專利名稱：單光路量子效率測試系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領域：
本發(fā)明涉及用于測量半導體器件，尤其是測量多 結(jié)光電池的量子效率和光譜響應的測試系統(tǒng)背景技術(shù)量子效率(QE )是表征光電器件性能的 一 個重要 參數(shù)。所謂量子效率就是指入射光照射到光電器件上 時，器件內(nèi)產(chǎn)生的光生載流子的數(shù)目與入射的光子數(shù) 目的比值。這是 一 個小于1的無量綱數(shù)。QE測量的原理如下利用單色儀把光源發(fā)出的白 光分解成不同波長的單色光，單色光通過斬波器斬波 后轉(zhuǎn)變成脈沖光，讓這些不同波長的脈沖單色光照射 到待測樣品上，樣品便產(chǎn)生脈沖光電流。用鎖相放大 器接受這些微弱的脈沖光電流信號并加以放大，同時 在相同的條件下測量己知QE值的標準探測器的相應的 脈沖光電流信號，然后將兩個信號進行比較，便可計 算出待測樣品的QE值。
對于只包含 一 個pn結(jié)的光電池，通常稱其為單結(jié) 電池；而對于由多個pn結(jié)組成的光電池，通常稱其為 多結(jié)電池，其中每個pn結(jié)組成的電池又稱為子電池。 在多結(jié)電池中，各子電池材料的帶隙寬度不同，按從 電池上表面到下表面的方向，子電池的帶隙寬度逐漸 減小，對應于吸收各個波段太陽光譜的能量。多結(jié)光電池是光伏電池研究領域的熱點，而光電 池的量子效率(QE )是表征太陽能電池性能的 一 個重 要參數(shù)。從QE測量結(jié)果不僅可以幫助人們辨認太陽電 池不同區(qū)域的量子產(chǎn)額并清楚的知道光電池的光譜響 應分布，而且還可以由QE值計算出太陽電池的短路電 流值Isc。因此建立一套完善的QE測量系統(tǒng)，對促進 光電池尤其是多結(jié)光電池的研究工作有非常重要的意 義。傳統(tǒng)的QE系統(tǒng)的光路 一 般經(jīng)單色儀后經(jīng)分光片分 光而變?yōu)殡p光路，其中 一 路照射標準探測器，另 一 路 照射待測樣品。由于分光片對各波長入射光的反射透 射率并不一致，因此需對經(jīng)分光片分光后各波長單色 光的通量比值進行標定，很容易造成誤差。本發(fā)明采 用轉(zhuǎn)動時樣品定位器，巧妙地解決了這 一 問題，使標 準探測器和待測樣品先后測量時所處光路中的幾何位 置相同，確保了輻射通量相等，因此本發(fā)明對進 一 步
拓展QE系統(tǒng)的應用范圍，和提高QE系統(tǒng)測量結(jié)果的 準確性，都有非常現(xiàn)實的意義。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于，提供 一 種單光路量子效率測 試系統(tǒng)，解決傳統(tǒng)雙光路量子效率測試系統(tǒng)兩路光的 光通量不相等的問題，使標準探測器和待測樣品先后測量時先后處于光路中同 一 幾何位置，確保標準探測器與樣品表面入射光輻射通量相等，提高QE系統(tǒng)測量結(jié)果的準確性。本發(fā)明提供 一 種單光路量子效率測試系統(tǒng)，其特征在于，包括一鹵鎢燈光源、一凸透鏡、 一光斬波器；一單色儀，所述的鹵鎢燈光源、凸透鏡和光斬波 器位于該單色儀輸入光入口的光路上，鹵鎢燈光源發(fā)出的光經(jīng)凸透鏡匯聚在單色儀光入口處；一鎖相放大器，該鎖相放大器的頻率參考輸入端與光斬波器斬波頻路輸出端連接；一計算機，該計算機負責控制和處理臺單色儀和 鎖相放大器的數(shù)據(jù)，使單色儀與鎖相放大器協(xié)調(diào)工作；一轉(zhuǎn)動式樣品定位器，該轉(zhuǎn)動式樣品定位器位于
