專利名稱：絲網(wǎng)印刷裝置及圖像識別對位方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明主要涉及絲網(wǎng)印刷裝置，特別地涉及圖像識別對位方法。
技術(shù)背景一般的絲網(wǎng)印刷機具有搬入基板傳送帶、搬出基板傳送帶、具 有升降機構(gòu)的臺部、將轉(zhuǎn)印圖案作為開口部而具有的掩模、刮板、具 有刮板升降機構(gòu)和水平方向移動機構(gòu)的刮板頭、以及控制這些機構(gòu)的 控制裝置。在將基板從搬入傳送部分搬入到裝置內(nèi)后，在印刷臺部臨 時對位基板并進行固定，然后，利用攝像機識別基板和具有與電路圖 案對應(yīng)的開口部的掩模的雙方的標記，對雙方的偏移量進行位置補正， 并在掩模上對基板進行對位，然后提升印刷臺使得基板與掩模接觸， 通過刮板一邊使掩模接觸基板一邊在掩模的開口部填充焊錫骨等的糊 劑，然后下降臺部，通過分離基板和掩模而在基板上轉(zhuǎn)印糊劑，然后 通過從裝置搬出基板而進行印刷。為了用攝像機識別上述基板和掩模的標記、對雙方的偏移量進行 位置補正、并在掩模上對位基板，而要求能夠簡單地教示目標圖案、 高速且反復(fù)地以高精度進行對位，并應(yīng)用圖案匹配手法等。作為圖案 匹配的手法，有專利文獻l公開的方法。[專利文獻1日本特公昭52-1"12號公報在專利文獻1 7>開的方法中，用戶必須預(yù)先決定窗口 ( window )， 并且當使用不是預(yù)定的基準標記的任意圖案而進行對位時， 一般的方法是將用戶決定的窗口的重心或中心或角部等作為對位的基準點，但 對于本來對位的真的位置來說產(chǎn)生偏移，因而成為識別位置精度低下的主要原因，或者補正階段占用時間長、影響生產(chǎn)
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種絲網(wǎng)印刷裝置或圖像識別對位方法，使得對于用于0.4mm間距CSP、 0603芯片零件和0402芯片零件所代 表性的電子單元的安裝的超精細圖案印刷，用戶能夠簡單地操作且獲 得高的對位精度。本發(fā)明的特征在于具有這樣的單元，該單元自動測量用戶決定 的檢索對象窗口的中心和任意圖案中心的偏移量，登錄為補正量，并 在對位計算時加上補正量，計算出對位動作量并進行對位。對于用在基板的對位中的各種圖案，沒有必要要求位置補正的熟 練度而可簡單地應(yīng)對，并且提高印刷對位精度。


圖l是示出了絲網(wǎng)印刷裝置的一例的圖。 圖2是將重心或中心作為對位的基準點的方法。 圖3是將角部作為對位的基準點的方法。 圖4關(guān)于實際的對位的順序。 圖5是示出了人工模型的一例的圖。 圖6是示出了相關(guān)映像的一例的圖。 圖7是示出了檢索基板的任意圖案的結(jié)果的一例的圖。 圖8是示出了相關(guān)值計算部分 位置坐標計算部分中的處理流程 的一例的圖。圖9是示出了關(guān)于標記尺寸測量后的檢查.尺寸補正的 一例的圖。 圖10是示出了關(guān)于標記尺寸測量后的檢查'尺寸補正的一例的圖。圖11是示出了尺寸計算部分 尺寸補正部分中的處理流程的一 例的圖。圖12是以H形圖形為基準模型的圖案匹配。圖13是以H形圖形為基準模型的圖案匹配(另一算法)。
具體實施例方式
在圖1中詳細說明了本發(fā)明中的絲網(wǎng)印刷裝置的結(jié)構(gòu)。在圖l(a) 中示出了正面觀察絲網(wǎng)印刷裝置的結(jié)構(gòu)，在(b)中示出了系統(tǒng)結(jié)構(gòu) 圖。在圖2 (a)中示出了側(cè)面觀察絲網(wǎng)印刷裝置的結(jié)構(gòu)，在(b)中 示出了在從側(cè)面觀察絲網(wǎng)印刷裝置的結(jié)構(gòu)下的印刷中的狀態(tài)。
