專利名稱：紫外線監(jiān)測系統(tǒng)及紫外線照射裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及紫外線監(jiān)測系統(tǒng)及紫外線照射裝置。
背景技術：
歷來，已知有紫外線照射裝置，具有氙準分子燈或低壓水銀燈等紫外 線源，并通過從這些紫外線源向照射對象照射紫外線而進行規(guī)定的處理。 這種紫外線照射裝置，例如被用于平板顯示器和半導體等的干式清洗、薄 膜和樹脂等的表面改質或其它各種用途。另外，在這樣的紫外線照射裝置 中，設有對紫外線源照射的紫外線強度進行監(jiān)測的紫外線監(jiān)測系統(tǒng)。該紫 外線監(jiān)測系統(tǒng)構成為具有由熒光玻璃傳感器或硅光電二極管等構成的紫 外線傳感器，使用該紫外線傳感器對紫外線強度進行測量并監(jiān)測。而且， 因為由熒光玻璃傳感器或硅光電二極管等構成的紫外線傳感器的感度范 圍從紫外線領域延伸到可見光領域或紅外線領域，所以在紫外線傳感器上 設有濾光片，該濾光片用于排除檢測紫外線時成為干擾因素的可見光或紅 外線的影響。
還有，作為現(xiàn)有的紫外線監(jiān)測系統(tǒng)的另外的例子，還己知有通過對照 射紫外線使裝置內的一部分氧發(fā)生變化而產(chǎn)生的臭氧濃度進行監(jiān)測，從而 間接地監(jiān)測紫外線強度的系統(tǒng)(例如參考專利文獻l)。特開平8-332371號公報
在上述的由熒光玻璃傳感器或硅光電二極管等構成的紫外線傳感器 中，設有用于排除可見光或紅外線影響的濾光片，但因為這種濾光片對于 紫外線非常脆弱，所以不可避免地會發(fā)生變質，從而在短時間內劣化。再 者，當被照射高強度的紫外線時，存在不僅濾光片受到損壞，甚至連紫外 線傳感器也損壞的問題。因此，在現(xiàn)有的紫外線監(jiān)測系統(tǒng)中，難以長時間 地對高強度的紫外線進行監(jiān)測。
另外，在上述專利文獻l公開的紫外線監(jiān)測系統(tǒng)中，由照射紫外線所 產(chǎn)生的臭氧的濃度間接性地檢測出紫外線的強度，但由于臭氧的化學性質 不穩(wěn)定，難以準確地對臭氧濃度進行監(jiān)測。因此，也難以準確地監(jiān)測紫外 線的強度。

發(fā)明內容
本發(fā)明正是為了解決上述問題而設計的，其目的在于，提供一種能夠 長時間地、準確地對高強度的紫外線進行監(jiān)測的紫外線監(jiān)測系統(tǒng)及紫外線 照射裝置。
為了達成上述目的，本發(fā)明的紫外線監(jiān)測系統(tǒng)具有供應電力的電源 裝置；通過從所述電源裝置獲得電力而照射紫外線的紫外線源；紫外線傳 感器，其具有根據(jù)接受的紫外線的強度生成相應量的電荷的由金剛石構成
的檢測部，根據(jù)由該檢測部生成的電荷，輸出與所述紫外線強度對應的電 信號；控制部，其基于所述電信號控制所述電源裝置的電力供應，從而控 制所述紫外線源的紫外線輸出。
在該紫外線監(jiān)測系統(tǒng)中，具有由根據(jù)紫外線傳感器受光的紫外線強度 而產(chǎn)生相應量電荷的金剛石構成的檢測部。因為這種由金剛石構成的檢測 部對紫外線具有良好的耐久性，所以即使在長時間照射高強度的紫外線的 情況下，也能夠抑制紫外線傳感器的劣化。因此，可以長時間地對高強度 的紫外線進行監(jiān)測。再者，在該紫外線監(jiān)測系統(tǒng)中，由于可以使用具有由 金剛石構成的檢測部的紫外線傳感器，直接對紫外線源照射的紫外線強度 進行測量，所以與由通過照射紫外線所產(chǎn)生的、化學性質不穩(wěn)定的臭氧的 濃度對紫外線強度進行監(jiān)測的情況相比，可以準確地對紫外線的強度進行 監(jiān)測。因此，在該紫外線監(jiān)測系統(tǒng)中，可以長時間地、準確地對高強度的 紫外線進行監(jiān)測，并可以基于由上述檢測部產(chǎn)生的電信號，長時間地、準 確地對紫外線源的輸出進行控制。另外，有金剛石構成的檢測部，僅對紫 外線具有感度，對可見光、紅外線等紫外線以外的波長的光不具有感度。 由此，也可以不設置用于棑除可見光、紅外線等影響的濾光片，因此可以 減少部件數(shù)量。
在上述紫外線監(jiān)測系統(tǒng)中，所述控制部優(yōu)選為包括對所述電信號進
行放大的放大器電路、將被所述放大器電路放大的電信號換算成紫外線量 的運算裝置、以及從所述運算裝置接收紫外線量的數(shù)據(jù)并在該紫外線量的 數(shù)據(jù)基礎上將用于調整所述電源裝置的電力供應的電力控制信號輸入到 該電源裝置的控制信號輸入電路。具有如此構成的話，就可以在紫外線傳 感器輸出的電信號的基礎上，通過控制部對電源裝置的電力供應進行控制 并對紫外線源的紫外線輸出進行控制。
本發(fā)明的紫外線照射裝置，具備上述任何一項所述的紫外線監(jiān)測系 統(tǒng)，從所述紫外線源向對象物照射紫外線。
在該紫外線照射裝置中，由于具有上述的紫外線監(jiān)測系統(tǒng)，因此可以 獲得與上述紫外線監(jiān)測系統(tǒng)同樣的效果，S卩，能夠長時間、準確地對高強 度的紫外線進行監(jiān)測。
在上述紫外線照射裝置中，優(yōu)選為具備收納所述紫外線源的第1腔、 與所述第1腔連接設置并收納所述照射對象物的第2腔、以及隔開所述第 1腔內的空間和所述第2腔內的空間并由可以透過紫外線的材料構成的隔 壁，從所述第1腔內的紫外線源照射的紫外線透過所述隔壁照射到所述第 2腔內的照射對象物上。具有如此構成的話，就可以在紫外線源和照射對 象物被分別受納在個別的中的紫外線照射裝置中，容易地將紫外線源發(fā)出 的紫外線照射到對象物上。
這種情況下，優(yōu)選為所述紫外線傳感器被設置在所述第l腔內。具有 如此構成的話，就可以通過紫外線傳感器對設在第1腔內的紫外線源發(fā)出 的紫外線進行近距離的直接測量，從而實現(xiàn)對紫外線源照射的紫外線進行 的實時監(jiān)測。因此，可以立即發(fā)現(xiàn)紫外線源沒有點燈或紫外線源的照射強 度下降的情況。