單色儀輸出光出□的光路上，并與鎖相放大器通過線棒 ;見連接，轉(zhuǎn)動式樣品定位器可通過旋轉(zhuǎn)動作使樣叩和標準探泖J器處于光路的同 一 位置；一組偏置光源，該偏置光源位于單色儀輸出光出p的光路上的周圍，該偏置光源將偏置光照射到沐 <寸測樣叩表面，起短路樣品的非測量子電池的作用中轉(zhuǎn)動式樣品定位器包括盈—形底座—轉(zhuǎn)軸，該轉(zhuǎn)軸固定在盤形底座上的中間部位；長方形合 pm,.體，該長方形盒體的底部中心固定在轉(zhuǎn)軸上，在該長方形盒體的四個側(cè)壁面上的下方分別安裝有BNC插座，在該長方形盒體的 一 側(cè)的上方開有定位用的矩形窗口，在該長方形盒體的另三個側(cè)壁的上方分別開有定位孔；樣口 叩架，該樣品架的形狀與長方形盒體上的矩形窗相同該樣品架置放在該矩形窗口上；合蘭，該盒蓋位于長方形盒體的頂部。苴 z 、中樣[=1 口FI架包括 一 樣品臺，該樣品臺為矩形，在樣p cm臺的四角處安裝有探針座，每個探針座固定有探針中還包括偏置電壓發(fā)生器，該偏置電壓發(fā)生
器與轉(zhuǎn)動式樣品定位器連接，該偏置電壓發(fā)生器提供_ 3— + 3V可連續(xù)變化的偏置電壓，變化靈敏幅度最小 達至U 0 . 1 V 。其中所述的偏置光源提供波長處于0 . 3 ii m — 0 6 8txm、 0.6 8 — 0.9 1卩m禾Q 0.9 1 um—l. 8 1 um三個波段范圍內(nèi)的偏置光。其中還包括參考標準探測器，該參考標準探測器 位于該長方形盒體的另三個側(cè)壁上方分別開有的定位 孔內(nèi)。其中該參考標準探測器，提供0 . 2 " m— 1 . 9 um波長范圍的標準參考數(shù)據(jù)。


為進一步說明本發(fā)明的具體技術(shù)內(nèi)容，以下結(jié)合 實施例及附圖詳細說明如后，其中圖1是單光路量子效率測試系統(tǒng)示意圖； 圖2(a)、 (b)是轉(zhuǎn)動式樣品定位器示意圖； 圖3 (a) 、 (b)是樣品架的俯視示意圖和對角線剖 視示意圖；圖4本發(fā)明系統(tǒng)測量的GalnP/GaAs/Ge三結(jié)光電 池的量子效率。
具體實施方式
請參閱圖1所示，本試系統(tǒng)，包括一鹵鎢燈光源10 、3 0一單色儀40，所述2 0和光斬波器30位于光路上，鹵鋅燈光源1 0在單色儀4 0光入處；一鎖相放大器50 ，考輸入端與光斬波器3 0一計算機60，該計單色儀40和鎖相放大器相放大器協(xié)調(diào)工作;一轉(zhuǎn)動式樣叩定位器7 0位于單色儀40輸出放大器50通過線纜連接通過旋轉(zhuǎn)動作使樣禾口標置；其中轉(zhuǎn)動式樣口 叩定位* 為形底座71發(fā)明一種單光路M，效率一凸透鏡20、一光斬波器的鹵鎢燈光源10 、凸透鏡該單色儀40輸入光入□的發(fā)出的光經(jīng)凸透鏡20匯聚該鎖相放大器50的頻率參斬波頻路:輸出端連接；算機6 0負責控制和處理臺5 0的數(shù)據(jù)，使單色與鎖7 0，該轉(zhuǎn)動式樣品定位器光出口的光路上，并與鎖相，轉(zhuǎn)動式樣叩定位器70可準探測器處于光路的同位器7 0包括
