專利名稱：反射式高能電子衍射儀用電子槍電源的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及電子衍射技術，具體的說是一種反射式高能電子衍射儀用
-25KV電子槍電源。
背景技術：
-25KV電子槍電源是與長焦距電子槍配套使用，合稱為反射式高能電 子衍射儀(RHEED )。該衍射儀是分子束外延生長設備不可缺少的監(jiān)控儀器。 主要用來研究MBE生長過程中樣品表面再構、粗糙度、臺階和小面等無序 情況。同時配合RHEED強度振蕩檢測系統(tǒng)，還可作日常生長中的束流標準、 合金組成的控制，量子阱和超晶格厚度的測量，生長溫度的控制等。
以前生產的電源，存在燈絲電流不能直接顯示，高壓易打火損壞，束 流不穩(wěn)，偏轉有時失效；顯示多采用數(shù)字量表和模似量表，表數(shù)量多、結 構復雜，切換時容易發(fā)生打火現(xiàn)象，工作可靠性不好。
發(fā)明內容
為了克服現(xiàn)有技術中工作可靠性差的不足，本發(fā)明的目的在于提供一 種工作可靠、結構簡單的反射式高能電子衍射儀用-25KV電子槍電源。
為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術方案包括對偏轉器施加偏轉電壓 的偏轉電源，在超高真空中對燈絲和柵極施加高壓的高壓電源，在柵極施 加柵極電壓的柵極電源，增加燈絲工作電流的燈絲電源；其特征在于所 述高壓電源為-25kv,由高壓部分、低壓調整兩部分組成，其中
高壓部分包括
諧振電路，其輸出信號經(jīng)變壓器升壓送至倍壓整流電路； 倍壓整流濾波電路，經(jīng)10倍壓整流濾波產生-25KV高壓，接至電子槍 燈絲和柵極上；
低壓調整部分包括
調整管，接至高壓部分第1電感器及第2驅動管，由第2驅動管驅動； 第2驅動管，接至過流保護及故障報警電路的輸出端及電壓電流誤差
放大電路的輸出端；
過流保護及故障報警電路，輸入信號來自高壓部分及電流取樣放大電
路的輸出，輸出經(jīng)緩啟電路；
高壓測量顯示電路，輸入信號為高壓部分的電壓測量端，輸出信號至
顯示器；
取樣放大電路，包括電壓、電流取樣放大電路，電壓取樣放大電路將 緩啟電路輸出的給定信號及高壓部分的電壓反饋端信號疊加，輸出用來調
節(jié)第2驅動管的基極電壓；電流取樣放大電路，將來自高壓部分的電流反 饋端的電位與來自5V的參考電位比較接至過流保護及故障報警電路；
緩啟動電路，輸入信號來自過流保護及故障報警電路。
所述偏轉電源為兩套結構相同的X、 Y偏轉系統(tǒng)提供靜電偏轉的士400V 的電源，其中一套包括低壓信號電路、高壓放大電路，高壓放大電路輸入 信號來自提供兩極性相反的電壓信號的低壓信號電路，輸出接至偏轉板；
所述倍壓整流濾波電路十倍壓整流結構，電流反饋端接電流取樣放大 電路，電壓測量端接高壓測量顯示電路，電壓反饋端接電壓取樣放大電路；
所述過流保護及故障報警電路包括第1-1運算放大器，第3驅動管、第 11 12二極管、第4-2運算放大器、第6-l運算放大器及第6-2運算放大器， 其中第1-1運算放大器作為比較器，其反相端經(jīng)分壓電阻接電源2.5V，提 供一個參考電位，同相端接第1~2三極管的發(fā)射極節(jié)點，輸出分兩路一 路經(jīng)第12二極管分別接第3驅動管，第2驅動管的基極，影響其基極電位； 第1-1運算放大器另 一路輸出經(jīng)第6-1運算放大器及第6-2運算放大器接緩 啟電路；