再者，在這種情況下，優(yōu)選為具備對所述紫外線傳感器的溫度進行控 制的溫度控制機構。當在設有紫外線源的第1腔內設置紫外線傳感器時， 有可能因紫外線傳感器與紫外線源之間的距離很近，使紫外線傳感器直接 受到紫外線的照射，從而出現(xiàn)其溫度升高的現(xiàn)象，當紫外線傳感器的溫度 超出一定的范圍時，會降低對紫外線的測量精度。這種情況下，如果也具 備上述的對紫外線傳感器的溫度進行控制的溫度控制機構的話，就可以將 紫外線傳感器的溫度控制在上述的規(guī)定范圍內，從而抑制紫外線傳感器的
測量精度的降低。
在具備收納上述紫外線源的第1腔和收納照射對象物的第2腔的構成 中，優(yōu)選為在構成所述第l腔的壁部的規(guī)定部分設置開口部，并設置由可 以透過紫外線的材料構成的第1紫外線透過構件以覆蓋該開口部，所述紫 外線傳感器被設置在所述第1腔的外側并接受透過所述第1紫外線透過構 件的紫外線。具有如此構成的話，就可以將紫外線傳感器設置在第l腔外 側的各個位置上，與將紫外線傳感器設置在第l腔內的情況相比，可以提 高紫外線傳感器的配置自由度。另外，由于將紫外線傳感器設置在第l腔 的外側，與將紫外線傳感器設置在第l腔內的情況相比，可以容易地對紫 外線傳感器進行保養(yǎng)和管理。另外，由于將紫外線傳感器設置在遠離第1 腔內的紫外線源的位置上，即使長時間地對高強度的紫外線進行測量，也 可以抑制紫外線傳感器的溫度升高，防止其超出能夠確保測量精度的溫度 范圍。
在具備收納上述紫外線源的第1腔和收納照射對象物的第2腔的構成 中，所述紫外線傳感器優(yōu)選為被設置在所述第2腔內。如此構成的話，可 以通過紫外線傳感器近距離地對實際照射到設在第1腔內的對象物上的紫 外線強度進行高精度的監(jiān)測。而且，在監(jiān)測獲取的紫外線照射強度的數(shù)據(jù) 基礎上，可以高精度地對照射到對象物上的紫外線強度進行控制。
這種情況下，優(yōu)選為設置覆蓋所述紫外線傳感器周圍的罩部并在該罩 部的一部分上設置透過紫外線的紫外線入射部，在所述紫外線入射部的面
向所述第2腔內的空間的一側，還設置遮蔽件機構，該遮蔽件機構可以使
所述紫外線入射部在遮蔽所述紫外線入射部的遮蔽狀態(tài)和不對所述紫外 線入射部進行遮蔽的開放狀態(tài)之間相互切換。如此用罩部覆蓋紫外線傳感
器的周圍的話，即使在第2腔內產(chǎn)生臭氧等情況下，也可以使紫外線傳感
器不受臭氧等氣氛的影響而對紫外線進行測量。而且，通過設置紫外線入 射部，即使用罩部覆蓋紫外線傳感器，紫外線也能夠透過紫外線入射部射
入到紫外線傳感器，所以能夠對紫外線進行測量。另外，在第2腔內，隨 著紫外線照射到對象物上，會產(chǎn)生規(guī)定的物質或飛散。即使在這種情況下， 當不測量紫外線時，如果通過上述遮蔽件機構遮蔽紫外線入射部的面向第 2腔內的空間的一側，與沒有設置遮蔽件機構的情況相比，可以抑制在上
述第2腔內產(chǎn)生或飛散的物質附著并堆積在紫外線入射部上，從而抑制因 這些物質附著并堆積在紫外線入射部上而妨礙紫外線的射入所導致的紫 外線測量精度的降低。
在具備收納上述紫外線源的第1腔和收納照射對象物的第2腔的構成 中，優(yōu)選為在構成所述第2腔的壁部的規(guī)定部分上設置開口部，并設置覆 蓋該開口部的、由可以透過紫外線的材料構成的第2紫外線透過構件，所
述紫外線傳感器被設置在所述第2腔的外側并接收透過所述第2紫外線透 過構件的紫外線。具有如此構成的話，就可以將紫外線傳感器設置在第2 腔外側的各個位置上，與將紫外線傳感器設置在第2腔內的情況相比，可 以提高紫外線傳感器的配置自由度。另外，由于將紫外線傳感器設置在第 2腔的外側，與將紫外線傳感器設置在第2腔內的情況相比，可以容易地 對紫外線傳感器進行保養(yǎng)和管理。
在上述紫外線照射裝置中，優(yōu)選為所述紫外線源被設置在內部并具備 收納所述照射對象物的第3腔，在構成所述第3腔的壁部的規(guī)定部分設置 開口部，并設置由可以透過紫外線的材料構成的第3紫外線透過構件以覆 蓋該開口部，所述紫外線傳感器被設置在所述第3腔的外側并接受透過所 述第3紫外線透過構件的紫外線。具有如此構成的話，就可以將紫外線傳 感器設置在第3腔外側的各個位置上，與將紫外線傳感器設置在第3腔內 的情況相比，可以提高紫外線傳感器的配置自由度。另外，由于將紫外線 傳感器設置在第3腔的外側，與將紫外線傳感器設置在第3腔內的情況相 比，可以容易地對紫外線傳感器進行保養(yǎng)和管理。
在上述紫外線照射裝置中，優(yōu)選為設置多個所述紫外線源，具備使所 述紫外線傳感器相對于所述紫外線源的配置角度發(fā)生變化的角度調節(jié)機 構，通過所述角度調節(jié)機構使所述紫外線傳感器的配置角度變化，同時對 多個紫外線源照射的紫外線強度進行測量。如果如此通過角度調節(jié)機構使 紫外線傳感器的配置角度變化，同時對多個紫外線源照射的紫外線強度進 行測量，則可以通過少于紫外線源的數(shù)量的紫外線傳感器對多個紫外線源 照射的紫外線強度進行測量。由此，即使在設有多個紫外線源的情況下， 也可以抑制因需要對多個紫外線源發(fā)出的紫外線強度進行監(jiān)測而導致紫 外線傳感器數(shù)量的增加。
如上所述，本發(fā)明的紫外線監(jiān)測系統(tǒng)及紫外線照射裝置可以長時間 地、準確地對高強度的紫外線進行監(jiān)測。


圖1是表示本發(fā)明的典型實施方式中的紫外線監(jiān)測系統(tǒng)及組裝有該系 統(tǒng)的紫外線照射裝置的構成概圖。
圖2是表示采用圖1所示的紫外線監(jiān)測系統(tǒng)的紫外線傳感器的具體構
、、圖3是表示本發(fā)明的第1實施方式的紫外線監(jiān)測系統(tǒng)及組裝有該系統(tǒng) 的紫外線照射裝置的構成概圖。
圖4是表示本發(fā)明的第2實施方式的紫外線監(jiān)測系統(tǒng)及組裝有該系統(tǒng) 的紫外線照射裝置的構成概圖。