采用的結(jié)構(gòu)是，在未圖示的主體框架中設(shè)置有版框托，在版框托 上設(shè)置有粘貼了將印刷圖案作為開口部而具有的、覆蓋了絲網(wǎng)的掩模 20 (有時也稱作絲網(wǎng)掩模)。在掩模20的上方，配置有刮板頭2，在 刮板頭2上安裝有刮板3。刮板頭2通過刮板移動機構(gòu)6而可在水平 方向上移動，刮板3通過刮板升降機構(gòu)4而可在上下方向上移動。在 掩模20的下方與掩模20相對地設(shè)置有載置并保持作為印刷對象物的 基板5的印刷臺10。該印刷臺10包括在水平方向移動基板5并進 行與掩模20的對位的XY0臺11、以及用于從搬入基板傳送帶25接 收基板5、并且使基板5靠近或接觸掩模面的臺升降機構(gòu)12。在印刷 臺10的上面設(shè)置有接收接收基板傳送帶26，在印刷臺IO上接收由搬 入基板傳送帶25搬入的基板5，并在印刷結(jié)束之后將基板5排出到搬 出基板傳送帶27。
在全自動絲網(wǎng)印刷裝置中具備自動進行掩模20和基板5的對位 的功能。即，利用CCD攝像機15拍攝分別設(shè)置在掩模20和基板5 上的用于對位的標記，進行圖像處理后求出位置偏移量，驅(qū)動XYe 臺ll使得補正該偏移量并進行對位。即，CCD攝像機15采用的結(jié)構(gòu) 是，在上下設(shè)置有攝像機使得能夠大致同時拍攝基板側(cè)和絲網(wǎng)掩模側(cè)。
另外，包括處理來自各部分驅(qū)動用的印刷控制部分或CCD攝像 機15的圖像信號的圖像搬入部分37等的印刷機控制部分30設(shè)置在印 刷機主體框的內(nèi)部，用于進行控制用數(shù)據(jù)的替換或印刷條件的變更等 的數(shù)據(jù)搬入部分50、用于監(jiān)視印刷狀況等或取得的識別標記的顯示部 分40配置在印刷單元主體1的外側(cè)。
下面說明本發(fā)明的印刷單元的動作。
印刷了焊錫骨的基板5通過搬入基板傳送帶25供給接收基板傳
送帶26，并被固定在印刷臺10上的預(yù)定的位置?；骞潭ê?，將CCD 攝像機15移動至預(yù)先登錄設(shè)定的基板標記位置。接著CCD攝像機15 對設(shè)置在基板5和掩模20上的位置識別用的標記(未圖示)進行拍攝， 并傳送到印刷機控制部分30。在控制部分內(nèi)的圖4象搬入部分37中， 根據(jù)圖像數(shù)據(jù)求出掩模20和基板5的位置偏移量。印刷機控制部分 30根據(jù)該結(jié)果使印刷臺10的XY6臺11動作，相對掩模20對基板5 的位置進行修正.對位。在對位完成后，CCD攝像機15退讓預(yù)定量、 直至與印刷臺IO不相干涉的位置。攝像機退讓完成后，印刷臺IO(后 面有時也稱作印刷栽臺)上升，使基板5和掩模20接觸。然后，刮板 3通過刮板升降筒4下降到掩模20表面上，通過刮板頭2的移動、供 給到掩模20上的焊錫骨被填充到掩模20的開口部分，并轉(zhuǎn)印到基板 5上。刮板2在水平方向上劃過一定距離后上升。然后，印刷臺10下 降，掩模20和基板5分離，填充到掩模20的開口部分的焊錫骨被轉(zhuǎn) 印到基板5。然后，印刷了焊錫骨的基板5經(jīng)過搬出基板傳送帶27而 被送到下一工序。
