專利名稱：光源裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種光源裝置，其具備出射規(guī)定波長的光的氣體放電 管，可用作分析裝置或半導(dǎo)體檢査裝置等的光源。
背景技術(shù)：
目前，在分析裝置和半導(dǎo)體檢査裝置等的技術(shù)領(lǐng)域中，已知有如例如專利文獻(xiàn)I和2記載的光源裝置。這些專利文獻(xiàn)1和2中記載的 光源裝置，具備容納出射紫外光的重氫燈(氣體放電管)的燈容器， 該燈容器被容納在光源裝置的殼體中。例如在專利文獻(xiàn)1記載的光源 裝置中，燈箱(燈容器)經(jīng)由絕熱部件而固定在殼體中。由此，防止 從殼體向燈箱的傳熱，實(shí)現(xiàn)出射亮度的穩(wěn)定化。此外，在專利文獻(xiàn)2 的分析裝置(光源裝置)中，在燈容器與殼體之間配置有絕熱材料， 借此防止在氣體放電管中產(chǎn)生的熱給測定帶來不好的影響。專利文獻(xiàn)h日本特開2000-315417號公報(bào)專利文獻(xiàn)2:日本特開平11-344435號公報(bào)發(fā)明內(nèi)容發(fā)明人對現(xiàn)有的光源裝置進(jìn)行了研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)了以下的問題。 即，被容納在燈容器內(nèi)的氣體放電管容易受到溫度變化的影響。特別 是，對于專利文獻(xiàn)1記載的光源裝置而言，氣體放電管的芯柱露出于 燈容器外，因此氣體放電管會受到燈容器外的溫度變化的影響，其結(jié) 果是，可能會使亮度不穩(wěn)定。此外，近年來對光源裝置提出了小型化的要求，此時(shí)，在殼體內(nèi) 靠近配置燈容器與其它部件。另一方面，這樣的裝置的小型化使得氣 體放電管的交換等的保養(yǎng)操作變得困難。本發(fā)明是為了解決如上所述的問題而完成的，目的在于提供一種 光源裝置，其具備可以使氣體放電管的亮度穩(wěn)定化，同時(shí)使氣體放電 管的保養(yǎng)操作容易的結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明的光源裝置具備產(chǎn)生規(guī)定波長的光的氣體放電管、容納該 氣體放電管的燈容器、以及在表面固定有該燈容器的基臺。上述燈容 器具備燈固定部、光出射部、絕熱部件和第一拆裝結(jié)構(gòu)。燈固定部構(gòu) 成燈容器的外圍的一部分。光出射部使來自被容納的氣體放電管的光 向燈容器外通過。絕熱部件與氣體放電管一起被容納在燈容器內(nèi)。此 外，該絕熱部件配置在該氣體放電管與該燈固定部之間，以使得氣體 放電管被固定在燈固定部的內(nèi)側(cè)面的規(guī)定位置上。并且，第一拆裝結(jié) 構(gòu)使燈固定部(氣體放電管經(jīng)由絕熱部件而固定)相對于與該燈固定 部一起構(gòu)成燈容器的外圍的一部分的其余部分，在該氣體放電管被固 定的狀態(tài)下能夠拆裝。如上所述，本發(fā)明的光源裝置具有，在燈容器內(nèi)固定有氣體放電 管，并且在氣體放電管與構(gòu)成燈容器的燈固定部之間配置有絕熱部件 的結(jié)構(gòu)。通過這樣的結(jié)構(gòu)，相比于絕熱部件被配置在燈容器外、并且 氣體放電管與燈容器相接觸的現(xiàn)有的光源裝置，減少了燈容器與氣體 放電管之間的傳熱。其結(jié)果是，該光源裝置有效地降低了由燈容器外 的溫度變化引起的對氣體放電管的影響。此外，利用第一拆裝結(jié)構(gòu)， 使燈固定部相對于構(gòu)成燈容器的外圍的一部分的其余部分，以固定氣 體放電管的狀態(tài)下能夠拆裝。此時(shí)，在燈固定部從燈容器的其余部分 拆卸的同時(shí)，固定在該燈固定部的氣體放電管也從該其余部分分離。 其結(jié)果是，去除了周圍的成為障礙的部分，可以簡便地進(jìn)行相對于氣 體放電管的燈固定部的拆裝，氣體放電管的保養(yǎng)操作變得容易。在這里，作為進(jìn)行上述保養(yǎng)作用方面優(yōu)選的結(jié)構(gòu)，具體而言，優(yōu) 選燈容器具有箱型形狀。具體而言，燈容器的箱型形狀通過固定在基臺上的燈容器基板、燈固定板、第一壁面板、第二壁面板限定。燈固 定板沿著與燈容器基板大致垂直的方向延伸，氣體放電管通過絕熱部 件固定。第一壁面板夾著氣體放電管而與燈固定板相對配置。第二壁 面板夾著氣體放電管而與燈容器基板相對配置。此時(shí)，燈固定部由燈 固定板和第二壁面板構(gòu)成。此外，第一拆裝結(jié)構(gòu)使得燈固定部，相對 于燈容器基板和第一壁面板，在氣體放電管通過絕熱部件被固定的狀 態(tài)下，沿著與該燈容器基板大致垂直的方向能夠拆裝。
此外，在本發(fā)明的光源裝置中，燈容器也可以進(jìn)-一步具備互相相 對的第三壁面板和第二拆裝結(jié)構(gòu)。此時(shí)， 一對第三壁面板與第二壁面 板和燈固定板大致垂直，夾著氣體放電管而互相相對地配置。此外， 第二拆裝結(jié)構(gòu)使一對第三壁面板相對于第二壁面板和燈固定板能夠拆 裝。根據(jù)如上所述的結(jié)構(gòu)，在氣體放電管被固定的狀態(tài)下拆卸燈固定 板時(shí)，氣體放電管的交換操作等的保養(yǎng)操作能夠更容易地進(jìn)行。另外， 端窗型氣體放電管固定在燈固定板上時(shí)，光出射部只要是設(shè)置在第一 壁面板上的結(jié)構(gòu)即可。另外，當(dāng)側(cè)窗型的氣體放電管固定在燈固定板 上時(shí)，光出射部也可以為設(shè)置在第三壁面板上的結(jié)構(gòu)。此外，本發(fā)明的光源裝置也可以進(jìn)一步具備使來自氣體放電管的 光通過的透鏡。此時(shí)，透鏡也可以保持在設(shè)置在燈容器中的光出射部 上。利用這樣的結(jié)構(gòu)，氣體放電管相對于透鏡的定位變得更容易。另外，本發(fā)明的光源裝置中，絕熱部件也可以具有板狀形狀。此 時(shí)，絕熱部件相對于燈固定板的密合固定變得容易。另外，可以通過以下的詳細(xì)說明和附圖更充分地理解本發(fā)明的各 實(shí)施例。這些實(shí)施例是僅為了示例而表示的，不應(yīng)被認(rèn)為是對本發(fā)明 的限定。此外，本發(fā)明的進(jìn)一步的應(yīng)用范圍從以下的詳細(xì)說明中將變得更 明確。但是，雖然詳細(xì)的說明和特定的事例是表示本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí) 施例，但是它們僅僅是為了示例而表示的，對本領(lǐng)域技術(shù)人員而言， 由該詳細(xì)說明在本發(fā)明的思想和范圍內(nèi)進(jìn)行的各種變形和改進(jìn)是顯而 易見的。根據(jù)本發(fā)明的光源裝置，因?yàn)闇p少了由燈容器外的溫度變化引起 的對氣體放電管的影響，所以能夠?qū)崿F(xiàn)氣體放電管的亮度穩(wěn)定化。此 外，因?yàn)闊羧萜骶哂袣怏w放電管與燈固定部一起可拆裝的結(jié)構(gòu)，在替 換氣體放電管時(shí)周圍部件不會成為障礙，結(jié)果使得氣體放電管的保養(yǎng) 操作容易進(jìn)行。