圖5是表示本發(fā)明的第3實施方式的紫外線監(jiān)測系統(tǒng)及組裝有該系統(tǒng) 的紫外線照射裝置的構成概圖。
圖6是表示在圖5所示的第3實施方式的紫外線監(jiān)測系統(tǒng)中，紫外線 傳感器的設置角度與流經(jīng)被紫外線照射的紫外線傳感器的表面電極間的 電流(電信號)的關系相關圖。 符號說明
1第l腔
la開口部
2第2腔
2a開口部
3、 43 隔壁
4、 44、 74、 94紫外線監(jiān)測裝置 11、 51電源裝置
12紫外線源
13、 53、 83a、 83b、 93a、 93b、 93c、 93d紫外線傳感器
14、 54控制部
15冷卻裝置(溫度控制機構) 16、 86a、 86b真空密封部(罩部)
17、 87a、 87b紫外線入射部
18、 88a、 88b 遮蔽件機構
19紫外線透過構件(第l紫外線透過構件) 20紫外線透過構件(第2紫外線透過構件) 22金剛石層(檢測部)
31、 61放大器電路
32、 62運算裝置
33、 63控制信號輸入電路 52低壓水銀燈(紫外線源)
65溫度調節(jié)用套管(溫度控制機構)
82、 92氙準分子燈(紫外光源)
93e、 93f角度調節(jié)機構
95處理腔(第3腔)
96a、 96b、 96c、 96d 開口部
98a、 98b、 98c、 98d紫外線透過構件(第3紫外線透過構件)
100照射對象物
200玻璃板(照射對象物)
300玻璃基板(照射對象物)
400半導體晶片(照射對象物)
具體實施例方式
首先，參考附圖對本發(fā)明的實施方式中的主要構成進行說明。
圖1表示本發(fā)明的典型實施方式中的紫外線監(jiān)測系統(tǒng)4及組裝有該系
統(tǒng)的紫外線照射裝置的構成。
在本實施方式的紫外線照射裝置中，具備第1腔1、第2腔2、隔壁3、 和紫外線監(jiān)測系統(tǒng)4。在第1腔中設有后述的紫外線源12，其內部被保持 為真空。第2腔2與第l腔l連續(xù)設置。該第2腔2收納有被照射紫外線 后施加規(guī)定處理的照射對象物100。隔壁3由合成石英等紫外線可以透過 的材料構成，由于設置在第1腔1和第2腔2之間，從而將第1腔1內的 空間和第2腔2內的空間隔開。而且，被從第1腔1內的后述的紫外線源
12輸出的紫外線透過隔壁3后照射到第2腔2內的照射對象物100上。此 外，并不一定非要設置這樣的隔壁3，也可以在具有連續(xù)的內部空間的單 一腔內收納紫外線源12和照射對象物100雙方。
紫外線監(jiān)測系統(tǒng)4具有電源裝置11、紫外線源12、金剛石真空紫外 線傳感器13 (以下稱為紫外線傳感器13)、以及控制部14。該紫外線監(jiān)測 系統(tǒng)4是對紫外線源12照射的紫外線強度進行監(jiān)測并控制其強度的系統(tǒng)。
上述電源裝置11用于向紫外線源12供應電力。另外，紫外線源12 由氙準分子燈或低壓水銀燈等構成，接收到從電源裝置11供應的電力后， 紫外線源12照射出大約lmW/cm^大約100 mW/cn^左右的紫外線。該紫 外線源12被以規(guī)定間隔配置多個，相對于上述照射對象100平行排列。
紫外線傳感器13對紫外線源12照射的紫外線的強度進行測量。該紫 外線傳感器13構成為針對從紫外線源12接收的紫外線的強度，輸出相應 的電信號。圖2表示紫外線傳感器13的具體構成。紫外線傳感器13具有 基板21、形成在基板21上并起到紫外線的檢測部作用的金剛石層22、形 成在金剛石層22上的一對表面電極23a及23b、和金屬支座24。
金剛石層22形成在基板21上，在該金剛石層22的表面上間隔一定 距離形成有一對表面電極23a及23b。而且，由基板21和金剛石層22以 及表面電極23a及23b所構成的元件被搭載在金屬支座24上。在金屬支 座24上設有一對端子24a及24b， 一個表面電極23a和端子24a通過布線 26a電性連接，同時另一個表面電極23b和端子24b通過布線26b電性連 接。
而且，紫外線傳感器13在被稱為光傳導型的原理下工作。具體地說， 在紫外線傳感器13中，由于紫外線通過表面電極23a及23b之間的領域 射入到金剛石層22上，在金剛石層22上生成電子和正孔。此時，在金剛 石層22中，產(chǎn)生對應接受的紫外線強度的量的電荷(電子及正孔)。艮口， 當受光的紫外線強度大時生成的電荷量增加，相反當受光的紫外線強度小 時生成的電荷量減少。因此，在紫外線傳感器13中，當不被紫外線照射 時，金剛石層22的電阻非常大，在表面電極23a及23b之間沒有電流通 過，相反，當被紫外線照射時，金剛石層22的電阻降低，電流通過表面 電極23a及23b之間并隨著紫外線強度的增加，流經(jīng)表面電極23a及23b
之間的電流也隨之增加。
而且，通過端子24a及24b、布線26a及26b、表面電極23a及23b， 向金剛石層22印加偏壓，可以收集上述生成的電荷。而且，收集的電荷 作為電信號從紫外線傳感器13輸出到控制部14 (參考圖1)。由于該輸出 的電信號的強度對應在紫外線傳感器13生成的上述電荷量，換言之，就 是對應流經(jīng)上述表面電極23a及23b之間的電流的大小，并且與上述的被 照射的紫外線的強度成比例，因此可以從該電信號的強度判斷出紫外線的 照射強度。另外，金剛石層22對于紫外線具有良好的耐久性。而且，金 剛石層22僅對波長大約在227nm以下的紫外線具有感度，對可見光、紅
外線等紫外線以外的波長的光沒有感度。
上述的紫外線傳感器13可以設置在紫外線照射裝置內的各種位置上。 其中，圖1所示的位置A D為典型的設置位置。
位置A是將紫外線傳感器13設置在設有紫外線源12的第1腔1內的 位置。因為在該位置A上，可以在紫外線源12的近旁通過紫外線傳感器 13對紫外線直接進行測量，所以適用于在測量紫外線強度時提高再現(xiàn)性及 對紫外線進行的實時監(jiān)測。因此，通過將紫外線傳感器13設置在位置A， 具有可以容易地對紫外線源12的不點燈和照射強度的低下進行確定的優(yōu) 點。