并且，在基板5和掩模20的2個部位以上設(shè)置相對同一部位的 對位用的標記，對于雙方的各個標記，利用具有上下方向2個視野的 特殊的CCD攝像機15，通過從下至上的方向觀察而識別掩模20的標 記，通過從上至下的方向觀察而識別基板5的標記，讀取預(yù)定部位的 標記所有的位置坐標，位置計算.補正基板5相對掩模20的偏移量， 由XY0臺11相對掩模20移動基板5,進行對位。
下面，使用圖3對實際的對位的順序進行說明。在本圖中對使對 象圖案為2個部位、進行識別對位的情況進行說明，但根據(jù)基板的種 類或目標對位精度，即使對象圖案變成2個部位以上同樣也可以應(yīng)對。 另外，圖3中示出了拍攝基板5和拍攝掩模20的結(jié)果。在基板5上示 出了多個涂敷區(qū)域的圖案61、處理的第1窗口圖案60(實線示出的區(qū) 域，以后有時也僅稱作窗口 )及其中心點62(虛線表示的線的交點)、 第2窗口圖案63 (點劃線示出的區(qū)域)及其中心點64 (實線表示的線 的交點)。另外，在掩模20中示出了，第3窗口圖案70 (在虛線示
出的區(qū)域中以后有時也僅稱作運動)及其中心點72 (虛線表示的線的 交點)、設(shè)置在掩模上的多個開口圖案71、第4窗口圖案73(點劃線 示出的區(qū)域)及其中心點74 (實線表示的線的交點)。
首先，將拍攝基板側(cè)的攝像機稱為第l攝像機，將拍攝掩模側(cè)的 攝像機稱為第2攝像機。對于第1攝像機拍攝的基板圖像和第2攝像 機拍攝的掩模圖像，分別指定第1窗口區(qū)域和第3窗口區(qū)域。由于基 板圖像和掩模圖像能夠高精度地檢測出，因此作為具有特征性的圖樣 的對位對象。即，在指定基板圖像和掩模圖像的第1或第3窗口區(qū)域 時，包括周圍背景在內(nèi)、作為實像模型而登錄，使得指定的檢索窗口 區(qū)域內(nèi)的圖樣在攝像攝像機的同 一視野內(nèi)不在2個部位以上存在。
第1單元對于在攝像攝像機全視野中預(yù)先登錄的實像模型的圖 樣、通過計算相關(guān)值最大的部位而決定窗口的中心位置。即，在本實 施例中求出基板側(cè)的窗口 60的中心點62、和掩模側(cè)的窗口 70的中心 點72。由于掩模20每逢生產(chǎn)品種的變更或清掃時臨時固定在任意的 位置上，所以根據(jù)預(yù)先登錄的攝像機坐標進行拍攝。這樣，將掩模20 上的第3圖案作為預(yù)先登錄的實像模型而使用，通過歸一化相關(guān)圖案 匹配來檢測攝像機全視野內(nèi)部，可自動算出掩模表面上的第3圖案位 置。這樣，對于第1圖案和第3圖案，由第1單元關(guān)于掩模側(cè)的攝像 機2和基板側(cè)的攝像機1、計算第1窗口圖案60和第3窗口圖案70 的檢索結(jié)果。
下面，由第2單元設(shè)定用于檢測第2窗口圖案63和第4窗口圖 案73的窗口，該第2窗口圖案63和第4窗口圖案73是希望最終對位 的圖案。關(guān)于各個攝像機1和攝像機2，設(shè)定用于第2窗口圖案63和 第4窗口圖案73的窗口。用于第2窗口圖案63和第4窗口圖案73 的窗口是用于測量對象圖案的形狀*大小、并計算對象圖案本身的重心 位置的圖案窗口。第2單元通過計算上述圖案窗口指定的區(qū)域中的任 意圖案中心坐標和預(yù)先準備的多個辭典模型的相關(guān)值，通過計算相關(guān) 值最大的部位進行檢測。即求出圖3中的第2窗口圖案63的中心點 64、第4窗口圖案73的中心點74。