圖1是表示本發(fā)明的光源裝置的第1實(shí)施例的簡要結(jié)構(gòu)的圖。
圖2是表示圖1中所示的重氫燈的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的截面圖。圖3是圖2中所示的重氫燈中的發(fā)光部裝配體的分解立體圖。圖4是表示圖1中所示的燈箱的結(jié)構(gòu)的立體圖。 圖5是表示圖4的燈箱(容納重氫燈的內(nèi)部狀態(tài))的內(nèi)部狀態(tài)的 分解立體圖。圖6是詳細(xì)表示圖4的燈箱的內(nèi)部狀態(tài)的分解立體圖。圖7是表示圖6中所示的絕熱插孔部件的結(jié)構(gòu)的主視圖。圖8是從背面?zhèn)缺硎緢D6中所示的絕熱插孔部件的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖9是表示重氫燈被固定的狀態(tài)的絕熱插孔(圖7)的沿IX-IX線的截面結(jié)構(gòu)的圖。圖10是表示圖9的重氫燈中的芯柱銷貫通部的放大截面圖。 圖11是表示本發(fā)明的光源裝置的第2實(shí)施例的簡要結(jié)構(gòu)的圖。 圖12是表示本發(fā)明的光源裝置的第3實(shí)施例中的燈箱的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖13是表示圖12的燈箱(容納重氫燈的內(nèi)部狀態(tài))的內(nèi)部狀態(tài) 的分解立體圖。圖14是表示本發(fā)明的光源裝置的第4實(shí)施例中的燈箱的結(jié)構(gòu)的立 體圖。圖15是表示圖14的燈箱(容納重氫燈的內(nèi)部狀態(tài))的內(nèi)部狀態(tài) 的分解立體圖。圖16是表示本發(fā)明的光源裝置的第5實(shí)施例中的燈箱的結(jié)構(gòu)的立 體圖。圖17是表示圖16的燈箱(容納重氫燈的內(nèi)部狀態(tài))的內(nèi)部狀態(tài) 的分解立體圖。圖18是表示本發(fā)明的光源裝置的第6實(shí)施例中的絕熱插孔部件的 結(jié)構(gòu)的主視圖。圖19是表示重氫燈被固定的狀態(tài)的絕熱插孔(圖18)的沿 XIX-XIX線的截面結(jié)構(gòu)的圖。圖20是表示本發(fā)明的光源裝置的第7實(shí)施例中的絕熱插孔部件的主視圖。
圖21是表示重氫燈被固定的狀態(tài)的絕熱插孔(圖20)的沿XXI- XXI線的截面結(jié)構(gòu)的圖。圖22是表示本發(fā)明的光源裝置的第8實(shí)施例中的絕熱插孔部件的 主視圖。圖23是表示重氫燈被固定的狀態(tài)的絕熱插孔(圖22)的沿XXII- XXII線的截面結(jié)構(gòu)的圖。圖24是表示本發(fā)明的光源裝置的第9實(shí)施例中的絕熱插孔部件的 主視圖。圖25是表示重氫燈被固定的狀態(tài)的絕熱插孔(圖24)的沿 XXV-XXV線的截面結(jié)構(gòu)的圖。圖26是表示本發(fā)明的光源裝置的第10實(shí)施例中的絕熱插孔部件 的主視圖。圖27是表示重氫燈被固定的狀態(tài)的絕熱插孔(圖26)的沿 XXVII-XXVII線的截面結(jié)構(gòu)的圖。圖28是表示本發(fā)明的光源裝置的第11實(shí)施例中的絕熱插孔部件 的主視圖。圖29是表示重氫燈被固定的狀態(tài)的絕熱插孔(圖28)的沿 XXIX-XXIX線的截面結(jié)構(gòu)的圖。圖30是表示本發(fā)明的光源裝置的第12實(shí)施例中的絕熱插孔部件 的主視圖。圖31是表示重氫燈被固定的狀態(tài)的絕熱插孔(圖30)的沿 XXXI-XXXI線的截面結(jié)構(gòu)的圖。 符號說明1、 41、 56、 66、 76…光源裝置，7…基臺，10…重氫燈(氣體放 電管)，20、 40、 50、 60、 70…燈箱(燈容器)，21、 51…底板(燈容 器基板)，22…燈固定板(燈固定部)，23、 43、 53、 63…光出射板(第 一壁面板)，23a…光出射部，24、 54、 64、 74…側(cè)面板(第三壁面板)， 25…頂板(第二壁面板)，26…透鏡，30、 80、 90、 100、 110、 120、 130、 140…絕熱插孔部件(絕熱部件)，67…基臺(燈容器基板)
具體實(shí)施例方式
以下，使用圖1 31詳細(xì)說明本發(fā)明的光源裝置的各實(shí)施例。另 外，在圖的說明中，對相同或相同要素標(biāo)記相同的符號，省略重復(fù)的 說明。圖1是表示本發(fā)明的光源裝置的第1實(shí)施例的簡要結(jié)構(gòu)的圖，圖2是表示圖1中所示的重氫燈的結(jié)構(gòu)的截面圖，圖3是表示圖2中 所示的發(fā)光部裝配體的結(jié)構(gòu)的分解立體圖，圖4 6是表示圖1中所示 的燈箱的結(jié)構(gòu)的圖，圖7和圖8是表示圖6中所示的絕熱插孔部件的 結(jié)構(gòu)的圖，圖9是表示重氫燈被固定的狀態(tài)的絕熱插孔(圖7)的沿 IX-IX線的截面結(jié)構(gòu)的圖，并且，圖IO是表示圖9的重氫燈中的芯柱 銷(stem pin)貫通部的放大截面圖。圖1所示的光源裝置1例如被用作分析裝置等的光源，具備出射 規(guī)定波長的紫外光的重氫燈(氣體放電管)10。從該重氫燈10出射并 由透鏡26準(zhǔn)直的紫外光和來自鹵素?zé)?的出射光，由分光器4合成， 該合成光從該光源裝置1出射。利用該結(jié)構(gòu)，可以防止分析裝置的檢 測器中的飽和，可以實(shí)現(xiàn)檢測器的動(dòng)態(tài)范圍的有效利用。光源裝置1進(jìn)一步具備容納重氫燈10的燈箱(燈容器)20和具有 燈驅(qū)動(dòng)電路的燈驅(qū)動(dòng)基板6。此外，這些燈箱20、分光器4、鹵素?zé)? 以及燈驅(qū)動(dòng)基板6固定在基臺7的規(guī)定位置上，由此可以實(shí)現(xiàn)該光源 裝置1的小型化。以下，對重氫燈IO進(jìn)行詳細(xì)說明。重氫燈IO是所謂端窗型的重 氫燈，如圖2所示，具備玻璃制的密封容器11以及容納在該密封容器 11內(nèi)的發(fā)光部裝配體12。密封容器11具有，圓筒狀的側(cè)管部lla、將該側(cè)管部lla的下端 側(cè)密封的芯柱部llb、以及將上端側(cè)密封的光出射窗l(fā)lc。在該密封容 器11內(nèi)封入有幾百Pa左右的重氫氣體。在芯柱部llb上，沿著規(guī)定 的圓周上以分別插通的狀態(tài)密封固定有多根(在本實(shí)施例中為9根) 導(dǎo)電性芯柱銷19a 19i (參照圖3)。此外，在芯柱部lib的中央形成 有向外側(cè)(圖示下側(cè))突出的排氣管部lld。容納在密封容器11內(nèi)的發(fā)光部裝配體12發(fā)揮作為產(chǎn)生紫外線的 光源的功能。如圖2和圖3所示，具備從下方起依次配置的、基底部 13、陽極部14、放電通路限制部固定板15、放電通路限制部16和陰 極部17，同時(shí)具備覆蓋它們的陰極部罩18。
