方式相同，因此對(duì)不同部分進(jìn)行說(shuō)明。
具體地說(shuō)，缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)61的缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算部612，求出檢查對(duì)象點(diǎn)O的亮度值減去各個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8的亮度值之后的差F。也即，在設(shè)檢查對(duì)象點(diǎn)O的亮度值為“O”，比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8各自的亮度值為“S1-S8”時(shí)，使用下式17～24，計(jì)算出差F17～F24。
F17＝O-S1(式17)F18＝O-S2(式18)F19＝O-S3(式19)F20＝O-S4(式20)
F21＝O-S5(式21)F22＝O-S6(式22)F23＝O-S7(式23)F24＝O-S8(式24)缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算部612進(jìn)行過(guò)以上的計(jì)算之后，選擇F17～F24的各個(gè)值中絕對(duì)值最小的值，將該值作為檢查對(duì)象點(diǎn)O中的缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果。
例如，在比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8所包圍的區(qū)域內(nèi)不存在缺陷的情況下，變?yōu)闄z查對(duì)象點(diǎn)O的亮度值與各個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8的亮度值幾乎沒(méi)有差別的狀態(tài)。因此，上述F17至F24均為比較小的值。
另外，在比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8所包圍的區(qū)域內(nèi)，存在與其他部分相比較亮的缺陷70或較暗的缺陷，檢查對(duì)象點(diǎn)O為其一部分的情況下，與檢查對(duì)象點(diǎn)O相比，各個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8的亮度值的差增大。因此，上述F17至F24的絕對(duì)值與沒(méi)有缺陷70的情況相比，變?yōu)檩^大的值。
另外，在一部分比較對(duì)象點(diǎn)S5、S6、S7與檢查對(duì)象點(diǎn)O一起，包括在缺陷70內(nèi)的情況下，雖然不包括在缺陷70中的比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值與檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值的差增大，但包括在缺陷70中的比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值與檢查對(duì)象點(diǎn)O的亮度值的差減小。
也即，在比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8所包圍的區(qū)域內(nèi)存在缺陷70的情況下，上述F17至F24的絕對(duì)值均變?yōu)檩^大的值。另外，在沒(méi)有缺陷的情況下，或在缺陷70沒(méi)有被包括在比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8所包圍的區(qū)域內(nèi)的情況下，上述F17至F24的絕對(duì)值的至少1個(gè)變?yōu)檩^小的值。因此，如果從上述F17至F24中選擇絕對(duì)值最小者，就能夠檢測(cè)出是否存在包括檢查對(duì)象點(diǎn)O，并且容納在被比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8所包圍的區(qū)域內(nèi)的缺陷70，因此可以將該絕對(duì)值最小的值作為各個(gè)檢查對(duì)象點(diǎn)O的缺陷強(qiáng)調(diào)值存儲(chǔ)。
缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)61，判斷所取得的所有圖像是否完成了缺陷強(qiáng)調(diào)處理，在處理未完成的情況下，移動(dòng)檢查對(duì)象點(diǎn)O，進(jìn)行缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算步驟ST32。也即，在將檢查對(duì)象點(diǎn)O設(shè)為CCD照相機(jī)5的攝像像素單位的情況下，可以每攝影像素依次移動(dòng)檢查對(duì)象點(diǎn)O，進(jìn)行缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算步驟。
另外，在ST33中處理完成的情況下，與上述第1實(shí)施方式一樣，判斷是否需要缺陷檢查尺寸的變更(ST34)。
