專利名稱：測(cè)量設(shè)備及采用該測(cè)量設(shè)備的測(cè)量方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種測(cè)量設(shè)備及采用該測(cè)量設(shè)備的測(cè)量方法，尤其涉及一種測(cè)定滑動(dòng)件的運(yùn) 動(dòng)誤差的測(cè)量設(shè)備及采用該測(cè)量設(shè)備的測(cè)量方法。
背景技術(shù)：
隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展，加工機(jī)床也朝著高精度、高速度的方向不斷發(fā)展。請(qǐng)參閱圖 1， 一種用于切削加工的現(xiàn)有機(jī)床IO，其包括一個(gè)床身ll、 一個(gè)工作臺(tái)12及一個(gè)切削機(jī)構(gòu)13 。該床身11包括一個(gè)基座110，該基座110頂面中部設(shè)置有第一導(dǎo)軌111，工作臺(tái)12套設(shè)于該 第一導(dǎo)軌lll上。該基座110兩端垂直該基座110延伸有兩個(gè)相互平行的立柱112，第二導(dǎo)軌 113的兩端分別與兩個(gè)立柱112垂直相連，以使該第二導(dǎo)軌113的延伸方向平行于Y軸方向，滑 鞍114設(shè)置于該第二導(dǎo)軌113上。該滑鞍114表面設(shè)置有沿Z軸方向延伸的第三導(dǎo)軌115。該切 削機(jī)構(gòu)13包括一個(gè)滑臺(tái)131，該滑臺(tái)131設(shè)置于第三導(dǎo)軌115上。該滑臺(tái)131端部裝設(shè)有一個(gè)主 軸132，刀具133安裝于該主軸132的端部。通過工作臺(tái)12、滑鞍114及滑臺(tái)131三個(gè)滑動(dòng)件的 聯(lián)動(dòng)，可對(duì)安裝于工作臺(tái)12上的工件進(jìn)行加工。
然而，為使工作臺(tái)12在第一導(dǎo)軌111上低摩擦運(yùn)動(dòng)及第一導(dǎo)軌111制造精度的限制，工作 臺(tái)12與第一導(dǎo)軌111通常并不是完全緊密結(jié)合，而是于工作臺(tái)12與第一導(dǎo)軌111之間留有一定 寬度的間隙。由于間隙的存在，機(jī)床10在對(duì)工作臺(tái)12上的工件加工時(shí)，工作臺(tái)12易發(fā)生振動(dòng) ，從而會(huì)導(dǎo)致機(jī)床10的加工精度降低。另外，滑鞍114與第二導(dǎo)軌113、滑臺(tái)131與第三導(dǎo)軌 115之間也會(huì)存在一定寬度的間隙，而這會(huì)進(jìn)一步降低機(jī)床10的加工精度。
因此，有必要提供一種測(cè)量設(shè)備對(duì)滑動(dòng)件的運(yùn)動(dòng)誤差進(jìn)行測(cè)量，然后根據(jù)測(cè)量到的數(shù)據(jù) ，對(duì)機(jī)床10的加工軟件中的相應(yīng)參數(shù)進(jìn)行修改，從而提高機(jī)床的加工精度。如圖2所示，一 種現(xiàn)有工作臺(tái)12運(yùn)動(dòng)誤差的測(cè)量設(shè)備20，其包括一個(gè)激光器201、 一個(gè)準(zhǔn)直透鏡202、 一個(gè)衍 射光柵203、四個(gè)反射鏡204、兩個(gè)直角棱鏡205、兩個(gè)放大鏡206、兩個(gè)光電探測(cè)器207及一 個(gè)控制器(圖未示)。該衍射光柵203固定于工作臺(tái)12的底部，激光器201相對(duì)衍射光柵203 固設(shè)于基座110上。激光器201發(fā)出的光束通過準(zhǔn)直透鏡202后射向衍射光柵203，形成Y1、 Y2、 Zl、 Z2四束衍射光，該四束衍射光Y1、 Y2、 Zl、 Z2經(jīng)相應(yīng)的反射鏡204反射后，兩兩匯 合于直角棱鏡205形成合成光束L1、 L2，該兩合成光束L1、 L2經(jīng)放大鏡206放大后，分別射入 相應(yīng)的光電檢測(cè)器207。該兩光電檢測(cè)器207分別將檢測(cè)到的信號(hào)輸入控制器進(jìn)行處理。當(dāng)工
作臺(tái)12在Y軸方向或Z軸方向運(yùn)動(dòng)發(fā)生偏離時(shí)，將導(dǎo)致衍射光Y1、 Y2、 Zl、 Z2的強(qiáng)度及方向發(fā) 生改變，故經(jīng)過控制器對(duì)合成光束L1、 L2的變化量進(jìn)行分析，可得出工作臺(tái)12的運(yùn)動(dòng)誤差。
