專利名稱：測試裝置、測試方法、及測試控制程序的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及測試裝置、測試方法、及測試控制程序。本發(fā)明尤其涉及 通過由中央處理裝置執(zhí)行的測試用過程，來測試被測器件的測試裝置、測 試方法、及測試控制程序。本發(fā)明與下列日本申請有關(guān)，對于承認根據(jù)文獻參照而插入的指定國 而言，通過參照將下述日本國申請所記載的內(nèi)容插入到本申請中，作為本 申請記載的一部分。特愿2005 - 084576號申請日2005年3月23曰 背景技術(shù)過去，使用具有測試多個被測器件的多個測試模塊的半導(dǎo)體測試裝 置。該半導(dǎo)體測試裝置具有分別對應(yīng)多個測試模塊的多個中央處理裝置，每 個測試模塊，接受與該當測試模塊對應(yīng)而設(shè)置的中央處理裝置的控制，這 樣，由于多個被測器件同時并行測試，可以提高測試效率。目前，尚未確認先前公知文獻的存在，因此省略其相關(guān)的記載。 通常，作為通用部品，能夠比較廉價購到的中央處理裝置具有20年到30 年的MTBF(平均無故障間隔Mean Time Between Failure),這樣，中央處 理裝置無論采用單個還是5個以下的較少數(shù)的多個，都有足夠長的時間。 但是，通過1臺半導(dǎo)體測試裝置，同時并行進行測試的、作為測試對象的 器件數(shù)，有時達到數(shù)百個的程度，即使可以通過一個測試模塊來進行多個 器件的測試，也需要至少100個左右的中央處理裝置。例如，在半導(dǎo)體測試裝置上設(shè)置100個中央處理裝置的情況下，這些 中央處理裝置整體的MTBF成為2000小時到3000小時程度的時間。這再加 上半導(dǎo)體測試裝置的其他部分的故障率考慮，不能說是足夠大。即，通過 該構(gòu)成，半導(dǎo)體測試裝置的故障率將上升，有時其實用性會成為問題。另 一方面，近年的中央處理裝置充分的低價格高功能化， 一個中央處理裝置 控制一個測試模塊，其中央處理裝置的處理能力也有剩余。發(fā)明內(nèi)容為此，本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠解決上述技術(shù)問題的測試裝 置、測試方法、以及測試控制程序。其目的是通過在權(quán)利要求范圍中的獨 立權(quán)利要求所述的特征組合來達成的。另外，從屬項規(guī)定了本發(fā)明更有利 的具體例。為了解決上述課題，本發(fā)明的第1方案提供一種測試裝置，是測試多 個被測器件的測試裝置，包括，連接到所述多個被測器件，進行該多個被 測器件的測試的多個測試模塊、和根據(jù)被指定的工作模式，控制所述多個測試模塊的測試動作的中央處理裝置；所述中央處理裝置，在指定的所述 工作模式是通過所述多個測試模塊同時并行進行同一測試的并行測試模式 時，通過執(zhí)行預(yù)先確定的一個測試用過程，來控制所述多個測試模塊的每 個中的測試動作，在指定的所述工作模式是通過所述多個測試模塊的每一 個，獨立進行相互不同的測試的獨立測試模式時，對每個測試模塊執(zhí)行控 制該測試模塊的測試用過程，且通過一邊轉(zhuǎn)換一邊執(zhí)行多個該測試用過程 以并行控制所述多個測試模塊。另外，所述多個測試模塊的每一個，在受到對應(yīng)的測試用過程的控制 時，進行根據(jù)該控制內(nèi)容的測試動作，所述中央處理裝置在被指定的所述工作模式是所述獨立測試模式時， 在第1所述測試模塊及第2所述測試模塊都在等待對應(yīng)的測試用過程的控 制的狀態(tài)中，可以讓對應(yīng)所述第1測試模塊的第1所述測試用過程的執(zhí)行， 優(yōu)先于對應(yīng)所述第2測試模塊的第2所述測試用過程的執(zhí)行而先完成，以 所述第1測試模塊進行測試動作的狀態(tài)，來控制第2所述測試模塊。另外，所述中央處理裝置，在所述第1測試用過程存取所述第1測試 模塊而處于等待狀態(tài)之間時，可以代替所述第1測試用過程以執(zhí)行所述第2 測試用過程。所述中央處理裝置，在所述第1測試用過程存取所述第1測試模塊結(jié)束 時，代替所述第2測試用過程的執(zhí)行，再開始所述第1測試用過程的執(zhí)行。 