專利名稱：具有集成載荷單元的化學(xué)藥品存儲設(shè)備的制作方法
具有集成栽荷單元的化學(xué)藥品存儲設(shè)備背景技術(shù)多種化學(xué)藥品可用作半導(dǎo)體工業(yè)中化學(xué)氣相沉積的前體。
一般地，用 于在晶片上形成膜或?qū)拥那绑w為在室溫下具有較低蒸汽壓的液體(在室溫下<500托)。當(dāng)前，前體材料被存儲在密封和密閉的鋼(根據(jù)前體特征為 不銹鋼、碳鋼或者其它專用合金)罐中?？稍诨瘜W(xué)氣相沉積腔附近，這里 隨著每個罐用完，所述罐被周期性替換，或者所述罐用于大體積再裝系統(tǒng) 中，所述系統(tǒng)在使用罐的位置提供自動填充罐的源。至少有兩個原因可以解釋為什么監(jiān)測存儲罐中的化學(xué)藥品水平是重要 的。第一個原因是保證在罐中有足夠的前體以執(zhí)行期望的化學(xué)氣相沉積步 驟。第二個原因是能夠在替代罐之前的過程中采用最大量的前體化學(xué)藥品。 該第二點(diǎn)影響整體系統(tǒng)成本效率。 一旦斷開罐，則廢棄任何剩余的材料。 因此，如果在最大耗盡之前替換罐，則不僅廢棄了材料，而且在處理附加 廢品時產(chǎn)生附加成本。嘗試了各種減少浪費(fèi)的技術(shù)，包括采用浮控開關(guān)和液位傳感器。但是 到目前為止在實(shí)際運(yùn)行中還沒有證明為完全滿意的方法。當(dāng)前所應(yīng)用技術(shù)的主要缺點(diǎn)在于其不是普遍適用于所有的化學(xué)藥品。 例如，如果前體化學(xué)藥品的比重改變，則浮控開關(guān)不能如所期望地運(yùn)行。 此外，液位傳感器通常不能視覺顯示罐中的內(nèi)容物。為獲得信息，該罐必 須連至分配設(shè)備，并且必須在分配系統(tǒng)計算機(jī)或者可編程邏輯控制器上解 釋和顯示液位傳感器的信號。因此，需要一種可實(shí)時監(jiān)測化學(xué)藥品〗吏用而不論化學(xué)藥品類型或者相 的方法和化學(xué)藥品存儲設(shè)備。發(fā)明內(nèi)容這里公開了 一種化學(xué)藥品存儲設(shè)備和監(jiān)測化學(xué)藥品使用的方法。該裝 置和方法通過將化學(xué)藥品存儲罐和載荷單元組合為 一個可運(yùn)輸單元中而處 理上述問題。該栽荷單元能夠補(bǔ)償在半導(dǎo)體工業(yè)中所使用的附加分配設(shè)備 的增加的重量。另外，該載荷單元連續(xù)顯示在化學(xué)存儲設(shè)備中剩余的化學(xué) 藥品重量。集成至栽荷單元本身的載荷單元控制邏輯包括了該功能性。在一個實(shí)施例中，通過包括罐的化學(xué)藥品存儲設(shè)備處理現(xiàn)有技術(shù)中的 這些及其它需要。該化學(xué)存^i殳備還包括與所述罐成為一體的載荷單元。 該載荷單元包括處理器和顯示器。另外，該化學(xué)存儲i殳備包括可在所述處理器上執(zhí)行的控制邏輯，其中所述控制邏輯使載荷單元響應(yīng)于用戶輸入測 定空罐重量。該控制邏輯還使得載荷單元在所述顯示器上顯示添加至罐的 至少一種化學(xué)藥品的重量。而且，在分配設(shè)備被連至罐以后該控制邏輯使得載荷單元校準(zhǔn)自身從而僅僅在顯示器上顯示化學(xué)藥品的重量并連續(xù)顯示 在罐中所剩余化學(xué)藥品的重量。在另一個實(shí)施例中，監(jiān)測化學(xué)藥品使用的方法包括測定具有集成載荷 單元的空化學(xué)藥品存儲設(shè)備的皮重。另外，該方法包括以至少一種化學(xué)藥 品將化學(xué)存儲設(shè)備填充至填充重量。此外，該方法包括將化學(xué)存儲設(shè)備連 至分配設(shè)備。該方法還包括校準(zhǔn)載荷單元以補(bǔ)償分配設(shè)備的重量從而僅僅顯示化學(xué)藥品的填充重量。該方法還包括連續(xù)測量在化學(xué)藥品存^i殳備中 剩余的化學(xué)藥品重量。上述內(nèi)容非常寬泛地概述了本發(fā)明的特征和技術(shù)優(yōu)勢從而可更好理解 下面對本發(fā)明的詳細(xì)描述。