所述緩啟電路包括第4-1運算放大器、第4-2運算放大器、第17 18 二極 管、第8電容及第4~5三極管，其第4-l運算放大器輸入接5V電源，輸出接 至第4-2運算放大器同相端，第4-2運算放大器的輸入還經(jīng)第4三極管、啟動 開關接15V電源或地，第4-2運算放大器輸出經(jīng)第5三極管的集電極及第18 二極管接電源；第4-2運算放大器的輸出經(jīng)第l調節(jié)電位器改變其電位后至電 壓取樣放大電路；第8電容跨接在第4三極管的集電極與地之間；
所述電壓取樣放大電路包括第2-1運算放大器、第14 二極管、第19 20 二極管，第2-l運算放大器反相端的信號為緩啟電路輸出的給定信號及高壓 部分電壓反饋端信號的疊加信號，其輸出端接至第2驅動管的基極，調節(jié) 第2驅動管的基極電壓；
所述電流取樣放大電路第2-2運算放大器、第13二極管、第15 16二 極管及第61電阻組成，第2-2運算放大器輸入端信號是由來自高壓部分的 電流反饋端的、經(jīng)第27電阻形成電位與來自5V的參考電位比較的信號， 其輸出經(jīng)第13 二極管接至第2驅動管及過流保護及故障報警電路中第1-1 運算放大器的同相端；
所述高壓測量顯示電路，高壓部分的電壓測量端信號，是高壓的萬分 之二分壓后得到的，經(jīng)隔離后再反相，形成對應0 -25KV的0-5V的電壓送 給顯示電路；
所述低壓信號電路包括第11運算放大器、第12-1運算放大器、第12-2 運算放大器及第13-1運算放大器、第13-2運算放大器，其中第ll運算放 大器作為射隨器，其輸入為0 -5V,輸出經(jīng)第12-2運算放大器、第19電 容濾波，至第12-l運算放大器兩倍反相放大，再接至第13-2運算放大器的 反相輸入端及第2調節(jié)電位器的一端，第13-2運算放大器的輸出至第2調
節(jié)電位器的另一端，使其在第2調節(jié)電位器的兩端形成正負極性相反的電
壓；第2調節(jié)電位器的滑動端經(jīng)第13-1運算放大器至高壓放大電路；
所述高壓放大電路包括第11 12放大管，第22運算放大器，第7-l光 電藕合器、第7-2光電藕合器，其中第11 12放大管輸出端組成正負兩個方 向的放大，至第22運算放大器輸入端；第12放大管輸入端還經(jīng)第7-2光電 藕合器、第7-l光電藕合器至第22運算放大器輸出端，第22運算放大器的 輸入信號來自低壓信號電路；第11放大管的發(fā)射極與第12放大管集電極 連接后的節(jié)點為輸出端，接至偏轉板。 本發(fā)明具有如下優(yōu)點
1. 本發(fā)明的高壓電源采用模塊化形式，體積小，可靠性高。高壓對地 直接短路，不必擔心損壞電源。高壓起動后可直接關閉電源，再次啟動后 會按上次設定值緩啟動。
2. 雖然燈絲電源懸浮在-25KV上，其燈絲電流可在低端用直讀法顯示。
3. 采用本發(fā)明，無論是0 -25KV高壓，燈絲，柵壓，還是土400V偏轉 電源均由0-5V電位控制，用電位器手動及計算機控制均可。
4. 高壓，燈絲，柵壓，東流，XI、 Yl、 X2、 Y2八個物理量用液晶屏 同時實時顯示，便于觀察和調整。
圖l為電子槍連接結構示意圖。
圖2為本發(fā)明高壓電源電路原理圖。
圖3為高壓電源低壓調整部分電路原理圖。
圖4-1為偏轉電源供電電路原理圖。
圖4-2為偏轉電源低壓信號電路原理圖。
圖5為偏轉電源高壓放大器電路原理圖。
具體實施例方式