另外，本發(fā)明的第2方案提供一種測試方法，是通過測試多個被測器 件的測試裝置，來測試所述多個被測器件的測試方法，所述測試裝置包括， 連接到所述多個被測器件，進行該當多個被測器件的測試的多個測試模 塊、根據(jù)被指定的所述工作模式，控制所述多個測試模塊的測試動作的中 央處理裝置、通過所述中央處理裝置，在指定的所述工作模式是通過所述 多個測試模塊同時并行進行同 一測試的并行測試模式時，通過執(zhí)行預(yù)先確 定的一個測試用過程，來控制所述多個測試模塊的每個中的測試動作，在 被指定的所述工作模式，是根據(jù)所述多個測試模塊的每一個，獨立執(zhí)行相 互不同的測試的獨立測試模式時，對每個測試模塊4丸行控制該當測試模塊 的測試程序，通過一邊轉(zhuǎn)換一邊執(zhí)行多個該當測試用過程，以并行控制所 述多個測試模塊。還有，本發(fā)明的第3方案提供一種測試控制程序，是控制測試多個被 測器件的測試裝置的測試控制程序，所述測試裝置包括，連接到所述多個
被測器件，以進行該當多個被測器件的測試的多個測試模塊、根據(jù)被指定 的工作模式，控制所述多個測試模塊的測試動作的中央處理裝置、所述中 央處理裝置，在指定的所述工作模式是通過所述多個測試模塊同時并行進 行同一測試的并行測試才莫式時，通過^l行預(yù)先確定的一個測試用過程，來控制所述多個測試模塊的每個中的測試動作；被指定的所述工作模式，是根據(jù)所述多個測試模塊的每一 個，獨立執(zhí)行相互不同的測試的獨立測試模 式時，對每個測試模塊執(zhí)行控制該當測試模塊的測試用過程，通過一邊轉(zhuǎn) 換一邊執(zhí)行多個該當測試用過程，以并行控制所述多個測試模塊。另外，上述發(fā)明的概要，并不是列舉了本發(fā)明所必需的全部特征，這些特征群的次(sub)組合也可成為發(fā)明。根據(jù)本發(fā)明，可通過減少測試控制所禽要的中央處理裝置的數(shù)目，降 低半導(dǎo)體測試裝置的故障率。另外，上述發(fā)明的概要，并不是列舉了本發(fā)明所必需的全部特征，這 些特征群的次組合也可成為發(fā)明。


圖1，以并行測試模式工作時的測試裝置10的構(gòu)成。圖2,以獨立測試模式工作時的測試裝置10的構(gòu)成。圖3，表示并行測試模式中的控制相及測試動作相的時序圖。圖4，表示獨立測試模式中的控制相及測試動作相的時序框圖。附圖標記1 0 :測試裝置2 0 :測試才莫塊2 5 :被測器件3 0 :中央處理裝置 3 5 :測試用過程3 8 :測試用過程具體實施方式
以下，通過實施例對本發(fā)明進行說明，但本發(fā)明的權(quán)利范圍并不限定 于以下實施例，而且實施例中說明的特征的組合的全部并不一定都是本發(fā) 明的解決手段所必要的特征。圖1，表示并行測試模式動作中的測試裝置10的構(gòu)成。測試裝置10具 有測試模塊20-1~4、中央處理裝置30。測試模塊20-1 ~ 4連接被測器件 (DUT: Device Under Test ) 25-1 ~ 4，以進行該當被測器件25 — 1 ~ 4的測試。例如，測試模塊20-1~4的每一個， 一個一個連接到被測器件25-1 ~4 的每一個，以進行對應(yīng)的被測器件的測試。中央處理裝置30根據(jù)指定的工作模式，來控制各測試模塊20-1 ~ 4的 測試動作。例如，本圖中，給出了被指定的動作模式是通過多個測試模塊 同時并行進行同一測試的并行測試才莫式時的構(gòu)成，即，在這種情況下，中 央處理裝置30通過執(zhí)行預(yù)先確定的一個測試用過程35，來控制所述多個測 試模塊20-1 ~ 4的每個中的測試動作。作為控制的詳細處理內(nèi)容，測試用 過程35中，例如，對測試模塊20-1 ~ 4的每個一齊發(fā)送測試動作時所需的 參數(shù)，以設(shè)定在測試模塊20-1~4的每個中。另外，測試用過程35亦收集 上述測試模塊20-1-4的每個中已進行的測試動作所產(chǎn)生的測試結(jié)果，以 判斷被測器件25-1 ~ 4的良否。圖2，表示測試裝置IO在獨立測試模式動作時的測試裝置10的構(gòu)成。 