下面將描述形成本發(fā)明權(quán)利要求主題的本發(fā)明 的其它特征和優(yōu)點(diǎn)。本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解這里所公開的構(gòu)思和特別實(shí)施 例容易可作為更改或者設(shè)計執(zhí)行本發(fā)明相同目的的其它結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)。本領(lǐng) 域技術(shù)人員還應(yīng)理解這些等同結(jié)構(gòu)不偏離所附權(quán)利要求所列出的本發(fā)明范 圍。


為詳細(xì)描迷本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，現(xiàn)在將參考附圖，其中 圖l是化學(xué)藥品存儲設(shè)備實(shí)例的視圖；圖2是用于溫度提高應(yīng)用的化學(xué)藥品存儲設(shè)備實(shí)施例的視圖；圖3示出了載荷單元傳感器的實(shí)施例；圖4是險測化學(xué)藥品使用的方法的流程圖；以及圖5是載荷單元值和常規(guī)稱重值的比較。符號和術(shù)i吾在整個的下面描述和權(quán)利要求書中采用某些術(shù)語以指代特定系統(tǒng)元 件。本文不用于區(qū)分名字不同而功能相同的元件。在下面的討論和權(quán)利要求書中，以開放形式使用術(shù)語"具有，，和"包 括，，，因此應(yīng)當(dāng)解釋為意味著"包括但不限于"。而且，術(shù)語"耦合，，是 指間接或直接電連接。因此，如果第一設(shè)備耦合至第二設(shè)備，則該連接可 通過直接的電連接或者通過經(jīng)其它設(shè)備和連接的間接電連接。
具體實(shí)施方式
圖1示出了化學(xué)藥品存儲設(shè)備100的一個實(shí)施例。通常，化學(xué)藥品存 絛沒備100包^# 102和載荷單元104。栽荷單元104被集成至罐102并 用于測量開始時有多少化學(xué)藥品106被填入該罐?？捎奢d荷單元104存儲 該值。在使用任何化學(xué)藥品之前，連接分配設(shè)備然后重新測定化學(xué)藥品存 ^i殳備100的皮重以補(bǔ)償附加分配設(shè)備所產(chǎn)生的增加或者降低的向下的力 從而繼續(xù)顯示初始的填充重量。在消耗化學(xué)藥品106時，化學(xué)藥品存^i殳 備IOO改變其運(yùn)行模式并連續(xù)監(jiān)測該罐中剩余的內(nèi)容物重量。因此向用戶 連續(xù)顯示罐102中化學(xué)藥品106的真實(shí)重量。在便捷設(shè)備中將監(jiān)測內(nèi)容物 重量的邏輯集成至化學(xué)藥品存儲設(shè)備100本身。優(yōu)選將化學(xué)藥品存儲設(shè)備 IOO設(shè)計為容易運(yùn)輸。罐102配備有多個閥門等等以允許向罐102引入化學(xué)藥品和從罐102 移出化學(xué)藥品。在一些實(shí)施例中，閥門位于罐102的頂部。在一個實(shí)施例中，入口閥120和出口閥122耦合至罐。在其它實(shí)施例中，可為其它用途 例如溫tt測將第三閥124耦合至罐。通常，閥門與罐內(nèi)部流體連通。優(yōu) 選，容易將閥門與在半導(dǎo)體工業(yè)中所使用的現(xiàn)有分配設(shè)備連接或斷開以便 于運(yùn)輸。分配單元的實(shí)例包括但不限于AirLiquide的CANDI系統(tǒng)、日本 Air Gases的Aquarius系統(tǒng)、ATMI的Unichem系統(tǒng)、Air Products的 Schumacher分部的Chemguard系統(tǒng)，及其它來源。罐102可具有任何合適的幾何形狀，但是罐102優(yōu)選為筒狀。罐102 的橫截面可以為矩形、六邊形、八邊形、三角形等等。罐102可以為任何 合適的尺寸。