但是在該位置A上，由于會近距離地直接受到具有大約lmW/cm^大 約100mW/cr^強度的紫外線的照射，會出現(xiàn)紫外線傳感器13的溫度上升 的情況。當紫外線傳感器13的溫度超過規(guī)定的溫度范圍時，會導致紫外 線傳感器13的測量精度下降，此時，從維持紫外線傳感器13的測量精度 的觀點來看，優(yōu)選為通過設置空冷裝置、水冷裝置等冷卻裝置15 (溫度控 制機構)對紫外線傳感器13進行冷卻，使紫外線傳感器13的溫度保持在 上述規(guī)定的溫度范圍內。
位置B是將紫外線傳感器13設置在收納照射對象物100的第2腔2 內的位置。在將該紫外線傳感器13配置在該位置B的情況下，因為幾乎 與照射到對象物100上的紫外線條件相同的紫外線射入到紫外線傳感器 13上，所以容易掌握實際照射到對象物100上的紫外線的強度，適于對通 過紫外線照射而對照射對象物IOO施以規(guī)定的處理時的過程進行管理。再
者，在該位置B上，由于對從紫外線源12透過隔壁3射入到第2腔2內 的紫外線進行測量，因此可以掌握隔壁3的紫外線透過率的變化。即，可 以通過在位置B上對紫外線強度進行測量，可以掌握因紫外線照射導致的 隔壁3的劣化和透過隔壁3的紫外線透過率的下降傾向等情況。
此外，在第2腔2中存在氧，當紫外線照射時氧的一部分發(fā)生變化而 生成臭氧。因此，當把紫外線傳感器13設置在位置B上時，紫外線傳感 器13受到包含臭氧的氣氛的影響。具體地說，當臭氧直接與紫外線傳感 器13的表面接觸時，在高反應性的臭氧的作用下，紫外線傳感器13的表 面變質，結果有可能導致紫外線傳感器13的感度發(fā)生顯著的變化。因此， 當把紫外線傳感器13設置在位置B時，為了排除臭氧的影響，用真空密 封部16 (罩部)對紫外線傳感器13的周圍進行覆蓋。在該真空密封部16 內封入有氬氣，可以防止因上述的氧氣發(fā)生變化而產(chǎn)生的臭氧對紫外線傳 感器13造成影響。而且，在真空密封部16的一部分上設有透過紫外線的 紫外線入射部17，紫外線通過該紫外線入射部17射入到紫外線傳感器13 的金剛石層22上。
另外，在第2腔2內，伴隨紫外線照射到對象物100上，會產(chǎn)生規(guī)定 的物質并飛散，同時該物質會附著并堆積在紫外線入射部17的表面上。 當這些物質堆積在紫外線入射部17上時，從紫外線傳感器13射入到金剛 石層22上的紫外線被遮斷，導致難以對紫外線強度進行準確地測量。因 此，當把紫外線傳感器13設置在位置B上時，可以設置遮蔽件機構18， 用來減少上述物質附著并堆積在紫外線入射部17上。
具體地說，在紫外線入射部17的面對第2腔2的空間的一側上設置 遮蔽件機構18。而且，在該紫外線入射部17的面對第2腔2的空間的一 側，遮蔽件機構18構成為可以在對紫外線入射部17進行遮蔽的遮蔽狀態(tài) 和不對紫外線入射部17進行遮蔽的開放狀態(tài)之間進行切換。即，當對紫 外線進行測量時，遮蔽件機構18不遮蔽紫外線入射部17，使紫外線通過 該紫外線入射部17射入到紫外線傳感器13的金剛石層22上，相反，當 不進行紫外線測量時，遮蔽件機構18遮蔽紫外線入射部17，從而抑制上 述物質附著堆積在紫外線入射部17上。
位置C是經(jīng)紫外線透過構件19 (第2紫外線透過構件)，將紫外線傳
感器13設置在的第2腔2的外側上的位置，該紫外線透過構件19由紫外
線可以透過的材料構成。這種情況下，在構成第2腔2的壁部的規(guī)定部分 上設置開口部2a和覆蓋該開口部2a的紫外線透過構件19。而且，在該紫 外線透過構件19的與第2腔2的內部相反的一側設置紫外線傳感器13， 紫外線透過紫外線透過構件19被紫外線傳感器13接受。此外，這種情況 下，紫外線傳感器13的位置并不限定于紫外線透過構件19的與第2腔2 內相反一側的位置，也可以位于第2腔2的外側能夠受光透過紫外線透過 構件19的紫外線的位置。例如，也可以位于紫外線透過構件19的橫側。
如此，與將紫外線傳感器13設置在第2腔2內的情況相比，將紫外 線傳感器13設置在第2腔2的外側的情況下的紫外線傳感器13的配置自 由度高。因此，適用于將多個紫外線傳感器13設置在期望的位置上而對 各位置上的紫外線的強度分布進行掌握的情況。例如，對應各紫外線源12 個別設置紫外線傳感器13，并且將這些紫外線傳感器13監(jiān)測到的紫外線 強度的結果，反饋到向各個紫外線源12供應電力的電源裝置11后進行控 制，可以使各紫外線源12的紫外線照射量變得均勻。
位置D是經(jīng)紫外線透過構件20 (第l紫外線透過構件)，將紫外線傳 感器13設置在的第1腔1的外側上的位置，該紫外線透過構件20由紫外 線可以透過的材料構成。這種情況下，在構成第1腔1的壁部的規(guī)定部分 上設置開口部la并且設置覆蓋該開口部la的紫外線透過構件20。而且， 在該紫外線透過構件20的與第1腔1的內部相反側上設置紫外線傳感器 13，紫外線透過紫外線透過構件20被紫外線傳感器13接受。此外，這種 情況下，紫外線傳感器13的位置并不限定于紫外線透過構件20的與第1 腔1內相反側的位置，也可以位于第1腔1的外側能夠接受透過紫外線透 過構件19的紫外線的位置。例如，也可以位于紫外線透過構件20的橫側。 如此，在將紫外線傳感器13設置在第1腔1的外側的情況下，與將紫外 線傳感器13設置在上述位置C的情況相同，具有可以提高紫外線傳感器 13的配置自由度，并且容易對紫外線傳感器13進行保養(yǎng)和管理的優(yōu)點。
上述控制部14，根據(jù)紫外線傳感器13輸出的電信號，對電源裝置11 的電力供應進行控制，從而控制紫外線源12的紫外線輸出。該控制部14 由放大器電路31、運算裝置32以及控制信號輸出電路33構成。
當從紫外線傳感器13輸出的電信號被輸入時，放大器電路31對該電 信號進行放大。而且，被放大的電信號從放大器電路31輸入到運算裝置
32中。運算裝置32將輸入的電信號換算成紫外線量。而且，通過運算裝 置32換算出的紫外線量數(shù)據(jù)，又被輸入到控制信號輸入電路33中?？刂?信號輸入電路33將電力控制信號輸入到電源裝置11中，該電力控制信號 對應輸入的紫外線量數(shù)據(jù)對電力供應進行調整。