然而，由于工作臺(tái)12與第一導(dǎo)軌111之間存在一定寬度的間隙，故工作臺(tái)12在導(dǎo)軌上運(yùn) 動(dòng)時(shí)會(huì)存在一定程度的振動(dòng)，而衍射光柵203安裝于工作臺(tái)12的底部，故該衍射光柵203在工 作臺(tái)12振動(dòng)過程中易發(fā)生松動(dòng)而偏離原安裝位置，而衍射光柵203為精密光學(xué)元件，微小的 位置偏離均會(huì)使測(cè)量結(jié)果發(fā)生較大的變化，因此，該測(cè)量設(shè)備20較易產(chǎn)生測(cè)量誤差，測(cè)量精 度較低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種測(cè)量精度較高的測(cè)量設(shè)備及采用該測(cè)量設(shè)備的測(cè)量方法。
一種測(cè)量設(shè)備，其包括一個(gè)第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置、 一個(gè)基準(zhǔn)件及一個(gè)控制器，該控制器 與該第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置電連接，該基準(zhǔn)件具有一個(gè)第一基準(zhǔn)平面，該第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置 具有一個(gè)測(cè)量頭，該測(cè)量頭在測(cè)量時(shí)與第一基準(zhǔn)平面保持接觸。
一種測(cè)量方法，用于測(cè)量滑動(dòng)件在沿第一方向延伸的導(dǎo)軌上的運(yùn)動(dòng)誤差，其包括以下步 驟(1)提供一個(gè)測(cè)量設(shè)備， 一個(gè)第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置、 一個(gè)基準(zhǔn)件及一個(gè)控制器，該控 制器與該第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置電連接，該第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置具有一個(gè)可伸縮的測(cè)量頭，該 基準(zhǔn)件具有一個(gè)第一基準(zhǔn)平面；(2)將第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置設(shè)置于滑動(dòng)件上，且使第一接 觸式測(cè)長(zhǎng)裝置的測(cè)量頭可沿垂直于第一方向的第二方向伸縮運(yùn)動(dòng)；(3)將基準(zhǔn)件定位，以 使第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置的測(cè)量頭與基準(zhǔn)件的第一基準(zhǔn)平面相抵；(4)使滑動(dòng)件沿導(dǎo)軌移動(dòng) ，該第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置的測(cè)量頭與第一基準(zhǔn)平面保持接觸；(5)控制器根據(jù)第一接觸式 測(cè)長(zhǎng)裝置的測(cè)量結(jié)果得出滑動(dòng)件沿第二方向的真實(shí)運(yùn)動(dòng)軌跡，并與預(yù)定運(yùn)動(dòng)軌跡比較，得出 該滑動(dòng)件沿第二方向的運(yùn)動(dòng)誤差。
相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，所述測(cè)量設(shè)備具有一個(gè)第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置及一個(gè)基準(zhǔn)件，通過將該 第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置沿第二方向設(shè)置于滑動(dòng)件上，并使其測(cè)量頭與基準(zhǔn)件的第一基準(zhǔn)平面相 接觸，以測(cè)出該滑動(dòng)件沿第二方向的運(yùn)動(dòng)軌跡，然后與滑動(dòng)件的預(yù)定運(yùn)動(dòng)軌跡比較，即可得 出滑動(dòng)件沿第二方向的運(yùn)動(dòng)誤差，由于在測(cè)量過程中，該第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置的測(cè)量頭始終 與基準(zhǔn)件的第一基準(zhǔn)平面保持接觸，故當(dāng)滑動(dòng)件在導(dǎo)軌上發(fā)生振動(dòng)時(shí)，該滑動(dòng)件與第一基準(zhǔn) 平面之間的距離仍可被精確測(cè)量，即該測(cè)量設(shè)備可精確測(cè)出滑動(dòng)件的真實(shí)運(yùn)動(dòng)軌跡，因此， 該測(cè)量設(shè)備具有較高的測(cè)量精度。