—轉(zhuǎn)軸7 2，該轉(zhuǎn)軸7 2固定在盤形底座7 l上 的中間部位；一長方形盒體7 3，該長方形盒體7 3的底部中 心固定在轉(zhuǎn)軸7 2上，在該長方形盒體7 3的四個側(cè) 壁面上的下方分別安裝有BNC插座7 5 ，在該長方形 盒體7 3的一側(cè)的上方開有一定位用的矩形窗口 7 6 ，在該長方形盒體7 3的另三個側(cè)壁的上方分別開 有定位孔7 7 ;一樣品架7 8 ，該樣品架7 8的形狀與長方形盒 體7 3上的矩形窗口 7 6相同，該樣品架7 8置放在 該矩形窗口 7 6上；其中樣品架7 8包括 一 樣品臺7 8 1 ，該樣品 臺7 8 l為矩形，在樣品臺7 8 l的四角處安裝有探 針座7 8 2，每個探針座7 8 2固定有探針7 8 3;一盒蓋7 4，該盒蓋7 4位于長方形盒體7 3的 頂部；一組偏置光源8 0 ，該偏置光源8 0位于單色儀 4 O輸出光出口的光路上的周圍，該偏置光源將偏置 光照射到待測樣品表面，起短路樣品的非測量子電池 的作用；其中所述的偏置光源8 0提供波長處于0.3 u m-0.6 8 um、0.6 8-0.9 1 um 禾口0.9 1 um —1.8 1 "m三個波段范圍內(nèi)的偏置光；3中還包括一偏置電壓發(fā)生器9Q，該偏置電壓發(fā)生器90與轉(zhuǎn)動式樣品定位器7 0連接，該偏電壓發(fā)生器90提供-3 ~+3 V可連續(xù)變化的偏置電壓，變化靈敏幅度最小達至U 0 . 1 V 。中還包括參考標準探測器1 o o ，該參考標準探測器100位于該長方形盒體7 3的另三個側(cè)壁上方分另lj開有的定位孔7 7內(nèi)；該參考標準探測器100，提供0.2um 1.9um波長范圍的標準參考數(shù)據(jù)本系統(tǒng)由如圖1 所示 一 鹵鎢燈光源10、凸透鏡20、斬波器3 0、 一單色儀4 0、鎖相放大器50、內(nèi)置GPIB控制卡的計算機6 0、轉(zhuǎn)動式樣口 BP定為器70 、偏置光源8 0和偏置電壓發(fā)生器9 0 ，兩個標準探測器1 0 0等部件構(gòu)成單光路系統(tǒng)， 在高級語言環(huán)境下編制控制程序，通過GPIB控制卡， 對單色儀4 0與鎖相放大器5 0進行自動化控制并實 現(xiàn)測量數(shù)據(jù)的實時采集記錄。本發(fā)明系統(tǒng)的工作原理 如下由鹵鎢燈1 0提供0 . 3 u m- 2 y m連續(xù)譜光源；鹵鉤燈1 0發(fā)出的光經(jīng)凸透鏡2 0匯聚后在單色 儀4 0光入口處由斬波器斬波3 0 ，將連續(xù)光輻射變