具體地說，控制信號輸入電路33根據(jù)從運算裝置33輸入的紫外線量 數(shù)據(jù)，判定出紫外線源12輸出的紫外線量的大小，并且將對應該判定結 果的電力控制信號輸入到電源裝置11中。例如，當控制信號輸入電路33 從上述紫外線量數(shù)據(jù)判定紫外線源12輸出的紫外線大于設定輸出時，將 減少電力供應的電力控制信號輸入到電源裝置11中，使供應到紫外線源 的電力減少，從而降低紫外線源的紫外線輸出量。相反，當控制信號輸入 電路33從上述紫外線量數(shù)據(jù)判定紫外線源12輸出的紫外線小于設定輸出 時，將增加電力供應的電力控制信號輸入到電源裝置11中，使供應到紫 外線源的電力減少，從而增加紫外線源的紫外線輸出量。
其次，對本發(fā)明的具有更具體構成的例子，即第1 第3實施方式分別 進行說明。
(第1實施方式)
圖3表示本發(fā)明的第1實施方式的紫外線監(jiān)測系統(tǒng)44及組裝有該系 統(tǒng)的紫外線照射裝置的構成。
該第1實施方式的紫外線照射裝置，是將紫外線照射到對象物即玻璃 板200上，對其表面進行干式清洗的間歇(batch)式紫外線清洗裝置。該 紫外線清洗裝置具備燈箱41 (第1腔)、主體部42 (第2腔)、隔壁43 (第 3腔)、紫外線監(jiān)測系統(tǒng)44、搬運機構45。
燈箱41與圖1所示的上述第1腔1對應，收納有作為紫外光源的4 根低壓水銀燈52。在該燈箱41內充滿有氮氣，氧被排除。
另外，主體部42、隔壁43及紫外線監(jiān)測系統(tǒng)44分別與圖l所示的上 述第2腔2、隔壁3以及紫外線監(jiān)測系統(tǒng)4具有相同的構成。而且，紫外 線監(jiān)測系統(tǒng)44具有與圖1所示的上述電源裝置11、紫外線源12、紫外線 傳感器13以及控制部14對應的電源裝置51、紫外線源52、紫外線傳感器53以及控制部54。但是，在該第1實施方式中，紫外線傳感器53被多 個設在燈箱41內，并設置在與各低壓水銀燈52對應的位置。此外，紫外 線傳感器53的構造與圖2所示的紫外線傳感器13相同，具有作為檢測部 的金剛石層22。
另外，在該第1實施方式中，在紫外線傳感器53上安裝有空冷式或 水冷式的溫度調節(jié)用套管(溫度控制機構)。該溫度調節(jié)用套管65與圖1 所示的上述冷卻裝置15相對應。由于紫外線傳感器53設置在燈箱41內， 因此近距離地直接受到低壓水銀燈52發(fā)出的紫外線及可見光的照射，從 而被這些紫外線及可見光加熱。而且，當紫外線傳感器53的溫度上升到 大約75。C以上時，輸出的電信號發(fā)生變化，導致不能對紫外線的強度進行 準確的測量。因此，在該第1實施方式中，在紫外線傳感器53上安裝溫 度調節(jié)用套管65對紫外線傳感器53進行冷卻，可以將溫度保持在大約75 x:以下，從而維持對紫外線強度的測量精度。
另外，控制部54由與圖1所示的上述放大器電路31、運算裝置32 及控制信號輸入電路33具有同樣構成的放大器電路61、運算裝置62及控 制信號輸入電路63構成。
在該第1實施方式中，由于從低壓水銀燈52照射3mW/cr^的紫外線， 紫外線傳感器53的表面電極23a及23b (參考圖2)之間流過300riA的電 流，并將與該電流相當?shù)碾娦盘枏淖贤饩€傳感器53輸入到控制部54。在 控制部54中，基于該電信號，與圖1所示的上述實施形態(tài)相同，可以對 紫外線的強度進行實時監(jiān)測，并控制電源裝置51的電力供應和低壓水銀 燈52的紫外線輸出。
搬運機構45由搬運用叉46和保持臺47構成。搬運用叉46用于將玻 璃板200搬運到主體部42內并將其載置到保持臺47上。保持臺47對被 搬運用叉46載置的玻璃板200進行保持，并且具有向低壓水銀燈52 —側 移動后使玻璃板200靠近低壓水銀燈52的功能。具體地說，通過搬運用 叉46將玻璃板200載置到保持臺47上后，保持臺47向上方移動使玻璃 板200接近燈箱41的正下方位置(玻璃板200的表面和隔壁43的下方面 之間的距離約為20mm的位置)。之后，通過開啟低壓水銀燈52向玻璃板 200照射紫外線。
在被照射的紫外線的作用和由主體部42內的氧氣產(chǎn)生的臭氧的化學
作用的綜合效果下，上述玻璃板200的表面被干式清洗。紫外線照射完成 后低壓水銀燈52關閉。而且，保持臺47向下方移動，并且玻璃板200被 移送到搬運用叉46后搬運到外部。其次，通過搬運用叉46將其它的玻璃 板200搬運到主體部42內，然后反復進行與上述相同的工藝。
如上所述，在第1實施方式中，紫外線傳感器53具有作為檢測部的 金剛石層22。由于該金剛石層22對紫外線具有良好的耐久性，所以即使 在長時間照射高強度的紫外線的情況下，也能夠抑制紫外線傳感器53的 劣化。因此，可以長時間地對高強度的紫外線進行監(jiān)測。再者，在第1實 施方式中，由于可以使用具有金剛石層22的紫外線傳感器53，直接對低 壓水銀燈52照射的紫外線強度進行測量，所以與通過由照射紫外線所產(chǎn) 生的、化學性質不穩(wěn)定的臭氧的濃度對紫外線強度進行監(jiān)測的情況相比， 可以準確地對紫外線的強度進行監(jiān)測。因此，在第l實施方式中，可以長 時間地、準確地對高強度的紫外線進行監(jiān)測，并可以基于由紫外線傳感器 53的金剛石層22產(chǎn)生的電信號，長時間地、準確地對低壓水銀燈52的紫 外線輸出進行控制。
另外，在第l實施方式中，紫外線傳感器53的金剛石層22，僅對紫 外線具有感度，對可見光、紅外線等紫外線以外波長的光不具有感度。由 此，也可以不設置用于排除可見光、紅外線等影響的減光片或對光量進行 調節(jié)的狹縫(光圈)，因此可以減少部件的數(shù)量。
另外，在第l實施方式中，由于紫外線傳感器53設置在燈箱41內， 因此可以通過紫外線傳感器53，近距離地對設在燈箱41內的低壓水銀燈 52發(fā)出的紫外線進行直接測量。由此，可以對低壓水銀燈52照射的紫外 線進行實時監(jiān)測。所以能夠立即發(fā)現(xiàn)低壓水銀燈52沒有點燈或低壓水銀 燈52的照射強度下降等情況。