在典型實(shí)施例中，空罐的重量從大約2000g至大約6000g。 一般地，罐102能夠存儲的化學(xué)藥品重量從大約250g至大約200kg，更優(yōu) 選為從大約250g至大約3000g,在某些實(shí)例中直到10000g或更高。另外， 罐102能夠存儲液體、粉末、固體、氣體等等。在優(yōu)選實(shí)施例中，罐102和載荷單元104由金屬制成?？刹捎萌魏魏?適的金屬。該金屬優(yōu)選抗氧化和腐蝕并且能夠存儲液體、氣體和固體。合 適金屬的實(shí)例包括但不限于不銹鋼304、 316L、碳鋼、Hastelly、 Monel、 以及其它高鎳合金、Elgiloy、鋁等等。現(xiàn)在參考圖2，用于溫度提高應(yīng)用的化學(xué)藥品存^i殳備200實(shí)施例示 出為包括加熱套203。加熱套203通常能夠?qū)⒐迌?nèi)容物加熱至從大約20"C 至大約350X:的范圍。另外，可通過循環(huán)流體或者耐熱元件加熱該加熱套 203。通常，加熱套203連至溫度控制器以調(diào)節(jié)罐的內(nèi)容物(未示出)的溫 度。該溫度控制器可以是本領(lǐng)域技術(shù)人員已知的任何用于調(diào)節(jié)溫度的設(shè)備。 罐102還可包括任何其它適合于將罐內(nèi)容物加熱至期望溫度的裝置。其它 合適裝置的實(shí)例包括但不限于插入罐體的筒加熱器或者纏繞在罐體周圍的 加熱帶。其它實(shí)施例中，載荷單元104與罐102之間絕熱。可將絕熱材料設(shè)置 在載荷單元和罐之間以阻止或者減少向載荷單元傳送的熱量。在特別實(shí)施 例中，絕熱材料為陶瓷板205 (圖2 )。陶資板205的厚度優(yōu)選從大約1/16 英寸至大約2英寸的范圍，優(yōu)選至少為大約1/8英寸，更優(yōu)選至少為大約3/8英寸。但是，陶瓷板205可包括任何合適的厚度?？蛇x擇地，除了陶t: 以外可采用其它合適的絕熱材料。其它合適材料的實(shí)例包括但不限于納米 多孔材料、聚合物、玻璃纖維等等。在優(yōu)選實(shí)施例中，載荷單元104被維 持在從大約40X:至大約60匸的范圍。載荷單元104優(yōu)選與罐102成為一體或者嵌入罐102從而罐和載荷單 元形成單件可運(yùn)輸單元。 一些實(shí)施例中，載荷單元104和罐102為機(jī)械耦 合的獨(dú)立元件。可通過例如焊接、螺栓連接、螺紋連接等等任意方式將載 荷單元104耦合至罐102?？蛇x擇地，栽荷單元104被可拆卸地連至罐102。圖3為載荷單元104實(shí)施例的示意圖。如所示出的，載荷單元104通 常包括處理器210、存儲器才莫塊235、電池240、和載荷單元250。通常， 載荷單元還包括作為其主要能量源的電池240。電池240對載荷單元104 供電。但是，如果必要，載荷單元104還可連至外部電源。優(yōu)選，電池240 的容量為在正常使用時持續(xù)至少一年而無須充電或者更換電池。電池240 的實(shí)例包括但不限于鋰離子電池、鎳鎘電池等等。處理器210通常為低功率混合信號微處理器。但是，載荷單元104可 包括任何如這里所解釋適合于執(zhí)行載荷單元104功能的處理器。處理器210 優(yōu)選耦合至存儲器模塊和載荷單元250。此外，存儲器模塊235優(yōu)選包括 易失性和/或非易失性存儲器。該非易失性存儲器可包括快擦寫存儲器?？?選擇地，易失性存儲器可包括任何合適類型的隨M取存儲器(RAM)。 存儲器模塊235用于存儲由處理器210執(zhí)行的代碼或者控制邏輯。這樣的 控制邏輯可在制造時安裝至載荷單元104。該控制邏輯可安裝至非易失性 存儲器或者可從非易失性存儲器直接執(zhí)行或者復(fù)制至易失性存儲器以在那 里執(zhí)行。而且，存儲器模塊235可用于存儲或者"鎖定"罐、罐內(nèi)容物和 載荷單元的初始組合重量。在其它實(shí)施例中，載荷單元104包括顯示器220 (圖1和3 )。顯示器 220優(yōu)選但不必能夠以直到O.lg的精度顯示重量。 一般，顯示器220為液 晶顯示器(LCD)。 