沖光輻射，同時斬波器30將脈沖頻率信號提供相放大器50作為參考信號脈沖光輻射經(jīng)單色儀40單色處理后變?yōu)槊}沖單色光；脈沖單色光照射在標準探測器1 0 Q或待測樣品 表面產(chǎn)生光生脈沖電流；待測樣品由樣品架7 8承載；樣品架置于轉(zhuǎn)動時 樣品定位器的矩形窗口 7 6中，標準探測器1 0 0置于轉(zhuǎn)動式樣品定位器的定位孔7 7中。轉(zhuǎn)動式樣品定為器7 0配合樣品架7 8 ，可以使標準探測器與待測樣品輪換處于光路中同 一 幾何位置 先后進行測量，確保標準探測器與待測樣品表面所接 受的單色光輻射通量相同；標準探測器核待測樣品產(chǎn)生的光生脈沖電流由 BNC線纜傳輸?shù)芥i相放大器進行放大處理；由計算機6 0通過GPIB卡控制單色儀4 0和鎖相 放大器5 0的協(xié)調(diào)工作，能夠按要求改變單色光波長， 并對各脈沖單色光產(chǎn)生的脈沖光電流進行實時的放大 并記錄，計算機6 0和鎖相放大器5 0與單色儀4 0 由GPIB線纜連接；將標準探測器1 0 0和待測樣品的光生電流信號 進行比較，配合標準探測器1 0 0的QE值，即可得出
待測樣品的QE值。測量多結(jié)光電池時，需偏置光源80與偏置電壓發(fā)生器90配合偏置光源8 0提供波長處于0.3 yt m_ 0 .68m 、0 . 68-0.91ti m禾卩0 .91li m-1.8 1m二個波段范圍內(nèi)的偏置光來匹配多^士電池中各子結(jié)的帶隙寬度；本系統(tǒng)由鹵鉤燈和相應濾波片配合組成偏置光源8 0 ;偏置電壓發(fā)生器9 0提供-3 + 3 V可連續(xù)變化的 偏置電壓，變化靈敏幅度最小應達到0 . 1 V ;測量某 一 子結(jié)電池，需要將相應的偏置光源S 0 打開，使非被測子電池受偏置光源輻射處于導通狀態(tài)， 而被測子電池不受偏置光源輻射，只接受脈沖單色光 信號，這樣鎖相放大器5 0只對脈沖信號進行收集放 大，而過濾掉其他非被測子電池的連續(xù)信號。偏置電壓發(fā)生器9 0與偏置光源8 0配合使用， 其大小要使被測子電池的光生信號最大，同時抑制非 被測子電池的失真信號。如圖2所示，轉(zhuǎn)動樣品定位器組成如下盤形底座7 1中心帶有通孔，通孔直徑與轉(zhuǎn)軸7 2直徑相同，轉(zhuǎn)軸7 2可以插入通孔中形成轉(zhuǎn)動配合， 這樣盤形底座7 1起到了軸承的作用。
轉(zhuǎn)軸72上部帶有法蘭盤，通過法蘭盤與長方形體73底殼緊固，使盒體與轉(zhuǎn)軸 一 起轉(zhuǎn)動c長方形合 mi-體7 3的三個側(cè)壁帶有定位孔77，而且定位孔77在側(cè)壁的位置相同，處于側(cè)壁中線的上部定位孔用于置放標準探測器1 0 0。第四個側(cè)壁帶有矩形窗卩76，用于置放正方形的樣口 叩架矩形窗□76的幾何中心位置與定位孔7 7相同，保證置于樣站 木中心的樣品與標準探測器1 o 0位置相同。合芏74起到封閉長方形盒體的作用，可以取下，便于體內(nèi)部線路的連接和置放探測器100 cBNC插座75固定在長方形盒體7 3四壁的中線下部。四個BNC插座7 5中的兩個與長方形1^1.體7內(nèi)部與對面位于定位孔中的標準探測器100的電極用同軸電纜連接，用于收集傳輸標準探測器信號矩形窗□對面的BNC插座7 5經(jīng)由同軸電纜與樣1=1 叩架的電極連接，用于收集傳輸待測樣品信號。如圖3所示，樣品架7 8主要主要由樣口 卯臺781，探針座782 ，探針7 8 3組成。