并且，第2單元具有即便類似圖案存在N個也計算預(yù)先準備的 辭典模型和任意圖案的相關(guān)值的相關(guān)值計算部分；基于上述相關(guān)值計 算部分求出的相關(guān)值、推斷模型的形狀的形狀推斷部分；以及作為多 個臨時基準圖案而存儲設(shè)定，并通過圖案位置坐標計算，與目標基準圖案間的距離相比較，將差值最小的組合的標記作為基準圖案而登錄 的單元。下面，由計算單元根據(jù)第1窗口圖案60的中心點62和第2窗口 圖案63的中心點64計算偏差。同樣地，使用第3窗口圖案70的中心 點和第4窗口圖案73的中心點74計算偏差。下面，由補正單元登錄相對XYe各軸的補正值。下面由對位單元計算相對基板5的XYe各軸的控制量，使搭栽 有基板5的印刷臺10在XY0方向上僅移動求得的控制量，進行掩模 20和基板5的對位。下面，使用附圖關(guān)于前面說明的進行圖案匹配的模型等進行說明。圖4示出了預(yù)先準備的辭典模型的一例。此處采用了圓形，正方 形、正三角形的辭典模型，但還可采用菱形，長方形，三升斗(三桄) 模樣等的各種形狀。以往，實際的用戶從稱作人工模型的辭典模型中選擇使用適合生 產(chǎn)基板的圖案形狀，進行模型登錄。并且，配合圖案外形尺寸而進行 搬入，從而確保模板匹配的精度。圖5示出了當在任意圖案周圍存在類似圖案的情況下，進行了模 板匹配的相關(guān)映像的一例。圖中的示出相關(guān)值最大峰值的部位成為檢 索使用的第l候補。第二峰值為第2候補，同樣地第三峰值為第3候 補。此處以一次相關(guān)映像為例，但使用2次相關(guān)值的公知技術(shù)也可獲 得同樣的結(jié)果。在該例中一直求到第3候補，但候補數(shù)的指定可以是 任意的。根據(jù)圖5的檢索結(jié)果，即便存在類似圖案、可以在任意窗口內(nèi)關(guān) 于3個候補進行選定。然而，由于在人工模型中未指定與適用于生產(chǎn) 基板的標記形狀相對的辭典，僅僅這樣較難判斷3個候補當中哪個是 正確的標記。圖6示出了在基板5內(nèi)的2個部位配置了用于識別的圖案的例子。 在圖6中示出了根據(jù)圖3的檢索結(jié)果在各窗口內(nèi)選定候補標記的狀態(tài)。 由于用于識別的圖案是2個部位，窗口區(qū)域也成為2個部位，標記檢 索了窗口圖案Wl內(nèi)部的結(jié)果是，選定3個標記候補M11, M12和 M13,標記檢索了窗口圖案W2內(nèi)部的結(jié)果是，選定3個標記候補 M21, M22和M23。不過，在圖6中示出了基板5中的標記檢索結(jié)果，但在未圖示的 掩模20 —側(cè)也對應(yīng)于基板5的2個部位的用于識別的圖案(窗口區(qū)域) 而設(shè)置了同樣的標記。掩模20 —側(cè)的用于位置識別的圖案通常使用在貫通孔或半蝕刻 (half-etching)、或者在貫通孔或半蝕刻部分附加識別時的對比度而 填充了樹脂的7<寧^一、>亇^標記。并且，在掩模20—側(cè)的用于位 置識別的圖案的周邊常常不存在類似圖案。因此即便對于不熟練的用 戶也可容易地判斷有無誤識別的要因。因此，當在掩模20中用于位置識別的圖案的周邊不存在類似圖 案的情況下，使用圖4和圖5中說明的方法，進一步通過具備匹配率 大于等于預(yù)定值的條件，可將匹配率具有大于等于預(yù)定值、且相關(guān)值 最高的圖案判斷為所求的掩模20的用于位置識別的圖案。此時，窗口圖案wl和窗口圖案w2的中心坐標關(guān)系已預(yù)先作為 已知數(shù)據(jù)向印刷裝置進行了設(shè)定輸入，所以通過位置坐標計算部分計 算根據(jù)相關(guān)檢索結(jié)果求出的各窗口的用于位置識別的圖案的中心坐 標，從而可在位置坐標計算部分內(nèi)演算.計算掩模20的用于位置識別 的圖案Ml(在本圖中指Mil, M12和M13 )和M2(在本圖中指M21, M22和M23)的虔巨離ML。圖6中記載的尺寸L是Mll和M21的標記間距離，但由于尺寸 L的設(shè)計值和上述的距離ML相同，所以可將距離ML用作選定基準 值。
