專利名稱：一維線性微調(diào)機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型與用于標(biāo)定測(cè)量設(shè)備零位的微調(diào)設(shè)備有關(guān)，涉及一種線性調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，具體地說，是一種一維線性微調(diào)機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
對(duì)于諸如定位傳感器、光學(xué)檢測(cè)傳感器以及速度或加速度等測(cè)量設(shè)備的零位標(biāo)定，大都是在非常有限的空間里進(jìn)行安裝和調(diào)節(jié)，要求所用的設(shè)備不僅結(jié)構(gòu)緊湊，調(diào)節(jié)方便，且不會(huì)引起其它方向上的串?dāng)_，這就需要一種微米級(jí)、高可靠性的一維線性微調(diào)機(jī)構(gòu)。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于提供一種一維線性微調(diào)機(jī)構(gòu)，用于高精度定位傳感器的安裝和調(diào)節(jié)，可在有限的空間條件下，進(jìn)行高精度的一維線性微調(diào)，且在其它五個(gè)方向產(chǎn)生的誤差值遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于允許的誤差范圍。
本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的一維線性微調(diào)機(jī)構(gòu)，其實(shí)質(zhì)性特點(diǎn)在于它包括一調(diào)節(jié)支座、與該調(diào)節(jié)支座上半部活動(dòng)連接的帶有精密螺紋的調(diào)節(jié)螺柱、設(shè)置在所述調(diào)節(jié)支座下半部的彈性張緊機(jī)構(gòu)；所述的調(diào)節(jié)螺柱與彈性張緊機(jī)構(gòu)其軸線相互重合；所述的調(diào)節(jié)支座包括固定部、與該固定部連為一體的多層彈片機(jī)構(gòu)、與多層彈片機(jī)構(gòu)連為一體的可動(dòng)部；所述調(diào)節(jié)支座可動(dòng)部的一端懸空設(shè)置，并水平設(shè)有一固定被調(diào)節(jié)件用的通槽；所述調(diào)節(jié)螺柱的底端與所述可動(dòng)部的頂部緊密接觸；所述調(diào)節(jié)支座固定部上設(shè)有將其整體固定的通孔；其底部均布有固定彈性張緊機(jī)構(gòu)的螺孔，螺孔內(nèi)穿設(shè)有固定螺絲。
上述的一維線性微調(diào)機(jī)構(gòu)，其中，所述的彈性張緊機(jī)構(gòu)包括一截面呈倒T形的壓簧導(dǎo)柱和套設(shè)在該壓簧導(dǎo)柱上的壓簧；該壓簧的頂端與所述調(diào)節(jié)支座可動(dòng)部的底部緊密接觸。
上述的一維線性微調(diào)機(jī)構(gòu)，其中，所述可動(dòng)部上的通槽大體上呈矩形條狀。
上述的一維線性微調(diào)機(jī)構(gòu)，其中，所述調(diào)節(jié)支座上的多層彈片機(jī)構(gòu)包括上、下對(duì)稱設(shè)置的多層薄板。
本實(shí)用新型一維線性微調(diào)機(jī)構(gòu)由于采用了上述的技術(shù)方案，使之與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下的優(yōu)點(diǎn)和積極效果1、由于本實(shí)用新型在調(diào)節(jié)支座的上方活動(dòng)連接了一帶有精密螺紋的調(diào)節(jié)螺柱，因而可實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)精度的有效控制。
2、本實(shí)用新型利用帶有特殊的多層彈片機(jī)構(gòu)的調(diào)節(jié)支座確保了微調(diào)機(jī)構(gòu)在滿足單向調(diào)節(jié)精度的同時(shí)，不會(huì)在其它方向上產(chǎn)生大的誤差。還可通過改變彈片層數(shù)和每個(gè)彈片的尺寸來改變整個(gè)彈片機(jī)構(gòu)的彈性。
3、本實(shí)用新型在調(diào)節(jié)方向上通過壓簧和壓簧導(dǎo)柱反向施加一彈性阻力，進(jìn)一步保證了被調(diào)節(jié)件單向調(diào)節(jié)的精度，并使調(diào)節(jié)更加穩(wěn)定可靠。
