專利名稱：六氟化硫放電分解氣體組分分析系統(tǒng)及其使用方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及六氟化硫(SF6)氣體放電分解、局部放電實驗和氣體組分檢測，特別涉及一種六氟化硫放電分解組分分析系統(tǒng)及其使用方法。
背景技術(shù)：
GIS采用SF6作為氣體絕緣介質(zhì)，具有絕緣強(qiáng)度高、運行穩(wěn)定、占地面積少和維護(hù)工作量小等優(yōu)點，在大中城市城網(wǎng)建設(shè)和改造中得到廣泛應(yīng)用。但是從近年的運行情況看，國內(nèi)外的GIS在使用中都出現(xiàn)了許多問題，其中以絕緣故障為主。絕緣故障最初一般表現(xiàn)為時斷時續(xù)的局部放電(PD)，而PD又會引起SF6氣體分解。對SF6分解氣體的檢測已經(jīng)有相應(yīng)的國家標(biāo)準(zhǔn)和國際標(biāo)準(zhǔn)，但還缺乏對絕緣缺陷類型定量比對的分析與判斷。根據(jù)GB/T8905-1996，對六氟化硫電氣設(shè)備中氣體的檢測項目主要有空氣、CF4、水、酸度、可水解氟化物和礦物油。根據(jù)IEC 60480-2004，對六氟化硫電氣設(shè)備中氣體的檢測分為兩種情況。一種情況是為了確認(rèn)六氟化硫是否需要進(jìn)行回收處理進(jìn)行的現(xiàn)場檢測，檢測項目主要有SOF2+SO2(＜12ppmv)，HF(＜25ppmv)，空氣，CF4，水和礦物油；另一種情況是為了定量的檢測氣體中各種雜質(zhì)的含量，檢測項目主要有空氣、CF4、HF、礦物油、SF4、SOF2、SO2F2、SO2。以上檢測最常用的方法是氣相色譜法。
對GIS內(nèi)部SF6放電分解氣體的檢測能夠提供GIS內(nèi)部酸性氣體雜質(zhì)含量數(shù)據(jù)，保證GIS內(nèi)部絕緣和金屬不受到過量腐蝕。放電分解氣體的檢測還能夠及時準(zhǔn)確反映出GIS內(nèi)部放電的總體情況，從而為及時發(fā)現(xiàn)故障，判斷故障提供依據(jù)。但是，對GIS內(nèi)部SF6放電分解氣體的檢測與分析的研究尚處于起步階段。一方面，實際運行的GIS中吸附劑和干燥劑的使用、分解氣體在氣室的擴(kuò)散效應(yīng)以及氣體采樣位置的隨意性都對準(zhǔn)確確定分解氣體組分濃度產(chǎn)生不利影響；另一方面，SF6放電分解氣體成分復(fù)雜，其中有不少氣體組分很不穩(wěn)定，使得對SF6放電分解氣體的定性和定量變得非常困難。因此，為了完善IEC和GB標(biāo)準(zhǔn)對絕緣缺陷類型定量比對的分析與判斷，有效的辦法和手段是在實驗室建立產(chǎn)生PD使SF6氣體產(chǎn)生分解的模擬實驗裝置，以便進(jìn)行有關(guān)基礎(chǔ)理論和應(yīng)用基礎(chǔ)的研究。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供的一種六氟化硫放電分解氣體組分分析系統(tǒng)及其使用方法，利用該系統(tǒng)及其使用方法可在實驗室內(nèi)模擬GIS設(shè)備內(nèi)部局部放電，并獲得反映局部放電情況的氣體組分及放電波形實驗數(shù)據(jù)，實現(xiàn)對SF6放電分解氣體組分分析研究，并為GIS絕緣缺陷的模式識別奠定實驗研究基礎(chǔ)。