圖1是一種現(xiàn)有機(jī)床的正視圖。
圖2是一種現(xiàn)有測(cè)量設(shè)備的示意圖。
圖3是本發(fā)明較佳實(shí)施例一的測(cè)量設(shè)備對(duì)滑動(dòng)件在導(dǎo)軌上的運(yùn)動(dòng)誤差進(jìn)行測(cè)量的立體示 意圖。
圖4是圖3所示的第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置的橫斷面圖。 圖5是圖3所示的第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置的縱斷面圖。
圖6是本發(fā)明較佳實(shí)施例二的測(cè)量設(shè)備對(duì)滑動(dòng)件在導(dǎo)軌上的運(yùn)動(dòng)誤差進(jìn)行測(cè)量的立體示 意圖。
具體實(shí)施例方式
下面將結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的測(cè)量設(shè)備及采用該測(cè)量設(shè)備的測(cè)量方法做進(jìn)一步詳 細(xì)說明。
請(qǐng)參閱圖3，本發(fā)明較佳實(shí)施例一提供一種對(duì)滑動(dòng)件40在導(dǎo)軌50上滑行的運(yùn)動(dòng)誤差進(jìn)行 量測(cè)的測(cè)量設(shè)備60。該滑動(dòng)件40呈長(zhǎng)方體狀，其中部開設(shè)一個(gè)沿滑動(dòng)件40軸向延伸的方形通 孔401。該導(dǎo)軌50沿平行于圖中所示X軸的方向延伸，該滑動(dòng)件40通過其方形通孔401穿設(shè)于 導(dǎo)軌50上并可沿導(dǎo)軌50滑行，以使該滑動(dòng)件40可沿導(dǎo)軌50滑行。
該測(cè)量設(shè)備60包括一個(gè)第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置61、 一個(gè)第二接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置62、 一個(gè)第一 基準(zhǔn)平板63、 一個(gè)第二基準(zhǔn)平板64及一個(gè)控制器65。
請(qǐng)同時(shí)參閱圖4及圖5，該第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置61包括一個(gè)底座611、 一個(gè)導(dǎo)向塊612、兩 個(gè)驅(qū)動(dòng)氣缸613、兩個(gè)吹氣管614、 一個(gè)第一固定件615、 一個(gè)測(cè)量頭616、 一個(gè)第二固定件 617、 一個(gè)光學(xué)標(biāo)尺618、 一個(gè)支撐體619、 一個(gè)光感應(yīng)器620及一個(gè)罩體621。該導(dǎo)向塊612固 設(shè)于底座上611，其沿軸向開設(shè)有兩個(gè)相互平行的導(dǎo)引孔6121，兩個(gè)驅(qū)動(dòng)氣缸613分別插入該 兩導(dǎo)引孔6121中。兩個(gè)吹氣管614的一端分別連接于該兩個(gè)驅(qū)動(dòng)氣缸613的開口端，且該吹氣 管614的端部614與驅(qū)動(dòng)氣缸613之間存在間隙以使部分氣體逸出，從而使驅(qū)動(dòng)氣缸613較為穩(wěn) 定的運(yùn)行且獲得較小的驅(qū)動(dòng)力；該吹氣管614的另一端與外界的氣體源相連。該第一固定件 615的兩端分別開設(shè)一個(gè)通孔(圖未標(biāo))，兩個(gè)驅(qū)動(dòng)氣缸613的封閉端分別穿過該通孔，測(cè)量 頭616固定于該第一固定件615的中部。第二固定件617的兩端分別開設(shè)有一個(gè)通孔(圖未標(biāo) )，兩個(gè)驅(qū)動(dòng)氣缸613的開口端分別插入第二固定件617上的通孔而固定于第二固定件617上 。光學(xué)標(biāo)尺618設(shè)置于第二固定件617的中部。支撐體619固設(shè)于底座611上，且與第二固定件 617相鄰。該支撐體619的兩端分別開設(shè)有一個(gè)通孔(圖未標(biāo))，兩個(gè)吹氣管614分別穿過該 兩通孔以被支撐體619所支撐。光感應(yīng)器620設(shè)置于該支撐體619上，且與光學(xué)標(biāo)尺618相對(duì)應(yīng) 以讀取光學(xué)標(biāo)尺618刻度的讀數(shù)。該罩體621扣合于底座611上?？刂破?5與該第一接觸式測(cè)
長(zhǎng)裝置61電連接，以接收第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置61量測(cè)到的數(shù)據(jù)。
