專利名稱：位置檢測器以及定位裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種位置檢測器以及定位裝置。
技術背景在專利文獻1至3中揭示了一種位置檢測器，它通過磁場檢測單元檢測出由 附設在可動構件上的磁場產(chǎn)生構件產(chǎn)生的磁場變化。 專利文獻l:特開平01 — 150812號公報 專利文獻2:特開2004 — 348173號公報 專利文獻3:特開2001 — 91298號公報在圖11中表示記載在專利文獻1中的位置檢測器31。位置檢測器31通過用 磁場檢測單元33檢測出磁場產(chǎn)生構件32所產(chǎn)生的磁場變化，從而算出磁場產(chǎn)生 構件32的位置。磁場產(chǎn)生構件32的一半是磁化為N極的N極部34，另一半是磁化 為S極的S極部35。當磁場產(chǎn)生構件32的形狀在可動方向上是長6.5mm、寬2.5mm、厚lmm時， 得到如圖12所示的磁通密度分布。存在的問題是，該位置檢測器31只能在磁通 密度變化為直線的狹小范圍內(nèi)檢測出正確的位置。另外，在專利文獻l中，是由2個霍爾元件(磁場檢測元件)36a、 36b構成磁 場檢測單元33，通過2個霍爾元件36a、 36b的輸出之差使輸入電流變化，從而補 償由于溫度變化等引起的磁場變化，而在專利文獻2中，通過用差分除2個霍爾 元件(磁場檢測元件)36a、 36b的輸出之和，從而補償由于磁場產(chǎn)生構件32和磁 場檢測單元33的安裝誤差及溫度變化等引起的磁場變化。在圖13中，表示用差分除2個霍爾元件36a、 36b的磁場檢測中心離開1.6mm 時的輸出之和后得到的輸出變化。當然，利用該運算不會擴大輸出為直線的線 性范圍，而且依然還存在著只能在狹小的范圍內(nèi)檢測位置的問題。另外，在專利文獻3中記載著一種位置檢測器，該位置檢測器采用楔形的 磁鐵，并根據(jù)磁場產(chǎn)生構件的位置而產(chǎn)生線性變化的磁通。但是，這樣的位置
檢測器存在著下面問題即如果在與磁場產(chǎn)生構件和磁場檢測單元的可動方向 垂直的方向上的相對位置發(fā)生偏移，則磁場也會跟著變化，所以誤差及個體差 異較大。鑒于上述問題，本發(fā)明目的在于提供一種能夠在很大范圍內(nèi)得到具有線 性的輸出的位置檢測器，以及一種利用該位置檢測器能夠在很大范圍內(nèi)進行正 確的定位的定位裝置。發(fā)明內(nèi)容為了解決上述問題，利用本發(fā)明的位置檢測器的第l形態(tài)具有對能夠在 規(guī)定的可動方向上移動的可動構件附設的磁場產(chǎn)生構件；以及檢測由于上述磁 場產(chǎn)生構件的移動而引起的磁場變化的磁場檢測單元，上述磁場產(chǎn)生構件是由 磁化為N極的N極部、與上述N極部沿上述可動方向排列的磁化為S極的S極部、 以及在上述N極部與上述S極部之間沒有磁化的非磁化部構成。如果采用該結(jié)構，則因為由于具有非磁化部而磁場產(chǎn)生構件形成的磁場的 線性變化的范圍變大，所以利用磁場檢測單元能夠檢測磁場產(chǎn)生構件位置的范 圍變大。另外，在本發(fā)明的第l形態(tài)的位置檢測器中，上述非磁化部在上述可動方 向上的長度也可以是上述磁場產(chǎn)生構件全長的1/10以上、1/3以下。如果采用該結(jié)構，則因為如果使非磁化部的長度在1/10以上、1/3以下，則 位置檢測輸出的斜率變化成為5倍以下，所以即使在用檢測信號進行反饋控制 的情況下，系統(tǒng)也是穩(wěn)定的。另外，在本發(fā)明的第l形態(tài)的位置檢測器中，也可以是上述磁場檢測單元 具有沿上述可動方向排列的2個檢測磁場變化的磁場檢測元件，還具有運算 單元，如果假設上述2個磁場檢測元件的檢測信號在線性范圍內(nèi)小的一方為A， 大的一方為B，則該運算單元進行(B+A)/(B — A)的運算。