本發(fā)明所涉及的六氟化硫放電分解氣體組分分析系統(tǒng)，由調(diào)壓器控制臺1、隔離變壓器2、無暈實驗變壓器3、無局放保護(hù)電阻4、電容分壓器5、六氟化硫放電分解裝置6、無感檢測阻抗7、匹配阻抗8、高速數(shù)字存儲示波器9和氣相色譜儀10構(gòu)成；六氟化硫放電分解裝置6由檢測阻抗接口11、接地金屬桿12、三角支撐架13、低壓端導(dǎo)電桿14、缸體15、SF6氣瓶16、進(jìn)氣針閥17、真空泵18、真空泵球閥19、真空表針閥20、壓力表針閥21、真空表22、壓力表23、法蘭24、O型密封圈25、螺桿螺帽26、橢圓封頭27、高壓套管固定槽28、聚四氟乙烯套筒29、高壓端導(dǎo)電棒30、橢圓形均壓帽31、采樣閥32、蝶閥33、氣敏傳感器接管34、氣敏傳感器接口法蘭35、高壓電極插口36、高壓電極37、低壓電極38、低壓電極插口39、石英觀察窗口40組成；缸體15、橢圓封頭27之間通過法蘭24、螺桿螺帽26配合O型密封圈25壓緊密封，形成橢圓形缸體結(jié)構(gòu)，橢圓形缸體結(jié)構(gòu)中心所在水平面上開有觀察放電現(xiàn)象用的對稱的石英觀察窗口40；外施實驗電壓通過高壓端導(dǎo)電棒30和橢圓形均壓帽31加到高壓電極插口36和高壓電極37，形成一個高電位的導(dǎo)體；低壓電極38通過螺紋與低壓電極插口39連接，然后接地或通過無感檢測阻抗7接地；高壓電極37與低壓電極38處于六氟化硫放電分解裝置6正中；SF6氣體通過進(jìn)氣針閥17進(jìn)入由缸體15和橢圓封頭27形成的腔體，氣壓范圍為0.2～0.5MPa；檢測阻抗接口11與無感檢測阻抗7連接，再通過信號電纜與匹配阻抗8和高速數(shù)字存儲示波器9連接。
所述的六氟化硫放電分解氣體組分分析系統(tǒng)的使用方法包括如下步驟1)抽真空關(guān)閉壓力表針閥21，打開真空表針閥20，打開真空泵球閥19，用真空泵18對六氟化硫放電分解裝置6抽真空，靜置12小時再觀察真空表22示數(shù)，檢驗其密封性能；2)充氣在通過密封性能檢驗后，打開SF6氣瓶16和進(jìn)氣針閥17對六氟化硫放電分解裝置6充入SF6氣體，待真空表22示數(shù)為0時，關(guān)閉真空表針閥20，打開壓力表針閥21，繼續(xù)充氣使氣壓達(dá)到實驗所需氣壓，靜置12小時再觀察壓力表示數(shù)，檢驗其耐壓性能；3)測量起始PD電壓調(diào)節(jié)調(diào)壓器控制臺1，緩慢升高實驗電壓，仔細(xì)觀察高速數(shù)字存儲示波器9上的波形，當(dāng)出現(xiàn)放電脈沖時，記錄下此時電壓，記為Ust，該電壓為實驗的起始放電電壓；4)產(chǎn)生局部放電施加起始PD電壓Ust的1.2～1.5倍電壓，使六氟化硫放電分解裝置6在不同電極下產(chǎn)生PD；5)采氣待放電達(dá)到足夠時間(24～120小時)后，微微打開采樣閥32，讓氣體緩緩進(jìn)入采樣袋，待采樣袋微微鼓起后即關(guān)閉采樣閥32停止采氣；6)組分分析用氣相色譜儀10進(jìn)行分解氣體組分分析，對分解氣體組分含量與穩(wěn)定性、不同電極的放電劇烈程度、能量分布以及脈沖頻率與氣體組分的關(guān)聯(lián)比對等進(jìn)行分析判斷；
7)放電脈沖信號采集用高速數(shù)字存儲示波器9采集PD引起檢測阻抗7兩端產(chǎn)生的電壓脈沖信號波形，結(jié)合氣相色譜儀10的分析結(jié)果，對PD反映的放電類型和特征進(jìn)行故障診斷和模式識別。
本發(fā)明采用上述技術(shù)方案，設(shè)計的六氟化硫放電分解氣體組分分析系統(tǒng)密封性能良好，可以在200小時內(nèi)保持SF6氣體壓力，在密封性能和耐壓性能方面均表現(xiàn)出良好的適用性；研制的六氟化硫放電分解裝置6可以有效產(chǎn)生局部放電并引起SF6分解；高速紫外成像儀可以透過石英觀察窗口40攝取清晰的局部放電圖形；通過測量無感檢測阻抗7上電壓可以有效地檢測出局部放電脈沖波形和相位；選擇的氣體采集工具和設(shè)計的采集方法可以保證采集氣樣的有效性；通過氣相色譜儀10可以檢測出ppmv級的SO2F2、SOF2、SO2等各種SF6放電分解氣體產(chǎn)物及Air、CF4、H2O等氣體雜質(zhì)。該發(fā)明可廣泛用于科研、教學(xué)、研究院所和設(shè)備制造廠家，用于對GIS設(shè)備PD在線狀態(tài)檢測的理論分析和應(yīng)用研究。