當(dāng)壓縮空氣由吹氣管614吹入驅(qū)動(dòng)氣缸613時(shí)，將推動(dòng)驅(qū)動(dòng)氣缸613沿其軸向移動(dòng)，從而 推動(dòng)測(cè)量頭616沿平行于驅(qū)動(dòng)氣缸613軸向移動(dòng)。由于驅(qū)動(dòng)氣缸613始終保持對(duì)測(cè)量頭616—定 的推力，故該測(cè)量頭616與待測(cè)工件始終保持接觸。而測(cè)量頭616的移動(dòng)將帶動(dòng)光學(xué)標(biāo)尺618 運(yùn)動(dòng)，與該光學(xué)標(biāo)尺618對(duì)應(yīng)設(shè)置的光感應(yīng)器620可感應(yīng)光學(xué)標(biāo)尺618刻度的變化，并將感測(cè) 到的數(shù)據(jù)傳送給控制器65。
可以理解，導(dǎo)向塊612的導(dǎo)引孔6121內(nèi)可通過氣管622注入空氣，以于驅(qū)動(dòng)氣缸613與導(dǎo) 向塊612之間形成空氣軸承，從而減小驅(qū)動(dòng)氣缸613在導(dǎo)引孔6121內(nèi)運(yùn)動(dòng)的摩擦力。另外，該 驅(qū)動(dòng)氣缸613上還可設(shè)置除驅(qū)動(dòng)氣缸613與吹氣管614之間的間隙外的其它排氣機(jī)構(gòu)，如在驅(qū) 動(dòng)氣缸613的封閉端或側(cè)壁上開設(shè)多個(gè)貫通孔以使部分壓縮空氣透出，以使該驅(qū)動(dòng)氣缸613較 為穩(wěn)定的移動(dòng)且獲得較小的驅(qū)動(dòng)力，從而使測(cè)量頭616較為穩(wěn)定的移動(dòng)且獲得較小的測(cè)量壓 力。當(dāng)然，該第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置61也可根據(jù)情況設(shè)置一個(gè)或兩個(gè)以上的驅(qū)動(dòng)氣缸613。
該第二接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置62具有與第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置61相似的結(jié)構(gòu)?？刂破?5與該第二 接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置62電連接，以接收第二接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置62量測(cè)到的數(shù)據(jù)。
該第一基準(zhǔn)平板63具有一個(gè)第一基準(zhǔn)平面631;該第二基準(zhǔn)平板64具有一個(gè)第二基準(zhǔn)平 面641。該第一基準(zhǔn)平面631及第二基準(zhǔn)平面641為基準(zhǔn)平面，其均具有較高的平面度。
測(cè)量時(shí)，將第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置61及第二接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置62分別定位于滑動(dòng)件40與X軸 方向平行且相互垂直的兩個(gè)端面上，以使第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置61的測(cè)量頭616沿平行于Y軸方 向延伸，第二接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置62的測(cè)量頭626沿平行于Z軸方向延伸。將第一基準(zhǔn)平板63沿垂 直Y軸方向定位，且使其第一基準(zhǔn)平面631朝向滑動(dòng)件40;將第二基準(zhǔn)平板64沿垂直Z軸方向 定位，且使其第二基準(zhǔn)平面641朝向滑動(dòng)件40。然后將第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置61的測(cè)量頭616與 第一基準(zhǔn)平板63的第一基準(zhǔn)平面631垂直相抵，第二接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置62的測(cè)量頭626與第一基 準(zhǔn)平板64的第二基準(zhǔn)平面641垂直相抵。驅(qū)動(dòng)滑動(dòng)件40使其沿導(dǎo)軌50移動(dòng)，在此移動(dòng)過程中 ，沿Y軸方向延伸的接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置61與第一基準(zhǔn)平板63的第一基準(zhǔn)平面631始終保持接觸， 沿Z軸方向延伸的第二接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置62與第二基準(zhǔn)平板64的第二基準(zhǔn)平面641始終保持接觸 。