如圖l所示，電子槍主要由燈絲l、柵極2，陽極3，偏轉器4，熒光 器6，照相機7組成，在超高真空中對燈絲1和柵極2施加高壓(來自高壓 電源9)狀態(tài)下，增加燈絲工作電流(來自燈絲電源11),使燈絲l發(fā)射電 子。電子在陽極3作用下，加速并向陽極3方向移動。穿過陽極孔到達熒 光屏。由燈絲1尖部發(fā)射的電子匯聚在陽極3外形成一個交叉斑點，在柵 極施加一個適當柵極電壓(來自柵極電源10)來增加電子槍的焦長，將陽 極孔處的電子束交叉斑點移至熒光屏，形成長焦槍。當對偏轉器4施加偏 轉電壓(來自偏轉電源8)時，可改變電子束運動軌跡，形成對樣品5的 1°角掠射，移動并轉動樣品既可在熒光屏上得到不同方位的衍射圖像，用 照相機對準熒光屏拍照記錄。
偏轉電源8、高壓電源9、柵極電源10、燈絲電源11構成-25KV電子 槍電源，其中柵極電源10為-300V，燈絲電源11 (電流為0-3.5A)，以高壓 電源9為參考電位，屬現(xiàn)有技術；
高壓電源9為-25kv，由高壓部分、低壓調整兩部分組成，如圖2、 3 所示。高壓部分見圖2，包括諧振電路和倍壓整流濾波電路，具體由第 1 2三極管G1 G2，第2~3電阻R2 R3,第1電感器Ll及第33電容C33組 成30Kc諧振電路，經(jīng)變壓器Tl升壓后再經(jīng)10倍壓整流濾波產生-25KV高 壓，接至電子槍燈絲和柵極上。倍壓整流濾波電路由第1~10 二極管 D1 D10、第1 10電容C1 C10組成十倍壓整流結構，其第7 8電阻R7 R8 為測量電阻，第9 10電阻R9 R10為電壓反饋電阻，If端代表電流反饋， 接電流取樣放大電路，Vd端代表電壓測量端，接高壓測量顯示電路，Vf 端是電壓反饋，接電壓取樣放大電路。所述低壓調整部分參見圖3,由調整 管Tl,第2驅動管T2，過流保護及故障報警電路，高壓測量顯示電路，取 樣放大電路(包括電壓、電流取樣放大電路)，緩啟動電路組成，其中
調整管T1集電極經(jīng)第2電感器L2接24V,發(fā)射極接至第l電感器L1 的另一端，基極接第2驅動管T2的集電極，由第2驅動管T2驅動；第2 驅動管T2基極接至過流保護及故障報警電路的輸出端；
過流保護及故障報警電路包括第l-l運算放大器UlA,第3驅動管T3、 第11 12二極管D11 D12、第4-2運算放大器U4B、第6-1光電藕合器U6A 及第6-2光電藕合器U6B,其中第1-1運算放大器U1A作為比較器，反相 端經(jīng)分壓電阻接2.5V，提供一個參考電位，同相端經(jīng)過流取樣電阻R25接 第1 2三極管G1 G2的發(fā)射極節(jié)點，輸出分兩路 一路經(jīng)第12 二極管D12 分別接第3驅動管T3，第2驅動管T2的基極，影響其基極電位；第3驅 動管T3的輸出端經(jīng)第11 二極管Dll接電源；第1-1運算放大器U1A另一 路輸出經(jīng)第6-1光電藕合器U6A及第6-2光電藕合器U6B的6腳接緩啟電 路中的第4三極管T4的基極，其5腳接第4-1運算放大器U4A及第4-2運 算放大器IJ4B及電源；
緩啟電路包括第4-1運算放大器U4A、第4-2運算放大器U4B、第17 18 二極管D17 D18、第8電容E8及第4 5三極管T4 T5，其第4-1運算放大 器U4A同相輸入接5V電源，輸出經(jīng)第17 二極管D17與第4三極管T4接 第4-2運算放大器U4B同相輸入端，第4-2運算放大器U4B的輸入還經(jīng)第 4三極管T4、啟動開關R/S接15V電源，第4-2運算放大器U4B輸出至第 5三極管T5,第5三極管T5的集電極經(jīng)第18 二極管D18接電源；第4-2 運算放大器U4B的輸出經(jīng)第l調節(jié)電位器Wl改變其電位后至電壓取樣放 大電路；第8電容E8跨接在第4三極管T4的集電極與發(fā)射極(地)之間。