另外，在第1實施方式中，由于設有對紫外線傳感器53的溫度進行 控制的溫度調節(jié)用套管65，即使因紫外線傳感器53在近距離受到紫外線 及可見光的直接照射而導致溫度上升，也可以通過溫度調節(jié)用套管65將 紫外線傳感器53的溫度控制在可以維持紫外線強度的測量精度的范圍內 (大約75°〇以下)。所以，可以抑制紫外線傳感器53的測量精度的下降。
(第2實施方式)
圖4表示本發(fā)明的第2實施方式的紫外線監(jiān)測系統(tǒng)74及組裝有該系
統(tǒng)的紫外線照射裝置的構成。
該第2實施方式的紫外線照射裝置，是通過向照射對象物即玻璃基板 300的表面照射紫外線而形成有機發(fā)光層的間歇式的光CVD (Chemical Vapor Deposition)裝置。該光CVD裝置具備燈箱41 (第1腔)、主腔72 (第2腔)、隔壁43、紫外線監(jiān)測系統(tǒng)74。
另外，在該第2實施方式的光CVD裝置中，在主腔72內保持玻璃基 板300并設有對玻璃基板300的溫度進行控制的加熱器臺77。而且，在燈 箱41內設置作為紫外線源的4根氙準分子燈82。另外，主腔72具有向其 上方突出設置的真空口 72a、和向其側方延伸設置的收納部72b，這些收 納主腔72的玻璃基板300的空間和真空口 72a內的空間以及收納部72b 內的空間構成連接的空間。而且，在CVD工藝的最初階段，通過向主腔 72內充滿氮氣將氧排除。其后，將原料氣體充入主腔72內并通過氙準分 子燈82照射的紫外線，將原料氣體分解后蒸著在玻璃基板300的表面上， 形成有機發(fā)光層或其保護膜。
而且，在第2實施方式的光CVD裝置中，與上述第l實施方式的紫 外線清洗裝置不同，在主腔72內設有兩個紫外線傳感器83a、 83b。具體 地說，就是將一個紫外線傳感器83a設置在上述真空口 72a內，而將另一 個紫外線傳感器83b以安裝在上述收納部72b內的運動通道(motion fit through) 90上的狀態(tài)設置。
運動通道90設置為沿著收納部72b的長度方向延伸。而且，在該運 動通道90中，在其規(guī)定部分上設置具有磁性的磁性部(未圖示)，通過使 磁體從收納部72b的外側作用于該磁性部，可以使其向收納部72b的長度 方向(圖4的左右方向)移動。通過該運動通道90的動作，可以使紫外 線傳感器83b向圖4中的左右方向移動。
另外，在該光CVD裝置中，上述4根氙準分子燈82配列在圖4的左 右方向上。因此，紫外線傳感器83b通過向上述那樣在左右方向移動，可 以在沿著氙準分子燈82的配列方向的任意位置上，對紫外線的強度進行 測定。由此，可以通過紫外線傳感器83b掌握沿著氙準分子燈82的配列
方向的紫外線強度的分布情況。而且，當從一張的玻璃基板300分割取出 多個有機發(fā)光顯示屏時，通過對照紫外線傳感器83b掌握的紫外線強度分 布和有機發(fā)光顯示屏的不良產(chǎn)品發(fā)產(chǎn)生率，可以找出降低不良產(chǎn)品產(chǎn)生率 的最佳紫外線照射量范圍。
另外，在設置覆蓋紫外線傳感器83a的周圍的真空密封部86a (罩部) 的同時，在該真空密封部86a的一部分上設置透過紫外線的紫外線入射部 87a。另一方面，在紫外線傳感器83b上也同樣設置覆蓋其周圍的真空密 封部86b (罩部)，并在該真空密封部86b的一部分上設置透過紫外線的紫 外線入射部87b。而且，在真空密封部86a及86b的內部分別封入有氬氣。 另外，紫外線通過紫外線入射部87a射入到紫外線傳感器83a的金剛石層 22上，并通過紫外線入射部87b射入到紫外線傳感器83b的金剛石層22 上。
此外，在光CVD裝置中，伴隨CVD工藝飛散的物質會蒸著、堆積在 主腔72的內壁等上。而且，將紫外線傳感器83a、 83b設置在主腔72 (真 空口 72a、收納部72b)內時，這些飛散物質也可能會附著、堆積在紫外 線傳感器83a的紫外線入射部87a及紫外線傳感器83b的紫外線入射部87b 上。這種情況下，由于該堆積物會反射或吸收應該射入到紫外線傳感器83a 的金剛石層22及紫外線傳感器83b的金剛石層22上的紫外線，所以會導 致紫外線的測量結果產(chǎn)生誤差。因此，在第2實施方式中，設置用于遮蔽 紫外線傳感器83a的紫外線入射部87a的遮蔽件機構88a，并設置開閉收 納有紫外線傳感器83b的收納部72b的入口的遮蔽件機構88b。
遮蔽件機構88a具有與圖1所示的上述遮蔽件機構18同樣的構成， 當對紫外線進行測量時，不遮蔽紫外線入射部87a，相反，不測量紫外線 時，遮蔽紫外線入射部87a的面向主腔72內的空間的一側，從而抑制上 述飛散物質堆積在紫外線入射部87a上。另外，開閉收納部72b的入口的 遮蔽件機構88b，當對紫外線進行測量時，打開收納部72b的入口，可以 將動作饋通90及紫外線傳感器83b從收納部72b移動到主腔72的玻璃基 板300的收納空間內。而且，不對紫外線進行測量時，在動作通道90及 紫外線傳感器83b被收納在收納部72b內的狀態(tài)下，遮蔽件機構88b關閉 收納部72b的入口進行遮蔽，從而抑制上述飛散物質堆積在紫外線傳感器
83b的紫外線入射部87b上。
第2實施方式的光CVD裝置的上述以外的構成與上述第1實施方式 的紫外線清洗裝置相同。
在以上說明的第2實施方式的光CVD裝置中，可以獲得與上述第1 實施方式的紫外線清洗裝置相同的效果，例如，能夠長時間、準確地對高 強度的紫外線進行監(jiān)測及控制。
再者，在第2實施方式中，由于紫外線傳感器83a、 83b設置在主腔 72 (真空口 72a、收納部72b)內，因此可以通過紫外線傳感器83a及83b， 在靠近被設在主腔72內的玻璃基板300的位置上，對實際照射到玻璃基 板300上的紫外線強度進行高精度的監(jiān)測。而且，在監(jiān)測獲取的紫外線強 度的數(shù)據(jù)基礎上，可以高精度地對實際照射到玻璃基板300上的紫外線強 度進行控制。