圖7中示出了相關(guān)值計算部分 位置坐標計算部分的處理流程。 在該處理流程中，首先設(shè)定窗口的編號(步驟701)。檢索該窗口內(nèi) 的笫n個標記的候補(步驟702 )。接著，將第n個標記置換為第n+l 個標記。調(diào)查第n+l個是否是最大的標記編號(此處11=3，作為最大 的標記編號步驟703)。如果不是最大的標記編號，則返回步驟702 檢索候補。如果是最大的標記編號，則判定檢索窗口編號是否是最大 值(在本實施例中2是最大)(步驟705)。如果不是最大值則在窗 口編號上加l (步驟706)并返回步驟701。如果窗口編號是最大值， 則分別對于標記的組合、求出標記間距離(步驟707)。接著，由位 置坐標計算部分求出在標記的組合中、L尺寸最接近ML的標記，登 錄為基準圖案(步驟708)。并且，在圖6中，由于在一個檢索區(qū)域 內(nèi)設(shè)置了3個標記，在圖7中求出各個標記間距離(L11-L33)。并且，當在掩模一側(cè)的用于識別的圖案中不使用7 — f工一>卞 々標記時，由于在用于識別的圖案的周邊存在類似圖案，不能將距離 ML用作選定基準值。在這種情況下，替代距離ML、根據(jù)預(yù)先輸入 印刷裝置的標記坐標和基板尺寸而計算求出選定基準值L并使用。下面使用圖8~圖ll對絲網(wǎng)印刷裝置進行說明，該絲網(wǎng)印刷裝置 的特征在于具有計算預(yù)先準備的辭典模型和任意圖案的相關(guān)值的相 關(guān)值計算部分、基于上述相關(guān)值計算部分求出的相關(guān)值、推斷模型形 狀的形狀推斷部分、以及對任意圖案的尺寸進行圖像測量計算的尺寸 計算部分。圖8中示出了關(guān)于標記尺寸測量后的檢查.尺寸補正、Lx=Lxl的 情況。如本圖這樣，在標記的尺寸計算處理之后，作為一個例子、從 印刷機控制部分30向印刷臺10發(fā)出移動指令使得標記對于X方向移 動標記外形尺寸量的距離。下面讀取標記邊緣坐標，根據(jù)移動前預(yù)先 存儲的移動前的標記邊緣坐標和移動后的標記邊緣坐標而計算標記移 動量。當尺寸測量的標記X方向外形尺寸(Lx)與標記邊緣移動量 (Lxl)相等時，判斷尺寸測量的標記尺寸為正確。圖9中示出了關(guān)于標記尺寸測量后的檢查.尺寸補正、Lx<Lxl的
情況。如本圖這樣，當尺寸測量的標記X方向外形尺寸(Lx)小于標 記邊緣移動量(Lxl)時，判斷尺寸測量的標記尺寸不正確。此時， 如圖8所示反復(fù)操作直至判斷尺寸測量的標記尺寸為正確。圖IO示出了尺寸計算部分和尺寸補正部分的處理流程。在圖10 中，首先分別測量基板側(cè)和掩模側(cè)各自的窗口 W內(nèi)的標記Mwn的外 形尺寸，求出掩模側(cè)和基板側(cè)的標記的偏移量。在該偏移量關(guān)于X軸 方向進行了計算處理之后，同樣地關(guān)于Y軸方向也進行計算處理。通 過計算如果有偏移量則補正該偏移量。使用圖ll說明設(shè)置了多個標記的情況的例子。第2圖案如上所述即便在窗口區(qū)域內(nèi)存在N個類似圖案，也可自 動地檢測，但也可從按照相關(guān)值高的順序、從1號至N號自動檢測的 多個候補中選定合適的對象圖案，任意地決定為圖案2。