其中樣口 no臺78用于承載樣品 ，探針座7 8 2分布于樣口 叩臺781四角，起固定調(diào)節(jié)探針7 8 3的作用；四個鎢絲探針783，用于探接半導體器件的電極，和加載偏置電壓15以下列舉 一 實施例說明本發(fā)明的可行性，完成本 發(fā)明系統(tǒng)，需配備以下部件1 、一臺鹵鎢燈光源，功率不小于100 W ;2 、 一個凸透鏡，直徑不小于5 cm，焦距2 0 cm;3 、 一臺單色儀，最小步距0 . 1 nm ，實用光譜范 圍l 0 0nm 2 um， 分辨率小于0.2nm;4 、 一個光斬波器，頻率范圍1 一 1 0 0 Hz ;5 、 一臺鎖相放大器，要求可檢測pA級電流；6 、 一臺帶內(nèi)置GPIB卡的計算機；7 、 一個偏置電壓發(fā)生器，可提供-3 — + 3V可連 續(xù)變化的偏置電壓，變化靈敏幅度最小應達到0 . 1 V ;8、 一組偏置光源，可選用波長為4 6 Onm、 8 2 0 nm的干涉濾波片，和硅片，配合5 0 W鹵鎢燈可 以得到構(gòu)成波長為4 6 0 nm、8 2 0 nm和波長大于1 0 8 7 nm的偏置光源。9、 一個轉(zhuǎn)動式樣品定為器，主要包括一個盤形 底座、 一個轉(zhuǎn)軸、 一個長方形盒體、 一個盒蓋、四個 BNC插座。其中長方形盒體側(cè)面為長方形，截面為正方 形。盒體三個側(cè)壁中線上部處開 一 通孔，用于置放標 準探測器；于側(cè)壁中線下部通孔，用于置放BNC插頭。 第四個側(cè)壁上部有矩形框口置與他側(cè)壁上的位置相同形，邊帶有四個定位螺紋孔為:按如圖所示結(jié)構(gòu)搭建i0、個樣品架包括四個探針組成樣品臺大小矩形窗口配合，使樣品臺置后樣叩臺面幾何中心的位置保此者經(jīng)旋轉(zhuǎn)動作后可處叩臺的電極與矩形窗口對側(cè)工i一組標準探測器置放BNC插頭的通孔位 。長方形盒體底殼為正方 ，用于固定轉(zhuǎn)軸上的法蘭一樣品臺，四個探針座， 要與轉(zhuǎn)動式樣品定位器的 放在定位器的矩形窗口中 與定位孔位置相對應，確 于同 一 空間幾何位置，樣 BNC插座的電極連接。可提供0.2um— 1.9側(cè)益 位器 座電及鎖放大 的原 序， 長的ym波長范圍的標準參考數(shù)據(jù)，可選用標準Si探 和Ge探測器。將兩個探測器置放于轉(zhuǎn)動式樣品定 的定位孔中，并將其電極與定位孔對側(cè)的BNC插 極相連。1 2 、 GP IB線纜，用于傳輸計算機和單色儀相放大器的通信信號13、BNC線纜，用于將探測信號傳輸入鎖相器以上各組成部分硬件配備齊全后，按圖1所示理圖搭建光路，并在高級語言環(huán)境下編寫控制程能夠使單色儀與鎖相放大器協(xié)調(diào)工作，實現(xiàn)各波連續(xù)測量與實時記錄。
本發(fā)明可以實現(xiàn)對響應波長處于0.2m 一-1 .81m范圍內(nèi)單結(jié)和各種多結(jié)光電池量子效率的測量，能后提供準確可靠的測試數(shù)據(jù)供科研工作和生產(chǎn)實踐參考，對于進 一 步研發(fā)高轉(zhuǎn)化率、新型太陽電池員有非常現(xiàn)實的意義。本發(fā)明系統(tǒng)的應用舉例G aInP/GaAs/Ge三結(jié)光電池QE的測程1、首先將待測電池置于樣品架78上，使待測電池處于樣n 口卩臺7 8 1臺面的幾何中心， 通過探針783探接電池的電極，然后將樣品架78放在轉(zhuǎn)動式樣口 B卩定位器70的矩形窗口 7 6中，將樣品架78的電極與相應BNC插座7 5電極相連2、按以下次序接通電源計算機6 0電源單色儀40電源，鎖相放大器5 0電源，斬波器電源30，鹵鎢燈光源1 0電源。