一些實(shí)施例中，顯示器220還示出載荷單元104的不 同運(yùn)414莫式。例如，顯示器220可示出載荷單元104鎖定為當(dāng)前的填充重量值。在另一個實(shí)例中，顯示器220可示出載荷單元104為有效稱重模式。 在典型的實(shí)施例中，顯示器220位于化學(xué)藥品存儲顯示器100的外部。栽荷單元104通常包括用戶輸入設(shè)備230例如鍵盤。該鍵盤優(yōu)選接近 于顯示器。在其它實(shí)施例中，鍵盤位于凹進(jìn)的罩中以防止意外按下鍵盤按 鍵。鍵盤可使用戶手工測定載荷單元102的皮重和校準(zhǔn)載荷單元102?？?由鍵盤操作其它功能?？蛇x擇地，用戶輸入設(shè)備230可以為顯示器220上 的觸摸屏。在另一個實(shí)施例中，用戶輸入設(shè)備230包括鎖定功能從而和設(shè) 備之間無意的相互作用不會啟動載荷單元。在其它實(shí)施例中，載荷單元104包括能夠向外部監(jiān)測設(shè)備例如計算機(jī) (未示出)輸送數(shù)據(jù)的端口。端口實(shí)例包括但不限于USB端口、串行端口、 紅外端口、防火墻端口、以太網(wǎng)端口等等。外部監(jiān)測設(shè)備可以為任何能夠 記錄和存儲數(shù)據(jù)的合適設(shè)備。外部監(jiān)測設(shè)備實(shí)例包括但不限于計算機(jī)、個 人數(shù)字助理(PDA)等等。在其它實(shí)施例中，載荷單元104包括無線接收 器和發(fā)射器。該無線接收器和發(fā)射器能夠無線地從外部監(jiān)測設(shè)備接收數(shù)據(jù) 和向其輸送數(shù)據(jù)。另外，無線接收器可經(jīng)遠(yuǎn)程用戶輸入設(shè)備例如遙控器控 制載荷單元104。栽荷傳感器250可包括任何類型的能夠測量重量而不與罐102內(nèi)容物 物理接觸的傳感器。在優(yōu)選實(shí)施例中，載荷傳感器250包括惠斯登橋式傳 感器?；菟沟菢蚴絺鞲衅骺晒咀灾?in-house)或者從市場購買。市場 購買的惠斯登橋式傳感器實(shí)例為HBM公司的Model PW2GC3?？蛇x擇地， 載荷傳感器250包括電容測量傳感器。電容測量傳感器可從加利福尼亞的 LoadStar Sensors公司獲得。另外，雖然栽荷傳感器250優(yōu)選能夠以大約 O.lg的精度對罐的內(nèi)容物稱重，但是載荷傳感器250可根據(jù)應(yīng)用具有更低 或者更高的精度，從大約lg值大約0.01g。在優(yōu)選實(shí)施例中，載荷傳感器 250能夠精確檢測設(shè)備的運(yùn)行重量范圍。特別是，載荷傳感器250優(yōu)選能 夠檢測大約250g至至少大約10000g。在另一個實(shí)施例中，僅僅將載荷250集成或者耦合至罐102 (未示出 的實(shí)施例)。在該實(shí)施例中，包括顯示器220、處理器210、用戶輸入i殳備"0、和傳感器235的外部控制器,皮連至載荷單元傳感器250。當(dāng)稱重化學(xué) 藥品時外部控制器被連至載荷傳感器250，并且當(dāng)化學(xué)藥品存儲i殳備100 被運(yùn)輸至不同位置時外部控制器被斷開。圖4示出了由用戶監(jiān)測實(shí)時化學(xué)藥品使用的方法。為《更于討論，下面 對方法的描述參考和用于描述上述裝置實(shí)施例相同的參考標(biāo)記。 一般，該 方法初始包括提供化學(xué)藥品存^i殳備100,其包括集成至罐102的載荷單 元104?，F(xiàn)在參考圖4，該方法包括在塊301對空的化學(xué)藥品存儲"i殳備100 測定皮重。在空罐102和載荷單元104的重量清零后，然后將期望量的至 少一種化學(xué)藥品添加至罐。 一般，通過入口閥門120或者閥門124添加化 學(xué)藥品。通常通過利用用戶輸入設(shè)備230的用戶輸入對空的化學(xué)藥品存^i殳備 100測定皮重。例如，按下鍵盤上的^!以測定載荷單元104的皮重。