另外，在第2實施方式中，由于在紫外線傳感器83a的紫外線入射部 87a的面向主腔72內的空間的一側上設置有遮蔽件機構88a，當不測量紫 外線時，如果通過遮蔽件機構88a遮蔽紫外線入射部87a的面向主腔72 內的空間的一側的話，與沒有設置這樣的遮蔽件機構88a的情況相比，可 以抑制在主腔72內產(chǎn)生或飛散的物質附著及堆積在紫外線入射部87a上。 由此，可以抑制因這些飛散物質的附著及堆積而妨礙紫外線射入到紫外線 傳感器83a的金剛石層22上導致的紫外線測量精度的下降。另外，在第2 實施方式中，與上述紫外線傳感器83a的情況相同，通過遮蔽件機構88b 可以抑制因飛散物質附著及堆積在紫外線入射部87b上而導致紫外線傳感 器83b的紫外線測量精度的下降。 (第3實施方式)
圖5表示本發(fā)明的第3實施方式的紫外線監(jiān)測系統(tǒng)94及組裝有該系 統(tǒng)的紫外線照射裝置的構成。
該第3實施方式的紫外線照射裝置，是與上述第1實施方式不同方式 的間歇式的紫外線清洗裝置。該第3實施方式的紫外線照射裝置，是將紫 外線照射到對象物即半導體晶片400上，將半導體晶片400表面的二氧化 硅硫化，即，去除二氧化硅中的雜質。而且，該紫外線清洗裝置具備處理 腔95 (第3腔)和紫外線監(jiān)測系統(tǒng)94。
與上述第1實施方式不同，處理腔95是不存在分隔處理腔95內的空
間的隔壁3 (參考圖3)的一體型的腔。另外，在處理腔95的內部，設有 作為紫外線源的6個氙準分子燈92和加熱器臺97。加熱器臺97將半導體 晶片400保持為與氙準分子燈92相對的狀態(tài)。在該加熱器臺97上安裝有 對半導體晶片400的溫度進行控制的加熱器(未圖示)。在該第3實施方 式中，通過將半導體晶片400保持在加熱器臺97上，可以將作為照射對 象物的半導體晶片400和作為紫外線源的氙準分子燈92設置在同一處理 腔95內。
而且，在該紫外線清洗裝置中，將半導體晶片400收納于處理腔95 內后，對處理腔95內進行真空排氣。其后，通過開啟氙準分子燈92開始 對半導體晶片400進行熟化。此時，在加熱器臺97供給的熱量和氙準分 子燈92照射的紫外線的作用下，半導體晶片400表面的二氧化硅中的雜 質被去除。
另外，在該第3實施方式的紫外線清洗裝置中，與上述第l實施方式 的紫外線清洗裝置不同，紫外線傳感器93a 93d被設置在處理腔95的外
具體地說，在處理腔95的上側的壁部設有兩個開口部96a、 96b。而 且，設有由透過紫外線的人造藍寶石構成的紫外線透過構件98a (第3紫 外線透過構件)以覆蓋開口部96a。而且，紫外線傳感器93a設置在紫外 線透過構件98a的與處理腔95內相反一側的面上。另外，與上述紫外線 透過構件98a同樣，設置紫外線透過構件98b (第3紫外線透過構件)來 覆蓋另一個開口部96b，并將紫外線傳感器93b設置在該紫外線透過構件 98b的與處理腔95內相反一側的面上。此外，紫外線傳感器93a及93b所 涉及的構成，與圖1所示的上述第1腔1外面的紫外線傳感器13(位置D) 的構成相同。
另外，在處理腔95的下側壁部的一端側上設有開口部96c并在該壁 部的另一端側上設有開口部96d。而且，設置紫外線透過構件98c以覆蓋 一端的開口部96c，并設置紫外線透過構件98d以覆蓋另一端的開口部 96d。這些紫外線透過構件98c及98d的構成與上述紫外線透過構件98b 相同。而且，紫外線傳感器93c設置在一方的紫外線透過構件98c的與處
理腔95內相反的一側上，并且紫外線傳感器93d設置在另一方的紫外線 透過構件98d的與處理腔95內相反的一側上。
另外，在紫外線傳感器93c中，附加設置使相對于氙準分子燈92的 紫外線傳感器93c的配置角度變化的角度調節(jié)機構93e，并在紫外線傳感 器93d中，附加設置使相對于氙準分子燈92的紫外線傳感器93d的配置 角度變化的角度調節(jié)機構93f。而且，通過該角度調節(jié)機構93e使紫外線 傳感器93c的配置角度發(fā)生變化，并通過角度調節(jié)機構93f使紫外線傳感 器93d的配置角度發(fā)生變化，同時在紫外線傳感器93c及93d中，對6個 氙準分子燈92照射的紫外線強度進行測量。圖6表示用這些紫外線傳感 器93c及93d對紫外線強度進行了測量時，紫外線傳感器93c及93d的設 置角度和流經(jīng)紫外線傳感器93c、 93d的表面電極23a及23b (參考圖2) 之間的電流(電信號)的關系例。
此外，該第3實施方式的紫外線清洗裝置的上述以外的構成，與上述 第1實施方式的紫外線清洗裝置的構成相同。
其次，使用該第3實施方式的紫外線清洗裝置，實際進行了紫外線照 射清洗處理。此時，進行真空排氣將處理腔95內的壓力降到O.l帕斯卡以 下為止，然后使額定輸出為30mW/cr^的氙準分子燈照射紫外線。由此， 在紫外線傳感器93a 93d的表面電極23a及23b (參考圖2)之間分別流 過50nA 200nA的電流，并且相當于該電流的電信號被從紫外線傳感器 93c 93d輸出到控制部54。而且，在控制部54中，基于該電信號紫外線 的強度得到常時監(jiān)測。如此，可以對氙準分子燈92的點燈不良或相對于 設定照射量的照射量超出和不足等狀態(tài)進行常時監(jiān)測，并且能夠實時檢測 出這些狀態(tài)。此外，上述的紫外線傳感器93a 93d具有無需重置設定及模 擬測定的特性，充分利用該特性，可以用紫外線監(jiān)測系統(tǒng)94對電源裝置 51的電力供應進行實時控制，并控制氙準分子燈92，使其照射出規(guī)定的 紫外線量。
在該第1實施方式中，通過從低壓水銀燈52照射3mW/cn^的紫外線， 在紫外線傳感器53的表面電極23a及23b (參考圖2)之間流經(jīng)300nA的 電流，并且相當于該電流的電信號被從紫外線傳感器53輸出到控制部54。 在控制部54中，與圖1所示的上述實施方式相同，可以基于該電信號對
紫外線的強度進行實時監(jiān)測，并對電源裝置51的電力供應進行控制從而 控制低壓水銀燈52的紫外線輸出。