緩啟原理當接15V電源的啟動開關R/S關閉時(接地)，5V電源經(jīng) 第52電阻R52向第8電容E8充電至最大值，第4-2運算放大器U4B的7 腳逐漸升為高電位。當啟動開關R/S接通后，第4驅動管T4導通，第8電 容E8經(jīng)第4驅動管T4放電，從而使第4-2運算放大器U4B的7腳電位降 低，實現(xiàn)緩啟。
過流保護及故障報警工作原理當電源短路打火時，第25電阻R25上的電壓增大，當超過域值電位時，第1-1運算放大器U1A輸出高電位，第3驅 動管T3導通，報警燈亮。同時第6-1光電藕合器U6A、第6-2光電藕合器 U6B導通，第4三極管T4迅速導通，第4-2運算放大器U4B的7腳電位降 低，設定值降低，高壓輸出下降。故障排除后，輸出會自動緩慢上升。
電壓取樣放大電路第2-1運算放大器U2A、第14 二極管D14、第19~20 二極管D19 D20組成，第2-1運算放大器U2A反相端的信號為緩啟電路輸 出的第1調節(jié)電位器Wl的給定信號及高壓部分第9 10電阻R9 R10的電 壓反饋端Vf信號的疊加信號，其輸出端經(jīng)第14 二極管D14、第26電阻 R26至第2驅動管T2的基極，調節(jié)第2驅動管T2的基極電壓；
電壓調整過程第2-1運算放大器U2A、第2-2運算放大器U2B分別 為電壓、電流取樣放大電路核心器件，設定值與取樣值在第2-l運算放大器 U2A-2腳求和，誤差放大后送至第2驅動管T2基極。調整原理為如果高 壓部分的輸出端HVout電壓T (設定值不變)，第2-l運算放大器U2A輸出 電壓T,第2驅動管T2基極電壓T，第2驅動管T2集電極電壓i，調整管 Tl發(fā)射極電壓"高壓部分的輸出端HVout電壓"反之亦然，從而達到調 壓的目的。
電流取樣放大電路第2-2運算放大器U2B、第13 二極管D13、第15 16 二極管D15 D16及第61電阻R61組成，第2-2運算放大器U2B輸入端信 號是由來自高壓部分的電流反饋端If的、經(jīng)第27電阻R27 (與之并聯(lián)的第 15 16 二極管D15 D16用于限位)與來自5V的參考電位比較的電壓，其 輸出經(jīng)第13 二極管D13接至第2驅動管T2的基極，且經(jīng)第61電阻R61 接至過流保護及故障報警電路中第1-1運算放大器U1A的同相端。第2-2 運算放大器U2B輸出不僅對高壓部分的輸出電流有調節(jié)作用，又因其輸出 在第2-1運算放大器U1A的2腳求和，也作為是否過流的判別電路。
電流調整過程
當高壓回路電流增加時，第27電阻R27上電壓增加，第2-2運算放大 器U2B同相端電位與第2-2運算放大器U2B反向端電位比較，如比其高， 則第2-2運算放大器U2B輸出是高電位，第13二極管D13導通，第2驅 動管T2進一步導通調整管Tl射極電位降低，高壓輸出降低，從而回路電 流降低，實現(xiàn)調整的目的。反之亦然。
高壓測量顯示電路由第3-l運算放大器U3A (作為反相器)、第3-2運 算放大器U3B (作為射隨器)組成，第3-2運算放大器U3B輸入信號為高 壓部分第7 8電阻R7 R8的電壓測量端Vd信號的分壓信號，即經(jīng)第7 8 電阻R7 R8、第41電阻R41的分壓送至第3-2運算放大器U3B的6腳， 經(jīng)U3B隔離后其輸出信號經(jīng)作為反相器的第3-1運算放大器U3A至顯示 器，形成對應0 -25KV的0-5V的電壓送給顯示電路。