圖1為六氟化硫放電分解氣體組分分析系統(tǒng)分解氣體組分及PD信號檢測系統(tǒng)組成原理圖；圖2為六氟化硫放電分解裝置6結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3為六氟化硫放電分解裝置6橫截面圖。在圖3中，(40)為石英觀察窗口。
圖4為六氟化硫放電分解氣體組分分析系統(tǒng)針板電極模型。
圖5為六氟化硫放電分解氣體組分分析系統(tǒng)針針電極模型。
圖6為六氟化硫放電分解氣體組分分析系統(tǒng)接線高壓屏蔽示意圖。
上列圖中1、調(diào)壓器控制臺 2、隔離變壓器 3、無暈實驗變壓器 4、無局放保護(hù)電阻 5、電容分壓器 6、六氟化硫放電分解裝置 7、無感檢測阻抗 8、匹配阻抗 9、高速數(shù)字存儲示波器 10、氣相色譜儀 11、檢測阻抗接口 12、接地金屬桿 13、三角支撐架 14、低壓端導(dǎo)電桿 15、缸體 16、SF6氣瓶 17、進(jìn)氣針閥 18、真空泵 19、真空泵球閥 20、真空表針閥 21、壓力表針閥 22、真空表 23、壓力表 24、法蘭 25、O型密封圈 26、螺桿螺帽 27、橢圓封頭 28、高壓套管固定槽 29、聚四氟乙烯套筒 30、高壓端導(dǎo)電棒 31、橢圓形均壓帽 32、采樣閥 33、蝶閥 34、氣敏傳感器接管 35、氣敏傳感器接口法蘭 36、高壓電極插口 37、高壓電極 38、低壓電極 39、低壓電極插口 40、石英觀察窗口具體實施方式
六氟化硫放電分解氣體組分分析系統(tǒng)及其使用方法，其PD的檢測方法為調(diào)節(jié)調(diào)壓器控制臺1，緩慢升高實驗電壓，首先測量最大外施實驗電壓和起始PD電壓，然后施加起始PD電壓Ust的1.2～1.5倍電壓，GIS模擬實驗裝置會產(chǎn)生PD，PD引起無感檢測阻抗7兩端產(chǎn)生電壓脈沖，電壓脈沖通過信號電纜連接到高速數(shù)字存儲示波器9，并送至計算機(jī)儲存，進(jìn)行PD信號的故障診斷和模式識別；PD激發(fā)的分解氣體的檢測方法為在做完放電試驗10分鐘后，微微打開采樣閥32，使分解氣體通過進(jìn)入采樣袋，待采樣袋微微鼓起后，關(guān)閉采樣閥32，然后用取樣針取幾毫升樣氣注入氣相色譜儀10進(jìn)行氣體組分分析。具體的實驗方法及實驗步驟如下一、實驗方法及實驗步驟本發(fā)明設(shè)計的六氟化硫放電分解氣體組分分析系統(tǒng)可模擬GIS內(nèi)發(fā)生的典型局部放電。以下結(jié)合附圖對本裝置的使用方法做進(jìn)一步描述。
1、測量最大外施實驗電壓。在不放置電極模型情況下，接好實驗線路，通過進(jìn)氣針閥17向GIS模擬實驗裝置內(nèi)注入實驗氣體SF6，使氣壓達(dá)到2-5個大氣壓，調(diào)節(jié)調(diào)壓器控制臺1，緩慢升高實驗電壓，仔細(xì)觀察高速數(shù)字存儲示波器9上有無信號，當(dāng)出現(xiàn)微小放電脈沖信號時，記錄下此時加在模擬實驗裝置上的外施電壓(即為Umax)，該電壓值為以后實驗過程中最高的外施電壓，即模擬實驗電壓不能超過該電壓值，否則由實驗裝置本身產(chǎn)生的局部放電信號會與電極放電引起的PD信號所混淆，導(dǎo)致實驗結(jié)果不準(zhǔn)確，甚至無法識別是否是電極放電引起的PD信號。