另外，在要強(qiáng)調(diào)的缺陷的尺寸有多個(gè)的情況下，與上述第1實(shí)施方式一樣，可以對(duì)應(yīng)于該尺寸設(shè)定檢查對(duì)象點(diǎn)O與比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8間的距離，進(jìn)行上述檢查對(duì)象點(diǎn)選擇步驟ST31與缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算步驟ST32。
缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)61，與上述第1實(shí)施方式一樣，重復(fù)ST31～ST35的處理，在預(yù)先指定的尺寸的缺陷的檢測(cè)結(jié)束，ST34中判斷為“否”的情況下，合成各個(gè)尺寸的陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果作為1個(gè)缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果輸出(ST36)。
缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟ST3結(jié)束之后，噪聲去除機(jī)構(gòu)62，與上述第1實(shí)施方式一樣，實(shí)施對(duì)上述缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟ST3的結(jié)果作用中值濾波器，將因噪聲而分離的缺陷成分連接起來(lái)并平滑化，去除缺陷以外的噪聲的噪聲去除步驟(ST4)。
接下來(lái)，缺陷提取機(jī)構(gòu)63，實(shí)施對(duì)去除了噪聲后的各個(gè)缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果，設(shè)定切出亮缺陷的閾值與切出暗缺陷的閾值，切出各個(gè)缺陷候補(bǔ)的區(qū)域的缺陷提取步驟(ST5)。
這里，各個(gè)閾值與上述第1實(shí)施方式一樣，可以對(duì)應(yīng)于圖像的狀況，設(shè)定最佳的值。
接下來(lái)，缺陷判斷機(jī)構(gòu)64，實(shí)施對(duì)亮缺陷提取圖像與暗缺陷提取圖像求出缺陷區(qū)域的面積或位置，通過(guò)所計(jì)算出的缺陷區(qū)域的面積或位置，分類(lèi)該圖像中的缺陷的等級(jí)的缺陷判斷步驟(ST6)。
缺陷判斷機(jī)構(gòu)64所求出的缺陷等級(jí)，顯示在顯示機(jī)構(gòu)7中，檢查員能夠容易地掌握檢查對(duì)象的液晶面板1的缺陷等級(jí)。
這樣的第2實(shí)施方式也一樣，能夠起到與上述第1實(shí)施方式相同的作用效果。
另外，第2實(shí)施方式中，將檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值與比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值之差的絕對(duì)值的最小點(diǎn)作為缺陷強(qiáng)調(diào)值，因此在亮缺陷檢測(cè)與暗缺陷檢測(cè)時(shí)，只通過(guò)式17～式24就能夠求出。因此，與亮缺陷通過(guò)式1～式8計(jì)算出缺陷強(qiáng)調(diào)值，暗缺陷通過(guò)式9～式16計(jì)算出缺陷強(qiáng)調(diào)值的第1實(shí)施方式相比，能夠縮短處理時(shí)間。
但是，在如圖10所示的數(shù)字圖形中圖案的邊界部分不穩(wěn)定的情況下，如果像第2實(shí)施方式這樣使用求出絕對(duì)值的最小值的方法，便有可能如圖11所示，在該邊界部分產(chǎn)生誤檢測(cè)。與此相對(duì)，在像上述第1實(shí)施方式那樣，在亮缺陷用與暗缺陷用中分別求出缺陷強(qiáng)調(diào)值并評(píng)價(jià)缺陷的情況下，如圖12所示，具有上述圖案的邊界部分沒(méi)有缺陷的誤檢測(cè)，能夠高精度只檢測(cè)出缺陷部分的優(yōu)點(diǎn)。
另外，本發(fā)明并不僅限于上述各個(gè)實(shí)施方式。
例如，上述實(shí)施方式中，為了對(duì)應(yīng)各種缺陷大小，而在缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟ST3中，使得檢查對(duì)象點(diǎn)O與比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8的距離不同，進(jìn)行缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算步驟ST32，但根據(jù)作為檢測(cè)對(duì)象的缺陷的大小，也可以不進(jìn)行檢查對(duì)象點(diǎn)O與比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8的距離的變更，只通過(guò)一種大小進(jìn)行處理。