如圖3所示，基底部13由電絕緣性陶瓷形成，具有圓板形狀。在該基底部13上，沿周邊形成有多個(gè)開口，上述芯柱銷19a 19i分別通 過這些開口。在基底部13的上表面，為了容納配置陽極部14，形成有 與該陽極部14的形狀相對應(yīng)的形狀的淺凹部13a。陽極部14是導(dǎo)電性薄板，具備大致圓板狀的主體部分14a以及從 該主體部分14a的周邊的兩處起沿著半徑方向水平延伸的一對延伸部 分14b、 14c。如圖2所示，陽極14在其上表面與基底部13的上表面 一致的狀態(tài)下，被容納在基底部13的凹部13a中。如圖3所示，在陽 極部14的延伸部分14b、 14c上設(shè)置有開口 14d、 14e，芯柱銷19c、 19d 的前端電連接于這些開口 14d、 14e。放電通路限制部固定板15由陶瓷形成，同時(shí)具有大致扇形形狀。 該放電通路限制固定板15被載置為，與基底部13和陽極部14的大致 中央部分重疊。在放電通路限制部固定板15的大致中央部分，為了使 形成在陽極部14和陰極部17之間的放電通路通過，設(shè)置有使陽極部 14的主體部分14a露出的開口 15x。在包括放電通路限制部固定板15 的開口 15x的寬度窄的一側(cè)(圖示右側(cè))的上表面上，為了容納配置 放電通路限制部16，形成有與該放電通路限制部16的形狀相對應(yīng)的形 狀的淺凹部15a。另一方面，在放電通路限制部固定板15的寬度寬的 一側(cè)(圖示左側(cè))的上表面上，設(shè)置有用于將陰極部17豎起設(shè)置的凸 部15b。在放電通路限制部固定板15的凹部15a的寬度窄的一側(cè)的位 置上，設(shè)置有開口 15c，芯柱銷19e通過該開口 15c。另外，在放電通 路限制部固定板15的凸部15b上設(shè)置有一對開口 15d、 15e，芯柱銷 19a、 19b分別通過這些開口 15d、 15e。放電通路限制部16是導(dǎo)電性薄板，具備大致圓板狀的主體部分16a 以及從該主體部分16a的周邊起沿著半徑方向水平延伸的延伸部分 16b。如圖2所示，放電通路限制部16在其上表面與放電通路限制部 固定板15的上表面一致的狀態(tài)下，被容納在放電通路限制部固定板15 的凹部15a中。如圖3所示，在該放電通路限制部16的延伸部分16b 上設(shè)置有開口 16c，芯柱銷19e的前端部電連接于該開口 16c。此外，如圖2和圖3所示，在放電通路限制部16上，在與放電通 路限制部固定板15的開口 15x同軸的位置上，設(shè)置有弧球成形用的凹 部16d。該凹部16d發(fā)揮容納為了有效出射光而由放電形成的弧球的功 能，具有朝向光出射窗l(fā)lc變寬的杯形狀。在放電通路限制部16中的 凹部16d的底面，設(shè)置有直徑0.5mm左右的小徑的放電通路狹窄開口 16e。由此，可以在凹部16d內(nèi)形成扁平的球狀的弧球。
陰極部17具備線圈(熱絲線圈)作為加熱器，在該加熱器上涂布 有熱電子放射物質(zhì)，例如，氧化鋇等。如圖3所示，在這樣的陰極部 17上，其線圈的兩端部在貫通放電通路限制部固定板15的凸部15b 的開口 15d、 15e的狀態(tài)下豎起設(shè)置，與將該開口 15d、 15e貫通的芯 柱銷19a、 1%電連接。
如圖2和圖3所示，陰極部罩18具有圓筒形狀。此外，陰極部罩 18具備陽極側(cè)覆蓋部18a和陰極側(cè)覆蓋部18b。陽極側(cè)覆蓋部18a覆 蓋陽極部14、放電通路限制部16等的裝配體。陰極側(cè)覆蓋部18b在覆 蓋陰極部17的狀態(tài)下，設(shè)置為使陽極側(cè)覆蓋部18a內(nèi)的空間連通。此 外，陰極側(cè)覆蓋部18b的截面形狀，是將與陽極側(cè)覆蓋部18a同軸且 同徑的圓筒，在不包括軸線的位置上沿著軸線方向垂直切斷時(shí)的，較 小的部分的形狀。這些陽極側(cè)覆蓋部18a和陰極側(cè)覆蓋部18b由一體 成形的陶瓷形成。
在陰極部罩18中的陰極側(cè)覆蓋部18b中，在放電通路狹窄開口 16e 的軸心側(cè)(陰極部17的電子放出側(cè))的狹縫板部18c，設(shè)置有作為開 口的用于放出電子的狹縫18d。另一方面，在陽極側(cè)覆蓋部18a上，在 與放電通路限制部固定板15的開口 15x或放電通路限制部16的放電 通路狹窄開口 16e同軸的位置上，設(shè)置有用于通過上述放電通路的開 口 18e。該開口 18e具有，為了提高放電效率而不使放電通路限制部 16露出所需要的以上的程度的大小。此外，如圖3所示，在陽極側(cè)覆 蓋部18a上設(shè)置有開口 18f 18i。在這些開口 18f 18i上，分別連接 固定有位于陽極部14和放電通路限制部固定板15的外側(cè)且向上方延 伸的其余的芯柱銷19f 19i的前端部。利用該結(jié)構(gòu)，陰極部罩18固定 在芯柱銷19a 19i的前端部，同時(shí)，在該陰極部罩18與基底部13之 間，以重疊的狀態(tài)配置有陽極部14、放電通路限制部固定板15和放電 通路限制部16。