在 測定皮重后，栽荷單元104在框305測量所添加化學(xué)藥品的重量并在顯示 器220 (參見圖1)上顯示罐102中所包括化學(xué)藥品的重量。 一種或多種化 學(xué)藥品可添加至罐102。通常，通過閥門120、 122或者124的任意一個添 加化學(xué)藥品。 一旦化學(xué)藥品存#^殳備100被填入期望的化學(xué)藥品，則其被 運(yùn)送至通常為半導(dǎo)體制造機(jī)構(gòu)的最終用戶。但是，該用戶可以為任何客戶 或者化學(xué)藥品客戶。將填充重量顯示在顯示器220上地運(yùn)輸化學(xué)藥品存儲 設(shè)備100。在實(shí)施例中，重量信息被鎖定或者存儲在載荷單元存儲器235 中。 一般，響應(yīng)于用戶輸入設(shè)備230的用戶輸入鎖定罐內(nèi)容物的重量。例 如，可在用戶輸入設(shè)備上按下另一個掩睫以存儲填充重量和鎖定顯示重量。用戶在框307接收化學(xué)藥品存儲設(shè)備100并通過合適的裝置將分配設(shè) 備連至合適的使用點(diǎn)例如入口和出口閥門120、 122。分配設(shè)備通常為在半 導(dǎo)體工業(yè)中使用的收回和分配用于半導(dǎo)體制造的化學(xué)藥品的任何設(shè)備或者 工具。在連接時，化學(xué)藥品存^i殳備100可受到該裝置重量所引起的重量 增加以及通過將該裝置用于罐而產(chǎn)生的任何向下的力。所增加的重量來自 由半導(dǎo)體工業(yè)中所使用的分配單元的接頭(pigtail)發(fā)出的力。這里一般 地使用接頭描述任何用于將化學(xué)藥品存儲設(shè)備的入口和/或出口閥門連至執(zhí)行分配化學(xué)藥品所需的固定閥門支管的管道和閥門。接頭具有一定的自 由度以適應(yīng)罐尺寸的微小變化和使得化學(xué)藥品存儲設(shè)備的更換容易。由于 所需要的自由度，接頭對化學(xué)藥品存儲設(shè)備施加力(解釋為重力)從而改變載荷傳感器250所讀取的信號。響應(yīng)于用戶輸入，即按下M，在框309，載荷傳感器250 4皮重新校 準(zhǔn)以##裝置的增加重量。因此，在顯示器220上僅僅顯示罐102中化學(xué) 藥品或者材料的重量；未顯示添加裝置的重量?？蛇x擇地，在不需要用戶 輸入地連接分配設(shè)備后載荷單元104自動補(bǔ)償來自分配設(shè)備的任何增加的 重量。當(dāng)罐102的內(nèi)容物被用盡時，在框311，載荷單元104連續(xù)測量和顯 示剩余內(nèi)容物的當(dāng)前重量。另外，可經(jīng)端口將外部監(jiān)測設(shè)備(未示出)連 至載荷單元104，從而向外部監(jiān)測設(shè)備連續(xù)輸送重量數(shù)據(jù)并記錄重量數(shù)據(jù)。 在實(shí)施例中，外部監(jiān)測i殳備繪制隨時間變化的化學(xué)藥品^使用?？蛇x擇地， 外部監(jiān)測設(shè)備與載荷單元104無線通信。當(dāng)在框313顯示的內(nèi)容物重量達(dá)到預(yù)定點(diǎn)時，化學(xué)藥品存儲設(shè)備被重 新填充以備再用。通常，斷開化學(xué)藥品存儲^殳備100并將其運(yùn)送至另一個 位置以再填充?？稍谠偬畛淝叭コ魏问Ｓ嗟幕瘜W(xué)藥品。在可選實(shí)施例中， 現(xiàn)場重新填充罐而不必斷開。在其它實(shí)施例中，載荷單元1(M通過發(fā)出可 聽到的聲音例如嘟嘟聲通知用戶達(dá)到了預(yù)定的i殳定點(diǎn)?？捎捎脩艚?jīng)用戶輸 入設(shè)備對預(yù)定的設(shè)定點(diǎn)編程并將其存儲在載荷單元存儲器中。為進(jìn)一步描述本發(fā)明，提供下面的非限制性實(shí)例實(shí)例1載荷單元測量和常規(guī)稱重測量將具有集成載荷單元的罐置于重量秤盤上。罐纟皮充入大約300mL的異 丙醇。通ityV口閥門向罐引入氮?dú)獠⑼ㄟ^出口閥門排出。氮?dú)庠诮?jīng)過容器 時使乙醇蒸發(fā)。以指定的時間間隔采集重量秤盤讀數(shù)和載荷單元讀數(shù)。