另外，比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8，并不僅限于橫間距尺寸L1及縱間距尺寸L2相同，還可以如圖13所示，使用橫間距尺寸L1與縱間距尺寸L2不同者。
另外，上述實(shí)施方式中，檢查對(duì)象點(diǎn)O與左右的比較對(duì)象點(diǎn)S3、S7間的各個(gè)尺寸L1相同，但也可以不同。同樣，檢查對(duì)象點(diǎn)O與上下的比較對(duì)象點(diǎn)S1、S5間的各個(gè)尺寸L2也可以不同。
另外，各個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8的設(shè)置成了格子狀，但也可以例如將比較對(duì)象點(diǎn)S2、S4、S6、S8，設(shè)置在到檢查對(duì)象點(diǎn)O的距離與比較對(duì)象點(diǎn)S1、S3、S5、S7相同的位置上，也即，可以將各個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8設(shè)置在以檢查對(duì)象點(diǎn)O為中心的圓周上。
另外，比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8的個(gè)數(shù)并不僅限于8個(gè)，還可以對(duì)應(yīng)于被檢查物的圖案或要檢查的缺陷大小、形狀等來(lái)設(shè)定。例如，在像上述實(shí)施方式那樣，將黑底12設(shè)置成格子狀，并設(shè)置了TFT像素11的情況下，可以至少設(shè)置檢查對(duì)象點(diǎn)O的上下的比較對(duì)象點(diǎn)S1、S5，與左右的比較對(duì)象點(diǎn)S3、S7這4個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)。
總之，本發(fā)明中，由于是檢測(cè)出被比較對(duì)象點(diǎn)所包圍的區(qū)域內(nèi)的缺陷的處理，因此為了讓比較對(duì)象點(diǎn)能夠劃分區(qū)域，只要包圍檢查對(duì)象點(diǎn)O設(shè)置4個(gè)以上就可以，還可以設(shè)置6個(gè)或8個(gè)、乃至9個(gè)以上。
上述第1實(shí)施方式中，缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算部612中，通過(guò)式1至式8計(jì)算出亮缺陷用缺陷強(qiáng)調(diào)值，通過(guò)式9至式16計(jì)算出暗缺陷用缺陷強(qiáng)調(diào)值，但在只檢測(cè)亮缺陷與暗缺陷的任一方的情況下，可以只計(jì)算出任一方的缺陷強(qiáng)調(diào)值，缺陷提取機(jī)構(gòu)63中，使用計(jì)算出了亮缺陷與暗缺陷中的任一方的閾值的缺陷強(qiáng)調(diào)值，提取缺陷區(qū)域。
另外，上述第2實(shí)施方式中，能夠設(shè)定亮缺陷用與暗缺陷用各個(gè)閾值，檢測(cè)出亮缺陷與暗缺陷雙方，但也可以只檢測(cè)出一方的缺陷。例如，在可以只檢測(cè)出亮缺陷的情況下，可以不進(jìn)行與暗缺陷用閾值的比較處理而進(jìn)行處理。
上述實(shí)施方式中，光源2夾持液晶面板1設(shè)置在CCD照相機(jī)5的相反側(cè)，但也可以將光源2設(shè)置在CCD照相機(jī)5側(cè)，進(jìn)行落射照明。另外，上述實(shí)施方式中，直接通過(guò)CCD照相機(jī)5拍攝液晶面板1，但也可以像投影儀那樣，將液晶面板1的顯示圖像投影在屏幕上，通過(guò)CCD照相機(jī)5拍攝該投影圖像。
另外，噪聲去除機(jī)構(gòu)62的噪聲去除步驟ST4，并不僅限于使用3×3的中值濾波器，還可以進(jìn)行公知的噪聲去除處理。
另外，上述實(shí)施方式中，通過(guò)缺陷判斷機(jī)構(gòu)64根據(jù)缺陷部分的面積等判斷缺陷等級(jí)，但也可以通過(guò)其他方法/步驟來(lái)判斷缺陷?？傊?，缺陷判斷機(jī)構(gòu)64只要能夠根據(jù)缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)61所強(qiáng)調(diào)過(guò)的缺陷，判斷其是否符合缺陷就可以。
上述實(shí)施方式中，在變更了檢查對(duì)象點(diǎn)O與比較對(duì)象點(diǎn)S1～S8間的距離的情況下，合成各個(gè)處理結(jié)果進(jìn)行判斷，但也可以分別判斷每一個(gè)缺陷強(qiáng)調(diào)處理的結(jié)果中是否有缺陷。但是，根據(jù)合成結(jié)果來(lái)判斷，能夠更有效率地檢測(cè)出缺陷。
缺陷的檢測(cè)對(duì)象，并不僅限于使用上述TFT元件的液晶面板1，還可以在使用其他二極管元件等的液晶面板或等離子顯示器、EL顯示器等顯示設(shè)備、以及使用它們的顯示裝置/產(chǎn)品的檢查中使用，上述使用情況當(dāng)然也包括在本發(fā)明的范圍內(nèi)。
另外，本發(fā)明并不僅限于各種顯示裝置的檢查，例如在布線圖案或印刷圖案等中有缺陷的情況下，由于如果將其拍攝下來(lái)并得到有缺陷的圖像，就能夠檢測(cè)出該缺陷，因此能夠應(yīng)用于各種產(chǎn)品的表面涂裝或印刷物、布線等的缺陷檢查。