如果采用該結(jié)構，則由于磁場產(chǎn)生構件和磁場檢測單元的安裝誤差及溫度 變化等而引起的磁場變化不會使輸出變化，能夠進行穩(wěn)定的位置檢測。另外，在本發(fā)明的第l形態(tài)的位置檢測器中，也可以是上述磁場檢測單元 具有沿上述可動方向排列的2個檢測磁場變化的磁場檢測元件，還具有運算 單元，如果假設上述2個磁場檢測元件的檢測信號在線性范圍內(nèi)小的一方為A，大的一方為B，則該運算單元當AX)時，進行(A — B)/(A+B)+2的運算，當B〈0時， 進行(A — B)/(A+B) — 2的運算，當A《0且B》0時，進行(B+A)/(B —A)的運算。如果采用該結(jié)構，則當2個磁場檢測單元的檢測信號A、 B中的任一個為非 線性的AX)的情況以及BO的情況時，因為通過進行用兩者之和除兩輸出的差 分的運算，而得到線性度高的輸出，所以能夠檢測磁場產(chǎn)生構件位置的范圍很 大。另外，利用本發(fā)明的位置檢測器的第2形態(tài)具有對能夠在規(guī)定的可動方 向上移動的可動構件附設的磁場產(chǎn)生構件；以及檢測由于上述磁場產(chǎn)生構件的 移動而引起的磁場變化的磁場檢測單元，上述磁場檢測單元具有沿上述可動方 向排列的檢測磁場變化的2個磁場檢測元件，還具有運算單元，如果假設上述2 個磁場檢測元件的檢測信號在線性范圍內(nèi)小的一方為A，大的一方為B，則該運 算單元當AX)時，進行(A — B)/(A+B)+2的運算，當B〈0日寸，進行(A — B)/(A+B) 一2的運算，當A《0且B》0時，進行(B+A)/(B—A)的運算。如果采用該結(jié)構，則即使2個磁場檢測元件的檢測信號中任一個為非線性， 也能夠通過用兩者之和除兩輸出的差分而得到線性度高的輸出，能夠在很大的 范圍內(nèi)檢測磁場產(chǎn)生構件的位置。另外，在本發(fā)明的第1及第2形態(tài)的位置檢測器中，上述磁場檢測元件也可 以是霍爾元件。如果采用該結(jié)構，則能夠利用一般的霍爾元件，以低價來實現(xiàn)高精度的位 置檢測器。另外，利用本發(fā)明的位置檢測器的第3形態(tài)具有對能夠在規(guī)定的可動方向上移動的可動構件附設的、且以一定的寬度在上述可動方向上反復磁化為N極和S極的磁場產(chǎn)生構件；以及檢測由于上述磁場產(chǎn)生構件的移動而引起的磁場變化的2個磁場檢測元件，如果分別設定上述N極和上述S極的寬度為1/2S， 則上述2個磁場檢測元件對于整數(shù)n在可動方向上以(n/2+l/4)5表示的間隔排列 配置，具有運算單元，如果設定上述2個磁場檢測元件的檢測信號分別為A和B， 則當A和B同時為0以上或者0以下時，進行(A+B)/(A —B)的運算，當只有A和B 的任一方不到0時，進行(A — B)/(A+B)的運算。
如果采用該結(jié)構，則2個磁場檢測元件輸出對于磁場產(chǎn)生構件位置相互偏移90°相位的信號。通過進行用差除這2個信號A、 B之和的運算，或者用和除 差的運算，能夠得到以周期5的最小值一1、最大值+ l的大致接近三角波的線性 度高的輸出，算出磁場產(chǎn)生構件的正確位置。另外，在本發(fā)明的第3形態(tài)的位置檢測器中，上述磁場檢測元件也可以是 磁阻效應元件。如果采用該結(jié)構，則因為能夠減小磁場檢測元件，所以能夠減小周期5， 實現(xiàn)高精度的位置檢測器。另外，利用本發(fā)明的定位裝置具有從本發(fā)明的第1至第3形態(tài)的任一個形態(tài) 的位置檢測器，上述可動構件與利用在上述可動方向上伸縮的電氣機械變換元 件而能夠在可動方向上進退的驅(qū)動軸摩擦卡合，形成通過改變上述電氣機械變 換元件的伸長與收縮的速度、使上述可動構件在上述驅(qū)動軸上滑動的壓電執(zhí)行 器。如果采用該結(jié)構，則因為使能夠檢測正確位置的位置檢測器與小型電壓執(zhí) 行器組合，所以能夠?qū)崿F(xiàn)小型且能夠進行精密定位的定位裝置。另外，在本發(fā)明的定位裝置中，上述可動構件也可以保持光學元件。 如果采用該結(jié)構，則能夠?qū)崿F(xiàn)小型的照相機單元等光學設備。 如果采用本發(fā)明，則因為設置磁場產(chǎn)生構件，因此能夠得到很大的線性范 圍。另外，因為同時采用兩種運算、即用差除2個磁場檢測元件的輸出之和的 運算以及用和除兩者之差的運算，得到更大的線性范圍，所以在很大的范圍內(nèi) 能夠精密地檢測磁場產(chǎn)生構件的位置。