和圖l的構(gòu)成一採測試裝置10具有測試模塊20-1 4和中央處理裝置3d 測試模塊20-1 ~ 4連接被測器件25-1 ~ 4，以進行該當被測器件25-1 ~ 4的 測試。中央處理裝置30在被指定的動作模式為通過多個測試模塊的每一 個，以獨立地進行相互不同的測試的獨立測試^^莫式時，進行以下處理。首先，中央處理裝置30，對測試模塊的每一個執(zhí)行控制該當測試模塊 的測試用過程。即，中央處理裝置30對應(yīng)于測試模塊20—1 ~ 4的每一個， 來執(zhí)行測試用過程38 — 1 4的每一個。然后，中央處理裝置30， 一邊切換 且一邊執(zhí)行測試用過程38 — 1 ~ 4，以平行控制各測試模塊20—1 ~ 4。另夕卜， 測試用過程38-1 ~ 4的每個雖然分別獨立地控制各測試模塊20-1 ~ 4,但亦 可以在控制上使用一條共同的控制線，比如，PCI總線等。這里，測試用過程38-1-4的每個控制的互相不同的測試，是例如作 為判斷對象的被測器件的種類相互不同的測試。可取代的是，即使被測器 件的種類相同，作為測試的判斷對象的內(nèi)容也可以相互不同。進一步，即 使作為判斷的對象的內(nèi)容相互之間相同，只從測試開始到測試結(jié)束所要時 間而言也可以相互不同。圖3,表示在并行測試模式中的控制相及測試工作相的時序(timing) 圖，測試模塊20-1 ~ 4的每一個都接受測試用過程35的控制，作為一個例 子，測試模塊20-1 ~ 4的每一個都將從測試用過程35接受的參數(shù)寫入至該 當測試模塊內(nèi)的寄存器。接受參數(shù)后寫入至寄存器的 一 系列工作叫做控制 相(phase )。該控制相因為是根據(jù)測試模塊20-1 ~ 4從共同測試用過程35 接受的同一參數(shù)來進行的，因此，能夠分別在測試模塊20-1-4的每個中 同時并行地進行。另外，測試模塊20-1 ~ 4的每一個接受了測試用過程35的控制時，根 據(jù)其控制的內(nèi)容來進行測試動作，該測試動作叫做測試動作相。例如，測 試模塊20-1 ~ 4的每一個在測試動作相中，亦可通過對被測器件的25-1 ~ 4 的每一個輸出測試圖案，以收集與其測試圖案對應(yīng)而從被測器件的25-1 ~ 4 輸出的輸出圖案。如本圖所示，在并行測試模式的控制相中，僅在測試用過程35時的中央 處理裝置30上動作，測試模塊20—1 ~ 4的每一個共同從測試用過程35同 時接受控制，這樣，不管測試模塊的數(shù)目多少都可以迅速結(jié)束控制相，馬上 開'始測試動作相。這樣，根據(jù)并行試驗?zāi)Ｊ剑梢钥s短控制相所需時間，所 以效率良好。圖4 (a)，表示獨立測試模式中的控制相(phase)及測試動作相的時序圖(第1例)。在本圖中，為了說明上的方便，只集中在測試模塊20-1~ 4的測試模塊20-1 ~ 2上來進行說明。以測試模塊20-1作為本發(fā)明涉及的第1測試模塊的一例，以測試模塊20-2作為本發(fā)明涉及的第2測試模塊的一例。在圖左端的時刻中，測試模塊20-1和測試模塊20-2都處在等待作為對應(yīng)的測試用過程的測試用過程38-1和測試用過程38-2的控制的狀 太心o測試模塊20-1,接受測試用過程38-1的控制，測試模塊20-2接受測 試用過程38-2的控制，中央處理裝置30執(zhí)行測試用過程38-1和測試用過 程38-2。嚴格講中央處理裝置30不能同時執(zhí)行兩個以上的過程，而是通過一邊切換一邊執(zhí)行測試用過 程38-1和測試用過程38-2，來對中央處理裝置30-1和中央處理裝置30 - 2并行進行控制。過程的切換依靠OS (操作系統(tǒng))的功能時，通常，OS 對每一個過程分配預(yù)先確定了長度的時間槽(slot )。即，過程開始動作后， 一經(jīng)過規(guī)定的時間，時間槽就結(jié)束，因此，可 以切換成其它過程來執(zhí)行。還有，即使時間槽沒有結(jié)束，在過程處于輸出 輸入等待狀態(tài)時(例如，測試用過程對測試模塊進行了存取時)，0S可切換 成其它過程來執(zhí)行。這些處理，在通常的用途中，設(shè)過程間的處理速度為 均等，是提高過程的響應(yīng)特性的重要處理。但是，本實施例中的測試模塊只接受在控制相中的來自過程的控制，控 制相結(jié)束后，不接受來自過程的控制，以獨立地進行測試動作。