在以上說明的第3實施方式中，設有紫外線透過構件98a 98d用來覆 蓋設在構成處理腔95的壁部上的開口部96a 96d，紫外線傳感器93a 93d 設置在紫外線透過構件98a 98d的與處理腔95內相反的一側上。因此， 可以將紫外線傳感器93a 93d設置在處理腔95外側的各種位置上，與將 紫外線傳感器93a 93d設置在處理腔95內的情況相比，可以提高紫外線 傳感器93a 93d的設置自由度。
另外，在第3實施方式中，由于紫外線傳感器93a 93d被設置在處理 腔95的外側，與紫外線傳感器93a 93d被設置在處理腔95內的情況相比， 可以容易地對紫外線傳感器93a 93d進行保養(yǎng)和管理。
另外，在第3實施方式中，由于通過角度調節(jié)機構93e (93f)使紫外 線傳感器93c (93d)的配置角度發(fā)生變化，同時對6個氙準分子燈92照 射的紫外線強度進行測量，所以可以用比氙準分子燈92數(shù)量少的紫外線 傳感器93c (93d)對6個氤準分子燈92照射的紫外線強度進行測量。由 此，可以抑制為了監(jiān)測6個氙準分子燈92照射的紫外線強度而對紫外線 傳感器93c (93d)數(shù)量進行的增加。
第3實施方式的紫外線清洗裝置的上述以外的效果，與上述第1實施 方式的紫外線清洗裝置的效果相同。
此外，本次所公開的實施方式，應該可以考慮為所有的點都僅為示例， 而非對其內容進行限制。本發(fā)明的范圍并不限于對上述實施方式進行的說
明，僅限于權利要求的范.圍所示的內容，以及與權利要求的范圍具有均等 含義以范圍內的所有變更內容。
權利要求
1.一種紫外線監(jiān)測系統(tǒng)，其特征在于，具有供應電力的電源裝置；通過從所述電源裝置獲得電力而照射紫外線的紫外線源；紫外線傳感器，其具有根據(jù)接受的紫外線的強度生成相應量的電荷的由金剛石構成的檢測部，并根據(jù)由該檢測部生成的電荷，輸出與所述紫外線強度對應的電信號；控制部，其基于所述電信號控制所述電源裝置的電力供應，從而控制所述紫外線源的紫外線輸出。
2. 根據(jù)權利要求1所述的紫外線監(jiān)測系統(tǒng)，其特征在于，所述控制部包括對所述電信號進行放大的放大器電路；將被所述放大器電路放大的電信號換算成紫外線量的運算裝置； 控制信號輸入電路，其接收來自所述運算裝置的紫外線量數(shù)據(jù)，并且根據(jù)該紫外線量數(shù)據(jù)，向所述電源裝置輸入用于調整所述電源裝置的電力供應的電力控制信號。
3. —種紫外線照射裝置，其具備權利要求1或2所述的紫外線監(jiān)測系統(tǒng)，其特征在于，從所述紫外線源向照射對象物照射紫外線。
4. 根據(jù)權利要求3所述的紫外線照射裝置，其特征在于，具備 收納所述紫外線源的第1腔；與所述第1腔連續(xù)設置并收納所述照射對象物的第2腔； 隔開所述第1腔內的空間和所述第2腔內的空間，并由透過紫外線的 材料構成的隔壁，從所述第1腔內的紫外線源照射的紫外線透過所述隔壁照射到所述第 2腔內的照射對象物上。
5. 根據(jù)權利要求4所述的紫外線照射裝置，其特征在于，所述紫外 線傳感器設置在所述第1腔內。
6. 根據(jù)權利要求5所述的紫外線照射裝置，其特征在于，具備控制 所述紫外線傳感器的溫度的溫度控制機構。7. 根據(jù)權利要求4所述的紫外線照射裝置，其特征在于，在構成所 述第1腔的壁部的規(guī)定部分設有開口部，并設有由透過紫外線的材料構成 的第1紫外線透過構件以覆蓋該開口部，所述紫外線傳感器設置在所述第1腔的外側并接受透過所述第1紫外 線透過構件的紫外線。8. 根據(jù)權利要求4所述的紫外線照射裝置，其特征在于，所述紫外 線傳感器設置在所述第2腔內。9. 根據(jù)權利要求8所述的紫外線照射裝置，其特征在于，設有覆蓋 所述紫外線傳感器的周圍的罩部，并在該罩部的一部分上設置透過紫外線 的紫外線入射部，并且，在所述紫外線入射部的面向所述第2腔內空間的一側，還具有 遮蔽件機構，該遮蔽件機構能夠切換為遮蔽所述紫外線入射部的遮蔽狀態(tài) 和不遮蔽所述紫外線入射部的開放狀態(tài)。10. 根據(jù)權利要求4所述的紫外線照射裝置，其特征在于，在構成所 述第2腔的壁部的規(guī)定部分設有開口部，并設有由透過紫外線的材料構成 的第2紫外線透過構件以覆蓋該開口部，所述紫外線傳感器設置在所述第2腔的外側并接受透過所述第2紫外 線透過構件的紫外線。11. 根據(jù)權利要求3所述的紫外線照射裝置，其特征在于，具有在內 部設有所述紫外線源并收納所述照射對象物的第3腔，在構成所述第3腔的壁部的規(guī)定部分設有開口部，并設有由透過紫外 線的材料構成的第3紫外線透過構件以覆蓋該開口部，所述紫外線傳感器設置在所述第3腔的外側并接受透過所述第3紫外 線透過構件的紫外線。12. 根據(jù)權利要求3所述的紫外線照射裝置，其特征在于，設有多個 所述紫外線源，具有使所述紫外線傳感器相對于所述紫外線源的配置角度發(fā)生變化 的角度調節(jié)機構，通過所述角度調節(jié)機構使所述紫外線傳感器的配置角度 發(fā)生變化，同時測定從所述多個紫外線源照射的紫外線強度。
全文摘要
提供一種可以長時間、準確地對高強度的紫外線進行監(jiān)測的紫外線監(jiān)測系統(tǒng)及紫外線照射裝置。該紫外線監(jiān)測系統(tǒng)(4)具有供應電力的電源裝置(11)；通過從所述電源裝置獲得電力而照射紫外線的紫外線源(12)；紫外線傳感器(13)，其具有作為檢測部的金剛石層(22)，并根據(jù)該金剛石層(22)生成的電荷，輸出與所述紫外線的強度對應的電信號；控制部(14)，其在該電信號的基礎上，通過對電源裝置(11)的電力供應進行控制，從而控制紫外線源(12)的紫外線輸出。
文檔編號G01J1/42GK101097162SQ20071010824
公開日2008年1月2日 申請日期2007年6月4日 優(yōu)先權日2006年6月30日
發(fā)明者林和志, 橘武史 申請人:株式會社神戶制鋼所