2、測量起始PD電壓。置入需要檢測的電極模型，通過進(jìn)氣針閥17往GIS實驗裝置內(nèi)注入所需壓力的實驗氣體，調(diào)節(jié)調(diào)壓器控制臺1，緩慢升高實驗電壓，仔細(xì)觀察高速數(shù)字存儲示波器9上的波形，當(dāng)出現(xiàn)放電脈沖時，記錄下此時電壓，記為Ust，該電壓為實驗的起始放電電壓。
3、實驗數(shù)據(jù)獲取。實驗時，施加起始PD電壓Ust的1.2～1.5倍，就能觀察到PD信號，通過高速數(shù)字存儲示波器9記錄此時波形。根據(jù)實驗數(shù)據(jù)的重復(fù)性和穩(wěn)定性，考慮到放電具有一定的統(tǒng)計規(guī)律，可將實驗數(shù)據(jù)按組編號記錄。在每放電24小時后進(jìn)行一次氣體樣本采集，然后立即進(jìn)行氣體樣本組分分析，得出各氣體組分的絕對濃度。
二、六氟化硫放電分解氣體組分分析系統(tǒng)的設(shè)計1、高壓端導(dǎo)電棒30直徑d的計算缸體15直徑為20cm，所加電壓的最大有效值為30kV，電場為極不均勻電場。以下單位為cm，kV。
空氣中，對稍不均勻場，估算時可以用起暈電場為30kV/cm。
由空氣中的同軸圓柱電極模型電極表面最大場強(qiáng)經(jīng)驗公式Emax=Ur×In(R/r)]]>其中，R、r分別為外，內(nèi)圓柱半徑。
直徑r取1.5cm時，在空氣中不會起暈，在SF6中也不會(在曲率半徑大于4mm時，導(dǎo)體在SF6中的起暈電壓一般是空氣中的2倍以上)?？紤]到與電極的配合與機(jī)械強(qiáng)度，故取導(dǎo)電桿直徑d取1.5cm。
2、聚四氟乙烯套筒29長度的計算空氣中的沿面放電一般取3kV/cm，聚四氟乙烯套筒29表面線長度應(yīng)大于45/3＝15cm，考慮到加工精度以及裕度，缸體15內(nèi)取18cm，缸體15外取長度為20cm，可以保證在在空氣和SF6中不會發(fā)生沿面放電。
3、六氟化硫放電分解裝置6厚度計算方法本發(fā)明設(shè)計的GIS模擬裝置存在充高氣壓SF6氣體和充壓前抽真空清洗裝置兩種狀態(tài)，所以在設(shè)計時既要考慮裝置耐受內(nèi)壓又要考慮到裝置耐受外壓。因此必須進(jìn)行厚度的校驗。采用如下的壓力容器厚度計算方法(a)承受內(nèi)壓筒式壓力容器壁厚的計算公式Si=P·D2[σ]+C]]>上式中，Si容器的壁厚(mm)；P設(shè)計壓力(MPa)；D中間面直徑(mm)；C為附加厚度；[σ]使用材料許用應(yīng)力式中許用應(yīng)力[σ]的取值有以下規(guī)定在常溫下，取 和 中的較小值，且規(guī)定nb＝4.0，ns＝2.5(MPa)。
(b)承受外壓筒式壓力容器壁厚的計算公式S0=D3Pcr2.2·E]]>上式中，S0容器的壁厚(mm)；D容器的中間面直徑(mm)；Pcr臨界壓力(N/m2)；E使用材料的彈性模量(N/m2)，對于不銹鋼E一般在172-200GPa之間。由材料規(guī)格、及性能參數(shù)，計算得到采用不銹鋼無縫管。實際中，由于局部放電會使模擬裝置中短時壓力升高，以及SF6氣體分解物具有一定的腐蝕性，可在計算數(shù)值基礎(chǔ)上適當(dāng)加大外殼強(qiáng)度裕度，S取10mm。同理，經(jīng)過計算加上強(qiáng)度裕度后，有機(jī)玻璃的厚度S取8mm。
4、六氟化硫放電分解氣體組分分析系統(tǒng)的電極設(shè)計綜合考慮到材料的導(dǎo)電性能與經(jīng)濟(jì)性，針電極、板電極全部采用黃銅。對板電極，板直徑取60mm，厚度為10mm，電極連接桿直徑為3mm，長度30mm。由于板與導(dǎo)電桿(直徑為15mm)之間對電極連接桿形成屏蔽作用，可以保證電極連接桿不會發(fā)生電暈。