所述偏轉電源8為兩套結構相同的X、 Y偏轉系統(tǒng)提供靜電偏轉的
士400V的電源如圖1、 4-1 (偏轉電源供電電路)、4-2所示。其中每套中X、 Y偏轉電源結構也相同，現(xiàn)以一套中X偏轉的偏轉電源8結構為例極性 相反的低壓信號電路(參見圖4-2)、高壓放大電路(參見圖5)、供電電路 (為現(xiàn)有技術)。
參見圖4-2，低壓信號電路由第11運算放大器Ull、第12-1運算放大 器U12A、第12-2運算放大器U12B及、第13-1運算放大器U13A、第13-2 運算放大器U13B組成，其中第11運算放大器Ull作為射隨器，其輸入為 0 -5V,輸出經(jīng)第12-2運算放大器U12B,至第12-1運算放大器U12A兩 倍反相放大，再接至第13-2運算放大器U13B的反相輸入端及第2調節(jié)電 位器CW1的一端，第13-2運算放大器U13B的輸出至第2調節(jié)電位器CW1 的另一端，使其在第2調節(jié)電位器CW1的兩端形成正負極性相反的電壓； 第2調節(jié)電位器CW1的滑動端經(jīng)第13-1運算放大器U13A至高壓放大電路。
極性相反的低壓信號工作原理0-5V電位經(jīng)第11運算放大器Ull隔 離后，經(jīng)第12-2運算放大器U12B，第19電容E19濾波，再經(jīng)第12-1運 算放大器U12A兩倍反相放大，加在第2調節(jié)電位器CW1 —端，再經(jīng)第 13-2運算放大器U13B反相后接第2調節(jié)電位器CWl另一端，在第2調節(jié) 電位器CW1兩端形成正負極性電壓。經(jīng)第13-1運算放大器U13A加在高壓 放大電路的輸入端。
參見圖5，所述高壓放大電路(X、 Y偏轉系統(tǒng)的高壓放大電路結構相同， 這里以一部分舉例說明)包括第11 12放大管T11 T12,第22運算放大器 U22,第7-l光電藕合器U7A、第7-2光電藕合器U7B,其中第11 12放大管 T11 T12輸出端組成正負兩個方向的放大，至第22運算放大器U22輸入端； 第12放大管T12輸入端還經(jīng)第7-2光電藕合器U7B、第7-1光電藕合器U7A 至第22運算放大器U22輸出端，第22運算放大器U22的輸入信號來自低壓 信號電路中的第13-1運算放大器U13A;第11放大管Tll的發(fā)射極經(jīng)電阻與 第12放大管T12集電極連接后的節(jié)點為輸出端，接至偏轉板；
高壓放大原理當輸入信號由零向正方向變化時第22運算放大器U22 輸出逐漸降低，第7-l光電藕合器U7A導通，第7-2光電藕合器U7B導通， 則第12放大管T12導通，輸出由零向負方向變化(如-400V)。當輸入信號 由零向負方向變化時，第12放大管T12截止，第11放大管T11導通，輸 出由零向正方向變化(如+400V)。從而在偏轉板上得到正負高電壓。
權利要求