圖 5中示出了載荷單元值和重量秤盤讀數(shù)的結(jié)果。結(jié)果表明載荷單元值和常 規(guī)重量秤盤讀數(shù)精確匹配，顯示了化學(xué)存儲設(shè)備的合理性。實(shí)例2溫度提高應(yīng)用的化學(xué)存儲設(shè)備構(gòu)造包括加熱套的原型化學(xué)藥品存儲設(shè)備用于高溫應(yīng)用。該罐構(gòu)造為 外徑為4.5英寸，高度為6.5英寸。厚度為3/4英寸的加熱套圍繞罐。3/8 英寸厚的陶瓷板置于罐和載荷單元之間。和室溫下采集的測量值相比，在 170X:下采集的重量值沒有變化。這些結(jié)果表明在高溫下采用該化學(xué)藥品存 儲設(shè)備的合理性。盡管已經(jīng)詳細(xì)描述了本發(fā)明及其優(yōu)點(diǎn)，但是應(yīng)當(dāng)理解可在這里進(jìn)行各 種變化、替換和改變而不偏離由所附權(quán)利要求書所限定的本發(fā)明范圍。同 樣，權(quán)利要求書中順序敘述步驟不是用于要求順序執(zhí)行該步驟，或者可在 開始另一個步驟前完成特別步驟。
權(quán)利要求
1.一種與分配設(shè)備結(jié)合使用的化學(xué)藥品存儲設(shè)備，包括罐；載荷單元，其與所述罐集成，所述載荷單元包括處理器和顯示器；控制邏輯，其可在所述處理器上運(yùn)行，其中所述控制邏輯使所述載荷單元a)響應(yīng)于用戶輸入測定所述罐的空皮重；b)在所述顯示器上顯示添加至所述罐的至少一種化學(xué)藥品的重量；c)在所述分配設(shè)備連至所述罐后校準(zhǔn)所述載荷單元，從而在所述顯示器上僅僅示出所述至少一種化學(xué)藥品的所述重量；以及d)在消耗所述至少一種化學(xué)藥品時，連續(xù)顯示所述至少一種化學(xué)藥品的重量。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1的化學(xué)藥品存^i殳備，其中多個岡門被耦合至所 述耀，其中每個所述閥門與所述罐的內(nèi)部是流體連通的。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1的化學(xué)藥品存儲設(shè)備，還包括用于加熱所述罐的 裝置。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1的化學(xué)藥品存儲設(shè)備，還包括設(shè)置在所述載荷單 元和所述罐之間的絕熱層。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4的化學(xué)藥品存^i殳備，其中所述絕熱層包括陶瓷板。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1的化學(xué)藥品存儲設(shè)備，其中所述罐和所述載荷單 元由不銹鋼制成。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1的化學(xué)藥品存^i殳備，其中所述罐能夠容納液體、 固體或者氣體。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1的化學(xué)藥品存儲設(shè)備，其中所述載荷單元還包括 電池。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1的化學(xué)藥品存^fti殳備，其中所述載荷單元還包括耦合至所述處理器的存儲器模塊。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1的化學(xué)藥品存儲設(shè)備，其中所述載荷單元還包括用戶輸入設(shè)備。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10的化學(xué)藥品存^i更備，其中a)響應(yīng)于來自用戶 輸入設(shè)備的用戶輸入而進(jìn)行。