如果滑動(dòng)件40在移動(dòng)過程中振動(dòng)，則其與第一、第二基準(zhǔn)平面631、 641之間的距離會(huì)發(fā)生 改變，這時(shí)第一、第二接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置61、 62的測(cè)量頭616、 626就會(huì)在平行Y、 Z軸方向移動(dòng) 并保持與第一、第二基準(zhǔn)平面631、 641接觸。該第一、第二接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置61、 62分別將其 光感應(yīng)器檢測(cè)到的測(cè)量頭616、 626的位移信息傳送給控制器65，控制器65根據(jù)接收到的信息 計(jì)算出該滑動(dòng)件40的真實(shí)運(yùn)動(dòng)軌跡，再與預(yù)定的運(yùn)動(dòng)軌跡相比較，得出該滑動(dòng)件40的運(yùn)動(dòng)誤 差。
由于在上述測(cè)量過程中，該第一、第二接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置61、 62的測(cè)量頭616、 626始終與 第一、第二基準(zhǔn)平板63、 64的第一、第二基準(zhǔn)平面631、 641保持接觸，故當(dāng)滑動(dòng)件40在導(dǎo)軌 50上發(fā)生振動(dòng)時(shí)，該滑動(dòng)件40與第一、第二基準(zhǔn)平面631、 641之間的距離可被精確測(cè)量，即 該測(cè)量設(shè)備60可精確測(cè)出滑動(dòng)件40的真實(shí)運(yùn)動(dòng)軌跡，因此，該測(cè)量設(shè)備60具有較高的測(cè)量精 度。
可以理解，該測(cè)量設(shè)備也可僅包括第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置61或第二接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置62，則 該測(cè)量設(shè)備僅對(duì)滑動(dòng)件40沿Y軸或Z軸方向的運(yùn)動(dòng)誤差進(jìn)行測(cè)量。另外，該測(cè)量設(shè)備的第一接 觸式測(cè)長(zhǎng)裝置61的測(cè)量頭616可與第一基準(zhǔn)平板63的基準(zhǔn)平面631在測(cè)量過程中傾斜相抵，只 需在控制器65中相應(yīng)增加計(jì)算測(cè)量頭616的長(zhǎng)度變化量沿Y軸的分量的運(yùn)算步驟即可得出滑動(dòng) 件40沿Y軸的運(yùn)動(dòng)軌跡。當(dāng)然，第二接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置62的測(cè)量頭626也可與第二基準(zhǔn)平板64的 基準(zhǔn)平面641在測(cè)量過程中與滑動(dòng)件40傾斜相抵。
請(qǐng)參閱圖6，本發(fā)明較佳實(shí)施例二提供另一種對(duì)滑動(dòng)件40在導(dǎo)軌50上滑行的運(yùn)動(dòng)誤差進(jìn) 行量測(cè)的測(cè)量設(shè)備70，其與較佳實(shí)施例一的測(cè)量設(shè)備60具有相似的結(jié)構(gòu)，其不同在于該測(cè)量 設(shè)備70采用一個(gè)基準(zhǔn)件73取代上述兩基準(zhǔn)平板64。該基準(zhǔn)件73包括一個(gè)基板731及由該基板 731—側(cè)垂直該基板延伸形成的側(cè)板732。該基板731具有一個(gè)第一基準(zhǔn)平面7311，該側(cè)板 732具有一個(gè)與第一基準(zhǔn)平面7311垂直相交的第二基準(zhǔn)平面7321。測(cè)量時(shí)，將第一接觸式測(cè) 長(zhǎng)裝置71及第二接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置73的測(cè)量頭分別垂直抵接于第一基準(zhǔn)平面7311及第二基準(zhǔn)平 面7321即可。
可以理解，該基準(zhǔn)件73也可為其它形狀，但需保證該基準(zhǔn)件73具有相互垂直的第一基準(zhǔn) 平面7311和第二基準(zhǔn)平面7321。