本發(fā)明參照對同一構成要素附加同一標號的下述附圖，更詳細地進行說明。圖l是表示本發(fā)明的第l實施形態(tài)的定位裝置的結(jié)構的簡圖。圖2是表示位置檢測器的詳細結(jié)構的簡圖。圖3是表示圖2的磁場產(chǎn)生構件所產(chǎn)生的磁場的分布的曲線圖。圖4是表示圖2的位置檢測器的檢測信號和輸出的曲線圖。圖5是表示圖2的位置檢測器輸出的變化的曲線圖。圖6是表示改變圖2的非磁化部的長度時的位置檢測器的輸出的曲線圖。圖7是表示圖6的輸出的斜率的變化的曲線圖。 圖8是表示圖1的定位裝置的實際形狀的俯視圖。圖9是表示本發(fā)明的第2實施形態(tài)的編碼器的結(jié)構的簡圖。圖10是表示圖9的編碼器的輸出波形的曲線圖。圖ll是表示過去的位置檢測器的結(jié)構的簡圖。圖12是表示圖11的磁場產(chǎn)生構件所產(chǎn)生的磁場的分布的曲線圖。圖13是表示圖10的位置檢測器的輸出變化的曲線圖。標號說明I定位裝置2電壓執(zhí)行器3位置檢測器8電氣機械變換元件9驅(qū)動構件10可動構件11磁場產(chǎn)生構件12磁場檢測單元13 N極部14 S極部15非磁化部16a、 16b霍爾元件(磁場檢測元件)18運算裝置(運算單元)19透鏡(光學元件)21編碼器(位置檢測器)22 N極部23 S極部24磁場產(chǎn)生構件25a、 25b磁阻效應元件(磁場檢測元件) 27運算裝置(運算單元) A檢測信號 B檢測信號
具體實施方式
下面，參照附圖來說明本發(fā)明的實施形態(tài)。圖l是表示本發(fā)明的第l實施形態(tài)的定位裝置的結(jié)構的簡圖。定位裝置l由 電壓執(zhí)行器2和位置檢測器3構成，具有電壓執(zhí)行器2的驅(qū)動電路4;處理位置 檢測器3的檢測信號的檢測電路5;以及為了得到與根據(jù)位置指令指示的位置相對應的檢測電路5的輸出而控制驅(qū)動電路4的控制電路6。電壓執(zhí)行器2固定在基座構件7上，包括利用驅(qū)動電路4的驅(qū)動電壓在用 箭頭表示的x方向上伸縮的電氣機械變換元件8;固定在電氣機械變換元件8上、 且利用電氣機械變換元件8的伸縮在x方向上進退的驅(qū)動構件9;以及與驅(qū)動構 件9摩擦卡合、且能夠在驅(qū)動構件9上滑動的可動構件10。位置檢測器3包括附設在可動構件10上的磁場產(chǎn)生構件11;以及固定在基座構件7上、使得與磁場產(chǎn)生構件11相對的磁場檢測單元12。進一步，圖2詳細地表示位置檢測器3與檢測電路5的結(jié)構。磁場產(chǎn)生構件 ll包括與磁場檢測單元12相對的面磁化為N極的N極部13;與磁場檢測單元12 相對的面磁化為S極的S極部14;以及設置在N極部13與S極部14之間、且即不磁 化為N極也不磁化為S極的非磁化部15。 N極部13、非磁化部15及S極部14沿可 動構件10的可動方向即x方向排列。磁場產(chǎn)生構件ll在x方向的全長為例如6.5mm,寬度例如為2.5mm,厚度例 如為lmm，非磁化部15在x方向的長度例如為1.2mm。另外，磁場產(chǎn)生單元12 由沿x方向排列的2個霍爾元件(磁場檢測元件)16a、 16b構成，檢測磁通密度的 部分的中心之間的距離例如離開1.6mm。磁場產(chǎn)生構件ll與霍爾元件16a、 16b 之間例如離開0.65mm。