同樣地對于基板側(cè)和掩模側(cè)也使用攝像機1和攝像機2拍攝的圖 像，關(guān)于各個分別設(shè)定第1圖案和第2圖案，從而在生產(chǎn)運作中使用 攝像機拍攝搬入的基板的預(yù)定位置，對于第l單元檢測的圖案中心、 利用下面的計算式計算出(AXn， AYn ),然后將(AXn， AYn )分 別加在第1圖案位置坐標上得到對位目標點，然后對該目標點進行對 位動作。并且，在前面的說明中將基板側(cè)和掩模側(cè)作為不同的圖案進 行了說明，但此處將前面的第l、 3的窗口圖案作為第1圖案，第2、 4的窗口圖案作為第2圖案進行說明。標記l (第1圖案)(Xll， Yll)標記l (第2圖案)(X12， Y12)標記1 (第1圖案和第2圖案的偏差) (AX1， AY1 ) = (X11， Y11)-(X12， Y12)標記2 (第1圖案)(X21, Y21)標記2 (第2圖案)(X22， Y22)標記2 (第1圖案和第2圖案的偏差) (AX2， AY2 ) = (X21， Y21) - (X22， Y22 )標記3 (第1圖案)(X31, Y31)
標記3 (第2圖案)(X32， Y32)標記3 (第1圖案和第2圖案的偏差) (AX3， AY3 ) = (X31， Y31)陽(X32, Y32 )標記4 (第1圖案)(X41， Y41)標記4 (第2圖案)(X42， Y42)標記4 (第1圖案和第2圖案的偏差) (△X4， AY4 ) = (X41， Y41) - (X42, Y42 )并且，圖示中圖案窗口的設(shè)定是接近第2圖案外形，但這是根據(jù) 操作者熟練度的不同、純粹的操作順序上的必要條件，實際上可將第 1單元實施的檢索窗口內(nèi)的區(qū)域看作圖案窗口。在該情況下，第l單 元實施檢測檢索窗口區(qū)域的中心坐標65和75時，同時可連續(xù)地檢測 圖案窗口內(nèi)的對象圖案本身的重心坐標。當在圖案窗口中搜索第2圖案時，在沒有合適的候補的情況下， 通過自動地移動攝像機、尋找標記的自動檢索功能可進行搜索，但攝 像機移動需要花費時間，這樣識別對位就需要較多的時間。因此，如圖12所示通過使用將H性圖形作為基準模型的圖案匹 配，按照下面的順序，可不需要熟練的作業(yè)、簡單正確地進行圖案的 對位。這對于形成在基板面上的電極圖案形成為大致左右對稱的而言 是有效的。(1) 在預(yù)定窗口提取圖像后，改變凸凹尺寸的比率，搜索獲得 預(yù)定匹配率的基準圖案=>11圖形檢索(2) 凸凹尺寸的比率變化使由圖12的X方向線量和Y方向線 量構(gòu)成的凸部的面積Al和A2變化(凹部的面積A3也變化)。自動搜索規(guī)則相當于求出Al和A2的差為最大的H圖形。 H圖形是具有A1>A2>A3且Ya+Yb+Yc>Yb的形狀的圖形。并 且，為了便于說明，切出的電極圖案采用矩形(長方形)，但在實際 的生產(chǎn)中也較多地采用圓形圖案，對這種情況也可應(yīng)對。(3) 最終將凹部的中線和H圖形的中線的交點作為對位基準點。 下面，在圖13中示出了實際上自動求出對位基準點的算法。
在圖13中，(1)拍攝基板或掩模的圖像。接著(2)按預(yù)定窗 口尺寸切取圖像。(3)使切取的圖像2值化。(4)反轉(zhuǎn)處理其后的 圖像。(5)求出圖像的凹部的中心線和H形圖案的中線，將其作為 對位基準點。但是，印刷裝置的攝像機坐標系使用用于半導(dǎo)體制造的超高精 細-直接描繪的玻璃干板(光掩模)，校正機械驅(qū)動系統(tǒng)的絕對精度， 所以充分信賴根據(jù)指令值向任意的位置移動攝像機時的精度。并且， 即便使用直線電動機等的全閉環(huán)伺服系統(tǒng)等的公知技術(shù)，攝像機移動 的距離也是充分信賴的精度。