接著，對容納如上所述構(gòu)成的重氫燈10的燈箱20進(jìn)行詳細(xì)說明。如圖4 圖6所示，燈箱20具有箱型形狀。燈箱20至少具備固定在上 述基臺7上的底板(燈容器基板)21、垂直于底板21的燈固定板(燈 固定部)22、光出射板(第一壁面板)23、 一對側(cè)面板(第三壁面板) 24、作為燈箱20的上部壁面的頂板(第二壁面板)25。利用這些底板 21、燈固定板22、光出射板23、側(cè)面板24和頂板25限定燈箱20的 外圍。如圖6所示，底板21在其角部附近設(shè)置有用于將底板21螺釘固 定于基臺7上的開口 21a。在底板21的長度方向的一方的端部，豎起 設(shè)置有光出射板23，在另一方的端部附近，設(shè)置有用于固定燈固定板 22的陰螺紋部21b。并且，如圖4所示，底板21經(jīng)由絕熱材料27而 螺釘固定于基臺7。如圖5所示，燈固定板22是經(jīng)由后述的絕熱插孔部件(絕熱部件) 30而將重氫燈IO的芯柱部lib (參照圖2和圖6)固定的部件。如圖 4 圖6所示，在該燈固定板22上，在其中央部設(shè)置有用于使絕熱插 孔部件30的中央部露出的開口 22a，并且在開口 22a的水平方向兩側(cè) 設(shè)置有用于進(jìn)行絕熱插孔部件30的定位的小孔22b、 22b。另一方面， 在燈固定板22的角部附近，設(shè)置有用于固定絕熱插孔部件30的陰螺 紋部22c。另外，在燈固定板22的下端部，設(shè)置有向外部方向(圖示 左右方向)延伸的板狀的延伸部22d，在該延伸部22d上設(shè)置有用于將 燈固定板22螺合固定于底板21上的開口 22e。如圖5所示，光出射板23與底板21 —起構(gòu)成一體部件，其是以 夾著重氫燈10而與燈固定板22相對的方式從底板21的一方的端部向 上方延伸的壁面。如圖5和圖6所示，在該光出射板23上，在其中央 部設(shè)置有將來自重氫燈10的出射光出射至燈箱20之外的光出射部 23a，此外，在光出射部23a上保持有透鏡26。如圖6所示，在光出射 板23的上端面的中央，設(shè)置有用于將頂板25螺合的陰螺紋部23b，在 該陰螺紋部23b的兩側(cè)豎起設(shè)置有頂板25定位用的定位銷23c、 23c。如圖5所示，頂板25與燈固定板22構(gòu)成一體部件，其是以夾著 重氫燈10而與底板21相對的方式從燈固定板22的上端部至光出射板 23的上端部水平延伸的壁面。如圖6所示，在該頂板25上，在與光出
射板23的陰螺紋部23b和定位銷23c相對應(yīng)的位置上，分別設(shè)置有開 口 25a和定位孔25b。并且，在定位銷23c插入定位孔25b中的狀態(tài)下， 螺釘通過開口 25a螺合于陰螺紋部23b。而且，螺釘通過開口22e螺合 于陰螺紋部21b，由此定位固定頂板25和燈固定板22。即，燈固定板 22和頂板25相對于底板21和光出射板23以能夠自由拆裝的方式固 定。此外，在頂板25上，在側(cè)部附近設(shè)置有用于固定側(cè)面板24的上 端部的多個(gè)陰螺紋部25c。如圖4 圖6所示， 一對側(cè)面板24是構(gòu)成燈箱20的側(cè)壁的部件。 如圖5所示，這些側(cè)面板24以夾著重氫燈10的狀態(tài)互相相對地配置。 側(cè)面板24的上端部被彎曲，該彎曲部分構(gòu)成面對于頂板25的上表面 的上端板24a。側(cè)面板24上的光出射板23側(cè)的端部也被彎曲，該彎曲 部分構(gòu)成面對于光出射板23的前表面的前端板24b。此外，在側(cè)面板 24的上端板24a上，設(shè)置有與光出射板23的定位銷23c和頂板25的 陰螺紋部25c、 25c相對應(yīng)的開口 24c、 24d、 24d。并且，在將上端板 24a重疊于頂板25之上的狀態(tài)下，將定位銷23c插入到開口 24c中， 同時(shí)將螺釘通過開口 24d螺合于陰螺紋部25c，由此側(cè)面板24被固定 在頂板25上。這些側(cè)面板24通過彎折薄板而形成，利用從底板21的 下面?zhèn)认蜻@些側(cè)面板的外表面延伸的板彈簧28，向內(nèi)側(cè)加壓。即，一 對側(cè)面板24相對于底板21、燈固定板22、光出射板23和頂板25以 能夠自由拆裝的方式安裝。接著，對用于將重氫燈10固定于燈箱20的絕熱插孔部件30進(jìn)行 詳細(xì)說明。如圖5和圖6所示，絕熱插孔部件30具有板形狀，如上所 述，它是在保持重氫燈10的芯柱部lib側(cè)的狀態(tài)下，將該重氫燈10 固定于燈固定板22上的部件。另外，關(guān)于絕熱插孔部件30的部位， 將保持重氫燈10的一側(cè)作為正面?zhèn)?，將在燈固定?2上固定的一側(cè) 作為背面?zhèn)葋磉M(jìn)行說明。絕熱插孔部件30由具有絕熱性、電絕緣性、耐紫外線性能和抗蝕 性的聚醚醚酮樹脂材料(PEEK材料Victrex公司注冊商標(biāo))形成。 此外，絕熱插孔部件30分別在正面?zhèn)群捅趁鎮(zhèn)染哂幸?guī)定的平坦面，具 有與燈固定板22相對應(yīng)的大小。如圖7和圖8所示，該絕熱插孔部件 30具有用于使重氫燈10的排氣管部lld (參照圖2)進(jìn)入的排氣管
進(jìn)入部31;用于使重氫燈IO的芯柱銷19a 19i (參照圖3)進(jìn)入的芯 柱銷進(jìn)入部32a 32i;插入于規(guī)定的芯柱銷進(jìn)入部32a、 32b、 32g、 32e、 32c且將芯柱銷19a、 1%、 19g、 19e、 19c電連接的芯柱插孔部件33a 33e;從背面?zhèn)韧怀銮矣糜趯⒃摻^熱插孔30相對于燈固定板22定位的 定位銷34;用于將該絕熱插孔部件30螺釘固定的開口 35。排氣管進(jìn)入部31是設(shè)置在絕熱插孔部件30的中央部的開口。該 開口的直徑從背面?zhèn)认蛘鎮(zhèn)茸兇?。芯柱銷進(jìn)入部32a 32i是沿著排氣管進(jìn)入部31的周圍的規(guī)定的圓 周上形成的多個(gè)開口。這些開口位于與芯柱銷19a 19i (參照圖3)相 對應(yīng)的位置。使銷插孔部件33a 33e進(jìn)入的芯柱銷進(jìn)入部32a、 32b、 32g、 32e、 32c的直徑為約1.8mm，其余的芯柱銷進(jìn)入部32d、 32i， 32h、 32f的直徑為約1.3mm。如圖IO所示，芯柱部llb在芯柱銷19的貫通 部的周圍具有玻璃的凸起部Ile。然而，如圖9所示，為了使芯柱部 lib與絕熱插孔部件30密合固定，芯柱銷進(jìn)入部32d、 32i， 32h、 32f 具有允許凸起部lle進(jìn)入的程度的直徑。插入于芯柱銷進(jìn)入部32a、 32b、 32g、 32e、 32c的銷插孔部件33a 33e具有圓筒形狀。如圖8所示，這些銷插孔部件33a 33e從絕熱插 孔部件30的背面?zhèn)韧怀?，被封閉的其后端側(cè)與電纜連接。芯柱銷19a、 19b、 19g、 19e、 19c相對于銷插孔部件33a 33e能夠自由拆裝，這些 芯柱銷19a、 19b、 19g、 19e、 19c的后端側(cè)(圖示右側(cè))固定(電連接) 于銷插孔部件33a 33e上。此外，如圖9所示，銷插孔部件33a 33e 的前端側(cè)的安裝位置離絕熱插孔部件30的正面?zhèn)鹊拿婢哂幸?guī)定距離。 具體而言，銷插孔部件33a 33e以與芯柱部lib的凸起部lle不接觸 的程度隔開。并且，如圖9所示，重氫燈10以能夠自由拆裝的方式固定在絕熱 插孔部件30上。具體而言，重氫燈10的排氣管部lld和芯柱銷19a 19i分別進(jìn)入于絕熱插孔部件30的排氣管進(jìn)入部31和芯柱銷進(jìn)入部 32a 32i中，芯柱部11b與絕熱插孔部件30的正面面接觸，并且，芯 柱銷19a、 19b、 19g、 19e、 19c嵌入于銷插孔部件33a 33e中。此時(shí)， 與芯柱部lib接觸的絕熱插孔部件30的正面部分成為面接觸部30a。