1.一種反射式高能電子衍射儀用電子槍電源，包括對偏轉器施加偏轉電壓的偏轉電源，在超高真空中對燈絲和柵極施加高壓的高壓電源，在柵極施加柵極電壓的柵極電源，增加燈絲工作電流的燈絲電源；其特征在于所述高壓電源為-25kv，由高壓部分、低壓調整兩部分組成，其中高壓部分包括諧振電路，其輸出信號經(jīng)變壓器升壓送至倍壓整流電路；倍壓整流濾波電路，經(jīng)10倍壓整流濾波產生-25KV高壓，接至電子槍燈絲和柵極上；低壓調整部分包括調整管(T1)，接至高壓部分第1電感器(L1)及第2驅動管(T2)，由第2驅動管(T2)驅動；第2驅動管(T2)，接至過流保護及故障報警電路的輸出端及電壓電流誤差放大電路的輸出端；過流保護及故障報警電路，輸入信號來自高壓部分及電流取樣放大電路的輸出，輸出經(jīng)緩啟電路；高壓測量顯示電路，輸入信號為高壓部分的電壓測量端(Vd)，輸出信號至顯示器；取樣放大電路，包括電壓、電流取樣放大電路，電壓取樣放大電路將緩啟電路輸出的給定信號及高壓部分的電壓反饋端信號疊加，輸出用來調節(jié)第2驅動管(T2)的基極電壓；電流取樣放大電路，將來自高壓部分的電流反饋端的電位與來自5V的參考電位比較接至過流保護及故障報警電路；緩啟動電路，輸入信號來自過流保護及故障報警電路；所述偏轉電源為兩套結構相同的X、Y偏轉系統(tǒng)提供靜電偏轉的±400V的電源，其中一套包括低壓信號電路、高壓放大電路，高壓放大電路輸入信號來自提供兩極性相反的電壓信號的低壓信號電路，輸出接至偏轉板。
2. 按權利要求1所述反射式高能電子衍射儀用電子槍電源，其特征在 于所述倍壓整流濾波電路十倍壓整流結構，電流反饋端(If)接電流取樣 放大電路，電壓測量端(Vd)接高壓測量顯示電路，電壓反饋端(Vf)接電 壓取樣放大電路。
3. 按權利要求1所述反射式高能電子衍射儀用電子槍電源，其特征在 于所述過流保護及故障報警電路包括第1-1運算放大器(U1A),第3驅 動管(T3)、第11 12 二極管(D11 D12)、第4-2運算放大器(U4B)、第 6-1光電藕合器(U6A)及第6-2光電藕合器(U6B),其中第1-1運算放大 器(U1A)作為比較器，其反相端經(jīng)分壓電阻接電源2.5V,提供一個參考電 位，同相端接第1 2三極管(G1 G2)的發(fā)射極節(jié)點，輸出分兩路 一路經(jīng) 第12二極管(D12)分別接第3驅動管(T3)，第2驅動管(T2)的基極，影響其基極電位；第1-1運算放大器(U1A)另一路輸出經(jīng)第6-1光電藕合器(U6A)及第6-2光電藕合器(U6B)接緩啟電路。
4. 按權利要求1所述反射式高能電子衍射儀用電子槍電源，其特征在 于所述緩啟電路包括第4-l運算放大器(U4A)、第4-2運算放大器(U4B)、 第17 18 二極管(D17 D18 )、第8電容(E8 )及第4 5三極管(T4 T5 )， 其第4-1運算放大器(U4A)輸入接5V電源，輸出接至第4-2運算放大器(U4B)同相端，第4-2運算放大器(U4B)的輸入還經(jīng)第4三極管(T4)、 啟動開關(R/S)接15V電源或地，第4-2運算放大器(U4B)輸出經(jīng)第5 三極管(T5 )的集電極及第18 二極管(D18 )接電源；第4-2運算放大器(U4B ) 的輸出經(jīng)第1調節(jié)電位器(Wl)改變其電位后至電壓取樣放大電路；第8 電容(E8)跨接在第4三極管(T4)的集電極與地之間。
5. 按權利要求1所述反射式高能電子衍射儀用電子槍電源，其特征在 于所述電壓取樣放大電路包括第2-1運算放大器(U2A)、第14 二極管(D14)、第19 20 二極管(D19 D20),第2-1運算放大器(U2A )反相端 的信號為緩啟電路輸出的給定信號及高壓部分電壓反饋端(Vf)信號的疊加 信號，其輸出端接至第2驅動管(T2)的基極，調節(jié)第2驅動管(T2)的基 極電壓。