3、待單色儀4 0自檢過程完成之后，同過控制程序調(diào)整單色儀4 0入光口和出處光□的狹縫寬度，設定位1000U m，設定斬波器30頻率為22Hz，鎖相放大器50電流檔調(diào)至nA級。4、調(diào)整光路使鹵鉤光源10，凸透鏡20，單色儀40入光口出光口和轉(zhuǎn)動式樣叩定位器70的
定位孔7 7處于同一直線上。5 、將待測樣品對準單色儀40出光口 。6、通過編寫的控制程序設定單色儀40的掃描起始波長為3 0 0 nm和終止波長為7 0 Onm以及掃描步長為10 nm。打開波長為8 2 0 nm禾n波長大于1 087nm的偏置光源8 0后開始掃描，并實通過鎖相放大器50收集光生信號，并通過計算機6 0實時記錄。7、第6步完成后，設定單色儀4 0的掃描起始波長為68 0 nm和終止波長為1 0 0 0 nm以及掃描步長為10nm。打開波長為4 6 0 nm和波長大于1 0 87n m的偏置光源8 0 ，將偏置電壓發(fā)生器90輸出的偏置電壓加在電池電極之上，選擇合適的壓值后開始掃描，并實通過鎖相放大器5 0收集光生信號， 并通過計算機6 0實時記錄。8、第7完成之后設定單色儀4 0的掃描起始波長為90Onm和終止波長為l 9 0 Onm以及掃描步長為10nm。打開波長為4 6 0 nm和波長為860 nm的偏置光源8 0，將偏置電壓發(fā)生器9 0輸出的偏置電壓加在電池電極之上，選擇合適的壓值后開始掃描，并實通過鎖相放大器5 0收集光生信號，并通過計算機60實時記錄。9 、對待j則樣品的測量完成之后，將標準探測器
1 0 0旋轉(zhuǎn)至待測樣品所處的位置，使兩者所接受的 光通量相等。按同樣的條件測量標準探測器的光生信 號。1 0 、將待測樣品的光生信號測量結(jié)果與標準探測器10 0的光生信號測量結(jié)果代入如下公式(1 )即可得到待測樣品各波長的量子效率。其中QEdet為 標準探測器1 0 0 QE值，Adet禾口 Ace 11分另ij為標準探 測器1 0 0與待測樣品受光面積，Idet和Icell為標 準探測器與待測樣品的光生電流。QE= 7"〃xQEdet ( 1 )1 1 、領U量的至廿的 GalnP/GaAs/Ge三結(jié)光電池的 QE分布如圖4 。
權(quán)利要求
1、一種單光路量子效率測試系統(tǒng)，其特征在于，包括一鹵鎢燈光源、一凸透鏡、一光斬波器；一單色儀，所述的鹵鎢燈光源、凸透鏡和光斬波器位于該單色儀輸入光入口的光路上，鹵鎢燈光源發(fā)出的光經(jīng)凸透鏡匯聚在單色儀光入口處；一鎖相放大器，該鎖相放大器的頻率參考輸入端與光斬波器斬波頻路輸出端連接；一計算機，該計算機負責控制和處理臺單色儀和鎖相放大器的數(shù)據(jù)，使單色儀與鎖相放大器協(xié)調(diào)工作；一轉(zhuǎn)動式樣品定位器，該轉(zhuǎn)動式樣品定位器位于單色儀輸出光出口的光路上，并與鎖相放大器通過線纜連接，轉(zhuǎn)動式樣品定位器可通過旋轉(zhuǎn)動作使樣品和標準探測器處于光路的同一位置；一組偏置光源，該偏置光源位于單色儀輸出光出口的光路上的周圍，該偏置光源將偏置光照射到待測樣品表面，起短路樣品的非測量子電池的作用。