如圖8所示，定位銷34從排氣管進(jìn)入部31的兩側(cè)向外部突出， 嵌合于燈固定板22的小孔22b (參照圖6)。此外，如圖7和圖8所 示，開口 35分別設(shè)置在與燈固定板22的陰螺紋部22c (參照圖6)對 應(yīng)的位置上。并且，定位銷34嵌合于燈固定板22的小孔22b中，螺 釘通過開口 35與陰螺紋部22c螺合，由此絕熱插孔部件30被定位固 定于燈固定板22上。S卩，在重氫燈10通過絕熱插孔部件30固定于燈 固定板22的狀態(tài)下，燈固定板22能夠相對于光出射板23和底板21 拆裝。下面，對如上所述構(gòu)成的光源裝置1的作用進(jìn)行說明。首先，在 重氫燈10中，在放電前的20秒左右的時(shí)間內(nèi)，從陰極用外部電源經(jīng) 過銷插孔部件33a、 33b和芯柱銷19a、 19b向陰極部17供給IOW左右 的電力。通過該電力供給預(yù)熱構(gòu)成陰極部17的線圈。接著，在陰極部 17與陽極部14之間，從主放電用外部電源經(jīng)過芯柱銷19c、 19d施加 160V左右的電壓。通過該電壓施加協(xié)調(diào)弧放電的準(zhǔn)備。其后，從觸發(fā)用外部電源經(jīng)過芯柱銷19e、 19c、 19d在放電通路 限制部16與陽極部14之間施加規(guī)定電壓，例如350V左右的電壓。這 樣，在陰極部17與放電通路限制部16之間以及在陰極部17與陽極部 14之間依次發(fā)生放電，在陰極部17與陽極部14之間發(fā)生起動(dòng)放電。 發(fā)生起動(dòng)放電后，在陰極部H與陽極部14之間維持弧放電(主放電)， 在放電通路限制部16的凹部16d內(nèi)發(fā)生弧球。從該弧球發(fā)出的紫外線， 作為亮度極高的光而透過光出射窗l(fā)lc向外部出射。另外，在放電時(shí)， 利用陰極側(cè)覆蓋部18b可以防止從陰極部17出來的濺射物或蒸發(fā)物附 著于光出射窗l(fā)lc上。并且，來自重氫燈10的出射光通過透鏡26而向燈箱20外出射。 被出射的紫外線通過分光器4與來自鹵素?zé)?的出射光合成。這里，由于經(jīng)過長時(shí)間的使用而需要替換重氫燈IO等的保養(yǎng)操作 時(shí)，暫時(shí)放松固定燈固定板22和頂板25的螺釘。只要向上方移動(dòng)燈 固定板22和頂板25，就可以從底板21和光出射板23上取下燈固定板 22和頂板25。由此，重氫燈10與燈固定板22 —起從光源裝置1上卸 下。并且，從燈固定板22卸下重氫燈10時(shí)，在周圍沒有會成為光出
射板23等的障礙的部件，此外，因?yàn)槭窍鄬τ谥貧錈?0的絕熱插孔部件30容易拆裝的結(jié)構(gòu)，因而可以簡便地進(jìn)行重氫燈10的替換。此外，在安裝重氫燈10時(shí)，僅僅通過將重氫燈10的芯柱銷19a、 19b、 19g、 19e、 19c插入到絕熱插孔部件30的銷插孔部件33a 33e 中，就可以將芯柱部11b與絕熱插孔部件30密合固定。然后，通過將 固定了重氫燈10的燈固定板22和頂板25安裝到底板21和光出射板 23上，由此可以實(shí)現(xiàn)有關(guān)透鏡26、分光器4等的光學(xué)系統(tǒng)與重氫燈10 之間的距離、光軸的精度較高的安裝。這樣，光源裝置l具有如下結(jié)構(gòu)在燈箱20內(nèi)固定有重氫燈10， 同時(shí)在重氫燈10與燈固定板22之間配置有絕熱插孔部件30。因此， 與絕熱部件配置在燈箱外并且重氫燈與燈箱相接觸的現(xiàn)有的光源裝置 相比，降低了燈箱20與重氫燈IO之間的熱傳導(dǎo)，有效地降低了由燈 箱20外的溫度變化引起的對重氫燈10的影響。其結(jié)果是，可以實(shí)現(xiàn) 重氫燈10的亮度穩(wěn)定化。燈固定板22具有在相對于與該燈固定板22相對的光出射板23固 定了重氫燈10的狀態(tài)下能夠自由拆裝的結(jié)構(gòu)，因此可以將重氫燈10 連同燈固定板22 —起卸下從而與光出射板23分離。其結(jié)果是，消除 了周圍的成為障礙的部分，可以簡單地進(jìn)行重氫燈IO相對于燈固定板 22的拆裝，同時(shí)重氫燈10的保養(yǎng)操作變得容易。此外，因?yàn)橹貧錈?10具有相對于絕熱插孔部件30能夠自由拆裝的結(jié)構(gòu)，所以重氫燈10 的卸下也是容易的。從這點(diǎn)考慮，重氫燈10的替換等的保養(yǎng)操作也變 得容易。在燈箱20中， 一對側(cè)面板24具有相對于燈固定板22和頂板25 可以自由拆裝的結(jié)構(gòu)。因此，在將重氫燈10以固定于燈固定板22的 狀態(tài)卸下時(shí)，可以更容易地進(jìn)行重氫燈IO的替換操作等的保養(yǎng)操作。 另外，通過將定位銷23c和螺釘插入到形成在上端板24a上的開口 24c、 24d中，從而相對于頂板25固定各個(gè)側(cè)面板24。另一方面，通過分別 將螺釘和定位銷23c插入到形成在頂板25和延伸部22d的上表面上的 開口 25a、定位孔25b、開口 22e中，從而相對于光出射板23和底板 21固定頂板25和燈固定板22。因此， 一對側(cè)面板24、燈固定板22、 頂板25可以僅通過從燈箱20的上方的操作而進(jìn)行拆裝，重氫燈10的
替換等的保養(yǎng)操作變得更容易。特別是，這樣的結(jié)構(gòu)對于燈箱20的設(shè) 置空間非常狹窄的情況是有效的。光源裝置1具備使從芯柱部lib向外部突出的芯柱銷19a、 1%、19g、 19e、 19c進(jìn)入的銷插孔部件33a 33e;以及，具有這些銷插孔部 件33a 33e的絕緣性插孔部件30。絕緣性插孔部件30具有如下結(jié)構(gòu)， 即，在使芯柱部llb面接觸的狀態(tài)下以自由拆裝的方式固定重氫燈10 的結(jié)構(gòu)，因此在使重氫燈10密合固定于絕熱插孔部件30上的同時(shí)， 可以提高重氫燈IO的定位精度。此外，因?yàn)樾局縧lb以這樣的方式 密合固定于絕熱插孔部件30，因此與相對于固定重氫燈的基板通過芯 柱銷(在基板與芯柱部之間具有縫隙)固定的現(xiàn)有的光源裝置相比， 提高了固定重氫燈10時(shí)的穩(wěn)定度。光出射板23具有保持使來自重氫燈10的光通過的透鏡26的結(jié)構(gòu)。 因此，重氫燈10相對于透鏡26的定位容易。絕熱插孔部件30具有板形狀。因此，容易將絕熱插孔部件30相 對于燈固定板22密合固定。