對針電極，電極連接桿直徑為3mm，長度30mm，針尖部分長度為5mm。
5、六氟化硫放電分解氣體組分分析系統(tǒng)氣體采集工具選擇及方法設(shè)計由于試驗氣壓為2-5個大氣壓，且分解氣體中含有微量劇毒氣體，為了確保氣體采集時的安全性，特別選用可以調(diào)節(jié)氣體流量的采樣閥32，這樣可以保證氣體緩緩進(jìn)入采樣袋，待采樣袋微微鼓起后即關(guān)閉采樣閥32停止采氣。為了保證被采氣體的有效性，采氣管道應(yīng)具有足夠大的直徑并盡量短以使得分解氣體能快速擴(kuò)散到采樣閥32處。在進(jìn)行氣體采集后要及時用取樣針把采氣袋內(nèi)的氣體樣本注入氣相色譜儀10進(jìn)行氣體組分分析。
6、六氟化硫放電分解氣體組分分析系統(tǒng)起暈預(yù)防方法進(jìn)行GIS的PD檢測實驗中，高壓引線及電極屏蔽都應(yīng)該是無暈的，高壓實驗中對高電位及地電位上的尖端部位都要采用適當(dāng)?shù)钠帘魏途鶋捍胧?，避免在這些部位上產(chǎn)生放電。
為了減小表面場強(qiáng)，就必須增大表面曲率半徑，增大極間或?qū)Φ氐木嚯x，注意電極的表面平整和光滑。高壓電極可采用球形或雙環(huán)形的屏蔽罩，引線須采用大直徑的金屬管。引線與裝置的連接處用直徑為60mm的金屬球均壓。
本發(fā)明提供的六氟化硫放電分解氣體組分分析系統(tǒng)及其使用方法，可在實驗室內(nèi)模擬GIS內(nèi)部局部放電，并由氣相色譜儀10檢測出ppmv級的SO2F2、SOF2、SO2等各種SF6放電分解氣體產(chǎn)物及Air、CF4、H2O等氣體雜質(zhì)，還配合使用高速數(shù)字存儲示波器9采集信號波形，結(jié)合氣相色譜儀10的分析結(jié)果，對PD反映的放電類型和特征進(jìn)行故障診斷和模式識別，從而找出電極類型、放電能量與SF6分解物類型、含量及產(chǎn)氣速率之間的對應(yīng)關(guān)系，對SF6局部放電分解機(jī)理進(jìn)行深入研究。該發(fā)明可廣泛用于科研、教學(xué)、研究院所和設(shè)備制造廠家，用于對GIS設(shè)備PD在線狀態(tài)檢測的理論分析和應(yīng)用研究。
權(quán)利要求
1.一種六氟化硫放電分解氣體組分分析系統(tǒng)，由調(diào)壓器控制臺(1)、隔離變壓器(2)、無暈實驗變壓器(3)、無局放保護(hù)電阻(4)、電容分壓器(5)、六氟化硫放電分解裝置(6)、無感檢測阻抗(7)、匹配阻抗(8)、高速數(shù)字存儲示波器(9)和氣相色譜儀(10)構(gòu)成；其特征是六氟化硫放電分解裝置(6)由檢測阻抗接口(11)、接地金屬桿(12)、三角支撐架(13)、低壓端導(dǎo)電桿(14)、缸體(15)、SF6氣瓶(16)、進(jìn)氣針閥(17)、真空泵(18)、真空泵球閥(19)、真空表針閥(20)、壓力表針閥(21)、真空表(22)、壓力表(23)、法蘭(24)、O型密封圈(25)、螺桿螺帽(26)、橢圓封頭(27)、高壓套管固定槽(28)、聚四氟乙烯套筒(29)、高壓端導(dǎo)電棒(30)、橢圓形均壓帽(31)、采樣閥(32)、蝶閥(33)、氣敏傳感器接管(34)、氣敏傳感器接口法蘭(35)、高壓電極插口(36)、高壓電極(37)、低壓電極(38)、低壓電極插口(39)、石英觀察窗口(40)組成；缸體(15)、橢圓封頭(27)之間通過法蘭(24)、螺桿螺帽(26)配合O型密封圈(25)壓緊密封，形成橢圓形缸體結(jié