12. 根據(jù)權(quán)利要求10的化學(xué)藥品存^i殳備，其中c)響應(yīng)于來自用戶 輸入設(shè)備的用戶輸入而進(jìn)行。
13. 根據(jù)權(quán)利要求10的化學(xué)藥品存^f^i殳備，其中所述用戶輸入設(shè)備 包括鍵盤。
14. 根據(jù)權(quán)利要求9的化學(xué)藥品存儲設(shè)備，其中所述控制邏輯還響應(yīng) 于用戶輸入使得所述栽荷單元將至少一種添加至所述罐的化學(xué)藥品的重量 存儲到存儲器模塊中。
15. 根據(jù)權(quán)利要求l的化學(xué)藥品存儲設(shè)備，其中所述載荷單元還包括 耦合至所述處理器的載荷傳感器。
16. 根據(jù)權(quán)利要求15的化學(xué)藥品存^i殳備，其中所述載荷傳感器包 括惠斯登橋式傳感器。
17. 根據(jù)權(quán)利要求15的化學(xué)藥品存^i殳備，其中所述載荷傳感器包 括電容式測量傳感器。
18. 根據(jù)權(quán)利要求15的化學(xué)藥品存^i殳備，其中所述載荷傳感器能 夠測量從大約250g至大約10000g范圍的重量。
19. 根據(jù)權(quán)利要求15的化學(xué)藥品存^fti殳備，其中所述載荷傳感器能 夠以大約O.lg的精度測量重量。
20. —種監(jiān)測化學(xué)藥品使用的方法，包括a) 測定包括集成載荷單元的空的化學(xué)藥品存儲設(shè)備的皮重；b) 在所述化學(xué)藥品存儲設(shè)備中填充至少一種化學(xué)藥品至填充重量；c) 將所述化學(xué)藥品存儲設(shè)備連至分配設(shè)備；d) 校準(zhǔn)所述載荷單元以補(bǔ)償所述分配設(shè)備的重量，從而僅僅顯示所述 至少 一種化學(xué)藥品的填充重量；e )連續(xù)測量所述化學(xué)藥品存儲i殳備中剩余的至少 一種化學(xué)藥品的重量。
21. 根據(jù)權(quán)利要求20的方法，其中所述化學(xué)藥品存^i殳備還包括顯 示器、存儲器模塊、和用戶輸入設(shè)備。
22. 根據(jù)權(quán)利要求21的方法，其中(b)還包括在顯示器上顯示所述 纟真充重量。
23. 根據(jù)權(quán)利要求21的方法，其中(e)還包括在顯示器上顯示在所 述化學(xué)藥品存儲設(shè)備中剩余的至少 一 種化學(xué)藥品的重量。
24. 根據(jù)權(quán)利要求21的方法，還包括在(b )之后將填充重量存儲在 存儲器模塊中。
25. 根據(jù)權(quán)利要求20的方法，還包括在(b )之后向半導(dǎo)體制造機(jī)構(gòu) 運(yùn)送所述化學(xué)藥品存儲設(shè)備。
26. 根據(jù)權(quán)利要求20的方法，其中響應(yīng)于用戶輸入執(zhí)行(a)。
27. 根據(jù)權(quán)利要求20的方法，其中響應(yīng)于用戶輸入執(zhí)行(e)。
全文摘要
一種化學(xué)藥品存儲設(shè)備(100)和監(jiān)測化學(xué)藥品使用的方法。該設(shè)備和所公開的方法采用化學(xué)藥品存儲罐(102)和集成至一個可運(yùn)輸單元的載荷單元(104)。該載荷單元(104)能夠補(bǔ)償在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中所使用的附加的分配設(shè)備增加的重量。另外，當(dāng)將化學(xué)藥品從化學(xué)藥品存儲設(shè)備(100)抽出時，載荷單元(104)連續(xù)顯示化學(xué)藥品的重量(220)。被組合入載荷單元(104)本身的載荷單元(104)的控制邏輯包括這些功能。
文檔編號G01G17/04GK101228417SQ200680026407
公開日2008年7月23日 申請日期2006年9月8日 優(yōu)先權(quán)日2005年9月16日
發(fā)明者A·米斯拉, B·J·朱爾奇克, R·拉克斯曼 申請人:喬治洛德方法研究和開發(fā)液化空氣有限公司