在具有如上所述的結(jié)構(gòu)的重氫燈10中，利用由保溫性優(yōu)異的陶瓷 形成的陰極部罩18的陰極側(cè)覆蓋部18b來包圍陰極部17(在該陰極側(cè) 覆蓋部18b上作為所需要的最小限度的開口僅設(shè)置有電子放射用的狹 縫18d)。因此，利用該陰極側(cè)覆蓋部18b顯著提高了陰極部17的保 溫效果。此外，陰極部7的溫度維持變得簡單，同時(shí)消耗電力下降， 其結(jié)果是，可以實(shí)現(xiàn)包括電源的氣體放電管10的小型化。陰極部罩18由陶瓷成形為一體， 一方面其陰極側(cè)覆蓋部18b在可 出射電子的狀態(tài)下覆蓋陰極部17，另一方面其陽極側(cè)覆蓋部18a在可 放電的狀態(tài)下覆蓋包括陽極部14和放電通路限制部16的裝配體。利 用該結(jié)構(gòu)，不需要使放電通路限制部16露出所需要的程度以上，其結(jié) 果，不需要用于提高放電效率的部件(相當(dāng)于本實(shí)施例中的陽極側(cè)覆 蓋部18a的上部的另外的部件)。因此，降低了部件個(gè)數(shù)，實(shí)現(xiàn)了低 成本化。放電通路限制部16在被夾在覆蓋陰極部罩18的上述裝配體的部 分即陽極側(cè)覆蓋部18a的上壁部與設(shè)置有通過放電通路的開口 15x的
放電通路限制部固定板15之間的狀態(tài)下被固定。因此，可以以較少的 部件個(gè)數(shù)容易地進(jìn)行放電通路限制部16的固定，更可實(shí)現(xiàn)低成本化。 接著，參照圖11說明本發(fā)明的光源裝置的第2實(shí)施例。另外，圖11是表示本發(fā)明的光源裝置的第2實(shí)施例的簡要結(jié)構(gòu)的圖。該第2實(shí)施例的光源裝置41與第1實(shí)施例的光源裝置1的不同點(diǎn) 在于用燈箱40來代替具備光出射板23 (具有透鏡26)的燈箱20， 該燈箱40具有光出射板43，該光出射板43具有光出射窗42;以使得 透鏡46配置在光出射板43與分光器4之間的方式，將該透鏡46固定 在基臺7上。第2實(shí)施例的光源裝置41的其它結(jié)構(gòu)，與第1實(shí)施例的 光源裝置1相同，用這樣的結(jié)構(gòu)也達(dá)到與第1實(shí)施例的光源裝置同樣 的作用，效果。接著，參照圖12和圖13說明本發(fā)明的光源裝置的第3實(shí)施例。 另外，圖12是表示本發(fā)明的光源裝置的第3實(shí)施例中的燈箱的結(jié)構(gòu)的 立體圖。圖13是表示圖12的燈箱(容納重氫燈的內(nèi)部狀態(tài))的內(nèi)部 狀態(tài)的分解立體圖。該第3實(shí)施例的光源裝置56與第1實(shí)施例的光源裝置1的不同點(diǎn) 在于，作為以不同的部件構(gòu)成側(cè)面板24、底板21和光出射板23的燈 箱20的替代，而應(yīng)用以一體化的部件構(gòu)成側(cè)面板54、底板51和光出 射板53的燈箱50，且不需要對側(cè)面板加壓的板彈簧28。具體而言， 底板51和光出射板53具有與第1實(shí)施例中的底板21和光出射板23 同樣的結(jié)構(gòu)。但是，側(cè)面板54從底板51的寬度方向的端部向上方豎 起設(shè)置。即，側(cè)面板54構(gòu)成與底板51和光出射板53垂直的壁面，延 伸至與光出射板53同樣的高度。第3實(shí)施例的光源裝置56的其它結(jié) 構(gòu)，與第1實(shí)施例的光源裝置1相同，用這樣的結(jié)構(gòu)也能達(dá)到與第1 實(shí)施例的光源裝置1同樣的作用*效果。除此之外，因?yàn)椴恍枰鍙?簧28，所以比第1實(shí)施例更減少了部件個(gè)數(shù)。接著，參照圖14和圖15說明本發(fā)明的光源裝置的第4實(shí)施例。 另外，圖14是表示本發(fā)明的光源裝置的第4實(shí)施例中的燈箱的結(jié)構(gòu)的 立體圖。另外，圖15是表示圖14的燈箱(容納重氫燈的內(nèi)部狀態(tài)) 的內(nèi)部狀態(tài)的分解立體圖。
該第4實(shí)施例的光源裝置66與第3實(shí)施例的光源裝置56的不同 點(diǎn)在于，作為以一體化的部件構(gòu)成側(cè)面板54、底板51和光出射板53 的燈箱50的替代，而應(yīng)用其結(jié)構(gòu)為以一體化的部件構(gòu)成光出射板63 和側(cè)面板64、另--方面將基臺67兼作底板的燈箱60。光出射板63和 側(cè)面板64具有與第3實(shí)施例的光出射板53和側(cè)面板54同樣的結(jié)構(gòu)， 另一方面，沒有配置在底板51上的絕熱材料27?；_67具有與基臺 7同樣的結(jié)構(gòu)，在與燈固定板22上的延伸部22d的開口 22e相對應(yīng)的 位置上，形成有用于固定燈固定板22的陰螺紋部67b。該第4實(shí)施例 的光源裝置66的其它結(jié)構(gòu)與第1實(shí)施例的光源裝置1相同，用這樣的 結(jié)構(gòu)也能達(dá)到與第1實(shí)施例的光源裝置1同樣的作用 效果。除此之 外，因?yàn)閷⒒_67兼作燈箱60的底板，所以可以進(jìn)一步減少部件個(gè) 數(shù)。接著，參照圖16和圖17說明本發(fā)明的光源裝置的第5實(shí)施例。 另外，圖16是表示本發(fā)明的光源裝置的第5實(shí)施例中的燈箱的結(jié)構(gòu)的 立體圖。圖17是表示圖16的燈箱(容納重氫燈的內(nèi)部狀態(tài))的內(nèi)部 狀態(tài)的分解立體圖。該第5實(shí)施例的光源裝置76與第1實(shí)施例的光源裝置1的不同點(diǎn) 在于，作為絕熱材料27的替代而應(yīng)用具有支撐側(cè)面板74的槽77a的 絕熱材料77，且不需要板彈簧28。與第1實(shí)施例中的側(cè)面板24相比， 側(cè)面板74在上下方向長出進(jìn)入槽77a的量，下端部比底板21更向下 方突出。于是，得到側(cè)面板74的下端部在絕熱材料77的槽77a上豎 起設(shè)置的燈箱70。該第5實(shí)施例的光源裝置76的其它結(jié)構(gòu)與第1實(shí)施 例的光源裝置1的結(jié)構(gòu)相同，用這樣的結(jié)構(gòu)也能達(dá)到與第1實(shí)施例的 光源裝置1同樣的作用 效果。除此之外，因?yàn)椴恍枰鍙椈?8，所 以可以進(jìn)一步減少部件個(gè)數(shù)。接著，參照圖18和圖19說明本發(fā)明的光源裝置的第6實(shí)施例。 另外，圖18是表示本發(fā)明的光源裝置的第6實(shí)施例中的絕熱插孔部件 的結(jié)構(gòu)的主視圖。圖19是表示重氫燈被固定的狀態(tài)的絕熱插孔(圖18) 的沿XIX-XIX線的截面結(jié)構(gòu)的圖。