)構(gòu)，橢圓形缸體結(jié)構(gòu)中心所在水平面上開有觀察放電現(xiàn)象用的對稱的石英觀察窗口(40)；外施實驗電壓通過高壓端導(dǎo)電棒(30)和橢圓形均壓帽(31)加到高壓電極插口(36)和高壓電極(37)，形成一個高電位的導(dǎo)體；低壓電極(38)通過螺紋與低壓電極插口(39)連接，然后接地或通過無感檢測阻抗(7)接地；高壓電極(37)與低壓電極(38)處于六氟化硫放電分解裝置(6)正中；SF6氣體通過進(jìn)氣針閥(17)進(jìn)入由缸體(15)和橢圓封頭(27)形成的腔體，氣壓范圍為0.2～0.5MPa；采樣閥(32)通過氣管與氣相色譜儀(10)進(jìn)氣口連接；檢測阻抗接口(11)與無感檢測阻抗(7)連接，再通過信號電纜與匹配阻抗(8)和高速數(shù)字存儲示波器(9)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的六氟化硫放電分解氣體組分分析系統(tǒng)的使用方法，其特征是該方法包括如下步驟1)抽真空關(guān)閉壓力表針閥(21)，打開真空表針閥(20)，打開真空泵球閥(19)，用真空泵(18)對六氟化硫放電分解裝置(6)抽真空，靜置12小時再觀察真空表(22)示數(shù)，檢驗其密封性能；2)充氣在通過密封性能檢驗后，打開SF6氣瓶(16)和進(jìn)氣針閥(17)對六氟化硫放電分解裝置(6)充入SF6氣體，待真空表(22)示數(shù)為0時，關(guān)閉真空表針閥(20)，打開壓力表針閥(21)，繼續(xù)充氣使氣壓達(dá)到實驗所需氣壓，靜置12小時再觀察壓力表示數(shù)，檢驗其耐壓性能；3)測量起始PD電壓調(diào)節(jié)調(diào)壓器控制臺(1)，緩慢升高實驗電壓，仔細(xì)觀察高速數(shù)字存儲示波器(9)上的波形，當(dāng)出現(xiàn)放電脈沖時，記錄下此時電壓，記為Ust，該電壓為實驗的起始放電電壓；4)產(chǎn)生局部放電施加起始PD電壓Ust的1.2～1.5倍電壓，使六氟化硫放電分解裝置(6)在不同電極下產(chǎn)生PD；5)采氣待放電達(dá)到足夠時間(24～120小時)后，微微打開采樣閥(32)，讓氣體緩緩進(jìn)入采樣袋，待采樣袋微微鼓起后即關(guān)閉采樣閥(32)停止采氣；6)組分分析用氣相色譜儀(10)進(jìn)行分解氣體組分分析，對分解氣體組分含量與穩(wěn)定性、不同電極的放電劇烈程度、能量分布以及脈沖頻率與氣體組分的關(guān)聯(lián)比對等進(jìn)行分析判斷；7)放電脈沖信號采集用高速數(shù)字存儲示波器(9)采集PD引起檢測阻抗(7)兩端產(chǎn)生的電壓脈沖信號波形，結(jié)合氣相色譜儀(10)的分析結(jié)果，對PD信號反映的放電類型和特征進(jìn)行故障診斷和模式識別。
全文摘要
一種六氟化硫放電分解氣體組分分析系統(tǒng)，由調(diào)壓器控制臺1、隔離變壓器2、無暈實驗變壓器3、無局放保護(hù)電阻4、電容分壓器5、六氟化硫放電分解裝置6、無感檢測阻抗7、匹配阻抗8、示波器9、和氣相色譜儀10構(gòu)成；系統(tǒng)的使用方法包括如下步驟1)用真空泵18對六氟化硫放電分解裝置6抽真空；2)通過進(jìn)氣針閥17對六氟化硫放電分解裝置6沖入SF
文檔編號G01N1/28GK101059485SQ20071007849
公開日2007年10月24日 申請日期2007年5月23日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月23日
發(fā)明者唐炬, 張曉星, 孫才新, 杜林 , 李劍, 萬凌云 申請人:重慶大學(xué)