6. 按權利要求1所述反射式高能電子衍射儀用電子槍電源，其特征在 于所述電流取樣放大電路第2-2運算放大器(U2B)、第13二極管(D13)、 第15 16二極管(D15 D16)及第61電阻(R61)組成，第2-2運算放大器(U2B)輸入端信號是由來自高壓部分的電流反饋端(If)的、經(jīng)第27電阻 (R27)形成電位與來自5V的參考電位比較的信號，其輸出經(jīng)第13 二極管 (D13)接至第2驅動管(T2)及過流保護及故障報警電路中第1-1運算放 大器(U1A)的同相端。
7. 按權利要求1所述反射式高能電子衍射儀用電子槍電源，其特征在 于所述高壓測量顯示電路，高壓部分的電壓測量端(Vd)信號，是高壓的 萬分之二分壓后得到的，經(jīng)隔離后再反相，形成對應0 -25KV的0-5V的電 壓送給顯示電路。
8. 按權利要求1所述反射式高能電子衍射儀用電子槍電源，其特征在 于所述低壓信號電路包括第11運算放大器(Ull)、第12-1運算放大器(U12A)、第12-2運算放大器(U12B)及第13-1運算放大器(U13A)、第 13-2運算放大器(U13B),其中第ll運算放大器(U11)作為射隨器，其輸 入為0 -5V,輸出經(jīng)第12-2運算放大器(U12B)、第19電容(E19)濾波， 至第12-1運算放大器(U12A)兩倍反相放大，再接至第13-2運算放大器(U13B)的反相輸入端及第2調節(jié)電位器(CW1 )的一端，第13-2運算放 大器(U13B)的輸出至第2調節(jié)電位器(CW1)的另一端，使其在第2調 節(jié)電位器(CW1 )的兩端形成正負極性相反的電壓；第2調節(jié)電位器(CW1 ) 的滑動端經(jīng)第13-1運算放大器(U13A)至高壓放大電路。
9.按權利要求l所述反射式高能電子衍射儀用電子槍電源，其特征在于所述高壓放大電路包括第11 12放大管(T11 T12)，第22運算放大器 (U22),第7-1光電藕合器(U7A)、第7-2光電藕合器(U7B)，其中第 11 12放大管(T11 T12)輸出端組成正負兩個方向的放大，至第22運算 放大器(U22)輸入端；第12放大管(T12)輸入端還經(jīng)第7-2光電藕合器 (U7B)、第7-l光電藕合器(U7A)至第22運算放大器(U22 )輸出端， 第22運算放大器(U22)的輸入信號來自低壓信號電路；第11放大管(Tll ) 的發(fā)射極與第12放大管(T12)集電極連接后的節(jié)點為輸出端，接至偏轉 板。
全文摘要
本發(fā)明公開一種反射式高能電子衍射儀用電子槍電源，其中高壓電源為-25kv，由高壓部分、低壓調整兩部分組成，高壓部分的諧振電路輸出經(jīng)10倍壓整流濾波產生-25KV高壓接至電子槍燈絲和柵極上；其低壓調整部分中由調整管接高壓部分及第2驅動管，第2驅動管接的輸入信號來自高壓部分及電流取樣放大電路的過流保護及故障報警電路，緩啟電路與過流保護及故障報警電路和電壓取樣放大電路相連；高壓測量顯示電路輸入為高壓部分，輸出至顯示器；其偏轉電源包括低壓信號電路、高壓放大電路，低壓信號電路提供兩極性相反的電壓信號，接至高壓放大電路，最后接至偏轉板。本發(fā)明工作可靠、結構簡單。
文檔編號G01N23/20GK101178371SQ20061013420
公開日2008年5月14日 申請日期2006年11月8日 優(yōu)先權日2006年11月8日
發(fā)明者薛玉茹 申請人:中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司