利用本實(shí)用新型一維線性微調(diào)機(jī)構(gòu)，將被調(diào)節(jié)件裝配在調(diào)節(jié)支座上，在滿足空間裝配尺寸要求的同時(shí)，可達(dá)到微米級(jí)別的一維線性微調(diào)精度，不僅穩(wěn)定可靠，且在其它方向不會(huì)產(chǎn)生超出允許范圍的誤差。


通過以下對(duì)本實(shí)用新型一維線性微調(diào)機(jī)構(gòu)的一實(shí)施例結(jié)合其附圖的描述，可以進(jìn)一步理解其實(shí)用新型的目的、具體結(jié)構(gòu)特征和優(yōu)點(diǎn)。其中，附圖為圖1為本實(shí)用新型一維線性微調(diào)機(jī)構(gòu)的裝配結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1中調(diào)節(jié)支座的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
附圖中1-調(diào)節(jié)支座；11-調(diào)節(jié)支座的固定部；12-調(diào)節(jié)支座的多層彈片機(jī)構(gòu)121-多層彈片機(jī)構(gòu)的薄板；13-調(diào)節(jié)支座的可動(dòng)部；131-可動(dòng)部上的通槽；14-調(diào)節(jié)支座底部的螺孔；151、152-調(diào)節(jié)支座固定部上的通孔；2-調(diào)節(jié)螺柱；3-彈性張緊機(jī)構(gòu)；31-壓簧導(dǎo)柱；32-壓簧；4-固定螺釘。
具體實(shí)施方式
如圖1、2所示，本實(shí)用新型一維線性微調(diào)機(jī)構(gòu)主要包括調(diào)節(jié)支座1、與調(diào)節(jié)支座1活動(dòng)連接的調(diào)節(jié)螺柱2、與調(diào)節(jié)支座1固定連接的彈性張緊機(jī)構(gòu)3；調(diào)節(jié)螺柱2上設(shè)有精密螺紋并與調(diào)節(jié)支座1的上半部活動(dòng)連接、彈性張緊機(jī)構(gòu)3設(shè)置在調(diào)節(jié)支座1的下半部；調(diào)節(jié)螺柱2與彈性張緊機(jī)構(gòu)3的軸線相互重合。
本實(shí)用新型的調(diào)節(jié)支座1包括固定部11、與該固定部11連為一體的多層彈片機(jī)構(gòu)12、與多層彈片機(jī)構(gòu)12連為一體的可動(dòng)部13；調(diào)節(jié)支座可動(dòng)部11的一端懸空設(shè)置，懸空一端的可動(dòng)部13上水平設(shè)有用于固定被調(diào)節(jié)件的通槽131，該通槽131大體上呈矩形條狀。
本實(shí)用新型一維線性微調(diào)機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)支座1的固定部11底部均布有螺孔14，螺孔14內(nèi)穿設(shè)有固定螺絲4，用于將壓簧導(dǎo)柱31固定在調(diào)節(jié)支座1上。
在調(diào)節(jié)支座1上的兩個(gè)通孔151和152用于通過螺釘將調(diào)節(jié)支座1固定在特定支座上。
本實(shí)用新型的彈性張緊機(jī)構(gòu)3包括壓簧導(dǎo)柱31和壓簧32；壓簧導(dǎo)柱31的截面呈倒T形的，壓簧32套設(shè)在該壓簧導(dǎo)柱31上，壓簧32的頂部與調(diào)節(jié)支座1的可動(dòng)部13底面緊密接觸。利用本實(shí)用新型可實(shí)現(xiàn)被調(diào)節(jié)件在Y向微米級(jí)(調(diào)節(jié)范圍為±1mm)的精調(diào)，調(diào)節(jié)前，先用黏合劑將被調(diào)節(jié)件粘合在調(diào)節(jié)支座1可動(dòng)部13的通槽131內(nèi)壁上以使其固定。
旋緊(順時(shí)針旋擰)帶有精密螺紋的調(diào)節(jié)螺柱2時(shí)，由于調(diào)節(jié)螺柱2的底端與可動(dòng)部13的頂部緊密接觸，則會(huì)帶動(dòng)調(diào)節(jié)支座1的可動(dòng)部13沿Y向反向(即向下)微動(dòng)，調(diào)節(jié)支座1的多層彈片機(jī)構(gòu)12保證了被調(diào)節(jié)件只沿Y向反向(即向下)微動(dòng)，在其它五個(gè)方向基本不產(chǎn)生任何偏差。