檢測電路5包括分別放大霍爾元件16a、 16b的檢測信號的放大器17a、 17b; 以及運算裝置(運算單元)18,該運算裝置(運算單元)18根據(jù)放大器17a的輸出(放 大了的霍爾元件16a的檢測信號)A與放大器17b的輸出(放大了的霍爾元件16b的 檢測信號)B，AX)時，進行(A — B)Z(A+B) + 2的運算，B〈0時，進行(A — B)/(A+B) — 2的運算，A《0且B》0時，進行(B+A)/(B — A)的運算。接著，說明定位裝置l的特征及其動作。圖3是表示相對于離開磁場產(chǎn)生構件ll的0.65mm處的x方向的位置的磁通 密度。將磁場產(chǎn)生構件11的中央作為0來表示位置。因為在土0.6mm的部分存在 沒有進行磁化的非磁化部15，所以磁場產(chǎn)生構件ll在大致士lmm之間具有磁通 密度呈直線變化的線性范圍。圖4表示霍爾元件16a、 16b各自的檢測信號A、 B、和進行(B+A)/(B —A)運 算的輸出值、以及進行(B — A)/(B+A)運算的輸出值。檢測信號A與檢測信號B 是位置偏移1.6mm的輸出，在原點(位置Omm)前后的線性范圍內(nèi)B〉A。在圖3所 示的磁場產(chǎn)生構件ll的磁場變化整體增減時，或者霍爾元件16a、 16b離開磁場 產(chǎn)生構件ll的距離偏移的情況下，檢測信號A及B的線性范圍的斜率與設計值不 同，只利用檢測信號A或者檢測信號B的一方不能算出磁場產(chǎn)生構件11的正確位 置。但是，通過進行用檢測信號B與A之差除檢測信號B與A之和的(B+A)/(B — A)的運算，能夠抵消各霍爾元件16a、 16b的檢測信號波形的增減，輸出由磁場 產(chǎn)生構件ll的位置唯一決定的值。雖然(B+A)/(B —A)的運算輸出在大致士lmm的范圍內(nèi)具有線性度，但是(B 一 A)/(B+A)的運算輸出在大致± 0.5mm的外側(cè)為線性。(B+A)/(B — A)的運算輸 出與(B — A)/(B+A)的運算輸出在A二0的位置與B二0的位置相交。這是因為兩個 運算輸出分別為B/B4(當A二0時)，A/ — A二一A/A二一1(當B二0時)，所以不管 檢測信號A、 B的波形如何，A二O時為l, B-O時為一l，是一定的。因此，當 AX)時及BO時，根據(jù)(B — A)/(B+A)的運算輸出能夠算出磁場產(chǎn)生構件Il的正確 位置。(B —A)/(B+A)的線性范圍的運算輸出是單調(diào)減少的，而(B+A)/(B —A)的 線性范圍的運算輸出是單調(diào)增加的。因此，通過翻轉(zhuǎn)(B+A)/(B — A)而得到單調(diào) 減少的輸出，從而能夠容易地算出磁場產(chǎn)生構件ll的位置。圖5表示利用運算裝置18進行運算的結(jié)果所得到的輸出，是當AX)時，進行 (A—B)/(A+B) + 2的運算，當BO日寸，進行(A — B)/(A+B) — 2的運算，當A《0且 B》0時，進行(B+A)/(B — A)的運算。艮卩，在AX)的范圍及BO的范圍內(nèi)，進行 算出在與(B+A)/(B —A)的交點翻轉(zhuǎn)(B+A)/(B — A)的值的運算。如圖所示，將3 個運算輸出光滑地連接，整體上表現(xiàn)出線性度高的輸出變化，表示能夠在很大 的范圍內(nèi)算出磁場產(chǎn)生構件U的正確位置。接著，在圖6中表示當非磁化部15的長度為0.6mm、 1.2mm及2.0mm時A《0 且B》0的范圍內(nèi)的運算裝置18的相對于磁場產(chǎn)生構件11的位置的輸出變化。如 圖所示可知，不僅當非磁化部15較短時不能改善線性度，而且非磁化部15過長， 線性度也降低。