總之，本發(fā)明在被測(cè)物的攝影圖案中較亮部分或較暗部分，也即亮度不同的部分以同一圖案重復(fù)的情況下，如果存在與周?chē)辛炼炔畹娜毕?，就能夠檢測(cè)出來(lái)，因此能夠廣泛應(yīng)用于亮度污跡缺陷或顏色污跡缺陷的檢測(cè)等中。
權(quán)利要求
1.一種缺陷檢測(cè)方法，包括拍攝具有同一重復(fù)圖案的被檢查物，取得圖像的圖像取得步驟；和對(duì)所取得的圖像進(jìn)行缺陷強(qiáng)調(diào)處理的缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟，所述缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟具有檢查對(duì)象點(diǎn)選擇步驟，其在攝像圖像中依次選擇檢查對(duì)象點(diǎn)；以及缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算步驟，其從所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值中減去設(shè)置在其周?chē)亩鄠€(gè)比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值，求出各個(gè)差值，選擇各個(gè)亮度差數(shù)據(jù)中值最小者，作為所述檢查對(duì)象點(diǎn)的缺陷強(qiáng)調(diào)值。
2.一種缺陷檢測(cè)方法，包括拍攝具有同一重復(fù)圖案的被檢查物，取得圖像的圖像取得步驟；和對(duì)所取得的圖像進(jìn)行缺陷強(qiáng)調(diào)處理的缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟，所述缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟具有檢查對(duì)象點(diǎn)選擇步驟，其在攝像圖像中依次選擇檢查對(duì)象點(diǎn)；以及缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算步驟，其從所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)周?chē)O(shè)置的多個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值中，減去所述所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值，求出各個(gè)差值，選擇各個(gè)亮度差數(shù)據(jù)中值最小者，作為所述檢查對(duì)象點(diǎn)的缺陷強(qiáng)調(diào)值。
3.一種缺陷檢測(cè)方法，包括拍攝具有同一重復(fù)圖案的被檢查物，取得圖像的圖像取得步驟；和對(duì)所取得的圖像進(jìn)行缺陷強(qiáng)調(diào)處理的缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟，所述缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟具有檢查對(duì)象點(diǎn)選擇步驟，其在攝像圖像中依次選擇檢查對(duì)象點(diǎn)；以及缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算步驟，其從所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值中，減去設(shè)置在其周?chē)亩鄠€(gè)比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值，求出各個(gè)差值，選擇各個(gè)亮度差數(shù)據(jù)中值最小者，作為所述檢查對(duì)象點(diǎn)的亮缺陷用缺陷強(qiáng)調(diào)值，并且從所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)周?chē)O(shè)置的多個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值中減去所述所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值，求出各個(gè)差值，選擇各個(gè)亮度差數(shù)據(jù)中值最小者，作為所述檢查對(duì)象點(diǎn)的暗缺陷用缺陷強(qiáng)調(diào)值。