調(diào)節(jié)支座1的多層彈片機(jī)構(gòu)12由上下對(duì)稱設(shè)置的多層薄板121構(gòu)成?？赏ㄟ^改變多層彈片機(jī)構(gòu)12的彈片層數(shù)和每個(gè)彈片的尺寸來改變整個(gè)彈片結(jié)構(gòu)的彈性。壓簧32通過壓簧導(dǎo)柱31壓緊在調(diào)節(jié)支座1的可動(dòng)部13上，進(jìn)一步保證了不在其它方向產(chǎn)生偏差，并使調(diào)節(jié)更穩(wěn)定可靠。
同理，松動(dòng)(逆時(shí)針旋轉(zhuǎn))調(diào)節(jié)螺柱2時(shí)，由于壓簧32的頂端與調(diào)節(jié)支座可動(dòng)部13的底部緊密接觸，壓簧32使被調(diào)節(jié)件沿Y向正向(即向上)微動(dòng)。調(diào)節(jié)支座1的多層彈片機(jī)構(gòu)12保證了被調(diào)節(jié)件只沿Y的正向微動(dòng)，在其它五個(gè)方向基本不產(chǎn)生任何偏差。
權(quán)利要求1.一維線性微調(diào)機(jī)構(gòu)，其特征在于它包括一調(diào)節(jié)支座、與該調(diào)節(jié)支座上半部活動(dòng)連接的帶有精密螺紋的調(diào)節(jié)螺柱、設(shè)置在所述調(diào)節(jié)支座下半部的彈性張緊機(jī)構(gòu)；所述的調(diào)節(jié)螺柱與彈性張緊機(jī)構(gòu)其軸線相互重合；所述的調(diào)節(jié)支座包括固定部、與該固定部連為一體的多層彈片機(jī)構(gòu)、與多層彈片機(jī)構(gòu)連為一體的可動(dòng)部；所述調(diào)節(jié)支座可動(dòng)部的一端懸空設(shè)置，并水平設(shè)有一固定被調(diào)節(jié)件用的通槽；所述調(diào)節(jié)螺柱的底端與所述可動(dòng)部的頂部緊密接觸；所述調(diào)節(jié)支座固定部上設(shè)有將其整體固定的通孔；其底部均布有固定彈性張緊機(jī)構(gòu)的螺孔，螺孔內(nèi)穿設(shè)有固定螺絲。
2.如權(quán)利要求1所述的一維線性微調(diào)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的彈性張緊機(jī)構(gòu)包括一截面呈倒T形的壓簧導(dǎo)柱和套設(shè)在該壓簧導(dǎo)柱上的壓簧；該壓簧的頂端與所述調(diào)節(jié)支座可動(dòng)部的底部緊密接觸。
3.如權(quán)利要求1所述的一維線性微調(diào)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述調(diào)節(jié)支座可動(dòng)部上的通槽大體上呈矩形條狀。
4.如權(quán)利要求1所述的一維線性微調(diào)機(jī)構(gòu)，其特征在于所述調(diào)節(jié)支座上的多層彈片機(jī)構(gòu)包括上、下對(duì)稱設(shè)置的多層薄板。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一維線性微調(diào)機(jī)構(gòu)，用于高精度傳感器的安裝和調(diào)節(jié)，它包括一調(diào)節(jié)支座、與該調(diào)節(jié)支座上半部活動(dòng)連接設(shè)有精密螺紋的調(diào)節(jié)螺柱、設(shè)置在所述調(diào)節(jié)支座下半部的彈性張緊機(jī)構(gòu)；調(diào)節(jié)螺柱與彈性張緊機(jī)構(gòu)的軸線相互重合；調(diào)節(jié)支座包括固定部、與該固定部連為一體的多層彈片機(jī)構(gòu)、與多層彈片機(jī)構(gòu)連為一體的可動(dòng)部；調(diào)節(jié)支座可動(dòng)部的一端懸空設(shè)置，懸空一端的可動(dòng)部上水平設(shè)有固定被調(diào)節(jié)件的通槽；調(diào)節(jié)螺柱的底部與所述可動(dòng)部的頂面緊密接觸；固定部的底部均布有螺絲孔，螺絲孔內(nèi)穿設(shè)有固定螺釘。將被調(diào)節(jié)件裝配在調(diào)節(jié)支座上，可在有限的空間條件下，達(dá)到微米級(jí)別的一維線性微調(diào)精度，且在其它五個(gè)方向產(chǎn)生的誤差值遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于允許的誤差范圍。
文檔編號(hào)G01D11/00GK2924489SQ20062004246
公開日2007年7月18日 申請(qǐng)日期2006年6月7日 優(yōu)先權(quán)日2006年6月7日
發(fā)明者李生強(qiáng), 齊芊楓 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司