因此，通過使用上述公知的技術(shù)等，可判斷才聶像機讀取的圖像的 尺寸是否正確。并且，也可應(yīng)用在攝像機分辨率的校正和自我故障診 斷中。并且，如果利用本發(fā)明的對位方法，則檢查和判定生產(chǎn)運作中對 位之前讀取的標記尺寸和對印刷臺進行了對位移動之后的標記位置是 否正確，同時測定標記尺寸，所以可根據(jù)通常情況的印刷裝置的攝像 機故障診斷而進行自動校正。因此，通過利用本發(fā)明的對位方法，可時常在生產(chǎn)中不停下裝置 而對精度是否失常進行自我故障診斷，還可自動地進行校正。如上所述，在本發(fā)明中，對于任意圖案、不僅不指定標記形狀或 標記尺寸，還可將標記登錄為基準圖案。另外，在熟練操作者減少的情況下，不熟練的用戶也可簡單容易 地操作，能夠確?；鶞蕵擞浀卿洉r間的縮短.正確，對高密度安裝生產(chǎn) 的高效.省力做出貢獻。顯而易見地，本發(fā)明也可適用于不使用掩模的、搭栽機等中的基 板的對位。并且，通過利用本發(fā)明，可使SMT線中的各裝置間的亂七八糟 的基準標記登錄方法統(tǒng)一.通用，能實現(xiàn)各裝置的操作方法的簡易化'通 用化。
權(quán)利要求
1.一種絲網(wǎng)印刷裝置，將形成于絲網(wǎng)掩模上的2個部位以上的任意圖案開口部分作為對位目標，使用基板表面的2個部位以上的任意圖案，基于圖像處理把上述基板對位在絲網(wǎng)掩模上，并經(jīng)由絲網(wǎng)掩模向基板表面上涂敷糊劑，其特征在于包括第1單元，其分別檢測由形成于絲網(wǎng)掩模上的上述圖案開口部分的一部分或者全部構(gòu)成的第3圖案、以及由基板表面的任意圖案的一部分或者全部構(gòu)成的第1圖案；第2單元，其分別檢測作為與上述第1或第3圖案分別相對的最終對位目標的第2以及第4圖案各個的重心；計算單元，其通過圖像測量而計算由上述第1和第2單元檢測的第1和第3圖案各個的窗口中心與由上述第2單元檢測的第2以及第4圖案各個的重心的偏差；以及補正單元，其基于上述計算單元的計算結(jié)果而計算相對XYθ臺各軸的補正系數(shù)并進行登錄；該絲網(wǎng)印刷裝置還具有對位單元，該對位單元在生產(chǎn)運行中當由第1和第2單元檢測出第1～第4圖案的中心之后，在進行XYθ臺對位量計算時，加上上述補正單元登錄的補正值，算出XYθ臺各軸的控制量并進行對位。
2. —種圖像識別對位方法，將2個部位以上的多個長方形圖案 作為對位目標和被對位目標，其中通過基于H形圖形模型的圖案形狀 匹配來檢測對位目標位置和被對位目標位置，進行對位。
全文摘要
本發(fā)明提供一種絲網(wǎng)印刷裝置，當將基板在掩模上進行對位時，根據(jù)基板種類不具有專用的對位標記，將基板圖案代用作對位標記的方法由于類似形狀的圖案、成為誤識別的對位不良的原因。該絲網(wǎng)印刷裝置構(gòu)成包括第1單元，其分別檢測絲網(wǎng)掩模和基板表面的任意圖案的一部分或者全部所形成的圖案；第2單元，其分別檢測最終對位目標的圖案各自的重心；計算單元，其通過圖像測量計算上述第1和第2單元檢測的圖案的窗口中心和上述第2單元檢測的圖案各自的重心的偏差；以及補正單元，其根據(jù)上述計算單元的計算的數(shù)值計算補正系數(shù)并進行登錄。
文檔編號G01B11/00GK101117043SQ20071013696
公開日2008年2月6日 申請日期2007年7月26日 優(yōu)先權(quán)日2006年8月4日
發(fā)明者本間真, 栗原弘邦, 矢作睦行 申請人:株式會社日立工業(yè)設(shè)備技術(shù)