4.一種缺陷檢測(cè)方法，包括拍攝具有同一重復(fù)圖案的被檢查物，取得圖像的圖像取得步驟；和對(duì)所取得的圖像進(jìn)行缺陷強(qiáng)調(diào)處理的缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟，所述缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟具有檢查對(duì)象點(diǎn)選擇步驟，其在攝像圖像中依次選擇檢查對(duì)象點(diǎn)；以及缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算步驟，其分別求出所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值和設(shè)置在其周?chē)亩鄠€(gè)比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值之間的差值，選擇各個(gè)亮度差數(shù)據(jù)中絕對(duì)值最小者，作為所述檢查對(duì)象點(diǎn)的缺陷強(qiáng)調(diào)值。
5.如權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的缺陷檢測(cè)方法，其特征在于，還具有噪聲去除步驟，其對(duì)通過(guò)所述缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算步驟所得到的缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果使用中值濾波器，進(jìn)行噪聲成分的去除處理；缺陷提取步驟，其將通過(guò)噪聲去除步驟去除了噪聲成分的缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果的各個(gè)缺陷強(qiáng)調(diào)值，與給定的閾值進(jìn)行比較，提取缺陷部分；以及缺陷判斷步驟，其取得包括由缺陷提取步驟所提取的缺陷部分的面積與位置的缺陷信息，判斷缺陷內(nèi)容。
6.如權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的缺陷檢測(cè)方法，其特征在于，所述缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟，使得從檢查對(duì)象點(diǎn)到各個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)的距離不同，進(jìn)行缺陷強(qiáng)調(diào)處理，并進(jìn)行將所得到的缺陷強(qiáng)調(diào)值中最大者作為該檢查對(duì)象點(diǎn)的缺陷強(qiáng)調(diào)值的合成處理，輸出1個(gè)缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果。
7.如權(quán)利要求1～6中任一項(xiàng)所述的缺陷檢測(cè)方法，其特征在于，所述比較對(duì)象點(diǎn)，夾持檢查對(duì)象點(diǎn)分別設(shè)置在左右、上下、斜方向，總計(jì)設(shè)有8個(gè)。
8.一種缺陷檢測(cè)裝置，包括拍攝具有同一重復(fù)圖案的被檢查物，取得圖像的圖像取得機(jī)構(gòu)；和對(duì)所取得的圖像進(jìn)行缺陷強(qiáng)調(diào)處理的缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)，所述缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)具有檢查對(duì)象點(diǎn)選擇部，其在攝像圖像中依次選擇檢查對(duì)象點(diǎn)；以及缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算部，其從所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值中減去設(shè)置在其周?chē)亩鄠€(gè)比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值，求出各個(gè)差值，選擇各個(gè)亮度差數(shù)據(jù)中值最小者，作為所述檢查對(duì)象點(diǎn)的缺陷強(qiáng)調(diào)值。
9.一種缺陷檢測(cè)裝置，包括拍攝具有同一重復(fù)圖案的被檢查物，取得圖像的圖像取得機(jī)構(gòu)；和對(duì)所取得的圖像進(jìn)行缺陷強(qiáng)調(diào)處理的缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)，所述缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)具有檢查對(duì)象點(diǎn)選擇部，其在攝像圖像中依次選擇檢查對(duì)象點(diǎn)；以及缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算部，其從所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)周?chē)O(shè)置的多個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值中，減去所述所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值，求出各個(gè)差值，選擇各個(gè)亮度差數(shù)據(jù)中值最小者，作為所述檢查對(duì)象點(diǎn)的缺陷強(qiáng)調(diào)值。