因此，等 待控制相結(jié)束的測試模塊數(shù)，盡可能少時效率好。所以，在本實施例中的 測試裝置10優(yōu)選進行按照下一個第2例所示的時序來進行測試。圖4 (b)，表示獨立測試模式中的控制相(phase)及測試動作相的時 序圖(第2例)。和圖4 (a)同樣，測試模塊20—1接受測試用過程38 — 1 的控制，測試模塊20_2接受測試用過程38-2的控制。中央處理裝置30 通過一邊切換一邊執(zhí)行測試用過程38—1及測試用過程38 - 2，以并行控制 中央處理裝置30-1和中央處理裝置30- 2 。另外，在圖的左端的時刻中， 測試模塊20—1及測試模塊20—2都處在等待作為對應(yīng)的測試用過程的測 試用過程38_1和測試用過程38 — 2的控制的狀態(tài)。在本圖中，和圖4 (a)不同，中央處理裝置30使對應(yīng)于測試模塊20 - 1的測試用過程38 - 1的執(zhí)行，優(yōu)先于與測試模塊20 - 2對應(yīng)的測試用 過程38-2的執(zhí)行而先結(jié)束。然后，測試用過程38- l的執(zhí)行一結(jié)束，中 央處理裝置30在測試模塊20-1正在進行測試動作的狀態(tài)下，通過執(zhí)行測 試用過程38 - 2 ，來控制測試模塊20 - 2。但是，在使優(yōu)先的過程等待輸入輸出時，繼續(xù)執(zhí)行其過程的話效率不 好，因此，中央處理裝置30在測試用過程38- 1存取測試模塊20-1而處于 等待狀態(tài)期間時，執(zhí)行測試用過程38-2以取代測試用過程38 - 1 。然后， 中央處理裝置30在測試用過程38 - 1對測試模塊20-1的存取結(jié)束時，再 開始測試用過程38 - 1的執(zhí)行以取代測試用過程38 - 2的執(zhí)行。另外，具體實現(xiàn)讓某個過程優(yōu)先執(zhí)行的方法，以及，從輸入輸出等待 的過程向其他的過程切換執(zhí)行的處理的實現(xiàn)方法，在有關(guān)操作系統(tǒng)的調(diào)度 (schedu 1 e)程序技術(shù)領(lǐng)域中是公知的技術(shù)，因此在此省略其說明。以上，根據(jù)本圖所示的處理，可以使測試動作相盡可能快地開始，同 時，有效活用輸入輸出等待的時間，能夠使控制相盡可能快結(jié)束。以上使用實施方式說明了本發(fā)明，但是本發(fā)明的技術(shù)范圍未限定在上 述實施方式所述范圍?？蓪ι鲜鰧嵤┓绞竭M行多種變更或者改良，這點對 于本技術(shù)的領(lǐng)域人員而言是不言而喻的。從權(quán)利要求范圍的記載可知，已
權(quán)利要求
1、 一種測試裝置，是測試多個被測器件的測試裝置，其特征在于包括 連接到所述多個被測器件，進行該當多個被測器件的測試的多個測試模塊、根據(jù)被指定的工作模式，控制所述多個測試模塊的測試動作的中央處 理裝置；所述中央處理裝置，在所指定的所述工作模式是通過所述多個測試模 塊同時并行進行同 一測試的并行測試模式的情況下，通過執(zhí)行預(yù)先確定的 一個測試用過程，來控制所述多個測試模塊的每個中的測試動作，在所指定的所述工作模式是通過所述多個測試模塊的每一個，獨立進 行相互不同的測試的獨立測試模式的情況下，對每個測試模塊執(zhí)行控制該測試模塊的測試用過程，通過邊切換邊執(zhí) 行多個該當測試用過程，并行控制所述多個測試模塊。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試裝置，其特征在于所述多個測試模塊的 每一個，在接受了對應(yīng)的測試用過程的控制時，進行根據(jù)該控制內(nèi)容的測 試動作，所述中央處理裝置在被指定的所述工作模式是所述獨立測試模式時， 在第1所述測試模塊及第2所述測試模塊都在等待對應(yīng)的測試用過程 的控制的狀態(tài)中，讓與所述第1測試模塊對應(yīng)的第1所述測試用過程的執(zhí) 行，優(yōu)先于所述第2測試模塊對應(yīng)的第2所述測試用過程的執(zhí)行而先完成， 以所述第1測試模塊進行測試動作的狀態(tài)，控制第2所述測試模塊。