圖7是表示圖6的輸出斜率變化，最好該斜率變化越少，線性度越高。如圖l所示，當將檢測電路5的輸出反饋到控制電路6來進行可動構件10的定位時， 由于必須使其具有增益余量，所以位置檢測器3的靈敏度(圖7的斜率)的變化為5 倍左右是極限。因此，非磁化部15的長度為0.6mm是大致的下限，2.0mm是大 致的上限。如果與磁場產(chǎn)生構件ll的長度相比，則非磁化部15的長度必須在磁 場產(chǎn)生構件11全長的I/I0以上、1/3以下。圖8表示定位裝置1的實際形狀。該定位裝置1的可動構件10為保持光學元 件即透鏡19的透鏡框，能夠沿著與固定在基座構件7上的驅(qū)動構件9平行的吊軸 20移動。磁場產(chǎn)生構件11安裝在可動構件10的與吊軸20卡合的部分上。在基座 構件7上通過固定構件7'固定著電氣機械變換元件8，以及固定磁場檢測單元12， 從而使其與磁場產(chǎn)生構件ll相對。這樣構成的定位裝置l雖然是小型且重量輕，但是用位置檢測器3能夠正確 地檢測出保持在可動構件10上的透鏡19的吊軸20方向的位置，能夠利用電壓執(zhí) 行器2將透鏡19定位在所要求的位置上。圖9是本發(fā)明的第2實施形態(tài)的編碼器21的簡圖。編碼器21具有將磁化為 N極的寬度為1/2S的N極部22和磁化為S極的寬度為1/2S的S極部23交替反復配 置的磁場產(chǎn)生構件24;以及2個磁阻效應元件(磁場檢測元件)25a、 25b。磁阻效 應元件25a、 25b離開(l + l/4)5來設置。用放大器26a、 26b放大了的磁阻效應元件 25a、 25b的檢測信號A、 B由運算裝置(運算單元)27進行運算處理，并輸出。在圖10中，表示N極部22及S極部23的寬度(l/25)為0.32mm情況下的磁阻效 應元件25a、 25b的檢測信號A、 B與運算裝置27的輸出，下面說明編碼器21的特 征。檢測信號A與檢測信號B形成對于磁場產(chǎn)生構件24的位置、相位相互相差90 ° (1/45)的正弦波那樣的周期性波形。當檢測信號A、 B都在O以上或者O以下時，即當2個磁阻效應元件25a、 25b 檢測出的磁場極性相同時，運算裝置27輸出(A — B)/(A+B)的運算結(jié)果，當檢測 信號A、 B的任一個不滿O時，即當2個磁阻效應元件25a、 25b檢測出的磁場極性 不同時，運算裝置27輸出(A+B)/(A — B)的運算結(jié)果。(A — B)與(A+B)分別每隔相位180。(即l/25)具有為0的位置，因為檢測信號 A與檢測信號B的相位相差卯。(即1/4S)，所以(A — B)與(A+B)每隔相位90。(即 1/4S)交替為0。像過去的運算方法那樣，如果用差(A — B)除兩個檢測信號A、 B 之和(A+B)，則每隔1/25分母(A — B)為0，輸出發(fā)散，但是如本實施形態(tài)所示，
在檢測信號A與檢測信號B相等的位置上，如果用和(A+B)除兩檢測信號A、 B 之差(A — B)，則能夠得到具有線性度的輸出。然后，因為當檢測信號A或者檢 測信號B為0時，(A —B)/(A+B)與(A+B)/(A —B)都為l或者一l，為相同的值，所 以這時通過切換(A — B)/(A+B)運算與(A+B)/(A —B)運算，能夠得到連續(xù)的輸出。 結(jié)果，運算裝置27的輸出如圖所示，描繪成周期為1/2S的近似三角波波形。另外，因為運算裝置27用差除檢測信號A、 B之和，或者用和除檢測信號A、 B之差，所以編碼器21的輸出是無量綱的變量，即使有由于溫度變化而使磁場 產(chǎn)生部24產(chǎn)生的磁場強度的增減也不會變化。因此近似線性，能夠以小于N極 部22及S極部23的寬度(l/45)的單位算出磁場產(chǎn)生部24的位置。雖然本發(fā)明參照附圖用示例的方法充分地進行了說明，但是如果是業(yè)內(nèi)人 士，則能夠進行各種變更和改進。因此，這樣的變更和改進只要不脫離本發(fā)明 的精神和范圍，也應該作為包含在本發(fā)明中的部分來解釋。
權利要求
1.一種位置檢測器，其特征在于，具有對能夠在規(guī)定的可動方向上移動的可動構件附設的磁場產(chǎn)生構件；以及檢測由于所述磁場產(chǎn)生構件的移動而引起的磁場變化的磁場檢測單元，所述磁場產(chǎn)生構件具有磁化為N極的N極部；與所述N極部沿所述可動方向排列的磁化為S極的S極部；以及在所述N極部與所述S極部之間的沒有磁化的非磁化部。