該第6實(shí)施例的光源裝置與第1實(shí)施例的光源裝置的不同點(diǎn)在于, 作為設(shè)置有開口即芯柱銷進(jìn)入部32d、 32i、 32h、 32f的絕熱插孔部件30的替代，應(yīng)用設(shè)置有芯柱銷進(jìn)入部82d、 82i、 82h、 82f的絕熱插孔 部件80，這些芯柱銷進(jìn)入部是背面?zhèn)缺环忾]的凹部。該第6實(shí)施例的 光源裝置的其它結(jié)構(gòu)，與第1實(shí)施例的光源裝置1的結(jié)構(gòu)相同，用這 樣的結(jié)構(gòu)也能達(dá)到與第1實(shí)施例的光源裝置1同樣的作用 效果。除 此之外，由于芯柱銷進(jìn)入部82d、 82i、 82h、 82f的背面?zhèn)缺唤^熱部件 80封閉，所以可以進(jìn)一步減少燈箱20外的溫度變化對于重氫燈10的 影響。接著，參照圖20和圖21說明本發(fā)明的光源裝置的第7實(shí)施例。 另外，圖20是表示本發(fā)明的光源裝置的第7實(shí)施例中的絕熱插孔部件 的主視圖。另外，圖21是表示重氫燈被固定的狀態(tài)的絕熱插孔(圖20) 的沿XXI-XXI線的截面結(jié)構(gòu)的圖。該第7實(shí)施例的光源裝置與第6實(shí)施例的光源裝置的不同點(diǎn)在于， 作為設(shè)置有開口即排氣管進(jìn)入部31的絕熱插孔部件30的替代，應(yīng)用 設(shè)置有排氣管進(jìn)入部91的絕熱插孔部件90，該排氣管進(jìn)入部91是背 面?zhèn)确忾]的凹部。該第7實(shí)施例的光源裝置的其它結(jié)構(gòu)，與第1實(shí)施 例的光源裝置1的結(jié)構(gòu)相同，用這樣的結(jié)構(gòu)也能達(dá)到與第1實(shí)施例的 光源裝置1和第6實(shí)施例的光源裝置同樣的作用 效果。除此之外， 因?yàn)榕艢夤苓M(jìn)入部91的背面?zhèn)缺唤^熱部件90封閉，所以可以進(jìn)一步 減少燈箱20外的溫度變化對于重氫燈10的影響。接著，參照圖22和圖23說明本發(fā)明的光源裝置的第8實(shí)施例。 另外，圖22是表示本發(fā)明的光源裝置的第8實(shí)施例中的絕熱插孔部件 的主視圖。另外，圖23是表示重氫燈被固定的狀態(tài)的絕熱插孔(圖22)的沿xxni-xxin線的截面結(jié)構(gòu)的圖。該第8實(shí)施例的光源裝置與第7實(shí)施例的光源裝置的不同點(diǎn)在于， 絕熱插孔部件100具有容納重氫燈10的芯柱部lib的第一凹部101 。 第一凹部101的形狀從在正面看是圓形，其外徑具有與芯柱部lib的 外徑相對應(yīng)的大小。該第一凹部101的底面101a為平坦面。并且，如 圖23所示，重氫燈IO在芯柱部llb容納在第一凹部101中的狀態(tài)下， 排氣管部lld和芯柱銷19a 19i分別進(jìn)入到排氣管進(jìn)入部91和芯柱銷 進(jìn)入部32a、 32b、 32c、 82d、 32e、 82f、 32g、 82h、 82i中。由此，芯 柱部llb在與第一凹部的底面(面接觸部)101a面接觸的狀態(tài)下，以
能夠自由拆裝的方式被固定。該第8實(shí)施例的光源裝置的其它結(jié)構(gòu)， 與第1實(shí)施例的光源裝置1的結(jié)構(gòu)相同，用這樣的結(jié)構(gòu)也能達(dá)到與第1 實(shí)施例的光源裝置1和第7實(shí)施例的光源裝置同樣的作用 效果。除此之外，在該第8實(shí)施例中，增加了固定重氫燈10時(shí)的穩(wěn)定度。接著，參照圖24和圖25說明本發(fā)明的光源裝置的第9實(shí)施例。 另外，圖24是表示本發(fā)明的光源裝置的第9實(shí)施例中的絕熱插孔部件 的主視圖。另外，圖25是表示重氫燈被固定的狀態(tài)的絕熱插孔(圖24) 的沿XXV-XXV線的截面結(jié)構(gòu)的圖。該第9實(shí)施例的光源裝置與第8實(shí)施例的光源裝置的不同點(diǎn)在于 絕熱插孔部件IIO在第一凹部101的底面101a上具有第二凹部112; 以及，具有設(shè)置有停留在芯柱銷進(jìn)入部32a、 32b、 32g、 32e、 32c的正 面?zhèn)鹊闹苓叢康耐咕壊?13t的銷插孔部件113a 113e。第二凹部112 的形狀從正面看為圓形，其外周位于芯柱銷進(jìn)入部32a、 32b、 32c、 82d、 32e、 82f、 32g、 82h、 82i的外側(cè)。此外，銷插孔部件113a 113e插入 到芯柱銷進(jìn)入部32a、 32b、 32g、 32e、 32c中，且凸緣部113t停留在 第二凹部112的底面112a。該第9實(shí)施例的光源裝置的其它結(jié)構(gòu)，與 第1實(shí)施例的光源裝置1的結(jié)構(gòu)相同，用這樣的結(jié)構(gòu)也能達(dá)到與第1 實(shí)施例的光源裝置1和第8實(shí)施例的光源裝置同樣的作用 效果。接著，參照圖26和圖27說明本發(fā)明的光源裝置的第IO實(shí)施例。 另外，圖26是表示本發(fā)明的光源裝置的第10實(shí)施例中的絕熱插孔部 件的主視圖。另外，圖27是表示重氫燈被固定的狀態(tài)的絕熱插孔(圖 26)的沿XXVII-XXVII線的截面結(jié)構(gòu)的圖。該第10實(shí)施例的光源裝置與第7實(shí)施例的光源裝置的不同點(diǎn)在 于絕熱插孔部件120具有成圓環(huán)狀向正面?zhèn)韧黄鸬钠鹆⒉?21;以及 具有設(shè)置有停留在芯柱銷進(jìn)入部32a、 32b、 32g、 32e、 32c的正面?zhèn)鹊?周邊部的凸緣部113t的銷插孔部件H3a 113e。另外，該銷插孔部件 113a 113e具有與第9實(shí)施例中的銷插孔部件113a 113e相同的結(jié)構(gòu)。起立部121位于芯柱銷進(jìn)入部32a、 32b、 32c、 82d、 32e、 82f、 32g、 82h、 82i的外側(cè)。此外，銷插孔部件113a 113e插入到芯柱銷進(jìn) 入部32a、 32b、 32g、 32e、 32c中，且凸緣部113t停留在絕熱插孔部 件120的正面。并且，重氫燈10以能夠自由拆裝的方式固定在絕熱插