2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的單光路量子效率測試系統(tǒng)特征在于， 其中轉(zhuǎn)動式樣品定位器包括:一盤形底座；一轉(zhuǎn)軸，該轉(zhuǎn)軸固定在盤形底座上的中間部位；一長方形盒體，該長方形盒體的底部中心固定在 轉(zhuǎn)軸上，在該長方形盒體的四個側(cè)壁面上的下方分別安裝有BNC插座，在該長方形盒體的 一 側(cè)的上方開有一定位用的矩形窗口 ，在該長方形盒體的另三個側(cè)壁 的上方分別開有定位孔 ，一樣品架，該樣品架的形狀與長方形盒體上的矩形窗口相同，該樣品架置放在該矩形窗口上； 一盒蓋，該盒蓋位于長方形盒體的頂部。
3、根據(jù)權(quán)利要求2所述的單光路子效率測試統(tǒng)，特征在于，中樣P 叩架包括:樣口 叩臺，該p 叩臺為矩形，在樣叫臺的四角處安裝有探針座，每探針座固定有探針
4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的單光路量子效率測試統(tǒng)，特征在于其中還包括偏置電壓發(fā)生器偏置電壓發(fā)生器與轉(zhuǎn)動式樣口 叩定位器連接該偏置電壓發(fā)生器提供-3 — + 3V可連續(xù)變化的偏置電壓，變化靈敏幅度最小達到0 . 1 V 。
5、根據(jù)權(quán)利要求1所述的單光路量子效率測試系統(tǒng)，其特征在于，其中所述的偏置光源提供波長處 于0.3 um—0:6 8 ym、 0.6 8 — 0.9 1 um禾卩O 91um—1.81ym三個波段范圍內(nèi)的偏置光。
6、根據(jù)權(quán)利要求1所述的單光路量子效率測試 系統(tǒng)，其特征在于，其中還包括參考標準探測器，該 參考標準探測器位于該長方形盒體的另三個側(cè)壁上方 分別開有的定位孔內(nèi)。
7、根據(jù)權(quán)利要求1所述的單光路量子效率測試 系統(tǒng)，其特征在于，其中該參考標準探測器，提供O. 2 um_ 1 .9 um波長范圍的標準參考數(shù)據(jù)。
全文摘要
一種單光路量子效率測試系統(tǒng)，包括一鹵鎢燈光源、一凸透鏡、一光斬波器；一單色儀，鹵鎢燈光源、凸透鏡和光斬波器位于該單色儀輸入光入口的光路上；一鎖相放大器，其頻率參考輸入端與光斬波器斬波頻路輸出端連接；一計算機負責控制和處理臺單色儀和鎖相放大器的數(shù)據(jù)，使單色儀與鎖相放大器協(xié)調(diào)工作；一轉(zhuǎn)動式樣品定位器位于單色儀輸出光出口的光路上，并與鎖相放大器通過線纜連接，轉(zhuǎn)動式樣品定位器可通過旋轉(zhuǎn)動作使樣品和標準探測器處于光路的同一位置；一組偏置光源位于單色儀輸出光出口的光路上的周圍，該偏置光源將偏置光照射到待測樣品表面，起短路樣品的非測量子電池的作用。
文檔編號G01R1/02GK101398453SQ20071012247
公開日2009年4月1日 申請日期2007年9月26日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月26日
發(fā)明者磊 劉, 吳金良, 漢 張, 曾湘波, 陳諾夫, 高福寶 申請人:中國科學院半導體研究所