2. 如權利要求l中所述的位置檢測器，其特征在于，所述非磁化部的所述可動方向的長度為所述磁場產(chǎn)生構件的全長的1/10以上、 1/3以下。
3. 如權利要求1或2中所述的位置檢測器，其特征在于，所述磁場檢測單元具有沿所述可動方向排列的2個檢測磁場變化的磁場檢測 元件，還具有運算單元，若設定所述2個磁場檢測元件的檢測信號在線性范圍內(nèi)的較 小的為A，較大的為B，則所述運算單元進行(B+A)/(B — A)的運算。
4. 如權利要求1或2中所述的位置檢測器，其特征在于，所述磁場檢測單元具有沿所述可動方向排列的2個檢測磁場變化的磁場檢測 元件，還具有運算單元，若設定所述2個磁場檢測元件的檢測信號在線性范圍內(nèi)的較 小的為A，較大的為B,則所述運算單元進行下述運算， 當AX)時，進行(A—B)/(A+B) + 2的運算， 當BO時，進行(A—B)/(A+B) —2的運算， 當A《0且B》0時，進行(B+A)/(B—A)的運算。
5. —種位置檢測器，其特征在于，具有對能夠在規(guī)定的可動方向上移動的可動構件附設的磁場產(chǎn)生構件；以及檢測由于所述磁場產(chǎn)生構件的移動而引起的磁場變化的磁場檢測單元，所述磁場檢測單元具有沿所述可動方向排列的檢測磁場變化的2個磁場檢測 元件，還具有運算單元，若設定所述2個磁場檢測元件的檢測信號在線性范圍內(nèi)的較 小的為A，較大的為B，則所述運算單元進行下述運算，當AX)時，進行(A—B)/(A+B) + 2的運算， 當BO日寸，進行(A—B)/(A+B) — 2的運算， 當A《0且B》0時，進行(B+A)/(B—A)的運算。
6. 如權項1至5中任一項所述的位置檢測器，其特征在于， 所述磁場檢測元件是霍爾元件。
7. —種位置檢測器，其特征在于， 具有-對能夠在規(guī)定的可動方向上移動的可動構件附設的、并且在所述可動方向上 以一定的寬度反復磁化為N極和S極的磁場產(chǎn)生構件；以及檢測由于所述磁場產(chǎn)生構件的移動而引起的磁場變化的2個磁場檢測元件，若分別設定所述N極和所述S極的寬度為1/25，則上述2個磁場檢測元件對于 整數(shù)n在可動方向上以(n/2+l/4)5表示的間隔并列配置，具有運算單元，若分別設定所述2個磁場檢測元件的檢測信號為A及B，則 所述運算單元進行下述運算，當A及B都為0以上或者0以下時，進行(A — B)/(A+B)的運算，當只有A或者B的任一方不滿O時，進行(A+B)/(A — B)的運算。
8. 如權利要求7中所述的位置檢測器，其特征在于， 所述磁場檢測元件是磁阻效應元件。
9. 一種定位裝置，其特征在于， 具有所述1至8中任一種的位置檢測器，所述可動構件與利用在所述可動方向上伸縮的電氣機械變換元件而能夠在所 述可動方向上進退的驅(qū)動軸摩擦卡合，形成通過改變所述電氣機械變換元件的伸長于收縮的速度、使所述可動構件 在所述驅(qū)動軸上滑動的電壓執(zhí)行器。
10. 如權利要求9中所述的定位裝置，其特征在于， 所述可動構件保持光學元件。
全文摘要
能得到在很大的范圍內(nèi)具有線性的輸出的位置檢測器(3)具有附設在能夠在規(guī)定的可動方向上移動的可動構件(10)上的磁場產(chǎn)生構件(11)；以及檢測出由于磁場產(chǎn)生構件(11)的移動而引起的磁場變化的磁場檢測單元(12)，磁場產(chǎn)生構件(12)具有磁化為N極的N極部(13)；沿可動方向與N極部(13)排列的磁化為S極的S極部(14)；以及在N極部(13)與S極部(14)之間的沒有磁化的非磁化部(15)。
文檔編號G01D5/14GK101156047SQ20068001147
公開日2008年4月2日 申請日期2006年3月14日 優(yōu)先權日2005年4月6日
發(fā)明者干野隆之 申請人:柯尼卡美能達精密光學株式會社