孔部件120上。具體而言，如圖27所示，芯柱部Ub與起立部121的 前端面(面接觸部)121a面接觸，排氣管部lld和芯柱銷19a 19i分 別插入到排氣管進(jìn)入部91和芯柱銷進(jìn)入部32a、 32b、 32c、 82d、 32e、 82f、 32g、 82h、 82i中。該第10實(shí)施例的光源裝置的其它結(jié)構(gòu)，與第 1實(shí)施例的光源裝置1的結(jié)構(gòu)相同，用這樣的結(jié)構(gòu)也能達(dá)到與第1實(shí)施 例的光源裝置1和第7實(shí)施例的光源裝置同樣的作用 效果。接著，參照圖28和圖29說明本發(fā)明的光源裝置的第11實(shí)施例。 另外，圖28是表示本發(fā)明的光源裝置的第11實(shí)施例中的絕熱插孔部 件的主視圖。另外，圖29是表示重氫燈被固定的狀態(tài)的絕熱插孔(圖 28)的沿XXIX-XXIX線的截面結(jié)構(gòu)的圖。該第11實(shí)施例的光源裝置與第1實(shí)施例的光源裝置1的不同點(diǎn)在 于，作為具有直徑從背面?zhèn)认蛘鎮(zhèn)茸兇蟮呐艢夤苓M(jìn)入部31的絕熱插 孔部件30的代替，而應(yīng)用具有直徑從背面?zhèn)认蛘鎮(zhèn)葹橐欢ǖ呐艢夤?進(jìn)入部131的絕熱插孔部件130。該第11實(shí)施例的光源裝置的其它結(jié) 構(gòu)，與第1實(shí)施例的光源裝置1的結(jié)構(gòu)相同，用這樣的結(jié)構(gòu)也能達(dá)到 與第1實(shí)施例的光源裝置1同樣的作用 效果。接著，參照圖30和圖31說明本發(fā)明的光源裝置的第12實(shí)施例。 另外，圖30是表示本發(fā)明的光源裝置的第12實(shí)施例中的絕熱插孔部 件的主視圖。另外，圖31是表示重氫燈被固定的狀態(tài)的絕熱插孔(圖 30)的沿XXXI-XXXI線的截面結(jié)構(gòu)的圖。該第12實(shí)施例的光源裝置與第11實(shí)施例的光源裝置的不同點(diǎn)在 于作為外圍形狀為矩形的絕熱插孔部件130的替代而應(yīng)用外圍形狀 為圓形的絕熱插孔部件140;以及，變更了用于將該絕熱插孔部件140 固定于燈固定板上的插入螺釘?shù)拈_口 145的位置。該絕熱插孔部件140 的外徑具有與芯柱部lib的直徑相對應(yīng)的大小。該第12實(shí)施例的光源 裝置的其它結(jié)構(gòu)，與第1實(shí)施例的光源裝置1的結(jié)構(gòu)相同，用這樣的 結(jié)構(gòu)也能達(dá)到與第1實(shí)施例的光源裝置1以及第11實(shí)施例的光源裝置 同樣的作用 效果。以上基于多個(gè)實(shí)施例具體說明了本發(fā)明，但本發(fā)明并不限定于上 述實(shí)施例。例如，在上述實(shí)施例中，燈箱20、 40、 50、 60、 70都具有 箱型形狀，但也可以具有圓筒體或其它形狀。
此外，在上述的實(shí)施例中，作為氣體放電管表示了端窗型的重氫燈10，但也可以是側(cè)窗型的重氫燈。此時(shí)，在側(cè)面板24、 54、 64、 74 上設(shè)置光出射部。此外，也可以應(yīng)用其它的氣體放電管。而且，在上述的實(shí)施例中，絕熱插孔部件30、 80、 90、 100、 110、 120、 130、 140的材料為聚醚醚酮樹脂材料，但也可以應(yīng)用由具有絕熱 性、電絕緣性的其它材料形成的絕熱插孔部件。由以上的本發(fā)明的說明可知可以對本發(fā)明進(jìn)行各種變形。這種變 形不能被認(rèn)為脫離了本發(fā)明的思想和范圍，所有對本領(lǐng)域技術(shù)人員而 言顯而易見的改進(jìn)都包括在以下的權(quán)利要求中。工業(yè)上的可利用性本發(fā)明的光源裝置可應(yīng)用于分析裝置、半導(dǎo)體檢查裝置等各種檢 查裝置的光源中。
權(quán)利要求
1.一種光源裝置，其特征在于，具備產(chǎn)生規(guī)定波長的光的氣體放電管、容納該氣體放電管的燈容器、以及在表面固定有所述燈容器的基臺，所述燈容器具備燈固定部，構(gòu)成該燈容器的外圍的一部分；光出射部，使來自被容納的所述氣體放電管的光向該燈容器外通過；絕熱部件，與所述氣體放電管一起被容納在所述燈容器內(nèi)，該絕熱部件配置在所述氣體放電管與所述燈固定部之間，以使得所述氣體放電管被固定在所述燈固定部的內(nèi)側(cè)面的規(guī)定位置上；以及，第一拆裝結(jié)構(gòu)，使經(jīng)由所述絕熱部件而固定有所述氣體放電管的所述燈固定部，相對于與該燈固定部一起構(gòu)成所述燈容器的外圍的一部分的其余部分，在該氣體放電管被固定的狀態(tài)下能夠拆裝。
2. 如權(quán)利要求l所述的光源裝置，其特征在于， 所述燈容器具有箱型形狀，該箱型形狀通過固定在所述基臺上的燈容器基板、沿著與所述燈容器基板大致垂直的方向延伸并通過所述 絕熱部件固定有所述氣體放電管的燈固定板、夾著所述氣體放電管而 與所述燈固定板相對配置的第一壁面板、以及夾著所述氣體放電管而 與所述燈容器基板相對配置的第二壁面板限定，所述燈固定部由所述燈固定板和第二壁面板構(gòu)成，并且， 所述第一拆裝結(jié)構(gòu)，可使所述燈固定部在所述氣體放電管通過所 述絕熱部件固定的狀態(tài)下，沿著與該燈容器基板大致垂直的方向，相 對于所述燈容器基板和所述第一壁面板能夠拆裝。
3. 如權(quán)利要求2所述的光源裝置，其特征在于， 所述燈容器迸一步具備-大致垂直于所述第二壁面板和所述燈固定板，且夾著所述氣體放 電管而互相相對的一對第三壁面板；和第二拆裝結(jié)構(gòu)，使得所述一對第三壁面板相對于所述第二壁面板 和所述燈固定板能夠拆裝。
4. 如權(quán)利要求1 3的任一項(xiàng)所述的光源裝置，其特征在于， 還具備使來自所述氣體放電管的光通過的配置在所述光出射部的透鏡。
5. 如權(quán)利要求1 4的任一項(xiàng)所述的光源裝置，其特征在于，所述絕熱部件具有板狀形狀。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種光源裝置，其具備能夠使氣體放電管的亮度穩(wěn)定化，并且能夠使該氣體放電管的保養(yǎng)操作容易的結(jié)構(gòu)。該光源裝置具備氣體放電管、容納了該氣體放電管的燈容器、固定有該燈容器的基臺。在燈容器的外圍的一部分上，經(jīng)由絕熱部件而固定有氣體放電管，該絕熱部件起到降低該燈容器與氣體放電管之間的熱傳導(dǎo)的功能，減少了由燈容器外的溫度變化引起的對氣體放電管的影響。此外，燈容器具備用于使經(jīng)由絕熱部件而被固定的氣體放電管的外圍的一部分與外圍的其余部分可拆裝的拆裝結(jié)構(gòu)，該拆裝結(jié)構(gòu)使氣體放電管的保養(yǎng)操作變得容易。
文檔編號G01N21/01GK101120242SQ200680005239
公開日2008年2月6日 申請日期2006年2月10日 優(yōu)先權(quán)日2005年2月17日
發(fā)明者上野和夫, 松下孝二, 足立耕造 申請人:浜松光子學(xué)株式會社