另外，本領(lǐng)域技術(shù)人員還可在本發(fā)明精神內(nèi)做其它變化，當(dāng)然，這些依據(jù)本發(fā)明精神所 做的變化，都應(yīng)包含在本發(fā)明所要求保護(hù)的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種測(cè)量設(shè)備，其特征在于該測(cè)量設(shè)備包括一個(gè)第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置、一個(gè)基準(zhǔn)件及一個(gè)控制器，該控制器與該第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置電連接，該基準(zhǔn)件具有一個(gè)第一基準(zhǔn)平面，該第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置具有一個(gè)測(cè)量頭，該測(cè)量頭在測(cè)量時(shí)與第一基準(zhǔn)平面保持接觸。
2.如權(quán)利要求l所述的測(cè)量設(shè)備，其特征在于該測(cè)量設(shè)備還包括 一個(gè)第二接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置，該基準(zhǔn)件還包括一個(gè)與第一基準(zhǔn)平面相互垂直的第二基準(zhǔn)平面； 該第二接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置具有一個(gè)測(cè)量頭，該測(cè)量頭在測(cè)量時(shí)與第二基準(zhǔn)平面保持接觸。
3.如權(quán)利要求2所述的測(cè)量設(shè)備，其特征在于該基準(zhǔn)件包括分立 的第一基準(zhǔn)平板及第二基準(zhǔn)平板，該第一基準(zhǔn)平面設(shè)于第一基準(zhǔn)平板上，該第二基準(zhǔn)平面設(shè) 于第二基準(zhǔn)平板上，該第一基準(zhǔn)平板與第二基準(zhǔn)平板相互垂直設(shè)置，以使第一基準(zhǔn)平面與第 二基準(zhǔn)平面相互垂直。
4.如權(quán)利要求2所述的測(cè)量設(shè)備，其特征在于該基準(zhǔn)件包括一個(gè) 基板及由該基板一側(cè)垂直該基板延伸形成的側(cè)板，第一基準(zhǔn)平面設(shè)于該基板上，第二基準(zhǔn)平 面設(shè)于側(cè)板上。
5.如權(quán)利要求2所述的測(cè)量設(shè)備，其特征在于該第一接觸式測(cè)長(zhǎng) 裝置及第二接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置分別包括至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)氣缸，其用于驅(qū)動(dòng)與該驅(qū)動(dòng)氣缸相連的測(cè)
6.如權(quán)利要求5所述的測(cè)量設(shè)備，其特征在于該驅(qū)動(dòng)氣缸設(shè)置有 氣體排出結(jié)構(gòu)以使測(cè)量頭平穩(wěn)的移動(dòng)，該氣體排出結(jié)構(gòu)包括開設(shè)在驅(qū)動(dòng)氣缸封閉端的貫通孔 、開設(shè)在驅(qū)動(dòng)氣缸側(cè)壁上的貫通孔、設(shè)在驅(qū)動(dòng)氣缸與插入該驅(qū)動(dòng)氣缸開口端的吹氣管之間的 間隙中的任意一種結(jié)構(gòu)或多個(gè)結(jié)構(gòu)的組合。
7.如權(quán)利要求6所述的測(cè)量設(shè)備，其特征在于該第一接觸式測(cè)長(zhǎng) 裝置及第二接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置還包括一個(gè)光學(xué)標(biāo)尺和一個(gè)光感應(yīng)器，該光學(xué)標(biāo)尺或光感應(yīng)器之 一可與測(cè)量頭一起移動(dòng)，該光感應(yīng)器用于讀取該光學(xué)標(biāo)尺的刻度。
8.一種測(cè)量方法，用于測(cè)量滑動(dòng)件在沿第一方向延伸的導(dǎo)軌上的運(yùn) 動(dòng)誤差，其特征在于包括以下步驟(1)提供一個(gè)測(cè)量設(shè)備， 一個(gè)第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置、 一個(gè)基準(zhǔn)件及一個(gè)控制器，該控制器與該第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置電連接，該第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝 置具有一個(gè)可伸縮的測(cè)量頭，該基準(zhǔn)件具有一個(gè)第一基準(zhǔn)平面；(2)將第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝 置設(shè)置于滑動(dòng)件上，且使第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置的測(cè)量頭可沿垂直于第一方向的第二方向伸縮 運(yùn)動(dòng)；(3)將基準(zhǔn)件定位，以使第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置的測(cè)量頭與基準(zhǔn)件的第一基準(zhǔn)平面相 抵；(4)使滑動(dòng)件沿導(dǎo)軌移動(dòng)，該第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置的測(cè)量頭與第一基準(zhǔn)平面保持接觸 ;(5)控制器根據(jù)第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置的測(cè)量結(jié)果得出滑動(dòng)件沿第二方向的真實(shí)運(yùn)動(dòng)軌跡 ，并與預(yù)定運(yùn)動(dòng)軌跡比較，得出該滑動(dòng)件沿第二方向的運(yùn)動(dòng)誤差。
9.如權(quán)利要求8所述的測(cè)量方法，其特征在于該測(cè)量設(shè)備還包括 一個(gè)第二接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置，該第二接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置具有一個(gè)可伸縮的測(cè)量頭，該基準(zhǔn)件還包 括一個(gè)與第一基準(zhǔn)平面相互垂直的第二基準(zhǔn)平面；將該第二接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置設(shè)置于滑動(dòng)件上 ，且使第二接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置的測(cè)量頭可沿垂直于第一、第二方向的第三方向伸縮運(yùn)動(dòng)，該第 二接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置的測(cè)量頭在測(cè)量時(shí)與基準(zhǔn)件的第二基準(zhǔn)平面保持接觸；控制器根據(jù)第二接 觸式測(cè)長(zhǎng)裝置的測(cè)量結(jié)果得出滑動(dòng)件沿第三方向的真實(shí)運(yùn)動(dòng)軌跡，并與預(yù)定運(yùn)動(dòng)軌跡比較， 得出該滑動(dòng)件沿第三方向的運(yùn)動(dòng)誤差。
10.如權(quán)利要求9所述的測(cè)量方法，其特征在于該第一接觸式測(cè)長(zhǎng) 裝置及第二接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置還包括一個(gè)光學(xué)標(biāo)尺和一個(gè)光感應(yīng)器，該光學(xué)標(biāo)尺或光感應(yīng)器之 一可與測(cè)量頭一起移動(dòng)，該光感應(yīng)器用于讀取該光學(xué)標(biāo)尺刻度，并將讀取到的數(shù)據(jù)傳送給控制器。
全文摘要
本發(fā)明公開一種測(cè)量設(shè)備，其包括一個(gè)第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置、一個(gè)基準(zhǔn)件及一個(gè)控制器，該控制器與該第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置電連接，該基準(zhǔn)件具有一個(gè)第一基準(zhǔn)平面，該第一接觸式測(cè)長(zhǎng)裝置具有一個(gè)測(cè)量頭，該測(cè)量頭在測(cè)量時(shí)與第一基準(zhǔn)平面保持接觸。上述測(cè)量設(shè)備具有測(cè)量精度高的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)G01B11/04GK101354239SQ20071020115
公開日2009年1月28日 申請(qǐng)日期2007年7月23日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月23日
發(fā)明者慶 劉, 李軍旗 申請(qǐng)人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司;鴻海精密工業(yè)股份有限公司