10.一種缺陷檢測(cè)裝置，包括拍攝具有同一重復(fù)圖案的被檢查物，取得圖像的圖像取得機(jī)構(gòu)；和對(duì)所取得的圖像進(jìn)行缺陷強(qiáng)調(diào)處理的缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)，所述缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)具有檢查對(duì)象點(diǎn)選擇部，其在攝像圖像中依次選擇檢查對(duì)象點(diǎn)；以及缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算部，其從所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值中，減去設(shè)置在其周?chē)亩鄠€(gè)比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值，求出各個(gè)差值，選擇各個(gè)亮度差數(shù)據(jù)中值最小者，作為所述檢查對(duì)象點(diǎn)的亮缺陷用缺陷強(qiáng)調(diào)值，并且從所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)周?chē)O(shè)置的多個(gè)比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值中，減去所述所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值，求出各個(gè)差值，選擇各個(gè)亮度差數(shù)據(jù)中值最小者，作為所述檢查對(duì)象點(diǎn)的暗缺陷用缺陷強(qiáng)調(diào)值。
11.一種缺陷檢測(cè)裝置，包括拍攝具有同一重復(fù)圖案的被檢查物，取得圖像的圖像取得機(jī)構(gòu)；和對(duì)所取得的圖像進(jìn)行缺陷強(qiáng)調(diào)處理的缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)，所述缺陷強(qiáng)調(diào)處理機(jī)構(gòu)具有檢查對(duì)象點(diǎn)選擇部，其在攝像圖像中依次選擇檢查對(duì)象點(diǎn)；以及缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算部，其分別求出所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值，與設(shè)置在其周?chē)亩鄠€(gè)比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值之間的差值，選擇各個(gè)亮度差數(shù)據(jù)中絕對(duì)值最小者，作為所述檢查對(duì)象點(diǎn)的缺陷強(qiáng)調(diào)值。
12.如權(quán)利要求8～11中任一項(xiàng)所述的缺陷檢測(cè)裝置，其特征在于，還具有噪聲去除機(jī)構(gòu)，其對(duì)通過(guò)所述缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算部所得到的缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果使用中值濾波器，進(jìn)行噪聲成分的去除處理；缺陷提取機(jī)構(gòu)，其將通過(guò)噪聲去除機(jī)構(gòu)去除了噪聲成分的缺陷強(qiáng)調(diào)結(jié)果的各個(gè)缺陷強(qiáng)調(diào)值，與給定的閾值進(jìn)行比較，提取缺陷部分；以及缺陷判斷機(jī)構(gòu)，其取得包括由缺陷提取機(jī)構(gòu)所提取的缺陷部分的面積與位置的缺陷信息，判斷缺陷內(nèi)容。
全文摘要
缺陷檢測(cè)方法，包括拍攝具有同一重復(fù)圖案的被檢查物，取得圖像的圖像取得步驟；和對(duì)所取得的圖像進(jìn)行缺陷強(qiáng)調(diào)處理的缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟。缺陷強(qiáng)調(diào)處理步驟(ST3)具有在攝像圖像中依次選擇檢查對(duì)象點(diǎn)的檢查對(duì)象點(diǎn)選擇步驟(ST31)；和分別求得所選擇的檢查對(duì)象點(diǎn)的亮度值，與設(shè)置在其周?chē)亩鄠€(gè)比較對(duì)象點(diǎn)的亮度值之間的差值，選擇各個(gè)亮度差數(shù)據(jù)中值最小者，作為上述檢查對(duì)象點(diǎn)的缺陷強(qiáng)調(diào)值的缺陷強(qiáng)調(diào)值計(jì)算步驟(ST32)。
文檔編號(hào)G01N21/956GK1920539SQ20061012184
公開(kāi)日2007年2月28日 申請(qǐng)日期2006年8月25日 優(yōu)先權(quán)日2005年8月26日
發(fā)明者小島廣一, 金澤英祐 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社