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的測試裝置，其特征在于所述中央處理裝置，在 所述第1測試用過程存取所述第1測試模塊而處于等待狀態(tài)之間時，代替 所述第1測試用過程，執(zhí)行所述第2測試用過程。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的測試裝置，其特征在于所述中央處理裝置，在 所述第1測試用過程對所述第1測試模塊的存取結(jié)束時，代替所述第2測 試用過程的執(zhí)行，再開始所述第l測試用過程的執(zhí)行。
5、 一種測試方法，其特征是通過測試多個被測器件的測試裝置，來測試 所述多個被測器件的測試方法，所述測試裝置包括，連接到所述多個被測 器件，進行該當多個被測器件的測試的多個測試模塊、根據(jù)被指定的工作模式，控制所述多個測試模塊的測試動作的中央處 理裝置、通過所述中央處理裝置，在指定的所述工作模式是通過所述多個測試 模塊同時并行進行同 一測試的并行測試模式時，通過執(zhí)行預(yù)先確定的 一個 測試用過程，來控制所述多個測試模塊的每個中的測試動作，在指定的所述工作模式，是通過所述多個測試模塊的每一個，獨立執(zhí) 行相互不同的測試的獨立測試模式時，對每個測試模塊執(zhí)行控制該當測試 模塊的測試過程，通過一邊轉(zhuǎn)換一邊執(zhí)行多個該當測試用過程，以并行控 制所述多個測試模塊。
6、 一種測試控制程序，其特征是控制測試多個被測器件的測試裝置的 測試控制程序，所述測試裝置包括，連接到所述多個被測器件，進行該當多個被測試 器件的測試的多個測試模塊、根據(jù)被指定的工作模式，控制所述多個測試模塊的測試動作的中央處 理裝置、讓所述中央處理裝置，在指定的所述工作模式是通過所述多個測試模 塊同時并行進行同 一測試的并行測試才莫式時，通過執(zhí)行預(yù)先確定的一個測試用過程，來控制所述多個測試模塊的每 個中的測試動作，被指定的所述工作模式，是根據(jù)所述多個測試模塊的每一個，獨立執(zhí) 行相互不同的測試的獨立測試模式時，對每個測試模塊執(zhí)行控制該當測試 模塊的測試用過程，通過邊轉(zhuǎn)換邊執(zhí)行多個該當測試用過程，以并行控制 所述多個測試模塊。
7、 一種存儲介質(zhì)，其特征是存儲了控制測試多個被測器件的測試裝置 的測試控制程序的存儲介質(zhì)，所述測試裝置包括，連接到所述多個被測器 件，進行該當多個被測器件的測試的多個測試模塊、根據(jù)被指定的工作模式，控制所述多個測試模塊的測試動作的中央處 理裝置、所述測試控制程序，使所述中央處理裝置，在指定的所述工作模式是 通過所述多個測試模塊同時并行進行同 一測試的并行測試模式時，通過執(zhí)行預(yù)先確定的一個測試用過程，來控制所述多個測試模塊的每 個中的測試動作，被指定的所述工作模式，在根據(jù)所述多個測試模塊的每一個，獨立執(zhí) 行相互不同的測試的獨立測試模式時，對每個測試才莫塊執(zhí)行控制該當測試 模塊的測試用過程，通過一邊轉(zhuǎn)換一邊執(zhí)行多個該當測試用過程，以并行 控制所述多個測試模塊。
全文摘要
以減少測試控制所必需的中央處理裝置的數(shù)目，降低半導(dǎo)體測試裝置的故障率為目的，提供一種測試裝置，其具有進行多個被測器件的測試的多個測試模塊和根據(jù)被指定的工作模式，控制多個測試模塊的測試動作的中央處理裝置；在該測試裝置中，中央處理裝置，在指定的工作模式是通過多個測試模塊同時并行進行同一測試的并行測試模式時，通過執(zhí)行預(yù)先確定的一個測試用過程，來控制多個測試模塊的每個中的測試動作，另一方面，在指定的工作模式是通過每個測試模塊以獨立執(zhí)行相互不同的測試的獨立測試模式時，通過每個測試模塊邊轉(zhuǎn)換邊執(zhí)行多個該測試用過程以并行控制所述多個測試模塊。
文檔編號G01R31/28GK101147075SQ20068000916
公開日2008年3月19日 申請日期2006年3月14日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月23日
發(fā)明者熊木德雄 申請人:愛德萬測試株式會社